JP2001101708A - 記録媒体、記録装置および記録方法 - Google Patents
記録媒体、記録装置および記録方法Info
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Abstract
る、記録媒体、記録装置および記録方法を提供する。 【解決手段】 基板11と、基板11上に形成されかつ
電荷を蓄積することが可能な材料を含む電荷蓄積領域を
有する記録層16と、記録層16上に形成されかつ光を
吸収して導電性が増加する材料を含む光導電領域を有す
る光導電層17とを具備することを特徴とする記録媒
体。
Description
置および記録方法に関する。
を辿る情報量に対応した、従来より飛躍的に記録密度の
高い記録方法や、それに基づく記録装置の出現が待望さ
れている。
いる、光記録を実現する技術としては、光を熱として利
用するヒートモード記録と、熱に変換しないで記録する
フォトンモード記録がある。ヒートモード記録は光磁気
記録や相転移記録などで現在実用化されている。
ために、光の波長よりも小さい微小スポットが形成でき
るNear−field Scanning Opti
cal Microscope(NSOM)を用いた技
術が提案されている。たとえば、Betzigらは、A
rイオンレーザの出力をNSOM探針によりCo/Pt
多層膜に照射し、光磁気的に情報の記録・再生を試み、
直径約60nmの記録パタ−ンの形成を報告している
(Appl.Phys.Lett.61,142(19
92))。
出力をNSOM探針により、膜厚約30nmのGe2S
b2Te5薄膜に照射して相変化させ、直径約50nm
の記録パターンの実現を報告している(Thin So
lid Films 273,122(1996),
J.Appl.Phys.79,8082(199
6))。
り記録スポットが大きくなるうえに、必要エネルギーが
大きいため、スポット径が10nm程度になるtera
bits/cm2オーダーの記録密度には対応できない
と予想される。
公報には有機色素の相変化を用いて、蛍光を読み出す記
録媒体が開示されている。この記録媒体では、熱伝導性
の低い有機色素分子を用いることにより、記録スポット
をより小さくできる。しかし、この方法でもスポット径
が10nm程度になるterabits/cm2の記録
密度を実現することは困難である。また、非晶質領域が
結晶領域と接しているため、非晶質領域が結晶化しやす
く、記録が破壊されやすい。さらに相変化媒体は均一な
媒体であるため、結晶領域と非晶質領域とで信号強度の
差が小さく、ノイズが大きい。
モード記録の均一媒体でも、同様なノイズの問題があ
る。
有機色素分子からなる約10〜約100nm径のドット
状(ドメイン構造)の記録領域を形成し、その記録領域
に電荷を注入することにより、記録を行う記録媒体が開
示されている。この記録媒体では、1つのドットが記録
単位となるので、記録密度を上げることができる。しか
し、この記録媒体では、記録単位となるドットの大きさ
や配置を均一にすることが困難であり、しかも形成され
たドットの大きさや配置が経時的に変化しやすい。ま
た、電荷の注入や排出の際に電極が接触するため記録媒
体の全面を平坦にすることが必要であるが、平坦化が困
難であり、平坦化するために上部に保護膜を設置すると
電荷注入や排出の際に高電圧が必要となる。
な記録媒体は実現されていない。
的には、超高密度記録が可能な記録媒体はいまだ実現し
ていない。超高密度記録が可能な記録媒体では、電荷を
注入、排出する際に電極が接触するために、記録媒体表
面が平坦化されている必要があるが、平坦化が困難であ
り、平坦化するために上部に保護膜を設置すると電荷注
入や排出の際に高電圧が必要となる。
かけなくても超高密度記録が可能となる、記録媒体、記
録装置および記録方法を提供することにある。
基板と、基板上に形成されかつ電荷を蓄積することが可
能な材料を含む電荷蓄積領域を有する記録層と、記録層
上に形成されかつ光を吸収して導電性が増加する材料を
含む光導電領域を有する光導電層とを具備することを特
徴とする記録媒体を提供する。
に、基板上に形成される導電層と、導電層上に形成され
る絶縁層とを含んでも良い。
れる導電層と、導電層上に形成されかつ光を吸収して導
電性が増加する材料を含む光導電領域を有する光導電層
と、光導電層上に形成されかつ電荷を蓄積することが可
能な材料を含む電荷蓄積領域を有する記録層とを具備す
ることを特徴とする記録媒体を提供する。
複数の電荷蓄積領域と、複数の電気絶縁性領域とを有し
ても良い。
電性が増加する材料を含む光導電領域及び電荷を蓄積す
ることが可能な材料を含む電荷蓄積領域を有する光導電
