JP2001307944A - 積層セラミックコンデンサの製造方法及び外部電極用ペースト - Google Patents
積層セラミックコンデンサの製造方法及び外部電極用ペーストInfo
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- JP2001307944A JP2001307944A JP2000125296A JP2000125296A JP2001307944A JP 2001307944 A JP2001307944 A JP 2001307944A JP 2000125296 A JP2000125296 A JP 2000125296A JP 2000125296 A JP2000125296 A JP 2000125296A JP 2001307944 A JP2001307944 A JP 2001307944A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 積層セラミックコンデンサの外部電極用ペー
スト中の金属粉末として卑金属粉末を使用している場
合、再酸化の際の外部電極焼き付けにおいてこの卑金属
粉末が酸化し、積層セラミックコンデンサの電気抵抗が
増大するおそれがあるので、チップ状の積層体を最適条
件で再酸化することが難しいという問題があった。 【解決手段】 外部電極用ペースト中の卑金属粉末をガ
ラスでコーティングした。ここで、前記ガラスとして
は、例えばＢ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラス、Ｚｎ−Ｓｎ−
Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓｉをベースとし
て、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、アルカリ土類金
属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、金属元素（Ｂｉ，Ａ
ｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラス等を使用すること
ができる。
スト中の金属粉末として卑金属粉末を使用している場
合、再酸化の際の外部電極焼き付けにおいてこの卑金属
粉末が酸化し、積層セラミックコンデンサの電気抵抗が
増大するおそれがあるので、チップ状の積層体を最適条
件で再酸化することが難しいという問題があった。 【解決手段】 外部電極用ペースト中の卑金属粉末をガ
ラスでコーティングした。ここで、前記ガラスとして
は、例えばＢ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラス、Ｚｎ−Ｓｎ−
Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓｉをベースとし
て、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、アルカリ土類金
属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、金属元素（Ｂｉ，Ａ
ｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラス等を使用すること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、寿命の長い、信
頼性の高い積層セラミックコンデンサを得るための積層
セラミックコンデンサの製造方法とこの方法に使用する
外部電極用ペーストに関する。
頼性の高い積層セラミックコンデンサを得るための積層
セラミックコンデンサの製造方法とこの方法に使用する
外部電極用ペーストに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、積層セラミックコンデンサは、
図３に示すように、チップ状の素体２０と、素体２０の
両端部に形成された一対の外部電極１４、１４とからな
る。素体２０は一般に誘電体層１０と内部電極１２とが
交互に多数層積層された積層体からなる。内部電極１２
のうち、隣り合う内部電極１２、１２は０誘電体層１０
を介して対向し、別々の外部電極１４，１４に電気的に
接続されている。
図３に示すように、チップ状の素体２０と、素体２０の
両端部に形成された一対の外部電極１４、１４とからな
る。素体２０は一般に誘電体層１０と内部電極１２とが
交互に多数層積層された積層体からなる。内部電極１２
のうち、隣り合う内部電極１２、１２は０誘電体層１０
を介して対向し、別々の外部電極１４，１４に電気的に
接続されている。
【０００３】ここで、誘電体層１０としては、例えばチ
タン酸バリウムを主成分とし、これに希土類元素の酸化
物を添加した、耐還元性セラミック組成物が使用されて
いる。また、内部電極１２としては、例えばＮｉ金属粉
