JP2001160508A - R−Fe−B系永久磁石およびその製造方法 - Google Patents

R−Fe−B系永久磁石およびその製造方法

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JP2001160508A
JP2001160508A JP2000276797A JP2000276797A JP2001160508A JP 2001160508 A JP2001160508 A JP 2001160508A JP 2000276797 A JP2000276797 A JP 2000276797A JP 2000276797 A JP2000276797 A JP 2000276797A JP 2001160508 A JP2001160508 A JP 2001160508A
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resin film
permanent magnet
magnet
oxide film
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Masayuki Yoshimura
吉村  公志
Takeshi Nishiuchi
武司 西内
Fumiaki Kikui
文秋 菊井
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 自動車モータに使用される磁石などに求めら
れる優れた耐食性・電気絶縁性・耐熱性を有するポリイ
ミド樹脂被膜を、優れた密着性のもとに磁石表面に有す
るR−Fe−B系永久磁石および溶液法を用いたその簡
便な製造方法を提供すること。 【解決手段】 R−Fe−B系永久磁石表面に、酸化被
膜層を介して、ポリイミド樹脂被膜を有することを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、R−Fe−B系永
久磁石およびその製造方法に関する。より詳細には、自
動車モータに使用される磁石などに求められる優れた耐
食性・電気絶縁性・耐熱性を有するポリイミド樹脂被膜
を、優れた密着性のもとに磁石表面に有するR−Fe−
B系永久磁石およびその簡便な製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】Nd−Fe−B系永久磁石に代表される
R−Fe−B系永久磁石は、Sm−Co系永久磁石に比
べて、資源的に豊富で安価な材料が用いられ、かつ、高
い磁気特性を有していることから、今日様々な分野で使
用されている。しかしながら、該磁石は反応性の高いR
とFeを含むため、大気中で酸化腐食されやすく、何の
表面処理をも行わずに使用した場合には、わずかな酸や
アルカリや水分などの存在によって表面から腐食が進行
して錆が発生し、それに伴って、磁石特性の劣化やばら
つきを招く。さらに、錆が発生した磁石を磁気回路など
の装置に組み込んだ場合、錆が飛散して周辺部品を汚染
するおそれがある。上記の点に鑑み、R−Fe−B系永
久磁石の表面に、優れた耐食性・電気絶縁性・耐熱性を
有する被膜として、ポリイミド樹脂被膜を形成させるこ
とはこれまでにも検討がなされている(たとえば、特開
平9−180922号公報を参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これま
でに提案されている技術は、いずれも二種類の原料モノ
マー(芳香族カルボン酸二無水物と芳香族ジアミン)を
用いた縮合型ポリイミド樹脂被膜を蒸着重合法によって
形成する方法に関するものである。これらの技術は、優
れた性能を有するポリイミド樹脂被膜を形成する方法と
して価値あるものであるが、蒸着重合法を行うためには
大がかりな装置が必要である。また、清浄化などの前処
理を厳格に行わなければならない。したがって、製造コ
ストの上昇を招き、量産化の観点からは必ずしも満足す
べきものではない。そこで、本発明においては、自動車
モータに使用される磁石などに求められる優れた耐食性
・電気絶縁性・耐熱性を有するポリイミド樹脂被膜を、
優れた密着性のもとに磁石表面に有するR−Fe−B系
永久磁石および溶液法を用いたその簡便な製造方法を提
供することを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の点に
鑑み鋭意検討を行った結果、R−Fe−B系永久磁石表
