CN102933513A - 带状玻璃膜制造方法及带状玻璃膜制造装置 - Google Patents

Abstract

使带状玻璃膜(3)下降并同时成形之后，使带状玻璃膜(3)在退火炉(5)内下降并同时退火而将内部应变除去，然后，将除了宽度方向两端部之外的中央部的厚度成为300μm以下的带状玻璃膜(3)切断时，在退火炉(5)内的处理的执行以后且在切断工序的执行以前，主要起到拉伸辊的作用的主拉伸辊(6R)把持下降的带状玻璃膜(3)而进行驱动旋转，由此至少对退火炉(5)内的带状玻璃膜(3)沿着上下方向施加张力。

Description

带状玻璃膜制造方法及带状玻璃膜制造装置

技术领域

本发明涉及带状玻璃膜的制造方法及其装置，详细而言，涉及用于通过成形、退火、切断的各工序或各机构，而适当地制造厚度为300μm以下的带状玻璃膜的技术思想。

背景技术

众所周知，通过溢流下拉法、槽孔下拉法、或漂浮法、再拉法等而成形的带状的玻璃带被切断成规定的尺寸，而作为大致矩形形状的玻璃基板进行产品化。这种玻璃基板实际上使用于以等离子显示器(PDP)、液晶显示器(LCD)、场致发射显示器(FED)、有机EL显示器(OLED)等为代表的平板显示器(FPD)、或太阳能电池、二次电池等的制作中。

所述FPD等由于其轻量化不断推进，因此该FPD等的作为主要结构要素而使用的玻璃基板目前一味地追求薄板化。尤其是有机EL不仅被利用作为像OLED那样通过TFT使微细的三原色闪烁的显示器，而且被利用作为仅以单色(例如白色)发光的LCD的背光、屋内照明的光源等平面光源。并且，有机EL的照明装置由于玻璃基板具有挠性，能够自由地使发光面变形，因此在这种照明装置中使用的玻璃基板从充分的挠性确保的观点出发也不断推进大幅的薄板化。

作为在这些FPD、照明装置等中使用的薄壁的玻璃基板的制造方法，优选设为以上述的溢流下拉法、槽孔下拉法以及再拉法为代表的下拉法。就这些下拉法而言，关于溢流下拉法及槽孔下拉法，具有使熔融玻璃从成形部呈带状(板状)流下并利用冷却辊对其宽度方向两端部进行冷却由此来成形玻璃带的成形工序，关于再拉法，具有对板玻璃进行再加热使其软化并使其下降而成形出玻璃带的成形工序。并且，关于任一下拉法，都具有在成形工序的执行后使玻璃带下降并同时在退火炉内进行退火而除去内部应变的退火工序、及在该退火工序的执行后将玻璃带切断的切断工序。

对该下拉法进行详细叙述的话，在专利文献1中公开了一种在执行退火工序时，退火炉内的玻璃带由配设在退火炉的最下段的拉伸辊向下方拉拽的结构。在该专利文献1的权利要求1中记载了玻璃基板的厚度为0.7mm以下的情况，但在该文献的[0051]及[0053]中分别记载了宽度方向中央部的厚度为0.7mm的情况、及宽度方向中央部的厚度为0.63mm的情况，因此该文献记载的下拉法以厚度大致0.6～0.7mm的玻璃带为成形对象。

另外，在专利文献2中公开了一种在执行退火工序时，将退火炉内的玻璃带利用在退火炉配设为上下多段(三段)的全部的拉伸辊向下方拉拽的结构。在该文献的[0004]及[0042]中记载了玻璃带(片玻璃)的厚度为0.7mm的情况，因此该文献记载的下拉法以厚度大致0.7mm的玻璃带为成形对象。

此外，在专利文献3、4中公开了一种在退火炉内配设成上下多段的拉伸辊的全部将玻璃带向下方牵引，并且在存在于退火炉的下方的冷却室内配设成上下多段的拉伸辊也全部将玻璃带向下方牵引的结构。这些文献虽然未记载玻璃基板或玻璃带的厚度，但这各文献的发明的详细的说明栏中实质上只不过记载了液晶显示器用的玻璃基板，因此若参考该申请当时的技术水准，则这些文献记载的下拉法也以厚度大致0.7mm的玻璃带为成形对象。

而且，专利文献5公开了一种将相互之间的分离尺寸比玻璃带的宽度方向两端部的厚度长的引导辊在退火炉内配设为上下多段，利用引导辊未对玻璃带进行把持而向下方引导的结构。该文献记载的下拉法以厚度为500μm以下甚至200μm以下的玻璃带(带状玻璃膜)为成形对象。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2007-51027号公报

