JP2001031435A - ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス - Google Patents
ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイスInfo
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
- C03B17/06—Forming glass sheets
- C03B17/067—Forming glass sheets combined with thermal conditioning of the sheets
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- C03B25/00—Annealing glass products
- C03B25/04—Annealing glass products in a continuous way
- C03B25/10—Annealing glass products in a continuous way with vertical displacement of the glass products
- C03B25/12—Annealing glass products in a continuous way with vertical displacement of the glass products of glass sheets
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Materials Engineering (AREA)
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- Liquid Crystal (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶用ガラス基板をダウンドロー法で製造する
際、シートガラスの冷却温度差が原因となって発生する
歪みを低減する。又、ダウンドロー法で製造したシート
ガラスを小サイズに分断したときに発生する微小歪みを
抑制する。 【解決手段】ダウンドロー法でシートガラス８を製造す
る際、成形後の徐冷工程で使用する熱処理手段９に幅方
向に温度分布を形成する。この温度分布は、成形後のシ
ートガラス８が周辺部が表面部に比べて板圧が厚くなっ
ており、これによって発生する温度分布を相殺できる分
布である。
際、シートガラスの冷却温度差が原因となって発生する
歪みを低減する。又、ダウンドロー法で製造したシート
ガラスを小サイズに分断したときに発生する微小歪みを
抑制する。 【解決手段】ダウンドロー法でシートガラス８を製造す
る際、成形後の徐冷工程で使用する熱処理手段９に幅方
向に温度分布を形成する。この温度分布は、成形後のシ
ートガラス８が周辺部が表面部に比べて板圧が厚くなっ
ており、これによって発生する温度分布を相殺できる分
布である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶用ガラス基板
のような薄板（シートガラス）を製造するガラス板の製
造方法、及びガラス板の製造装置、並びに液晶デバイス
に関する。
のような薄板（シートガラス）を製造するガラス板の製
造方法、及びガラス板の製造装置、並びに液晶デバイス
に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のシートガラスの製造方法として
は、フロート法、ダウンドロー法等が知られているが、
特に、コストの観点から液晶用ガラス基板の製造には、
成形後に研磨を必要としない又は研磨量が少ないダウン
ドロー法が、広く用いられている。
は、フロート法、ダウンドロー法等が知られているが、
特に、コストの観点から液晶用ガラス基板の製造には、
成形後に研磨を必要としない又は研磨量が少ないダウン
ドロー法が、広く用いられている。
【０００３】ダウンドロー法の一例として、例えば、特
開平１０−２９１８２６号公報に記載されている方法が
提案されている。この公報に記載されているシートガラ
スは、溶解槽から溶解ガラスを連続的に、成形面に沿っ
て供給し、成形型の下方で両側のガラスを融着させてか
ら、ガラスの周辺部をローラー等によって、下方に引っ
張ることによって板ガラスを形成している。
開平１０−２９１８２６号公報に記載されている方法が
提案されている。この公報に記載されているシートガラ
スは、溶解槽から溶解ガラスを連続的に、成形面に沿っ
て供給し、成形型の下方で両側のガラスを融着させてか
ら、ガラスの周辺部をローラー等によって、下方に引っ
張ることによって板ガラスを形成している。
【０００４】このような製造方法によって得られたシー
トガラスは、成形時に両主表面が自由表面として形成さ
れ、他方、成形型に接したガラス面は融着されているの
で、平滑性と平坦性に優れるという利点を有している。
一般的に、このような製造方法によって得られた１ｍ×
１ｍの外形と、厚さ０．７ｍｍの板ガラスを、５５０×
６５０ｍｍあるいは６００×７２０ｍｍ等の小サイズに
切り出して、液晶用ガラス基板（ＴＦＴ（薄膜トランジ
スタ）を基板表面に形成するＴＦＴ用ガラス基板と、カ
ラーフィルタ用ガラス基板）として使用している。
トガラスは、成形時に両主表面が自由表面として形成さ
れ、他方、成形型に接したガラス面は融着されているの
で、平滑性と平坦性に優れるという利点を有している。
一般的に、このような製造方法によって得られた１ｍ×
１ｍの外形と、厚さ０．７ｍｍの板ガラスを、５５０×
６５０ｍｍあるいは６００×７２０ｍｍ等の小サイズに
切り出して、液晶用ガラス基板（ＴＦＴ（薄膜トランジ
スタ）を基板表面に形成するＴＦＴ用ガラス基板と、カ
ラーフィルタ用ガラス基板）として使用している。
【０００５】これらのガラス基板の内、ＴＦＴ用ガラス
基板には、ガラス基板上に薄膜トランジスタを形成し、
他方、カラーフィルター用ガラス基板にはガラス基板上
にカラーフィルターを夫々別個に形成する。そして、こ
れら薄膜付き基板で液晶を挟持して、液晶デバイスを製
作している。
基板には、ガラス基板上に薄膜トランジスタを形成し、
他方、カラーフィルター用ガラス基板にはガラス基板上
にカラーフィルターを夫々別個に形成する。そして、こ
れら薄膜付き基板で液晶を挟持して、液晶デバイスを製
作している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
製造方法で製造した液晶用ガラス基板には、シートガラ
スの幅方向（引っ張り方向に対して直交する方向）に、
大きな歪みが発生するという問題点があった。この歪み
の原因となるのは、ダウンドロー法特有の板厚分布であ
る。ダウンドロー法で製造したシートガラスは、幅方向
の周辺部の板厚がその内側の部分（以下、表面部と呼
ぶ）に比べて厚くなっている。このため、シートガラス
は、成形後の高温から徐冷する際、周辺部に比べて表面
