WO2012053440A1 - 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置 - Google Patents

帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012053440A1
WO2012053440A1 PCT/JP2011/073653 JP2011073653W WO2012053440A1 WO 2012053440 A1 WO2012053440 A1 WO 2012053440A1 JP 2011073653 W JP2011073653 W JP 2011073653W WO 2012053440 A1 WO2012053440 A1 WO 2012053440A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
glass film
roller
shaped glass
annealer
strip
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/073653
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
隆英 中村
克利 藤原
道治 江田
Original Assignee
日本電気硝子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気硝子株式会社 filed Critical 日本電気硝子株式会社
Priority to KR1020127028191A priority Critical patent/KR101833807B1/ko
Priority to CN201180027372.8A priority patent/CN102933513B/zh
Priority to EP11834280.7A priority patent/EP2548851B1/en
Publication of WO2012053440A1 publication Critical patent/WO2012053440A1/ja

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B25/00—Annealing glass products
    • C03B25/04—Annealing glass products in a continuous way
    • C03B25/10—Annealing glass products in a continuous way with vertical displacement of the glass products
    • C03B25/12—Annealing glass products in a continuous way with vertical displacement of the glass products of glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/067—Forming glass sheets combined with thermal conditioning of the sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
    • C03B35/18—Construction of the conveyor rollers ; Materials, coatings or coverings thereof
    • C03B35/181—Materials, coatings, loose coverings or sleeves thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
    • C03B35/18—Construction of the conveyor rollers ; Materials, coatings or coverings thereof
    • C03B35/183—Construction of the conveyor rollers ; Materials, coatings or coverings thereof specially adapted for thermal adjustment of the rollers, e.g. insulating, heating, cooling thereof
    • C03B35/184—Cooling
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
    • C03B35/18—Construction of the conveyor rollers ; Materials, coatings or coverings thereof
    • C03B35/189—Disc rollers