末を主成分とする導電性ペーストを焼結させたものから
なる。また、外部電極１４としては、例えばＣｕ粉末等
の卑金属粉末を主成分とする導電性ペーストを焼結させ
たものからなる。
タン酸バリウムを主成分とし、これに希土類元素の酸化
物を添加した、耐還元性セラミック組成物が使用されて
いる。また、内部電極１２としては、例えばＮｉ金属粉
末を主成分とする導電性ペーストを焼結させたものから
なる。また、外部電極１４としては、例えばＣｕ粉末等
の卑金属粉末を主成分とする導電性ペーストを焼結させ
たものからなる。
【０００４】素体２０は、セラミックグリーンシートと
内部電極パターンとを交互に一体的に積層させたチップ
状の積層体を脱バインダした後、非酸化性雰囲気中にお
いて１２００〜１３００℃程度の高温で焼成することに
より製造される。そして、得られた素体の端部に外部電
極用の導電性ペーストを付着させ、酸化性雰囲気中で再
酸化させて積層セラミックコンデンサとする。
内部電極パターンとを交互に一体的に積層させたチップ
状の積層体を脱バインダした後、非酸化性雰囲気中にお
いて１２００〜１３００℃程度の高温で焼成することに
より製造される。そして、得られた素体の端部に外部電
極用の導電性ペーストを付着させ、酸化性雰囲気中で再
酸化させて積層セラミックコンデンサとする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、外部電極用ペースト中の金属粉末はＣｕ粉末等の
卑金属粉末を主成分としているので、外部電極焼き付け
の際にこの卑金属粉末が酸化し、積層セラミックコンデ
ンサの電気抵抗が増大等するおそれがあるので、チップ
状の積層体を最適条件で再酸化することが難しいという
問題があった。
うに、外部電極用ペースト中の金属粉末はＣｕ粉末等の
卑金属粉末を主成分としているので、外部電極焼き付け
の際にこの卑金属粉末が酸化し、積層セラミックコンデ
ンサの電気抵抗が増大等するおそれがあるので、チップ
状の積層体を最適条件で再酸化することが難しいという
問題があった。
【０００６】この発明は、電気的特性が良く、しかも寿
命の長い積層セラミックコンデンサを得るための積層セ
ラミックコンデンサの製造方法とその方法に使用する外
部電極用ペーストを提供することを目的とする。
命の長い積層セラミックコンデンサを得るための積層セ
ラミックコンデンサの製造方法とその方法に使用する外
部電極用ペーストを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る積層セラ
ミックコンデンサの製造方法は、セラミック原料を用い
てセラミックグリーンシートを形成するシート形成工程
と、該セラミックグリーンシートに内部電極パターンを
印刷する印刷工程と、該内部電極パターンを印刷したセ
ラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層工
程と、該積層体を内部電極パターン毎に裁断してチップ
状の積層体を得る裁断工程と、該チップ状の積層体を非
酸化性雰囲気中で焼成する焼成工程と、該焼成工程を経
た該積層体の端部に外部電極用ペーストを付着させる付
着工程と、該外部電極用ペーストを付着させた該積層体
を酸化性雰囲気中で焼成する再酸化工程とを備え、該外
部電極用ペーストが卑金属粉末を主成分とし、該卑金属
粉末がガラスでコーティングされているものである。
ミックコンデンサの製造方法は、セラミック原料を用い
てセラミックグリーンシートを形成するシート形成工程
と、該セラミックグリーンシートに内部電極パターンを
印刷する印刷工程と、該内部電極パターンを印刷したセ
ラミックグリーンシートを積層して積層体を得る積層工
程と、該積層体を内部電極パターン毎に裁断してチップ
状の積層体を得る裁断工程と、該チップ状の積層体を非
酸化性雰囲気中で焼成する焼成工程と、該焼成工程を経
た該積層体の端部に外部電極用ペーストを付着させる付
着工程と、該外部電極用ペーストを付着させた該積層体
を酸化性雰囲気中で焼成する再酸化工程とを備え、該外
部電極用ペーストが卑金属粉末を主成分とし、該卑金属
粉末がガラスでコーティングされているものである。
【０００８】ここで、前記外部電極用ペースト中の卑金
属粉末は、例えばＣｕ粉末、Ｎｉ粉末又はＺｎ粉末であ
ってもよいし、その他の卑金属であってもよい。また、
前記ガラスとしては、Ｂ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラス、Ｚ
ｎ−Ｓｎ−Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓｉをベ
ースとして、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、アルカ
リ土類金属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、適当な金属元