部の冷却速度が速いので、周辺部には圧縮応力が発生
し、表面部は引っ張り応力が発生し、この結果、幅方向
に微小歪みが発生する。又、この歪みは周辺部が表面部
に対して相対的に大きいなる分布を持つ傾向がある。
製造方法で製造した液晶用ガラス基板には、シートガラ
スの幅方向（引っ張り方向に対して直交する方向）に、
大きな歪みが発生するという問題点があった。この歪み
の原因となるのは、ダウンドロー法特有の板厚分布であ
る。ダウンドロー法で製造したシートガラスは、幅方向
の周辺部の板厚がその内側の部分（以下、表面部と呼
ぶ）に比べて厚くなっている。このため、シートガラス
は、成形後の高温から徐冷する際、周辺部に比べて表面
部の冷却速度が速いので、周辺部には圧縮応力が発生
し、表面部は引っ張り応力が発生し、この結果、幅方向
に微小歪みが発生する。又、この歪みは周辺部が表面部
に対して相対的に大きいなる分布を持つ傾向がある。
【０００７】このような歪みの分布を有するシートガラ
スを、ディスプレイ用ガラスのサイズに切り出すと、歪
み分布が再編成された状態で残存し、ガラス基板に微小
変形をもたらす。このような微小変形が生じたガラス基
板上に、フォトリソグラフィで薄膜トランジスタやカラ
ーフィルタの薄膜パターンを形成すると、フォトリソグ
ラフィ工程の露光が適正に行なわれず、その結果、薄膜
パターン精度を低下させるという問題点が生じる。
スを、ディスプレイ用ガラスのサイズに切り出すと、歪
み分布が再編成された状態で残存し、ガラス基板に微小
変形をもたらす。このような微小変形が生じたガラス基
板上に、フォトリソグラフィで薄膜トランジスタやカラ
ーフィルタの薄膜パターンを形成すると、フォトリソグ
ラフィ工程の露光が適正に行なわれず、その結果、薄膜
パターン精度を低下させるという問題点が生じる。
【０００８】又、ＴＦＴ用ガラス基板とカラーフィルタ
用ガラス基板を、対にして組み合わせる際、ガラス基板
の微小変形の発生によって、アライメントマークの位置
ずれが発生し、これにより、液晶デバイスの歩留まりを
低下させるという問題点も発生する。特に、ガラス基板
が大型化してくると、ガラス基板の変形量も大きくな
り、パターンの位置ずれが、大きな問題になってきた。
用ガラス基板を、対にして組み合わせる際、ガラス基板
の微小変形の発生によって、アライメントマークの位置
ずれが発生し、これにより、液晶デバイスの歩留まりを
低下させるという問題点も発生する。特に、ガラス基板
が大型化してくると、ガラス基板の変形量も大きくな
り、パターンの位置ずれが、大きな問題になってきた。
【０００９】本発明は、上述の問題点に鑑みて考え出さ
れたもので下記の目的を有する。本発明の目的は、ダウ
ンドロー法において、微小歪み又は微小変形の発生を抑
えることにある。又、本発明の他の目的は、表示用基板
の表面上に、フォトリソグラフィによって形成されるパ
ターンが、位置ずれを起すことを防止することにある。
れたもので下記の目的を有する。本発明の目的は、ダウ
ンドロー法において、微小歪み又は微小変形の発生を抑
えることにある。又、本発明の他の目的は、表示用基板
の表面上に、フォトリソグラフィによって形成されるパ
ターンが、位置ずれを起すことを防止することにある。
【００１０】又、本発明の他の目的は、ダウンドロー法
によって形成したシートガラスを、所定の大きさに切り
出したときに、歪みが発生することを防止する。更に、
本発明の他の目的は、液晶デバイスの製造における歩留
まりを向上させることにある。
によって形成したシートガラスを、所定の大きさに切り
出したときに、歪みが発生することを防止する。更に、
本発明の他の目的は、液晶デバイスの製造における歩留
まりを向上させることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、ダウ
ンドロー法において、シートガラスの幅方向における温
度分布に起因する、歪みを除去するために、シートガラ
スの歪み低減処理を徐冷中に実施する製造方法を提案す
るものである。 （構成１）ダウンドロー法によって、溶解ガラスをシー
ト状に成形し、得られたシートガラスを徐冷することに
よってシートガラスを製造するガラス板の製造方法にお
いて、前記シートガラスの幅方向における、周辺部と表
面部との温度差によって発生するシートガラスの歪みを
低減する歪み低減処理を、徐冷の際、行なうことを特徴
とするガラス板の製造方法。ダウンドロー法に適してい
るガラス材料としては、失透の観点から、液相温度が12
00℃以下が好ましく、1100℃以下が更に好ましい。シー
トガラスは、０．５〜１．０ｍｍの厚さが好ましい。
又、歪み低減処理を行なうのは、成形の直後に行なうの
が好ましい。
ンドロー法において、シートガラスの幅方向における温
度分布に起因する、歪みを除去するために、シートガラ
スの歪み低減処理を徐冷中に実施する製造方法を提案す
るものである。 （構成１）ダウンドロー法によって、溶解ガラスをシー
ト状に成形し、得られたシートガラスを徐冷することに
よってシートガラスを製造するガラス板の製造方法にお
いて、前記シートガラスの幅方向における、周辺部と表
面部との温度差によって発生するシートガラスの歪みを
低減する歪み低減処理を、徐冷の際、行なうことを特徴
とするガラス板の製造方法。ダウンドロー法に適してい
るガラス材料としては、失透の観点から、液相温度が12
00℃以下が好ましく、1100℃以下が更に好ましい。シー
トガラスは、０．５〜１．０ｍｍの厚さが好ましい。
又、歪み低減処理を行なうのは、成形の直後に行なうの
が好ましい。
【００１２】（構成２）徐冷に導入されるシートガラス
基板は、その幅方向における温度分布が、周辺部より、
表面部の方が低温であることを特徴とする構成１記載の
ガラス基板の製造方法。
基板は、その幅方向における温度分布が、周辺部より、
表面部の方が低温であることを特徴とする構成１記載の
ガラス基板の製造方法。
【００１３】（構成３）歪み低減処理は、予め光ヘテロ
ダイン法によって測定した成形後のガラス基板における
歪み分布に基づいて実行されることを特徴とする構成１
又は２記載のガラス基板の製造方法。本発明が解決する
歪みは微小歪み（変形）なので、高精度に微小歪み（微
小変形）が測定できる光ヘテロダイン法によって複屈折
量を測定し、この測定結果に基づいて歪み低減処理を行
なうことが好ましい。このような、光ヘテロダイン法を
使用して歪みを測定するすることで、成形後のシートガ
ラスの幅方向の温度分布を容易に把握することができ
る。
ダイン法によって測定した成形後のガラス基板における
歪み分布に基づいて実行されることを特徴とする構成１
又は２記載のガラス基板の製造方法。本発明が解決する
歪みは微小歪み（変形）なので、高精度に微小歪み（微
小変形）が測定できる光ヘテロダイン法によって複屈折
量を測定し、この測定結果に基づいて歪み低減処理を行
なうことが好ましい。このような、光ヘテロダイン法を
使用して歪みを測定するすることで、成形後のシートガ
ラスの幅方向の温度分布を容易に把握することができ