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a strip glass film and an apparatus therefor, and more specifically, a technical for appropriately manufacturing a strip glass film having a thickness of 300 ⁇ m or less through molding, annealing and cutting steps or means. Concerning thought.
  • a strip-shaped glass ribbon formed by an overflow downdraw method, a slot downdraw method, a float method, a redraw method, or the like is cut into a predetermined size to produce a substantially rectangular glass substrate. It becomes.
  • This type of glass substrate is a flat panel display (FPD) represented by a plasma display (PDP), a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), an organic EL display (OLED), a solar cell, or a secondary battery.
  • PDP plasma display
  • LCD liquid crystal display
  • FED field emission display
  • OLED organic EL display
  • solar cell or a secondary battery.
  • the reality is that it is used in the production of batteries.
  • organic EL is used not only as a display that uses TFTs to flicker the three primary colors as in OLED, but also as a flat light source such as LCD backlights and indoor lighting sources by emitting light only in a single color (for example, white). It's getting on.
  • the organic EL lighting device can freely deform the light emitting surface if the glass substrate is flexible, the glass substrate used in this lighting device is also sufficiently flexible. From the standpoint of ensuring safety, a significant reduction in thickness is being promoted.
  • the above-described overflow downdraw method, slot downdraw method, and downdraw method represented by the redraw method are considered suitable. Yes.
  • a glass ribbon is formed by allowing molten glass to flow down from a forming portion into a strip shape (plate shape) and cooling both ends in the width direction with cooling rollers.
  • the redrawing method has a forming step of forming a glass ribbon by reheating and softening and lowering the glass sheet.
  • Patent Document 1 discloses a configuration in which the glass ribbon in the annealer is pulled downward by a pulling roller disposed at the lowest stage of the annealer when performing the annealing process.
  • Claim 1 of Patent Document 1 describes that the thickness of the glass substrate is 0.7 mm or less.
  • the thickness of the central portion in the width direction is 0. 0.
  • the downdraw method described in this document uses a glass ribbon having a thickness of approximately 0.6 to 0.7 mm. It is understood that it is the object of molding.
  • Patent Document 2 discloses a configuration in which the glass ribbon in the annealer is pulled downward by all the pulling rollers arranged in a plurality of upper and lower stages (three stages) on the annealer when performing the annealing process. Has been. Since [0004] and [0042] of this document describe that the thickness of the glass ribbon (sheet glass) is 0.7 mm, the thickness of the downdraw method described in this document is approximately 0. It is understood that a 7 mm glass ribbon is the object to be molded.
  • Patent Documents 3 and 4 all of the pulling rollers arranged in the upper and lower stages in the annealer pull the glass ribbon downward, and are arranged in the upper and lower stages in the cooling chamber existing below the annealer. A configuration is also disclosed in which all of the drawn tension rollers pull the glass ribbon downward.
  • these documents do not describe the thickness of the glass substrate or glass ribbon, the column of the detailed description of the invention of each document substantially describes only the glass substrate for liquid crystal displays. Therefore, if the technical level at the time of filing is taken into consideration, it is understood that the downdraw method described in these documents also targets a glass ribbon having a thickness of approximately 0.7 mm.
  • Patent Document 5 guide rollers having a longer distance between each other than the thickness of both ends in the width direction of the glass ribbon are arranged in multiple stages in the annealer, and the glass ribbon is gripped by the guide rollers. A configuration that is guided downward without being disclosed is disclosed.
  • a glass ribbon band glass film having a thickness of 500 ⁇ m or less and further 200 ⁇ m or less is a molding target.
  • the downdraw methods described in Patent Documents 1 to 4 do not pose a serious problem even if the glass ribbon is gripped by a pulling roller in the annealer because the glass ribbon having a thickness significantly exceeding 300 ⁇ m is the object to be molded.
  • the object to be formed is a strip-shaped glass film of 300 ⁇ m or less, the influence of the gripping force for gripping the strip-shaped glass film by the tension roller increases, and invisible micro-scratches are generated on the front and back surfaces of the strip-shaped glass film. As a result, the band-shaped glass film may be inconvenienced to be damaged or broken starting from the minute scratches.
  • a tension roller is also provided in the cooling chamber below the annealer.
  • the tension roller in the cooling chamber and the tension roller in the above-described annealer are different from each other.
  • the thickness of the belt-shaped glass film is 300 ⁇ m or less, the influence of the gripping force with which the tension roller in the annealer grips the belt-shaped glass film cannot be reduced. Problems such as damage resulting from this cannot be avoided.
  • the downdraw method described in Patent Document 5 is intended for forming a glass ribbon having a thickness of 300 ⁇ m or less, but the glass ribbon is only guided by a guide roller in the annealer and is not gripped.
  • an air flow is generated in the annealer due to the air flowing in from below, so that the glass strip is thin, so that the air flow causes the so-called fluctuation due to the shaking of the glass strip.
  • the band glass film shakes in the annealer in this way, the distance between the heater for maintaining the temperature in the annealer and the band glass film becomes unstable, resulting in the heat of the band glass film. Since the history becomes unstable, it causes a fatal problem in that the internal strain removing action is hindered.
  • the vibration generated in the band-shaped glass film is increased, the band-shaped glass film may be unjustly deformed, which may cause damage.
  • this patent document 5 describes that the lowermost annealing roller in the annealer is a tension roller, even in such a case, the above problem cannot be avoided reliably. . That is, since the temperature inside the annealer is relatively high, an annealer roller made of ceramics or the like is usually used. If only this type of annealer roller is used as a tension roller, a belt-like glass film is used. Can not have enough tension. This is because if the glass ribbon film is gripped in the annealer to cause a sufficient tensile action, the glass ribbon film may be damaged due to improper use of the tension roller material. It is because it becomes difficult to give tension to the band-shaped glass film to such an extent that the above-mentioned shake can be prevented because it causes problems such as occurrence.
  • the present invention suppresses the occurrence of micro-scratches in the annealer as much as possible when the downdraw method for forming a glass strip having a thickness of 300 ⁇ m or less is used. It is a technical problem to avoid the problem caused by the fluctuation of the band-shaped glass film accompanying the air flow generated in the inside.
  • the method according to the present invention which was created to solve the above technical problem, includes a molding step of lowering the glass ribbon film and a slow cooling while lowering the glass ribbon film within the annealer after the molding process is performed. Then, an annealing process for removing internal strain, and a cutting process for cutting the strip-shaped glass film in which the thickness of the central portion excluding both ends in the width direction is 300 ⁇ m or less after the annealing process is performed. And, after the execution of the annealing step and before the cutting step, the descending belt-like glass film is gripped and driven by the main tension roller serving as the main tension roller, It is characterized in that at least the strip-shaped glass film in the annealer is stretched in the vertical direction.
  • providing tension means that the belt-shaped glass film is stretched without loosening regardless of whether or not tension is applied to the belt-shaped glass film.
  • the above-described tension roller and various rollers described later are all disposed at both ends in the width direction of the band-shaped glass film and on both the front and back sides of the band-shaped glass film.
  • a main tension roller after the annealing step and before the cutting step, that is, on the downstream side of the annealer in the feeding path of the belt-like glass film and on the upstream side of the cutting means, as a main tension roller.
  • a main pulling roller that plays a role is arranged, and this main pulling roller grips and rotates the belt-like glass film descending downward from the lower end of the annealer, preferably vertically downward.
  • the main tension roller is disposed outside the annealer, it is not necessary to provide a roller that plays the same role as the main tension roller in the annealer. Therefore, in the annealer, the gripping force of the roller does not have a great influence on the band-shaped glass film.
  • the annealer may not have a roller for gripping the belt-shaped glass film, or may be provided with a roller for gripping the belt-shaped glass film with a smaller force than the main tension roller. There is no need to provide a roller for gripping the belt-shaped glass film with the same strong force. Thereby, it becomes difficult to produce the damage
  • positioned on the exterior lower side of an annealer has a tension
  • the distance between the heater and the strip glass film for maintaining the temperature inside the annealer fluctuates due to being too close or too far away, etc., and it becomes impossible to perform an appropriate internal strain removing action on the strip glass film. Problems can be avoided appropriately.
  • an auxiliary pulling roller may be provided in the annealer. It is important that the auxiliary pulling roller has a sufficiently small gripping force on the band-shaped glass film as compared with the main pulling roller to the extent that a problem due to the occurrence of minute scratches on the band-shaped glass film does not occur.
  • the main pulling roller stretches in the vertical direction with respect to the band-shaped glass film between the cooling roller disposed above the outside of the annealer or the roller disposed within the annealer. It is preferable to give it.
  • the belt-shaped glass film can be stretched over the entire vertical direction in the annealer.
  • the belt-like glass film can be stretched between the main tension roller and a roller disposed in the annealer, that is, a roller that grips the belt-like glass film in the annealer.
  • the belt-shaped glass film can be stretched in the lower region than the roller.
  • the roller is preferably located in the vicinity of the upper end in the annealer. For example, when the roller is provided in a plurality of upper and lower stages in the annealer, only the uppermost roller has the belt-like glass film. It is preferable to be configured to grip.
  • the position of the roller be selected or adjusted so that the band-like glass film in the annealer is likely to be shaken due to airflow, but also the peripheral speed of the roller.
  • the speed By making the speed equal to or higher than the peripheral speed of the cooling roller, it is possible to avoid the above-described problem due to the vibration between the roller and the cooling roller.
  • it is important that the gripping force by the annealing roller is smaller than the gripping force by the main pulling roller.
  • guide rollers having a spacing distance longer than the thickness of the belt-like glass film are opposed to both sides of the belt-like glass film.
  • the rollers are arranged in a plurality of upper and lower stages in the annealer, all of them may be guide rollers, and all of the other rollers except one stage (preferably the uppermost stage) are guide rollers. It may be.
  • the belt-like glass film is stretched between the cooling roller and the main pulling roller disposed above the outside of the annealer, and in the latter case The belt-like glass film is stretched between the roller at the appropriate position in the annealer and the main pulling roller.
  • the guide roller is preferably driven and rotated so that the peripheral speed thereof is substantially the same as the descending speed of the belt-shaped glass film from the viewpoint of avoiding the occurrence of contact scratches when contacting the belt-shaped glass film. .
  • a direction changing step for changing the feeding direction of the descending strip-shaped glass film into a lateral direction is executed.
  • the lower glass ribbon film may be held by the main tension roller and driven to rotate.
  • the main tension roller is preferably disposed at or near the portion where the direction changing process is started.
  • the main tension roller is formed of a material having a lower hardness than the belt-shaped glass film in an outer peripheral portion that comes into contact with the belt-shaped glass film when the belt-shaped glass film is gripped.
  • the main tension roller has a relatively lower hardness, so that the strip-like glass film has micro-scratches. It becomes difficult to obtain a high-quality strip-shaped glass film.
  • the outer peripheral portion of the main tension roller is preferably formed of synthetic rubber.
  • the “synthetic rubber” here refers to an elastomer.
  • the synthetic rubber preferably has a static friction coefficient of 1.00 or higher and a heat resistant temperature of 300 ° C. or higher.
  • the apparatus according to the present invention which was created to solve the above technical problem, includes a forming means for forming the glass ribbon film while lowering it, and a slow cooling in the annealer while lowering the glass glass film formed. And an annealing means for removing internal strain, and a cutting means for cutting the glass ribbon film that has been gradually cooled and the thickness of the central region excluding both ends in the width direction becomes 300 ⁇ m or less.
  • the descending strip glass film is gripped by the main tension roller serving as the main tension roller.
  • the main tension roller serving as the main tension roller.
  • the main pulling roller since there is no need to provide a roller that plays the same role as the main pulling roller in the annealer, damage or breakage of the band-shaped glass film caused by the occurrence of invisible minute scratches, etc.
  • the main pulling roller has a tension in the vertical direction with respect to the band-shaped glass film in the annealer, thereby preventing the band-shaped glass film from shaking due to the air flow. As a result, it is possible to avoid improper internal strain removing action caused by a change in the distance between the heater and the strip glass film in the annealer.