素（Ｂｉ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラスを挙
げることができるが、これら以外のガラスであってもよ
い。
属粉末は、例えばＣｕ粉末、Ｎｉ粉末又はＺｎ粉末であ
ってもよいし、その他の卑金属であってもよい。また、
前記ガラスとしては、Ｂ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラス、Ｚ
ｎ−Ｓｎ−Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓｉをベ
ースとして、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、アルカ
リ土類金属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、適当な金属元
素（Ｂｉ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラスを挙
げることができるが、これら以外のガラスであってもよ
い。
【０００９】また、前記再酸化工程において前記外部電
極用ペーストをガラス軟化点以上の温度で焼き付けても
よい。また、前記再酸化工程において前記外部電極用ペ
ーストを１％以下の酸素分圧下で焼き付けてもよい。
極用ペーストをガラス軟化点以上の温度で焼き付けても
よい。また、前記再酸化工程において前記外部電極用ペ
ーストを１％以下の酸素分圧下で焼き付けてもよい。
【００１０】また、この発明に係る外部電極用ペースト
は、卑金属粉末を主成分とし、該卑金属粉末がガラスで
コーティングされているものである。ここで、前記外部
電極用ペースト中の卑金属粉末は、例えばＣｕ粉末であ
ってもよいし、その他の卑金属であってもよい。また、
前記ガラスとしては、Ｂ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラス、Ｚ
ｎ−Ｓｎ−Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓｉをベ
ースとして、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、アルカ
リ土類金属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、適当な金属元
素（Ｂｉ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラスを挙
げることができるが、これら以外のガラスであってもよ
い。
は、卑金属粉末を主成分とし、該卑金属粉末がガラスで
コーティングされているものである。ここで、前記外部
電極用ペースト中の卑金属粉末は、例えばＣｕ粉末であ
ってもよいし、その他の卑金属であってもよい。また、
前記ガラスとしては、Ｂ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラス、Ｚ
ｎ−Ｓｎ−Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓｉをベ
ースとして、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、アルカ
リ土類金属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、適当な金属元
素（Ｂｉ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラスを挙
げることができるが、これら以外のガラスであってもよ
い。
【００１１】
【実施例】まず、ＢａＣＯ３を０．９６１モル部、Ｍｇ
Ｏを０．０５モル部、ＳｒＣＯ３を０．０１モル部、Ｔ
ｉＯ２を０．９９モル部、Ｙｂ２ Ｏ３を０．００５モ
ル部、各々秤量し、これらの化合物をポットミルに、ア
ルミナボール及び水２．５リットルとともに入れ、１５
時間撹拌混合して、原料混合物を得た。
Ｏを０．０５モル部、ＳｒＣＯ３を０．０１モル部、Ｔ
ｉＯ２を０．９９モル部、Ｙｂ２ Ｏ３を０．００５モ
ル部、各々秤量し、これらの化合物をポットミルに、ア
ルミナボール及び水２．５リットルとともに入れ、１５
時間撹拌混合して、原料混合物を得た。
【００１２】次に、この原料混合物をステンレスポット
に入れ、熱風式乾燥器を用い、１５０℃で４時間、乾燥
し、この乾燥した原料混合物を粗粉砕し、この粗粉砕し
た原料混合物を、トンネル炉を用い、大気中において約
１２００℃で２時間仮焼し、第１基本成分の粉末を得
た。
に入れ、熱風式乾燥器を用い、１５０℃で４時間、乾燥
し、この乾燥した原料混合物を粗粉砕し、この粗粉砕し
た原料混合物を、トンネル炉を用い、大気中において約
１２００℃で２時間仮焼し、第１基本成分の粉末を得
た。
【００１３】また、ＢａＣＯ３ とＺｒＯ２ とが等モル
となるように、それぞれ秤量し、これ等を混合し、乾燥