る。
【００１４】(構成４)歪み低減処理は、成形後のガラス
板を熱処理手段によって徐冷する際、前記成形後のシー
トガラスの幅方向における温度分布が低減するように、
熱処理したことを特徴とする構成１乃至３の何れかに記
載のガラス板の製造方法。前記徐冷の温度は６００〜８
５０℃の範囲が好ましい。シート状のガラスの幅方向に
おける温度分布を低減する方法は、シート状ガラスの幅
方向の温度分布を相殺するような温度分布を有する熱処
理手段で熱処理することが好ましい。又、この熱処理は
徐冷工程で行なうので、シートガラスの幅方向の温度分
布も、徐冷時間とともに変化する。従って、熱処理手段
の温度分布も、変化するシートガラスの温度分布に応じ
て、温度分布を連続的又は段階的に引っ張り方向に沿っ
て変化させて形成することが好ましい。
板を熱処理手段によって徐冷する際、前記成形後のシー
トガラスの幅方向における温度分布が低減するように、
熱処理したことを特徴とする構成１乃至３の何れかに記
載のガラス板の製造方法。前記徐冷の温度は６００〜８
５０℃の範囲が好ましい。シート状のガラスの幅方向に
おける温度分布を低減する方法は、シート状ガラスの幅
方向の温度分布を相殺するような温度分布を有する熱処
理手段で熱処理することが好ましい。又、この熱処理は
徐冷工程で行なうので、シートガラスの幅方向の温度分
布も、徐冷時間とともに変化する。従って、熱処理手段
の温度分布も、変化するシートガラスの温度分布に応じ
て、温度分布を連続的又は段階的に引っ張り方向に沿っ
て変化させて形成することが好ましい。
【００１５】(構成５)熱処理は、ガラスの成形温度から
歪み点の近傍に徐冷する過程で少なくとも行なうことを
特徴とする構成４記載のガラス板の製造方法。熱処理
は、成形温度から歪み点以下の取り出し温度の範囲で行
なうのが好ましいが、ガラスの成形温度から歪み点の近
傍に徐冷する過程で行なうことが効果的である。好まし
くは、（成形温度−４００〜５００℃）の温度から歪み
点近傍の過程で熱処理をするのが良い。又、歪み点近傍
で実質的にシートガラスの幅方向の温度を均等化し、歪
み点近傍以下の徐冷は均等化された温度状態を維持し
て、更に徐冷するのが好ましい。又、近傍の好ましい範
囲は歪み点±５０℃以内である。
歪み点の近傍に徐冷する過程で少なくとも行なうことを
特徴とする構成４記載のガラス板の製造方法。熱処理
は、成形温度から歪み点以下の取り出し温度の範囲で行
なうのが好ましいが、ガラスの成形温度から歪み点の近
傍に徐冷する過程で行なうことが効果的である。好まし
くは、（成形温度−４００〜５００℃）の温度から歪み
点近傍の過程で熱処理をするのが良い。又、歪み点近傍
で実質的にシートガラスの幅方向の温度を均等化し、歪
み点近傍以下の徐冷は均等化された温度状態を維持し
て、更に徐冷するのが好ましい。又、近傍の好ましい範
囲は歪み点±５０℃以内である。
【００１６】(構成６)熱処理は、シートガラスを加熱す
る熱処理手段の幅方向の温度分布を、シートガラスの幅
方向の温度分布が低減できるように設定したことを特徴
とする構成4又は5記載のガラス板の製造方法。熱処理手
段の温度分布は、歪み点近傍で急に形成する方法より
は、歪み点近傍の温度分布を基準にし、この歪み点近傍
の温度分布を緩和した温度分布を、歪み点と成形温度と
の間の徐冷過程で、段階的又は連続して形成することが
好ましい。
る熱処理手段の幅方向の温度分布を、シートガラスの幅
方向の温度分布が低減できるように設定したことを特徴
とする構成4又は5記載のガラス板の製造方法。熱処理手
段の温度分布は、歪み点近傍で急に形成する方法より
は、歪み点近傍の温度分布を基準にし、この歪み点近傍
の温度分布を緩和した温度分布を、歪み点と成形温度と
の間の徐冷過程で、段階的又は連続して形成することが
好ましい。
【００１７】(構成７) 歪み低減処理は、引っ張られる
ガラス板の幅方向における周辺部と表面部との間に発生
する熱収縮差に対応して、表面部に対する周辺部の伸ば
し量を、表面部に比べて増加させることにより、表面部
から周辺部に亘って発生する歪みを低減することを特徴
とする構成１〜3の何れかに記載のガラス板の製造方
法。歪み低減処理は、６００〜８５０℃の温度範囲で徐
冷している過程で行なうのが好ましい。
ガラス板の幅方向における周辺部と表面部との間に発生
する熱収縮差に対応して、表面部に対する周辺部の伸ば
し量を、表面部に比べて増加させることにより、表面部
から周辺部に亘って発生する歪みを低減することを特徴
とする構成１〜3の何れかに記載のガラス板の製造方
法。歪み低減処理は、６００〜８５０℃の温度範囲で徐
冷している過程で行なうのが好ましい。
【００１８】(構成８)構成１〜７の何れかに記載のガラ
ス基板の製造方法によって製造された板ガラスの最大歪
みは、０．０７Kg／ｍｍ２以下であることを特徴とする
板ガラスの製造方法。更に好ましい最大歪みは、０．０
４ｋｇ／ｍｍ２以下である。
ス基板の製造方法によって製造された板ガラスの最大歪
みは、０．０７Kg／ｍｍ２以下であることを特徴とする
板ガラスの製造方法。更に好ましい最大歪みは、０．０
４ｋｇ／ｍｍ２以下である。
【００１９】(構成９)ガラス基板は表示装置用ガラス基
板であることを特徴とする構成１〜８の何れかに記載の
ガラス基板の製造方法。表示装置としては、液晶装置が
好ましく、液晶用ガラス基板としては、膨張係数が３２
〜３８×１０−７／℃、歪み点が６５０℃以上が好まし
い。組成で示すとモル％表示で、ＳｉＯ２が、６０〜７
０％、Ｂ２Ｏ３が７〜１２％、Ａｌ２Ｏ３が９〜１３
％、ＭｇＯが１〜８％、ＣａＯが２〜８％、ＳｒＯが
０．５〜５％、ＢａＯが０．５〜５％のガラスが好まし
い。
板であることを特徴とする構成１〜８の何れかに記載の
ガラス基板の製造方法。表示装置としては、液晶装置が
好ましく、液晶用ガラス基板としては、膨張係数が３２
〜３８×１０−７／℃、歪み点が６５０℃以上が好まし
い。組成で示すとモル％表示で、ＳｉＯ２が、６０〜７
０％、Ｂ２Ｏ３が７〜１２％、Ａｌ２Ｏ３が９〜１３
％、ＭｇＯが１〜８％、ＣａＯが２〜８％、ＳｒＯが
０．５〜５％、ＢａＯが０．５〜５％のガラスが好まし
い。
【００２０】又、ＳｉＯ２が６５〜７５％、Ｂ２Ｏ３が
6〜11％、Ａｌ２Ｏ３が８〜１５％、ＭｇＯが３〜１５
％、ＣａＯが０〜８％、ＳｒＯが０〜１％、ＢａＯが０
〜１％が好ましい。
6〜11％、Ａｌ２Ｏ３が８〜１５％、ＭｇＯが３〜１５
％、ＣａＯが０〜８％、ＳｒＯが０〜１％、ＢａＯが０
〜１％が好ましい。
【００２１】(構成１０)溶解ガラス収納櫓から連続的に
供給される溶解ガラスをシート状に成形する成形型と、
成形型によって成形された軟化ガラス板を下方に引っ張
る引っ張り手段と、引っ張られるガラス板の幅方向にお
ける周辺部から表面部に亘って発生する温度分布に起因
する歪みを低減する歪み低減手段とを備えたことを特徴
とするガラス基板の製造装置。
供給される溶解ガラスをシート状に成形する成形型と、
成形型によって成形された軟化ガラス板を下方に引っ張
る引っ張り手段と、引っ張られるガラス板の幅方向にお