面に酸化被膜層を形成し、その上にポリイミド樹脂被膜
を形成すると、酸化被膜層の存在によって、ポリイミド
樹脂被膜は磁石表面に強固に密着し、優れた耐食性など
の性能を発揮することを知見した。また、酸化被膜層の
上では、ポリイミド樹脂被膜形成反応が効率よく進行
し、溶液法によっても磁石表面に対して優れた密着性を
有する被膜が得られることを知見した。
【0005】本発明は、かかる知見に基づきなされたも
ので、本発明の永久磁石は、請求項1記載の通り、R−
Fe−B系永久磁石表面に、酸化被膜層を介して、ポリ
イミド樹脂被膜を有することを特徴とする。また、請求
項2記載の永久磁石は、請求項1記載の永久磁石におい
て、ポリイミド樹脂被膜が付加型ポリイミド樹脂被膜で
あることを特徴とする。また、請求項3記載の永久磁石
は、請求項2記載の永久磁石において、付加型ポリイミ
ド樹脂被膜がビスアリルナジイミドから得られる被膜で
あることを特徴とする。また、請求項4記載の永久磁石
は、請求項1乃至3のいずれかに記載の永久磁石におい
て、酸化被膜層の膜厚が0.01μm〜2μmであるこ
とを特徴とする。また、請求項5記載の永久磁石は、請
求項1乃至4のいずれかに記載の永久磁石において、ポ
リイミド樹脂被膜の膜厚が1μm〜15μmであること
を特徴とする。また、本発明の永久磁石の製造方法は、
請求項6記載の通り、R−Fe−B系永久磁石表面に、
酸素雰囲気中での酸化処理によって酸化被膜層を形成し
た後、前記酸化被膜層表面に、ポリイミド樹脂被膜形成
処理液を塗布し、熱処理することによってポリイミド樹
脂被膜を形成することを特徴とする。また、請求項7記
載の製造方法は、請求項6記載の製造方法において、酸
素雰囲気中での酸化処理を、酸素濃度が0.01%〜2
0%の常圧下、または酸素圧(分圧)が0.1Pa〜2
×10Paの減圧下、10℃〜300℃にて行うこと
を特徴とする。また、請求項8記載の製造方法は、請求
項6または7記載の製造方法において、ポリイミド樹脂
被膜が付加型ポリイミド樹脂被膜であることを特徴とす
る。また、請求項9記載の製造方法は、請求項8記載の
製造方法において、付加型ポリイミド樹脂被膜がビスア
リルナジイミドから得られる被膜であることを特徴とす
る。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明の永久磁石は、R−Fe−
B系永久磁石表面に、酸化被膜層を介して、ポリイミド
樹脂被膜を有することを特徴とする。
【0007】本発明において、R−Fe−B系永久磁石
表面に酸化被膜層を形成する方法としては、たとえば、
酸素雰囲気中での酸化処理方法、水蒸気を含む雰囲気中
での酸化処理方法(一般的な水蒸気処理を含む)などが
挙げられる。酸素雰囲気中での酸化処理方法には、たと
えば、処理室内で酸素濃度と温度を制御しながら行う方
法や大気中での自然酸化などがある。処理条件として
は、酸素濃度が0.01%〜20%の常圧下、または酸
素圧(分圧)が0.1Pa〜2×10Paの減圧下、
10℃〜300℃にて行うことが望ましい。酸素濃度が
0.01%〜20%の常圧条件は、大気自体を利用した
ものであってもよいし、窒素ガスやアルゴンガスなどの
不活性ガスを用いて所望する成分組成に調整されたもの
であってもよい。酸素圧(分圧)が0.1Pa〜2×1
Paの減圧条件は、酸素圧のみで調整されたもので
あってもよいし、窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性
ガスを用いて所望する成分組成や圧力に調整されたもの
であってもよい。酸化処理を10℃〜300℃で行うこ
とが望ましい理由は、処理温度が高くなるにつれて、緻
密で薄い酸化被膜層を形成することが困難となり、ま
た、酸化被膜層の表面粗度が粗くなることによって、ポ
リイミド樹脂被膜の形成に悪影響を及ぼし、結果的に優
れた耐食性などの性能を有する磁石が得られないおそれ
があるからである。上記の処理条件にて処理室内で酸化
処理を行う場合の処理時間は、通常、5分〜48時間で
ある。酸素雰囲気中での酸化処理方法は、上記のような
方法の他にも、磁石表面に対するショットブラスト処
理、弱電圧下でのスパッタ処理や高周波による酸素プラ
ズマ形成下での酸化処理などがある。水蒸気を含む雰囲
気中での酸化処理方法(一般的な水蒸気処理を含む)
は、水蒸気濃度と温度を制御しながら行うものであり、
その具体的な処理条件は、たとえば、水蒸気濃度が0.