  • FIG. 1 illustrates a strip glass film manufacturing apparatus 1 (implementation status of the strip glass film manufacturing method) according to the first embodiment of the present invention.
  • the basic configuration of the manufacturing apparatus 1 is that, in order from the top, a forming furnace 4 for forming the molten glass 2 into a strip glass film 3 and a slow cooling of the strip glass film 3 exiting the forming furnace 4. Then, an annealer (annealing furnace) 5 for removing internal strain, a cooling chamber 6 for cooling the strip glass film 3 exiting the annealer 5, and the strip glass film 3 exiting the cooling chamber 6 are cut along the longitudinal direction. And a cutting chamber 8 for producing the glass roll 7.
  • a forming furnace 4 for forming the molten glass 2 into a strip glass film 3 and a slow cooling of the strip glass film 3 exiting the forming furnace 4.
  • an annealer (annealing furnace) 5 for removing internal strain
  • a cooling chamber 6 for cooling the strip glass film 3 exiting the annealer 5
  • the molding means in the manufacturing apparatus 1 includes the molding furnace 4, the molded body 4a, and the cooling roller 4R as main components.
  • the cooling roller 4R (also referred to as an edge roller or a knurl roll) has a gear shape with a plurality of convex portions parallel to the roller shaft formed on the outer peripheral surface thereof, and thus the strip-shaped glass film 3 contracts in the width direction.
  • a tensile force to the outer side in the width direction acts on both ends of the belt-like glass film 3 from the cooling roller 4R. Therefore, the edge part whose thickness is larger than the area
  • an annealing roller 5 ⁇ / b> R which is arranged in a plurality of upper and lower stages (three stages in the illustrated example) and plays a role of mainly guiding the descent of the band-shaped glass film 3 exiting the molding furnace 4, and the front and back of the band-shaped glass film 3.
  • a heater (not shown) that is spaced apart from each other and that maintains the temperature inside the annealer 5 is accommodated. Therefore, the annealing means in the manufacturing apparatus 1 is mainly composed of the annealer 5, the annealer roller 5R, and the heater.
  • the annealer roller 5R is made of ceramics from the viewpoint of ensuring heat resistance. And this annealing roller 5R is arrange
  • FIG. Further, the temperature inside the annealer 5 is set so as to have a predetermined temperature gradient, and the temperature gradually decreases as the strip glass film 3 descends, thereby removing internal strain (thermal strain). It is set as the structure. In the annealer 5, an air flow is generated due to the upward movement of air entering from the lower end.
  • the cooling means in the manufacturing apparatus 1 includes the cooling chamber 6 and the lower roller 6R as main components.
  • the direction changing means 9 that converts the strip-shaped glass film 3 descending from the cooling chamber 6 into a lateral feed while curving the strip-shaped glass film 3, and the strip-shaped glass fed in the lateral direction after the direction change.
  • a cutting means 10 for cutting the film 3 along the longitudinal direction and a winding means 11 for winding the cut glass ribbon 3 around the core 7a are accommodated.
  • the thickness of the central portion excluding the ear portion of the strip-shaped glass film 3 that has left the cooling chamber 6 and reaches the cutting chamber 8 is 300 ⁇ m or less (preferably 200 ⁇ m or less).
  • the direction changing means 9 is composed of a plurality of rollers 9R that are arranged in a curved state with a predetermined curvature and that support or non-contact-support the belt-like glass film 3, and after the direction changing by the direction changing means 9
  • the feeding direction of the band-shaped glass film 3 is a horizontal direction or a horizontal direction in which the front side in the traveling direction is inclined downward.
  • the cutting means 10 irradiates a laser beam from the surface side of the band-shaped glass film 3 that is fed in the lateral direction to perform local heating, and then sprays cooling water from the surface side to the heated heating area.
  • the strip-shaped glass film 3 is configured to be cleaved by laser in the longitudinal direction.
  • the winding means 11 is a glass roll formed by superposing a protective sheet 13 drawn from the sheet roll 12 on the outer peripheral surface side (back side) of the cut strip-shaped glass film 3 and winding it around the core 7a. 7 is obtained.
  • the uppermost lower roller 6 ⁇ / b> R comes out of the annealer 5 and exits the cooling chamber 6.
  • the main pulling roller 6R is driven so that a vertical tension is applied to the strip glass film 3 in the annealer 5 so that the strip glass film 3 descending in the annealer 5 is stretched. It is configured to rotate.
  • any of the annealing rollers 5R disposed in the upper and lower three stages in the annealing unit 5 is basically a guide roller that guides the lowering movement without contacting the belt-like glass film 3.
  • the separation distance T between the annealer rollers 5R located on both the front and back sides of the belt-shaped glass film 3 is set to be longer than the thickness (ear portion thickness) t of the belt-shaped glass film 3.
  • the gap between the front and back surfaces of the belt-like glass film 3 and the annealing rollers 5R arranged on both sides thereof is set to be about 50 to 4000 ⁇ m.
  • the peripheral speed of the annealing roller 5R is set to be substantially the same as the descending speed of the strip glass film 3.
  • the strip-shaped glass film 3 is thin, so that the strip-shaped glass film 3 is affected by the air flow generated in the annealer 5 so that In this state, the vibration due to the vibration can occur.
  • the annealer 5 is pulled. Inside, the strip glass film 3 is stretched.
  • the peripheral speed of the main pulling roller 6R is configured to drive and rotate at substantially the same speed as or higher than the peripheral speed of the cooling roller 4R.
  • the lower roller 6R excluding the main pulling roller 6R is a guide roller having a mutual separation dimension T ′ longer than the thickness t of the strip glass film 3.
  • the main pulling roller 6R is not limited to the uppermost lower roller 6R, but may be a lower lower roller 6R, and may be a plurality of stages such as two stages or three stages.
  • the lower roller 6R provided may be used.
  • the cooling roller 4R, the annealing roller 5R, and the lower roller 6R are all mounted on each of two roller shafts that are supported at both ends by the wall portions 14 on both sides in the width direction.
  • the band-shaped glass film 3 is disposed on both the front and back sides of the band-shaped glass film 3 at a position slightly in the middle of the ears at both ends in the width direction of the band-shaped glass film 3.
  • These rollers 4R, 5R, and 6R may be cantilevered on both wall portions 14, respectively.
  • a cylindrical roller body 6a made of synthetic rubber (elastomer) is fitted and fixed to the outer peripheral side of the roller shaft 6x. Therefore, the outer peripheral surface of the roller body 6 a made of synthetic rubber is configured to contact the front and back surfaces of the belt-shaped glass film 3 to apply a gripping force.
  • Synthetic rubber has a hardness lower than that of glass, but since it can appropriately control physical properties such as hardness, flexibility, and surface smoothness, it is easy to make a material that can hold the band-shaped glass film 3 accurately.
  • a static friction coefficient with glass is 1.00 or more.
  • the outer peripheral portion of the main pulling roller 6R can properly grip the strip glass film 3 without causing slippage between the front and back surfaces of the strip glass film 3 with certainty.
  • the numerical value of the above-mentioned static friction coefficient is obtained when the glass plate is gradually inclined with the synthetic rubber material placed on the glass plate, and the angle when the synthetic rubber material starts to slide is ⁇ .
  • Tan ⁇ is a value measured by a method (so-called tilt method) using a static friction coefficient, and is a measured value at room temperature.
  • this synthetic rubber preferably has a heat resistant temperature of 300 ° C. or higher as long as it is an arrangement condition of the main tension roller 6R in this embodiment. That is, the main pulling roller 6R can play its role as long as it is located outside the annealer 5, but it is more probable that the main pulling roller 6R is located as close to the annealer 5 as possible. Therefore, it is advantageous for providing an appropriate tension to the band-shaped glass film 3 in the annealer 5. In that case, since the temperature of the strip glass film 3 immediately after exiting the annealer 5 is 250 ° C.
  • a synthetic rubber having a low heat resistance temperature for example, nitrile rubber, acrylic rubber, urethane rubber, ethylene propylene rubber, butyl rubber, epichlorohydrin.
  • a device for cooling the outer peripheral portion is separately required, or the belt-shaped glass is used.
  • the main tension roller 6R must be disposed at a part where the temperature of the film 3 is sufficiently lowered, that is, a part far from the annealer 5.
  • the heat resistant temperature means the maximum temperature within a range in which the physical properties of the synthetic rubber can be maintained as they are without causing deformation due to heat and without having unnecessary adhesiveness due to heat.
  • silicone rubber or fluorine rubber as the synthetic rubber of the roller body 6a.
  • FIG. 4b illustrates in detail another structure of the main tension roller 6R.
  • a cylindrical core portion 6b is fitted and fixed on the outer peripheral side of the roller shaft 6x, and a synthetic rubber is formed on the outer peripheral side of the core portion 6b.
  • a cylindrical roller body 6a is fitted and fixed. Even in such a configuration, the synthetic rubber constituting the roller body 6a comes into contact with both the front and back surfaces of the belt-like glass film 3. And since the characteristic and advantage regarding synthetic rubber are the same as the matter explained based on Drawing 4a, the explanation is omitted here.
  • a molding step is performed in which a molten glass is formed into a band-shaped glass film 3 by the main action of the molded body 4a and the cooling roller 4R in the molding furnace 4 and then lowered.
  • An annealing process is performed in which the internal glass is removed while the belt-like glass film 3 is guided and lowered by the annealing roller (guide roller) 5R.
  • belt-shaped glass film 3 is performed after that. Furthermore, the glass roll 7 is obtained by the winding means 11 thereafter winding the band-shaped glass film 3 with the ears cut off around the core 7 a in a state of being overlapped with the protective sheet 13.
  • the band-shaped glass film 3 in the annealer 5 is stretched between the cooling roller 4R in the molding furnace 4 and the main tension roller 6R in the cooling chamber 6 over the entire area. Since it is in a struck state, the band-like glass film 3 is not easily shaken by shaking because the airflow is generated in the annealer 5. Since the outer peripheral portion of the main pulling roller 6R is made of synthetic rubber, the belt-like glass film in the annealer 5 does not cause a minute scratch on the belt-like glass film 3 in the cooling chamber 6 and does not slip. 3 can be stretched in a stable state.
  • the main tension roller 6R can reliably grip the belt-shaped glass film 3 without causing slippage. Therefore, it becomes possible to give the belt-like glass film 3 in the annealer 5 a tension that does not cause a shake.
  • the anneal rollers 5R in the annealer 5 are all guide rollers, and their peripheral speed is substantially the same as the descending speed of the strip glass film 3, so that the strip glass film 3 contacts the anneal roller 5R when descending. Even so, the occurrence of micro-scratches due to contact is suppressed as much as possible.
  • the annealing roller 5R is made of high-hardness ceramics due to the temperature in the annealing unit 5, but as described above, all are guide rollers and the peripheral speed is appropriate. It is not a factor that causes micro-scratches.
  • FIG. 5 illustrates the strip glass film manufacturing apparatus 1 (implementation status of the strip glass film manufacturing method) according to the second embodiment of the present invention.
  • the manufacturing apparatus 1 according to the second embodiment differs from that according to the first embodiment described above in that it is below the cooling chamber 6 and the direction change means 9 changes the direction of the strip glass film 3.
  • the main pulling roller 6R is disposed just before starting (in the illustrated example, at or near the starting point of the direction change).
  • the main tension roller may be disposed in the cooling chamber 6, but before the band-shaped glass film 3 starts to change the direction, preferably at or near the start point of the direction change, the main tension roller 6R. It is important to arrange these.
  • the main tension roller 6R After the wave disappears by the action of the above, the band-shaped glass film 3 in the annealer 5 can be stretched. Moreover, if the main pulling roller 6R is arranged at or near the starting point of the direction change of the strip glass film 3, the feeding path of the strip glass film 3 can be shortened as much as possible, and the space can be reduced. Can do.
  • the belt-like glass film 3 in the annealer 5 is stretched between the cooling roller 4R and the main pulling roller 6R, but is disposed in the annealer 5.
  • the uppermost annealing roller 5R may hold the strip glass film 3 so that the strip glass film 3 in the annealer 5 is stretched between the annealing roller 5R and the main pulling roller 6R.
  • the peripheral speed of the uppermost annealing roller 5R is set equal to or higher than the peripheral speed of the cooling roller 4R, and the peripheral speed of the main tension roller 6R is changed to the uppermost annealing roller. It is important to set the speed equal to or higher than the peripheral speed of 5R.
  • the annealing roller 5R for gripping the belt-shaped glass film 3 in the annealing unit 5 is not limited to the uppermost one, and may be the lower annealing roller 5R, but the annealing roller 5R and the cooling roller 4R. It is important that the relationship between the peripheral speeds of the main tension roller and the main tension roller is the same as that described above.
  • the main tension roller 6R is arranged as the tension roller.
  • the gripping force is smaller than the main tension roller 6R and the peripheral speed is higher.
  • An auxiliary pulling roller equivalent to the main pulling roller 6R may be provided.
  • the present invention is applied when the overflow downdraw method is adopted for forming the band-shaped glass film, but the same applies when the slot downdraw method and the redraw method are adopted.
  • the present invention can be applied.
  • the above-described cooling roller arrangement position corresponds to an unheated position of the plate glass as the base material.
  • belt-shaped glass film 3 may be scribed along the width direction and cut using the scribe as a base line to obtain a glass film as a plurality of glass substrates.