ける周辺部から表面部に亘って発生する温度分布に起因
する歪みを低減する歪み低減手段とを備えたことを特徴
とするガラス基板の製造装置。
【００２２】(構成１１)歪み低減手段は、成形後のシー
トガラスを徐冷する熱処理手段であって、成形後のシー
トガラスにおける幅方向の温度分布を低減するような温
度分布を、幅方向に有する熱処理手段であることを特徴
とする構成１０記載のガラス基板の製造装置。熱処理手
段は、シートガラスの片側又両側に配置するのが好まし
い。又、シートガラスの表面近傍に配置するのが好まし
い。
トガラスを徐冷する熱処理手段であって、成形後のシー
トガラスにおける幅方向の温度分布を低減するような温
度分布を、幅方向に有する熱処理手段であることを特徴
とする構成１０記載のガラス基板の製造装置。熱処理手
段は、シートガラスの片側又両側に配置するのが好まし
い。又、シートガラスの表面近傍に配置するのが好まし
い。
【００２３】(構成１２)歪み低減手段は、成形後のシー
トガラスを徐冷する熱処理手段と、表面部から周辺部に
亘って発生する温度分布に対応して、周辺部の伸ばし量
を表面部よりも多くなるように制御する手段と、を有す
ることを特徴とする構成１０記載のガラス板の製造装
置。
トガラスを徐冷する熱処理手段と、表面部から周辺部に
亘って発生する温度分布に対応して、周辺部の伸ばし量
を表面部よりも多くなるように制御する手段と、を有す
ることを特徴とする構成１０記載のガラス板の製造装
置。
【００２４】(構成１３)構成１〜９に何れかに記載のガ
ラスの製造方法によって形成された一対のガラス基板に
よって液晶を挟持したことを特徴とする液晶デバイス。
ラスの製造方法によって形成された一対のガラス基板に
よって液晶を挟持したことを特徴とする液晶デバイス。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例を図面を
参照して説明する。図１は、溶解ガラスからシートガラ
スを製造する、本発明のガラス板製造装置の慨略図、図
２は、図１のＡ−Ａ線断面図、図３は引っ張りローラの
側面図、図４は、歪み低減処理を施さないガラス基板の
歪み分布図、図５は歪み低減処理工程のヒータ（熱処理
手段）とシートガラスの温度を示す表、図６は図５をグ
ラフ化した図、図７は歪み低減処理を施したガラス基板
の歪み分布を示す図、図８は、分断後のガラス基板のト
ータル・ピッチのシフト量と、分断前のシートガラスの
歪み量との関係を示す図である。
参照して説明する。図１は、溶解ガラスからシートガラ
スを製造する、本発明のガラス板製造装置の慨略図、図
２は、図１のＡ−Ａ線断面図、図３は引っ張りローラの
側面図、図４は、歪み低減処理を施さないガラス基板の
歪み分布図、図５は歪み低減処理工程のヒータ（熱処理
手段）とシートガラスの温度を示す表、図６は図５をグ
ラフ化した図、図７は歪み低減処理を施したガラス基板
の歪み分布を示す図、図８は、分断後のガラス基板のト
ータル・ピッチのシフト量と、分断前のシートガラスの
歪み量との関係を示す図である。
【００２６】（ガラス板の製造装置）最初に、本発明の
シートガラスの製造方法を実施する製造装置について、
図１、図２、及び図３を参照して説明する。本発明のシ
ートガラスの製造装置は、図１に示す通り、溶解ガラス
収納槽１と、徐冷炉１０とから大略構成されている。
シートガラスの製造方法を実施する製造装置について、
図１、図２、及び図３を参照して説明する。本発明のシ
ートガラスの製造装置は、図１に示す通り、溶解ガラス
収納槽１と、徐冷炉１０とから大略構成されている。
【００２７】溶解ガラス収納槽１は、開口部を有する収
納部１ａを備え、所定温度でガラス原料を溶解して得た
溶解ガラス２をこの収納部１ａで貯えている。。この収
納部１ａの下端部には成形部３が形成されている。この
成形部３は、シートガラスの幅方向に延在するスリット
状の開口部３ａが形成されている。又、成形部３は、表
面に白金を被覆した耐火煉瓦で構成されている。そし
て、この開口部３ａに溶解ガラス２を流下させることに
より、溶解ガラスをシート状のガラスに成形することが
できる。成形部３を通過したシートガラスは、急冷によ
って周辺部が表面部に収縮することを抑制するために、
ヒータ４によって徐冷される。
納部１ａを備え、所定温度でガラス原料を溶解して得た
溶解ガラス２をこの収納部１ａで貯えている。。この収
納部１ａの下端部には成形部３が形成されている。この
成形部３は、シートガラスの幅方向に延在するスリット
状の開口部３ａが形成されている。又、成形部３は、表
面に白金を被覆した耐火煉瓦で構成されている。そし
て、この開口部３ａに溶解ガラス２を流下させることに
より、溶解ガラスをシート状のガラスに成形することが
できる。成形部３を通過したシートガラスは、急冷によ
って周辺部が表面部に収縮することを抑制するために、
ヒータ４によって徐冷される。
【００２８】徐冷炉１０は、シート状に成形されたガラ
スを徐冷するもので、内部が空洞になっており、シート
ガラス８を周辺部を引っ張りローラ５〜７で下方に引っ
張りながら、熱処理手段９でガラスの急冷を防止して徐
冷する。引っ張りローラ５〜７は、シートガラス８の引
っ張り方向に沿って、所定の距離を置いて配置されてい
る。又、シートガラス８の主表面の近傍には所定距離、
離間して熱処理手段９が配置されている。
スを徐冷するもので、内部が空洞になっており、シート
ガラス８を周辺部を引っ張りローラ５〜７で下方に引っ
張りながら、熱処理手段９でガラスの急冷を防止して徐
冷する。引っ張りローラ５〜７は、シートガラス８の引
っ張り方向に沿って、所定の距離を置いて配置されてい
る。又、シートガラス８の主表面の近傍には所定距離、
離間して熱処理手段９が配置されている。
【００２９】引っ張りローラ５〜７は、シートガラス８
の周辺部８ａ、８ｂを挟んで、シートガラス８を下方に
引っ張っている。引っ張りローラ５ａ、６ａ、７ａは、
図２に示すように、シートガラスの裏側に位置する引っ
張りローラ、５ｃ、６ｃ、７ｃと協働してシートガラス
８を下方に引っ張っている。図１に示す右側の引っ張り
ローラ５ｂ，６ｂ、７ｂも図示していないが、シートガ
ラス８の裏側に、協働して引っ張る引っ張りローラを備
えている。
の周辺部８ａ、８ｂを挟んで、シートガラス８を下方に
引っ張っている。引っ張りローラ５ａ、６ａ、７ａは、
図２に示すように、シートガラスの裏側に位置する引っ
張りローラ、５ｃ、６ｃ、７ｃと協働してシートガラス
８を下方に引っ張っている。図１に示す右側の引っ張り
ローラ５ｂ，６ｂ、７ｂも図示していないが、シートガ
ラス８の裏側に、協働して引っ張る引っ張りローラを備
えている。
【００３０】又、シートガラス８の引っ張り方向に沿っ
て配置されている引っ張りローラ５〜７は、互いに隣り
合うローラがシートガラスの厚さ方向に所定量、偏位さ
せてある。これにより、ガラスの表面部に比べて周辺部
の行程が長くなる。例えば、図１の左側に位置する（５
ａ、５ｃ）（６ａ，６ｃ）（７ａ，７ｃ）は、図３に示