・記録層とを具備し、光導電・記録層が基板上に形成さ
れることを特徴とする記録媒体を提供する。
との間に、基板上に形成される導電層と、導電層上に形
成される絶縁層とを含んでも良い。
において、光導電領域は、導電性が光の強度に対して非
線形的に変化する材料を用いても良い。
は第3の記録媒体に光を照射し電圧を印加することによ
り電荷を注入することを特徴とする記録方法を提供す
る。
であっても良い。
は第3の記録媒体に光を照射し電圧を印加することによ
り電荷を注入する記録手段を具備することを特徴とする
記録装置を提供する。
電荷を検出する再生手段を具備しても良い。
場光であっても良い。
を参照しつつ詳細に説明するが、本発明はこれらの実施
形態に限定されるものではない。 (第1の実施形態)まず、本発明の第1の実施形態につ
いて説明する。本実施形態の記録媒体の断面図を図1に
示す。
基板11と、基板11上の導電層12、導電層12上の
絶縁層13、絶縁層13上の電荷蓄積領域14と電気絶
縁性領域15から成る記録層16と、記録層16上の光
導電層17から成る。
て、製造方法に沿って説明する。
20mm、厚さ約1.2mmのガラスディスクを用い、
この基板11上に導電層12としてAl膜を約200n
mの膜厚となるよう蒸着する。その上に絶縁層13とし
てSiO2膜を約200nmの膜厚となるようスパッタ
する。
リジイソブチルフマレートを厚さ約50nmでスピンコ
ートし、EB描画装置を用いて電子線を照射し、直径約
30nmの円領域を中心が約50nm間隔ごととなるよ
うにする。これをエタノールで現像し、電気絶縁性領域
15とする。
で示されるドナー性の有機色素分子を蒸着する。このド
ナー性の有機色素分子は、電気絶縁性領域15上、つま
り凸部にも、その周りの凹部にも蒸着されるが、蒸着
後、窒素雰囲気中約80度で約1時間加熱することによ
り、この有機色素分子は電気絶縁性領域15の周りの凹
部に流れ込み、電荷蓄積領域14が形成され、記録層1
6となる。その上に、下記(化2)で示される物質から
成る光導電層17をスピンコートし、厚さ約50nmの
膜を得る。
装置で情報の書き込み、読み出し、そして消去を行う。
本実施形態では、記録手段としては、光照射手段として
半導体レーザー23、光ファイバー24を用い、また電
圧印加手段として、電極25を用いる。また再生手段と
しては微小FETセンサーヘッド28を用いる。なお、
図2の拡大図に示すように、光ファイバー24の先端部
分は細くなっており、開口部27が設けられている。な
お、記録手段は消去手段も兼ねている。
ター21を用いて、ディスク状の記録媒体22を約40
00rpmで回転させながら、波長約620nm、出力
約1mWの半導体レーザー23から光ファイバー24を
介してこの光ファイバー24の細くした先端の直径約3
0nmの開口部27から、近接場光を記録媒体22にス
パイラル状に照射する。近接場光を照射することによ
り、絶縁体である光導電層17の、近接場光を照射され
た部分の導電性が増加し、近接場光の照射と同時に電極
25からパルス状に電圧を約10V印加して、電荷を記
録層16に注入する。光ファイバー24と電極25はマ
ウント26により固定されている。上述のように、記録
媒体22に光を照射し電圧を印加する事により電荷を注
入する記録ステップによって、本実施形態の記録方法は
実現される。
た電荷を微小FETセンサーヘッド28で直接読み出
す。そして約80度で約1週間放置後、再び注入された
電荷を微小FETセンサーヘッド28で読み出したとこ
ろ、電荷量は、約1週間前と比べ約5%の低下が見られ
たが、約30dBのS/N比が得られ、情報は安定に記
録されていると言える。上述のように、記録媒体22に
蓄積された電荷を読み出す再生ステップによって、本実
施形態の再生方法は実現される。
記録媒体22を約4000rpmで回転させながら、半
導体レーザー23から光ファイバー24を介して、近接
場光を記録媒体22にスパイラル状に照射し、それと同
時に電極25からパルス状に電圧を約−3V印加して、
電荷を記録層16から排出する。微小FETセンサーヘ
ッド28で読み出したところ、電荷の蓄積により記録さ
れた情報が消去されたことが確認された。上述のよう
に、記録媒体22に蓄積された電荷を排出する消去ステ
ップによって、本実施形態の消去方法は実現される。
く、電荷を蓄積させた状態の記録媒体22に、情報をオ
ーバーライトすることも出来る。その際は、新たに加え
たい情報に応じた、−3V(電荷の排出)と10V(電
荷の注入)の電圧パルスを電極25によって印加するこ
とによりオーバーライトが可能となる。
7が記録層16の上部にあるため、記録媒体22の平坦
化が容易であり、また光導電層17は記録層16の保護