Abstract

　帯状ガラスフィルム３を下降させながら成形した後、帯状ガラスフィルム３をアニーラ５内で下降させながら徐冷して内部歪を除去し、然る後、幅方向両端部を除く中央部の厚みが３００μｍ以下となった帯状ガラスフィルム３を切断するに際して、アニーラ５内での処理の実行以後であり且つ切断工程の実行以前に、下降している帯状ガラスフィルム３を、主たる引張ローラとしての役割を果たす主引張ローラ６Ｒが把持して駆動回転することにより、少なくともアニーラ５内の帯状ガラスフィルム３に対して上下方向に張りをもたせる。

Description

帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置
　本発明は、帯状ガラスフィルムの製造方法及びその装置に係り、詳しくは、厚みが３００μｍ以下の帯状ガラスフィルムを、成形、アニール、切断の各工程あるいは各手段を通じて、適切に製造するための技術的思想に関する。
　周知のように、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウンドロー法、或いはフロート法や、リドロー法等によって成形された帯状のガラスリボンは、所定の寸法に切断されて、略矩形状をなすガラス基板として製品化される。この種のガラス基板は、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）などに代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）、或いは太陽電池や２次電池などの製作に使用されているのが実情である。
　これらのＦＰＤ等は、その軽量化が推進されていることから、当該ＦＰＤ等の主要構成要素として使用されるガラス基板は、薄板化の一途を辿っているのが現状である。特に、有機ＥＬは、ＯＬＥＤのように微細な三原色をＴＦＴにより明滅させるディスプレイだけでなく、単色（例えば白色）のみで発光させてＬＣＤのバックライトや屋内照明の光源などの平面光源としても利用されつつある。そして、有機ＥＬの照明装置は、ガラス基板が可撓性を有すれば、自由に発光面を変形させることが可能であることから、この照明装置に使用されるガラス基板も、充分な可撓性確保の観点から大幅な薄板化が推進されている。
　これらのＦＰＤや照明装置等に使用される薄肉のガラス基板の製造方法としては、上述のオーバーフローダウンドロー法やスロットダウンドロー法さらにはリドロー法に代表されるダウンドロー法が好適であるとされている。このダウンドロー法は、オーバーフローダウンドロー法及びスロットダウンドロー法については、溶融ガラスを成形部から帯状（板状）に流下させてその幅方向両端部を冷却ローラで冷却することによりガラスリボンを成形する成形工程を有し、リドロー法については、板ガラスを再加熱して軟化させ且つ下降させることによりガラスリボンを成形する成形工程を有する。そして、何れのダウンドロー法についても、成形工程の実行後にガラスリボンを下降させながらアニーラ内で徐冷して内部歪を除去するアニール工程と、該アニール工程の実行後にガラスリボンを切断する切断工程とを有する。
　このダウンドロー法について詳述すると、特許文献１には、アニール工程を実行する際に、アニーラ内のガラスリボンが、アニーラの最下段に配設された引張ローラによって下方向に引っ張られる構成が開示されている。この特許文献１の請求項１には、ガラス基板の厚みが０．７ｍｍ以下と記載されているが、この文献の［００５１］及び［００５３］にはそれぞれ、幅方向中央部の厚みが０．７ｍｍであること、及び幅方向中央部の厚みが０．６３ｍｍであることが記載されているため、この文献に記載のダウンドロー法は、厚みが概ね０．６～０．７ｍｍのガラスリボンを成形対象にしているものと解される。
　また、特許文献２には、アニール工程を実行する際に、アニーラ内のガラスリボンが、アニーラに上下複数段（三段）に配設された全ての引張ローラによって下方向に引っ張られる構成が開示されている。この文献の［０００４］及び［００４２］には、ガラスリボン（シートガラス）の厚みが０．７ｍｍであることが記載されているため、この文献に記載のダウンドロー法は、厚みが概ね０．７ｍｍのガラスリボンを成形対象にしているものと解される。
　更に、特許文献３，４には、アニーラ内に上下複数段に配設された引張ローラの全てがガラスリボンを下方向に牽引すると共に、アニーラの下方に存する冷却室内に上下複数段に配設された引張ローラも全てがガラスリボンを下方向に牽引する構成が開示されている。これらの文献には、ガラス基板ないしガラスリボンの厚みについての記載がなされていないが、同各文献の発明の詳細な説明の欄には、実質上、液晶ディスプレイ用のガラス基板のみが記載されているに過ぎないため、その出願当時の技術水準を参酌すれば、これらの文献に記載のダウンドロー法も、厚みが概ね０．７ｍｍのガラスリボンを成形対象にしているものと解される。
　加えて、特許文献５には、ガラスリボンの幅方向両端部の厚みよりも相互間離間寸法が長尺なガイドローラを、アニーラ内に上下複数段に配設し、ガラスリボンがガイドローラによって把持されることなく下方向に案内される構成が開示されている。この文献に記載のダウンドロー法は、厚みが５００μｍ以下さらには２００μｍ以下のガラスリボン（帯状ガラスフィルム）を成形対象としている。
特開２００７－５１０２７号公報 特開２００１－３１４３５号公報 特開２００９－１７３５２４号公報 特開２００９－１７３５２５号公報 特開２００８－１０５８８２号公報
　ところで、近年においては、上述のようにガラス基板の大幅な薄肉化が図られるに至ったことから、厚みが３００μｍ以下のガラス基板（ガラスフィルム）が実用に供されているが、この種のガラス基板を上述の特許文献１～５に記載されたダウンドロー法で作製しようとした場合には、以下に示すような問題が生じる。
　すなわち、特許文献１～４に記載のダウンドロー法は、厚みが３００μｍを大幅に超えるガラスリボンを成形対象としているために、アニーラ内で引張ローラによりガラスリボンを把持しても大きな問題とはならない。しかしながら、その成形対象が３００μｍ以下の帯状ガラスフィルムであると、引張ローラにより帯状ガラスフィルムを把持する把持力の影響が大きくなって、帯状ガラスフィルムの表裏面に不可視の微小傷が生じる。その結果、帯状ガラスフィルムが、この微小傷を起点として損傷あるいは破損するという不具合を招き得る。
　この場合、特許文献３，４に記載のダウンドロー法は、アニーラの下方の冷却室内にも引張ローラが配設されているが、この冷却室内の引張ローラと上述のアニーラ内の引張ローラとは主従の関係がない。つまり、前者と後者との何れか一方の引張ローラが主たるものであり且つ他方の引張ローラが補助的なものであるとの区別がなされていない。そのため、全ての引張ローラが、帯状ガラスフィルムに対して実質的に同等の把持力による影響を及ぼすことになる。その結果、帯状ガラスフィルムの厚みが仮に３００μｍ以下であると、アニーラ内の引張ローラがその帯状ガラスフィルムを把持する把持力の影響を小さくすることができず、上述のような微小傷の発生及びこれに起因する破損等の不具合を回避できなくなる。
　一方、特許文献５に記載のダウンドロー法は、厚みが３００μｍ以下の帯状ガラスフィルムを成形対象としているものの、アニーラ内では帯状ガラスフィルムがガイドローラによって案内されているだけで把持はされていない。この場合、アニーラ内には、その下方から流入する空気による空気流が発生しているため、帯状ガラスフィルムが薄肉であるが故にその空気流によって該帯状ガラスフィルムが揺れることによる所謂振れが生じる。そして、このようにアニーラ内で帯状ガラスフィルムに振れが生じると、アニーラ内の温度維持のためのヒータと帯状ガラスフィルムとの間の距離が不安定となり、これに起因して帯状ガラスフィルムの熱履歴が不安定となるため、その内部歪の除去作用に支障が生じるという致命的な問題を招く。しかも、帯状ガラスフィルムに生じる振れが大きくなると、帯状ガラスフィルムが不当に変形するなどして、破損原因にもなり兼ねない。
　なお、この特許文献５には、アニーラ内の最下段のアニーラローラを引張ローラとすることが記載されているが、そのようにした場合であっても、上記の問題を確実に回避することはできない。すなわち、アニーラ内の温度は、比較的高温であるために、セラミックス製などのアニーラローラが使用されているのが通例であって、この種のアニーラローラのみを引張ローラとして使用したのでは、帯状ガラスフィルムに充分な張りをもたせることができない。なぜなら、アニーラ内で帯状ガラスフィルムを把持して充分な引張作用を行わせようとした場合には、引張ローラの材質の不適切化等が原因になるなどして、帯状ガラスフィルムに微小傷が発生する等の不具合を招くため、上記の振れを防止できる程度まで帯状ガラスフィルムに張りをもたせることが困難となるからである。
　本発明は、上記事情に鑑み、厚みが３００μｍ以下の帯状ガラスフィルムを成形対象とするダウンドロー法を採用した場合に、アニーラ内での微小傷の発生を可及的に抑制した上で、アニーラ内に発生する空気流に伴う帯状ガラスフィルムの振れによる問題を回避することを技術的課題とする。
　上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、帯状ガラスフィルムを下降させながら成形する成形工程と、該成形工程の実行後に帯状ガラスフィルムをアニーラ内で下降させながら徐冷して内部歪を除去するアニール工程と、該アニール工程の実行後に幅方向両端部を除く中央部の厚みが３００μｍ以下となった帯状ガラスフィルムを切断する切断工程とを有する帯状ガラスフィルム製造方法であって、前記アニール工程の実行以後であり且つ前記切断工程の実行以前に、下降している帯状ガラスフィルムを、主たる引張ローラとしての役割を果たす主引張ローラが把持して駆動回転することにより、少なくとも前記アニーラ内の帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせることに特徴づけられる。ここで、上記の「張りをもたせる」とは、帯状ガラスフィルムに張力を付与するか否かに拘らず、帯状ガラスフィルムを弛ませることなく張られた状態にすることを意味する。また、厳密には、上記の引張ローラ及び後述する各種のローラは全て、帯状ガラスフィルムの幅方向両端部であって且つ該帯状ガラスフィルムの表裏両側にそれぞれ配設される。
　このような方法によれば、アニール工程の実行以後であり且つ切断工程の実行以前、つまり帯状ガラスフィルムの送り経路におけるアニーラよりも下流側で且つ切断手段よりも上流側に、主たる引張ローラとしての役割を果たす主引張ローラが配置され、この主引張ローラが、アニーラの下端から下方向、好ましくは鉛直下方向に下降している帯状ガラスフィルムを把持して駆動回転することになる。このように、アニーラの外部下方に主引張ローラが配置されているため、アニーラ内に、主引張ローラと同等の役割を果たすローラを設ける必要がなくなる。したがって、アニーラ内では、帯状ガラスフィルムに対してローラの把持力が大きな影響を及ぼさなくなる。換言すれば、アニーラ内には、帯状ガラスフィルムを把持するローラがなくてもよく、或いは、主引張ローラよりも小さい力で帯状ガラスフィルムを把持するローラを設けてもよいが、主引張ローラと同等の強い力で帯状ガラスフィルムを把持するローラは設けなくてもよいことになる。これにより、アニーラ内での微小傷の発生に起因する帯状ガラスフィルムの損傷や破損等が生じ難くなる。そして、アニーラの外部下方に配置された主引張ローラが、アニーラ内の帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせるため、空気流に起因する帯状ガラスフィルムの振れは生じ難くなる。その結果、アニーラ内の温度を維持するためのヒータと帯状ガラスフィルムとの間の距離が近づき過ぎたり或いは遠ざかり過ぎたり等により変動して帯状ガラスフィルムに適切な内部歪除去作用が行われなくなるという不具合が好適に回避され得る。なお、上記の主引張ローラのみによる引張作用では充分に帯状ガラスフィルムの振れを防止できないことも有り得るが、そのような場合には、アニーラ内に補助的な引張ローラを設けるようにしてもよい。この補助的な引張ローラは、帯状ガラスフィルムへの微小傷の発生による問題が生じない程度に、主引張ローラに比して、帯状ガラスフィルムに対する把持力を充分に小さくすることが肝要である。
　この場合、前記主引張ローラは、前記アニーラの外部上方に配設されている冷却ローラまたは前記アニーラ内に配設されているローラとの間で、前記帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせることが好ましい。