す通り、（６ａ、６ｃ）は（５ａ，５ｃ）（７ａ、７
ｃ）の位置からαだけ偏位させてある。図１に示す５
ｂ、６ｂ、７ｂも図示していないが、同様の配置になっ
ている。
て配置されている引っ張りローラ５〜７は、互いに隣り
合うローラがシートガラスの厚さ方向に所定量、偏位さ
せてある。これにより、ガラスの表面部に比べて周辺部
の行程が長くなる。例えば、図１の左側に位置する（５
ａ、５ｃ）（６ａ，６ｃ）（７ａ，７ｃ）は、図３に示
す通り、（６ａ、６ｃ）は（５ａ，５ｃ）（７ａ、７
ｃ）の位置からαだけ偏位させてある。図１に示す５
ｂ、６ｂ、７ｂも図示していないが、同様の配置になっ
ている。
【００３１】徐冷用の熱処理手段９は、歪みの発生を抑
制できるように、幅方向、引っ張り方向に所定の温度分
布を形成することができる。そのために、縦方向を10
個、横方向を８個に分割したヒータから構成されてい
る。そして、個別のヒータの温度制御が可能になってい
る。幅方向に分割しているのは、幅方向に歪を低減する
ために所定の温度分布を形成するためである。又、引っ
張り方向に分割しているのは、急冷を防止して徐冷する
ためである。急冷を防止するのは、引っ張る工程でシー
トガラス８が破損することを防止するためである。特に
６００〜７００℃の温度範囲で、シートガラス８に急激
な温度変化を与えると、シートガラス８が座屈変形によ
って破損し易い。
制できるように、幅方向、引っ張り方向に所定の温度分
布を形成することができる。そのために、縦方向を10
個、横方向を８個に分割したヒータから構成されてい
る。そして、個別のヒータの温度制御が可能になってい
る。幅方向に分割しているのは、幅方向に歪を低減する
ために所定の温度分布を形成するためである。又、引っ
張り方向に分割しているのは、急冷を防止して徐冷する
ためである。急冷を防止するのは、引っ張る工程でシー
トガラス８が破損することを防止するためである。特に
６００〜７００℃の温度範囲で、シートガラス８に急激
な温度変化を与えると、シートガラス８が座屈変形によ
って破損し易い。
【００３２】（シートガラスの製造方法）上述の装置を
使用して液晶ガラス基板の製造方法を以下に説明する。
最初に歪み低減処理のための準備を行う。先ず、歪み低
減処理を施さない状態で作製したシートガラスの歪み量
を光ヘテロダイン法で測定する。測定サンプルは、シー
トガラスから、幅６５０mm、奥行き５５０ｍｍの大きさ
に切り出したガラス基板である。測定結果は図４に示す
通り、中央から周辺部に向かって徐々に大きくなる分布
を有しており、最大歪みは、複屈折量Ｒｅが４．１ｎｍ
（歪み：０．１２ｋｇ／ｍｍ２）となっている。
使用して液晶ガラス基板の製造方法を以下に説明する。
最初に歪み低減処理のための準備を行う。先ず、歪み低
減処理を施さない状態で作製したシートガラスの歪み量
を光ヘテロダイン法で測定する。測定サンプルは、シー
トガラスから、幅６５０mm、奥行き５５０ｍｍの大きさ
に切り出したガラス基板である。測定結果は図４に示す
通り、中央から周辺部に向かって徐々に大きくなる分布
を有しており、最大歪みは、複屈折量Ｒｅが４．１ｎｍ
（歪み：０．１２ｋｇ／ｍｍ２）となっている。
【００３３】図のスケールは、長さ（ｍｍ）を示すもの
である。又、ガラス基板上の個々の円の中心が測定点で
あり、円の大きさは、歪みの大きさを表している。図示
しないが、歪みの方向を示すｆａｓｔ ａｘｉｓは基板
の下端部中央に向いている。次に、このように測定した
歪み分布と、引っ張りローラの位置調整量の相関関係を
示すデータ、及び、歪み分布と、熱処理手段の幅方向に
おける温度分布との相関関係を示すデータを夫々採取す
る。そして、このデータに基づいて、歪みの発生を低減
できるような引っ張りローラの偏位量と、熱処理手段９
の幅方向の温度分布を決定する。
である。又、ガラス基板上の個々の円の中心が測定点で
あり、円の大きさは、歪みの大きさを表している。図示
しないが、歪みの方向を示すｆａｓｔ ａｘｉｓは基板
の下端部中央に向いている。次に、このように測定した
歪み分布と、引っ張りローラの位置調整量の相関関係を
示すデータ、及び、歪み分布と、熱処理手段の幅方向に
おける温度分布との相関関係を示すデータを夫々採取す
る。そして、このデータに基づいて、歪みの発生を低減
できるような引っ張りローラの偏位量と、熱処理手段９
の幅方向の温度分布を決定する。
【００３４】このような準備をしておいて、溶解ガラス
から、シートガラスを製造する。先ず、図示しない溶解
槽でアルミノシリケートガラス用原料を、１５５０〜１
６５０℃の溶解温度で溶解し、その後、清澄、均質化し
て溶解ガラスを得る。そして、その溶解ガラスを溶解槽
から収納部１ａに移送する。
から、シートガラスを製造する。先ず、図示しない溶解
槽でアルミノシリケートガラス用原料を、１５５０〜１
６５０℃の溶解温度で溶解し、その後、清澄、均質化し
て溶解ガラスを得る。そして、その溶解ガラスを溶解槽
から収納部１ａに移送する。
【００３５】尚、使用したアルミノシリケートガラスの
原料は、下記のガラス組成になるように調合した。 ＳｉＯ２６５％、Ｂ２Ｏ３１１％、Ａｌ２Ｏ３１２％、
ＭｇＯ１２％、ＣａＯ５％、ＳｒＯ２．４％、ＢａＯ
１．６％ 又、このガラスの諸特性は下記の通りである。 歪み点：６５０℃ 光弾性定数：３３ｎｍ／ｃｍ／kg
f／ｃｍ２
原料は、下記のガラス組成になるように調合した。 ＳｉＯ２６５％、Ｂ２Ｏ３１１％、Ａｌ２Ｏ３１２％、
ＭｇＯ１２％、ＣａＯ５％、ＳｒＯ２．４％、ＢａＯ
１．６％ 又、このガラスの諸特性は下記の通りである。 歪み点：６５０℃ 光弾性定数：３３ｎｍ／ｃｍ／kg
f／ｃｍ２
【００３６】次に、収納部１ａに収納された溶解ガラス
２は、成形部３の開口部３ａによってシートガラスに成
形される。この時の成形温度は１１５０〜１２５０℃に
設定している。そして、このように成形されたシートガ
ラスを、歪み低減手段によって歪みの発生を抑制されな
がら、徐冷する。以下にこれらの歪み低減処理について
説明する。歪み低減手段は、熱収縮差によるガラスの伸
び量を制御する方法（方法１）と、徐冷工程で温度分布
を形成して熱処理する方法（方法２）の２種類を併用し
た。
２は、成形部３の開口部３ａによってシートガラスに成
形される。この時の成形温度は１１５０〜１２５０℃に
設定している。そして、このように成形されたシートガ
ラスを、歪み低減手段によって歪みの発生を抑制されな
がら、徐冷する。以下にこれらの歪み低減処理について
説明する。歪み低減手段は、熱収縮差によるガラスの伸
び量を制御する方法（方法１）と、徐冷工程で温度分布
を形成して熱処理する方法（方法２）の２種類を併用し
た。
【００３７】（方法１：引っ張りローラを偏位させる方
法）シートガラス８は、引っ張りロール５〜７によって
下方に引っ張られる際、隣接するローラの一方（ローラ
６）をαだけ偏位させていることから、シートガラスの
周辺部は、表面部よりも大きく引っ張られ、これによ
り、周辺部と表面部の肉厚差に起因する歪みの一部を解
消することができる。これは以下の作用による。シート
