WO2013042379A1 - ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置 - Google Patents

ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2013042379A1
WO2013042379A1 PCT/JP2012/006024 JP2012006024W WO2013042379A1 WO 2013042379 A1 WO2013042379 A1 WO 2013042379A1 JP 2012006024 W JP2012006024 W JP 2012006024W WO 2013042379 A1 WO2013042379 A1 WO 2013042379A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
temperature
glass
space
sheet glass
furnace
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/006024
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
浩幸 苅谷
公彦 中嶋
Original Assignee
ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社
アヴァンストレート コリア インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社, アヴァンストレート コリア インコーポレイテッド filed Critical ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社
Priority to JP2013509383A priority Critical patent/JP5848329B2/ja
Priority to CN201280003961.7A priority patent/CN103261106B/zh
Publication of WO2013042379A1 publication Critical patent/WO2013042379A1/ja

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/064—Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/067—Forming glass sheets combined with thermal conditioning of the sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium

Definitions

  • the present invention relates to a glass plate manufacturing method and a glass plate manufacturing apparatus.
  • the overflow downdraw method which is one method for producing a glass plate
  • molten glass is supplied to a molded body disposed in a molding furnace.
  • the supplied molten glass is made to overflow from a molded object.
  • the molten glass overflowed is joined at the lower end of the molded body to form a continuous sheet-like glass (sheet glass).
  • sheet glass merged at the lower end of the formed body is further conveyed downward and gradually cooled in a slow cooling furnace.
  • the slowly cooled sheet glass is cut
  • an object of the present invention is to provide a glass plate manufacturing method and a glass plate manufacturing apparatus capable of solving the above-described problems and enabling stable production satisfying a predetermined quality of the glass plate.
  • the first aspect of the present invention is a method for producing a glass plate.
  • the manufacturing method includes a melting step of melting a glass raw material to form molten glass, and supplying the molten glass to a molded body disposed in a molding space surrounded by a molding furnace wall that is a furnace wall of a molding furnace.
  • a step of forming a sheet glass from molten glass in the molded body using a downdraw method, and a slow cooling furnace which is a space located below the molding space and is a furnace wall of the slow cooling furnace A slow cooling step of slow cooling in a slow cooling space surrounded by walls, and a cutting step of cutting the slowly cooled sheet glass in a cutting space located below the slow cooling furnace to form a glass plate.
  • the atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure in the furnace outer space is larger than the atmospheric pressure outside the building.
  • the second aspect of the present invention is a glass plate manufacturing apparatus.
  • the manufacturing apparatus includes a forming furnace that is formed by surrounding a forming space for forming a sheet glass from molten glass with a forming furnace wall, and a slow cooling that gradually cools the sheet glass so as to be positioned below the forming furnace.
  • a slow cooling furnace formed by surrounding the space with a wall of a slow cooling furnace, a cutting device disposed in a cutting space located below the slow cooling furnace and cutting the sheet glass that has been slowly cooled, the molding space, the slow cooling space, And the pressure in the furnace external space located above the cutting space in the building internal space defined by the inner wall surface of the building that houses the cutting space, the outer surface of the forming furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall, Control means for performing atmospheric pressure control so as to increase with respect to the atmospheric pressure outside the building.
  • the atmospheric pressure in the furnace outer space is P1
  • the atmospheric pressure outside the building is P2
  • the relationship 0 ⁇ P1-P2 ⁇ 40 Pa is established.
  • the atmospheric pressure in the outer space of the furnace is controlled.
  • the atmospheric pressure in the cutting space is P3
  • the atmospheric pressure in the cutting space is further controlled so that a relationship of 0 ⁇ P3-P2 ⁇ 40 Pa is established.
  • the atmospheric pressure in the cutting space is controlled so that the atmospheric pressure in the slow cooling space is larger than the atmospheric pressure in the cutting space.
  • the atmospheric pressure in the furnace external space is controlled so that the atmospheric pressure in the furnace external space increases toward the upstream side in the flow direction of the sheet glass.
  • a tension acts in the flow direction of the sheet glass, At least in the temperature range where the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass is a temperature obtained by adding 200 ° C. from the strain point temperature of the glass to a temperature obtained by adding 150 ° C. to the annealing point temperature of the glass. Temperature control is performed so that the cooling rate at the center in the direction is faster than the cooling rate at both ends in the width direction.
  • both end portions in the width direction of the sheet glass are The temperature of the sheet glass is controlled so as to be lower than the temperature of the central portion sandwiched between the both end portions and uniform in the central portion.
  • the temperature of the central portion of the sheet glass is such that the tension in the flow direction of the sheet glass acts at the central portion in the width direction of the sheet glass.
  • the temperature of the sheet glass is controlled so that the temperature distribution in the width direction of the sheet glass decreases from the central portion toward the both end portions in a region that is less than the strain point temperature of the glass. Furthermore, in the temperature region where the temperature of the central portion of the sheet glass is the strain point temperature of the glass, the temperature of the sheet glass is such that there is no temperature gradient between the both end portions in the width direction of the sheet glass and the central portion. Be controlled.
  • a temperature adjustment unit for controlling the temperature may be provided in a furnace space including the molding space and the slow cooling space.
  • the tension in the flow direction of the sheet glass acts so that the central part of the sheet glass In the region where the temperature is lower than the strain point temperature of the glass, the temperature of the sheet glass is controlled so as to decrease from the both end portions of the sheet glass toward the central portion.
  • the downstream side of the position where the temperature of the sheet glass becomes the glass annealing point temperature in the slow cooling step or the slow cooling space, the downstream side of the position where the temperature of the sheet glass becomes the glass annealing point temperature.
  • the peripheral speed of the feed roller provided at 0.03 to 2% of the peripheral speed of the feed roller provided in a temperature region where the temperature of the sheet glass is not lower than the glass transition temperature and not higher than the softening temperature of the glass. Make it faster.
  • Each of the first to eighth preferred embodiments can be applied to each of the glass plate manufacturing method of the first aspect and the glass plate manufacturing apparatus of the second aspect described above, and the first to eighth aspects.
  • the composite form combining at least two of the preferred forms can also be applied to the glass plate production method of the first aspect and the glass plate production apparatus of the second aspect.
  • the flowchart of a part of manufacturing method of the glass plate which concerns on this embodiment The schematic diagram which mainly shows the melting
  • the schematic diagram which shows the inside of a building.
  • the schematic diagram which shows the inside of the building for demonstrating the space in a building.
  • the schematic diagram which shows the inside of the building which concerns on the modification 1A.
  • the center part of sheet glass means the center of the width direction of sheet glass among the width
  • the edge part of sheet glass means the range within 100 mm from the edge of the width direction of sheet glass.
  • the strain point temperature refers to the temperature of a glass plate having a log ⁇ of 14.5 when the glass viscosity is ⁇ .
  • the annealing point temperature refers to the temperature of glass having a log ⁇ of 13.
  • the softening point temperature refers to the temperature of glass having a log ⁇ of 7.6.
  • the glass transition temperature refers to the temperature of the glass when the supercooled liquid changes to the glass state.
  • the inventor of the present invention cannot realize sufficiently stable production only by pressurizing the pressure in the outer space of the forming furnace and / or the slow cooling furnace, because the magnitude of the pressure between the inside of the building and the outside of the building is small. I found that there is a relationship. More specifically, it has been found that the cause of lowering the quality of the glass plate is that air flows into the building from the outside of the building when the pressure inside the building is smaller than the pressure outside the building.
  • the inventor of the present invention increases the atmospheric pressure inside the building to the atmospheric pressure outside the building, so that the air outside the building is inside the building. It was found that it is only necessary to suppress the flow into the water. In addition, in order to suppress the decrease in accuracy of temperature control in the forming furnace and the slow cooling furnace, it was found that the difference between the pressure inside the building and the pressure outside the building should be controlled.
  • FIG. 1 is a partial flowchart of the glass plate manufacturing method according to the present embodiment. Hereinafter, the manufacturing method of a glass plate is demonstrated using FIG.
  • the glass plate is manufactured through various processes in the building B. Specifically, as shown in FIG. 1, the glass plate has a melting step ST1, a refining step ST2, a homogenizing step ST3, a supplying step ST4, a forming step ST5, a slow cooling step ST6, and a cutting step. Manufactured through various processes including ST7. Hereinafter, these steps will be described.
  • molten glass is obtained by heating and melting the glass raw material.
  • the clarification step ST2 the molten glass is clarified.
  • the homogenization step ST3 the molten glass is homogenized.
  • the molten glass is formed into a sheet-like sheet glass SG.
  • the molten glass is preferably formed into a sheet-like sheet glass SG by a downdraw method, particularly an overflow downdraw method.
  • the slow cooling step ST6 the sheet glass SG formed in the forming step ST5 is gradually cooled.
  • the cutting step ST7 the slowly cooled sheet glass SG (see FIG. 3) is cut into a glass plate G (see FIG. 3) every predetermined length.
  • disconnected for every predetermined length is cut further after that, and grinding / polishing, washing
  • FIG. 2 is a schematic view mainly showing a melting apparatus 200 included in the glass plate manufacturing apparatus 100.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of the inside of the building B in which various apparatuses included in the glass plate manufacturing apparatus 100 are accommodated or attached (in FIG. 3, the forming apparatus 300, the forming furnace 40, and the slow cooling furnace 50 are illustrated. Are shown by a schematic cross-sectional schematic diagram).
  • the glass plate manufacturing apparatus 100 will be described.
  • the glass plate manufacturing apparatus 100 is disposed in the building B, and mainly includes a melting apparatus 200, a forming apparatus 300, and a cutting apparatus 400.
  • the dissolution apparatus 200 is an apparatus for performing the dissolution process ST1, the clarification process ST2, the homogenization process ST3, and the supply process ST4. As shown in FIG. 2, the dissolution apparatus 200 includes a dissolution tank 201, a clarification tank 202, and a stirring tank 203.
  • the melting tank 201 is a tank for melting the glass raw material.
  • the dissolution step ST1 is performed.
  • the clarification tank 202 is a tank for removing bubbles from the molten glass melted in the melting tank 201.
  • a clarification step ST2 is performed in the clarification tank 202.
  • the stirring tank 203 stirs the molten glass.
  • the homogenization step ST3 is performed in the stirring tank 203.
  • the melting tank 201, the clarification tank 202, the stirring tank 203, and the molding apparatus 300 are connected by a glass supply pipe including a first pipe 204 and a second pipe 205.
  • FIG. 4 is a schematic side view of the molding apparatus 300.
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing the inside of the building B for explaining the space S in the building.
  • the molding apparatus 300 is an apparatus for performing the molding process ST5 and the slow cooling process ST6.
  • the molding apparatus 300 mainly includes a molded body 310, an atmosphere partition member 320, a cooling roller 330, a cooling temperature adjustment unit 330a, feed rollers 340a to 340h, and temperature adjustment units 350a to 350g (see FIG. 4). And have.
  • these configurations will be described.
  • the molded body 310 is located in the upper part of the molding apparatus 300, and the molten glass flowing from the melting apparatus 200 (indicated by reference numeral MG in FIGS. 3 and 4) is turned into a sheet-like sheet glass.
  • the molded body 310 has a wedge-shaped cross section cut in the vertical direction, and is formed of bricks.
  • the atmosphere partition member 320 is a plate-like member disposed in the vicinity of the lower end 313 of the molded body 310.
  • the atmosphere partition member 320 is arranged substantially horizontally on both sides in the thickness direction of the molten glass that merges at the lower end portion 313 of the molded body 310 and flows downstream in the first direction.
  • the atmosphere partition member 320 functions as a heat insulating material. In other words, the atmosphere partition member 320 suppresses the movement of heat from the upper side to the lower side of the atmosphere partition member 320 by partitioning the upper and lower spaces thereof.
  • the cooling roller 330 is disposed below the atmosphere partition member 320. Further, the cooling roller 330 is arranged at both sides in the thickness direction of the molten glass that joins at the lower end portion 313 of the molded body 310 and flows downstream in the first direction, and in the vicinity of both side portions in the width direction. The cooling roller 330 cools the molten glass by contacting both side portions in the width direction of the molten glass joined at the lower end 313 of the molded body 310. More specifically, the cooling roller 330 forms and cools the sheet glass SG to a desired thickness by pulling the molten glass downstream in the first direction. In the present specification, the direction in which the sheet glass SG flows is referred to as a first direction.
  • the molding space S ⁇ b> 1 is a space surrounded by the inner surface of the molding furnace wall 41 that is the furnace wall of the molding furnace 40 and the plane FS ⁇ b> 1 including the upper surface of the partition member 42.
  • the partition member 42 is a member that partitions the forming furnace 40 (the downstream end in the first direction of the forming furnace wall 41) and the slow cooling furnace 50 described later (the upstream end in the first direction of the slow cooling furnace wall 51 described later), For example, a flat plate member is used.
  • the forming furnace wall 41 is a furnace wall of the forming furnace 40, and the cross-sectional shape cut along the first direction has a U-shape.
  • a molding step ST5 is performed in the molding furnace 40.
  • a space composed of the molding space S1 and the slow cooling space S2 described later is referred to as a furnace space.