　このようにすれば、主引張ローラが、冷却ローラとの間で、帯状ガラスフィルムに張りをもたせる場合には、アニーラ内の上下方向全域に亘って、帯状ガラスフィルムに張りをもたせることができる。また、主引張ローラが、アニーラ内に配設されているローラ、つまりアニーラ内で帯状ガラスフィルムを把持するようにしたローラとの間で、帯状ガラスフィルムに張りをもたせる場合には、アニーラの当該ローラよりも下部領域において、帯状ガラスフィルムに張りをもたせることができる。なお、この場合には、当該ローラは、アニーラ内の上端近傍に位置していることが好ましく、例えばアニーラ内に上下複数段にローラを設ける場合には、最上段のローラのみが帯状ガラスフィルムを把持するように構成することが好ましい。更に、この場合には、アニーラ内で帯状ガラスフィルムに空気流に起因する振れが生じ易い領域を含むように、当該ローラの位置を選択或いは調整することができるのみならず、当該ローラの周速度を冷却ローラの周速度と同一またはそれよりも高速とすることにより、当該ローラと冷却ローラとの間においても、上記の振れによる問題を回避し得る。但し、何れの場合にしても、アニーラローラによる把持力は、主引張ローラによる把持力よりも小さくすることが肝要である。
　また、前記アニーラ内には、前記帯状ガラスフィルムの表裏両側に、該帯状ガラスフィルムの厚みよりも相互間離間寸法が長いガイドローラが対向配置されていることが好ましい。
　このようにすれば、アニーラ内では、帯状ガラスフィルムの面とガイドローラとの間に隙間が形成されて、帯状ガラスフィルムがガイドローラにより把持されることがなくなるため、微小傷の発生を回避しつつ帯状ガラスフィルムの下方向への移動が安定して行われ得る。この場合、アニーラ内に上下複数段にローラが配設される構成であれば、その全てがガイドローラであってもよく、また一段（好ましくは最上段）を除く他のローラの全てがガイドローラであってもよい。このような構成としたならば、前者の場合には、アニーラの外部上方に配置されている冷却ローラと主引張ローラとの間で、帯状ガラスフィルムに張りがもたされ、後者の場合には、アニーラ内の適所一段のローラと主引張ローラとの間で、帯状ガラスフィルムに張りがもたされる。なお、ガイドローラは、帯状ガラスフィルムと接触した場合における接触傷の発生を回避する観点から、その周速度が、帯状ガラスフィルムの下降速度と実質的に同一となるように駆動回転することが好ましい。
　以上の方法においては、前記アニール工程が終了してから前記切断工程が開始されるまでの間に、下降している帯状ガラスフィルムの送り方向を横方向に変換する方向変換工程が実行されると共に、前記アニール工程の実行以後であり且つ前記方向変換工程の実行以前に、下降している帯状ガラスフィルムを、前記主引張ローラが把持して駆動回転するようにしてもよい。
　このようにすれば、方向変換工程の実行時、つまり帯状ガラスフィルムの送り方向が下方向から横方向に変換される際には、その強制的な方向変換に起因して、張りをもたせるための一定の力をアニーラ内の帯状ガラスフィルムに付与することが困難となり、その力に脈動などの波が生じるおそれがある。このような事態が生じると、アニーラ内の温度維持のためのヒータと帯状ガラスフィルムとの間の距離が変動して不安定となり、内部歪除去作用に支障が生じる。これに対しては、方向変換工程の実行以前で且つアニール工程の実行以後に、帯状ガラスフィルムを主引張ローラが把持して駆動回転することにより、方向変換工程の実行時における上記の不具合が効果的に回避される。この場合、帯状ガラスフィルムの送り経路の不当な長尺化を阻止する要請に応じるために、主引張ローラは、方向変換工程が開始される部位もしくはその近傍に配置されることが好ましい。
　また、前記主引張ローラは、前記帯状ガラスフィルムを把持したときに該帯状ガラスフィルムに接触する外周部が、該帯状ガラスフィルムよりも低硬度の材料で形成されていることが好ましい。
　このようにすれば、主引張ローラが固化された帯状ガラスフィルムを強い把持力で把持しても、主引張ローラの方が相対的に硬度が低いため、帯状ガラスフィルムには、微小傷が発生し難くなり、高品位の帯状ガラスフィルムを得ることが可能となる。
　この場合、前記主引張ローラの外周部は、合成ゴムで形成されていることが好ましい。ここで言う「合成ゴム」は、エラストマーを指している。なお、この合成ゴムは、静摩擦係数が１．００以上であり、また耐熱温度が３００℃以上であることがより好ましい。
　このようにすれば、摩擦特性に優れた合成ゴムを使用することにより、帯状ガラスフィルムと主引張ローラとの間に滑りが生じ難くなるため、不当に強い接触圧を帯状ガラスフィルムに付与して引張作用を行わせる必要がなくなる。これにより、強い接触圧に起因して帯状ガラスフィルムに無用の内部応力が発生するという事態を回避することができる。しかも、耐熱性に優れた合成ゴムを使用することにより、比較的高温な部位であるアニーラの下端部位にできるだけ近い位置に主引張ローラを配設することができ、帯状ガラスフィルムに対する把持部相互間の距離を短くすることができるため、アニーラ内での帯状ガラスフィルムの空気流による振れの振幅を小さくする上で有利となる。
　また、上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、帯状ガラスフィルムを下降させながら成形する成形手段と、その成形された帯状ガラスフィルムを下降させながらアニーラ内で徐冷して内部歪を除去するアニール手段と、その徐冷をされ且つ幅方向両端部を除く中央領域の厚みが３００μｍ以下となった帯状ガラスフィルムを切断する切断手段とを有する帯状ガラスフィルム製造装置であって、前記アニール手段を経てから前記切断手段に至るまでの帯状ガラスフィルムの送り経路の途中で、下降している帯状ガラスフィルムを、主たる引張ローラとしての役割を果たす主引張ローラが把持して駆動回転することにより、少なくとも前記アニーラ内の帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせるように構成したことに特徴づけられる。
　この装置の構成は、上述の本発明に係る方法のうち冒頭で述べた方法の構成と実質的に同一であるので、作用効果を含む説明事項は、当該方法について既に述べた説明事項と実質的に同一である。
　以上のように本発明によれば、アニーラ内に、主引張ローラと同等の役割を果たすローラを設けなくてもよくなるため、不可視の微小傷の発生に起因する帯状ガラスフィルムの損傷や破損等を回避できると共に、主引張ローラがアニーラ内の帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせることにより、空気流に起因する帯状ガラスフィルムの振れを防止することができる。この結果、アニーラ内でヒータと帯状ガラスフィルムとの間の距離が変動することにより生じる内部歪除去作用の不適切化が回避され得る。
本発明の第１実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置（その製造方法の実施状況）の全体構成を示す概略縦断側面図である。 本発明の第１実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置（その製造方法の実施状況）の要部構成を示す概略縦断側面図である。 本発明の第１実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置（その製造方法の実施状況）の要部構成を示す概略正面図である。 本発明の第１実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置の構成要素である主引張ローラの一例を示す拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置の構成要素である主引張ローラの他の例を示す拡大斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置（その製造方法の実施状況）の要部構成を示す概略縦断側面図である。
　以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態においては、帯状ガラスフィルムの成形にオーバーフローダウンドロー法を採用した場合における本発明の適用を例示する。
　図１は、本発明の第１実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置１（帯状ガラスフィルム製造方法の実施状況）を例示している。同図に示すように、この製造装置１の基本的構成は、上方から順に、溶融ガラス２を帯状ガラスフィルム３に成形する成形炉４と、成形炉４を出た帯状ガラスフィルム３を徐冷して内部歪を除去するアニーラ（アニール炉）５と、アニーラ５を出た帯状ガラスフィルム３を冷却する冷却室６と、冷却室６を出た帯状ガラスフィルム３を長手方向に沿うように切断してガラスロール７を作製する切断室８とを有する。
　成形炉４内には、縦断面形状が楔状をなし且つ頂部にオーバーフロー溝４ｘが形成された成形体４ａと、成形体４ａの頂部から溢れ出てその下端部で融合した溶融ガラス２の幅方向両端部を冷却しつつ幅方向中央側への収縮を抑止して帯状ガラスフィルム３を下降させながら成形する冷却ローラ４Ｒとが収容されている。したがって、この製造装置１における成形手段は、成形炉４と、成形体４ａと、冷却ローラ４Ｒとを主たる構成要素としている。
　この場合、冷却ローラ４Ｒ（エッジローラまたはナールロールともいう）は、その外周面にローラ軸と平行な複数の凸部が形成されて歯車形状を呈しているため、帯状ガラスフィルム３の幅方向収縮を抑止すべく、冷却ローラ４Ｒから帯状ガラスフィルム３の両端部には幅方向外方側への引張力が作用する。そのため、帯状ガラスフィルム３の幅方向両端部には、その中央側の領域よりも厚みが大きい耳部が形成される。そして、この耳部の幅方向中央側の領域が、有効領域とされる。
　アニーラ５内には、上下複数段（図例では３段）に配設され且つ主として成形炉４を出た帯状ガラスフィルム３の下降を案内する役割を果たすアニーラローラ５Ｒと、帯状ガラスフィルム３の表裏両側にそれぞれ離間して配設され且つアニーラ５内の温度を維持するヒータ（図示略）とが収容されている。したがって、この製造装置１におけるアニール手段は、アニーラ５と、アニーラローラ５Ｒと、ヒータとを主たる構成要素としている。
　この場合、アニーラ５内は、５００℃前後の温度であるため、アニーラローラ５Ｒは、耐熱性確保等の観点から、セラミックス製とされている。そして、このアニーラローラ５Ｒは、帯状ガラスフィルム３の幅方向両端部における耳部よりも中央側の位置に配設されている。また、アニーラ５内は、所定の温度勾配を有するように温度設定がされており、帯状ガラスフィルム３が下降するに連れて徐々に温度が低下し、これにより内部歪（熱歪）が除去される構成とされている。そして、このアニーラ５内では、下端部から侵入した空気が上方に向かうことに起因して空気流が発生している。
　冷却室６内には、上下複数段（図例では４段）に配設され且つ主としてアニーラ５を出た帯状ガラスフィルム３を積極的に下降させる役割を果たす下部ローラ６Ｒが配設されている。したがって、この製造装置１における冷却手段は、冷却室６と、下部ローラ６Ｒとを主たる構成要素としている。
　切断室８内には、冷却室６を出て下降している帯状ガラスフィルム３を湾曲させつつ横方向の送りに変換する方向変換手段９と、方向変換後に横方向に送られている帯状ガラスフィルム３を長手方向に沿うように切断する切断手段１０と、切断後の帯状ガラスフィルム３を巻芯７ａの廻りに巻き取る巻き取り手段１１とが収容されている。ここで、冷却室６を出て切断室８に至った帯状ガラスフィルム３の耳部を除く中央部の厚みは、３００μｍ以下（好ましくは２００μｍ以下）になる。
　この場合、方向変換手段９は、所定の曲率で湾曲した状態に配列され且つ帯状ガラスフィルム３を接触支持または非接触支持する複数のローラ９Ｒで構成され、この方向変換手段９による方向変換後の帯状ガラスフィルム３の送り方向は、水平方向、もしくは進行方向前側が下降傾斜する横方向とされている。また、切断手段１０は、横方向に送られている帯状ガラスフィルム３の表面側からレーザービームを照射して局部加熱を施した後、その加熱された加熱領域に表面側から冷却水を噴射して、帯状ガラスフィルム３を長手方向にレーザー割断する構成とされている。更に、巻き取り手段１１は、切断後の帯状ガラスフィルム３の外周面側（裏面側）に、シートロール１２から引き出される保護シート１３を重ね合わせて巻芯７ａの廻りに巻き取ることによりガラスロール７を得るように構成されている。
　而して、図２及び図３に示すように、冷却室６内に配設されている上下４段の下部ローラ６Ｒのうち、最上段の下部ローラ６Ｒは、アニーラ５から出て冷却室６内を下降している帯状ガラスフィルム３を把持するものであって、且つ、主たる引張ローラとしての役割を果たす主引張ローラとされている。この主引張ローラ６Ｒは、アニーラ５内を下降している帯状ガラスフィルム３に張りをもたせるように、本実施形態ではアニーラ５内で帯状ガラスフィルム３に上下方向の張力が付与されるように駆動回転する構成とされている。