膜や潤滑膜を兼ねることができる。光導電層17として
は、光照射時には十分な導電性を、また光非照射時には
十分な絶縁性を必要とすることから、膜厚は約5〜約1
00nm程度であることが好ましい。約5nm以下では
絶縁性が不足する可能性が、また約100nm以上では
導電性が不足する可能性がある。また、記録層16とし
ては、十分な電荷量の蓄積が必要であるとともに、分解
能も必要とすることから、膜厚は約10〜約100nm
程度であることが好ましい。約10nm以下では蓄積す
る電荷量が不足する可能性があり、約100nm以上で
は分解能が不足する可能性がある。
0nmの開口部27の領域のみ光照射によって電気抵抗
が減少する。したがって、比較的大きな電極25を用い
ても開口部27の領域のみに電荷を注入することが可能
であり、光照射により電気抵抗が減少しているために、
高電圧をかけて電荷を注入する必要もない。また、記録
層16に注入された電荷は光が照射されない状態では光
導電層17の抵抗が高いため、安定に保持される。
層16が、電荷蓄積領域14と電気絶縁性領域15から
成り、2つの電荷蓄積領域14の間に電気絶縁性領域1
5が存在するためにこの電気絶縁性領域15が壁とな
り、記録層16中の電荷の移動がなくなる。これにより
電荷の保存状態がさらによくなり、微小な記録ピットへ
の記録が可能となる。
11と記録層16の間に、導電層12と絶縁層13を具
備する。これにより、導電層12に記録層16と逆符号
のミラー電荷が蓄積するために、記録電荷が安定に保存
でき、また記録電荷の量を多くすることが可能となる。
先端に微小な開口部27を設けることにより、この開口
部27から記録媒体22に照射される光が近接場光とな
る。近接場光とは、物体に光を照射した時、その物質表
面に浸み出す非伝搬光である。物質に光が照射されると
物質中に誘起双極子が発生するが、このうち、表面付近
で互いに近接する誘起双極子間の電気力線が近接場光で
ある。近接場光を用いることにより、光照射スポットを
極めて微小にすることが可能となる。近接場光の発生方
法としては微小開口を有するプローブを用いる方法、ソ
リッドイマージョンレンズを用いる方法、アンチモンな
どの相変化媒体の非線形的な温度―屈折率応答を利用す
る方法、金属微粒子のプラズモン共鳴を利用する方法な
どを用いることもでき、その方法は限定されない。 (第2の実施形態)次に、本発明の第2の実施形態につ
いて説明する。本実施形態の記録媒体の断面図を図3に
示す。
基板11と、基板11上の導電層12、導電層12上の
絶縁層13、絶縁層13上の電荷蓄積領域の分散された
記録層16と、記録層16上の光導電層17から成る。
て、製造方法に沿って説明する。
20mm、厚さ約1.2mmのガラスディスクを用い、
この基板11上に導電層12としてAl膜を約200n
mの膜厚となるよう蒸着する。その上に絶縁層13とし
てSiO2膜を約200nmの膜厚となるようスパッタ
する。
るアクセプター性の有機色素分子を、絶縁性のポリスチ
レンに分散した膜をスピンコートで厚さ約100nmで
成膜し、記録層16とする。有機色素分子部分が電荷蓄
積領域となる。
スピンコートし、厚さ約60nmの膜を得、光導電層1
7とする。
装置で情報の書き込み、読み出し、そして消去を行う。
本実施形態では、記録手段としては、光照射手段として
半導体レーザー23、光ファイバー24を用い、電圧印
加手段として電極25を用いる。また再生手段として微
小FETセンサーヘッド28を用いる。なお、図2の拡
大図に示すように、光ファイバー24の先端部分は細く
なっており、開口部27が設けられている。なお、記録
手段は消去手段も兼ねている。
ター21を用いて、ディスク状の記録媒体22を約50
00rpmで回転させながら、波長約620nm、出力
約1mWの半導体レーザー23から光ファイバー24を
介してこの光ファイバー24の細くした先端の直径約5
0nmの開口部27から、近接場光を記録媒体22にス
パイラル状に照射する。近接場光を照射することによ
り、絶縁体である光導電層17の、近接場光を照射され
た部分の導電性が増加し、近接場光の照射と同時に電極
25からパルス状に電圧を約−10V印加して、電荷を
記録層16に注入する。光ファイバー24と電極25は
マウント26により固定されている。上述のように、記
録媒体22に光を照射し電圧を印加する事により電荷を
注入する記録ステップによって、本実施形態の記録方法
は実現される。
ETセンサーヘッド28で直接読み出す。そして約80
度で約1週間放置後、再び注入された電荷を微小FET
センサーヘッド28で読み出したところ、電荷量は、約
一週間前と比べ約10%の低下が見られたが、約30d
