JP2002025851A - 低インダクタンス型積層チップおよびその製造方法 - Google Patents

低インダクタンス型積層チップおよびその製造方法

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In-Kil Park
寅吉 朴
Duk-Hee Kim
▲徳▼▲ヒ▼ 金
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    • H01L2924/3011Impedance

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明の目的は、積層チップの内部パタ-
ンを改善して、相互に隣り合う層の内部電極から流れる
電流の方向が相互に反対となるようにして、インダクタ
ンス成分を相殺させることによって、高周波でも安定さ
れた動作特性をもつ低インダクタンス型積層チップおよ
びその製造方法を提供することにある。 【解決手段】 上記のような目的を達成するためになさ
れたこの発明の低インダクタンス型積層チップは、 内
部電極を形成された層が複数個積層されており、相互に
隣り合う層の内部電極から流れる電流の方向が相互に反
対となるよう、あらかじめ定められている層の内部電極
が電気的に連結されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、キャパシター
と、バリスターと、NTCサーミスターと、RC結合素子な
どのごとき多様な電子部品で製造される積層チップおよ
びその製造方法に関するもので、より詳しくは、積層チ
ップの内部パタ-ンを改善してインダクタンスを相殺さ
せることによって、高周波においても安定された動作特
性をもつ低インダクタンス型積層チップおよびその製造
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】このところ、携帯通信端末機と、コンピ
ュータなどのごとき電子機器の動作周波数が高速で高周
波化されることによって、上記のごとき電子機器に実装
される電子部品もまた高周波においても安定された動作
特性をもつ電子部品が要求されている。
【0003】前記電子部品の代表的な例としては、抵抗
と、キャパシターと、インダクターなどのごとき受動素
子があげられる。該受動素子は単一素子の形状で製造さ
れるのが一般的であるが、このところでは、実装効率を
向上させ、それぞれの素子間のノイズを減少せしめるた
め、二つからの受動素子を結合された複合素子形状にて
製造されることもある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のごと
き電子部品は、低周波においては安定された動作特性を
もつ反面、高周波においては安定されていない動作特性
をもつことによって、高周波の動作周波数のもつ電子機
器として採り入れかたい問題点があった。
【0005】例えば、キャパシターの場合、低周波では
安定された固有動作特性だけを示すが、 高周波では等
価インダクタンス成分が増加することになり、このよう
に増加された等価インダクタンス成分によって寄生発振
が発生されるか、インピーダンス値が増加されて素子の
応答速度が落ちることになる。
【0006】つまり、積層チップキャパシターは、図1
に示すように、陽の外部電極(+)に接続される内部電極
を形成された層と、陰の外部電極(-)に接続される内部
電極を形成された層とが交替しつつ積層されている。し
たがって、電流が陽の電極(+)から誘電体の層を通過し
て陰の電極(-)へ流れるようになり、この際、前記電流
の流れを妨げようとする自体のインダクタンス(Self in
ductance)成分が発生されるが、このようなインダクタ
ンス成分は高周波でさらに増加することになる。
【0007】さらに、RC結合素子は、図2に示すよう
に、一つのチップにRC結合回路(R1、R2、C)が繰返し配
列される場合が一般的であるが、このようなRC結合素子
の周波数-インピーダンス特性をネットワ-ク分析機を利
用して測定すると、図3に示すように、動作周波数が数
百MHz以上になると、キャパシターによって等価インダ
クタンス成分が増加されてインピーダンスが再度上昇す
るようになり、このように、インピーダンスが上昇する
ことによって、素子の応答速度が落ちることになる。
【0008】そこで、この発明は上記種々の問題点を解
決するためになされたものであって、この発明の目的
は、積層チップの内部パタ-ンを改善して、相互に隣り
合う層の内部電極から流れる電流の方向が相互に反対と
なるようにして、インダクタンス成分を相殺させること
によって、高周波でも安定された動作特性をもつ低イン
ダクタンス型積層チップおよびその製造方法を提供する
ことにある。
【0009】この発明の他の目的は、積層チップの通穴
内に抵抗成分を形成し、相互に隣り合う層の内部電極か
ら流れる電流の方向が相互に反対となるよう、キャパシ
ター成分を形成することによって、高周波でも安定され
た動作特性をもつ低インダクタンス型RC結合積層チップ
およびその製造方法を提供することにある。
【0010】この発明のさらに他の目的は、相互に隣り
合う層の内部電極から流れる電流の方向が相互に反対と
なるよう、キャパシター層を形成し、そのキャパシター
層と抵抗層を積層することによって、高周波でも安定さ
れた動作特性をもつ低インダクタンス型RC結合積層チッ
プおよびその製造方法を提供することにある。
【0011】この発明のさらに他の目的は、成形シート
の表面に抵抗性ペ-ストを印刷して抵抗層を形成し、そ
の抵抗層とキャパシター層を積層することによって、抵
抗値を容易に調整できるRC結合積層チップおよびその製
造方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するためになされたこの発明の低インダクタンス型積層
チップおよびその製造方法において、
【0013】前記積層チップは、内部電極を形成された
層が複数個積層されており、相互に隣り合う層の内部電
極から流れる電流の方向が相互に反対となるよう、あら
かじめ定められている層の内部電極が電気的に連結され
ていることを特徴とする。
【0014】また、前記積層チップは、少なくとも一つ
からの通穴を穿設された成形シートが複数個積層された
積層物と、該成形シートに形成された内部電極と、あら
かじめ定められている内部電極に電気的に連結されるよ