　詳述すると、アニーラ５内に上下３段に配設されているアニーラローラ５Ｒは、何れもが、基本的には、帯状ガラスフィルム３に接触せずにその下動を案内するガイドローラとされている。すなわち、帯状ガラスフィルム３の表裏両側に位置しているアニーラローラ５Ｒの相互間離間寸法Ｔは、帯状ガラスフィルム３の厚み（耳部の厚み）ｔよりも長くなるように設定されている。具体的には、帯状ガラスフィルム３の表裏面と、その両側に配置されているアニーラローラ５Ｒとのそれぞれの間の隙間は、５０～４０００μｍ程度になるように設定されている。また、アニーラローラ５Ｒの周速度は、帯状ガラスフィルム３の下降速度と実質的に同一になるように設定されている。
　このような条件でアニーラローラ５Ｒが配設されていると、帯状ガラスフィルム３が薄肉であるが故に、アニーラ５内に発生している空気流の影響を受けて、帯状ガラスフィルム３にアニーラ５内で揺れに起因する振れが発生し得る状態となっている。しかしながら、冷却室６内に存する主引張ローラ６Ｒと、成形炉４内で帯状ガラスフィルム３を把持している冷却ローラ４Ｒとの間で、帯状ガラスフィルム３が引っ張られることに伴って、アニーラ５内では帯状ガラスフィルム３が張られた状態となっている。この場合、主引張ローラ６Ｒの周速度は、冷却ローラ４Ｒの周速度と実質的に同一またはそれよりも高速度で駆動回転するように構成されている。
　本実施形態では、主引張ローラ６Ｒを除く下部ローラ６Ｒは、相互間離間寸法Ｔ´が帯状ガラスフィルム３の厚みｔよりも長いガイドローラとされている。なお、主引張ローラ６Ｒは、最上段の下部ローラ６Ｒであることに限定されるわけではなく、それよりも下段の下部ローラ６Ｒであってもよく、また二段や三段等の複数段に配設される下部ローラ６Ｒであってもよい。
　また、本実施形態では、冷却ローラ４Ｒ、アニーラローラ５Ｒ及び下部ローラ６Ｒは、何れもが、幅方向の両側に存する壁部１４に両端支持される１本のローラ軸ごとに２個ずつ装着され、帯状ガラスフィルム３の幅方向両端部における耳部の僅か中央側位置であって、帯状ガラスフィルム３の表裏両側にそれぞれ配設されている。なお、これらのローラ４Ｒ、５Ｒ、６Ｒは、両壁部１４にそれぞれ片持ち支持されるようにしてもよい。
　ここで、主引張ローラ６Ｒの構造を詳述すると、図４ａに示すように、ローラ軸６ｘの外周側に合成ゴム（エラストマー）からなる円筒状のローラ体６ａが嵌合固定されている。したがって、合成ゴムからなるローラ体６ａの外周面が、帯状ガラスフィルム３の表裏面に接触して把持力を作用させる構成とされている。合成ゴムは、ガラスよりも低硬度であるが、その硬度や柔軟性さらには表面平滑性等の物性を適切にコントロールできるため、帯状ガラスフィルム３を的確に把持できる材質とすることが容易であり、この合成ゴムを主引張ローラ６Ｒ（ローラ体６ａ）に使用すれば、主引張ローラ６Ｒと帯状ガラスフィルム３との滑りをなくして、アニーラ５内で帯状ガラスフィルム３に安定して張りをもたせることができる。
　ローラ体６ａを構成する合成ゴムは、本実施形態での使用態様であれば、ガラスとの静摩擦係数が１．００以上であることが好ましい。このような合成ゴムとすれば、主引張ローラ６Ｒの外周部が、帯状ガラスフィルム３の表裏面との間で確実に滑りを生じることなく、帯状ガラスフィルム３を適切に把持することができるため、帯状ガラスフィルム３の表裏面に大きな接触圧を作用させる必要がなくなり、帯状ガラスフィルム３に無用な内部応力が生じるという不具合を可及的に回避することが可能となる。なお、上記の静摩擦係数の数値は、ガラス板上に当該合成ゴム材を載置した状態でそのガラス板を徐々に傾斜させ、当該合成ゴム材が滑り始めたときの角度をθとした場合に、ｔａｎθを静摩擦係数とする方法（所謂傾斜方法）で測定した値であって、且つ、室温での測定値である。
　更に、この合成ゴムは、本実施例における主引張ローラ６Ｒの配置条件であれば、耐熱温度が３００℃以上であることが好ましい。すなわち、主引張ローラ６Ｒは、アニーラ５の外部下方であれば、どこに配置してもその役割を果たすことが可能であるが、できる限りアニーラ５に近い位置に配置した方が、把持部相互間の距離を短くすることができるため、アニーラ５内で帯状ガラスフィルム３に適切な張りをもたせる上で有利となる。その場合、アニーラ５を出た直後の帯状ガラスフィルム３の温度は、２５０℃以上であるため、耐熱温度が低い合成ゴム（例えば、ニトリルゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、エピクロルヒドリンゴム等）を使用した場合には、帯状ガラスフィルム３と接触するローラ体６ａの外周部の熱変形を阻止するために、その外周部を冷却する装置等が別途必要となったり、或いは帯状ガラスフィルム３の温度が充分に降温された部位つまりアニーラ５から遠く離れた部位に主引張ローラ６Ｒを配置せねばならなくなるという制約を受ける。
　しかし、上記のように耐熱温度が３００℃以上の合成ゴムを使用すれば、冷却装置等を別途設けたり或いは主引張ローラ６Ｒの配設位置をアニーラ５から不当に遠ざけたりする必要がなくなる。ここで、耐熱温度とは、合成ゴムが、熱により変形を来たすことなく且つ熱により無用の粘着性を有することなく、室温での物性をそのまま維持できる範囲内での最高温度を意味する。以上の事項を勘案すれば、ローラ体６ａの合成ゴムとしては、シリコーンゴムまたはフッ素ゴムを使用することが好ましい。但し、その使用の態様によっては、既述のニトリルゴム等のように耐熱温度が低い合成ゴムであっても、充分な効果を発揮することができる。
　図４ｂは、主引張ローラ６Ｒの他の構造を詳細に例示するもので、ローラ軸６ｘの外周側に円筒状の芯部６ｂを嵌合固定し、この芯部６ｂの外周側に合成ゴムからなる円筒状のローラ体６ａを嵌合固定したものである。このように構成した場合にも、帯状ガラスフィルム３の表裏両面に、ローラ体６ａを構成する合成ゴムが接触することになる。そして、合成ゴムに関する特性や利点は、図４ａに基づいて説明した事項と同一であるので、ここではその説明を省略する。
　次に、以上の構成を備えた本発明の第１実施形態に係る製造装置１の作用（製造方法）を説明する。
　帯状ガラスフィルム製造方法としては、先ず、成形炉４内において成形体４ａ及び冷却ローラ４Ｒの主たる作用によって溶融ガラスを帯状ガラスフィルム３に成形して下降させる成形工程を実行した後、アニーラ５内において帯状ガラスフィルム３をアニーラローラ（ガイドローラ）５Ｒによって案内して下降させつつ内部歪の除去を行うアニール工程が実行される。そして、この後に、アニール工程を終了した帯状ガラスフィルム３を冷却室６内において内部ローラ６Ｒによって下方に引っ張りつつ案内をして室温に降温させる冷却工程を実行した後、切断室８内において、帯状ガラスフィルム３の送り方向を下方向から横方向に変換する方向変換工程を実行すると共に、その後に帯状ガラスフィルム３の耳部を切除する切断工程が実行される。更に、この後に、巻き取り手段１１により、耳部を切除された帯状ガラスフィルム３が保護シート１３と重ね合わされた状態で巻芯７ａの廻りに巻き取られることによりガラスロール７が得られる。
　この場合、アニール工程の実行時には、アニーラ５内の帯状ガラスフィルム３が、その全域に亘って、成形炉４内の冷却ローラ４Ｒと、冷却室６内の主引張ローラ６Ｒとの間で張りをもたされた状態となっているため、アニーラ５内に空気流が発生しているにも拘らず、当該帯状ガラスフィルム３には揺れひいては振れが発生し難くなる。そして、主引張ローラ６Ｒの外周部は、合成ゴムで構成されているため、冷却室６内の帯状ガラスフィルム３に微小傷を付けることなく且つ滑りを生じることなく、アニーラ５内の帯状ガラスフィルム３に安定した状態で張りをもたせることができる。
　そして、主引張ローラ６Ｒのローラ体６ａを構成する合成ゴムの静摩擦係数が１．００以上であることにより、主引張ローラ６Ｒは、帯状ガラスフィルム３を滑りを生じることなく確実に把持することができるため、アニーラ５内の帯状ガラスフィルム３に対して確実に振れが生じない程度の張りをもたせることが可能となる。
　しかも、アニーラ５内のアニーラローラ５Ｒは、全てがガイドローラであって、それらの周速度が帯状ガラスフィルム３の下降速度と実質的に同一であるため、帯状ガラスフィルム３が下降時にアニーラローラ５Ｒと接触しても、接触に起因する微小傷の発生が可及的に抑制される。なお、アニーラローラ５Ｒは、アニーラ５内の温度の関係上、高硬度のセラミックス製とされているが、上述のように全てがガイドローラであって周速度が適切であるため、帯状ガラスフィルム３に微小傷を発生させる要因とはならない。
　以上のような動作が行われることにより、帯状ガラスフィルム３に微小傷が発生することによる破損等の問題が効果的に抑止された上で、アニーラ５内に発生している空気流の影響を受けて帯状ガラスフィルム３に振れが生じるという事態が回避される。これにより、アニーラ５内での振れの発生に起因する帯状ガラスフィルム３の熱履歴の不安定化が解消すると共に、アニーラ５内のヒータに帯状ガラスフィルム３が近づき過ぎたり或いは遠ざかり過ぎたり等に起因して、内部歪除去作用に支障が生じるという事態が回避され、アニール工程の実行が極めて適切化される。
　図５は、本発明の第２実施形態に係る帯状ガラスフィルム製造装置１（帯状ガラスフィルム製造方法の実施状況）を例示している。この第２実施形態に係る製造装置１が、上述の第１実施形態に係るそれと相違しているところは、冷却室６よりも下方であり且つ方向変換手段９により帯状ガラスフィルム３が方向変換を開始する手前（図例では方向変換の開始点またはその近傍）に、主引張ローラ６Ｒを配設した点にある。なお、この主引張ローラは、冷却室６内に配設されていてもよいが、帯状ガラスフィルム３が方向変換を開始する手前、好ましくは方向変換の開始点またはその近傍に、主引張ローラ６Ｒを配設することが肝要である。
　このような構成によれば、アニーラ５内では帯状ガラスフィルム３を把持していないため、強制的な方向変換に起因して帯状ガラスフィルム３の引張作用に波が生じても、主引張ローラ６Ｒの作用によりその波が消失された上で、アニーラ５内の帯状ガラスフィルム３に張りをもたせることができる。しかも、主引張ローラ６Ｒを、帯状ガラスフィルム３の方向変換の開始点またはその近傍に配置すれば、帯状ガラスフィルム３の送り経路を可及的に短くすることができ、小スペース化を図ることができる。
　その他の構成及び作用効果は、上述の第１実施形態と同一であるので、両実施形態に共通の構成要件については同一符号を使用し、その説明を省略する。
　なお、以上の第１、第２実施形態では、冷却ローラ４Ｒと主引張ローラ６Ｒとの間で、アニーラ５内の帯状ガラスフィルム３に張りをもたせるようにしたが、アニーラ５内に配設されている最上段のアニーラローラ５Ｒが帯状ガラスフィルム３を把持するようにして、そのアニーラローラ５Ｒと主引張ローラ６Ｒとの間で、アニーラ５内の帯状ガラスフィルム３に張りをもたせるようにしてもよい。このようにした場合には、最上段のアニーラローラ５Ｒの周速度を、冷却ローラ４Ｒの周速度と同一またはそれよりも高速度にした上で、主引張ローラ６Ｒの周速度を、最上段のアニーラローラ５Ｒの周速度と同一またはそれよりも高速度にすることが肝要である。また、アニーラ５内で帯状ガラスフィルム３を把持するアニーラローラ５Ｒは、最上段のものに限定されるわけではなく、それよりも下段のアニーラローラ５Ｒであってもよいが、当該アニーラローラ５Ｒと冷却ローラ４Ｒと主引張ローラとのそれぞれの周速度の関係は、上述の場合と同一にすることが肝要である。
　また、以上の第１、第２実施形態では、引張ローラとしては主引張ローラ６Ｒのみを配置する構成としたが、例えばアニーラ５内に、主引張ローラ６Ｒよりも把持力が小さく且つ周速度が主引張ローラ６Ｒと同等の補助的な引張ローラを配設するようにしてもよい。
　更に、以上の第１、第２実施形態では、帯状ガラスフィルムの成形にオーバーフローダウンドロー法を採用した場合に本発明を適用したが、スロットダウンドロー法やリドロー法を採用した場合にも、同様にして本発明を適用することが可能である。但し、リドロー法を採用した場合には、既述の冷却ローラの配設位置が、母材となる板ガラスの未加熱位置に相当することになる。
　また、以上の第１、第２実施形態では、切断工程でレーザー割断を使用して帯状ガラスフィルム３の長手方向に沿うように切断を行い、ガラスロール７を得るようにしたが、帯状ガラスフィルム３の幅方向に沿うようにスクライブを施してこのスクライブを基線として切断を行い、複数枚のガラス基板としてのガラスフィルムを得るようにしてもよい。
１　帯状ガラスフィルム製造装置
２　溶融ガラス
３　帯状ガラスフィルム
４　成形炉
４Ｒ　冷却ローラ
５　アニーラ
５Ｒ　アニーラローラ（ガイドローラ）
６　冷却室
６ａ　合成ゴム
６Ｒ　主引張ローラ（下部ローラ）
７　ガラスロール
９　方向変換手段
１０　切断手段