ガラスの送り方向の所定間隔において、表面部と、周辺
部の熱収縮量は、表面部の方が大きく、周辺部の方が小
さくなる。従って、周辺と表面部を均等に引っ張ると歪
みが発生することになる。そこで、相対的に収縮が小さ
い周辺部の行程が、表面部に比べて長くなるように引っ
張れば、熱収縮差に応じた表面部と周辺部の行程を確保
できるので、歪みの発生を抑制することができる。
法）シートガラス８は、引っ張りロール５〜７によって
下方に引っ張られる際、隣接するローラの一方（ローラ
６）をαだけ偏位させていることから、シートガラスの
周辺部は、表面部よりも大きく引っ張られ、これによ
り、周辺部と表面部の肉厚差に起因する歪みの一部を解
消することができる。これは以下の作用による。シート
ガラスの送り方向の所定間隔において、表面部と、周辺
部の熱収縮量は、表面部の方が大きく、周辺部の方が小
さくなる。従って、周辺と表面部を均等に引っ張ると歪
みが発生することになる。そこで、相対的に収縮が小さ
い周辺部の行程が、表面部に比べて長くなるように引っ
張れば、熱収縮差に応じた表面部と周辺部の行程を確保
できるので、歪みの発生を抑制することができる。
【００３８】（方法２：、徐冷工程で温度分布を形成し
て熱処理する方法）本実施例の熱処理手段９は上述の通
り、幅方向と引っ張り方向を、それぞれ、個別のヒータ
に分割している。図５の表は、縦横に分割したヒータの
各温度と、そのヒータに相当するシートガラスの温度
（℃）を示している。表の縦の欄には、成形型３から順
次、配置した第１〜第４ヒータの温度を、それぞれ「１
雰囲気」〜「４雰囲気」として示している。この雰囲気
温度は、シートガラス表面から２０ｍｍ離れた位置で熱
電対で測定した。又、シートガラスの温度は、上述の第
１〜第４ヒータに相当する位置のシートガラス８の部分
の温度を、それぞれ、「１硝子」〜「４硝子」として示
している。このシートガラス８の温度は放射温度計で測
定した。表の横の欄に記載している「Ｌ」は、幅方向の
左端のヒータ、「Ｃ」は中央近辺のヒータ、「Ｒ」は右
端のヒータを示している。そして、図６は、図５の表を
グラフ化したものである。
て熱処理する方法）本実施例の熱処理手段９は上述の通
り、幅方向と引っ張り方向を、それぞれ、個別のヒータ
に分割している。図５の表は、縦横に分割したヒータの
各温度と、そのヒータに相当するシートガラスの温度
（℃）を示している。表の縦の欄には、成形型３から順
次、配置した第１〜第４ヒータの温度を、それぞれ「１
雰囲気」〜「４雰囲気」として示している。この雰囲気
温度は、シートガラス表面から２０ｍｍ離れた位置で熱
電対で測定した。又、シートガラスの温度は、上述の第
１〜第４ヒータに相当する位置のシートガラス８の部分
の温度を、それぞれ、「１硝子」〜「４硝子」として示
している。このシートガラス８の温度は放射温度計で測
定した。表の横の欄に記載している「Ｌ」は、幅方向の
左端のヒータ、「Ｃ」は中央近辺のヒータ、「Ｒ」は右
端のヒータを示している。そして、図６は、図５の表を
グラフ化したものである。
【００３９】この図５と図６から判るように、幅方向に
配列された複数のヒータは、周辺部より表面部の温度が
高くなるように設定している。具体的には、中央のヒー
タＣが、周辺のヒータ（Ｒ、Ｌ）に比べて１３〜４５℃
温度を高く設定している。又、この温度差は、第１ヒー
タから第４ヒータに向かって徐々に大きくなるように設
定されている。
配列された複数のヒータは、周辺部より表面部の温度が
高くなるように設定している。具体的には、中央のヒー
タＣが、周辺のヒータ（Ｒ、Ｌ）に比べて１３〜４５℃
温度を高く設定している。又、この温度差は、第１ヒー
タから第４ヒータに向かって徐々に大きくなるように設
定されている。
【００４０】一方、シートガラス８の温度は、第１ヒー
タに相当する位置では、中央部の温度が周辺部より２８
℃高くなっているが、第３ヒータに相当する位置では、
表面部の温度と、周辺部の温度差は３℃に抑制され、ほ
ぼ幅方向で温度が均等化されている。又、この第３ヒー
タに相当する位置で、ガラスの温度は、歪み点の温度で
ある６５０℃に制御されている。つまり、ガラスの歪み
点近傍で、シートガラスは、幅方向に温度が均等化され
ていることが判る。
タに相当する位置では、中央部の温度が周辺部より２８
℃高くなっているが、第３ヒータに相当する位置では、
表面部の温度と、周辺部の温度差は３℃に抑制され、ほ
ぼ幅方向で温度が均等化されている。又、この第３ヒー
タに相当する位置で、ガラスの温度は、歪み点の温度で
ある６５０℃に制御されている。つまり、ガラスの歪み
点近傍で、シートガラスは、幅方向に温度が均等化され
ていることが判る。
【００４１】本実施例で重要な役割を果たしているの
は、歪み点近傍で熱処理を施している第３ヒータである
が、第１ヒータと第２ヒータは、成形温度(１２００℃)
から冷却した後、歪み点に至る急激な温度変化を回避す
るため設けている。又、第４ヒータは、第３ヒータで形
成された、均等化された温度分布を維持しながら、更に
低い温度になるように徐冷する。第４ヒータに後続す
る、第５〜第１０ヒータは図示していないが、第４ヒー
タ同様、均等されたガラスの温度分布を維持しながら、
取り出し温度（１５０〜１８０℃）まで、急冷を防止し
て徐冷するように、段階的に、シートガラス８に熱処理
を施している。
は、歪み点近傍で熱処理を施している第３ヒータである
が、第１ヒータと第２ヒータは、成形温度(１２００℃)
から冷却した後、歪み点に至る急激な温度変化を回避す
るため設けている。又、第４ヒータは、第３ヒータで形
成された、均等化された温度分布を維持しながら、更に
低い温度になるように徐冷する。第４ヒータに後続す
る、第５〜第１０ヒータは図示していないが、第４ヒー
タ同様、均等されたガラスの温度分布を維持しながら、
取り出し温度（１５０〜１８０℃）まで、急冷を防止し
て徐冷するように、段階的に、シートガラス８に熱処理
を施している。
【００４２】そして、取り出し位置まで送出されたシー
トガラス８は、所定間隔（引っ張り方向）で切断して搬
出する。この成形が完了したシートガラス８の板厚は、
左右両側の周辺部（端から内側に１２０〜１３０ｍｍの
領域）が４〜６ｍｍ、その内側に位置する表面部の領域
が０．７ｍｍとなっている。そして、外形は、幅が１０
６０ｍｍ、奥行きが１１０ｍｍである。この後、板厚が
管理されていない周辺部を除去して、有効幅８００ｍ
ｍ、奥行き１１０ｍｍのガラス基板を作製した。この有
功幅とは、板厚が均一な領域である。
トガラス８は、所定間隔（引っ張り方向）で切断して搬
出する。この成形が完了したシートガラス８の板厚は、
左右両側の周辺部（端から内側に１２０〜１３０ｍｍの
領域）が４〜６ｍｍ、その内側に位置する表面部の領域
が０．７ｍｍとなっている。そして、外形は、幅が１０
６０ｍｍ、奥行きが１１０ｍｍである。この後、板厚が
管理されていない周辺部を除去して、有効幅８００ｍ
ｍ、奥行き１１０ｍｍのガラス基板を作製した。この有
功幅とは、板厚が均一な領域である。