  • the feed rollers 340a to 340h are disposed below the cooling roller 330 with a predetermined interval in the first direction. Further, the feed rollers 340a to 340h are respectively disposed on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG. The feed rollers 340a to 340h pull the sheet glass SG downstream in the first direction.
  • the temperature adjustment units 350a to 350g are devices for adjusting the temperature of the sheet glass SG, more precisely, the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG (specifically, raising the temperature).
  • a plurality of SGs are arranged in the width direction of SG.
  • the cooling temperature adjustment unit 330a is arranged below the cooling roller 330 in the first direction, and adjusts the temperature of the sheet glass SG, more precisely the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG.
  • the cooling temperature adjustment unit 330a cools so as to reduce the thickness and warpage of the high-temperature sheet glass SG immediately after molding.
  • the cooling temperature adjustment unit 330a is disposed in the molding space S1 (the space indicated by the diagonally oblique lines in FIG. 5). Further, the feed rollers 340a to 340h and the temperature adjustment units 350a to 350g are arranged in the slow cooling space S2 (the space shown by the diagonally oblique lines in FIG. 5).
  • the slow cooling space S ⁇ b> 2 is a space formed by the slow cooling furnace 50 disposed below the molding furnace 40. More specifically, the space surrounded by the inner surface of the slow cooling furnace wall 51 that is the furnace wall of the slow cooling furnace 50, the flat surface FS2 including the lower surface of the partition member 42, and the flat surface FS3 including the downstream end surface of the slow cooling furnace wall 51 in the first direction. It is.
  • the sheet glass SG is gradually cooled by the feed rollers 340a to 340h being pulled downstream in the first direction (from the viscous region to the elastic region through the viscoelastic region).
  • a slow cooling step ST6 is performed.
  • the temperature adjustment units 350a to 350g adjust the temperature of the sheet glass SG so that the plane strain and the heat shrinkage rate of the sheet glass SG are suppressed.
  • a plurality of temperature sensors are arranged along the width direction of the sheet glass SG as atmosphere temperature detecting means for detecting the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG. .
  • the plurality of temperature sensors are referred to as a temperature sensor unit 380 (see FIG. 6).
  • the cutting device 400 performs a cutting process ST7.
  • the cutting device 400 is disposed in a cutting space S3 (described later) located below the slow cooling furnace 50.
  • the cutting device 400 cuts the sheet glass SG flowing down downstream in the first direction in the forming device 300 from a direction perpendicular to the longitudinal surface. Thereby, the sheet glass SG becomes a plurality of glass plates G having a predetermined length.
  • the in-building space S is a space excluding the forming furnace wall 41, the forming space S1, the slow cooling furnace wall 51, and the slow cooling space S2 in the space surrounded by the inner surface of the building B (shaded hatching in FIG. 5). See section).
  • the building space S is a space defined by the inner surface (inner wall surface) of the building B that houses the forming space S1, the slow cooling space S2, and the cutting space S3, the outer surface of the forming furnace wall 41, and the outer surface of the slow cooling furnace wall 51. It is.
  • the building space S is divided into a plurality of spaces by floors 411, 412 and 413 arranged in the building B.
  • the floors 411, 412 and 413 have a role as partition members for dividing the building space S into a plurality of spaces.
  • the building space S is divided into floors 411, 412, and 413 into a molding furnace outer upper space S 5, a molding furnace outer lower space S 6, a slow cooling furnace outer space S 7, and a cutting space S 3.
  • the number of floors (the number of divisions in the building space) and the height position in the first direction where the floors are installed are not particularly limited.
  • the forming furnace exterior upper space S5 is a space sandwiched by the floor 411 and the upper lower surface of the building B in the building space S.
  • the height of the floor 411 is close to the position of the upper part of the molded body 310, and is disposed at the same height position as the upper part of the molding furnace wall 41.
  • the molding furnace outer lower space S6 is a space formed on the downstream side in the first direction with respect to the molding furnace outer upper space S5. Specifically, the molding furnace outer lower space S6 is a space sandwiched between the floor 411 and the floor 412 in the building space S. The floor 412 is arranged so that the height position thereof is located in the vicinity of the downstream end of the forming furnace wall 41 in the first direction.
  • the molding furnace outer lower space S6 includes a region A1 corresponding to the molded body 310 (specifically, the installation position and the height position of the molded body 310 are the same).
  • the slow cooling furnace outer space S7 is a space formed on the downstream side in the first direction with respect to the molding furnace outer lower space S6.
  • the slow cooling furnace outer space S7 is a space sandwiched between the floor 412 and the floor 413 in the building space S.
  • the floor 413 is disposed at a height position close to the downstream end of the slow cooling furnace wall 51 in the first direction.
  • the slow cooling furnace external space S7 has the same temperature position as the slow cooling furnace external space S7 (that is, corresponding to the distance from the lower surface of the floor 412 to the upper surface of the floor 413) and the ambient temperature of the glass sheet G flowing through the slow cooling space S2
  • the space is 800 ° C. to 110 ° C.
  • the slow cooling furnace external space S 7 is such that the glass sheet G flowing through the slow cooling space S 2 is changed from (slow cooling point temperature + 5 ° C.) to (strain point temperature ⁇ 50 ° C.). It is a space that includes a space.
  • the cutting space S3 is a space formed on the downstream side in the first direction of the slow cooling furnace outer space S7. Specifically, the cut space S3 is a space sandwiched between the floor 413 and the upper surface of the lower part of the building B in the in-building space S.
  • the forming furnace wall 41 and the slow cooling furnace wall 51 are made of, for example, a refractory material or a heat insulating material.
  • the building B can be applied with a known refractory or the like generally used when building a building.
  • FIG. 6 is a control block diagram of the control device 500.
  • the control device 500 includes a CPU, a ROM, a RAM, a hard disk, and the like, and functions as a control unit that controls various devices included in the glass plate manufacturing apparatus 100.
  • the control device 500 controls the drive of the first drive unit 390 that controls the temperature adjustment of the temperature adjustment units 350a to 350g, the cooling roller 330, the feed rollers 340a to 340h, and the cutting.
  • Drive control of the second drive unit 450 for driving the device 400 and the like is performed.
  • the temperature adjustment control of the cooling temperature adjustment unit 330a is performed based on the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG detected by the temperature sensor unit provided in the molding space S1.
  • the temperature adjustment control of the temperature adjustment units 350a to 350g is performed based on the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG detected by the temperature sensor unit 380.
  • control device 500 further controls the atmospheric pressure in the building space S formed by the inner surface of the building B. This will be described later.
  • the various sensors shown in FIG. 6 will also be described later.
  • the molten glass supplied from the melting device 200 to the molded body 310 via the supply port 311 flows into the groove 312 (see FIG. 3) opened above the molded body 310. And it overflows in the groove part 312.
  • the molten glass overflowed in the groove portion 312 flows downstream in the first direction along both side surfaces of the molded body 310 and merges at the lower end portion 313 as shown in FIG.
  • the molten glass that has joined at the lower end 313 flows down to the downstream side in the first direction.
  • the viscosity of the glass at the time of starting to flow down after leaving the molded body 310 is, for example, 10 5.7 to 10 7.5 poise.
  • the molten glass flowing down to the downstream side in the first direction is pulled down to the downstream side in the first direction by sandwiching both ends in the width direction by the cooling rollers 330 arranged on both sides in the thickness direction.
  • the molten glass is formed into a sheet-like sheet glass SG and cooled (rapidly cooled).
  • the rapid cooling by the cooling roller 330 a viscosity at both end portions of the sheet glass is, for example, 10 9.0 ⁇ 10 10.5 poise.
  • the sheet glass SG pulled down by the cooling roller 330 is further pulled down by the feed rollers 340a to 340h and gradually cooled.
  • the sheet glass SG pulled down by the feed rollers 340a to 340h is then cut into a plurality of glass plates G by a cutting device 400 at predetermined lengths.
  • the furnace outer space S4 is a space that is surrounded by the outer surface of the forming furnace wall 41, the outer surface of the slow cooling furnace wall 51, and the inner surface of the building B, and is located above the cutting space S3, in other words, This is a space obtained by removing the cutting space S3 from the building space S (that is, a space constituted by the molding furnace outer upper space S5, the molding furnace outer lower space S6, and the slow cooling furnace outer space S7).
  • the atmospheric pressure control process for controlling the atmospheric pressure in the furnace outer space S4 is started, for example, at the time when the homogenization process ST3 is performed. That is, the atmospheric pressure control process is performed before the molding process ST5 and the slow cooling process ST6.
  • Blowers 421, 422, and 423 for pressurizing each space are disposed.
  • a first pressure sensor 431, a second pressure sensor 432, which are detection means for detecting the atmospheric pressure in the molding furnace outer upper space S5, the molding furnace outer lower space S6, and the slow cooling furnace outer space S7, And the 3rd pressure sensor 433 (refer to Drawing 6) is arranged in each space.
  • the method of performing atmospheric pressure control is not limited to the method of performing air blowing, and a method of performing a combination of air blowing and exhaust air, a method of adjusting a pressure difference with a damper, or the like can be applied.
  • the atmospheric pressure P1 in the outer space S4 is changed to the atmospheric pressure outside the building B (atmospheric pressure) by detecting the atmospheric pressure in each space S5, S6, S7 using various pressure sensors 431, 432, 433.
  • the operation of the second drive unit 450 for example, a motor
  • P2 for example, the rotation speed in the case of a motor
  • the atmospheric pressure in the space S4 is controlled.
  • the value obtained by subtracting P2 from P1 is controlled to be greater than 0 and 40 Pa or less. That is, the second drive unit 450 is controlled so that the relationship of the following formula 1 is established.
  • the value obtained by subtracting P2 from P1 is more preferably 1 to 40 Pa, further preferably 2 to 35 Pa, further preferably 3 to 25 Pa, and further preferably 4 to 15 Pa. .
  • the atmospheric pressure in the furnace external space S4 is controlled so that the air pressure in the furnace external space S4 increases toward the upstream side in the flow direction of the sheet glass SG. More specifically, it is preferable that the atmospheric pressure in the molding furnace outer upper space S5> the atmospheric pressure in the molding furnace outer lower space S6> the atmospheric pressure in the slow cooling furnace outer space S7.
  • cooling of the sheet glass SG can be controlled in the forming space S1 and the slow cooling space S2.
  • the sheet glass SG as described below can be cooled with the cooling temperature adjustment unit 330a, the temperature adjustment units 350a to 350g, the feed rollers 340a to 340h, and the cooling roller 330 according to the instructions of the control device 500.
  • the tension is effectively applied in the flow direction (first direction) of the sheet glass SG. Thereby, the curvature of the sheet glass SG can be suppressed.
  • the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass SG is equal to or higher than the softening point temperature of the glass.
  • the temperature of the sheet glass SG is controlled so that both end portions (ear portions) in the width direction of the sheet glass SG are lower than the temperature of the central portion and the temperature of the central portion is uniform.
  • the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass SG is less than the softening point temperature and above the strain point temperature so that the tensile stress in the transport direction acts on the central portion in the width direction of the sheet glass SG.
  • the temperature of the sheet glass SG is controlled so that the temperature distribution in the width direction of the sheet glass SG becomes lower from the center toward both ends.
  • the sheet is so formed that there is no temperature gradient between both end portions (ear portions) in the width direction of the sheet glass SG and the center portion. The temperature of the glass SG is controlled.
  • the tensile stress of a conveyance direction is applied to the center part of the width direction of the sheet glass SG.
  • the region where the temperature of the sheet glass SG is equal to or higher than the softening point temperature is in the molding space S1. Therefore, in order to perform the temperature control, a cooling temperature adjustment unit 330a is provided in the molding space S1.
  • region where the temperature of the sheet glass SG is more than a softening point temperature may exist in the slow cooling space S2. In this case, in order to perform the temperature control, a cooling temperature adjustment unit 330a is provided in the slow cooling space S2.
  • the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass SG is less than the vicinity of the strain point temperature of the glass so that the tension in the conveyance direction acts on the central portion in the width direction of the sheet glass SG.
  • the temperature of the sheet glass SG can be controlled so as to decrease from both end portions (ear portions) in the width direction of the sheet glass SG toward the center portion in the width direction of the sheet glass SG.
  • the variation in the thermal shrinkage rate of the glass plate can be reduced, and further, by adjusting the cooling rate of the formed sheet glass SG, in addition to the variation in the thermal shrinkage rate.
  • the deformation of the glass plate can be suppressed, the warpage can be suppressed, and the absolute value of the heat shrinkage rate can be reduced.
  • the sheet glass SG is gradually cooled using the feed rollers 340a to 340h in the slow cooling space S2
  • the sheet glass SG is heated from a temperature obtained by adding 150 ° C. to the annealing point temperature of the sheet glass SG.
  • a temperature range from the strain point temperature of the glass SG to a temperature subtracted by 200 ° C. is determined.
  • the cooling rate at the center in the width direction of the sheet glass SG is faster than the cooling rate at both ends of the sheet glass SG, and the temperature at the center in the width direction of the sheet glass SG is the sheet glass SG. It is preferable to change the sheet glass SG from a state higher than the both ends to a state where the temperature at the center is lower than both ends. Thereby, it is possible to cause a tensile stress to act in the flow direction (first direction) of the sheet glass SG at the center in the width direction of the sheet glass SG. By applying a tensile stress in the flow direction of the sheet glass SG, it is possible to further suppress the warpage of the sheet glass SG and eventually the glass plate.