う、前記積層物の両端に形成された外部電極、およびあ
らかじめ定められている成形シートの内部電極を電気的
に連結して、相互に隣り合う成形シートの内部電極から
流れる電流の方向が相互に反対となるよう、前記通穴内
に形成された導電物質とを含んで構成されたことを特徴
とする。
【0015】さらにまた、前記積層チップは、内部電極
を形成された層が複数個積層されており、相互に隣り合
う層の内部電極から流れる電流の方向が相互に反対とな
るよう、あらかじめ定められている層の内部電極が抵抗
物質を介して電気的に連結されていることを特徴とす
る。
【0016】さらにまた、前記積層チップは、少なくと
も一つからの通穴を穿設された成形シートが複数個積層
された積層物と、前記成形シートに形成された内部電極
と、あらかじめ定められている内部電極に電気的に連結
されるよう、前記積層物の両端に形成された外部電極
と、あらかじめ定められている成形シートの内部電極を
電気的に連結して、相互に隣り合う成形シートの内部電
極から流れる電流の方向が相互に反対となるよう、前記
通穴内に形成された抵抗物質とを含んで構成されたこと
を特徴とする低インダクタンス型積層チップ。
【0017】さらにまた、前記積層チップは、相互に隣
り合う層の内部電極から流れる電流の方向が相互に反対
となるよう、あらかじめ定められている層の内部電極が
電気的に連結されているキャパシター層が積層されてい
ることを特徴とする。
【0018】さらにまた、前記積層チップは、キャパシ
ター層と抵抗物質が表面に印刷された少なくとも一つか
らの成形シートを含んで構成された抵抗層が積層されて
おり、前記キャパシター層および抵抗層に電気的に連結
されるよう、前記キャパシター層と抵抗層が積層された
積層物の両端に外部電極が形成されていることを特徴と
する。
【0019】また、前記製造方法は、成形シートを製造
する段階と、該成形シートに通穴を穿設する段階と、前
記成形シートの表面および通穴内部に内部電極を形成す
る段階と、あらかじめ定められている成形シートの表面
に形成された内部電極が前記通穴内に形成された内部電
極を通して電気的に連結されて、相互に隣り合う成形シ
ートの内部電極から流れる電流の方向が相互に反対とな
るよう、前記成形シートを積層する段階と、前記積層さ
れた成形シートを圧着する段階と、前記圧着された積層
物を熱処理して焼成する段階、およびあらかじめ定めら
れている内部電極に電気的に連結される外部電極を前記
積層物の両端に形成する段階とを含んで構成されたこと
を特徴とする。
【0020】さらにまた、前記製造方法は、成形シート
を製造する段階と、該成形シートに通穴を穿設する段階
と、前記通穴内に抵抗物質を形成する段階と、前記成形
シートに内部電極を形成する段階と、あらかじめ定めら
れている成形シートの内部電極が前記通穴内の抵抗物質
を介して電気的に連結されて、相互に隣り合う成形シー
トの内部電極から流れる電流の方向が相互に反対となる
よう、前記成形シートを積層する段階と、前記積層され
た複数個の成形シートを圧着する段階と、前記圧着され
た積層物を熱処理して焼成する段階、およびあらかじめ
定められている内部電極に電気的に連結される外部電極
を前記積層物の両端に形成する段階とを含んで構成され
たことを特徴とする。
【0021】さらにまた、製造方法は、抵抗層を製造す
る段階と、相互に隣り合う層の内部電極から流れる電流
の方向が相互に反対となるよう、あらかじめ定められて
いる層の内部電極が電気的に連結されるキャパシター層
を製造する段階と、前記抵抗層とキャパシター層を積層
して圧着する段階と、前記圧着された積層物を熱処理し
て焼成する段階、および前記抵抗層とキャパシター層に
電気的に連結される外部電極を前記積層物の両端に形成
する段階とを含んで構成されたことを特徴とする。
【0022】さらにまた、前記製造方法は、成形シート
の表面に抵抗物質を形成して抵抗層を製造する段階と、
キャパシター層を製造する段階と、前記抵抗層とキャパ
シター層を積層して圧着する段階と、該圧着された積層
物を熱処理して焼成する段階、および前記抵抗層とキャ
パシター層に電気的に連結される外部電極を前記積層物
の両端に形成する段階とを含んで構成されたことを特徴
とする。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、この発明に従う好ましき実
施形態について添付図に沿つて詳述する。次に、この発
明の実施形態1に沿う積層チップキャパシターおよびそ
の製造方法について、図4に沿って詳述することにす
る。
【0024】まず、工業用として市販されているキャパ
シター素子用の原料粉末を用意する。 さらに、原料粉
末の対比略8wt%ぐらいのPVB系バインダー(binder)をト
ルエン(toluene)/アルコール(alcohol)系ソルベント(so
lvent)に溶解させて前記原料粉末に仕込ませた後、小型
ボ-ルミル(ball mill)に略24時間ミリングおよび混合し
てスラリー(Slurry)を製造し、ドクターブレード(Docto
r blade)などの方法を用いて、前記スラリ-に所望の厚
さ(例えば、30〜50μm)をもつ成形シート(Greensheet)
を製造する。
【0025】次いで、ホ-ルポンチャ(hole puncher)を
用いて前記成形シートに通穴を穿設する。この際、前記
通穴は複数個の成形シートが積層された際、相互に隣り
合っていない成形シートを連結するように形成される。
次いで、前記成形シートに銀(Ag)、パラジウム(Pd)、銀
-パラジウム(Ag-Pd)、ニッケル(Ni)などのごとき材質の
電極ペ-ストをスクリ-ンプリンティングして所定パタ-
ンの内部電極を形成する。
【0026】つまり、図4に示すように、成形シート(1
1)の所定位置に通穴(12)を穿設してから、陽の外部電極
(+)および通穴(12、22)内の電極と電気的に連結され、
陰の外部電極(-)とは電気的に絶縁される内部電極(13)
が形成されるよう、前記成形シート(11)の表面および通
穴(12)内に電極ペ-ストを同時に印刷して、第1の層(10)
を形成する。
【0027】さらに、成形シート(21)の所定位置に通穴
(22)を穿設してから、陰の外部電極(-)と電気的に連結
され、陽の外部電極(+)および通穴(12、22)内の電極と
は電気的に絶縁される内部電極(23)が形成されるよう、
前記成形シート(21)の表面および通穴(22)内に電極ペ-
ストを同時に印刷して、第2の層(20)を形成する。