BのS/N比が得られ、情報は安定に記録されていると
言える。上述のように、記録媒体22に蓄積された電荷
を読み出す再生ステップによって、本実施形態の再生方
法は実現される。
記録媒体22を約5000rpmで回転させながら、半
導体レーザー23から光ファイバー24を介して、近接
場光を記録媒体22にスパイラル状に照射し、それと同
時に電極25からパルス状に電圧を約4V印加して、電
荷を記録層16から排出する。微小FETセンサーヘッ
ド28で読み出したところ、電荷の蓄積により記録され
た情報が消去されたことが確認された。上述のように、
記録媒体22に蓄積された電荷を排出する消去ステップ
によって、本実施形態の消去方法は実現される。
く、電荷を蓄積させた状態の記録媒体に、情報をオーバ
ーライトすることも出来る。その際は、新たに加えたい
情報に応じた、4V(電荷の排出)と−10V(電荷の
注入)の電圧パルスを電極25により印加することによ
りオーバーライトが可能となる。
ポリスチレン中に電荷を蓄積することが可能な材料が電
荷蓄積領域として分散されたものである。このようにす
ることで、結晶性の分子で膜状になり難いものでも、電
荷蓄積領域に用いることが出来る。 (第3の実施形態)次に、本発明の第3の実施形態につ
いて説明する。本実施形態の記録媒体の断面図を図4に
示す。
基板11と、基板11上の導電層12、導電層12上の
絶縁層13、絶縁層13上の電荷蓄積領域と光導電領域
の分散された、光導電・記録層41から成る。
て、製造方法に沿って説明する。
20mm、厚さ約1.2mmのガラスディスクを用い、
この基板11上に導電層12としてAl膜を約200n
mの膜厚となるよう蒸着する。その上に絶縁層13とし
てSiO2膜を約200nmの膜厚となるようスパッタ
する。
るドナー性の有機色素分子と、下記(化5)で示される
光導電性の分子を、絶縁性のポリスチレンに分散した膜
をスピンコートにより厚さ約30nmで成膜し、光導電
・記録層41とする。光導電・記録層41中、上記の有
機色素分子が電荷蓄積領域を形成し、光導電性の分子が
光導電領域を形成する。
装置で情報の書き込み、読み出し、そして消去を行う。
本実施形態では、記録手段としては、光照射手段として
半導体レーザー23、光ファイバー24を用い、電圧印
加手段として電極25を用いる。また、再生手段として
は微小FETセンサーヘッド28を用いる。なお、図2
の拡大図に示すように、光ファイバー24の先端部分は
細くなっており、開口部27が設けられている。また、
記録手段は消去手段も兼ねている。
ター21を用いて、ディスク状の記録媒体22を約50
00rpmで回転させながら、波長約470nm、出力
約1mWの半導体レーザー23から光ファイバー24を
介してこの光ファイバー24の細くした先端の直径約8
0nmの開口部27から、近接場光を記録媒体22にス
パイラル状に照射し、同時に電極25からパルス状に電
圧を約10V印加して、電荷を光導電・記録層41に注
入する。光ファイバー24と電極25はマウント26に
より固定されている。上述のように、記録媒体22に光
を照射し電圧を印加する事により電荷を注入する記録ス
テップによって、本実施形態の記録方法は実現される。
ETセンサーヘッド28で直接読み出す。そして約80
度で約1週間放置後、再び注入された電荷を微小FET
センサーヘッド28で読み出したところ、電荷量は、約
一週間前と比べ約10%の低下が見られたが、約30d
BのS/N比が得られ、情報は安定に記録されていると
言える。上述のように、記録媒体22に蓄積された電荷
を読み出す再生ステップによって、本実施形態の再生方
法は実現される。
記録媒体22を約5000rpmで回転させながら、半
導体レーザー23から光ファイバー24を介して、近接
場光を記録媒体22にスパイラル状に照射し、それと同
時に電極25からパルス状に電圧を約−4V印加して、
電荷を光導電・記録層41から排出する。微小FETセ
ンサーヘッド28で読み出したところ、電荷の蓄積によ
り記録された情報が消去されたことが確認された。上述
のように、記録媒体22に蓄積された電荷を排出する消
去ステップによって、本実施形態の消去方法は実現され
る。
く、電荷を蓄積させた状態の記録媒体に、情報をオーバ
ーライトすることも出来る。その際は、新たに加えたい
記録に応じた、−4V(電荷の排出)と10V(電荷の
注入)の電圧パルスを電極25により印加することによ
りオーバーライトが可能となる。
な材料を含む電荷蓄積領域と光を吸収して導電性が増加
する材料を含む光導電領域を有する、単層の光導電・記
録層41を形成する。このことから、光導電層と記録層
の2層構造とするよりも、工程が減少し、製造が容易と