Claims (7)

  1. 　帯状ガラスフィルムを下降させながら成形する成形工程と、該成形工程の実行後に帯状ガラスフィルムをアニーラ内で下降させながら徐冷して内部歪を除去するアニール工程と、該アニール工程の実行後に幅方向両端部を除く中央部の厚みが３００μｍ以下となった帯状ガラスフィルムを切断する切断工程とを有する帯状ガラスフィルム製造方法であって、
    　前記アニール工程の実行以後であり且つ前記切断工程の実行以前に、下降している帯状ガラスフィルムを、主たる引張ローラとしての役割を果たす主引張ローラが把持して駆動回転することにより、少なくとも前記アニーラ内の帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせることを特徴とする帯状ガラスフィルム製造方法。
  2. 　前記主引張ローラは、前記アニーラの外部上方に配設されている冷却ローラまたは前記アニーラ内に配設されているローラとの間で、前記帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせることを特徴とする請求項１に記載の帯状ガラスフィルム製造方法。
  3. 　前記アニーラ内には、前記帯状ガラスフィルムの表裏両側に、該帯状ガラスフィルムの厚みよりも相互間離間寸法が長いガイドローラが対向配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の帯状ガラスフィルム製造方法。
  4. 　前記アニール工程が終了してから前記切断工程が開始されるまでの間に、下降している帯状ガラスフィルムの送り方向を横方向に変換する方向変換工程が実行されると共に、前記アニール工程の実行以後であり且つ前記方向変換工程の実行以前に、下降している帯状ガラスフィルムを、前記主引張ローラが把持することを特徴とする請求項１～３の何れかに記載の帯状ガラスフィルム製造方法。
  5. 　前記主引張ローラは、前記帯状ガラスフィルムを把持したときに該帯状ガラスフィルムに接触する外周部が、該帯状ガラスフィルムよりも低硬度の材料で形成されていることを特徴とする請求項１～４の何れかに記載の帯状ガラスフィルム製造方法。
  6. 　前記主引張ローラの外周部は、合成ゴムで形成されていることを特徴とする請求項５に記載の帯状ガラスフィルム製造方法。
  7. 　帯状ガラスフィルムを下降させながら成形する成形手段と、その成形された帯状ガラスフィルムを下降させながらアニーラ内で徐冷して内部歪を除去するアニール手段と、その徐冷が終了し且つ幅方向両端部を除く中央領域の厚みが３００μｍ以下となった帯状ガラスフィルムを切断する切断手段とを有する帯状ガラスフィルム製造装置であって、
    　前記アニール手段を経てから前記切断手段に至るまでの帯状ガラスフィルムの送り経路の途中で、下降している帯状ガラスフィルムを、主たる引張ローラとしての役割を果たす主引張ローラが把持して駆動回転することにより、少なくとも前記アニーラ内の帯状ガラスフィルムに対して上下方向に張りをもたせるように構成したことを特徴とする帯状ガラスフィルム製造装置。
PCT/JP2011/073653 2010-10-19 2011-10-14 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置 WO2012053440A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020127028191A KR101833807B1 (ko) 2010-10-19 2011-10-14 띠형상 유리 필름 제조 방법 및 띠형상 유리 필름 제조 장치
CN201180027372.8A CN102933513B (zh) 2010-10-19 2011-10-14 带状玻璃膜制造方法及带状玻璃膜制造装置
EP11834280.7A EP2548851B1 (en) 2010-10-19 2011-10-14 Method for manufacturing belt-shaped glass film

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010234521A JP5669006B2 (ja) 2010-10-19 2010-10-19 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置
JP2010-234521 2010-10-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012053440A1 true WO2012053440A1 (ja) 2012-04-26

Family

ID=45932904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/073653 WO2012053440A1 (ja) 2010-10-19 2011-10-14 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8656737B2 (ja)
EP (1) EP2548851B1 (ja)
JP (1) JP5669006B2 (ja)
KR (1) KR101833807B1 (ja)
CN (1) CN102933513B (ja)
TW (1) TWI490174B (ja)
WO (1) WO2012053440A1 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10099067B2 (en) 2014-12-19 2018-10-16 Sun Nuclear Corporation Radiation therapy dose calculation
US10413754B2 (en) 2012-05-29 2019-09-17 Sun Nuclear Corporation Method and system for calorimetry probe
US10596394B2 (en) 2016-07-28 2020-03-24 Sun Nuclear Corporation Beam angle direction determination
US10617891B2 (en) 2015-04-23 2020-04-14 Sun Nuclear Corporation Radiation detector calibration
US10918888B2 (en) 2017-02-28 2021-02-16 Sun Nuclear Corporation Radiation therapy treatment verification with electronic portal imaging device transit images
WO2022044798A1 (ja) * 2020-08-31 2022-03-03 日本電気硝子株式会社 ガラス物品の製造方法
US11278744B2 (en) 2018-09-28 2022-03-22 Sun Nuclear Corporation Systems and methods to account for tilt of a radiation measurement system
US11378700B2 (en) 2019-07-10 2022-07-05 Sun Nuclear Corporation Scintillator-based radiation therapy quality assurance
US11600004B2 (en) 2019-07-10 2023-03-07 Sun Nuclear Corporation Image-based radiation therapy quality assurance