【0028】さらに、陽の外部電極(+)および陰の外部
電極(-)と電気的に絶縁され、前記通穴(12、22)内の電
極とは電気的に連結される内部電極(33)が形成されるよ
う、成形シート(31)の表面に電極ペ-ストを印刷して、
第3の層(30)を形成する。また、前記第1〜第3の層(10、
20、30)と同様に、第4〜第6の層(40、50、60)を形成す
る。
【0029】次いで、前記第1〜第6の層(10〜60)を順に
積層してから、積層された層が相互に密着されるよう、
略80〜120℃の熱と圧力を加えて圧着する。この際、前
記第1、第3の層(10、30)の内部電極(13、33)が通穴(1
2、22)内の電極を通して相互に電気的に連結され、第
4、第6の部電極層(40、60)の内部電極が通穴内の電極を
通して相互に電気的に連結される。
【0030】次いで、上記のごとく圧着された積層物内
の各種のバインダー成分をすべて除去するために、略40
0℃で6時間ぐらい加熱してベークアウト(Bake-out)させ
た後、温度を上昇させて適切な焼成温度(例えば、1100
〜1300℃)で積層物を焼成し、焼成された積層物の外部
に内部電極(13、23)と連結される外部電極(70)を形成す
る。上記のごとく製造された積層チップキャパシターの
外部電極(70)に陽/陰の電圧を加えると、図4に矢印で示
すように、部分的に相互に隣り合う層の内部電極から流
れる電流の方向が相互に反対となるため、インダクタン
ス成分が相殺されて高周波でも等価インダクタンス成分
が減少するのである。
【0031】この際、前記図4では、第1〜第6の層(10〜
60)を順に積層した積層チップキャパシターを挙例して
述べたが、これに限定されずに、第1〜第3の層(10、2
0、30)だけを積層して単一キャパシターで製造すること
もできるし、前記第1〜第3の層(10、20、30)からなる積
層物を複数個積層して単一キャパシターに製造すること
もできる。次に、この発明の実施形態2に沿う積層チッ
プキャパシターおよびその製造方法について、図5に沿
って詳述することにする。
【0032】この発明の実施形態2に沿う積層チップキ
ャパシターおよびその製造方法では、相互に隣り合って
いない層を連結する通穴と、相互に隣り合う層を連結す
る通穴を穿設し、このように穿設された通穴を通してそ
れぞれの層の内部電極を相互に電気的に連結することに
よって、すべての層の内部電極から流れる電流の方向が
隣り合う層の内部電極から流れる電流の方向と相互に反
対となり、これによって、すべての層のインダクタンス
成分が相殺されるため、全体の等価インダクタンス成分
はおおよそゼロ(零)に至る。
【0033】まず、この発明の実施形態1に沿う積層チ
ップキャパシターの製造方法と同一の方法で成形シート
を製造する。次いで、ホ-ルポンチャ(hole puncher)を
用いて、上記のごとく製造された成形シートに通穴を穿
設する。この際、前記通穴は相互に隣り合う成形シート
を連結するか、相互に隣り合っていない成形シートを連
結するように形成される。次いで、前記成形シートに銀
(Ag)、パラジウム(Pd)、銀-パラジウム(Ag-Pd)、または
ニッケル(Ni)などのごとき材質の電極ペ-ストをスクリ
ーンプリンティングして所定パタ-ンの内部電極を形成
する。
【0034】つまり、図5に示すように、成形シート(11
1)の所定位置に通穴(112)を穿設してから、陽の外部電
極(+)および陰の外部電極(-)とは電気的に絶縁され、通
穴(112、122、132、142、152、162)内の電極とは電気的
に連結される内部電極(113)が形成されるよう、前記成
形シート(111)の表面および通穴(112)内に電極ペ-スト
を同時に印刷して、第1の層(110)を形成する。
【0035】さらに、成形シート(121)の所定位置に通
穴(122、124)をそれぞれ形成してから、陰の外部電極
(-)および通穴(124)内の電極と電気的に連結され、陽の
外部電極(+)および通穴(112、122、132、142、152、16
2)内の電極とは電気的に絶縁される内部電極(123)が形
成されるよう、前記成形シート(121)の表面および通穴
(122、124)内に電極ペ-ストを同時に印刷して、第2の層
(120)を形成する。
【0036】さらに、成形シート(131)の所定位置に通
穴(132)を穿設してから、陽の外部電極(+)と陰の外部電
極(-)、および通穴(112、122、132、142、152、162)内
の電極とは電気的に絶縁され、前記通穴(124)内の電極
とは電気的に連結される内部電極(133)が形成されるよ
う、成形シート(131)の表面および通穴(132)内に電極ペ
ーストを同時に印刷して、第3の層(130)を形成する。
【0037】さらに、成形シート(141)の所定位置に通
穴(142)を穿設してから、陽の外部電極(+)と通穴(112、
122、132、142、152、162)内の電極とは電気的に連結さ
れ、陰の外部電極(-)とは電気的に絶縁される内部電極
(143)が形成されるよう、前記成形シート(141)の表面お
よび通穴(142)内に電極ペーストを同時に印刷して、第4
の層(140)を形成する
【0038】さらに、成形シート(151)の所定位置に通
穴(152、154)をそれぞれ形成してから、陽の外部電極
(+)と陰の外部電極(-)、および通穴(112、122、132、14
2、152、162)内の電極と電気的に絶縁され、通穴(154)
内の電極とは電気的に連結される内部電極(153)が形成
されるよう、前記成形シート(151)の表面および通穴(15
2、154)内に電極ペ-ストを同時に印刷して、第5の層(15
0)を形成する。
【0039】さらに、成形シート(161)の所定位置に通
穴(162)を穿設してから、陽の外部電極(+)と通穴(112、
122、132、142、152、162)内の電極とは電気的に絶縁さ
れ、陰の外部電極(-)と通穴(154)内の電極とは電気的に
連結される内部電極(163)が形成されるよう、成形シー
ト(161)の表面および通穴(162)内に電極ペーストを同時
に印刷して、第6の層(160)を形成する。
【0040】さらに、陽の外部電極(+)および陰の外部
電極(-)と電気的に絶縁され、前記通穴(112、122、13
2、142、152、162)内の電極とは電気的に連結される内
部電極(173)が形成されるよう、成形シート(171)の表面