し、粉砕した後、大気中において約１２５０℃で２時間
仮焼して、第２基本成分の粉末を得た。
となるように、それぞれ秤量し、これ等を混合し、乾燥
し、粉砕した後、大気中において約１２５０℃で２時間
仮焼して、第２基本成分の粉末を得た。
【００１４】そして、９８モル部（９７６．２８ｇ）の
第１基本成分の粉末と、２モル部（２３．８５ｇ）の第
２基本成分の粉末とを混合して１０００ｇの基本成分を
得た。
第１基本成分の粉末と、２モル部（２３．８５ｇ）の第
２基本成分の粉末とを混合して１０００ｇの基本成分を
得た。
【００１５】また、Ｌｉ２ Ｏを１モル部、ＳｉＯ２を
８０モル部、ＢａＣＯ３を３．８モル部、ＣａＣＯ３を
９．５モル部、ＭｇＯを５．７モル部、各々秤量して混
合し、この混合物にアルコールを３００ｃｃ加え、ポリ
エチレンポット中において、アルミナボールを用いて１
０時間撹拌し、その後、大気中において１０００℃の温
度で２時間仮焼した。
８０モル部、ＢａＣＯ３を３．８モル部、ＣａＣＯ３を
９．５モル部、ＭｇＯを５．７モル部、各々秤量して混
合し、この混合物にアルコールを３００ｃｃ加え、ポリ
エチレンポット中において、アルミナボールを用いて１
０時間撹拌し、その後、大気中において１０００℃の温
度で２時間仮焼した。
【００１６】次に、上記仮焼によって得られたものを３
００ｃｃの水とともにアルミナポットに入れ、アルミナ
ボールで１５時間粉砕し、その後、１５０℃で４時間乾
燥させて、第１添加成分の粉末を得た。
００ｃｃの水とともにアルミナポットに入れ、アルミナ
ボールで１５時間粉砕し、その後、１５０℃で４時間乾
燥させて、第１添加成分の粉末を得た。
【００１７】次に、１００重量部（１０００ｇ）の前記
基本成分に、第１添加成分を２重量部（２０ｇ）添加
し、平均粒径が０．５μｍで粒の良く揃った純度９９．
０％以上のＣｒ２ Ｏ３ とＡｌ２ Ｏ３ とを第２添加成
分として夫々０．１重量部（１ｇ）添加し、更に、アク
リル酸エステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の
水溶液からなる有機バインダーを、基本成分、第１添加
成分及び第２添加成分との合計重量に対して１５重量％
添加し、更に、５０重量％の水を加え、これらをボール
ミルに入れて、粉砕及び混合して磁器原料のスラリーを
調製した。
基本成分に、第１添加成分を２重量部（２０ｇ）添加
し、平均粒径が０．５μｍで粒の良く揃った純度９９．
０％以上のＣｒ２ Ｏ３ とＡｌ２ Ｏ３ とを第２添加成
分として夫々０．１重量部（１ｇ）添加し、更に、アク
リル酸エステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の
水溶液からなる有機バインダーを、基本成分、第１添加
成分及び第２添加成分との合計重量に対して１５重量％
添加し、更に、５０重量％の水を加え、これらをボール
ミルに入れて、粉砕及び混合して磁器原料のスラリーを
調製した。
【００１８】次に、上記セラミックスラリーを真空脱泡
機に入れて脱泡し、このセラミックスラリーをリバース
ロールコータに入れ、ここから得られる薄膜成形物を長
尺なポリエステルフィルム上に連続して受け取らせると
共に、同フィルム上でこれを１００℃に加熱して乾燥さ
せ、厚さ約５μｍで１０ｃｍ角の正方形のセラミックグ
リーンシートを得た。
機に入れて脱泡し、このセラミックスラリーをリバース
ロールコータに入れ、ここから得られる薄膜成形物を長
尺なポリエステルフィルム上に連続して受け取らせると
共に、同フィルム上でこれを１００℃に加熱して乾燥さ
せ、厚さ約５μｍで１０ｃｍ角の正方形のセラミックグ
リーンシートを得た。
【００１９】一方、平均粒径１．５μｍのニッケル粉末
１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビト
ール９．１ｇに溶解させたものとを撹拌機に入れ、１０
時間撹拌することにより内部電極用の導電性ペーストを
得た。そして、この導電性ペーストを用い、長さ１４ｍ
ｍ、幅７ｍｍのパターンを５０個有するスクリーンを介
して上記セラミックグリーンシートの片側に内部電極パ
ターンを印刷し、これを乾燥させた。
１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇをブチルカルビト
ール９．１ｇに溶解させたものとを撹拌機に入れ、１０
時間撹拌することにより内部電極用の導電性ペーストを
得た。そして、この導電性ペーストを用い、長さ１４ｍ
ｍ、幅７ｍｍのパターンを５０個有するスクリーンを介
して上記セラミックグリーンシートの片側に内部電極パ
ターンを印刷し、これを乾燥させた。
【００２０】次に、内部電極パターンを印刷したセラミ
ックグリーンシートを、内部電極パターンを上にした状
態で１１枚積層した。この際、隣接する上下のセラミッ
クグリーンシートにおいて、その印刷面が内部電極パタ