  • the temperature of the central portion of the sheet glass SG is suppressed from the occurrence of the wave-shaped deformation as described above in the adjacent region adjacent to the portion of the sheet glass SG that is nipped and flows.
  • the peripheral speed of the feed roller provided downstream of the position where the annealing point becomes the temperature is provided in a temperature region in which the temperature of the central portion of the sheet glass SG is not less than the glass transition temperature and not more than the softening point temperature. It is preferably faster than the peripheral speed of the feed roller, for example, 0.03 to 2% faster.
  • This embodiment is suitable for manufacturing a glass plate having a glass plate thickness of 0.01 mm to 1.5 mm.
  • the effect of the present invention is remarkable in a glass plate having a length of 2000 mm or more in the width direction and a length of 2000 mm or more in the longitudinal direction.
  • the glass plate is preferably applied to liquid crystal displays and organic EL displays with strict quality requirements.
  • it can be applied to a display such as a cover glass and a portable terminal, a cover glass for a casing, a touch panel, and a glass plate of a solar cell.
  • a display such as a cover glass and a portable terminal, a cover glass for a casing, a touch panel, and a glass plate of a solar cell.
  • LTPS Low Temperature Poly Silicon
  • TFT Thin Film Transistor
  • the glass plate is heated from 50 ° C. to 550 ° C. at 10 ° C./min, held at 550 ° C. for 1 hour, then cooled to 50 ° C. at 10 ° C./min, and again raised to 550 ° C. at 10 ° C./min.
  • the heat shrinkage rate when the temperature is lowered to 50 ° C. at 10 ° C./min is 100 ppm or less after being heated and held at 550 ° C. for 1 hour. More preferably, it is 0 to 60 ppm, still more preferably 0 to 40 ppm, and still more preferably 0 to 20 ppm.
  • the thermal contraction rate is calculated as Elongation / Initial length ⁇ 10 6 (ppm).
  • a method for measuring the heat shrinkage rate there are the following methods. First, put parallel marking lines on both ends of the glass plate using a diamond pen. Next, the glass plate is cut in half so as to be perpendicular to the marking line, and one is heat-treated (as described above, the heat treatment at 550 ° C. for 1 hour is repeated twice). And the glass plate after heat processing and the other glass plate are put together, and the gap
  • the variation in heat shrinkage rate is more likely to cause a display defect in the display panel than when the heat shrinkage rate is high or low, especially when a TFT is formed on a glass plate in the production of a display. In this respect, it is important to suppress variations in the heat shrinkage rate.
  • the variation in the heat shrinkage rate of the glass plate manufactured in the embodiment is preferably ⁇ 2.85% or less.
  • the variation in the heat shrinkage rate means that when the heat shrinkage rate is measured by the above method at three positions in the width direction of the glass plate (for example, the position of the center portion and the position near both ends in the width direction).
  • the upper limit (+) and lower limit ( ⁇ ) at which the measured value at the position fluctuates with respect to the average value.
  • the variation in the heat shrinkage rate is preferably less than ⁇ 2.80%, more preferably ⁇ 2.75% or less, and even more preferably ⁇ 2.65% or less.
  • the maximum plane strain of the glass plate is preferably 0 to 1.7 nm.
  • the thickness is preferably 0 to 1.5 nm, more preferably 0 to 1.0 nm, and still more preferably 0 to 0.7 nm.
  • the plane strain can be measured with a birefringence measuring apparatus manufactured by UNIOPT.
  • the present invention that can reduce the variation in the thermal shrinkage of the glass plate used for the liquid crystal display or the organic EL display It is particularly suitable for the production of a glass plate for a glass or a glass plate for an organic EL display.
  • the warpage of the glass plate when measured by the following method, has a maximum warpage in the range of 0 to 0.2 mm, preferably 0 to 0.15 mm, preferably 0 to 0.1 mm. More preferably, it is 0 to 0.05 mm, more preferably 0 to 0.05 mm.
  • the glass plate is a mass% display and includes the following components. SiO 2 : 50 to 70% by mass, Al 2 O 3 : 5 to 25% by mass, B 2 O 3 : 0 to 15% by mass, MgO: 0 to 10% by mass, CaO: 0 to 20% by mass, SrO: 0 to 20% by mass, BaO: 0 to 10% by mass, ZrO 2 : 0 to 10% by mass.
  • Glass plates used in organic EL displays, glass plates on which LTPS • TFTs are formed, or glass plates on which oxide semiconductors are formed are more heat-resistant than glass plates on which ⁇ -Si (amorphous silicon) • TFTs are formed.
  • the shrinkage rate is required to be small. In order to reduce the thermal shrinkage rate, the time for the slow cooling step of the glass plate may be increased or the strain point temperature of the glass may be increased. However, if the time for the slow cooling step of the glass plate is lengthened, it is necessary to enlarge the production apparatus, which is not preferable.
  • Examples of the glass plate having a small heat shrinkage rate include glass plates having the following composition and characteristics.
  • SiO 2 52 to 78% by mass
  • Al 2 O 3 3 to 25% by mass
  • SiO 2 57 to 75% by mass, Al 2 O 3 : 8 to 25% by mass, B 2 O 3 : 3 to 11% by mass (excluding 11% by mass), CaO: 0 to 20% by mass, MgO: 0 to 15% by mass, Glass plate.
  • (SiO 2 + Al 2 O 3 ) / B 2 O 3 is 8 to 20 and / or SiO 2 + Al 2 O 3 is 75% by mass or more.
  • the CaO / B 2 O 3 is preferably set to 0.6 or more.
  • the mass ratio (SiO 2 + Al 2 O 3 ) / RO is preferably 7.5 or more.
  • the glass plate preferably has a CaO / RO of 0.65 or more in order to prevent an increase in the devitrification temperature while realizing a high strain point temperature.
  • the total content of SrO and BaO is preferably 0 to 3.3% from the viewpoint of weight reduction.
  • R 2 O (where R 2 O is the total amount of all components contained in the glass plate among Li 2 O, Na 2 O and K 2 O) is eluted from the glass and deteriorates TFT characteristics. Therefore, when it is applied as a glass plate for a liquid crystal display, it is preferably substantially free (alkali-free glass).
  • the basicity of the glass is increased while suppressing the deterioration of the TFT characteristics, the oxidation of the metal whose valence fluctuates is facilitated, and the clarity is exhibited. It is possible.
  • the specific resistance of glass can also be reduced, breakage of the melting tank in the melting step can be suppressed.
  • R 2 O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, and further preferably 0.2 to 0.5%. Note that, among R 2 O, it is preferable to contain K 2 O which is most likely to be eluted from the glass and hardly deteriorate the TFT characteristics.
  • the content of K 2 O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, and further preferably 0.2 to 0.5%.
  • the glass plate is represented by mass% and includes the following components.
  • SiO 2 50 to 70% by mass
  • Al 2 O 3 5 to 20% by mass
  • B 2 O 3 0 to 5% by mass
  • K 2 O 0 to 10% by mass
  • MgO 0 to 10% by mass
  • CaO 0 to 20% by mass
  • ZrO 2 0 to 10% by mass.
  • the inside of the forming furnace and the slow cooling furnace is controlled by a heater so that the temperature does not fluctuate.
  • the forming furnace and the slow cooling furnace there is a gap in addition to the region where the sheet glass is cut. It is extremely difficult to eliminate them completely. For this reason, if air outside the building flows into the building, the relationship between the pressure difference between the furnace outer space and the furnace inner space is disrupted, and the air in the furnace outer space is molded through the gap between the molding furnace and the slow cooling furnace. There is a risk that it will flow into the furnace or the slow cooling furnace and reduce the accuracy of temperature management control in the molding furnace or the slow cooling furnace.
  • the temperature of the air flowing into the molding furnace or the slow cooling furnace is lower than the temperature in the temperature controlled molding furnace or slow cooling furnace. That is, only the area
  • the viscosity of only the region increases, and after being formed into a sheet glass, when the sheet glass is stretched downstream with a roller, the viscosity of the sheet glass is increased. Only the high region cannot be sufficiently stretched, causing a deviation in the thickness of the glass plate.
  • the temperature profile in the width direction of the sheet glass is controlled in order to reduce warpage, plane distortion, and thermal shrinkage. Therefore, when a certain region of the sheet glass is locally cooled in the slow cooling furnace, the heat shrinkage rate is locally increased only in the region, and thus the heat shrinkage rate varies.
  • the air outside the building is preferable to suppress the air outside the building from flowing into the building by making the pressure inside the building higher than the pressure outside the building.
  • the air pressure inside the building is made higher than the air pressure outside the building, a large amount of air inside the building will flow out to the outside of the building, and the air pressure and temperature inside the building will fluctuate.
  • the pressure in the furnace outer space and / or the cutting space becomes too high, the amount of air flowing from the furnace outer space and / or the cutting space into the furnace inner space increases, and an upward air flow along the sheet glass tends to occur.
  • the difference between the pressure inside the building and the pressure outside the building is preferably more than 0 to 40 Pa.
  • the blower it is preferable to control the blower so that a value obtained by subtracting the atmospheric pressure P2 outside the building B from the atmospheric pressure P1 in the furnace exterior space S4 is greater than 0 and equal to or less than 40 Pa.
  • a glass plate can be manufactured stably.
  • variation in the thickness of the glass plate can be suppressed by suppressing fluctuations in the temperature of the forming space S1.
  • the slow cooling space S2 is a space including a region in which the temperature of the sheet glass SG becomes a temperature in the vicinity of the strain point temperature from the vicinity of the slow cooling point temperature, but by suppressing temperature fluctuations in the slow cooling space S2, Variation in thermal shrinkage can be reduced.
  • the slow cooling space S2 since the fluctuation
  • the sheet glass SG is one continuous plate until it is cut. Therefore, if the warp shape of the sheet glass changes in the region where the temperature of the sheet glass is equal to or lower than the strain point temperature, the sheet glass in the region where the temperature is higher than the strain point temperature is also affected, and variation in the thermal shrinkage rate occurs. .
  • this embodiment it is possible to suppress variations in warpage, plane distortion, and thermal shrinkage by suppressing changes in the ambient temperature in a region where the temperature of the sheet glass SG is equal to or lower than the strain point temperature.
  • the blower is controlled so that the atmospheric pressure in the furnace outer space S4 increases toward the upstream side in the first direction.
  • the air flow rising along the outer surface of the forming furnace wall 41 of the forming furnace 40 and the slow cooling furnace wall 51 of the slow cooling furnace 50 can be suppressed. Therefore, the temperature of the outer surface of the forming furnace wall 41 and the slow cooling furnace wall 51 can be stabilized as much as possible. Therefore, the fluctuation
  • the furnace outer space S4 is divided into a molding furnace outer upper space S5, a molding furnace outer lower space S6, and a slow cooling furnace outer space S7. Therefore, even if an air flow rising along the outer surface of the forming furnace wall 41 or the slow cooling furnace wall 51 is generated, the range of the air flow in the first direction can be narrowed (that is, the air flow in each of the spaces S5 to S7). ). That is, since the atmospheric pressure in the furnace external space S4 is distributed among a plurality of spaces and is increased toward the upstream side, the pressure increases across the plurality of spaces (for example, in at least two spaces S5 to S7). It is possible to suppress the generation of a large air flow (such as crossing)
  • the temperature of the outer surface of the forming furnace wall 41 and the slow cooling furnace wall 51 becomes more stable. Therefore, the influence on the temperature in molding space S1 and slow cooling space S2 can be reduced, and the temperature of molding space S1 and slow cooling space S2 can be stabilized more.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing the inside of the building B according to the modification 1A.
  • the rising airflow generated along the sheet glass soars the dust contained in the glass chips generated when the sheet glass is cut and the air flowing into the building from the outside of the building. It will adhere to the flowing sheet glass.
  • the glass chips adhering to the sheet glass form bubbles and protrusions on the surface of the sheet glass, and deteriorate the quality of the surface of the glass plate. Dust also reduces the quality of the surface of the glass plate.
  • the air flowing from the outside of the building into the building interior varies greatly depending on the conditions outside the building (temperature, wind speed, etc.), so the air flows into the building interior from the outside of the building. It becomes difficult to control the pressure and temperature of the inner space.
  • the atmospheric pressure P3 in the cutting space S3 is controlled to be larger than the atmospheric pressure P2 outside the building B. Therefore, it can prevent that the air containing dust etc. flows into the cutting space from the outside of a building, and can suppress the fall of the surface quality of a glass plate by extension.
  • a blower 424 for pressurizing the cutting space S3 is disposed outside the cutting space S3.
  • the cutting space S3 is provided with a fourth pressure sensor (not shown) for detecting the atmospheric pressure P3 in the cutting space S3.
  • the air pressure in the cutting space becomes equal to or higher than a predetermined pressure
  • an air flow flowing to the furnace is likely to be generated, and there is a concern that the temperature of the forming space and the slow cooling space may be affected. Therefore, it is preferable to control the atmospheric pressure in the cutting space S3 so that the value obtained by subtracting the atmospheric pressure P2 outside the building B from the atmospheric pressure P3 in the cutting space S3 is greater than 0 and 40 Pa or less. That is, it is preferable to perform the atmospheric pressure control so that the following expression 2 is established.