なる。光導電・記録層41中に分散される電荷蓄積領域
は、目的とする記録ピットのサイズよりも十分小さいこ
とが好ましく、また、分散状態も均一であることが好ま
しい。また、光導電・記録層41としては、光照射時の
導電性と光非照射時の絶縁性との兼ね合い、また、電荷
の蓄積量と分解能との兼ね合いから、膜厚は約10〜約
200nm程度であることが好ましい。 (第4の実施形態)次に、本発明の第4の実施形態につ
いて説明する。本実施形態の記録媒体の断面図を図5に
示す。
基板11と、基板11上の導電層12、導電層12上の
絶縁層13、絶縁層13表面に形成される記録ピット5
1と、光導電層17から成る。
て製造方法に沿って説明する。
20mm、厚さ約1.2mmのガラスディスクを用い、
この基板11上に導電層12としてAl膜を約500n
mの膜厚となるよう蒸着する。
mで突起が約13nm間隔ごとに作成されたスタンプ
を、導電層12上に押しつけて傷をつける。傷をつけた
導電層12としてのAl膜を希硫酸中で陽極酸化するこ
とにより、酸化と化学エッチングが同時に行われる。そ
してAl膜の表面は酸化作用により約80nmの膜厚の
Al2O3膜となり、化学エッチング作用により、直径
約10nm、深さ約20nmの穴が、Al2O3膜の表
面に穴の中心間距離が約13nmの配列となるように形
成される。 Al2O3膜は絶縁層13として作用す
る。
填し、記録ピット51とする。穴からはみ出たSeは、
記録媒体を加熱しながら約200rpmで回転させ、遠
心除去する。その上に、光導電層17としてCdSeを
厚さ約10nmでスパッタする。
装置で情報の書き込み、読み出し、そして消去を行う。
本実施形態では、記録手段としては、光照射手段として
半導体レーザー23、光ファイバー24を用い、電圧印
加手段として電極25を用いる。また、再生手段として
微小FETセンサーヘッド28を用いる。なお、図2の
拡大図に示すように、光ファイバー24の先端部分は細
くなっており、開口27が設けられている。なお、記録
手段は消去手段も兼ねている。
ター21を用いて、ディスク状の記録媒体22を約30
00rpmで回転させながら、波長約670nm、出力
約1mWの半導体レーザー23から光ファイバー24を
介してこの光ファイバー24の細くした先端の直径約1
0nmの開口部27から、近接場光を記録媒体22にス
パイラル状に照射する。近接場光を照射することによ
り、絶縁体である光導電層17の、近接場光を照射され
た部分の導電性が増加し、近接場光の照射と同時に電極
25からパルス状に電圧を約−10V印加して、電荷を
記録層16に注入する。光ファイバー24と電極25は
マウント26により固定されている。上述のように、記
録媒体22に光を照射し電圧を印加する事により電荷を
注入する記録ステップによって、本実施形態の記録方法
は実現される。
ETセンサーヘッド28で直接読み出す。そして約80
度で約1週間放置後、再び注入された電荷を微小FET
センサーヘッド28で読み出したところ、電荷量は、約
1週間前と比べ約5%の低下が見られたが、約30dB
のS/N比が得られ、情報は安定に記録されていると言
える。上述のように、記録媒体22に蓄積された電荷を
読み出す再生ステップによって、本実施形態の再生方法
は実現される。
記録媒体22を約3000rpmで回転させながら、半
導体レーザー23から光ファイバー24を介して、近接
場光を記録媒体22にスパイラル状に照射し、それと同
時に電極25からパルス状に電圧を約5V印加して、電
荷を記録層16から排出する。微小FETセンサーヘッ
ド28で読み出したところ、電荷の蓄積により記録され
た情報が消去されたことが確認された。上述のように、
記録媒体22に蓄積された電荷を排出する消去ステップ
によって、本実施形態の消去方法は実現される。
く、電荷を蓄積させた状態の記録媒体22に、情報をオ
ーバーライトすることも出来る。その際は、新たに加え
たい情報に応じた、5V(電荷の排出)と−10V(電
荷の注入)の電圧パルスを電極25により印加すること
によりオーバーライトが可能となる。
れた位置に作成した為、記録ピット51の位置を記録し
た情報を読み込むことにより、記録ヘッドのブレ等によ
る位置補正などが可能となる。さらに各記録ピット51
は、絶縁層13に囲まれておりS/N比が高いため、記
録ピット51を小さくすることが出来、高密度記録が可
能となる。 (第5の実施形態)次に、本発明の第5の実施形態につ
いて説明する。本実施形態の記録媒体の断面図を図6に
示す。
基板11と、基板11上の導電層12、導電層12上の
絶縁層13、絶縁層13表面に形成される記録ピット5
1と、光導電層17から成る。
て製造方法に沿って説明する。