に電極ペーストを印刷して、第7層(170)を形成する。次
いで、前記第1〜第7の層(110〜170)を順に積層してか
ら、積層された層が相互に密着されるよう、略80〜120
℃の熱と圧力を加えて圧着する。この際、前記第1、4、
7の層(110、140、170)の内部電極(113、143、173)は通
穴(112、122、132、142、152、162)内の電極を通して相
互に電気的に連結され、第2、第3の層(120、130)の内部
電極(123、133)は通穴(124)内の電極を通して相互に電
気的に連結され、第5、第6の層(150、160)の内部電極(1
53、163)は通穴(154)内の電極を通して相互に電気的に
連結される。
【0041】次いで、上記のごとく圧着された積層物内
の各種のバインダー成分をすべて除去するために、略40
0℃で6時間ぐらい加熱してベークアウト(Bake-out)させ
た後、温度を上昇させて適切な焼成温度(例えば、1100
〜1300℃)で積層物を焼成し、焼成された積層物の外部
に積層物の内部電極(123、143、163)と連結される外部
電極(180)を形成する。
【0042】上記のごとく製造された積層チップキャパ
シターの外部電極(180)に陽/陰の電圧を加えると、図5
に矢印で示すに、ほとんどすべての層の内部電極から流
れる電流の方向が相互に反対となるため、インダクタン
ス成分が相殺されて高周波でも等価インダクタンス成分
がおおよそゼロ(零)となる。さらに、等価直列抵抗の場
合は、内部電極の絶対抵抗値は低いか、内部電極の面積
が増加するほど減少することから、容量に寄与しえない
ダミ層(182、Dummy layer)が増加すると、結局、容量対
比内部電極の面積が増加されて等価直列抵抗値が低くな
り、これによって不要な電力消耗を減少させうるのであ
る。
【0043】この際、前記図5では第1〜第7の層(110〜1
70)を順に積層した積層チップキャパシターを挙例して
述べたが、これに限定されず、前記第1〜第7の層(110〜
170)からなる積層物を複数個積層して単一キャパシター
として製造することもできる。
【0044】さらに、上記のごときこの発明の実施形態
1および実施形態2に沿う積層チップキャパシターの基
本構造を基に、多様な積層チップキャパシターを製造す
ることができる。例えば、図6(a)に示すように、積
層チップの両側に交替しつつ通穴を穿設して、積層チッ
プの一側に通穴が片寄るのを防止することによって、積
層チップの焼成時に非対称性を緩和させることもできる
し、図6(b)に示すように、この発明の実施形態1お
よび実施形態2に沿う積層チップキャパシターの設計パ
タ-ンを複合的に用いて多様な容量をもつキャパシター
を製造できるし、図6(c)に示すように、この発明の
実施形態2に沿う積層チップキャパシターの設計パタ-
ンと、図6(a)に示す積層チップキャパシターの設計
パターンを応用してキャパシター容量を増加させるとと
もに、焼成時に非対称性を緩和させうる。
【0045】一方で、上記のごとく相互に隣り合う層の
内部電極から流れる電流の方向が相互に反対となるよう
にする積層チップの製造方法は、キャパシター以外にバ
リスター、NTCサーミスターのごとき電子部品を製造す
る場合にも適用できる。例えば、バリスターの場合に
は、工業用として市販されるバリスター素子用原料粉
末、またはZnO粉末にBi2O2、CoO、MnOなどの添加剤を仕
込ませて、水またはアルコールなどを溶媒にして24時間
ボ-ルミル加工した原料粉末を用いて成形シートを製造
し、上記のごとく製造された成形シートを基に、前記積
層チップキャパシターの製造方法を同様に適用して、高
周波でインダクタンス成分が減少されるバリスターを製
造あおろことができる。
【0046】さらに、上記のごとく製造された単一積層
チップを所望の特性別に二つ以上を結合して、複合積層
チップとして製造することもできる。例えば、前記製造
方法で製造されたキャパシターとバリスターを接合して
複合素子を製造することができる。
【0047】上記のごとき、この発明に従う積層チップ
キャパシターは、積層チップの内部パタ-ンを改善し
て、相互に隣り合う層の内部電極から流れる電流の方向
が相互に反対となるようにして、インダクタンス成分を
相殺させることによって、高周波でも安定された動作特
性をもち、さらに、容量に対する内部電極の面積調整で
等価直列抵抗値を減少させて不要な電力消耗を減少させ
うる。
【0048】次に、この発明に従うRC直列結合積層チッ
プおよびその製造方法について、図7、8に沿って詳述す
ることにする。まず、この発明の実施形態1に沿う積層
チップキャパシターと同一の方法で成形シートを製造す
る。次いで、ホ-ルポンチャを用いて前記成形シートに
通穴を穿設する。 この際、前記通穴は複数個の成形シ
ートが積層された際、相互に隣り合っていない成形シー
トを連結する通穴を穿設する。次いで、前記通穴内にRu
O2ペ-ストのごとき抵抗ペ-ストを印刷して抵抗を形成す
る。この際、前記通穴は多角形または円筒形など様ざま
な形状で製造できるし、前記抵抗値は通穴の形状、大き
さ、数をもって調整される。次いで、前記成形シートに
銀(Ag)、パラジウム(Pd)、銀-パラジウム(Ag-Pd)、また
はニッケル(Ni)などのごとき材質の電極ペーストをスク
リーンプリンティングして所定パターンの内部電極を形
成する。
【0049】つまり、図7に示すように、成形シート(21
1)の所定位置に通穴(212)を穿設し、該通穴(212)内に抵
抗物質を詰め込んでから、陽の外部電極(+)および通穴
(212、222)内の抵抗物質と電気的に連結され、陰の外部
電極(-)とは電気的に絶縁される内部電極(213)が形成さ
れるよう、前記成形シート(211)の表面に電極ペースト
を印刷して、第1の層(210)を形成する。
【0050】さらに、成形シート(221)の所定位置に通
穴(222)を穿設し、前記通穴(222)内に抵抗物質を詰め込
んでから、陰の外部電極(-)と電気的に連結され、陽の
外部電極(+)および通穴(212、222)内の抵抗物質とは電
気的に絶縁される内部電極(223)が形成されるよう、前
記成形シート(221)の表面に電極ペ-ストを印刷して、第
2の層(220)を形成する。
【0051】さらに、陽の外部電極(+)および陰の外部
電極(-)と電気的に絶縁され、前記通穴(212、222)内の
抵抗物質とは電気的に連結される内部電極(233)が形成
されるよう、成形シート(231)の表面に電極ペ-ストを印