【００４３】その後、基板に対して端面研磨、洗浄を順
次行なって最終製品を完成させた。このようにして製造
したシートガラスの歪みを光ヘテロダイン法によって測
定した。その結果、最大複屈折量Ｒｅは０．７７（最大
歪み：０．０４ｋｇ／ｍｍ ２）であった。本実施例の応
力分布の測定結果を図７に示す。図に示すように歪みの
最大値の抑制だけではなく、歪みの分布もほぼ均等化さ
れていることが分かる。
次行なって最終製品を完成させた。このようにして製造
したシートガラスの歪みを光ヘテロダイン法によって測
定した。その結果、最大複屈折量Ｒｅは０．７７（最大
歪み：０．０４ｋｇ／ｍｍ ２）であった。本実施例の応
力分布の測定結果を図７に示す。図に示すように歪みの
最大値の抑制だけではなく、歪みの分布もほぼ均等化さ
れていることが分かる。
【００４４】又、本例のガラス基板と、図４に示した、
歪み低減処理を施さないで製造した、従来のガラス基板
とを比較すると、歪みの均一性と、歪み量の低減化にお
いて、本実施例のガラス基板が優れていることが判る。
又、本実施例において、徐冷の過程で、歪みが原因で発
生するシートガラスの破断を防止できたので、歩留まり
が１０％向上した。
歪み低減処理を施さないで製造した、従来のガラス基板
とを比較すると、歪みの均一性と、歪み量の低減化にお
いて、本実施例のガラス基板が優れていることが判る。
又、本実施例において、徐冷の過程で、歪みが原因で発
生するシートガラスの破断を防止できたので、歩留まり
が１０％向上した。
【００４５】（液晶パネルの製造）上述の実施例によっ
て製造したシートガラスを、５５０×６５０ｍｍのフル
サイズのガラス基板から、４２３×２７５ｍｍのガラス
基板を２枚切り出した。この切り出したガラス基板のト
ータル・ピッチのシフト量は、０．４０μｍであった。
尚、このトータル・ピッチのシフト量は１μｍ以下にす
るのが好ましい。
て製造したシートガラスを、５５０×６５０ｍｍのフル
サイズのガラス基板から、４２３×２７５ｍｍのガラス
基板を２枚切り出した。この切り出したガラス基板のト
ータル・ピッチのシフト量は、０．４０μｍであった。
尚、このトータル・ピッチのシフト量は１μｍ以下にす
るのが好ましい。
【００４６】又、このような、トータル・ピッチのシフ
ト量と、フルサイズ（切り出す前のガラス基板のサイ
ズ）のガラス基板の歪みとの関係を予め求めておけば、
フルサイズのガラス基板の歪み量を管理することで、実
際の表示装置に使用するガラス基板のトータル・ピッチ
のシフト量を管理することができる。図８にこの両者の
相関関係を表すグラフを示す。図において、縦軸は、分
断したガラス基板に発生するトータルピッチのシフト量
（μｍ）、横軸は、分断前のフルサイズの基板の複屈折
量（ｎｍ）である。
ト量と、フルサイズ（切り出す前のガラス基板のサイ
ズ）のガラス基板の歪みとの関係を予め求めておけば、
フルサイズのガラス基板の歪み量を管理することで、実
際の表示装置に使用するガラス基板のトータル・ピッチ
のシフト量を管理することができる。図８にこの両者の
相関関係を表すグラフを示す。図において、縦軸は、分
断したガラス基板に発生するトータルピッチのシフト量
（μｍ）、横軸は、分断前のフルサイズの基板の複屈折
量（ｎｍ）である。
【００４７】このように歪みが抑制された、本実施例の
ガラス基板から、カラーフィルター付きガラス基板と、
ＴＦＴ付きガラス基板を製造した。そして、各ガラス基
板のアライメントマークをあわせて液晶パネルを製造し
た。本実施例の歪みを低減したガラス基板を使用したの
で、高い歩留まりで液晶デバイスを製造することができ
た。
ガラス基板から、カラーフィルター付きガラス基板と、
ＴＦＴ付きガラス基板を製造した。そして、各ガラス基
板のアライメントマークをあわせて液晶パネルを製造し
た。本実施例の歪みを低減したガラス基板を使用したの
で、高い歩留まりで液晶デバイスを製造することができ
た。
【００４８】尚、本発明の製造方法は、上述した実施例
のダウンドロー法以外に、従来の技術で説明した製造方
法にも適用できる。又、上述の実施例では、２種類の歪
み低減処理方法を実施したが、何れか一方だけを実施し
ても良い。
のダウンドロー法以外に、従来の技術で説明した製造方
法にも適用できる。又、上述の実施例では、２種類の歪
み低減処理方法を実施したが、何れか一方だけを実施し
ても良い。
【００４９】又、熱処理手段は、ガラス板の幅方向に複
数個に分割されたものを使用したが、分割して個別に温
度制御しなくても、例えば、均一な発熱をする単一の熱
処理装置の表面部に断熱材を配置すること等によって、
幅方向の熱量を制御しても良い。又、本発明は、液晶ガ
ラス基板の製造方法以外に他の表示装置や、他の電子製
品用ガラス（例えば、情報記録媒体用ガラス基板）にも
適用できる。
数個に分割されたものを使用したが、分割して個別に温
度制御しなくても、例えば、均一な発熱をする単一の熱
処理装置の表面部に断熱材を配置すること等によって、
幅方向の熱量を制御しても良い。又、本発明は、液晶ガ
ラス基板の製造方法以外に他の表示装置や、他の電子製
品用ガラス（例えば、情報記録媒体用ガラス基板）にも
適用できる。
【００５０】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、歪みを抑制
したシートガラスを、ダウンドロー法によって製造する
ことができる。特に、シートガラスの幅方向の歪みを抑
えることができる。このため、シートガラスから切り出
した、ガラス基板の歪みの発生を抑えることができる。
従って、本発明によって製造したガラス基板上にフォト
リソグラフィ法等によって、微細パターンを形成する
際、パターンの位置ズレを抑えることができる。
したシートガラスを、ダウンドロー法によって製造する
ことができる。特に、シートガラスの幅方向の歪みを抑
えることができる。このため、シートガラスから切り出
した、ガラス基板の歪みの発生を抑えることができる。
従って、本発明によって製造したガラス基板上にフォト
リソグラフィ法等によって、微細パターンを形成する
際、パターンの位置ズレを抑えることができる。
【００５１】又、ダウンドロー法によるシートガラスの
製造において、熱歪みの発生が抑えられていりので、シ
ート状のガラスを引っ張りながら除冷する際、シート状
のガラスが破損することを防止できる。このため、生産
の歩留りを向上させることができる。又、本発明によっ
て製造された表示用ガラス基板によれば、表示装置の製
造における歩留りも向上させることができる。
製造において、熱歪みの発生が抑えられていりので、シ
ート状のガラスを引っ張りながら除冷する際、シート状
のガラスが破損することを防止できる。このため、生産
の歩留りを向上させることができる。又、本発明によっ
て製造された表示用ガラス基板によれば、表示装置の製
造における歩留りも向上させることができる。
【図1】溶解ガラスからシートガラスを製造する、本発
明のガラス板製造装置の慨略図。
明のガラス板製造装置の慨略図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】引っ張りローラの側面図。