ーンの長手方向に約半分程ずれるように配置した。更
に、この積層物の上下両面に内部電極パターンを印刷し
てない保護層用のセラミックグリーンシートを２００μ
ｍの厚さで積層した。
ックグリーンシートを、内部電極パターンを上にした状
態で１１枚積層した。この際、隣接する上下のセラミッ
クグリーンシートにおいて、その印刷面が内部電極パタ
ーンの長手方向に約半分程ずれるように配置した。更
に、この積層物の上下両面に内部電極パターンを印刷し
てない保護層用のセラミックグリーンシートを２００μ
ｍの厚さで積層した。
【００２１】次に、この積層物を約５０℃の温度で厚さ
方向に約４０トンの荷重を加えて圧着させ、しかる後、
この積層物を内部電極パターン毎に格子状に裁断して、
３．２×１．６ｍｍのチップ状の積層体を５０個得た。
方向に約４０トンの荷重を加えて圧着させ、しかる後、
この積層物を内部電極パターン毎に格子状に裁断して、
３．２×１．６ｍｍのチップ状の積層体を５０個得た。
【００２２】次に、このチップ状の積層体を雰囲気焼成
が可能な炉に入れ、大気雰囲気中において１００℃／ｈ
の速度で６００℃まで昇温させ、有機バインダを燃焼除
去させた。
が可能な炉に入れ、大気雰囲気中において１００℃／ｈ
の速度で６００℃まで昇温させ、有機バインダを燃焼除
去させた。
【００２３】その後、炉の雰囲気を大気雰囲気からＨ２
（２体積％）＋Ｎ２ （９８体積％）の還元性雰囲気に
変えた。そして、炉をこの還元性雰囲気とした状態を保
って、積層体チップの加熱温度を６００℃から焼結温度
の１１３０℃まで、１００℃／ｈの速度で昇温して１１
３０℃（最高温度）を３時間保持した。そして、１００
℃／ｈの速度で常温まで降温した。
（２体積％）＋Ｎ２ （９８体積％）の還元性雰囲気に
変えた。そして、炉をこの還元性雰囲気とした状態を保
って、積層体チップの加熱温度を６００℃から焼結温度
の１１３０℃まで、１００℃／ｈの速度で昇温して１１
３０℃（最高温度）を３時間保持した。そして、１００
℃／ｈの速度で常温まで降温した。
【００２４】次に、粒径０．１μｍ〜１．０μｍのＣｕ
粉末に表１に示すガラス成分を０〜５ｗｔ％の範囲でコ
ーティングし、ガラスをコーティングしたＣｕ粉末を得
た。そして、このガラスでコーティングされたＣｕ粉末
とエチルセルロースとブチルカルビトールとを混ぜ、こ
れらを三本ローラーで充分に混練して外部電極用ペース
トを作成した。
粉末に表１に示すガラス成分を０〜５ｗｔ％の範囲でコ
ーティングし、ガラスをコーティングしたＣｕ粉末を得
た。そして、このガラスでコーティングされたＣｕ粉末
とエチルセルロースとブチルカルビトールとを混ぜ、こ
れらを三本ローラーで充分に混練して外部電極用ペース
トを作成した。
【００２５】ここで、ガラスのコーティングは次のよう
にして行なった。ビーカーにテトラエトキシシラン（Ｔ
ＥＯＳ）とアルコキシドとＣｕ粉末を入れ、十分に攪拌
混合した後、少量の水を加え、室温から５０℃程度で数
時間放置した。放置により加水分解反応が進行し、Ｃｕ
粉末の表面にガラス成分が析出し、ガラスでコーティン
グされたＣｕ粉末のゲルが得られる。
にして行なった。ビーカーにテトラエトキシシラン（Ｔ
ＥＯＳ）とアルコキシドとＣｕ粉末を入れ、十分に攪拌
混合した後、少量の水を加え、室温から５０℃程度で数
時間放置した。放置により加水分解反応が進行し、Ｃｕ
粉末の表面にガラス成分が析出し、ガラスでコーティン
グされたＣｕ粉末のゲルが得られる。
【００２６】次に、内部電極の端部が露出するチップ状
の積層体の側面にこの外部電極用ペーストを付着・塗布
し、乾燥させた。そして、このチップ状の積層体を、雰
囲気を酸素分圧１０００ｐｐｍの酸化性雰囲気中におい
て、８００℃、９００℃、１０００℃の３種類の温度で
３時間保持して再酸化処理を行い、その後、室温まで冷
却し、積層セラミックコンデンサを得た。
の積層体の側面にこの外部電極用ペーストを付着・塗布
し、乾燥させた。そして、このチップ状の積層体を、雰
囲気を酸素分圧１０００ｐｐｍの酸化性雰囲気中におい
て、８００℃、９００℃、１０００℃の３種類の温度で
３時間保持して再酸化処理を行い、その後、室温まで冷
却し、積層セラミックコンデンサを得た。
【００２７】そして、このようにして作成した積層セラ
ミックコンデンサの静電容量（μＦ）、ｔａｎδ（％）
及び加速寿命(Life)を求めたところ、表１に示す通りで
あった。ここで、静電容量（μＦ）は、温度２０℃、周
波数１ｋＨｚ、電圧１．０Ｖの条件で測定して求めた。
また、寿命は、１５０℃の恒温槽内で、積層セラミック
コンデンサに７０Ｖの電圧を負荷し、ブレークダウンし
た時間を測定して求めた。
ミックコンデンサの静電容量（μＦ）、ｔａｎδ（％）
及び加速寿命(Life)を求めたところ、表１に示す通りで
あった。ここで、静電容量（μＦ）は、温度２０℃、周
波数１ｋＨｚ、電圧１．０Ｖの条件で測定して求めた。
また、寿命は、１５０℃の恒温槽内で、積層セラミック