  • the values detected by the fourth pressure sensor and the fifth pressure sensor are monitored to control the blower 424 (that is, the atmospheric pressure in the cutting space S3 is controlled).
  • the air pressure P4 in the slow cooling space S2 may be larger than the air pressure P3 in the cutting space S3.
  • the fifth pressure sensor is a pressure sensor that detects the atmospheric pressure P4 in the slow cooling space S2. Thereby, the airflow which flows from the cutting space S3 to the slow cooling space S2 can be suppressed.
  • the atmospheric pressure control may be performed so that the atmospheric pressure in the slow cooling space S2 increases toward the upstream side in the first direction. Thereby, the fluctuation
  • the floors 411, 412 and 413 functioning as physical partition members are arranged to form a plurality of spaces.
  • the present invention is not limited to this, and the upstream side in the first direction. If the atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure increases, the same effects as in the above embodiment are obtained.
  • the furnace exterior space S4 is pressurized.
  • the pressure in the furnace outer space S4 larger than the pressure in the molding space S1 and the slow cooling space S2.
  • the pressure difference between the molding space S1 or the slow cooling space S2 and the pressure outside the furnace space S4 is reduced, the amount of air leaking from the pressure in the molding space S1 or the slow cooling space S2 can be reduced. It is effective because it can suppress the upward air flow that occurs along.
  • FIG. 8 is a schematic diagram showing the inside of the building B according to the modification 1F.
  • the furnace external space S4 may be divided into three spaces, a forming furnace external space S10 including a forming furnace external upper space S5 and a forming furnace external lower space S6, and a slow cooling furnace external space S7. . Even in this case, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained.
  • the atmospheric pressure in the furnace external space S4 toward the upstream side in the first direction, and at least the atmospheric pressure in the molding furnace external space S10 is made higher than the atmospheric pressure in the slow cooling furnace external space S7. It is possible to suppress the generation of ascending airflow generated in the air. This is because the temperature difference between the temperature of the forming furnace wall 41 and the temperature of the slow cooling furnace wall 51 is particularly large, so that a larger upward air flow is likely to be generated from the slow cooling furnace wall 51 to the forming furnace wall 41. Further, as described above, in order to improve the quality of the glass plate, it is particularly preferable to reduce temperature fluctuations in the forming furnace 40 and the slow cooling furnace 50.
  • Example 1 The pressure in the furnace outer space S4 was controlled so that the difference between the pressure in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 5 Pa. And the glass plate for liquid crystal displays of thickness 0.7mm and magnitude
  • the content of each component of the glass plate was as follows. SiO 2 60 mass% Al 2 O 3 19.5 mass% B 2 O 3 10% by mass CaO 5% by mass SrO 5% by mass SnO 2 0.5% by mass
  • Example 2 A glass plate for a liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1 except that the difference between the pressure P1 in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 20 Pa.
  • Example 3 A glass plate for a liquid crystal display was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the difference between the pressure P1 in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 35 Pa.
  • Example 4 A glass plate for a liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1 except that the difference between the pressure P1 in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 50 Pa.
  • the atmospheric pressure in the furnace outer space S4 is controlled so that 0 ⁇ P1-P2, the occurrence of scratches on the glass plate surface can be suppressed. Further, if the atmospheric pressure in the furnace outer space S4 is controlled so that 0 ⁇ P1-P2 ⁇ 40 Pa, the variation in the thermal contraction rate can be further suppressed.
  • the content of each component of the glass plate (wt%) is, SiO 2 61%, Al 2 O 3 19.5%, B 2 O 3 10%, CaO 9%, SnO 2 0.3%, R 2 Even if O was 0.2%, the same result as above was obtained.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

　ガラス板を製造するとき、ガラス原料を溶解して溶融ガラスとし、前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する。前記成形体に供給された溶融ガラスからダウンドロー法を用いてシートガラスを成形する。この後、前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する。徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする。このとき、前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われている。

Description

ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置
　本発明は、ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置に関する。
　従来、ダウンドロー法等の種々の方法を用いてガラス板を製造する方法がある。例えば、ガラス板を製造する１つの方法であるオーバーフローダウンドロー法では、まず、成形炉内に配置される成形体に溶融ガラスが供給される。そして、供給された溶融ガラスを成形体からオーバーフローさせる。そして、オーバーフローさせた溶融ガラスを成形体の下端部で合流させて連続したシート状のガラス（シートガラス）を成形する。なお、成形体の下端部で合流したシートガラスは、さらに下方に搬送され、徐冷炉で徐冷される。そして、徐冷されたシートガラスは、切断空間において所望の大きさに切断され、ガラス板となる。
　ガラス板を製造する場合、所定の品質を満たすガラス板を安定して生産することが求められる。例えば、特許文献１に開示の技術では、オーバーフローダウンドロー法を用いてガラス板を製造する場合、成形炉及び／又は徐冷炉の外方空間の気圧を加圧することによって、徐冷炉内のシートガラスに沿って発生する上昇気流を低減し、徐冷炉内の温度変動を抑制している。そして、これにより、平面歪を低減している。
特開２００９－１７３５２５号公報
　しかし、成形炉及び／又は徐冷炉の外方空間の気圧を加圧するだけでは、所定の品質を満たすガラス板を安定して生産することが十分にできないという問題がある。例えば、成形炉や徐冷炉内のシートガラスや、ガラス板へのパーティクル付着を十分に抑制できないという問題がある。パーティクルがガラス板に付着すると、ガラス板に傷などを発生させてしまうという問題がある。また、近年は、ガラス板の大型化に伴い、ガラス板の最終加工工程（研磨、梱包など）や、ディスプレイ製造工程におけるガラス板のたわみ量が大きくなっている。そのため、パーティクルに起因したガラス板の傷が原因となって、ガラス板の最終加工工程やディスプレイ製造工程において、ガラス板が破損してしまうという問題が顕著となっている。
　そこで、本発明では、上記のような問題を解決し、ガラス板の所定品質を満たした安定した生産が可能な、ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置を提供することを課題とする。
　本発明の第１の態様は、ガラス板の製造方法である。当該製造方法は、ガラス原料を溶解して溶融ガラスとする溶解工程と、前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有する。
　前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われている。
　本発明の第２の態様は、ガラス板の製造装置である。当該製造装置は、溶融ガラスからシートガラスを成形する成形空間を、成形炉壁によって囲むことで形成する成形炉と、前記成形炉の下方に位置するように、前記シートガラスを徐冷する徐冷空間を、徐冷炉壁によって囲むことで形成する徐冷炉と、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間に配置され、徐冷された前記シートガラスを切断する切断装置と、前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように気圧制御を行う制御手段と、を含む。
　また、好ましい第１の形態として、前記気圧制御では、炉外部空間の気圧をＰ１とし、建物の外方の気圧をＰ２とした場合、０＜Ｐ１－Ｐ２≦４０Ｐａの関係が成立するように、炉外部空間の気圧が制御されている。
　また、好ましい第２の形態として、気圧制御では、切断空間の気圧をＰ３とした場合、０＜Ｐ３－Ｐ２≦４０Ｐａの関係が成立するように、切断空間の気圧がさらに制御されている。
　また、好ましい第３の形態として、気圧制御では、徐冷空間の気圧が切断空間の気圧に対して大きくなるように、切断空間の気圧が制御されている。
　また、好ましい第４の形態として、気圧制御では、炉外部空間の気圧がシートガラスの流れ方向の上流側ほど大きくなるように、炉外部空間の気圧が制御されている。
　また、好ましい第５の形態として、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向に張力が働くように、
　少なくとも、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの徐冷点温度に１５０℃を足した温度からガラスの歪点温度から２００℃引いた温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御が行われる。