20mm、厚さ約1.2mmのガラスディスクを用い、
この基板11上に導電層12としてAl膜を約500n
mの膜厚となるよう蒸着する。
mで突起が約100nm間隔ごとに作成されたスタンプ
を、絶縁層13上に押しつけて傷をつける。傷をつけた
導電層12としてのAl膜を希硫酸中で陽極酸化するこ
とにより、酸化と化学エッチングが同時に行われる。そ
してAl膜の表面は、酸化作用により約100nmの膜
厚のAl2O3膜となり、化学エッチング作用により、
直径約80nm、深さ約80nmの穴が、Al2O3膜
の表面に穴の中心間距離が約100nmの配列となるよ
うに形成される。そしてAl2O3膜は、絶縁層13と
して作用する。
填し、記録ピット51とする。穴からはみ出たSeは、
記録媒体を加熱しながら約200rpmで回転させ、遠
心除去する。その上に、光を吸収する際に、光強度によ
り導電性が非線形的に変化する光導電層17としてβ型
フタロシアニンを分散させたポリカーボネートのクロロ
ホルム溶液をスピンコートし、厚さ約30nmとする。
装置で情報の書き込み、読み出し、そして消去を行う。
図7では図2と同様な部分については同じ番号を付し、
説明を省略する。本実施形態では、記録手段としては、
光照射手段として半導体レーザー23、レンズ71を用
い、電圧印加手段として電極25を用いる。また、再生
手段として微小FETセンサーヘッド28を用いる。こ
のような構成により、半導体レーザー23の照射径より
も小さい記録ピット51単位の記録を行う。なお、記録
手段は消去手段を兼ねている。
ター21を用いて、ディスク状の記録媒体22を約30
00rpmで回転させながら、波長約620nm、出力
約1mWの半導体レーザー23からの光をレンズ71で
照射径を約600nmに絞って、記録媒体22にスパイ
ラル状に照射し、同時に電極25からパルス状に電圧を
約−20V印加して、電荷を記録ピット51に注入す
る。上述のように、記録媒体22に光を照射し電圧を印
加する事により電荷を注入する記録ステップによって、
本実施形態の記録方法は実現される。
ETセンサーヘッド28で直接読み出したところ、約8
0nmの記録ピット51単位での記録が可能であること
が分かった。これは、レーザー光の照射径は約600n
mと大きくても、光の強度分布がガウス的であることか
ら、光導電層17に光の強さに非線形的に応答する材料
を用いているため、光照射された部分の中心部のみにお
いて、光導電層17の光吸収によって導電性が非線形的
に変化したためである。上述のように、記録媒体22に
蓄積された電荷を読み出す再生ステップによって、本実
施形態の再生方法は実現される。
荷を再度読み出したところ、電荷量は、約1週間前と比
べ約5%の低下が見られたが、約30dBのS/N比が
得られ、情報は安定に記録されていると言える。
記録媒体22を約3000rpmで回転させながら、半
導体レーザー23からの光をレンズ71で照射径を約6
00nmに絞って、記録媒体22にスパイラル状に照射
し、それと同時に電極25からパルス状に電圧を約10
V印加して、電荷を記録ピット51から排出する。微小
FETセンサーヘッド28で読み出したところ、電荷の
蓄積により記録された情報が消去されたことが確認され
た。上述のように、記録媒体22に蓄積された電荷を排
出する消去ステップによって、本実施形態の消去方法は
実現される。
く、電荷を蓄積させた状態の記録媒体に、情報をオーバ
ーライトすることも出来る。その際は、新たに加えたい
情報に応じた、10V(電荷の排出)と−20V(電荷
の注入)の電圧パルスを電極25により印加することに
よりオーバーライトが可能となる。本実施形態の記録媒
体22では、光導電層17の導電度が、光強度に対して
非線形的に変化することを特徴としている。これにより
導電度が上昇するスポットサイズを、光の照射スポット
のサイズよりも小さくすることが可能であり、いわゆる
超解像記録が可能となる。 (第6の実施形態)次に、本発明の第6の実施形態につ
いて説明する。本実施形態の記録媒体の断面図を図8に
示す。
基板11と、基板11上の導電層12、導電層12上の
光導電層17、光導電層17上の電荷蓄積領域14と電
気絶縁性領域15から成る記録層16と、記録層16上
の保護膜81から成る。
て製造方法に沿って説明する。
20mm、厚さ約1.2mmのガラスディスクを用い、
この基板11上に導電層12としてAl膜を約200n
mの膜厚となるよう蒸着する。
る物質からなる光導電層17をスピンコートし、厚さ約
30nmの膜を得る。
ソブチルフマレートを厚さ約20nmでスピンコート
し、EB描画装置を用いて電子線を照射し、直径約80
nmの円領域を中心が約120nm間隔ごととなるよう