コンデンサに７０Ｖの電圧を負荷し、ブレークダウンし
た時間を測定して求めた。
【００２８】
【表１】
【００２９】表１に示された結果から、積層セラミック
コンデンサを再酸化した場合、Ｃｕ粉末がガラスでコー
ティングされていないと静電容量やｔａｎδが悪化する
が、Ｃｕ粉末がガラスでコーティングされているとこの
ような不都合を生ずることなく寿命が延びることがわか
る。
コンデンサを再酸化した場合、Ｃｕ粉末がガラスでコー
ティングされていないと静電容量やｔａｎδが悪化する
が、Ｃｕ粉末がガラスでコーティングされているとこの
ような不都合を生ずることなく寿命が延びることがわか
る。
【００３０】なお、再酸化処理前と再酸化処理後の外部
電極の断面を顕微鏡で観察したところ、再酸化処理前の
外部電極は図１のようになっていたが、再酸化処理後は
図２に示すようになっていた。これらの図において、１
０は誘電体層であり、誘電体層１０は内部電極１２に挟
持され、内部電極１２は外部電極１４に電気的に接続さ
れている。そして、外部電極１４はＣｕ粉末１６からな
り、再酸化処理前のＣｕ粉末１６の表面にはガラス１８
がコーティングされているが、このガラス１８は再酸化
処理によって溶融し、誘電体層１０中に吸収されたもの
と考えられる。
電極の断面を顕微鏡で観察したところ、再酸化処理前の
外部電極は図１のようになっていたが、再酸化処理後は
図２に示すようになっていた。これらの図において、１
０は誘電体層であり、誘電体層１０は内部電極１２に挟
持され、内部電極１２は外部電極１４に電気的に接続さ
れている。そして、外部電極１４はＣｕ粉末１６からな
り、再酸化処理前のＣｕ粉末１６の表面にはガラス１８
がコーティングされているが、このガラス１８は再酸化
処理によって溶融し、誘電体層１０中に吸収されたもの
と考えられる。
【００３１】
【発明の効果】この発明によれば、チップ状の積層体に
再酸化処理を、好ましい条件で、充分に施すことができ
るので、電気的特性に優れ、寿命の長い、信頼性の高い
積層セラミックコンデンサを得ることができるという効
果がある。すなわち、酸化されやすい卑金属粉末をガラ
スでコーティングしているため、再酸化時の酸素分圧を
通常よりも高くすることができ、チップの高寿命化に有
利となる効果がある。
再酸化処理を、好ましい条件で、充分に施すことができ
るので、電気的特性に優れ、寿命の長い、信頼性の高い
積層セラミックコンデンサを得ることができるという効
果がある。すなわち、酸化されやすい卑金属粉末をガラ
スでコーティングしているため、再酸化時の酸素分圧を
通常よりも高くすることができ、チップの高寿命化に有
利となる効果がある。
【００３２】また、この発明によれば、外部電極用ペー
ストの主成分である金属粉末がガラスでコーティングさ
れているので、再酸化処理における外部電極の酸化が防
止され、電気抵抗の増大等のない、電気的特性の良い積
層セラミックコンデンサを得ることができるという効果
がある。
ストの主成分である金属粉末がガラスでコーティングさ
れているので、再酸化処理における外部電極の酸化が防
止され、電気抵抗の増大等のない、電気的特性の良い積
層セラミックコンデンサを得ることができるという効果
がある。
【図１】焼き付ける前の外部電極の状態を示す説明図で
ある。
ある。
【図２】焼き付ける際の外部電極中のガラスの移動状態
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図３】従来の積層セラミックコンデンサの説明図であ
る。
る。
１０ 誘電体層 １２ 内部電極 １４ 外部電極 １６ Ｃｕ粉末 １８ ガラス ２０ 素体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 静野 寿光 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 Ｆターム(参考） 5E001 AB03 AF06 AH01 AH06 AH08 AH09 AJ01 AJ03 5E082 AB03 BC14 BC30 EE04 EE35 FG06 FG26 FG54 GG10 GG11 GG12 GG28 JJ03 JJ12 JJ13 JJ23 LL01 LL02 LL03 MM24 PP06 PP07
Claims (9)
- 【請求項１】 セラミック原料を用いてセラミックグリ
ーンシートを形成するシート形成工程と、該セラミック
グリーンシートに内部電極パターンを印刷する印刷工程
と、該内部電極パターンを印刷したセラミックグリーン
シートを積層して積層体を得る積層工程と、該積層体を
内部電極パターン毎に裁断してチップ状の積層体を得る
裁断工程と、該チップ状の積層体を非酸化性雰囲気中で
焼成する焼成工程と、該焼成工程を経た該積層体の端部
に外部電極用ペーストを付着させる付着工程と、該外部
電極用ペーストを付着させた該積層体を酸化性雰囲気中
で焼成する再酸化工程とを備え、該外部電極用ペースト