01%〜100%、処理温度が10℃〜300℃であ
る。
【0008】上記のような方法によって形成される酸化
被膜層の膜厚は、0.01μm以上であることが望まし
い。膜厚が0.01μm未満であると磁石表面へのポリ
イミド樹脂被膜の優れた密着性に寄与しないおそれがあ
るからである。一方、酸化被膜層の膜厚は、2μm以下
であることが望ましい。膜厚が2μmを超えると磁石表
面へのポリイミド樹脂被膜の優れた密着性を逆に阻害す
るおそれがあるからである。さらに、磁石自体の小型化
に基づく要請などを加味すれば、酸化被膜層の膜厚は、
1μm以下であることがより望ましい。
【0009】次に、酸化被膜層の上に、ポリイミド樹脂
被膜を形成する方法について述べる。ポリイミド樹脂被
膜は、付加型ポリイミド樹脂被膜であっても縮合型ポリ
イミド樹脂被膜であってもよいが、望ましくは、付加型
ポリイミド樹脂被膜がよい。付加型ポリイミド樹脂は、
樹脂分子の末端に不飽和基を有し、付加反応やラジカル
反応による三次元架橋により得られるものであるが、硬
化に際して水が生成することがないので、磁石が酸化腐
食されやすいことを考慮すれば非常に都合のよい樹脂で
ある。付加型ポリイミド樹脂としては、無水アリルナジ
ック酸とジアミンから合成され、脱水閉環反応が完結し
た両末端にアリル基を有するイミドモノマーであるビス
アリルナジイミド(BANI:図1参照)から得られる
樹脂の他、末端ナジック酸型ポリイミド樹脂(PM
R)、ビスマレイミド型ポリイミド樹脂、末端アセチレ
ン型ポリイミド樹脂など公知のものを使用することがで
きる。
【0010】
【化1】
【0011】縮合型ポリイミド樹脂としては、ピロメリ
ット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテ
ルから脱水縮合反応を経て得られるピロメリット型ポリ
イミド樹脂が挙げられる。縮合型ポリイミド樹脂は、硬
化に際して水が生成するが、酸化被膜層は、磁石表面の
いわば保護層として水が磁石表面に接触しにくくする役
割を果たすので、優れた密着性を有するポリイミド樹脂
被膜を磁石表面に形成することができる。
【0012】酸化被膜層の上へのポリイミド樹脂被膜の
形成は、ポリイミド樹脂被膜形成処理液を酸化被膜層表
面に塗布し、熱処理する方法(いわゆる溶液法)によっ
て行うことが、蒸着重合法と比較して簡便に行え、製造
コストの上昇を招くことなく量産化が可能となる点にお
いて望ましい。
【0013】ポリイミド樹脂被膜形成処理液は、ポリイ
ミド樹脂自体、ポリイミド樹脂の原料となるモノマーや
オリゴマーなどを必要に応じて有機溶媒に溶解して調製
すればよい。たとえば、ビスアリルナジイミドは、かさ
高い構造を有した低分子量のイミドモノマーであるの
で、脂肪族炭化水素、脂肪族アルコールを除くほとんど
の有機溶媒に可溶である。また、ピロメリット型ポリイ
ミド樹脂被膜を形成するための溶液は、たとえば、ピロ
メリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエ
ーテルを高極性溶媒のN−メチル−2−ピロリドンに溶
解して調製すればよい。
【0014】ポリイミド樹脂被膜形成処理液の酸化被膜
層表面への塗布方法としては、ディップコーティング
法、スプレー法、スピンコート法などを用いることがで
きる。
【0015】酸化被膜層表面にポリイミド樹脂被膜形成
処理液を塗布した後の熱処理は、200℃〜300℃で
行うことが望ましい。200℃未満であると硬化反応が
十分に進行しないおそれがあり、300℃を越えると被
膜の劣化を招くおそれがあるからである。熱処理時間
は、通常、5分〜24時間である。なお、必要に応じ
て、熱処理を行う前に、有機溶媒を除去するための乾燥
処理(たとえば、60℃〜90℃の条件下、5分〜1時
間)を行ってもよい。
【0016】酸化被膜層の上へのポリイミド樹脂被膜の
形成は、上記のポリイミド樹脂被膜形成処理液を酸化被
膜層表面に塗布し、熱処理する方法に限られるものでは
なく、蒸着重合法によって行ってもよい。たとえば、酸
化被膜層の上にピロメリット型ポリイミド樹脂被膜を蒸
着重合法によって形成する場合は、酸化被膜層を有する
磁石を真空度1Pa〜10−3Paの真空容器内に収容
し、ピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフ
ェニルエーテルを200℃〜250℃で加熱蒸着してポ
リアミック酸被膜を形成した後、真空度10−3Pa〜
10−5Paの真空下、280℃〜380℃でイミド化
処理を行う方法が挙げられる(特開平9−180922
号公報を参照)。
【0017】上記の方法によって形成されるポリイミド
樹脂被膜は、酸化被膜層を介して、磁石表面に強固に密
着しているので、膜厚が1μm以上であれば優れた耐食
性などの性能を発揮する。なお、ポリイミド樹脂被膜の
膜厚の上限は限定されるものではないが、磁石自体の小
型化に基づく要請から、15μm以下が望ましく、10
μm以下がより望ましい。なお、必要に応じて、酸化被
膜層表面へのポリイミド樹脂被膜形成処理液の塗布、そ
れに続く熱処理を複数回繰り返して行ってもよいことは
いうまでもない。さらに、ポリイミド樹脂被膜の各種性
能(耐磨耗性や滑り性など)を高めるために、被膜中に
チタンやニッケルなどの金属の微粒子、アルミナやシリ
カなどのセラミックスや金属酸化物などの微粒子、テフ
ロン(登録商標)などの合成樹脂の微粒子、その他、有
機顔料や無機顔料として使用される各種微粒子を分散さ
せてもよい。たとえば、被膜中に粒径1μmのテフロン
球を20重量%程度分散させれば、ポリイミド樹脂被膜
の滑り性を向上させることができる。添加する微粒子の
大きさや形状は、形成される被膜の性能や膜厚などを考
慮して適宜選択されるものであるが、通常、粒径0.0
1μm〜5μmの微粒子を使用することができる。
【0018】本発明において用いられるR−Fe−B系
永久磁石における希土類元素(R)は、Nd、Pr、D
y、Ho、Tb、Smのうち少なくとも1種、あるいは
さらに、La、Ce、Gd、Er、Eu、Tm、Yb、
Lu、Yのうち少なくとも1種を含むものが望ましい。
また、通常はRのうち1種をもって足りるが、実用上は
2種以上の混合物(ミッシュメタルやジジムなど)を入
手上の便宜などの理由によって用いることもできる。R
−Fe−B系永久磁石におけるRの含量は、10原子%
未満であると結晶構造がα−Feと同一構造の立方晶組
織となるため、高磁気特性、特に高い保磁力(HcJ)
が得られず、一方、30原子%を超えるとRリッチな非
磁性相が多くなり、残留磁束密度(Br)が低下して優
れた特性の永久磁石が得られないので、組成の10原子
%〜30原子%であることが望ましい。
【0019】Feの含量は、65原子%未満であるとB
rが低下し、80原子%を超えると高いHcJが得られ
ないので、65原子%〜80原子%の含有が望ましい。
また、Feの一部をCoで置換することによって、得ら
れる磁石の磁気特性を損なうことなしに温度特性を改善
することができるが、Co置換量がFeの20原子%を
超えると磁気特性が劣化するので望ましくない。Co置
換量が5原子%〜15原子%の場合、Brは置換しない
場合に比較して増加するため、高磁束密度を得るのに望
ましい。
【0020】Bの含量は、2原子%未満であると菱面体
構造が主相となり、高いHcJは得られず、28原子%
を超えるとBリッチな非磁性相が多くなり、Brが低下
して優れた特性の永久磁石が得られないので、2原子%
〜28原子%の含有が望ましい。また、磁石の製造性の
改善や低価格化のために、2.0wt%以下のP、2.
0wt%以下のSのうち、少なくとも1種、合計量で
2.0wt%以下を含有していてもよい。さらに、Bの
一部を30wt%以下のCで置換することによって、磁
石の耐食性を改善することができる。
【0021】さらに、Al、Ti、V、Cr、Mn、B
i、Nb、Ta、Mo、W、Sb、Ge、Sn、Zr、
Ni、Si、Zn、Hf、Gaのうち少なくとも1種の
添加は、保磁力や減磁曲線の角型性の改善、製造性の改
善、低価格化に効果がある。なお、その添加量は、最大
エネルギー積(BH)maxを159kJ/m以上と
するためには、Brが少なくとも0.9T以上必要とな
るので、該条件を満たす範囲で添加することが望まし
い。なお、R−Fe−B系永久磁石には、R、Fe、B
以外に工業的生産上不可避な不純物を含有するものでも
差し支えない。
【0022】また、本発明において用いられるR−Fe
−B系永久磁石の中で、平均結晶粒径が1μm〜80μ
mの範囲にある正方晶系の結晶構造を有する化合物を主
相とし、体積比で1%〜50%の非磁性相(酸化物相を
除く)を含むことを特徴とする磁石は、HcJ≧80k
A/m、Br>0.4T、(BH)max≧80kJ/
を示し、(BH)maxの最大値は199kJ/m
以上に達する。
【0023】なお、本発明のポリイミド樹脂被膜の上
に、更に別の被膜を積層形成してもよい。このような構
成を採用することによって、ポリイミド樹脂被膜の特性
を増強・補完したり、さらなる機能性を付与したりする
ことができる。
【0024】
【実施例】たとえば、米国特許4770723号公報に
記載されているようにして、公知の鋳造インゴットを粉
砕し、微粉砕後に成形、焼結、熱処理、表面加工を行う
ことによって得られた17Nd−1Pr−75Fe−7
B組成の23mm×10mm×6mm寸法の焼結磁石
(以下「磁石体試験片」と称する)を用いて以下の実験
を行った。以下の実験において、酸化被膜層の膜厚およ
びポリイミド樹脂被膜の膜厚は破断面の電子顕微鏡観察
によって測定した。なお、本発明は、R−Fe−B系焼
結磁石への適用に限られるものではなく、R−Fe−B
系ボンド磁石に対しても適用できるものである。
【0025】実験例1:11個の磁石体試験片をサンプ
ルとして用い、以下の実験を行った。各磁石体試験片を
バレル研磨し、洗浄した後、直ちに処理室内に収容し、
それぞれ表1と表2に示す条件にて酸化処理を行い、磁
石体試験片表面に酸化被膜層を形成した。形成された酸
化被膜層の膜厚は表3の通りである。
【0026】
【表1】
【0027】
【表2】
【0028】
【表3】
【0029】次に、各サンプルに対し、BANI−M
(商品名・丸善石油化学社製)を、有機溶媒としてトル
エンを用いて20%(vol/vol)に希釈した溶液
を、ポリイミド樹脂被膜形成処理液として、スプレー法
によって塗布した。これを80℃にて10分乾燥した
後、250℃にて15分熱処理を行い、酸化被膜層表面
にポリイミド樹脂被膜を形成した。形成されたポリイミ
ド樹脂被膜の膜厚は5μmであった。なお、サンプル2
とサンプル5については、上記のスプレー法による塗布
と乾燥をもう一度繰り返して行った後に熱処理を行っ
て、膜厚が10μmのポリイミド樹脂被膜を形成した。
各サンプルを温度50℃×相対湿度90%の高温高湿条
件下に放置して耐食性加速試験を行った。結果を表4に
示す。結果として、いずれのサンプルも試験開始から1
00時間までは錆は発生せず、優れた耐食性を示した。
サンプル1とサンプル2の耐食性が他のサンプルに比べ
て劣るのは、高温で酸化被膜層を形成したことで、形成
された酸化被膜層は緻密性に劣り、また膜厚も厚くなっ
て、磁石体試験片表面に対するポリイミド樹脂被膜の密
着性が弱まったためと考えられた。
【0030】
【表4】
【0031】各サンプルの電気絶縁性を体積抵抗率
(ρ)によって評価したところ、いずれのサンプルも1
×1015Ω・cm以上という優れた値を示した。な
お、体積抵抗率は、サンプルに電極付けを行い、被膜表
面と磁石間の抵抗を測定し、ρ=R・S/lの数式から
求めた(R:抵抗(Ω)、S:電極面積(cm)、
l:ポリイミド樹脂被膜膜厚(cm))。また、耐熱性
を熱変形温度によって評価したところ、いずれのサンプ
ルも280℃以上という優れた値を示した。なお、熱変
形温度は、大気中20時間その温度に放置して被膜の変
色、亀裂などが生じる温度とした。
【0032】比較例:2個の磁石体試験片をサンプルと