にする。これをエタノールで現像し、電気絶縁性領域1
5とする。
機色素分子を全面に蒸着する。このドナー性の有機色素
分子は、電気絶縁性領域15上、つまり凸部にも、その
周りの凹部にも蒸着されるが、蒸着後、窒素雰囲気中約
80度で約1時間加熱することにより、有機色素分子は
電気絶縁性領域15の周りの凹部に流れ込み、電荷蓄積
領域14が形成され、記録層16となる。さらにその上
に保護膜81として、ポリイミド膜を約10nm塗布成
膜する。
装置で情報の書き込み、読み出し、そして消去を行う。
図9では図2と同様な部分については同じ番号を付し、
説明を省略する。本実施形態では、記録手段としては、
光照射手段として半導体レーザー23、光ファイバー9
1を用い、電圧印加手段として電極92を用い、スライ
ダー94によって電極92を浮上させる。また再生手段
として微小FETセンサーヘッド93を用いる。なお、
図9の拡大図に示すように、光ファイバー91の先端部
分は細くなっており、開口部96が設けられている。ま
た、記録手段は消去手段を兼ねている。
ター21を用いて、ディスク状の記録媒体22を約40
00rpmで回転させながら、波長約620nm、出力
約1mWの半導体レーザー23から光ファイバー91を
介してこの光ファイバー91の細くした先端の直径約8
0nmの開口部96から、近接場光を記録媒体22にス
パイラル状に照射する。近接場光を照射することによ
り、絶縁体である光導電層17の、近接場光を照射され
た部分の導電性が増加し、近接場光の照射と同時に電極
92からパルス状に電圧を約10V印加して、電荷を記
録層16に注入する。なお、図9に示すように、光ファ
イバー91のヘッド、電極92、微小FETセンサーヘ
ッド93、及びスライダー94は、フライングヘッド9
5に集積されている。フライングヘッド95はスライダ
ー94によって浮上し、電極92と記録媒体22は接触
しない。上述のように、記録媒体22に光を照射し電圧
を印加する事により電荷を注入する記録ステップによっ
て、本実施形態の記録方法は実現される。
ETセンサーヘッド93で直接読み出す。そして約80
度で約1週間放置後、再び注入された電荷を微小FET
センサーヘッド93で読み出したところ、電荷量は、約
1週間前と比べ約3%の低下が見られたが、約30dB
のS/N比が得られ、情報は安定に記録されていると言
える。上述のように、記録媒体22に蓄積された電荷を
読み出す再生ステップによって、本実施形態の再生方法
は実現される。
記録媒体22を約4000rpmで回転させながら、半
導体レーザー23から光ファイバー91を介して、近接
場光を記録媒体22にスパイラル状に照射し、それと同
時に電極92からパルス状に電圧を約−3V印加して、
電荷を記録層16から排出する。微小FETセンサーヘ
ッド93で読み出したところ、電荷の蓄積により記録さ
れた情報が消去されたことが確認された。上述のよう
に、記録媒体22に蓄積された電荷を排出する消去ステ
ップによって、本実施形態の消去方法は実現される。
く、電荷を蓄積させた状態の記録媒体に、情報をオーバ
ーライトすることも出来る。その際は、新たに加えたい
情報に応じた、−3V(電荷の排出)と10V(電荷の
注入)の電圧パルスを電極92により印加することによ
りオーバーライトが可能となる。
層16の下部にある場合には、電荷は基板11上の導電
層12から注入される。この場合にも光導電層17は光
照射によって光スポットの領域のみ電気抵抗が減少し、
保護膜81上の電極からの電圧の印加によって、導電層
12から電荷が注入される。光導電層17が記録層16
の上部にある場合にはヘッドの電極92から電荷が注入
されるためヘッドが接触する必要がある。しかし、光導
電層17が記録層16の下部にある場合には、ヘッドの
電極92は単に電圧を印加すればよいだけであり、電極
92が記録媒体22に接触しない為、摩耗の可能性やヘ
ッドが吸着して動かなくなる可能性を小さくすることが
できる。また記録層16を平坦化する必要もないことか
ら、記録層16上の保護膜81は厚い必要がなく、高電
圧をかけずに電荷を注入することが出来る。
出す方法として、上記に示した実施形態の方法以外で
も、例えば原子間力顕微鏡(AFM)を用いて静電気力
を測定する方法、電気容量の変化を測定する方法、記録
を破壊しないような強度や波長を持った光を照射して吸
収光や反射光、蛍光の強度変化や波長変化を測定する方
法などでも良く、その方法は限定されない。
は、例えばDVDRAMのようにこれらが分離可能な、
リムーバブル型のものであってもよいし、例えばHDD
のような一体型のものであっても良い。
する材料としては、有機物、無機物等さまざまであり、