が卑金属粉末を主成分とし、該卑金属粉末がガラスでコ
ーティングされていることを特徴とする積層セラミック
コンデンサの製造方法。 - 【請求項２】 前記外部電極用ペースト中の卑金属粉末
がＣｕ粉末、Ｎｉ粉末又はＺｎ粉末であることを特徴と
する請求項１に記載の積層セラミックコンデンサの製造
方法。 - 【請求項３】 前記ガラスがＢ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラ
ス、Ｚｎ−Ｓｎ−Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓ
ｉをベースとして、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、
アルカリ土類金属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、金属元
素（Ｂｉ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラスであ
ることを特徴とする請求項１又は２に記載の積層セラミ
ックコンデンサの製造方法。 - 【請求項４】 前記再酸化工程において前記外部電極用
ペーストをガラス軟化点以上の温度で焼き付けることを
特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の積層セラミ
ックコンデンサの製造方法。 - 【請求項５】 前記再酸化工程において前記外部電極用
ペーストを１％以下の酸素分圧下で焼き付けることを特
徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の積層セラミッ
クコンデンサの製造方法。 - 【請求項６】 前記再酸化工程において前記外部電極用
ペーストを焼き付ける際に前記積層体の再酸化を行なわ
せることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の
積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 【請求項７】 卑金属粉末を主成分とし、該卑金属粉末
がガラスでコーティングされていることを特徴とする外
部電極用ペースト。 - 【請求項８】 前記外部電極用ペースト中の卑金属粉末
がＣｕ粉末であることを特徴とする請求項７に記載の外
部電極用ペースト。 - 【請求項９】 前記ガラスがＢ−Ｓｉ（−Ｐｂ）系ガラ
ス、Ｚｎ−Ｓｎ−Ｓｉ系ガラス、Ｐ−Ｓｉ系ガラス、Ｓ
ｉをベースとして、アルカリ金属（Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ）、
アルカリ土類金属（Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）、金属元
素（Ｂｉ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｓ）を含めたガラスであ
ることを特徴とする請求項７又は８に記載の外部電極用
ペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000125296A JP2001307944A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 積層セラミックコンデンサの製造方法及び外部電極用ペースト |
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| JP2000125296A JP2001307944A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 積層セラミックコンデンサの製造方法及び外部電極用ペースト |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001307944A true JP2001307944A (ja) | 2001-11-02 |
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|---|---|---|---|
| JP2000125296A Pending JP2001307944A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 積層セラミックコンデンサの製造方法及び外部電極用ペースト |
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|---|---|
| JP (1) | JP2001307944A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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