【专利文献2】日本特开2001-31435号公报

【专利文献3】日本特开2009-173524号公报

【专利文献4】日本特开2009-173525号公报

【专利文献5】日本特开2008-105882号公报

【发明的概要】

【发明要解决的课题】

然而，近年来，如上述那样实现玻璃基板的大幅的薄壁化，因此厚度300μm以下的玻璃基板(玻璃膜)供于实用，但在利用上述的专利文献1～5记载的下拉法来制作这种玻璃基板时，会产生以下所示的问题。

即，专利文献1～4记载的下拉法由于以厚度大幅超过300μm的玻璃带为成形对象，即使在退火炉内通过拉伸辊把持玻璃带也不会成为大问题。然而，若其成形对象为300μm以下的带状玻璃膜，则通过拉伸辊把持带状玻璃膜的把持力的影响增大，在带状玻璃膜的表背面会产生看不见的微小伤痕。其结果是，会导致带状玻璃膜以该微小伤痕为起点而发生损伤或破损这样的不良情况。

这种情况下，专利文献3、4记载的下拉法在退火炉的下方的冷却室内也配设有拉伸辊，但该冷却室内的拉伸辊和上述的退火炉内的拉伸辊没有主从的关系。即，没有前者和后者中的任一方的拉伸辊为主且另一方的拉伸辊为辅助的区别。因此，全部的拉伸辊对于带状玻璃膜实质上产生同等的把持力的影响。其结果是，假设带状玻璃膜的厚度为300μm以下时，无法减小退火炉内的拉伸辊把持该带状玻璃膜的把持力的影响，无法避免上述那样的微小伤痕的发生及尤其引起的破损等不良情况。

另一方面，专利文献5记载的下拉法虽然以厚度300μm以下的带状玻璃膜为成形对象，但在退火炉内利用引导辊对带状玻璃膜仅引导而未把持。这种情况下，在退火炉内，产生从其下方流入的空气引起的空气流，因此正由于带状玻璃膜为薄壁而产生该空气流使该带状玻璃膜摆动的所谓振动。并且，如此在退火炉内当带状玻璃膜产生振动时，退火炉内的温度维持用的加热器与带状玻璃膜之间的距离变得不稳定，由其引起而带状玻璃膜的热履历变得不稳定，因此会导致其内部应变的除去作用产生障碍这样致命的问题。而且，当带状玻璃膜产生的振动增大时，带状玻璃膜会不当地变形等，容易成为破损原因。

需要说明的是，该专利文献5中记载了将退火炉内的最下段的退火辊设为拉伸辊的情况，但即使在这种情况下，也无法可靠地避免上述的问题。即，退火炉内的温度比较高温，因此通常使用陶瓷制等的退火辊，若仅使用这种退火辊作为拉伸辊的话，无法使带状玻璃膜具有充分的张力。其原因是，在退火炉内把持带状玻璃膜而产生充分的拉伸作用时，拉伸辊的材质的不适当化等成为原因等而会导致带状玻璃膜产生微小伤痕等不良情况，因此难以使带状玻璃膜具有能够防止上述的振动的程度的张力。

发明内容

本发明鉴于上述情况，其技术性课题是在采用以厚度300μm以下的带状玻璃膜为成形对象的下拉法时，尽量抑制退火炉内的微小伤痕的发生，而且避免退火炉内与产生的空气流相伴的带状玻璃膜的振动的问题。

【用于解决课题的手段】

为了解决上述技术性课题而创立的本发明的方法具有：使带状玻璃膜下降并同时成形的成形工序；在该成形工序的执行后，使带状玻璃膜在退火炉内下降并同时退火而将内部应变除去的退火工序；在该退火工序的执行后，将除了宽度方向两端部之外的中央部的厚度成为300μm以下的带状玻璃膜切断的切断工序，所述带状玻璃膜制造方法的特征在于，在所述退火工序的执行以后且在所述切断工序的执行以前，主要起到拉伸辊的作用的主拉伸辊把持下降的带状玻璃膜而进行驱动旋转，由此至少对所述退火炉内的带状玻璃膜沿着上下方向施加张力。在此，上述的“施加张力”表示无论是否对带状玻璃膜施加张力，都将带状玻璃膜不松弛地拉伸的状态。而且，严格来说，上述的拉伸辊及后述的各种辊全部在带状玻璃膜的宽度方向两端部且在该带状玻璃膜的表背两侧分别配设。