　また、好ましい第６の形態として、前記成形工程あるいは前記成形空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記シートガラスの温度が制御される。さらに、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの軟化点温度未満、ガラスの歪点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度が制御される。さらに、前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記シートガラスの温度が制御される。
　第６の形態では、前記温度を制御するための温度調整ユニットが、前記成形空間及び前記徐冷空間からなる炉内空間に設けられるとよい。
　また、好ましい第７の形態として、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度未満の領域において、前記シートガラスの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度が制御される。
　また、好ましい第８の形態として、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスを搬送する送りローラのうち、前記シートガラスの温度がガラスの徐冷点温度となる位置よりも下流側に設けられた送りローラの周速度を、前記シートガラスの温度がガラスの転移点温度以上ガラスの軟化点温度以下となる温度領域に設けられた送りローラの周速度よりも０．０３～２％速くする。
　前記第１～第８の好ましい形態のそれぞれは、上述した第１の態様のガラス板の製造方法及び第２の態様のガラス板の製造装置のそれぞれに適用でき、さらに、前記第１～第８の好ましい形態の少なくとも２つを組み合わせた複合形態についても、第１の態様のガラス板の製造方法及び第２の態様のガラス板の製造装置のそれぞれに適用できる。
　本発明では、ガラス板にパーティクルが付着することを抑制することが可能である。
本実施形態に係るガラス板の製造方法の一部のフローチャート。 ガラス板製造装置に含まれる溶解装置を主として示す模式図。 建物の内部を示す模式図。 成形装置の概略の側面模式図。 建物内空間を説明するための建物の内部を示す模式図。 制御装置の制御ブロック図。 変形例１Ａに係る建物の内部を示す模式図。 変形例１Ｆに係る建物の内部を示す模式図。
　本明細書における下記語句は、以下のように定める。
　シートガラスの中央部とは、シートガラスの幅方向の幅のうちシートガラスの幅方向の中心をいう。
　シートガラスの端部とは、シートガラスの幅方向の縁から１００ｍｍ以内の範囲をいう。
　歪点温度とは、ガラス粘度をηとしたとき、ｌｏｇηが１４．５であるガラス板の温度をいう。
　徐冷点温度とは、ｌｏｇηが１３のガラスの温度をいう。
　軟化点温度とは、ｌｏｇηが７．６のガラスの温度をいう。
　ガラス転移点温度は、過冷却液体がガラス状態に変わるときのガラスの温度をいう。
　本発明の発明者は、成形炉及び／又は徐冷炉の外方空間の気圧を加圧するだけでは、十分に安定した生産を実現できない原因が、建物内と建物の外方との間の気圧の大小関係にあることを見出した。より詳細には、ガラス板の品質を低下させる原因が、建物内の気圧が建物外方の気圧よりも小さい場合に、建物外方から建物内に空気が流入することであることを見出した。ここで、建物外方から建物内に空気が流入することを防止するには、建物の気密性を高めることが考えられるが、建物の隙間を完全になくし、気密性を完全にすることは極めて困難である。空気は気圧が高い方から低いほうに流れるため、建物内の気圧が建物外方の気圧よりも小さい場合は、建物外方の空気が、建物の隙間などを介して建物内に流入してしまう。この建物の隙間などを介して建物外方から流入する空気が、ガラス板へのパーティクル付着や、成形炉や徐冷炉内の温度制御の精度低下を引き起こすため、所定の品質を満たしたガラス板を安定して生産することができない。そこで、本発明の発明者は、ガラス板のパーティクルの付着の問題を解決するためには、建物内の気圧を、建物外方の気圧よりも高くすることで、建物外方の空気が建物内に流入することを抑制すればよいという知見を得た。また、成形炉や徐冷炉内の温度制御の精度低下を抑制するためには、建物内の気圧と建物外方の気圧との差を制御すればよいという知見を得た。
　以下、図面を参照しながら、本実施形態のガラス板製造装置１００を用いてガラス板を製造するガラス板の製造方法について説明する。
　（ガラス板の製造方法の概要）
　図１は、本実施形態に係るガラス板の製造方法の一部のフローチャートである。以下、図１を用いてガラス板の製造方法について説明する。
　ガラス板は、建物Ｂ内において各種の工程を経ることにより、製造される。具体的には、ガラス板は、図１に示すように、溶解工程ＳＴ１と、清澄工程ＳＴ２と、均質化工程ＳＴ３と、供給工程ＳＴ４と、成形工程ＳＴ５と、徐冷工程ＳＴ６と、切断工程ＳＴ７とを含む種々の工程を経て製造される。以下、これらの工程について説明する。
　溶解工程ＳＴ１では、ガラス原料を加熱して溶解することにより溶融ガラスとする。清澄工程ＳＴ２では、溶融ガラスを清澄する。均質化工程ＳＴ３では、溶融ガラスを均質化する。
　供給工程ＳＴ４では、溶融ガラスを成形する成形装置３００（図２参照）に供給する。成形工程ＳＴ５では、溶融ガラスをシート状のシートガラスＳＧに成形する。溶融ガラスは、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法によりシート状のシートガラスＳＧを成形することが好ましい。徐冷工程ＳＴ６では、成形工程ＳＴ５で成形されたシートガラスＳＧを徐冷する。切断工程ＳＴ７では、徐冷されたシートガラスＳＧ（図３参照）を、所定の長さ毎に切断してガラス板Ｇ（図３参照）とする。
　なお、所定の長さ毎に切断されたガラス板Ｇは、その後、さらに切断されて、研削・研磨、洗浄、検査が行われてガラス板（記号を付与せず単にガラス板と表現するものは、最終的に製造されたガラス板を意味している）となる。
　（ガラス板製造装置１００の概要）
　図２は、ガラス板製造装置１００に含まれる溶解装置２００を主として示す模式図である。図３は、ガラス板製造装置１００に含まれる各種の装置等が収容され、あるいは取り付けられた建物Ｂの内部の模式図である（なお、図３では、成形装置３００や成形炉４０及び徐冷炉５０等を概略の断面模式図によって示す）。以下、ガラス板製造装置１００について説明する。
　ガラス板製造装置１００は建物Ｂ内に配置され、主として、溶解装置２００と、成形装置３００と、切断装置４００とを有する。
　（溶解装置２００の構成）
　溶解装置２００は、溶解工程ＳＴ１、清澄工程ＳＴ２、均質化工程ＳＴ３、及び、供給工程ＳＴ４を行うための装置である。溶解装置２００は、図２に示すように、溶解槽２０１、清澄槽２０２、攪拌槽２０３を有する。
　溶解槽２０１は、ガラス原料を溶解するための槽である。溶解槽２０１では、溶解工程ＳＴ１を行う。清澄槽２０２は、溶解槽２０１で溶解された溶融ガラスから泡を除去するための槽である。清澄槽２０２では、清澄工程ＳＴ２を行う。攪拌槽２０３は、溶融ガラスを攪拌する。攪拌槽２０３では、均質化工程ＳＴ３を行う。熔解槽２０１、清澄槽２０２、攪拌槽２０３、及び成形装置３００との間は、第１配管２０４や第２配管２０５を含むガラス供給管で接続されている。
　（成形装置３００の構成）
　図４は、成形装置３００の概略の側面図である。図５は、建物内空間Ｓを説明するための建物Ｂの内部を示す模式図である。
　成形装置３００は、成形工程ＳＴ５、及び、徐冷工程ＳＴ６を行うための装置である。
　成形装置３００は、主に、成形体３１０と、雰囲気仕切り部材３２０と、冷却ローラ３３０と、冷却用温度調整ユニット３３０ａと、送りローラ３４０ａ～３４０ｈと、温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇ（図４参照）とを有する。
以下、これらの構成について説明する。
　（成形体３１０）
　成形体３１０は、図３に示すように、成形装置３００の上方部分に位置し、溶解装置２００から流れてくる溶融ガラス（図３，４において符号ＭＧで示す）を、シート状のシートガラスに成形する機能を有する。成形体３１０は、垂直方向に切断した断面形状が楔形形状を有し、レンガにより構成されている。
　（雰囲気仕切り部材３２０）
　図３や図４に示すように、雰囲気仕切り部材３２０は、成形体３１０の下端部３１３の近傍に配置される板状の部材である。雰囲気仕切り部材３２０は、成形体３１０の下端部３１３で合流して第１方向の下流側に流れる溶融ガラスの厚み方向の両側に、略水平に配置されている。雰囲気仕切り部材３２０は、断熱材として機能する。すなわち、雰囲気仕切り部材３２０は、その上下の空間を仕切ることにより、雰囲気仕切り部材３２０の上側から下側への熱の移動を抑制している。
　（冷却ローラ３３０）
　冷却ローラ３３０は、雰囲気仕切り部材３２０の下方に配置されている。また、冷却ローラ３３０は、成形体３１０の下端部３１３で合流して第１方向の下流側に流れる溶融ガラスの厚み方向の両側、且つ、その幅方向の両側部分の近傍に配置されている。冷却ローラ３３０は、成形体３１０の下端部３１３で合流した溶融ガラスの幅方向の両側部分に接触することにより、当該溶融ガラスを冷却する。より具体的には、冷却ローラ３３０は、溶融ガラスを第１方向の下流側に引き下げることで、所望の厚さにシートガラスＳＧを成形すると共に冷却する。なお、本明細書では、シートガラスＳＧが流れる方向を第１方向と呼ぶ。
　ここで、成形体３１０と、雰囲気仕切り部材３２０と、冷却ローラ３３０とは、成形空間Ｓ１（図５の左斜め斜線に示す空間）に配置されている。成形空間Ｓ１とは、成形炉４０の炉壁である成形炉壁４１の内面と仕切り部材４２の上面を含む平面ＦＳ１とによって囲まれる空間である。なお、仕切り部材４２とは、成形炉４０（成形炉壁４１の第１方向の下流端）と後述する徐冷炉５０（後述する徐冷炉壁５１の第１方向の上流端）とを仕切る部材であり、例えば、平板形状の部材が用いられる。成形炉壁４１とは、成形炉４０の炉壁であり、第１方向に沿って切断した断面形状がコの字形状を有する。成形炉４０内において、成形工程ＳＴ５が行われる。成形空間Ｓ１及び後述する徐冷空間Ｓ２からなる空間を炉内空間という。
　（送りローラ３４０ａ～３４０ｈ）
　送りローラ３４０ａ～３４０ｈは、冷却ローラ３３０の下方に、第１方向に所定の間隔
をもって配置される。また、送りローラ３４０ａ～３４０ｈは、それぞれ、シートガラスＳＧの厚み方向の両側に配置される。送りローラ３４０ａ～３４０ｈは、シートガラスＳＧを第１方向の下流側に牽引する。
　（温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇ、冷却用温度調整ユニット３３０ａ）
　温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇは、シートガラスＳＧの温度、正確にはシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度を調整する（具体的には、昇温する）機器であり、第１方向に複数且つシートガラスＳＧの幅方向に複数配置されている。冷却用温度調整ユニット３３０ａは、冷却ローラ３３０の第１方向の下方に配置され、シートガラスＳＧの温度、正確にはシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度を調整する。冷却用温度調整ユニット３３０ａは、成形直後の高温状態のシートガラスＳＧの厚さや反りを低減するように、冷却する。
　ここで、冷却用温度調整ユニット３３０ａは、成形空間Ｓ１（図５の左斜め斜線に示す空間）に配置されている。
　また、送りローラ３４０ａ～３４０ｈと、温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇは、徐冷空間Ｓ２（図５の右斜め斜線に示す空間）に配置されている。徐冷空間Ｓ２とは、成形炉４０の下方に配置される徐冷炉５０によって形成される空間である。より具体的には、徐冷炉５０の炉壁である徐冷炉壁５１の内面と、仕切り部材４２の下面を含む平面ＦＳ２と、徐冷炉壁５１の第１方向の下流端面を含む平面ＦＳ３とによって囲まれる空間である。
　徐冷空間Ｓ２では、送りローラ３４０ａ～３４０ｈによってシートガラスＳＧが第１方向の下流側に牽引されることによって、シートガラスＳＧが徐冷される（粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する）徐冷工程ＳＴ６が行われる。徐冷工程ＳＴ６では、温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇが、シートガラスＳＧの平面歪および熱収縮率が抑制されるように、シートガラスＳＧの温度を調整している。なお、温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇのそれぞれの近傍には、シートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度を検出する雰囲気温度検出手段としての複数の温度センサがシートガラスＳＧの幅方向に沿って配置されている。当該複数の温度センサを、ここでは、温度センサユニット３８０（図６参照）と呼ぶ。
　（切断装置４００）
　切断装置４００では、切断工程ＳＴ７を行う。切断装置４００は、徐冷炉５０の下方に位置する切断空間Ｓ３（後述する）に配置される。切断装置４００は、成形装置３００において第１方向の下流側に流下するシートガラスＳＧを、その長手面に対して垂直な方向から切断する。これにより、シートガラスＳＧは、所定の長さを有する複数のガラス板Ｇとなる。
　（建物内空間Ｓ）
　建物内空間Ｓとは、建物Ｂの内面によって囲まれた空間のうち成形炉壁４１及び成形空間Ｓ１と徐冷炉壁５１及び徐冷空間Ｓ２とを除いた空間である（図５の網掛けのハッチング部分を参照）。建物内空間Ｓは、成形空間Ｓ１、徐冷空間Ｓ２、及び切断空間Ｓ３を収容する建物Ｂの内面（内壁面）と、成形炉壁４１の外面と徐冷炉壁５１の外面とによって画された空間である。
　建物内空間Ｓは、建物Ｂ内に配置される床４１１，４１２，４１３によって、複数の空間に分割されている。床４１１，４１２，４１３は、建物内空間Ｓを複数の空間に分割するための仕切り部材としての役割を有する。具体的には、建物内空間Ｓは、床４１１，４１２，４１３によって、成形炉外部上方空間Ｓ５と、成形炉外部下方空間Ｓ６と、徐冷炉外部空間Ｓ７と、切断空間Ｓ３とに分割される。しかし、床数（建物内空間の分割数）や床の設置される第１方向における高さ位置は特に限定されない。
　成形炉外部上方空間Ｓ５は、建物内空間Ｓにおいて、床４１１と建物Ｂの上部の下面とによって挟まれる空間である。床４１１は、その高さ位置が、成形体３１０の上部の位置に近く、成形炉壁４１の上部と略同じ高さ位置に配置される。
　成形炉外部下方空間Ｓ６は、成形炉外部上方空間Ｓ５よりも第１方向の下流側に形成された空間である。具体的には、成形炉外部下方空間Ｓ６は、建物内空間Ｓにおいて、床４１１と床４１２とによって挟まれる空間である。床４１２は、その高さ位置が、成形炉壁４１の第１方向の下流端の近傍に位置するように配置されている。成形炉外部下方空間Ｓ６は、成形体３１０に対応する（具体的には、成形体３１０の設置位置と高さ位置が同じ）領域Ａ１を含んでいる。
　徐冷炉外部空間Ｓ７は、成形炉外部下方空間Ｓ６よりも第１方向の下流側に形成される空間である。徐冷炉外部空間Ｓ７は、建物内空間Ｓにおいて、床４１２と床４１３とによって挟まれる空間である。床４１３は、その高さ位置が、徐冷炉壁５１の第１方向の下流端に近い位置に配置される。
　また、徐冷炉外部空間Ｓ７は、徐冷炉外部空間Ｓ７と高さ位置が同じ（すなわち、床４１２の下面から床４１３の上面までの距離に相当する）徐冷空間Ｓ２を流れるガラス板Ｇの雰囲気温度が、例えば、８００℃～１１０℃となる空間である、或いは、徐冷炉外部空間Ｓ７は、徐冷空間Ｓ２を流れるガラス板Ｇが（徐冷点温度＋５℃）から（歪点温度―５０℃）となる空間を含む空間である。
　切断空間Ｓ３は、徐冷炉外部空間Ｓ７の第１方向の下流側に形成される空間である。具体的には、切断空間Ｓ３は、建物内空間Ｓにおいて、床４１３と建物Ｂの下部の上面とによって挟まれる空間である。
　ここで、成形炉壁４１や徐冷炉壁５１は、例えば、耐火材や断熱材等により構成される。また、建物Ｂには、一般に建物を建設する際に用いられる公知の耐火物等を適用できる。
　（制御装置５００）
　図６は、制御装置５００の制御ブロック図である。
　制御装置５００は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等から構成され、ガラス板製造装置１００に含まれる種々の機器の制御を行う制御部として機能する。
　具体的には、制御装置５００は、図６に示すように、温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇの温度調整制御を行う第１駆動ユニット３９０の駆動制御と、冷却ローラ３３０、送りローラ３４０ａ～３４０ｈ、切断装置４００等を駆動するための第２駆動ユニット４５０の駆動制御を行う。なお、冷却用温度調整ユニット３３０ａの温度調整制御は、成形空間Ｓ１に設けられた温度センサユニットによって検出されるシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度に基づいて行われる。また、温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇの温度調整制御は、温度センサユニット３８０によって検出されるシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度に基づいて行われる。
　また、制御装置５００は、さらに、建物Ｂの内面によって形成される建物内空間Ｓの気圧を制御している。これについては、後述する。また、図６に記載の各種のセンサに関しても後述する。
　（成形装置３００におけるシートガラスＳＧの成形）
　以下、成形装置３００においてシートガラスＳＧが成形される過程を説明する。
　まず、溶解装置２００から供給口３１１を介して成形体３１０に供給される溶融ガラスは、成形体３１０の上方に開放された溝部３１２（図３参照）に流れる。そして、溝部３１２においてオーバーフローされる。溝部３１２においてオーバーフローされた溶融ガラスは、成形体３１０の両側面に沿って第１方向の下流側に流れて、図３に示すように、下端部３１３において合流する。下端部３１３において合流した溶融ガラスは、第１方向の下流側に流下する。成形体３１０を離れて流下を開始する時点におけるガラスの粘度は、例えば１０５．７～１０７．５ｐｏｉｓｅである。
　第１方向の下流側に流下する溶融ガラスは、厚み方向の両側に配置される冷却ローラ３３０によって、幅方向の両端部が挟まれて第１方向の下流側に引き下げられる。このとき、溶融ガラスは、シート状のシートガラスＳＧに成形されると共に冷却（急冷）される。冷却ローラ３３０による急冷により、シートガラスの両端部における粘度は、例えば１０９．０～１０１０．５ｐｏｉｓｅとなる。冷却ローラ３３０によって引き下げられたシートガラスＳＧは、送りローラ３４０ａ～３４０ｈによってさらに下方に引き下げられると共に徐冷が行われる。
　なお、送りローラ３４０ａ～３４０ｈによって引き下げられたシートガラスＳＧは、その後、切断装置４００によって所定の長さ毎に切断され複数のガラス板Ｇとなる。
　（建物内空間Ｓの気圧の制御）
　本実施形態では、炉外部空間Ｓ４の気圧制御を行っている。炉外部空間Ｓ４とは、成形炉壁４１の外面と、徐冷炉壁５１の外面と、建物Ｂの内面とによって囲まれた空間であり切断空間Ｓ３の上方空間に位置する空間であり、言い換えれば、建物内空間Ｓから切断空間Ｓ３を除いた空間（すなわち、成形炉外部上方空間Ｓ５と、成形炉外部下方空間Ｓ６と、徐冷炉外部空間Ｓ７とから構成される空間）である。
　炉外部空間Ｓ４の気圧制御を行う気圧制御工程は、例えば、均質化工程ＳＴ３を行う時期に開始される。すなわち、気圧制御工程は、成形工程ＳＴ５や徐冷工程ＳＴ６の前に行われる。
　本実施形態では、気圧制御を行うために、成形炉外部上方空間Ｓ５、成形炉外部下方空間Ｓ６、及び、徐冷炉外部空間Ｓ７の外方（すなわち、建物Ｂの壁を介した外方）に、それぞれの空間を加圧するための送風機４２１，４２２，４２３が配置されている。また、気圧制御を行うために、成形炉外部上方空間Ｓ５、成形炉外部下方空間Ｓ６、及び、徐冷炉外部空間Ｓ７の気圧を検出する検出手段である第１圧力センサ４３１、第２圧力センサ４３２、及び、第３圧力センサ４３３（図６参照）がそれぞれの空間に配置されている。なお、気圧制御を行う方法は、送風を行ってするものに限られるものではなく、送風と排風を組み合わせて行う方法や、ダンパー等で圧力差を調整する方法なども適用できる。
　気圧制御では、各種の圧力センサ４３１，４３２，４３３を用いて各空間Ｓ５，Ｓ６，Ｓ７の気圧を検出することによって、炉外部空間Ｓ４の気圧Ｐ１が、建物Ｂの外方の気圧（大気圧）Ｐ２に対して大きくなるように、送風機４２１，４２２，４２３を駆動するための第２駆動ユニット４５０（例えば、モータ）の動作（例えば、モータの場合は、回転数）を制御して炉外部空間Ｓ４の気圧を制御している。
　具体的には、Ｐ１からＰ２を減算した値が、０より大きく４０Ｐａ以下になるように制御している。すなわち、以下の式１の関係が成立するように、第２駆動ユニット４５０を制御している。
　（式１）０＜Ｐ１－Ｐ２≦４０Ｐａ
　なお、Ｐ１からＰ２を減算した値は、１～４０Ｐａであることがより好ましく、２～３５Ｐａであることがさらに好ましく、３～２５Ｐａであることがさらに好ましく、４～１５Ｐａであることがさらに好ましい。
　さらに、気圧制御工程では、炉外部空間Ｓ４の気圧がシートガラスＳＧの流れ方向の上流側ほど大きくなるように、炉外部空間Ｓ４の気圧が制御されることが好ましい。より具体的には、成形炉外部上方空間Ｓ５の気圧＞成形炉外部下方空間Ｓ６の気圧＞徐冷炉外部空間Ｓ７の気圧と成っていることが好ましい。
（シートガラスＳＧの冷却の制御）
　本実施形態では、成形空間Ｓ１及び徐冷空間Ｓ２内においてシートガラスＳＧの冷却の制御を行うことができる。具体的には、冷却用温度調整ユニット３３０ａ及び温度調整ユニット３５０ａ～３５０ｇ及び送りローラ３４０ａ～３４０ｈ、冷却ローラ３３０を制御装置５００の指示に従って、以下のようなシートガラスＳＧの冷却を行うことができる。
　例えば、徐冷空間Ｓ２内を、冷却ローラ３３０や送りローラ３４０ａ～３４０ｈを用いて下流側にシートガラスＳＧを流すとき、シートガラスＳＧの流れ方向（第１方向）に効果的に張力を働かせることにより、シートガラスＳＧの反りを抑制することができる。また、各ローラに狭持されて流れる部分に隣接する隣接領域に波形状の変形が生じるのを抑えることもできる。
　シートガラスＳＧの流れ方向（第１方向）に効果的に張力を働かせるために、例えば、成形空間Ｓ１内であって、シートガラスＳＧの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、シートガラスＳＧの幅方向の両端部（耳部）が中央部の温度より低く、且つ、中央部の温度が均一になるようにシートガラスＳＧの温度を制御する。さらに、徐冷空間Ｓ２内であって、シートガラスＳＧの幅方向中央部に搬送方向の引っ張り応力が働くようにシートガラスＳＧの幅方向の中央部の温度が軟化点温度未満、歪点温度以上の領域において、シートガラスＳＧの幅方向の温度分布が中央部から両端部に向かって低くなるようにシートガラスＳＧの温度を制御する。さらに、シートガラスＳＧの幅方向の中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、シートガラスＳＧの幅方向の両端部（耳部）と中央部との温度勾配がなくなるようにシートガラスＳＧの温度を制御する。これにより、シートガラスＳＧの幅方向の中央部には、搬送方向の引っ張り応力がかかる。
　上記シートガラスＳＧの温度制御では、シートガラスＳＧの温度が軟化点温度以上である領域は、成形空間Ｓ１にあることを前提としている。したがって、上記温度制御を行うために、成形空間Ｓ１内に冷却用温度調整ユニット３３０ａが設けられている。しかし、シートガラスＳＧの温度が軟化点温度以上である領域は、徐冷空間Ｓ２にある場合もある。この場合、上記温度制御を行うために、徐冷空間Ｓ２内に冷却用温度調整ユニット３３０ａが設けられる。
　また、徐冷空間Ｓ２内であって、シートガラスＳＧの幅方向の中央部に搬送方向の張力が働くようにシートガラスＳＧの幅方向の中央部の温度がガラスの歪点温度近傍未満の領域において、シートガラスＳＧの幅方向の両端部（耳部）からシートガラスＳＧの幅方向の中央部に向かって低くなるようにシートガラスＳＧの温度を制御することもできる。これにより、シートガラスＳＧの幅方向の中央部の歪点温度近傍未満の領域では、シートガラスＳＧの幅方向の中央部で、常に搬送方向に引っ張り応力をかけることができる。
　本実施形態では、後述するようにガラス板の熱収縮率のばらつきを低減することができるが、さらに、成形されたシートガラスＳＧの冷却速度を調整することにより、熱収縮率のばらつきに加えて、ガラス板の変形を抑制し、反りを抑制し、熱収縮率の絶対値を低減することがもきる。
　具体的には、徐冷空間Ｓ２内において、送りローラ３４０ａ～３４０ｈを用いてシートガラスＳＧを搬送しながら徐冷するとき、シートガラスＳＧの徐冷点温度に１５０℃を足した温度から、シートガラスＳＧの歪点温度から２００℃引いた温度までの温度領域を定める。このとき、少なくとも上記温度領域において、シートガラスＳＧの幅方向の中央部の冷却速度はシートガラスＳＧの両端部の冷却速度よりも速く、シートガラスＳＧの幅方向の中央部の温度がシートガラスＳＧの両端部よりも高い状態から中央部の温度が両端部よりも低い状態へシートガラスＳＧを変化させることが好ましい。これにより、シートガラスＳＧの幅方向の中央部に、シートガラスＳＧの流れ方向（第１方向）に引っ張り応力が働くようにすることができる。シートガラスＳＧの流れ方向に引っ張り応力が働くことで、シートガラスＳＧ、ひいてはガラス板の反りをより一層抑制することができる。
　徐冷工程では、シートガラスＳＧの各ローラに狭持されて流れる部分に隣接する隣接領域に、上述したように波形状の変形が生じるのを抑制する点から、シートガラスＳＧの中央部分の温度が徐冷点温度となる位置よりも下流側に設けられた送りローラの周速度を、シートガラスＳＧの中央部分の温度がガラス転移点温度以上、軟化点温度以下となる温度領域に設けられた送りローラの周速度よりも速く、例えば、０．０３～２％速くすることが好ましい。このように送りローラの周速度を調整することにより、シートガラスＳＧの流れ方向（第１方向）に引っ張り応力を働かせることができる。
　（ガラス板の好ましい形態）
　本実施形態に係るガラス板製造装置及びガラス板の製造方法を用いて製造されるガラス板の好ましい形態について以下に説明する。なお、下記の形態に限られるものではない。
　本実施形態は、ガラス板の厚みが０．０１ｍｍ～１．５ｍｍのガラス板の製造に好適である。薄いガラス板ほど、ガラスの保有熱量が小さいため、徐冷空間におけるシートガラスの温度制御（ここでは、シートガラスの第１方向の温度制御だけでなく、シートガラスの幅方向における温度制御も含むものとする）が難しくなる。そのため、板厚０．０１～０．５ｍｍのガラス板の製造において、成形空間Ｓ１及び徐冷空間Ｓ２を安定化させることができる本発明を適用するメリットは大きい。また、上述した理由から、ガラス保有熱が極めて小さい０．０１ｍｍ～０．１ｍｍのガラスフィルムの製造にも本発明は好適である。
　大きなガラス板ほど、平面歪が発生しやすく上述したシートガラスＳＧの温度制御が難しくなる。そのため、幅方向の長さ２０００ｍｍ以上且つ長手方向の長さ２０００ｍｍ以上のガラス板では、本発明の効果が顕著となる。
　また、ガラス板は、品質要求の厳しい液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイに適用することが好ましい。その他、カバーガラス、携帯端末等のディスプレイや筐体用カバーガラス、タッチパネル、太陽電池のガラス板にも適用できる。特に、ガラス板に対する要求の厳しい低温ポリシリコン（ＬＴＰＳ：Low Temperature Poly Silicon）・ＴＦＴ（Thin Film Transistor）を用いた液晶ディスプレイに好適である。
　また、ガラス板を５０℃から１０℃／分で５５０℃まで昇温させ、５５０℃で１時間保持した後、１０℃／分で５０℃まで降温させ、再び１０℃／分で５５０℃まで昇温させ、５５０℃で１時間保持した後、１０℃／分で５０℃まで降温させた際の熱収縮率が、１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。より好ましくは０～６０ｐｐｍであり、さらに好ましくは０～４０ｐｐｍ、一層好ましくは０～２０ｐｐｍである。
　なお、熱収縮率は、伸び量／初期の長さ×１０6（ｐｐｍ）にて算出される。熱収縮率の測定方法としては、以下の方法がある。まず、ガラス板の両端にダイヤモンドペンを用いて平行なケガキ線を入れる。次に、ガラス板をケガキ線に垂直になるように半分に切断し、１つを熱処理する（上記のように、５５０℃に１時間保つ処理を２回繰り返す熱処理である）。そして、熱処理後のガラス板と、他方のガラス板とをつき合わせて、ケガキ線のズレ量を測定する。
　熱収縮率のばらつきは、特に、ディスプレイの作製においてガラス板にＴＦＴを形成する場合、熱収縮率の高低よりも、ディスプレイパネルにおける表示不良の原因になり易い。この点で、熱収縮率のばらつきを抑えることは重要である。実施形態で製造されるガラス板の熱収縮率のばらつきは、±２．８５％以下であることが好ましい。ここで熱収縮率のばらつきとは、ガラス板の幅方向の３箇所の位置（例えば、中央部の位置及び幅方向の両端部近傍の位置）において上記方法で熱収縮率を測定したとき、これらの位置における測定値が、これらの平均値に対して変動する上限（＋）及び下限（－）をいう。熱収縮率のばらつきは、好ましくは±２．８０％未満、より好ましくは±２．７５％以下、さらに好ましくは±２．６５％以下である。
　また、ガラス板の平面歪の最大値は、０～１．７ｎｍであることが好ましい。好ましくは０～１．５ｎｍ、より好ましくは０～１．０ｎｍ、さらに好ましくは０～０．７ｎｍである。なお、平面歪は、ユニオプト社製の複屈折測定装置によって測定することができる。
　ここで、液晶ディスプレイおよび有機ＥＬディスプレイは高精度の組み立てが求められているため、液晶ディスプレイ又は有機ＥＬディスプレイに用いられるガラス板の熱収縮率のばらつきを低減させることができる本発明は、液晶ディスプレイ用ガラス板又は有機ＥＬディスプレイ用ガラス板の製造に特に好適である。
　ガラス板の反りは、下記の方法で測定を行った場合に、反りの最大値が０から０．２ｍｍまでの範囲であり、０～０．１５ｍｍであることが好ましく、０～０．１ｍｍであることがより好ましく、０～０．０５ｍｍであることがさらに好ましく、０～０．０５ｍｍであることがさらに好ましい。
　反りの測定は、まず、ガラス板から複数枚の小板（約４００ｍｍ四方）を切り出す。次に、各小板につき、角４箇所と中央部４箇所との反りを、表裏のそれぞれにおいて測定する（すなわち、計１６箇所の反りを測定する）。例えば、小板８枚の反りを測定した場合、１６箇所×８枚で１２８箇所の反りの測定データが得られる。そして、当該測定データの中の最大値が、上述の範囲であることを想定している。なお、本実施形態では、複数の小板で測定した反りの最大値を、ガラス板の反りとしている。
　また、フラットパネルディスプレイ（液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等）用のガラス板としては、ガラス板が質量％表示で、以下の成分を含むものが例示される。
ＳｉＯ２：５０～７０質量％、
Ａｌ２Ｏ３：５～２５質量％、
Ｂ２Ｏ３：０～１５質量％、
ＭｇＯ：０～１０質量％、
ＣａＯ:０～２０質量％、
ＳｒＯ:０～２０質量％、
ＢａＯ：０～１０質量％、
ＺｒＯ２:０～１０質量％。
　有機ＥＬディスプレイに用いられるガラス板、ＬＴＰＳ・ＴＦＴが形成されるガラス板、あるいは酸化物半導体が形成されるガラス板は、α－Ｓｉ（アモルファスシリコン）・ＴＦＴが形成されるガラス板よりも、熱収縮率が小さいことが求められている。熱収縮率を小さくするためには、ガラス板の徐冷工程の時間を長くするか、ガラスの歪点温度を高くすればよい。しかし、ガラス板の徐冷工程の時間を長くすると製造装置を大型化する必要があり、好ましくない。熱収縮率が小さいガラス板としては、例えば、下記のような組成及び特性を有するガラス板が挙げられる。
ＳｉＯ2：５２～７８質量％、
Ａｌ2Ｏ3：３～２５質量％、
Ｂ2Ｏ3１～１５質量％、
ＲＯ(但し、ＲＯはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯうち、ガラス板に含有される全成分の合量)：３～２０質量％、であり、
歪点が６８０℃以上、かつ上述した方法で測定した熱収縮率が６０ｐｐｍ以下のガラス板。
　あるいは、
ＳｉＯ２：５７～７５質量％、
Ａｌ２Ｏ３：８～２５質量％、
Ｂ２Ｏ３：３～１１質量％（１１質量％は除く）、
ＣａＯ：０～２０質量％、
ＭｇＯ：０～１５質量％、
のガラス板。
　このとき、下記の条件の何れかあるいは複数を満たすようにすると、よりＬＴＰＳ・ＴＦＴ用のガラス板に好適となる。
　歪点温度をより上昇させるために、
　（ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３）／Ｂ２Ｏ３を８～２０及び／又はＳｉＯ２+Ａｌ２Ｏ３を７５質量％以上とすることが好ましい。
　また、ＣａＯ／Ｂ２Ｏ３を０．６以上とすることが好ましい。
　さらに、歪点温度をより上昇させるために、質量比(ＳｉＯ2＋Ａｌ2Ｏ3)／ＲＯは７．５以上であることが好ましい。
　あるいは、ガラスの比抵抗を低下させるために、Ｆｅ2Ｏ3を０．０１～１質量％含有することが好ましい。
　さらに、ガラス板は、高い歪点温度を実現しつつ失透温度の上昇を防止するためにＣａＯ／ＲＯは０．６５以上とすることが好ましい。
　また、モバイル通信端末のようなモバイル機器などに適用されることを考慮すると、軽量化の観点からはＳｒＯ及びＢａＯの合計含有率が０～３．３％であることが好ましい。
　なお、Ｒ2Ｏ(但し、Ｒ2Ｏは、Ｌｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ及びＫ2Ｏのうち、ガラス板に含有される全成分の合量)は、ガラスから溶出してＴＦＴ特性を劣化させる虞があることから、液晶ディスプレイ用ガラス板として適用する場合には、実質的に含まないことが好ましい（無アルカリガラス）。しかし、ガラス中に上記成分を敢えて特定量含有させることによって、ＴＦＴ特性の劣化を抑制しつつ、ガラスの塩基性度を高め、価数変動する金属の酸化を容易にして、清澄性を発揮させることが可能である。また、ガラスの比抵抗も低下させることができるので、溶解工程における溶解槽の破損等も抑制できる。そこで、Ｒ2Ｏは０～２．０％であり、０．１～１．０％がより好ましく、０．２～０．５％がさらに好ましい。なお、Ｒ2Ｏ中でも、最もガラスから溶出してＴＦＴ特性を劣化させがたいＫ２Ｏを含有させることが好ましい。Ｋ２Ｏの含有量は、０～２．０％であり、０．１～１．０％がより好ましく、０．２～０．５％がさらに好ましい。
　また、化学強化を施した後、カバーガラスや太陽電池用のガラス板に適用されるガラス板としては、例えば、ガラス板が質量％表示で、以下の成分を含むものが例示される。
ＳｉＯ２：５０～７０質量％、
Ａｌ２Ｏ３：５～２０質量％、
Ｎａ２Ｏ：６～３０質量％、
Ｌｉ２Ｏ：０～８質量％、
Ｂ２Ｏ３：０～５質量％、
Ｋ２Ｏ：０～１０質量％、
ＭｇＯ：０～１０質量％、
ＣａＯ:０～２０質量％、
ＺｒＯ２:０～１０質量％。
　（特徴）
　建物の隙間などを介して建物外方から建物内に流入する空気はほこりなどのパーティクルを含んでいるため、徐冷炉内のシートガラスや切断後のガラス板に付着してしまうと、傷発生の原因となることが考えられる。また、上記パーティクルが徐冷炉内のシートガラスに沿って発生する上昇気流に流れ込んでしまうと、パーティクルがシートガラスに付着し、シートガラス表面に泡や突起物を形成してしまうことが考えられる。このような場合、ガラス板の表面品質が悪化してしまうため、安定したガラス板の生産が困難となる虞がある。
　また、成形炉や徐冷炉内は温度変動が生じないようにヒータで制御されているが、成形炉や徐冷炉には、シートガラスを切断する領域以外にも、隙間が存在しており、当該隙間を完全になくすことは極めて困難である。このため、建物外方の空気が建物内に流入してしまうと、炉外部空間と炉内部空間の気圧差の関係が崩れ、炉外部空間の空気が成形炉や徐冷炉の隙間を介して、成形炉や徐冷炉内に流入してしまい、成形炉や徐冷炉内の温度管理制御の精度を低下させてしまう虞がある。このとき、成形炉や徐冷炉に流入する空気の温度は、温度管理された成形炉や徐冷炉内の温度よりも低温である。つまり、溶融ガラスやシートガラスのうち、上記成形炉や徐冷炉に流入した空気と接した領域のみ急冷されてしまう。例えば、成形炉において溶融ガラスのある領域が局部的に急冷されると、当該領域のみ粘度が高くなり、シートガラスに成形された後、下流においてローラで引き伸ばされる際に、シートガラスのうち粘度が高い領域のみ十分に引き伸ばすことができず、ガラス板の板厚の偏差を引き起こしてしまう。また、上述したように徐冷炉内においては、反り、や平面歪、熱収縮率を低減するために、シートガラスの幅方向の温度プロファイルを制御している。そのため、徐冷炉内において、シートガラスのある領域が局部的に急冷されると、当該領域のみ局部的に熱収縮率が大きくなってしまうので、熱収縮率のばらつきが生じてしまう。
　上述した問題を解決するためには、建物内の気圧を、建物外方の気圧よりも高くすることで、建物外方の空気が建物内に流入することを抑制することが好ましい。しかし、建物内の気圧を、建物外方の気圧よりも高くしすぎてしまうと、建物内の空気が建物外方に大量に流出することとなり、建物内の気圧や温度が変動してしまうことがある。あるいは、炉外部空間及び/又は切断空間の気圧が高くなりすぎると、炉外部空間及び/又は切断空間から炉内部空間への空気流入量が増加し、シートガラスに沿った上昇気流が発生しやすくなる。よって、建物内の気圧と建物外方の気圧との差は、０超～４０Ｐａであることが好ましい。つまり、本実施形態の気圧制御では、炉外部空間Ｓ４の気圧Ｐ１から建物Ｂの外方の気圧Ｐ２を減算した値が、０より大きく４０Ｐａ以下となるように、送風機を制御することが好ましい。
　そして、以上のような制御を行うことにより、パーティクルによる品質悪化の抑制に加え、反り、熱収縮のばらつきといったガラス板の品質悪化を抑制でき、パーティクル、反り、熱収縮のばらつきの品質を満たしたガラス板を安定して製造することができる。
　また、成形空間Ｓ１の温度の変動を抑制することで、ガラス板の板厚のばらつき等を抑制することができる。
　また、徐冷空間Ｓ２は、シートガラスＳＧの温度が徐冷点温度の近傍から歪点温度の近傍の温度となる領域を含む空間であるが、徐冷空間Ｓ２の温度変動を抑制できることで、熱収縮率のばらつきを低減できる。なお、徐冷空間Ｓ２において、徐冷点以上となるシートガラスＳＧ近傍の雰囲気温度の変動を抑制できるので、ガラス板の変形や反りを抑制できる。また、徐冷空間Ｓ２において、歪点温度以下となるシートガラスＳＧ近傍の雰囲気温度の変動を抑制できるので、ガラス板の反りなどを抑制できる。ここで、シートガラスＳＧは、切断されるまで一枚の連続した板である。そのため、シートガラスの温度が歪点温度以下となる領域においてシートガラスの反り形状が変化すると、歪点温度以上となる領域のシートガラスにも影響を与え、熱収縮率のばらつきが発生してしまう。一方、本実施形態では、シートガラスＳＧの温度が歪点温度以下となる領域の雰囲気温度の変動を抑制することで、反り、平面歪、熱収縮のばらつきを抑制することができる。
　建物の壁から完全に隙間をなくすことは困難である。このため、煙突効果によって、炉外部空間にも上昇気流が発生すると考えられる。なお、炉壁の近傍ほど雰囲気温度が高くなるため、上昇気流が発生しやすい。また、温度が高い気体が温度の低い領域に流れることにより対流も生じる。これは、炉壁側よりも建物の内壁側の雰囲気温度のほうがより低いと考えられるためである。つまり、建物の内壁に沿って下降気流が発生し、炉壁に沿って上昇気流が発生することで、大きな対流が生じる。
　そこで、本実施形態では、炉外部空間Ｓ４の気圧を第１方向の上流側ほど気圧が大きくなるように、送風機を制御している。これにより、炉外部空間Ｓ４において、成形炉４０の成形炉壁４１や徐冷炉５０の徐冷炉壁５１の外面に沿って上昇する空気流を抑制できる。よって、成形炉壁４１や徐冷炉壁５１の外面の温度を極力安定させることができる。従って、成形空間Ｓ１や徐冷空間Ｓ２の温度の変動を抑制できる。
　炉外部空間Ｓ４は、成形炉外部上方空間Ｓ５、成形炉外部下方空間Ｓ６、及び、徐冷炉外部空間Ｓ７に分割される。よって、成形炉壁４１や徐冷炉壁５１の外面に沿って上昇する空気流が発生したとしても、その空気流の第１方向の範囲を狭くできる（つまり、各空間Ｓ５～Ｓ７内にその空気流をとどめることができる）。すなわち、炉外部空間Ｓ４の気圧を複数の空間の間で分布させ上流側ほど大きくしているので、複数の空間をまたいで上昇するような（例えば、空間Ｓ５～Ｓ７の少なくとも２以上の空間に渡るような）大きな空気流の発生を抑制できる。
　これにより、成形炉壁４１や徐冷炉壁５１の外面の温度がより安定する。よって、成形空間Ｓ１や徐冷空間Ｓ２における温度への影響を低減でき、成形空間Ｓ１や徐冷空間Ｓ２の温度をより安定させることができる。
　（変形例）
　以上、本実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、上記の実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
　（変形例１Ａ）
　図７は、本変形例１Ａに係る建物Ｂの内部を示す模式図である。
　シートガラスに沿って発生する上昇気流は、シートガラスの切断時に発生するガラスの切粉や、建物の外方から建物内に流入する空気に含まれるホコリを舞い上げ、成形空間や徐冷空間を流れるシートガラスに付着させてしまう。シートガラスに付着したガラスの切粉は、シートガラスの表面に気泡や突起物を形成し、ガラス板の表面の品質を低下させてしまう。また、ホコリも、ガラス板の表面の品質を低下させてしまう。また、建物の外方から建物内空間に流入する空気は、建物の外方の状況（温度、風速等）によって大きく変動するため、建物の外方から建物内空間に空気が流入することで建物内空間の気圧や温度を制御し難くなる。
　そこで、気圧制御工程における気圧制御では、切断空間Ｓ３の気圧Ｐ３が、建物Ｂの外方の気圧Ｐ２に対して大きくなるように制御することが好ましい。これにより、建物の外方から切断空間にホコリなどが含まれた空気が流入することを防止でき、ひいてはガラス板の表面品質の低下を抑制できる。
　この場合、切断空間Ｓ３の外方には、切断空間Ｓ３を加圧するための送風機４２４が配置される。また、切断空間Ｓ３には、切断空間Ｓ３の気圧Ｐ３を検出するための第４圧力センサ（図示せず）が設けられる。
　なお、切断空間の気圧が所定の圧力以上になると、炉（成形炉及び徐冷炉）へ流れる空気流が発生しやすくなり、成形空間及び徐冷空間の温度に影響がでることが懸念される。
　よって、切断空間Ｓ３の気圧Ｐ３から建物Ｂの外方の気圧Ｐ２を減算した値が、０より大きく４０Ｐａ以下になるように、切断空間Ｓ３の気圧制御を行うことが好ましい。すなわち、以下の式２が成立するように気圧制御を行うことが好ましい。
　（式２）０＜Ｐ３－Ｐ２≦４０Ｐａ
　これにより、建物Ｂの外方から建物Ｂ内への空気の流入を抑制できるので、切断空間Ｓ３、ひいては、建物内空間Ｓの温度制御や気圧制御を精度よく行いやすくなる。また、切断空間Ｓ３へのホコリ等の流入を抑制できるので、ガラス板の表面品質が悪化することを防止できる。
　また、上記実施形態以外にも、気圧制御において、第４圧力センサ及び第５圧力センサ（図示せず）によって検出される値を監視して送風機４２４を制御する（すなわち、切断空間Ｓ３の気圧を制御する）ことで、徐冷空間Ｓ２の気圧Ｐ４が切断空間Ｓ３の気圧Ｐ３に対して大きくなるようにしてもよい。なお、第５圧力センサとは、徐冷空間Ｓ２の気圧Ｐ４を検出する圧力センサである。
　これにより、切断空間Ｓ３から徐冷空間Ｓ２へと流れる空気流を抑制できる。また、徐冷空間Ｓ２の気圧が、第１方向の上流側ほど大きくなるように気圧制御を行ってもよい。これにより、成形空間Ｓ１や徐冷空間Ｓ２の温度の変動を抑制できる。
　（変形例１Ｂ）
　上記実施形態では、物理的な仕切り部材として機能する床４１１，４１２，４１３が配置されることによって、複数の空間を形成しているが、これに限られるものではなく、第１方向の上流側ほど気圧が大きくなるように気圧制御がされれば、上記実施形態と同様の効果を奏する。
　（変形例１Ｃ）
　上記実施形態では、炉外部空間Ｓ４を加圧している。しかし、必ずしも成形空間Ｓ１や徐冷空間Ｓ２の気圧よりも炉外部空間Ｓ４の気圧を大きくする必要はない。例えば、成形空間Ｓ１や徐冷空間Ｓ２の気圧と炉外部空間Ｓ４との気圧差を小さくしたとしても、成形空間Ｓ１や徐冷空間Ｓ２の気圧から漏れ出す空気量を低減でき、ガラス板Ｇに沿って発生する上昇気流を抑制できるので効果的である。
　（変形例１Ｄ）
　図８は、本変形例１Ｆに係る建物Ｂの内部を示す模式図である。図８に示すように、炉外部空間Ｓ４は、成形炉外部上方空間Ｓ５と成形炉外部下方空間Ｓ６とを含む成形炉外部空間Ｓ１０と、徐冷炉外部空間Ｓ７との３空間に分割されてもよい。この場合であっても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
　また、必ずしも炉外部空間Ｓ４の気圧を第１方向の上流側ほど気圧が大きくする必要はなく、少なくとも成形炉外部空間Ｓ１０の気圧を徐冷炉外部空間Ｓ７の気圧よりも高くすることで、炉外部空間に発生する上昇気流の発生を抑制することができる。これは、成形炉壁４１の温度と徐冷炉壁５１の温度差が特に大きいため、徐冷炉壁５１から成形炉壁４１にかけてより大きな上昇気流が発生しやすいためである。また、上述したようにガラス板の品質を向上させるためには、成形炉４０と徐冷炉５０内の温度変動を低減することが特に好ましいためである。
　以下、本発明の実施例について説明する。
　（実施例１）
　炉外部空間Ｓ４の気圧と建物Ｂの外方の気圧Ｐ２との差が５Ｐａとなるように、炉外部空間Ｓ４の気圧を制御した。そして、厚さが０．７ｍｍ、大きさが２２００ｍｍ×２５００ｍｍの液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。ガラス板の各成分の含有率は以下のとおりであった。
　ＳｉＯ２　６０質量％％
　Ａｌ２Ｏ３　１９．５質量％
　Ｂ２Ｏ３　１０質量％
　ＣａＯ　５質量％
　ＳｒＯ　５質量％
　ＳｎＯ２　０．５質量％
　（実施例２）