一般に光非照射下では絶縁性が高く、光照射により導電
度が急激に上がるものが好ましい。また、その応答もで
きるだけ早い方が好ましく、約100MHz〜約1GH
z以上が好ましい。
から(A6)に示した化合物があげられるが、これらに
限定されるものではない。
nO、TiO2、SnO2などの酸化物、AlGaA
s、GaAs、AlInAs、GaInAs、GaIn
P2、InP、PbS、ZnS、ZnSSe、ZnT
e、As2SeTe2、As2Te3、CdS、CdT
e、ZnCdTe、CdSSe、CdSe、CuInS
e 2、CuSなどの合金もしくは化合物があるが、これ
らに限定しない。
く、また混合したり、また種々のマトリックス中に分散
させて用いることも可能である。
としては、蓄積する電荷が電子の場合は、光導電層の伝
導帯やLUMOのエネルギレベルに対して、記録層や記
録領域の伝導帯やLUMOのエネルギレベルが低いこと
が必要である。蓄積する電荷が正孔の場合は、光導電層
の価電子帯やHOMOのエネルギレベルに対して、記録
層や記録領域のそれが高いことが必要である。
まざまであり、例えば、有機物では具体的には以下の構
造式(B1)から(B7)、または(C1)から(C
5)に示されるドナー性もしくはアクセプタ性の色素骨
格を有する分子が好ましい。
上げるために、これらの色素骨格を有する分子から成る
ポリマー、またはこれらの色素骨格を有する分子をYと
する次の構造式を有した非晶質の低分子が望ましい。こ
れらの分子はアモルファス性のため均一な薄膜ができや
すくなる。
ドナー性を示す分子骨格またはアクセプター性を示す分
子骨格であり、Xは単結合、エチレン結合、アミド、エ
ステル結合等の結合基であり、nは1以上の整数であ
る。ここでnが3以上であればガラス転移温度が25℃
以上の安定な非晶質を形成しやすい。
Al、Seなどの各種金属やその合金、Si、Cなどの
半導体、S、SiCなどの絶縁体などがある。
で用いてもよく、また混合したり、また種々のマトリッ
クス中に分散させて用いても良い。マトリックスとして
は電気絶縁性のポリマーなどが好ましい。
かけずに超高密度記録が可能となる、記録媒体、記録装
置および記録方法を提供する事が出来る。
面図。
成図。
面図。
面図。
面図。
面図。
成図。
面図。
成図。
Claims (12)
- 【請求項1】 基板と、前記基板上に形成されかつ電荷
を蓄積することが可能な材料を含む電荷蓄積領域を有す
る記録層と、前記記録層上に形成されかつ光を吸収して
導電性が増加する材料を含む光導電領域を有する光導電
層とを具備することを特徴とする記録媒体。 - 【請求項2】 前記基板と前記記録層との間に、前記基
板上に形成される導電層と、前記導電層上に形成される
絶縁層とを含むことを特徴とする請求項1記載の記録媒
体。 - 【請求項3】 基板と、前記基板上に形成される導電層
と、前記導電層上に形成されかつ光を吸収して導電性が
増加する材料を含む光導電領域を有する光導電層と、前
記光導電層上に形成されかつ電荷を蓄積することが可能
な材料を含む電荷蓄積領域を有する記録層とを具備する
ことを特徴とする記録媒体。 - 【請求項4】 前記記録層が、複数の電荷蓄積領域と、
複数の電気絶縁性領域とを有することを特徴とする請求
項1または3記載の記録媒体。 - 【請求項5】 基板と、光を吸収して導電性が増加する
材料を含む光導電領域及び電荷を蓄積することが可能な
材料を含む電荷蓄積領域を有する光導電・記録層とを具
備し、前記光導電・記録層が基板上に形成されることを
特徴とする記録媒体。 - 【請求項6】 前記基板と前記光導電・記録層との間
に、前記基板上に形成される導電層と、前記導電層上に
形成される絶縁層とを含むことを特徴とする請求項5記
載の記録媒体。 - 【請求項7】 前記光導電領域は、導電性が光の強度に
対して非線形的に変化する材料を用いることを特徴とす
る請求項1、3または5記載の記録媒体。 - 【請求項8】 請求項1、3または5記載の記録媒体に
光を照射し電圧を印加することにより電荷を注入するこ
とを特徴とする記録方法。 - 【請求項9】 照射する前記光が近接場光であることを
特徴とする請求項8記載の記録方法。 - 【請求項10】 請求項1、3または5記載の記録媒体
に光を照射し電圧を印加することにより電荷を注入する
記録手段を具備することを特徴とする記録装置。 - 【請求項11】 前記記録手段で注入される前記電荷を
検出する再生手段を具備することを特徴とする請求項1
0記載の記録装置。 - 【請求項12】 照射する前記光が近接場光であること
を特徴とする請求項10記載の記録装置。
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