根据这种方法，在退火工序的执行以后且在切断工序的执行以前，即在带状玻璃膜的传送路径上的比退火炉靠下游侧且比切断机构靠上游侧配置主要起到拉伸辊的作用的主拉伸辊，该主拉伸辊把持从退火炉的下端向下方优选向铅垂下方下降的带状玻璃膜而进行驱动旋转。如此，由于在退火炉的外部下方配置主拉伸辊，因此在退火炉内无需设置起到与主拉伸辊同等的作用的辊。因此，在退火炉内，辊的把持力不会对带状玻璃膜造成大的影响。换言之，在退火炉内，也可以不设置把持带状玻璃膜的辊，或者虽然可以设置以比主拉伸辊小的力把持带状玻璃膜的辊，但可以不设置以与主拉伸辊同等的强力把持带状玻璃膜的辊。由此，难以产生退火炉内的微小伤痕的发生引起的带状玻璃膜的损伤、破损等。并且，在退火炉的外部下方配置的主拉伸辊对退火炉内的带状玻璃膜沿着上下方向施加张力，因此难以产生空气流引起的带状玻璃膜的振动。其结果是，能良好地避免用于维持退火炉内的温度的加热器与带状玻璃膜之间的距离过近或过远等发生变动而无法对带状玻璃膜进行适当的内部应变除去作用这样的不良情况。需要说明的是，仅基于上述的主拉伸辊的拉伸作用的话，可能无法充分地防止带状玻璃膜的振动，这种能够情况下，也可以在退火炉内设置辅助性的拉伸辊。该辅助性的拉伸辊与主拉伸辊相比，关键在于使对于带状玻璃膜的把持力充分减小为带状玻璃膜不会产生微小伤痕的不产生问题的程度。

这种情况下，优选的是，所述主拉伸辊在与所述退火炉的外部上方配设的冷却辊或所述退火炉内配设的辊之间，对所述带状玻璃膜沿着上下方向施加张力。

如此，主拉伸辊在与冷却辊之间，对带状玻璃膜施加张力时，在退火炉内的上下方向整个区域，能够对带状玻璃膜施加张力。而且，主拉伸辊在与退火炉内配设的辊即在退火炉内把持带状玻璃膜的辊之间，对带状玻璃膜施加张力时，在退火炉的该辊的下部区域中，能够对带状玻璃膜施加张力。需要说明的是，这种情况下，该辊优选位于退火炉内的上端附近，例如在退火炉内呈上下多段地设置辊时，优选仅最上段的辊把持带状玻璃膜。此外，这种情况下，不仅能够以在退火炉内包括带状玻璃膜容易产生空气流引起的振动的区域的方式选择或调整该辊的位置，而且使该辊的周速等于或高于冷却辊的周速，由此，即使在该辊与冷却辊之间，也能避免上述的振动引起的问题。但是，关键的是，无论何种情况下，退火辊的把持力都要小于主拉伸辊产生的把持力。

另外，优选的是，在所述退火炉内，相互间分离尺寸比该带状玻璃膜的厚度大的引导辊对置配置在所述带状玻璃膜的表背两侧。

这样的话，在退火炉内，在带状玻璃膜的面与引导辊之间形成间隙，由于带状玻璃膜未由引导辊把持，因此能避免微小伤痕的发生并能稳定地进行带状玻璃膜的向下方的移动。这种情况下，若在退火炉内呈上下多段地配设辊，则既可以是全部为引导辊，也可以是除了一段(优选为最上段)之外的其他的辊全部为引导辊。若形成为这种结构，在前者的情况下，在退火炉的外部上方配置的冷却辊与主拉伸辊之间，对带状玻璃膜施加张力，在后者的情况下，在退火炉内的适当一段的辊与主拉伸辊之间，对带状玻璃膜施加张力。需要说明的是，引导辊从避免与带状玻璃膜接触时的接触伤痕的发生的观点出发，优选其周速与带状玻璃膜的下降速度实质上相同的方式进行驱动旋转。

在以上的方法中，可以在从所述退火工序结束到所述切断工序开始期间，执行将下降的带状玻璃膜的传送方向变换为横向的方向变换工序，并且在所述退火工序的执行以后且在所述方向变换工序的执行以前，所述主拉伸辊把持下降的带状玻璃膜。

如此，在方向变换工序的执行时，即在带状玻璃膜的传送方向从下方被变换为横向时，由该强制性的方向变换引起而难以将施加张力用的一定的力向退火炉内的带状玻璃膜赋予，该力可能会产生脉动等的波。当发生这种事态时，退火炉内的温度维持用的加热器与带状玻璃膜之间的距离发生变动而变得不稳定，内部应变除去作用会产生障碍。相对于此，在方向变换工序的执行以前且在退火工序的执行以后，主拉伸辊把持带状玻璃膜而进行驱动旋转，由此能有效地避免方向变换工序的执行时的上述的不良情况。这种情况下，根据阻止带状玻璃膜的传送路径的不当的长条化的请求，主拉伸辊优选配置在方向变换工序开始的部位或其附近。

另外，优选的是，所述主拉伸辊的把持所述带状玻璃膜时与该带状玻璃膜接触的外周部由比该带状玻璃膜的硬度低的材料形成。

如此，即使利用强的把持力来把持主拉伸辊被固化的带状玻璃膜，但由于主拉伸辊的硬度相对低，因此带状玻璃膜难以产生微小伤痕，能够得到高品位的带状玻璃膜。

这种情况下，优选的是，所述主拉伸辊的外周部由合成橡胶形成。在此所说的“合成橡胶”是指弹性体。需要说明的是，该合成橡胶更优选的是静摩擦系数为1.00以上，而且耐热温度为300℃以上。

如此，通过使用摩擦特性优异的合成橡胶，而在带状玻璃膜与主拉伸辊之间难以产生滑动，因此无需不当地将强的接触压向带状玻璃膜赋予而进行拉伸作用。由此，能够避免强的接触压引起而带状玻璃膜产生无用的内部应力这样的事态。而且，通过使用耐热性优异的合成橡胶，能够在尽量与比较高温的部位即退火炉的下端部位接近的位置上配设主拉伸辊，能够缩短相对于带状玻璃膜的把持部相互间的距离，在减小退火炉内的带状玻璃膜的空气流引起的振动的振幅上有利。

另外，为了解决上述技术性课题而创立的本发明的装置具有：使带状玻璃膜下降并同时成形的成形机构；使该成形后的带状玻璃膜下降并同时在退火炉内进行退火而将内部应变除去的退火机构；将该退火结束且除了宽度方向两端部之外的中央区域的厚度成为300μm以下的带状玻璃膜切断的切断机构，所述带状玻璃膜制造装置的特征在于，在从经过所述退火机构至到达所述切断机构为止的带状玻璃膜的传送路径的途中，主要起到拉伸辊的作用的主拉伸辊把持下降的带状玻璃膜而进行驱动旋转，由此至少对所述退火炉内的带状玻璃膜沿着上下方向施加张力。

该装置的结构与上述的本发明的方法中的开头叙述的方法的结构实质上相同，因此包含作用效果的说明事项与对于该方法已经叙述的说明事项实质上相同。

【发明效果】

如此，根据本发明，在退火炉内可以不设置起到与主拉伸辊同等的作用的辊，因此能够避免看不见的微小伤痕的发生引起的带状玻璃膜的损伤或破损等，并且主拉伸辊对退火炉内的带状玻璃膜沿着上下方向施加张力，由此能够防止空气流引起的带状玻璃膜的振动。其结果是，在退火炉内能避免由于加热器与带状玻璃膜之间的距离变动而产生的内部应变除去作用的不适当化。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的带状玻璃膜制造装置(其制造方法的实施状况)的整体结构的概略纵剖侧视图。

图2是表示本发明的第一实施方式的带状玻璃膜制造装置(其制造方法的实施状况)的主要部分结构的概略纵剖侧视图。

图3是表示本发明的第一实施方式的带状玻璃膜制造装置(其制造方法的实施状况)的主要部分结构的概略主视图。

图4a是表示本发明的第一实施方式的带状玻璃膜制造装置的结构要素即主拉伸辊的一例的放大立体图。

图4b是表示本发明的第一实施方式的带状玻璃膜制造装置的结构要素即主拉伸辊的另一例的放大立体图。

图5是表示本发明的第二实施方式的带状玻璃膜制造装置(其制造方法的实施状况)的主要部分结构的概略纵剖侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施方式。需要说明的是，在以下的实施方式中，例示在带状玻璃膜的成形中采用溢流下拉法时的本发明的适用。

图1例示本发明的第一实施方式的带状玻璃膜制造装置1(带状玻璃膜制造方法的实施状况)。如该图所示，该制造装置1的基本的结构从上方依次具有：将熔融玻璃2成形为带状玻璃膜3的成形炉4；对从成形炉4出来的带状玻璃膜3进行退火而除去内部应变的退火炉(退火炉)5；对从退火炉5出来的带状玻璃膜3进行冷却的冷却室6；将从冷却室6出来的带状玻璃膜3沿着长度方向切断而制作玻璃辊7的切断室8。

在成形炉4内收容有：纵剖面形状呈楔状且在顶部形成有溢流槽4x的成形体4a；对从成形体4a的顶部溢出且在其下端部融合的熔融玻璃2的宽度方向两端部进行冷却并抑制向宽度方向中央侧的收缩，使带状玻璃膜3下降并同时成形的冷却辊4R。因此，该制造装置1的成形机构以成形炉4、成形体4a、冷却辊4R为主要的结构要素。

这种情况下，冷却辊4R(也称为边缘辊或滚花辊)在其外周面形成有与辊轴平行的多个凸部而呈齿轮形状，因此为了抑制带状玻璃膜3的宽度方向收缩，而从冷却辊4R对带状玻璃膜3的两端部作用有向宽度方向外方侧的拉伸力。因此，在带状玻璃膜3的宽度方向两端部形成有厚度比其中央侧的区域大的耳部。并且，该耳部的宽度方向中央侧的区域为有效区域。

在退火炉5内收容有：呈上下多段(在图例中为3段)配设且主要起到对从成形炉4出来的带状玻璃膜3的下降进行引导的作用的退火辊5R；在带状玻璃膜3的表背两侧分别分离地配设且维持退火炉5内的温度的加热器(未图示)。因此，该制造装置1的退火机构以退火炉5、退火辊5R、加热器为主要的结构要素。

这种情况下，退火炉5内由于为500℃前后的温度，因此从耐热性确保等的观点出发，退火辊5R为陶瓷制。并且，该退火辊5R配设在比带状玻璃膜3的宽度方向两端部的耳部靠中央侧的位置。而且，退火炉5内以具有规定的温度斜率的方式进行温度设定，随着带状玻璃膜3下降而温度逐渐下降，由此能除去内部应变(热变形)。并且，在该退火炉5内，从下端部侵入的空气朝向上方引起而产生空气流。

在冷却室6内配设有呈上下多段(在图例中为4段)配设且主要起到使从退火炉5出来的带状玻璃膜3积极地下降的作用的下部辊6R。因此，该制造装置1的冷却机构以冷却室6和下部辊6R为主要的结构要素。

在切断室8内收容有：使从冷却室6出来而下降的带状玻璃膜3弯曲并变换为横向的进给的方向变换机构9；将方向变换后沿着横向传送的带状玻璃膜3沿着长度方向切断的切断机构10；将切断后的带状玻璃膜3绕着卷芯7a卷绕的卷绕机构11。在此，对从冷却室6出来而到达切断室8的带状玻璃膜3的除了耳部之外的中央部的厚度为300μm以下(优选为200μm以下)。

这种情况下，方向变换机构9由以规定的曲率弯曲的状态排列且对带状玻璃膜3进行接触支承或非接触支承的多个辊9R构成，该方向变换机构9进行的方向变换后的带状玻璃膜3的传送方向为水平方向、或行进方向前侧下降倾斜的横向。而且，切断机构10在从沿着横向送来的带状玻璃膜3的表面侧照射激光束而实施了局部加热之后，对该加热的加热区域从表面侧喷射冷却水，将带状玻璃膜3沿着长度方向进行激光割断。而且，卷绕机构11在切断后的带状玻璃膜3的外周面侧(背面侧)，使从片辊12拉出的保护片13重合而绕着卷芯7a卷绕，由此得到玻璃辊7。

然而，如图2及图3所示，配设在冷却室6内的上下4段的下部辊6R中的最上段的下部辊6R是把持从退火炉5出来而在冷却室6内下降的带状玻璃膜3，且主要起到拉伸辊的作用的主拉伸辊。为了使该主拉伸辊6R对在退火炉5内下降的带状玻璃膜3施加张力，在本实施方式中，在退火炉5内以对带状玻璃膜3施加上下方向的张力的方式进行驱动旋转。

详细而言，在退火炉5内呈上下3段配设的退火辊5R基本上均是与带状玻璃膜3不接触而引导其向下移动的引导辊。即，位于带状玻璃膜3的表背两侧的退火辊5R的相互间分离尺寸T设定得比带状玻璃膜3的厚度(耳部的厚度)t长。具体而言，带状玻璃膜3的表背面与配置在其两侧的退火辊5R各自之间的间隙设定为50～4000μm左右。而且，退火辊5R的周速设定为与带状玻璃膜3的下降速度实质上相同。

在这种条件配设退火辊5R时，正由于带状玻璃膜3为薄壁，而受到退火炉5内产生的空气流的影响，成为带状玻璃膜3产生在退火炉5内摆动引起的振动的状态。然而，在存在于冷却室6内的主拉伸辊6R与在成形炉4内把持带状玻璃膜3的冷却辊4R之间，带状玻璃膜3被拉伸，伴随于此，在退火炉5内，带状玻璃膜3成为被拉伸的状态。这种情况下，主拉伸辊6R的周速以实质上等于或高于冷却辊4R的周速进行驱动旋转。

在本实施方式中，除了主拉伸辊6R之外的下部辊6R是相互间分离尺寸T′比带状玻璃膜3的厚度t大的引导辊。需要说明的是，主拉伸辊6R并未限定为最上段的下部辊6R，也可以是比其靠下段的下部辊6R，还可以是配设成两段或三段等多段的下部辊6R。

另外，在本实施方式中，冷却辊4R、退火辊5R及下部辊6R均按照存在于宽度方向的两侧的壁部14进行两端支承的1根辊轴而安装各两个，分别配设在带状玻璃膜3的宽度方向两端部的耳部的稍中央侧位置、即带状玻璃膜3的表背两侧。需要说明的是，这些辊4R、5R、6R也可以由两壁部14分别进行单臂支承。

在此，详细叙述主拉伸辊6R的结构的话，如图4a所示，在辊轴6x的外周侧嵌合固定由合成橡胶(弹性体)构成的圆筒状的辊体6a。因此，由合成橡胶构成的辊体6a的外周面与带状玻璃膜3的表背面接触而产生把持力。合成橡胶比玻璃的硬度低，但其硬度、柔软性甚至表面平滑性等的物性可以适当控制，因此容易形成为能够可靠地把持带状玻璃膜3的材质，若将该合成橡胶使用于主拉伸辊6R(辊体6a)，则主拉伸辊6R与带状玻璃膜3的滑动消失，在退火炉5内能够稳定地对带状玻璃膜3施加张力。

构成辊体6a的合成橡胶若为本实施方式的使用形态，则与玻璃的静摩擦系数优选为1.00以上。若为这种合成橡胶，则主拉伸辊6R的外周部在与带状玻璃膜3的表背面之间可靠地不产生滑动，能够适当地把持带状玻璃膜3，因此无需使大的接触压作用在带状玻璃膜3的表背面，能够尽量避免带状玻璃膜3产生无用的内部应力的不良情况。需要说明的是，在玻璃板上载置有该合成橡胶材料的状态下使该玻璃板逐渐倾斜，在该合成橡胶材开始滑动时的角度为θ时，上述的静摩擦系数的数值是以tanθ为静摩擦系数的方法(所谓倾斜方法)测定的值，且是室温下的测定值。

而且，该合成橡胶若为本实施例的主拉伸辊6R的配置条件，则耐热温度优选为300℃以上。即，主拉伸辊6R若为退火炉5的外部下方，则无论配置在何处均能发挥其作用，但配置在尽量接近退火炉5的位置上能够缩短把持部相互之间的距离，因此在退火炉5内对带状玻璃膜3施加适当的张力上有利。这种情况下，由于从退火炉5刚出来之后的带状玻璃膜3的温度为250℃以上，因此在使用耐热温度低的合成橡胶(例如，腈橡胶、丙烯酸橡胶、聚氨酯橡胶、乙烯丙烯橡胶、丁基橡胶、表氯醇橡胶等)的情况下，为了阻止与带状玻璃膜3接触的辊体6a的外周部的热变形，而受到如下制约，即：另行需要对其外周部进行冷却的装置等，或者在带状玻璃膜3的温度充分降温的部位即从退火炉5远离的部位必须配置主拉伸辊6R。

然而，如上述那样若使用耐热温度为300℃以上的合成橡胶，则无需另行设置冷却装置等或使主拉伸辊6R的配设位置从退火炉5不当地远离。在此，耐热温度是指合成橡胶不会因热量而引起变形且不会因热量而具有无用的粘着性，能够原封不动地维持室温下的物性的范围内的最高温度。若考虑以上的事项，则作为辊体6a的合成橡胶，优选使用硅橡胶或氟橡胶。但是，根据其使用的形态的不同，即使是已述的腈橡胶等那样耐热温度低的合成橡胶，也能够发挥充分的效果。

图4b详细地例示了主拉伸辊6R的另一结构，在辊轴6x的外周侧嵌合固定有圆筒状的芯部6b，在该芯部6b的外周侧嵌合固定有由合成橡胶构成的圆筒状的辊体6a。在如此构成的情况下，构成辊体6a的合成橡胶也会与带状玻璃膜3的表背两面发生接触。并且，关于合成橡胶的特性、优点与基于图4a说明的事项相同，因此在此省略其说明。

接下来，说明具备以上的结构的本发明的第一实施方式的制造装置1的作用(制造方法)。

作为带状玻璃膜制造方法，首先，通过成形炉4内的成形体4a及冷却辊4R的主要作用，直行将熔融玻璃成形为带状玻璃膜3而下降的成形工序，然后，在退火炉5内执行利用退火辊(引导辊)5R引导带状玻璃膜3使其下降并进行内部应变的除去的退火工序。并且，然后，对于结束了退火工序的带状玻璃膜3在冷却室6内执行通过内部辊6R向下方施加张力并引导而使其降温成室温的冷却工序，然后，在切断室8内，执行将带状玻璃膜3的传送方向从下方变换成横向的方向变换工序，然后执行将带状玻璃膜3的耳部切除的切断工序。而且，然后，通过卷绕机构11将切除耳部的带状玻璃膜3以与保护片13重合的状态绕着卷芯7a卷绕，由此能得到玻璃辊7。

这种情况下，在退火工序的执行时，退火炉5内的带状玻璃膜3在其整个区域上，成为在成形炉4内的冷却辊4R与冷却室6内的主拉伸辊6R之间被施加张力的状态，因此无论退火炉5内是否产生空气流，该带状玻璃膜3都难以产生摆动甚至振动。并且，由于主拉伸辊6R的外周部由合成橡胶构成，因此冷却室6内的带状玻璃膜3不会带有微小伤痕且不会产生滑动，从而能够以稳定的状态施加张力。

并且，由于构成主拉伸辊6R的辊体6a的合成橡胶的静摩擦系数为1.00以上，主拉伸辊6R不会产生滑动而能够可靠地把持带状玻璃膜3，因此能够对于退火炉5内的带状玻璃膜3可靠地施加不产生振动的程度的张力。

而且，退火炉5内的退火辊5R全部为引导辊，它们的周速与带状玻璃膜3的下降速度实质上相同，因此带状玻璃膜3即使在下降时与退火辊5R接触，也能尽量抑制接触引起的微小伤痕的发生。需要说明的是，退火辊5R从退火炉5内的温度的关系出发，设为高硬度的陶瓷制，但如上述那样由于全部为引导辊且周速适当，因此不会成为带状玻璃膜3产生微小伤痕的主要原因。

通过进行以上的动作，能有效地抑制带状玻璃膜3产生微小伤痕引起的破损等问题，而且能避免受到退火炉5内产生的空气流的影响而带状玻璃膜3产生振动的事态。由此，能消除退火炉5内的振动的产生引起的带状玻璃膜3的热履历的不稳定化，并且能避免带状玻璃膜3距退火炉5内的加热器过近或过远等引起而内部应变除去作用产生障碍的事态，从而能极其适当地执行退火工序。

图5例示了本发明的第二实施方式的带状玻璃膜制造装置1(带状玻璃膜制造方法的实施状况)。该第二实施方式的制造装置1与上述的第一实施方式的不同之处在于，在比冷却室6靠下方且通过方向变换机构9而带状玻璃膜3即将开始方向变换之前(在图例中为方向变换的开始点或其附近)配设了主拉伸辊6R的点。需要说明的是，该主拉伸辊也可以配设在冷却室6内，但关键的是在带状玻璃膜3即将开始方向变换之前、优选方向变换的开始点或其附近配设主拉伸辊6R。

根据这种结构，在退火炉5内未把持带状玻璃膜3，因此即使由于强制性的方向变换引起而带状玻璃膜3的拉伸作用产生波动，通过主拉伸辊6R的作用也能消除该波动，而且能够对退火炉5内的带状玻璃膜3施加张力。而且，若将主拉伸辊6R配置在带状玻璃膜3的方向变换的开始点或其附近，则能够尽量缩短带状玻璃膜3的传送路径，能够实现小空间化。

其他的结构及作用效果与上述的第一实施方式相同，因此对于两实施方式共用的结构要件使用同一符号，省略其说明。

需要说明的是，在以上的第一、第二实施方式中，在冷却辊4R与主拉伸辊6R之间，对退火炉5内的带状玻璃膜3施加了张力，但也可以是配设在退火炉5内的最上段的退火辊5R把持带状玻璃膜3，而在该退火辊5R与主拉伸辊6R之间，对退火炉5内的带状玻璃膜3施加张力。这种情况下，关键的是，使最上段的退火辊5R的周速等于或高于冷却辊4R的周速，而且使主拉伸辊6R的周速等于或高于最上段的退火辊5R的周速。而且，在退火炉5内对带状玻璃膜3进行把持的退火辊5R并未限定为最上段，也可以是比其靠下段的退火辊5R，但关键的是，该退火辊5R、冷却辊4R、主拉伸辊的各自的周速的关系与上述的情况相同。

另外，在以上的第一、第二实施方式中，仅配置主拉伸辊6R作为拉伸辊，但例如也可以在退火炉5内配设比主拉伸辊6R的把持力小且周速与主拉伸辊6R同等的辅助性的拉伸辊。

此外，在以上的第一、第二实施方式中，在带状玻璃膜的成形中采用溢流下拉法时适用了本发明，但在采用槽孔下拉法、再拉法时，同样地能够适用本发明。但是，在采用再拉法时，已述的冷却辊的配设位置相当于成为母材的板玻璃的未加热位置。

另外，在以上的第一、第二实施方式中，在切断工序中使用激光割断沿着带状玻璃膜3的长度方向进行切断，得到了玻璃辊7，但也可以沿着带状玻璃膜3的宽度方向的方式实施划线而以该划线为基线进行切断，从而得到多张作为玻璃基板的玻璃膜。

【符号说明】

1带状玻璃膜制造装置

2熔融玻璃

3带状玻璃膜

4成形炉

4R冷却辊

5退火炉

5R退火辊(引导辊)

6冷却室

6a合成橡胶

6R主拉伸辊(下部辊)

7玻璃辊

9方向变换机构

10切断机构

Claims (7)

1.一种带状玻璃膜制造方法，具有：使带状玻璃膜下降并同时成形的成形工序；在该成形工序的执行后，使所述带状玻璃膜在退火炉内下降并同时退火而将内部应变除去的退火工序；在该退火工序的执行后，将除了宽度方向两端部之外的中央部的厚度成为300μm以下的所述带状玻璃膜切断的切断工序，所述带状玻璃膜制造方法的特征在于，

在所述退火工序的执行以后且在所述切断工序的执行以前，主要起到拉伸辊的作用的主拉伸辊把持下降的所述带状玻璃膜而进行驱动旋转，由此至少对所述退火炉内的带状玻璃膜沿着上下方向施加张力。

2.根据权利要求1所述的带状玻璃膜制造方法，其特征在于，

所述主拉伸辊在与所述退火炉的外部上方配设的冷却辊或所述退火炉内配设的辊之间，对所述带状玻璃膜沿着上下方向施加张力。

3.根据权利要求1或2所述的带状玻璃膜制造方法，其特征在于，

在所述退火炉内，相互间分离尺寸比该带状玻璃膜的厚度大的引导辊对置配置在所述带状玻璃膜的表背两侧。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的带状玻璃膜制造方法，其特征在于，

在从所述退火工序结束到所述切断工序开始期间，执行将下降的所述带状玻璃膜的传送方向变换为横向的方向变换工序，并且在所述退火工序的执行以后且在所述方向变换工序的执行以前，所述主拉伸辊把持下降的所述带状玻璃膜。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的带状玻璃膜制造方法，其特征在于，

所述主拉伸辊的把持所述带状玻璃膜时与该带状玻璃膜接触的外周部由比该带状玻璃膜的硬度低的材料形成。

6.根据权利要求5所述的带状玻璃膜制造方法，其特征在于，

所述主拉伸辊的外周部由合成橡胶形成。

7.一种带状玻璃膜制造装置，具有：使带状玻璃膜下降并同时成形的成形机构；使该成形后的所述带状玻璃膜下降并同时在退火炉内进行退火而将内部应变除去的退火机构；将该退火结束且除了宽度方向两端部之外的中央区域的厚度成为300μm以下的所述带状玻璃膜切断的切断机构，所述带状玻璃膜制造装置的特征在于，

在从经过所述退火机构至到达所述切断机构为止的所述带状玻璃膜的传送路径的途中，主要起到拉伸辊的作用的主拉伸辊把持下降的所述带状玻璃膜而进行驱动旋转，由此至少对所述退火炉内的所述带状玻璃膜沿着上下方向施加张力。

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