刷して、第3の層(230)を形成する。さらに、成形シート
(241)の所定位置に通穴(242)を穿設し、前記通穴(242)
内に抵抗物質を詰め込んでから、陰の外部電極(-)およ
び通穴(242、252)内の抵抗物質と電気的に連結され、陽
の外部電極(+)とは電気的に絶縁される内部電極(243)が
形成されるよう、前記成形シート(241)の表面に電極ペ
ーストを印刷して、第4の層(240)を形成する。
【0052】さらに、成形シート(251)の所定位置に通
穴(252)を穿設し、前記通穴(252)内に抵抗物質を詰め込
んでから、陽の外部電極(+)と電気的に連結され、陰の
外部電極(-)および通穴(242、252)内の抵抗物質とは電
気的に絶縁される内部電極(253)が形成されるよう、前
記成形シート(251)の表面に電極ペーストを印刷して、
第5の層(250)を形成する。さらに、陽の外部電極(+)お
よび陰の外部電極(-)と電気的に絶縁され、前記通穴(24
2、252)内の抵抗物質とは電気的に連結される内部電極
(263)が形成されるよう、成形シート(261)の表面に電極
ペ-ストを印刷して、第6の層(260)を形成する。
【0053】次いで、上記のごとく製造された第1〜第6
の層(210〜260)を順に積層してから、積層された層が相
互に密着されるよう、略80〜120℃の熱と圧力を加えて
圧着する。この際、前記第1、第3の層(210、230)の内部
電極(213、233)が通穴(212、222)内の抵抗物質を通して
相互に電気的に連結され、第4、第6の層(240、260)の内
部電極(243、263)が通穴(242、252)内の抵抗物質を通し
て相互に電気的に連結される。次いで、上記のごとく圧
着された積層物内の各種のバインダー成分をすべて除去
するために、略400℃で6時間ぐらい加熱してベークアウ
トさせた後、温度を上昇させて適切な焼成温度(例え
ば、1100〜1300℃)で積層物を焼成し、焼成された積層
物の外部に積層物の内部電極と連結される外部電極(27
0)を形成する。
【0054】上記のごとく製造されたRC結合積層チップ
は、図8に示すように、キャパシター成分(272)と、通穴
内に形成された抵抗成分(274)とからなり、その等価回
路はキャパシター成分(272)と抵抗成分(274)が相互に直
列に連結されたRC直列結合素子形状となる。上記のごと
く製造されたRC直列結合積層チップの外部電極(270)に
陽/陰の電圧を加えると、図8に矢印で示すように、相互
に隣り合う層の内部電極から流れる電流の方向が相互に
反対となるため、インダクタンス成分が相殺されて高周
波でも等価インダクタンス成分が大いに減少する。
【0055】さらに、上記のごとく製造されたRC直列結
合積層チップの内部電極パターンおよび通穴穿設パター
ンが数回にわたって繰返されるように設計し、上記のご
とき製造方法を用いて製造することによって、図9に示
すように、RC直列結合素子が複数個積層されているRC直
列結合アレイチップを製造することができる。
【0056】次に、この発明の実施形態1に沿うRC並列
結合積層チップおよびその製造方法について、図10、図
11に沿って詳述することにする。まず、この発明に従う
RC直列結合積層チップと同一の方法で成形シートを製造
する。次いで、ホ-ルポンチャを用いて積層時に相互に
隣り合う成形シートを連結する通穴を穿設し、前記通穴
内にRuO2ペ-ストのごとき抵抗ペ-ストを印刷して抵抗物
質を形成してから、前記成形シートの表面に銀(Ag)、パ
ラジウム(Pd)、銀-パラジウム(Ag-Pd)、またはニッケル
(Ni)などのごとき材質の電極ペ-スト(paste)をスクリ-
ンプリンティングして内部電極を形成することによっ
て、抵抗層(300)を形成する。この際、前記該通穴は多
角形形状または円筒形など様ざまな形状に製造できる
し、前記該通穴内に詰め込まれた抵抗物質の抵抗値は通
穴の形状、大きさ、数をもって調整される。
【0057】つまり、図10に示すように、成形シート(3
11)の所定位置に通穴(312)を穿設し、前記通穴(312)内
に抵抗物質を詰め込んでから、陽の外部電極(+)および
通穴(312)内の抵抗物質と電気的に連結され、陰の外部
電極(-)とは電気的に絶縁される内部電極(313)が形成さ
れるよう、前記成形シート(311)の表面に電極ペ-ストを
印刷して、第1の抵抗層(310)を形成する。
【0058】さらに、陰の外部電極(+)および通穴(312)
内の抵抗物質と電気的に連結され、陽の外部電極(+)と
は電気的に絶縁される内部電極(323)が形成されるよ
う、成形シート(321)の表面に電極ペ-ストを印刷して、
第2の抵抗層(320)を形成する。次いで、積層時に相互に
隣り合っていない成形シートを連結する通穴を穿設し、
前記成形シートの表面および通穴内に銀(Ag)、パラジウ
ム(Pd)、銀-パラジウム(Ag-Pd)、またはニッケル(Ni)な
どのごとき材質の電極ペ-ストをスクリ-ンプリンティン
グして内部電極を形成することによって、キャパシター
層(400)を形成する。
【0059】つまり、図10に示すように、さらに、成形
シート(411)の所定位置に通穴(412)を穿設してから、通
穴(412、422)内の電極と電気的に連結され、陽の外部電
極(+)および陰の外部電極(-)とは電気的に絶縁される内
部電極(413)が形成されるよう、前記成形シート(411)の
表面および通穴(412)内に電極ペ-ストを同時に印刷し
て、第1のキャパシター層(410)を形成する。さらに、成
形シート(421)の所定位置に通穴(422)を穿設してから、
陰の外部電極(-)と電気的に連結され、陽の外部電極(+)
および通穴(412、422)内の電極とは電気的に絶縁される
内部電極(423)が形成されるよう、前記該成形シート(42
1)の表面および通穴(422)内に電極ペ-ストを同時に印刷
して、第2のキャパシター層(420)を形成する。
【0060】さらに、陰の外部電極(-)と電気的に絶縁
され、陽の外部電極(+)および通穴(412、422)内の電極
とは電気的に連結される内部電極(433)が形成されるよ
う、成形シート(431)の表面に電極ペ-ストを印刷して、
第3のキャパシター層(430)を形成する。さらに、前記図
10に示す第4〜第6のキャパシター層(440、450、460)
は、前記第1〜第3のキャパシター層(410、420、430)と
同様に製造する。