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8549753B2 (en) 2009-05-14 2013-10-08 Corning Incorporated Methods of manufacturing a modular pulling roll
JP5644129B2 (ja) * 2010-02-12 2014-12-24 日本電気硝子株式会社 強化板ガラス及びその製造方法
JP5652742B2 (ja) * 2010-02-12 2015-01-14 日本電気硝子株式会社 強化板ガラス及びその製造方法
JP5704395B2 (ja) * 2010-03-29 2015-04-22 日本電気硝子株式会社 ガラスロール梱包体
JP5614171B2 (ja) * 2010-08-23 2014-10-29 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法
KR101497251B1 (ko) * 2011-03-30 2015-02-27 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리판의 제조 방법 및 유리판 제조 장치
JP5679324B2 (ja) * 2011-05-19 2015-03-04 日本電気硝子株式会社 ガラスロールの製造方法および製造装置
DE102011084128A1 (de) * 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Verfahren zum Schneiden eines Dünnglases mit spezieller Ausbildung der Kante
US9199870B2 (en) 2012-05-22 2015-12-01 Corning Incorporated Electrostatic method and apparatus to form low-particulate defect thin glass sheets
US9038414B2 (en) * 2012-09-26 2015-05-26 Corning Incorporated Methods and apparatuses for steering flexible glass webs
JP6108230B2 (ja) * 2013-08-28 2017-04-05 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムリボン製造方法及びガラスフィルムリボン製造装置並びにガラスロール製造方法
JP2015174744A (ja) * 2014-03-17 2015-10-05 日本電気硝子株式会社 ガラスロールの製造方法
US20150345996A1 (en) * 2014-05-29 2015-12-03 Corning Incorporated Apparatuses and methods for measuring an angle between a web of material and a conveyance direction
US20150344347A1 (en) * 2014-05-29 2015-12-03 Corning Incorporated Apparatuses for steering flexible glass webs and methods for using the same
US9919958B2 (en) 2014-07-17 2018-03-20 Corning Incorporated Glass sheet and system and method for making glass sheet
CN107108308B (zh) * 2014-12-19 2020-04-28 康宁股份有限公司 制造玻璃带的装置
JP6388210B2 (ja) * 2014-12-22 2018-09-12 日本電気硝子株式会社 ガラスリボンの製造装置及びガラスリボンの製造方法
WO2016123000A1 (en) * 2015-01-29 2016-08-04 Corning Incorporated Methods and apparatus for conveying glass ribbon
KR101699611B1 (ko) * 2015-05-14 2017-01-24 이수용 이물질 제거용 점착 롤 테이프 및 그 제조 방법
CN107635931B (zh) * 2015-05-18 2021-05-28 康宁股份有限公司 玻璃制造设备中的张力控制
JP6642798B2 (ja) * 2016-03-14 2020-02-12 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造装置
JP6796282B2 (ja) * 2016-10-11 2020-12-09 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
JP7033269B2 (ja) * 2017-12-11 2022-03-10 日本電気硝子株式会社 帯状ガラスの製造方法、及び帯状ガラスの製造装置
CN110563318A (zh) * 2019-03-11 2019-12-13 田英良 一种带状玻璃供料及手机盖板玻璃在线3d模压成型方法与装置
DE112021001653T5 (de) * 2020-03-17 2022-12-29 Nippon Electric Glass Co., Ltd. Verfahren zur herstellung eines streifenförmigen glasfilms
JP2023524228A (ja) * 2020-04-29 2023-06-09 コーニング インコーポレイテッド 低液相線粘度シートガラスの製造方法
JP2022161680A (ja) * 2021-04-09 2022-10-21 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001031435A (ja) 1999-07-22 2001-02-06 Nh Techno Glass Kk ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス
JP2007051027A (ja) 2005-08-18 2007-03-01 Nippon Electric Glass Co Ltd 板ガラス及びその成形方法
JP2008105882A (ja) 2006-10-24 2008-05-08 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラスリボンの製造装置及びその製造方法
JP2009173524A (ja) 2007-12-25 2009-08-06 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板の製造方法及び製造設備
JP2009173525A (ja) 2007-12-25 2009-08-06 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板の製造方法及び製造設備
JP2010215428A (ja) * 2009-03-13 2010-09-30 Avanstrate Inc ガラス板の製造方法および製造装置

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1499406A (en) * 1922-07-22 1924-07-01 Libbey Owens Sheet Glass Co Drawing and flattening sheet glass
US1753768A (en) * 1924-04-25 1930-04-08 Libbey Owens Glass Co Method and apparatus for forming sheet glass
US1836394A (en) * 1927-09-22 1931-12-15 Libbey Owens Ford Glass Co Process and apparatus for producing sheet glass
US1891373A (en) * 1931-06-11 1932-12-20 Danner Edward Glass forming method and apparatus
US2057357A (en) * 1934-05-16 1936-10-13 Simplex Engineering Company Method of drawing glass sheets
BE420910A (ja) * 1936-07-25
US2457785A (en) * 1944-08-18 1948-12-28 Owens Corning Fiberglass Corp Apparatus for making glass film
US3165391A (en) * 1961-06-08 1965-01-12 Arthur W Schmid Apparatus for and method of forming sheet glass by vertical draw machine
BE640206A (ja) * 1962-11-20
US3275429A (en) * 1965-09-29 1966-09-27 Javaux Gustave Glass processing apparatus including a reciprocating roller
LU60747A1 (ja) * 1970-04-17 1972-03-03
BE786111A (ja) * 1971-08-20 1973-01-11 Glaverbel
DE2508369A1 (de) * 1975-02-26 1976-09-02 Siemens Ag Verfahren zum herstellen von scheibenfoermigen siliciumkoerpern, insbesondere fuer solarzellen
DE69228411T2 (de) * 1991-04-19 1999-09-16 Nippon Steel Corp Doppelroll-stranggiessverfahren und vorrichtung
CA2164343C (en) * 1994-04-04 2002-01-01 Yoshikazu Matsumura Twin-roll type continuous casting method and device
AUPO749697A0 (en) * 1997-06-23 1997-07-17 Bhp Steel (Jla) Pty Limited Twin roll continuous casting installation
US6322860B1 (en) * 1998-11-02 2001-11-27 Rohm And Haas Company Plastic substrates for electronic display applications
EP1048628A1 (de) * 1999-04-30 2000-11-02 Schott Glas Polymerbeschichtete Dünnglasfoliensubstrate
DE10064977C1 (de) * 2000-12-23 2002-10-02 Schott Glas Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben
US7681414B2 (en) * 2001-08-08 2010-03-23 Corning Incorporated Overflow downdraw glass forming method and apparatus
WO2003014032A1 (en) * 2001-08-08 2003-02-20 Richard Pitbladdo Sheet glass forming apparatus
KR100584751B1 (ko) * 2001-12-22 2006-05-30 주식회사 포스코 쌍롤식 박판주조기의 주조롤표면 가스층두께 조절장치
JP4218263B2 (ja) * 2002-06-24 2009-02-04 旭硝子株式会社 板硝子の製造方法
US20050178159A1 (en) * 2002-07-08 2005-08-18 Asahi Glass Company, Limited Apparatus for manufacturing sheet glass
AT412539B (de) * 2003-05-06 2005-04-25 Voest Alpine Ind Anlagen Zweiwalzengiesseinrichtung
EP1721872A1 (en) * 2005-05-10 2006-11-15 Corning Incorporated Method of producing a glass sheet
US20070130994A1 (en) * 2005-12-08 2007-06-14 Boratav Olus N Method and apparatus for drawing a low liquidus viscosity glass
EP2077254B1 (en) * 2006-10-24 2013-06-05 Nippon Electric Glass Co., Ltd. Glass ribbon producing apparatus and process for producing the same
JP5177790B2 (ja) * 2006-10-24 2013-04-10 日本電気硝子株式会社 ガラスリボンの製造装置及びその製造方法
JP5241223B2 (ja) * 2007-12-20 2013-07-17 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造設備
WO2009081740A1 (ja) * 2007-12-25 2009-07-02 Nippon Electric Glass Co., Ltd. ガラス板の製造方法及び製造設備
JP5788134B2 (ja) * 2008-10-01 2015-09-30 日本電気硝子株式会社 ガラスロール及びガラスロールの製造方法
US7888158B1 (en) * 2009-07-21 2011-02-15 Sears Jr James B System and method for making a photovoltaic unit
JP5709032B2 (ja) * 2010-02-12 2015-04-30 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
JP5717053B2 (ja) * 2010-02-18 2015-05-13 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法およびその製造装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001031435A (ja) 1999-07-22 2001-02-06 Nh Techno Glass Kk ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス
JP2007051027A (ja) 2005-08-18 2007-03-01 Nippon Electric Glass Co Ltd 板ガラス及びその成形方法
JP2008105882A (ja) 2006-10-24 2008-05-08 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラスリボンの製造装置及びその製造方法
JP2009173524A (ja) 2007-12-25 2009-08-06 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板の製造方法及び製造設備
JP2009173525A (ja) 2007-12-25 2009-08-06 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板の製造方法及び製造設備
JP2010215428A (ja) * 2009-03-13 2010-09-30 Avanstrate Inc ガラス板の製造方法および製造装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10413754B2 (en) 2012-05-29 2019-09-17 Sun Nuclear Corporation Method and system for calorimetry probe
US10099067B2 (en) 2014-12-19 2018-10-16 Sun Nuclear Corporation Radiation therapy dose calculation
US10617891B2 (en) 2015-04-23 2020-04-14 Sun Nuclear Corporation Radiation detector calibration
US10881880B2 (en) 2015-04-23 2021-01-05 Sun Nuclear Corporation Radiation detector calibration
US11420077B2 (en) 2015-04-23 2022-08-23 Sun Nuclear Corporation Radiation detector calibration
US10596394B2 (en) 2016-07-28 2020-03-24 Sun Nuclear Corporation Beam angle direction determination
US10918888B2 (en) 2017-02-28 2021-02-16 Sun Nuclear Corporation Radiation therapy treatment verification with electronic portal imaging device transit images
US11794037B2 (en) 2017-02-28 2023-10-24 Sun Nuclear Corporation Radiation therapy treatment verification with electronic portal imaging device transit images
US11278744B2 (en) 2018-09-28 2022-03-22 Sun Nuclear Corporation Systems and methods to account for tilt of a radiation measurement system
US11378700B2 (en) 2019-07-10 2022-07-05 Sun Nuclear Corporation Scintillator-based radiation therapy quality assurance
US11600004B2 (en) 2019-07-10 2023-03-07 Sun Nuclear Corporation Image-based radiation therapy quality assurance
WO2022044798A1 (ja) * 2020-08-31 2022-03-03 日本電気硝子株式会社 ガラス物品の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101833807B1 (ko) 2018-03-02
EP2548851A1 (en) 2013-01-23
CN102933513B (zh) 2015-02-11
JP5669006B2 (ja) 2015-02-12
US20120090357A1 (en) 2012-04-19
EP2548851B1 (en) 2015-04-01
US8656737B2 (en) 2014-02-25
KR20130130615A (ko) 2013-12-02
EP2548851A4 (en) 2013-10-02
TW201233645A (en) 2012-08-16
CN102933513A (zh) 2013-02-13
TWI490174B (zh) 2015-07-01
JP2012087004A (ja) 2012-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5669006B2 (ja) 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置
KR101736262B1 (ko) 유리 필름의 제조방법 및 그 제조장치
TWI535671B (zh) 玻璃膜的製造裝置以及製造方法
JP5877503B2 (ja) ガラスリボン及びその製造方法
EP2548852B1 (en) Cleaving method for a glass film
US10189736B2 (en) Method of manufacturing a glass roll
JP5016606B2 (ja) 帯状ガラスから製造されたガラスシートにおける応力偏差を低減する方法および装置
US20110217521A1 (en) Glass roll, and method of manufacturing glass roll
WO2013099676A1 (ja) 帯状ガラスの製造方法
US20110223386A1 (en) Glass roll and method of producing the same
JP6239226B2 (ja) ガラスシートの周縁部の除去のための方法および装置
JP5241223B2 (ja) ガラス板の製造方法及び製造設備
KR101833809B1 (ko) 유리판의 제조 방법
JP5500498B2 (ja) ガラスフィルムの製造方法
JP5614231B2 (ja) ガラスフィルムの製造方法
JP2012167014A (ja) ガラス板の製造方法及び製造設備

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201180027372.8

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11834280

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2011834280

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20127028191

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE