JPH11307328A - 耐食性永久磁石およびその製造方法 - Google Patents
耐食性永久磁石およびその製造方法Info
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- JPH11307328A JPH11307328A JP10123956A JP12395698A JPH11307328A JP H11307328 A JPH11307328 A JP H11307328A JP 10123956 A JP10123956 A JP 10123956A JP 12395698 A JP12395698 A JP 12395698A JP H11307328 A JPH11307328 A JP H11307328A
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- Y10T428/12028—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, etc.]
- Y10T428/12049—Nonmetal component
- Y10T428/12056—Entirely inorganic
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｆｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石下地との密着性にす
ぐれ、耐摩耗性、耐食性の改善、特に温度８０℃、相対
湿度９０％の雰囲気条件下て長時間放置した場合の初期
磁気特性からの劣化を極力少なくし、安定した高磁石特
性、耐摩耗性、電気絶縁性、耐食性を有するＦｅ‐Ｂ‐
Ｒ系永久磁石及びその製造方法の提供。 【解決手段】 磁石体表面をイオンスパッター法等によ
り清浄化した後、前記磁石体表面にイオンプレーティン
グ法等の気相成膜法により、ＡｌまたはＴｉ被膜を形成
後、Ｏ2ガス単体又はＯ2含有希ガスを導入しながらイオ
ンプレーティング等の気相成膜法により、アルミニウム
酸化物被膜を形成すると、被膜の密着性が著しく改善さ
れ、優れた耐食性が得られ、被着した耐食性金属被膜の
耐食性、耐摩耗性、電気絶縁性により、その磁石特性の
安定したＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石が得られる。
ぐれ、耐摩耗性、耐食性の改善、特に温度８０℃、相対
湿度９０％の雰囲気条件下て長時間放置した場合の初期
磁気特性からの劣化を極力少なくし、安定した高磁石特
性、耐摩耗性、電気絶縁性、耐食性を有するＦｅ‐Ｂ‐
Ｒ系永久磁石及びその製造方法の提供。 【解決手段】 磁石体表面をイオンスパッター法等によ
り清浄化した後、前記磁石体表面にイオンプレーティン
グ法等の気相成膜法により、ＡｌまたはＴｉ被膜を形成
後、Ｏ2ガス単体又はＯ2含有希ガスを導入しながらイオ
ンプレーティング等の気相成膜法により、アルミニウム
酸化物被膜を形成すると、被膜の密着性が著しく改善さ
れ、優れた耐食性が得られ、被着した耐食性金属被膜の
耐食性、耐摩耗性、電気絶縁性により、その磁石特性の
安定したＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、高磁気特性を有
しかつ密着性に優れ、耐食性、耐酸性、耐アルカリ性、
耐摩耗性、電気絶縁性にすぐれた耐食性被膜を設けたＦ
ｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石に係り、磁石表面にＡｌまたはＴ
ｉ被膜を介してアルミニウム酸化物被膜層を特定厚みで
設け、耐食性、特に８０℃、相対湿度９０％の雰囲気に
長時間放置した場合の初期磁気特性からの劣化が少な
く、極めて安定した磁気特性を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永
久磁石を得る、耐食性永久磁石およびその製造方法に関
する。
しかつ密着性に優れ、耐食性、耐酸性、耐アルカリ性、
耐摩耗性、電気絶縁性にすぐれた耐食性被膜を設けたＦ
ｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石に係り、磁石表面にＡｌまたはＴ
ｉ被膜を介してアルミニウム酸化物被膜層を特定厚みで
設け、耐食性、特に８０℃、相対湿度９０％の雰囲気に
長時間放置した場合の初期磁気特性からの劣化が少な
く、極めて安定した磁気特性を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永
久磁石を得る、耐食性永久磁石およびその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】先にＮｄやＰｒを中心とする資源的に豊
富な軽希土類を用いてＢ，Ｆｅを主成分として高価なＳ
ｍゃＣｏを含有せず、従来の希土類コバルト磁石の最高
特性を大幅に超える新しい高性能磁石としてＦｅ‐Ｂ‐
Ｒ系永久磁石が提案されている（特開昭５９−４６００
８号公報、特開昭５９−８９４０１号公報）。
富な軽希土類を用いてＢ，Ｆｅを主成分として高価なＳ
ｍゃＣｏを含有せず、従来の希土類コバルト磁石の最高
特性を大幅に超える新しい高性能磁石としてＦｅ‐Ｂ‐
Ｒ系永久磁石が提案されている（特開昭５９−４６００
８号公報、特開昭５９−８９４０１号公報）。
【０００３】前記磁石合金のキュリー点は一般に３００
℃〜３７０℃であるが、Ｆｅの一部をＣｏにて置換する
ことにより、より高いキュリー点を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ
系永久磁石（特開昭５９−６４７３３号、特開昭５９−
１３２１０４号）を得ている。
℃〜３７０℃であるが、Ｆｅの一部をＣｏにて置換する
ことにより、より高いキュリー点を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ
系永久磁石（特開昭５９−６４７３３号、特開昭５９−
１３２１０４号）を得ている。
【０００４】さらに、前記Ｃｏ含有のＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系希
土類永久磁石と同等以上のキュリー点並びにより高い
（ＢＨ）ｍａｘを有し、その温度特性、特にｉＨｃを向
上させるため、希土類元素（Ｒ）としてＮｄやＰｒ等の
軽希土類を中心としたＣｏ含有のＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系希土類
永久磁石のＲの一部にＤｙ、Ｔｂ等の重希土類のうち少
なくとも１種を含有することにより、２５ＭＧＯｅ以上
の種めて高い（ＢＨ）ｍａｘを保有したままで、ｉＨｃ
をさらに向上させたＣｏ含有のＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系希土類永
久磁石が提案（特開昭６０−３４００５号公報）されて
いる。
土類永久磁石と同等以上のキュリー点並びにより高い
（ＢＨ）ｍａｘを有し、その温度特性、特にｉＨｃを向
上させるため、希土類元素（Ｒ）としてＮｄやＰｒ等の
軽希土類を中心としたＣｏ含有のＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系希土類
永久磁石のＲの一部にＤｙ、Ｔｂ等の重希土類のうち少
なくとも１種を含有することにより、２５ＭＧＯｅ以上
の種めて高い（ＢＨ）ｍａｘを保有したままで、ｉＨｃ
をさらに向上させたＣｏ含有のＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系希土類永
久磁石が提案（特開昭６０−３４００５号公報）されて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
すぐれた磁気特性を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系磁気異方性焼
結体からなる永久磁石は主成分として、空気中で酸化し
易い希土類元素および鉄からなる特有の組成、組織を有
するため、磁気回路に組み込んだ場合に、磁石表面に生
成する酸化物により、磁気回路の出力低下及び磁気回路
間のばらつきを惹起し、また、表面酸化物の脱落による
周辺機器への汚染の問題があった。
すぐれた磁気特性を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系磁気異方性焼
結体からなる永久磁石は主成分として、空気中で酸化し
易い希土類元素および鉄からなる特有の組成、組織を有
するため、磁気回路に組み込んだ場合に、磁石表面に生
成する酸化物により、磁気回路の出力低下及び磁気回路
間のばらつきを惹起し、また、表面酸化物の脱落による
周辺機器への汚染の問題があった。
【０００６】そこで上記のＦｅ−Ｂ−Ｒ系永久磁石の耐
食性改善のため、磁石体表面に、無電解めっき法あるい
は電解めっき法により耐食性金属めっき層を被覆した永
久磁石（特公平３−７４０１２号公報）が提案されてい
る。
食性改善のため、磁石体表面に、無電解めっき法あるい
は電解めっき法により耐食性金属めっき層を被覆した永
久磁石（特公平３−７４０１２号公報）が提案されてい
る。
【０００７】このめっき法では永久磁石体が焼結体で有
孔性のため、この孔内にめっき前処理での酸性溶液また
はアルカリ溶液が残留し、経年変化とともに腐食する恐
れがあり、また磁石体の耐薬品性が劣るため、めっき時
に磁石表面が腐食されて密着性、防食性が劣る問題があ
った。
孔性のため、この孔内にめっき前処理での酸性溶液また
はアルカリ溶液が残留し、経年変化とともに腐食する恐
れがあり、また磁石体の耐薬品性が劣るため、めっき時
に磁石表面が腐食されて密着性、防食性が劣る問題があ
った。
【０００８】また、前記耐食性めっき層を設けても、温
度６０℃、相対湿度９０％の耐食性試験で１００時間放
置にて磁気特性は初期磁気特性の１０％以上劣化し、非
常に不安定であった。
度６０℃、相対湿度９０％の耐食性試験で１００時間放
置にて磁気特性は初期磁気特性の１０％以上劣化し、非
常に不安定であった。
【０００９】そのためＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石の耐食性
改善向上のため、前記磁石表面にイオンプレーティング
法、イオンスパッタリング法、蒸着法等により、Ａｌ、
Ｔｉ、Ａｌ2Ｏ3被膜を被着して耐食性の改善向上するこ
とが提案（特公平５‐１５０４３公報）されている。
改善向上のため、前記磁石表面にイオンプレーティング
法、イオンスパッタリング法、蒸着法等により、Ａｌ、
Ｔｉ、Ａｌ2Ｏ3被膜を被着して耐食性の改善向上するこ
とが提案（特公平５‐１５０４３公報）されている。
【００１０】しかし、Ａｌ2Ｏ3被膜はＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系磁
石体と熱膨張係数、延性等が異なるため密着性が悪く、
またＡｌ、Ｔｉ被膜は密着性は良好であるが反応性が高
く外部環境により局部的な錆発生があり、また耐摩耗性
が低い等の問題があった。
石体と熱膨張係数、延性等が異なるため密着性が悪く、
またＡｌ、Ｔｉ被膜は密着性は良好であるが反応性が高
く外部環境により局部的な錆発生があり、また耐摩耗性
が低い等の問題があった。
【００１１】また、Ａｌ被膜の耐食性向上にはＡｌ被膜
したのち、表面をクロム酸塩処理する方法が提案（特公
平６−６６１７３号）されているが、クロム酸塩処理は
環境上有害な６価クロムを用いるため廃液処理が複雑で
ある等の問題があった。
したのち、表面をクロム酸塩処理する方法が提案（特公
平６−６６１７３号）されているが、クロム酸塩処理は
環境上有害な６価クロムを用いるため廃液処理が複雑で
ある等の問題があった。
【００１２】この発明は、Ｆｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石下地
との密着性にすぐれ、耐摩耗性、耐食性の改善向上を目
的とし、特に温度８０℃、相対湿度９０％の雰囲気条件
下て長時間放置した場合の初期磁気特性からの劣化を極
力少なくし、安定した高磁石特性、耐摩耗性、電気絶縁
性、耐食性を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石及びその製
造方法の提供を目的としている。
との密着性にすぐれ、耐摩耗性、耐食性の改善向上を目
的とし、特に温度８０℃、相対湿度９０％の雰囲気条件
下て長時間放置した場合の初期磁気特性からの劣化を極
力少なくし、安定した高磁石特性、耐摩耗性、電気絶縁
性、耐食性を有するＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石及びその製
造方法の提供を目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】発明者らは、すぐれた耐
食性、特に温度８０℃、相対湿度９０％の雰囲気条件下
で長時間放置した場合においても、下地との密着性にす
ぐれ、被着した耐食性金属被膜の耐食性、耐摩耗性、電
気絶縁性により、その磁気特性の安定したＦｅ‐Ｂ‐Ｒ
系永久磁石を目的に永久磁石体表面へのアルミニウム酸
化物被膜形成法について種々検討した。
食性、特に温度８０℃、相対湿度９０％の雰囲気条件下
で長時間放置した場合においても、下地との密着性にす
ぐれ、被着した耐食性金属被膜の耐食性、耐摩耗性、電
気絶縁性により、その磁気特性の安定したＦｅ‐Ｂ‐Ｒ
系永久磁石を目的に永久磁石体表面へのアルミニウム酸
化物被膜形成法について種々検討した。
【００１４】発明者らは、鋭意検討の結果、磁石体表面
をイオンスパッター等により清浄化した後、前記磁石体
表面にイオンプレーティング法、イオンスパッタリング
法等の気相成膜法によりＡｌまたはＴｉ被膜を所要膜厚
みに形成後、特定条件のＯ2含有ガスを導入しながら気
相成膜法により所要膜厚のアルミニウム酸化物被膜を形
成することにより、前記目的が達成できることを知見し
た。
をイオンスパッター等により清浄化した後、前記磁石体
表面にイオンプレーティング法、イオンスパッタリング
法等の気相成膜法によりＡｌまたはＴｉ被膜を所要膜厚
みに形成後、特定条件のＯ2含有ガスを導入しながら気
相成膜法により所要膜厚のアルミニウム酸化物被膜を形
成することにより、前記目的が達成できることを知見し
た。
【００１５】すなわち、発明者らは、磁石表面に存在す
る酸化物は、ＡｌまたはＴｉ被膜との界面でＡｌまたは
Ｔｉとの反応により、磁石表面の酸化物は一部もしくは
大分部が還元され、またＡｌまたはＴｉ被膜上にアルミ
ニウム酸化物被膜を生成することにより、Ａｌとアルミ
ニウム酸化物の界面ではＡｌＯx（０＜ｘ＜１）が生成
し、またＴｉの場合、アルミニウム酸化物との界面では
（Ｔｉ‐Ａｌ）Ｏx（０＜ｘ＜１）の複合物が生成して
ＡｌまたはＴｉ被膜とアルミニウム酸化物被膜との密着
性を著しく改善できることを知見し、この発明を完成し
た。
る酸化物は、ＡｌまたはＴｉ被膜との界面でＡｌまたは
Ｔｉとの反応により、磁石表面の酸化物は一部もしくは
大分部が還元され、またＡｌまたはＴｉ被膜上にアルミ
ニウム酸化物被膜を生成することにより、Ａｌとアルミ
ニウム酸化物の界面ではＡｌＯx（０＜ｘ＜１）が生成
し、またＴｉの場合、アルミニウム酸化物との界面では
（Ｔｉ‐Ａｌ）Ｏx（０＜ｘ＜１）の複合物が生成して
ＡｌまたはＴｉ被膜とアルミニウム酸化物被膜との密着
性を著しく改善できることを知見し、この発明を完成し
た。
【００１６】この発明は、主相が正方晶相からなるＦｅ
‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石体表面を清浄化した後、前記磁石体
表面に膜厚０．０６μｍ〜３０μｍのＡｌまたはＴｉ被
膜を気相成膜法により形成後、Ｏ2単体またはＯ2ガスを
１０％以上含むＡｒ、Ｈｅ等の希ガス雰囲気中で気相成
膜法により、膜厚０．１〜１０μｍの非晶質を主体とす
るアルミニウム酸化物被膜層を形成することを特徴とす
る耐食性永久磁石とその製造方法である。
‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石体表面を清浄化した後、前記磁石体
表面に膜厚０．０６μｍ〜３０μｍのＡｌまたはＴｉ被
膜を気相成膜法により形成後、Ｏ2単体またはＯ2ガスを
１０％以上含むＡｒ、Ｈｅ等の希ガス雰囲気中で気相成
膜法により、膜厚０．１〜１０μｍの非晶質を主体とす
るアルミニウム酸化物被膜層を形成することを特徴とす
る耐食性永久磁石とその製造方法である。
【００１７】
【発明の実施の形態】この発明において、Ｆｅ‐Ｂ‐Ｒ
系永久磁石体表面に被着するＡｌ被膜、Ｔｉ被膜、アル
ミニウム酸化物被膜の形成方法としては、イオンプレー
ティング法、イオンスパッタリング法、蒸着法等のいわ
ゆる気相成膜法が適宜利用できるが、被膜緻密性、均一
性、被膜形成速度などの理由からイオンプレーティング
法、反応イオンプレーティング法が好ましい。
系永久磁石体表面に被着するＡｌ被膜、Ｔｉ被膜、アル
ミニウム酸化物被膜の形成方法としては、イオンプレー
ティング法、イオンスパッタリング法、蒸着法等のいわ
ゆる気相成膜法が適宜利用できるが、被膜緻密性、均一
性、被膜形成速度などの理由からイオンプレーティング
法、反応イオンプレーティング法が好ましい。
【００１８】また、反応被膜生成時の基板となる永久磁
石の温度は２００℃〜５００℃に設定するのが好まし
く、２００℃未満では基板磁石との反応密着が十分でな
く、また５００℃を超えると常温（２５℃）との温度差
が大きくなり、処理後の冷却過程で被膜に亀裂が入り、
一部基板より剥離を発生するため、基板温度を２００℃
〜５００℃に設定するとよい。
石の温度は２００℃〜５００℃に設定するのが好まし
く、２００℃未満では基板磁石との反応密着が十分でな
く、また５００℃を超えると常温（２５℃）との温度差
が大きくなり、処理後の冷却過程で被膜に亀裂が入り、
一部基板より剥離を発生するため、基板温度を２００℃
〜５００℃に設定するとよい。
【００１９】この発明において、得られたアルミニウム
酸化物被膜層は、アルミニウムと酸素からなる化合物で
あり、構造は非晶質を主体としており、その反応条件に
より非晶質のみのもの、あるいは部分的に結晶質が存在
しているものが得られる。この非晶質を主体とする構造
は明確な粒界が存在せず、腐食を生じる局部電池反応が
起こり難いため、結晶質のＡｌ2Ｏ3被膜に比べ、耐食性
が優れるという特徴がある。
酸化物被膜層は、アルミニウムと酸素からなる化合物で
あり、構造は非晶質を主体としており、その反応条件に
より非晶質のみのもの、あるいは部分的に結晶質が存在
しているものが得られる。この非晶質を主体とする構造
は明確な粒界が存在せず、腐食を生じる局部電池反応が
起こり難いため、結晶質のＡｌ2Ｏ3被膜に比べ、耐食性
が優れるという特徴がある。
【００２０】Ｆｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石体表面にＡｌまた
はＴｉ被膜層を介してアルミニウム酸化物被膜層を設け
たことを特徴とするこの発明の耐食性永久磁石の製造方
法の一例を以下に詳述する。
はＴｉ被膜層を介してアルミニウム酸化物被膜層を設け
たことを特徴とするこの発明の耐食性永久磁石の製造方
法の一例を以下に詳述する。
【００２１】まず、アークイオンプレーティング装置を
用いて真空容器を１×１０-4Ｐａ以下まで真空排気した
後、Ａｒガス圧１０Ｐａ、−５００ＶでＡｒイオンによ
る表面スパッタにてＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系磁石体表面を清浄化
する。
用いて真空容器を１×１０-4Ｐａ以下まで真空排気した
後、Ａｒガス圧１０Ｐａ、−５００ＶでＡｒイオンによ
る表面スパッタにてＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系磁石体表面を清浄化
する。
【００２２】次に、Ａｒガス圧０．２Ｐａ、バイアス電
圧−５０Ｖにより、ターゲットのＡｌまたはＴｉを蒸発
させてアークイオンプレーテイング法にて磁石体表面に
０．０６μｍ〜３０μｍ膜厚のＡｌまたはＴｉ被膜層を
形成する。イオンプレーティング法は成膜速度が速く、
ＡｌまたはＴｉ被膜を５μｍ以上成膜するのに好ましい
方法である。
圧−５０Ｖにより、ターゲットのＡｌまたはＴｉを蒸発
させてアークイオンプレーテイング法にて磁石体表面に
０．０６μｍ〜３０μｍ膜厚のＡｌまたはＴｉ被膜層を
形成する。イオンプレーティング法は成膜速度が速く、
ＡｌまたはＴｉ被膜を５μｍ以上成膜するのに好ましい
方法である。
【００２３】続いて基板温度を２５０℃に保持してＯ2
ガス圧０．８Ｐａ、バイアス電圧−８０Ｖの条件にてＡ
ｌまたはＴｉ被膜上に特定膜厚のアルミニウム酸化物被
膜層を形成する。
ガス圧０．８Ｐａ、バイアス電圧−８０Ｖの条件にてＡ
ｌまたはＴｉ被膜上に特定膜厚のアルミニウム酸化物被
膜層を形成する。
【００２４】この発明において、Ｆｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁
石体表面のＡｌまたはＴｉ被膜厚を０．０６〜３０μｍ
に限定した理田は、０．０６μｍ未満では磁石体表面に
ＡｌまたはＴｉが均一に被着し難く下地膜としての効果
が十分でなく、３０μｍを超えると効果的には問題ない
が下地膜としてコスト上昇を招来して実用的でないた
め、ＡｌまたはＴｉ被膜厚は０．０６〜３０μｍとす
る。
石体表面のＡｌまたはＴｉ被膜厚を０．０６〜３０μｍ
に限定した理田は、０．０６μｍ未満では磁石体表面に
ＡｌまたはＴｉが均一に被着し難く下地膜としての効果
が十分でなく、３０μｍを超えると効果的には問題ない
が下地膜としてコスト上昇を招来して実用的でないた
め、ＡｌまたはＴｉ被膜厚は０．０６〜３０μｍとす
る。
【００２５】特に、ＡｌまたはＴｉ被膜厚は磁石体の表
面粗度に応じて選定され、表面粗度が０．１μｍ以下の
場合、被膜厚は０．０６μｍ以上が好ましく、また、表
面粗度が０．１〜１．２μｍの場合、被膜厚は０．１μ
ｍ以上が望ましい。
面粗度に応じて選定され、表面粗度が０．１μｍ以下の
場合、被膜厚は０．０６μｍ以上が好ましく、また、表
面粗度が０．１〜１．２μｍの場合、被膜厚は０．１μ
ｍ以上が望ましい。
【００２６】この発明において、アルミニウム酸化物被
膜厚を０．１〜１０μｍに限定した理由は、０．１μｍ
未満では十分な耐食性が得られず、１０μｍを超えると
効果的には問題ないが製造コスト上昇を招来するので好
ましくない。
膜厚を０．１〜１０μｍに限定した理由は、０．１μｍ
未満では十分な耐食性が得られず、１０μｍを超えると
効果的には問題ないが製造コスト上昇を招来するので好
ましくない。
【００２７】この発明は、ＡｌまたはＴｉ被膜とアルミ
ニウム酸化物被膜との界面に反応被膜層が介在する積層
被膜であり、十分な耐食性を得るには、ＡｌまたはＴｉ
被膜を例えば５μｍ〜３０μｍに厚くし、アルミニウム
酸化物被膜を薄くするか、あるいはＡｌ、Ｔｉ被膜層を
０．０６μｍ〜５μｍ程度と薄く、アルミニウム酸化物
被膜層を０．５μｍ〜１０μｍ程度と厚くする構成を採
用するとよい。
ニウム酸化物被膜との界面に反応被膜層が介在する積層
被膜であり、十分な耐食性を得るには、ＡｌまたはＴｉ
被膜を例えば５μｍ〜３０μｍに厚くし、アルミニウム
酸化物被膜を薄くするか、あるいはＡｌ、Ｔｉ被膜層を
０．０６μｍ〜５μｍ程度と薄く、アルミニウム酸化物
被膜層を０．５μｍ〜１０μｍ程度と厚くする構成を採
用するとよい。
【００２８】しかしながら、優れた耐摩耗性、電気絶縁
性を得るには、これらの特性がアルミニウム酸化物被膜
層に起因することから、アルミニウム酸化物被膜層の膜
厚を０．５μｍ〜１０μｍにするのが望ましい。
性を得るには、これらの特性がアルミニウム酸化物被膜
層に起因することから、アルミニウム酸化物被膜層の膜
厚を０．５μｍ〜１０μｍにするのが望ましい。
【００２９】この発明において、気相成膜法のＯ2含有
ガス雰囲気は、Ｏ2単体またはＯ2ガスを１０％以上含む
希ガス（周期律表のＯ族元素）に限定するが、これは１
０％未満ではアルミニウム酸化物被膜生成に時間を要す
るため好ましくないためであり、工業的にはＯ2ガス単
体またはＯ2ガスを含むＡｒガス雰囲気が一般的で好ま
しい。
ガス雰囲気は、Ｏ2単体またはＯ2ガスを１０％以上含む
希ガス（周期律表のＯ族元素）に限定するが、これは１
０％未満ではアルミニウム酸化物被膜生成に時間を要す
るため好ましくないためであり、工業的にはＯ2ガス単
体またはＯ2ガスを含むＡｒガス雰囲気が一般的で好ま
しい。
【００３０】この発明において、永久磁石に用いる希土
類元素Ｒは、組成の１０原子％〜３０原子％を占める
が、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｔｂのうち少なくとも１
種、あるいはさらに、Ｌａ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｅｒ、
Ｅｕ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｙのうち少なくとも１種を含
むものが好ましい。また、通常Ｒのうち１種をもって足
りるが、実用上は２種以上の混合物（ミッシユメタル、
ジジム等）を人手上の便宣等の理由により用いることが
できる。なお、このＲは純希土類元素でなくてもよく、
工業上人手可能な範囲で製造上不可避な不純物を含有す
るものでも差支えない。
類元素Ｒは、組成の１０原子％〜３０原子％を占める
が、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｔｂのうち少なくとも１
種、あるいはさらに、Ｌａ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｅｒ、
Ｅｕ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｙのうち少なくとも１種を含
むものが好ましい。また、通常Ｒのうち１種をもって足
りるが、実用上は２種以上の混合物（ミッシユメタル、
ジジム等）を人手上の便宣等の理由により用いることが
できる。なお、このＲは純希土類元素でなくてもよく、
工業上人手可能な範囲で製造上不可避な不純物を含有す
るものでも差支えない。
【００３１】Ｒは、上記系永久磁石における必須元素で
あつて、１０原子％未満では結晶構造がα‐鉄と同一構
造の立方晶組織となるため、高磁気特性、特に高保磁力
が得られず、３０原子％を超えるとＲリッチな非磁性相
が多くなり、残留磁束密度（Ｂｒ）が低下してすぐれた
特性の永久磁石が得られない。よって、Ｒ１０原子％〜
３０原子％の範囲が望ましい。
あつて、１０原子％未満では結晶構造がα‐鉄と同一構
造の立方晶組織となるため、高磁気特性、特に高保磁力
が得られず、３０原子％を超えるとＲリッチな非磁性相
が多くなり、残留磁束密度（Ｂｒ）が低下してすぐれた
特性の永久磁石が得られない。よって、Ｒ１０原子％〜
３０原子％の範囲が望ましい。
【００３２】Ｂは、上記系永久磁石における必須元素で
あって、２原子％未満では菱面体構造が主相となり、高
い保磁力（ｉＨｃ）は得られず、２８原子％を超えると
Ｂリッチな非磁性相が多くなり、残留磁束密度（Ｂｒ）
が低下するため、すぐれた永久磁石が得られない。よっ
て、Ｂは２原子％〜２８原子％の範囲が望ましい。
あって、２原子％未満では菱面体構造が主相となり、高
い保磁力（ｉＨｃ）は得られず、２８原子％を超えると
Ｂリッチな非磁性相が多くなり、残留磁束密度（Ｂｒ）
が低下するため、すぐれた永久磁石が得られない。よっ
て、Ｂは２原子％〜２８原子％の範囲が望ましい。
【００３３】Ｆｅは、上記系永久磁石において必須元素
であり、６５原子％未満では残留磁束密度（Ｂｒ）が低
下し、８０原子％を超えると高い保磁力が得られないの
で、Ｆｅは６５原子％〜８０原子％の含有が望ましい。
また、Ｆｅの一部をＣｏで置換することは、得られる磁
石の磁気特性を損うことなく、温度特性を改善すること
ができるが、Ｃｏ置換量がＦｅの２０％を超えると、逆
に磁気特性が劣化するため、好ましくない。Ｃｏの置換
量がＦｅとＣｏの合計量で５原子％〜１５原子％の場合
は、Ｂｒは置換しない場合に比較して増加するため、高
磁束密度を得るために好ましい。
であり、６５原子％未満では残留磁束密度（Ｂｒ）が低
下し、８０原子％を超えると高い保磁力が得られないの
で、Ｆｅは６５原子％〜８０原子％の含有が望ましい。
また、Ｆｅの一部をＣｏで置換することは、得られる磁
石の磁気特性を損うことなく、温度特性を改善すること
ができるが、Ｃｏ置換量がＦｅの２０％を超えると、逆
に磁気特性が劣化するため、好ましくない。Ｃｏの置換
量がＦｅとＣｏの合計量で５原子％〜１５原子％の場合
は、Ｂｒは置換しない場合に比較して増加するため、高
磁束密度を得るために好ましい。
【００３４】また、Ｒ、Ｂ、Ｆｅの他、工業的生産上不
可避的不純物の存在を許容でき、例えば、Ｂの一部を
４．０ｗｔ％以下のＣ、２．０ｗｔ％以下のＰ、２．０
ｗｔ％以下のＳ、２．０ｗｔ％以下のＣｕのうち少なく
とも１種、合計量で２．０ｗｔ％以下で置換することに
より、永久磁石の製造性改善、低価格化が可能である。
可避的不純物の存在を許容でき、例えば、Ｂの一部を
４．０ｗｔ％以下のＣ、２．０ｗｔ％以下のＰ、２．０
ｗｔ％以下のＳ、２．０ｗｔ％以下のＣｕのうち少なく
とも１種、合計量で２．０ｗｔ％以下で置換することに
より、永久磁石の製造性改善、低価格化が可能である。
【００３５】さらに、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｂ
ｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｂ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｚｒ、
Ｎｉ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｈｆ、のうち少なくとも１種は、Ｆ
ｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石材料に対してその保磁力、減磁曲
線の角型性を改善あるいは製造性の改善、低価格化に効
果があるため添加することができる。なお、添加量の上
限は、磁石材料の（ＢＨ）ｍａｘを２０ＭＧＯｅ以上と
するには、Ｂｒが少なくとも９ｋＧ以上必要となるた
め、該条件を満す範囲が望ましい。
ｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｂ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｚｒ、
Ｎｉ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｈｆ、のうち少なくとも１種は、Ｆ
ｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石材料に対してその保磁力、減磁曲
線の角型性を改善あるいは製造性の改善、低価格化に効
果があるため添加することができる。なお、添加量の上
限は、磁石材料の（ＢＨ）ｍａｘを２０ＭＧＯｅ以上と
するには、Ｂｒが少なくとも９ｋＧ以上必要となるた
め、該条件を満す範囲が望ましい。
【００３６】また、Ｆｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石は平均結晶
粒径が１〜３０μｍの範囲にある正方晶系の結晶構造を
有する化合物を主相とし、体積比で１％〜５０％の非磁
性相（酸化物相と除く）を含むことを特徴とする。Ｆｅ
‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石は、保磁力ｉＨｃ≧１ｋＯｅ、残留
磁束密度Ｂｒ＞４ｋＧ、を示し、最大エネルギー積（Ｂ
Ｈ）ｍａｘは、（ＢＨ）ｍａｘ≧１０ＭＧＯｅを示し、
最大値は２５ＭＧＯｅ以上に達する。
粒径が１〜３０μｍの範囲にある正方晶系の結晶構造を
有する化合物を主相とし、体積比で１％〜５０％の非磁
性相（酸化物相と除く）を含むことを特徴とする。Ｆｅ
‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石は、保磁力ｉＨｃ≧１ｋＯｅ、残留
磁束密度Ｂｒ＞４ｋＧ、を示し、最大エネルギー積（Ｂ
Ｈ）ｍａｘは、（ＢＨ）ｍａｘ≧１０ＭＧＯｅを示し、
最大値は２５ＭＧＯｅ以上に達する。
【００３７】
【実施例】実施例１ 公知の鋳造インゴットを粉砕し、微粉砕後に成形、焼
結、熱処理、表面加工後の１７Ｎｄ−１Ｐｒ‐７５Ｆｅ
‐７Ｂ組成の２３×１０×６ｍｍ寸法の磁石体試験片を
得た。磁石特性を表１に示す。また、表面研磨により２
種類の表面粗度品を得た。表面粗度を表２に示す。
結、熱処理、表面加工後の１７Ｎｄ−１Ｐｒ‐７５Ｆｅ
‐７Ｂ組成の２３×１０×６ｍｍ寸法の磁石体試験片を
得た。磁石特性を表１に示す。また、表面研磨により２
種類の表面粗度品を得た。表面粗度を表２に示す。
【００３８】真空容器内を１×１０-4Ｐａ以下に真空排
気し、Ａｒガス圧１０Ｐａ、−４００Ｖ、３５分間表面
スパッターを行って、磁石体表面を清浄化した後、表２
に示す条件にて基板磁石温度を２５０℃に保持し、ター
ゲッ卜として金属Ａｌを用いてアークイオンプレーティ
ング法にて磁石体表面に０．２μｍおよび２．０μｍの
Ａｌ被膜層を形成した。
気し、Ａｒガス圧１０Ｐａ、−４００Ｖ、３５分間表面
スパッターを行って、磁石体表面を清浄化した後、表２
に示す条件にて基板磁石温度を２５０℃に保持し、ター
ゲッ卜として金属Ａｌを用いてアークイオンプレーティ
ング法にて磁石体表面に０．２μｍおよび２．０μｍの
Ａｌ被膜層を形成した。
【００３９】次に基板磁石温度３２０℃、バイアス電圧
−８５Ｖ、アーク電流８８ＡでＯ2ガス０．７Ｐａにて
アークイオンプレーティングにて３．５時間でＡｌ被膜
表面に膜厚５μｍのアルミニウム酸化物被膜層を形成し
た。
−８５Ｖ、アーク電流８８ＡでＯ2ガス０．７Ｐａにて
アークイオンプレーティングにて３．５時間でＡｌ被膜
表面に膜厚５μｍのアルミニウム酸化物被膜層を形成し
た。
【００４０】その後、放冷して得られたアルミニウム酸
化物被膜を表面に有する永久磁石を温度８０℃、相対湿
度９０％の条件下で１０００時間放置する試験を施し、
試験後に磁気特性およびその劣化状況を測定し、その結
果を表３に示す。なお、得られたアルミニウム酸化物被
膜はＸ線回折法にて構造解析した結果、非晶質であっ
た。
化物被膜を表面に有する永久磁石を温度８０℃、相対湿
度９０％の条件下で１０００時間放置する試験を施し、
試験後に磁気特性およびその劣化状況を測定し、その結
果を表３に示す。なお、得られたアルミニウム酸化物被
膜はＸ線回折法にて構造解析した結果、非晶質であっ
た。
【００４１】実施例２ 実施例１と同一組成の磁石体試験片を、実施例１と同一
条件の表面研磨により２種類の表面粗度品を得て、実施
例１と同一条件にて表面清浄化した後、表２に示す条件
にて基板磁石温度を２５０℃に保持し、ターゲットとし
て金属Ｔｉを用いてアークイオンプレーティング法にて
磁石体表面に０．２μｍおよび２．０μｍのＴｉ被膜層
を形成した。
条件の表面研磨により２種類の表面粗度品を得て、実施
例１と同一条件にて表面清浄化した後、表２に示す条件
にて基板磁石温度を２５０℃に保持し、ターゲットとし
て金属Ｔｉを用いてアークイオンプレーティング法にて
磁石体表面に０．２μｍおよび２．０μｍのＴｉ被膜層
を形成した。
【００４２】その後、実施例１と同一条件にてアルミニ
ウム酸化物被膜層を５μｍ形成し、温度８０℃、相対湿
度９０％の条件下で１０００時間放置する試験後の磁気
特性およびその劣化状況を測定し、その結果を表３に示
す。得られたアルミニウム酸化物被膜はＸ線回折法にて
構造解析した結果、非晶質に部分的に結晶質のものが存
在した。
ウム酸化物被膜層を５μｍ形成し、温度８０℃、相対湿
度９０％の条件下で１０００時間放置する試験後の磁気
特性およびその劣化状況を測定し、その結果を表３に示
す。得られたアルミニウム酸化物被膜はＸ線回折法にて
構造解析した結果、非晶質に部分的に結晶質のものが存
在した。
【００４３】実施例３ 実施例１と同一組成の磁石体試験片（表面粗度０．５μ
ｍ）を実施例１と同一条件にて表面清浄化した後、Ａｒ
ガス圧１Ｐａ、電圧１．５ｋＶ、コーティング材料とし
てＡｌワイヤーを加熱して蒸発、イオン化するイオンプ
レーティング法にて１５分で１５μｍのＡｌ被膜層を形
成した。
ｍ）を実施例１と同一条件にて表面清浄化した後、Ａｒ
ガス圧１Ｐａ、電圧１．５ｋＶ、コーティング材料とし
てＡｌワイヤーを加熱して蒸発、イオン化するイオンプ
レーティング法にて１５分で１５μｍのＡｌ被膜層を形
成した。
【００４４】次に基板磁石温度３２０℃、バイアス電圧
−８５Ｖ、Ｏ2ガス０．７Ｐａにてアークイオンプレー
ティングにて２０分でＡｌ被膜表面に膜厚０．５μｍの
アルミニウム酸化物被膜層を形成した。Ｘ線回折法にて
構造解析した結果、アルミニウム酸化物被膜は非晶質で
あった。
−８５Ｖ、Ｏ2ガス０．７Ｐａにてアークイオンプレー
ティングにて２０分でＡｌ被膜表面に膜厚０．５μｍの
アルミニウム酸化物被膜層を形成した。Ｘ線回折法にて
構造解析した結果、アルミニウム酸化物被膜は非晶質で
あった。
【００４５】上記アークイオンプレーティング後、放冷
して得られたアルミニウム酸化物被膜を表面に有する永
久磁石を温度８０℃、相対湿度９０％の条件下で１００
０時間放置する試験後、磁気特性およびその劣化状況を
測定し、その結果を表３に示す。
して得られたアルミニウム酸化物被膜を表面に有する永
久磁石を温度８０℃、相対湿度９０％の条件下で１００
０時間放置する試験後、磁気特性およびその劣化状況を
測定し、その結果を表３に示す。
【００４６】比較例１ 実施例１と同一粗成の磁石体試験片（表面粗度０．５μ
ｍ）を実施例１と同一条件にて表面清浄化した後、磁石
体上に実施例１と同一反応条件にてアルミニウム酸化物
被膜層を７μｍ形成した。その後、実施例１と同一の温
度８０℃、相対湿度９０％の条件下で１０００時間放置
し、試験後の磁気特性およびその劣化状況を測定し、そ
の結果を表３に示す。
ｍ）を実施例１と同一条件にて表面清浄化した後、磁石
体上に実施例１と同一反応条件にてアルミニウム酸化物
被膜層を７μｍ形成した。その後、実施例１と同一の温
度８０℃、相対湿度９０％の条件下で１０００時間放置
し、試験後の磁気特性およびその劣化状況を測定し、そ
の結果を表３に示す。
【００４７】比較例２ 実施例１と同一組成の磁石体試験片（表面粗度０．５μ
ｍ）を実施例３と同一条件にて表面清浄化した後、磁石
体上に実施例３と同一反応条件にて１７分で１７μｍの
Ａｌ被膜層を形成したその後、実施例１と同一の温度８
０℃、相対湿度９０％の条件下で１０００時間放置し、
試験後の磁気特性およびその劣化状況を測定し、その結
果を表３に示す。
ｍ）を実施例３と同一条件にて表面清浄化した後、磁石
体上に実施例３と同一反応条件にて１７分で１７μｍの
Ａｌ被膜層を形成したその後、実施例１と同一の温度８
０℃、相対湿度９０％の条件下で１０００時間放置し、
試験後の磁気特性およびその劣化状況を測定し、その結
果を表３に示す。
【００４８】表３に示すように同一磁石特性を有するＦ
ｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石体表面にアルミニウム酸化物被膜
層のみを設けた比較例磁石は温度８０℃、相対湿度９０
％の条件下で１０００時間放置した耐食試験前後の磁石
特性の劣化が大きくかつ発錆しているのに対し、Ａｌま
たはＴｉ被膜層を介してアルミニウム酸化物被膜層を設
けたこの発明のＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石は、錆は発生せ
ず、磁石特性もほとんど変わらないことが明かである。
ｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石体表面にアルミニウム酸化物被膜
層のみを設けた比較例磁石は温度８０℃、相対湿度９０
％の条件下で１０００時間放置した耐食試験前後の磁石
特性の劣化が大きくかつ発錆しているのに対し、Ａｌま
たはＴｉ被膜層を介してアルミニウム酸化物被膜層を設
けたこの発明のＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石は、錆は発生せ
ず、磁石特性もほとんど変わらないことが明かである。
【００４９】
【表１】
【００５０】
【表２】
【００５１】
【表３】
【００５２】
【発明の効果】この発明によるＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石
は、磁石表面にＡｌまたはＴｉ被膜を介してアルミニウ
ム酸化物被膜層を設けてあり、実施例に示すごとく、過
酷な耐食試験条件、特に温度８０℃、相対湿度９０％の
条件下で１０００時間放置した後、その磁石特性の劣化
はほとんどなく、現在最も要求されている高性能かつ安
価な永久磁石として最適である。
は、磁石表面にＡｌまたはＴｉ被膜を介してアルミニウ
ム酸化物被膜層を設けてあり、実施例に示すごとく、過
酷な耐食試験条件、特に温度８０℃、相対湿度９０％の
条件下で１０００時間放置した後、その磁石特性の劣化
はほとんどなく、現在最も要求されている高性能かつ安
価な永久磁石として最適である。
【００５３】この発明による製造方法は、Ｆｅ‐Ｂ‐Ｒ
系永久磁石体表面をイオンスパッター法等により清浄化
した後、前記磁石体表面にイオンプレーティング法等の
気相成膜法により、ＡｌまたはＴｉ被膜を形成後、Ｏ2
含有希ガスを導入しながらイオンプレーティング等の気
相成膜法によりアルミニウム酸化物被膜を形成すること
を特徴とし、磁石体表面にＡｌまたはＴｉ被膜を形成す
ることにより、磁石体表面の酸化物は一部もしくは大部
分が還元されて磁石体表面とＡｌまたはＴｉ被膜との密
着性が優れ、さらにＡｌまたはＴｉ被膜上にアルミニウ
ム酸化物被膜を積層することにより、同被膜の密着性が
著しく改善され、優れた耐食性、特に温度８０℃、相対
湿度９０％の雰囲気条件下で長時間放置した場合におい
ても下地との密着性が優れ、被着した耐食性金属被膜の
耐食性、耐摩耗性、電気絶縁性により、その磁石特性の
安定したＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石が得られる。
系永久磁石体表面をイオンスパッター法等により清浄化
した後、前記磁石体表面にイオンプレーティング法等の
気相成膜法により、ＡｌまたはＴｉ被膜を形成後、Ｏ2
含有希ガスを導入しながらイオンプレーティング等の気
相成膜法によりアルミニウム酸化物被膜を形成すること
を特徴とし、磁石体表面にＡｌまたはＴｉ被膜を形成す
ることにより、磁石体表面の酸化物は一部もしくは大部
分が還元されて磁石体表面とＡｌまたはＴｉ被膜との密
着性が優れ、さらにＡｌまたはＴｉ被膜上にアルミニウ
ム酸化物被膜を積層することにより、同被膜の密着性が
著しく改善され、優れた耐食性、特に温度８０℃、相対
湿度９０％の雰囲気条件下で長時間放置した場合におい
ても下地との密着性が優れ、被着した耐食性金属被膜の
耐食性、耐摩耗性、電気絶縁性により、その磁石特性の
安定したＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系永久磁石が得られる。
Claims (4)
- 【請求項１】 主相が正方晶相からなるＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系
永久磁石体表面に、膜厚０．０６μｍ〜３０μｍのＡｌ
またはＴｉ被膜を介して膜厚０．１〜１０μｍのアルミ
ニウム酸化物層を有することを特徴とする耐食性永久磁
石。 - 【請求項２】 請求項１において、アルミニウム酸化物
は、非晶質を主体とする耐食性永久磁石。 - 【請求項３】 主相が正方晶相からなるＦｅ‐Ｂ‐Ｒ系
永久磁石体表面を清浄化した後、前記磁石体表面に膜厚
０．０６μｍ〜３０μｍのＡｌまたはＴｉ被膜を気相成
膜法により形成後、Ｏ2含有ガス雰囲気中で気相成膜法
により膜厚０．１〜１０μｍのアルミニウム酸化物被膜
層を形成する耐食性永久磁石の製造方法。 - 【請求項４】 請求項３において、気相成膜法のＯ2含
有ガス雰囲気はＯ2単体あるいはＯ2ガスを１０％以上含
む希ガスである耐食性永久磁石の製造方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10123956A JPH11307328A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 耐食性永久磁石およびその製造方法 |
| CNB998007471A CN1142561C (zh) | 1998-04-16 | 1999-04-13 | 耐腐蚀性永磁体及其制造方法 |
| PCT/JP1999/001945 WO1999054890A1 (fr) | 1998-04-16 | 1999-04-13 | Aimant permanent resistant a la corrosion et son procede de fabrication |
| EP99913637A EP0991085B1 (en) | 1998-04-16 | 1999-04-13 | Corrosion-resisting permanent magnet and method for producing the same |
| KR1019997011826A KR100354371B1 (ko) | 1998-04-16 | 1999-04-13 | 내식성 영구 자석 및 그 제조 방법 |
| DE69909569T DE69909569T2 (de) | 1998-04-16 | 1999-04-13 | Korrosionsbeständiger dauermagnet und verfahren zu seiner herstellung |
| US09/445,810 US6275130B1 (en) | 1998-04-16 | 1999-04-13 | Corrosion-resisting permanent magnet and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10123956A JPH11307328A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 耐食性永久磁石およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11307328A true JPH11307328A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14873516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10123956A Pending JPH11307328A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 耐食性永久磁石およびその製造方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6275130B1 (ja) |
| EP (1) | EP0991085B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11307328A (ja) |
| KR (1) | KR100354371B1 (ja) |
| CN (1) | CN1142561C (ja) |
| DE (1) | DE69909569T2 (ja) |
| WO (1) | WO1999054890A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008135563A (ja) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Tdk Corp | 希土類磁石及びその製造方法 |
| US7740716B2 (en) | 2004-11-17 | 2010-06-22 | Tdk Corporation | Rare earth sintered magnet |
| JP4915349B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2012-04-11 | 日立金属株式会社 | 希土類磁石およびその製造方法 |
| JP2016149536A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | 煙台首鋼磁性材料株式有限公司 | Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石表面のアルミニウムめっき方法 |
| CN112176286A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-05 | 福建省长汀金龙稀土有限公司 | 一种覆层、具有该覆层的金属磁体及该覆层的制备方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1273639C (zh) | 2000-07-10 | 2006-09-06 | 株式会社新王磁材 | 阻止在金属沉积薄膜上产生凸起的方法 |
| DE10134267B4 (de) * | 2001-07-18 | 2007-03-01 | Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Einrichtung zur Reflexion von Röntgenstrahlen |
| JP4089808B2 (ja) * | 2001-12-25 | 2008-05-28 | ケミテック株式会社 | 上消し可能なマイクロカプセル磁気泳動表示シート |
| WO2004046409A2 (en) * | 2002-11-18 | 2004-06-03 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Permanent magnet alloy with improved high temperature performance |
| CN101469428B (zh) * | 2007-12-24 | 2012-05-30 | 北京中科三环高技术股份有限公司 | 一种具有耐腐蚀膜的稀土永磁体的制造方法 |
| CN101859639B (zh) * | 2010-07-06 | 2013-03-27 | 烟台正海磁性材料股份有限公司 | 一种梯度电阻R-Fe-B系磁体及其生产方法 |
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- 1998-04-16 JP JP10123956A patent/JPH11307328A/ja active Pending
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- 1999-04-13 DE DE69909569T patent/DE69909569T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-13 US US09/445,810 patent/US6275130B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-13 WO PCT/JP1999/001945 patent/WO1999054890A1/ja active IP Right Grant
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1999054890A1 (fr) | 1999-10-28 |
| DE69909569D1 (de) | 2003-08-21 |
| EP0991085A1 (en) | 2000-04-05 |
| KR20010013808A (ko) | 2001-02-26 |
| KR100354371B1 (ko) | 2002-09-28 |
| CN1272212A (zh) | 2000-11-01 |
| EP0991085B1 (en) | 2003-07-16 |
| US6275130B1 (en) | 2001-08-14 |
| EP0991085A4 (en) | 2000-07-12 |
| CN1142561C (zh) | 2004-03-17 |
| DE69909569T2 (de) | 2004-02-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050217 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050217 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050217 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050217 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050715 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070611 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070717 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070914 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071010 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071206 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071227 |