【0061】次いで、前記第1および第2の抵抗層(310、
320)と第1〜第6のキャパシター層(410〜460)を順に積層
してから、積層された層が相互に密着されるよう、略80
〜120℃の熱と圧力を加えて圧着する。この際、上記の
ごとく積層されると、第1、第2の抵抗層(310、320)の内
部電極(313、323)は、通穴(312)内の抵抗物質を介して
相互に電気的に連結され、第1、第3のキャパシター層(4
10、430)の内部電極(413、433)は、通穴(412、422)内の
電極を通して相互に電気的に連結され、第4、第6のキャ
パシター層(440、460)の内部電極も通穴内の電極を通し
て相互に電気的に連結される。
【0062】次いで、上記のごとく圧着された積層物内
の各種のバインダー成分をすべて除去するために、略40
0℃で6時間ぐらい加熱してベークアウトさせた後、温度
を上昇させて適切な焼成温度(例えば、1100〜1300℃)で
積層物を焼成し、焼成された積層物の外部に積層物の内
部電極と連結される外部電極(470)を形成する。上記の
ごとく製造されたRC結合積層チップは、図11に示すよう
に、通穴に形成された抵抗成分(472)と、キャパシター
成分(474)とからなり、その等価回路は抵抗成分(472)と
キャパシター成分(474)が並列に連結されたRC並列結合
素子形状となる。
【0063】上記のごとく製造されたRC並列結合積層チ
ップの外部電極(470)に陽/陰の電圧を加えると、図11に
矢印で示すように、キャパシター層で相互に隣り合う層
の内部電極から流れる電流の方向が相互に反対となるた
め、インダクタンス成分が相殺されて高周波でも等価イ
ンダクタンス成分が大いに減少する。
【0064】次に、この発明の実施形態2に沿うRC並列
結合積層チップおよびその製造方法について、図12、図
13に沿って詳述することにする。まず、この発明に従う
RC直列結合積層チップと同様に、成形シートを製造す
る。次いで、前記成形シートの表面にRuO2ペ-ストのご
とき抵抗ペーストを印刷して抵抗層(500)を形成する。
【0065】つまり、図12に示すに、陽の外部電極(+)
と陰の外部電極(-)に両端が電気的に連結されるよう、
成形シート(511)の表面に抵抗ペーストを印刷して第1の
抵抗層(510)を形成し、該第1の抵抗層(510)と同一の方
法で第2の抵抗層(520)を形成する。この際、前記抵抗値
は抵抗ペ-ストの抵抗値、抵抗ペ-ストが印刷された面
積、厚さ、抵抗層の積層数をもって調整される.
【0066】次いで、この発明の実施形態1に沿うRC並
列結合積層チップのキャパシター層製造方法と同一の方
法で、キャパシター層(600)を形成する。次いで、上記
のごとく製造された抵抗層(500)とキャパシター層(60
0)を順に積層して、積層された層が相互に密着されるよ
う、略80〜120℃の熱と圧力を加えて圧着する。
【0067】次いで、上記のごとく圧着された積層物内
の各種のバインダー成分をすべて除去するために、略40
0℃で6時間ぐらい加熱してベークアウトさせた後、温度
を上昇させて適切な焼成温度(例えば、1100〜1300℃)で
積層物を焼成し、焼成された積層物の外部に積層物の内
部電極と連結される外部電極(670)を形成する。上記の
ごとく製造されたRC結合積層チップは、図13に示すよう
に、面印刷された抵抗成分(672)と、キャパシター成分
(674)とからなり、その等価回路は抵抗成分(672)とキャ
パシター成分(674)が並列に連結されたRC並列結合素子
形状となる。
【0068】上記のごとく製造されたRC並列結合積層チ
ップの外部電極(670)に陽/陰の電圧を加えると、図11に
矢印で示すように、キャパシター層で相互に隣り合う層
の内部電極から流れる電流の方向が相互に反対となるた
め、インダクタンス成分が相殺されて高周波でも等価イ
ンダクタンス成分が大いに減少する。さらに、抵抗成分
パタ-ンの面積および積層数を調整して抵抗値を手軽に
調整することができる。次に、この発明の実施形態3に
沿うRC並列結合積層チップおよびその製造方法につい
て、図14、図15に沿って詳述することにする。
【0069】まず、この発明に従うRC直列結合積層チッ
プと同様に成形シートを製造する。次いで、この発明の
実施形態2に沿う並列結合積層チップと同一の方法で抵
抗層(700)を形成する。次いで、前記該成形シートの表
面に銀(Ag)、パラジウム(Pd)、銀-パラジウム(Ag-Pd)、
またはニッケル(Ni)などのごとき材質の電極ペ-ストを
印刷してキャパシター層(800)を形成して積層する。
【0070】この際、前記キャパシター(800)は、陰の
外部電極(-)と電気的に連結され、陽の外部電極(+)と電
気的に絶縁される内部電極(813)が形成されるよう、電
極ペ-ストを成形シート(811)に印刷して第1のキャパシ
ター層(810)を形成する。さらに、陽の外部電極(+)と電
気的に連結され、陰の外部電極(-)と電気的に絶縁され
る内部電極(823)が形成されるよう、電極ペ-ストを成形
シート(821)に印刷して第2のキャパシター層(820)を形
成する。さらに、前記第1、第2のキャパシター層(810、
820)と同様に、第3、第4のキャパシター層(830、840)を
形成する。
【0071】次いで、上記のごとく製造された抵抗層(7
00)とキャパシター層(800)を順に積層して、積層された
層が相互に密着されるよう、略80〜120℃の熱と圧力を
加えて圧着する。次いで、上記のごとく圧着された積層
物内の各種のバインダー成分をすべて除去するために、
略400℃で6時間ぐらい加熱してベークアウトさせた後、
温度を上昇させて適切な焼成温度(例えば、1100〜1300
℃)で積層物を焼成し、焼成された積層物の外部に積層
物の内部電極と連結される外部電極(870)を形成する。
【0072】上記のごとく製造されたRC結合積層チップ
は、図15に示すように、面印刷された抵抗成分(872)
と、キャパシター成分(874)とからなり、その等価回路
は抵抗成分(872)とキャパシター成分(874)が並列に連結
されたRC並列結合素子形状となり、さらに、抵抗成分パ
タ-ンの面積および積層数を調整して、抵抗値を手軽に
調整できるばかりか、キャパシター層を繰返し積層して
多様なキャパシター値を具現することができる。
【0073】一方で、前記実施形態1〜3に沿うRC並列
結合積層チップの内部パタ-ンが数回にわたって繰返さ
れるように設計し、上記のごとき製造方法を用いて製造
することによって、図16に示すように、RC並列結合素子
が複数個積層されているRC並列結合アレイチップを製造
することができる。さらに、上記のごときRC直列結合積
層チップおよびRC並列結合積層チップの製造方法を複合
的に用いて、直列抵抗成分と並列抵抗成分がすべて存在
するRC結合チップを製造することもできる。
【0074】
【発明の効果】上述のように、この発明によれば、積層
チップの内部パタ-ンを改善して、相互に隣り合う層の
内部電極から流れる電流の方向が相互に反対となるよう
にして、インダクタンス成分を相殺させることによっ
て、高周波でも安定された動作特性をもつ低インダクタ
ンス型積層チップおよびその製造方法を提供する優れる
効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来技術に従う積層チップキャパシターの概
略構成図である。
【図2】 従来技術に従うRC結合素子の回路図である。
【図3】 従来技術に従うRC結合素子で周波数に対する
インピーダンス特性曲線図である。
【図4】 この発明の実施形態1に沿う積層チップキャ
パシターおよびその製造方法を詳述するための図であ
る。
【図5】 この発明の実施形態2に沿う積層チップキャ
パシターおよびその製造方法を詳述するための図であ
る。
【図6】 この発明の実施形態3〜5による積層チップ
キャパシターの概略断面図である。
【図7】 この発明に従うRC直列結合積層チップおよび
その製造方法を詳述するための図である。
【図8】 この発明に従うRC直列結合積層チップの概略
断面およびその等価回路を示す図である。
【図9】 この発明に従うRC直列結合アレイチップの概
略外観およびその等価回路を示す図である。
【図10】 この発明の実施形態1に沿うRC並列結合積
層チップおよびその製造方法を詳述するための図であ
る。
【図11】 この発明の実施形態1に沿うRC並列結合積
層チップの概略断面およびその等価回路を示す図であ
る。
【図12】 この発明の実施形態2に沿うRC並列結合積
層チップおよびその製造方法を詳述するための図であ
る。
【図13】 この発明の実施形態2に沿うRC並列結合積
層チップの概略断面およびその等価回路を示す図であ
る。
【図14】 この発明の実施形態3に沿うRC並列結合積
層チップおよびその製造方法を詳述するための図であ
る。
【図15】 この発明の実施形態3に沿うRC並列結合積
層チップの概略断面およびその等価回路を示す図であ
る。
【図16】 この発明に従うRC並列結合アレイチップの
概略外観およびその等価回路を示す図である。
【符号の説明】
10…層 11…成形シート 12…通穴 13…内部電極 70…外部電極

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部電極を形成された層が複数個積層さ
    れており、相互に隣り合う層の内部電極から流れる電流
    の方向が相互に反対となるよう、あらかじめ定められて
    いる層の内部電極が電気的に連結されていることを特徴
    とする低インダクタンス型積層チップ。
  2. 【請求項2】 上記のごとく積層された層に通穴が穿設
    されており、その通穴内に形成された導電物質によって
    あらかじめ定められている層の内部電極が電気的に連結
    されていることを特徴とする請求項1に記載の低インダ
    クタンス型積層チップ。
  3. 【請求項3】 少なくとも一つからの通穴を穿設された
    成形シートが複数個積層された積層物と、該成形シート
    に形成された内部電極と、あらかじめ定められている内
    部電極に電気的に連結されるよう、前記積層物の両端に
    形成された外部電極、およびあらかじめ定められている
    成形シートの内部電極を電気的に連結して、相互に隣り
    合う成形シートの内部電極から流れる電流の方向が相互
    に反対となるよう、前記通穴内に形成された導電物質と
    を含んで構成されたことを特徴とする低インダクタンス
    型積層チップ。
  4. 【請求項4】 前記通穴は、前記積層物の両側に交互に
    位置されるように穿設されていることを特徴とする請求
    項3に記載の低インダクタンス型積層チップ。
  5. 【請求項5】 内部電極を形成された層が複数個積層さ
    れており、相互に隣り合う層の内部電極から流れる電流
    の方向が相互に反対となるよう、あらかじめ定められて
    いる層の内部電極が抵抗物質を介して電気的に連結され
    ていることを特徴とする低インダクタンス型積層チッ
    プ。
  6. 【請求項6】 上記のごとく積層された層に通穴が穿設
    されており、その通穴内に形成された抵抗物質を介して
    あらかじめ定められている層の内部電極が電気的に連結
    されていることを特徴とする請求項5に記載の低インダ
    クタンス型積層チップ。
  7. 【請求項7】 少なくとも一つからの通穴を穿設された
    成形シートが複数個積層された積層物と、前記成形シー
    トに形成された内部電極と、あらかじめ定められている
    内部電極に電気的に連結されるよう、前記積層物の両端
    に形成された外部電極と、あらかじめ定められている成
    形シートの内部電極を電気的に連結して、相互に隣り合
    う成形シートの内部電極から流れる電流の方向が相互に
    反対となるよう、前記通穴内に形成された抵抗物質とを
    含んで構成されたことを特徴とする低インダクタンス型
    積層チップ。
  8. 【請求項8】 抵抗層と、相互に隣り合う層の内部電極
    から流れる電流の方向が相互に反対となるよう、あらか
    じめ定められている層の内部電極が電気的に連結されて
    いるキャパシター層が積層されていることを特徴とする
    低インダクタンス型積層チップ。
  9. 【請求項9】 前記抵抗層とキャパシター層に電気的に
    連結されるよう、前記抵抗層とキャパシター層が積層さ
    れた積層物の両端に外部電極が形成されていることを特
    徴とする請求項8に記載の低インダクタンス型積層チッ
    プ。
  10. 【請求項10】 前記抵抗層は、少なくとも一つからの
    通穴を穿設された状態で積層された複数個の成形シート
    と、前記成形シートに形成された内部電極、および該内
    部電極を電気的に連結するよう、通穴内に形成された抵