【図４】歪み低減処理を施さないガラス基板の歪み分布
図。
図。
【図５】歪み低減処理工程のヒータとガラスの温度を示
す表。
す表。
【図６】図５をグラフ化した図。
【図７】歪み低減処理を施したガラス基板の歪み分布を
示す図。
示す図。
【図８】分断後ガラス基板のトータル・ピッチのシフト
量と、分断前シートガラスの歪み量との関係を示す図。
量と、分断前シートガラスの歪み量との関係を示す図。
１ 溶解ガラス収納槽 ２ 溶解ガラス ３ 成形部 ４ ヒータ ５ 引っ張りローラ ６ 引っ張りローラ ７ 引っ張りローラ ８ シートガラス ９ 熱処理手段 １０ 徐冷炉
Claims (13)
- 【請求項１】 ダウンドロー法によって、溶解ガラスを
シート状に成形し、得られたシートガラスを徐冷するこ
とによりガラス板を製造するガラス板の製造方法におい
て、 前記シートガラスの幅方向における、周辺部と表面部と
の温度差によって発生するシートガラスの歪みを低減す
る歪み低減処理を、徐冷の際、行なうことを特徴とする
ガラス板の製造方法。 - 【請求項２】 徐冷に導入されるシートガラスは、その
幅方向における温度分布が、周辺部より、表面部の方が
低温であることを特徴とする請求項１記載のガラス板の
製造方法。 - 【請求項３】 歪み低減処理は、予め光ヘテロダイン法
によって測定した成形後のガラス基板における歪み分布
に基づいて実行されることを特徴とする請求項１又は２
記載のガラス板の製造方法。 - 【請求項４】 歪み低減処理は、成形後のシートガラス
を熱処理手段によって徐冷する際、前記成形後のシート
ガラスの幅方向における温度分布が低減するように、幅
方向に所定の温度分布を形成して熱処理することを特徴
とする請求項１乃至３の何れかに記載のガラス板の製造
方法。 - 【請求項５】 熱処理は、シートガラスの成形温度から
歪み点の近傍に徐冷する過程で少なくとも行なうことを
特徴とする請求項４記載のガラス板の製造方法。 - 【請求項６】 熱処理は、シートガラスを加熱する熱処
理手段の幅方向の温度分布を、ガラスの幅方向の温度分
布が低減できるように設定したことを特徴とする請求項
4又は5記載のガラス板の製造方法。 - 【請求項７】 歪み低減処理は、シートガラスの幅方向
における周辺部と表面部との間に発生する熱収縮差に対
応して、表面部に対する周辺部の伸ばし量を、表面部に
比べて増加させることにより、表面部から周辺部に亘っ
て発生する歪みを低減することを特徴とする請求項１〜
3の何れかに記載のガラス板の製造方法。 - 【請求項８】 請求項１〜７の何れかに記載のガラス基
板の製造方法によって製造された、シートガラスの最大
歪みは、０．０７Kg／ｍｍ２以下であることを特徴とす
る板ガラスの製造方法。 - 【請求項９】 ガラス板は表示基板用ガラス基板である
ことを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のガラス
板の製造方法。 - 【請求項１０】 溶解ガラス収納櫓から連続的に供給さ
れる溶解ガラスをシート状に成形する成形型と、 成形型によって成形された軟化状態のシートガラスを下
方に引っ張る引っ張り手段と、 シートガラスの幅方向における周辺部から表面部に亘っ
て発生する温度分布に起因する歪みを低減する歪み低減
手段とを備えたことを特徴とするガラス板の製造装置。 - 【請求項１１】 歪み低減手段は、成形後のシートガラ
スを徐冷する熱処理手段であって、成形後のシートガラ
スにおける幅方向の温度分布を低減するような温度分布
を、幅方向に有する熱処理手段であることを特徴とする
請求項１０記載のガラス基板の製造装置。 - 【請求項１２】 歪み低減手段は、成形後のシートガラ
スを徐冷する熱処理手段と、 徐冷されているシートガラスにおいて発生する、表面部
から周辺部に亘る温度分布に対応して、周辺部の伸ばし
量を表面部よりも多くなるように制御する手段とを有す
ることを特徴とする請求項１０記載のガラス板の製造装
置。 - 【請求項１３】 請求項１〜９に何れかに記載のガラス
板の製造方法によって形成された一対のガラス基板によ
って液晶を挟持したことを特徴とする液晶デバイス。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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| JP2001031435A true JP2001031435A (ja) | 2001-02-06 |
| JP3586142B2 JP3586142B2 (ja) | 2004-11-10 |
Family
ID=16551845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP20817199A Expired - Lifetime JP3586142B2 (ja) | 1999-07-22 | 1999-07-22 | ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス |
Country Status (5)
| Country | Link |
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| US (1) | US6758064B1 (ja) |
| JP (1) | JP3586142B2 (ja) |
| KR (1) | KR100468542B1 (ja) |
| TW (1) | TWI230144B (ja) |
| WO (1) | WO2001007372A1 (ja) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6758064B1 (en) | 2004-07-06 |
| JP3586142B2 (ja) | 2004-11-10 |
| WO2001007372A1 (fr) | 2001-02-01 |
| TWI230144B (en) | 2005-04-01 |
| KR20020021671A (ko) | 2002-03-21 |
| KR100468542B1 (ko) | 2005-01-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040420 |
|
| A521 | Written amendment |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100813 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100813 Year of fee payment: 6 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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