して用い、以下の実験を行った。実験例1と同様に、両
磁石体試験片をバレル研磨し、洗浄した。次にアルゴン
雰囲気としたチャンバー内にてサンドペーパーを用いて
磁石体試験片表面を研磨した後、実験例1で使用したも
のと同じポリイミド樹脂被膜形成処理液を使用し、実験
例1と同じ条件にて、磁石体試験片表面に直接、膜厚が
5μmのポリイミド樹脂被膜を形成した。なお、一方の
サンプルについては、スプレー法による塗布と乾燥をも
う一度繰り返して行った後に熱処理を行って、膜厚が1
0μmのポリイミド樹脂被膜を形成した。両サンプルを
温度50℃×相対湿度90%の高温高湿条件下に放置し
て耐食性加速試験を行った。その結果、膜厚が5μmの
ポリイミド樹脂被膜を有するサンプルは48時間で被膜
剥離と発錆を招いた。膜厚が10μmのポリイミド樹脂
被膜を有するサンプルは60時間で被膜剥離と発錆を招
いた。
【0033】実験例2:実験例1と同様、11個の磁石
体試験片をサンプルとして用い、実験例1と同様の条件
にてその表面に酸化被膜層を形成した後、実験例1にお
けるポリイミド樹脂被膜形成処理液の調製に用いたトル
エンの代わりにキシレンとメチルイソブチルケトンの混
合溶媒(容積比65:35)を用いる以外は実験例1と
同様の条件、膜厚にて酸化被膜層表面にポリイミド樹脂
被膜を形成した。各サンプルに対して実験例1と同様の
耐食性加速試験、電気絶縁性評価、耐熱性評価を行った
ところ、いずれのサンプルも実験例1のサンプルと同様
の結果を示した。
【0034】
【発明の効果】本発明のR−Fe−B系永久磁石表面
に、酸化被膜層を介して、ポリイミド樹脂被膜を有する
永久磁石は、ポリイミド樹脂被膜が、酸化被膜層の存在
によって、磁石表面に強固に密着しており、優れた耐食
性などの性能を発揮する。また、酸化被膜層の上では、
ポリイミド樹脂被膜形成反応が効率よく進行するので、
溶液法によっても磁石表面に対して優れた密着性を有す
るポリイミド樹脂被膜を形成することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊井 文秋 大阪府三島郡島本町江川2丁目15番17号 住友特殊金属株式会社山崎製作所内 Fターム(参考) 5E062 CC03 CD04 CD05 CG02 CG03 CG07

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 R−Fe−B系永久磁石表面に、酸化被
    膜層を介して、ポリイミド樹脂被膜を有することを特徴
    とする永久磁石。
  2. 【請求項2】 ポリイミド樹脂被膜が付加型ポリイミド
    樹脂被膜であることを特徴とする請求項1記載の永久磁
    石。
  3. 【請求項3】 付加型ポリイミド樹脂被膜がビスアリル
    ナジイミドから得られる被膜であることを特徴とする請
    求項2記載の永久磁石。
  4. 【請求項4】 酸化被膜層の膜厚が0.01μm〜2μ
    mであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに
    記載の永久磁石。
  5. 【請求項5】 ポリイミド樹脂被膜の膜厚が1μm〜1
    5μmであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれ
    かに記載の永久磁石。
  6. 【請求項6】 R−Fe−B系永久磁石表面に、酸素雰
    囲気中での酸化処理によって酸化被膜層を形成した後、
    前記酸化被膜層表面に、ポリイミド樹脂被膜形成処理液
    を塗布し、熱処理することによってポリイミド樹脂被膜
    を形成することを特徴とする永久磁石の製造方法。
  7. 【請求項7】 酸素雰囲気中での酸化処理を、酸素濃度
    が0.01%〜20%の常圧下、または酸素圧(分圧)
    が0.1Pa〜2×10Paの減圧下、10℃〜30
    0℃にて行うことを特徴とする請求項6記載の製造方
    法。
  8. 【請求項8】 ポリイミド樹脂被膜が付加型ポリイミド
    樹脂被膜であることを特徴とする請求項6または7記載
    の製造方法。
  9. 【請求項9】 付加型ポリイミド樹脂被膜がビスアリル
    ナジイミドから得られる被膜であることを特徴とする請
    求項8記載の製造方法。
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