    抗物質とを含んで構成されたことを特徴とする請求項8
    に記載の低インダクタンス型積層チップ。
  11. 【請求項11】 前記抵抗層は、抵抗物質が表面に印刷
    された少なくとも一つからの成形シートを含んで構成さ
    れたことを特徴とする請求項8に記載の低インダクタン
    ス型積層チップ。
  12. 【請求項12】 前記キャパシター層は、少なくとも一
    つからの通穴を穿設された成形シートが複数個積層され
    た積層物と、前記成形シートに形成された内部電極、お
    よびあらかじめ定められている成形シートの内部電極を
    電気的に連結して相互に隣り合う成形シートの内部電極
    から流れる電流の方向が相互に反対となるよう、前記通
    穴内に形成された導電物質とを含んで構成されたことを
    特徴とする請求項8〜11のいずれかに記載の低インダク
    タンス型積層チップ。
  13. 【請求項13】 キャパシター層と抵抗物質が表面に印
    刷された少なくとも一つからの成形シートを含んで構成
    された抵抗層が積層されており、前記キャパシター層お
    よび抵抗層に電気的に連結されるよう、前記キャパシタ
    ー層と抵抗層が積層された積層物の両端に外部電極が形
    成されていることを特徴とする積層チップ。
  14. 【請求項14】 成形シートを製造する段階と、該成形
    シートに通穴を穿設する段階と、前記成形シートの表面
    および通穴内部に内部電極を形成する段階と、あらかじ
    め定められている成形シートの表面に形成された内部電
    極が前記通穴内に形成された内部電極を通して電気的に
    連結されて、相互に隣り合う成形シートの内部電極から
    流れる電流の方向が相互に反対となるよう、前記成形シ
    ートを積層する段階と、前記積層された成形シートを圧
    着する段階と、前記圧着された積層物を熱処理して焼成
    する段階、およびあらかじめ定められている内部電極に
    電気的に連結される外部電極を前記積層物の両端に形成
    する段階とを含んで構成されたことを特徴とする低イン
    ダクタンス型積層チップの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記通穴は、前記積層物の両側に交互
    に位置されるよう、通穴を穿設することを特徴とする請
    求項14に記載の低インダクタンス型積層チップの製造方
    法。
  16. 【請求項16】 前記成形シートの両側に通穴をそれぞ
    れの穿設して、その通穴内の内部電極を相互に他の成形
    シートの表面に形成された内部電極と電気的に連結させ
    ることを特徴とする請求項14に記載の低インダクタンス
    型積層チップの製造方法。
  17. 【請求項17】 成形シートを製造する段階と、該成形
    シートに通穴を穿設する段階と、前記通穴内に抵抗物質
    を形成する段階と、前記成形シートに内部電極を形成す
    る段階と、あらかじめ定められている成形シートの内部
    電極が前記通穴内の抵抗物質を介して電気的に連結され
    て、相互に隣り合う成形シートの内部電極から流れる電
    流の方向が相互に反対となるよう、前記成形シートを積
    層する段階と、前記積層された複数個の成形シートを圧
    着する段階と、前記圧着された積層物を熱処理して焼成
    する段階、およびあらかじめ定められている内部電極に
    電気的に連結される外部電極を前記積層物の両端に形成
    する段階とを含んで構成されたことを特徴とする低イン
    ダクタンス型積層チップの製造方法。
  18. 【請求項18】 抵抗層を製造する段階と、相互に隣り
    合う層の内部電極から流れる電流の方向が相互に反対と
    なるよう、あらかじめ定められている層の内部電極が電
    気的に連結されるキャパシター層を製造する段階と、前
    記抵抗層とキャパシター層を積層して圧着する段階と、
    前記圧着された積層物を熱処理して焼成する段階、およ
    び前記抵抗層とキャパシター層に電気的に連結される外
    部電極を前記積層物の両端に形成する段階とを含んで構
    成されたことを特徴とする低インダクタンス型積層チッ
    プ製造方法。
  19. 【請求項19】 前記抵抗層の製造段階は、成形シート
    を製造する段階と、該成形シートに通穴を穿設する段階
    と、該通穴内に抵抗物質を形成する段階と、前記成形シ
    ートに内部電極を形成する段階、および前記内部電極が
    前記抵抗物質を介して電気的に連結されるよう、前記成
    形シートを積層する段階とを含んで構成されたことを特
    徴とする請求項18に記載の低インダクタンス型積層チッ
    プ製造方法。
  20. 【請求項20】 前記抵抗層の製造段階は、成形シート
    を製造する段階、および該成形シートの表面に抵抗物質
    を形成する段階とを含んで構成されたことを特徴とする
    請求項18に記載の低インダクタンス型積層チップの製造
    方法。
  21. 【請求項21】 前記キャパシター層の製造段階は、成
    形シートを製造する段階と、該成形シートに通穴を穿設
    する段階と、前記成形シートの表面および通穴内部に内
    部電極を形成する段階、およびあらかじめ定められてい
    る成形シートの表面に形成された内部電極が前記通穴内
    部に形成された内部電極を通して電気的に連結されて、
    相互に隣り合う成形シートの内部電極から流れる電流の
    方向が相互に反対となるよう、前記成形シートを積層す
    る段階とを含んで構成されたことを特徴とする請求項18
    に記載の低インダクタンス型積層チップの製造方法。
  22. 【請求項22】 成形シートの表面に抵抗物質を形成し
    て抵抗層を製造する段階と、キャパシター層を製造する
    段階と、前記抵抗層とキャパシター層を積層して圧着す
    る段階と、該圧着された積層物を熱処理して焼成する段
    階、および前記抵抗層とキャパシター層に電気的に連結
    される外部電極を前記積層物の両端に形成する段階とを
    含んで構成されたことを特徴とする積層チップの製造方
    法。
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