　炉外部空間Ｓ４の気圧Ｐ１と建物Ｂの外方の気圧Ｐ２との差が２０Ｐａである以外は、実施例１と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。
　（実施例３）
　炉外部空間Ｓ４の気圧Ｐ１と建物Ｂの外方の気圧Ｐ２との差が３５Ｐａである以外は、実施例１と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。
（実施例４）
　炉外部空間Ｓ４の気圧Ｐ１と建物Ｂの外方の気圧Ｐ２との差が５０Ｐａである以外は、実施例１と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。
　（比較例１）
　炉外部空間Ｓ４の気圧Ｐ１と建物Ｂの外方の気圧Ｐ２との差が－５Ｐａ（つまり、炉外部空間Ｓ４の気圧よりも建物Ｂの外方の気圧Ｐ２が高い）である以外は、実施例１と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。
　そして、以上のような条件の下、製造した液晶ディスプレイ用ガラス板の熱収縮のばらつきを上述した方法（（７）ガラス板の好ましい形態で記載した方法）で測定した。また、液晶ディスプレイ用ガラス板の表面を目視で観察し、傷が確認できなかった場合ＯＫ、傷を確認した場合にはＮＧとして評価を行った。以下の表１に、実施例１～４及び比較例１のそれぞれの測定結果を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　以上のように、０＜Ｐ１－Ｐ２となるように炉外部空間Ｓ４の気圧を制御すれば、ガラス板表面に傷が発生することを抑制できる。また、０＜Ｐ１－Ｐ２≦４０Ｐａとなるように炉外部空間Ｓ４の気圧を制御すれば、より熱収縮率のばらつきを抑制できる。なお、ガラス板の各成分の含有率（質量％）が、ＳｉＯ２　６１％、Ａｌ２Ｏ３　１９．５％、Ｂ２Ｏ３　１０％、ＣａＯ　９％、ＳｎＯ２　０．３％、Ｒ２Ｏ　０．２％であっても上記と同様の結果であった。
　　４０　　　　　　　　　　成形炉
　　５０　　　　　　　　　　徐冷炉
　　１００　　　　　　　　　ガラス板製造装置
　　３１０　　　　　　　　　成形体
　　Ｂ　　　　　　　　　　　建物
　　ＭＧ　　　　　　　　　　溶融ガラス

Claims (16)

  1. 　ガラス原料を溶解して溶融ガラスとする溶解工程と、
    　前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、
    　ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、
    　前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、
    　徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有し、
    　前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われている、ガラス板の製造方法。
  2. 　前記気圧制御工程では、
    　前記炉外部空間の気圧をＰ１とし、前記建物の外方の気圧をＰ２とした場合、
    ０＜Ｐ１－Ｐ２≦４０Ｐａ
    の関係が成立するように、前記炉外部空間の気圧を制御する、
    請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  3. 　前記気圧制御工程では、
    　前記切断空間の気圧をＰ３とし、前記建物の外方の気圧をＰ２とした場合、
    ０＜Ｐ３－Ｐ２≦４０Ｐａ
    の関係が成立するように、前記切断空間の気圧をさらに制御する、
    請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  4. 　前記気圧制御工程では、前記徐冷空間の気圧が前記切断空間の気圧に対して大きくなるように、前記切断空間の気圧を制御する、
    請求項３に記載のガラス板の製造方法。
  5. 　前記気圧制御工程では、前記炉外部空間の気圧が前記シートガラスの流れ方向の上流側ほど大きくなるように、前記炉外部空間の気圧を制御する、
    請求項３又は４に記載のガラス板の製造方法。
  6. 　前記徐冷工程では、
    　前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向に張力が働くように、
    　少なくとも、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの徐冷点温度に１５０℃を足した温度からガラスの歪点温度から２００℃引いた温度となる温度領域において、
    　前記シートガラスの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御する、請求項１～５のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  7. 　前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記シートガラスの温度を制御し、
    　前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの軟化点温度未満、ガラスの歪点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御し、
    　前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記シートガラスの温度を制御する、請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  8. 　前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度未満の領域において、前記シートガラスの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御する、請求項１～７のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  9. 　前記徐冷工程では、前記シートガラスを搬送する送りローラのうち、前記シートガラスの温度がガラスの徐冷点温度となる位置よりも下流側に設けられた送りローラの周速度を、前記シートガラスの温度がガラスの転移点温度以上ガラスの軟化点温度以下となる温度領域に設けられた送りローラの周速度よりも０．０３～２％速くする、請求項１～８のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  10. 　溶融ガラスからシートガラスを成形する成形空間を、成形炉壁によって囲むことで形成する成形炉と、
    　前記成形炉の下方に位置するように、前記シートガラスを徐冷する徐冷空間を、徐冷炉壁によって囲むことで形成する徐冷炉と、
    　前記徐冷炉の下方に位置する切断空間に配置され、徐冷された前記シートガラスを切断する切断装置と、
    　前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように気圧制御を行う気圧制御手段と、を含むガラス板の製造装置。
  11. 　前記気圧制御手段は、前記建物の外方から前記炉外部空間内に空気を送り込む送風機を含む、請求項１０に記載のガラス板の製造装置。
  12. 　前記気圧制御手段は、前記炉外部空間に設けられ、前記炉外部空間の気圧を計測する圧力センサを含み、前記圧力センサの検出結果によって、前記炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、前記送風機を駆動するための制御装置を含む、請求項１１に記載のガラス板の製造装置。
  13. 　さらに、前記徐冷空間には、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向に張力が働くように、
    　少なくとも、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの徐冷点温度に１５０℃を足した温度からガラスの歪点温度から２００℃引いた温度となる温度領域において、
    　前記シートガラスの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御する温度調整ユニットを含む、請求項１０～１２のいずれか１項に記載のガラス板の製造装置。
  14. 　前記成形空間及び前記徐冷空間からなる炉内空間には、
    　前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記シートガラスの温度を制御し、
    　前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの軟化点温度未満、ガラスの歪点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御し、
    　前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記シートガラスの温度を制御する温度調整ユニットが設けられている、請求項１０～１３のいずれか１項に記載のガラス板の製造装置。
  15. 　前記徐冷空間には、
    　前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度未満の領域において、前記シートガラスの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御する温度調整ユニットが設けられる、請求項１０～１４のいずれか１項に記載のガラス板の製造装置。
  16. 　前記徐冷空間には、前記シートガラスを搬送する送りローラが設けられ、前記送りローラのうち、前記シートガラスの温度がガラスの徐冷点温度となる位置よりも下流側に設けられた送りローラの周速度は、前記シートガラスの温度がガラスの転移点温度以上ガラスの軟化点温度以下となる温度領域に設けられた送りローラの周速度よりも０．０３～２％速く回転する、請求項１０～１５のいずれか１項に記載のガラス板の製造装置。
PCT/JP2012/006024 2011-09-21 2012-09-21 ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置 WO2013042379A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013509383A JP5848329B2 (ja) 2011-09-21 2012-09-21 ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置
CN201280003961.7A CN103261106B (zh) 2011-09-21 2012-09-21 玻璃板的制造方法及玻璃板制造装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011205568 2011-09-21
JP2011-205568 2011-09-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013042379A1 true WO2013042379A1 (ja) 2013-03-28

Family

ID=47914166

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/006024 WO2013042379A1 (ja) 2011-09-21 2012-09-21 ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5848329B2 (ja)
CN (1) CN103261106B (ja)
TW (1) TWI600622B (ja)
WO (1) WO2013042379A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014163130A1 (ja) * 2013-04-05 2014-10-09 日本電気硝子株式会社 ガラス基板及びその徐冷方法
JP2015199644A (ja) * 2014-03-31 2015-11-12 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法、及び、ガラス基板の製造装置
WO2016002778A1 (ja) * 2014-06-30 2016-01-07 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6346485B2 (ja) * 2014-03-31 2018-06-20 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法およびガラス基板の製造装置
CN104944748B (zh) * 2014-03-31 2017-10-20 安瀚视特控股株式会社 玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置
CN114394736B (zh) * 2021-12-20 2023-12-12 彩虹显示器件股份有限公司 一种基板玻璃成型弯曲度控制装置及方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10291827A (ja) * 1997-04-16 1998-11-04 Hoya Corp ガラス板の製造方法及び製造装置
JP2001031435A (ja) * 1999-07-22 2001-02-06 Nh Techno Glass Kk ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス
WO2009081740A1 (ja) * 2007-12-25 2009-07-02 Nippon Electric Glass Co., Ltd. ガラス板の製造方法及び製造設備
JP2010169306A (ja) * 2009-01-22 2010-08-05 Dai-Dan Co Ltd 給気装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3547642B2 (ja) * 1999-04-27 2004-07-28 三建設備工業株式会社 自力式の差圧保持ダンパー
JP2004233021A (ja) * 2003-02-03 2004-08-19 Namiki Precision Jewel Co Ltd クリーンルーム排気システム
JP4370186B2 (ja) * 2004-02-18 2009-11-25 三菱重工業株式会社 薄膜太陽電池製造システム
JP5428288B2 (ja) * 2007-12-25 2014-02-26 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造設備

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10291827A (ja) * 1997-04-16 1998-11-04 Hoya Corp ガラス板の製造方法及び製造装置
JP2001031435A (ja) * 1999-07-22 2001-02-06 Nh Techno Glass Kk ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス
WO2009081740A1 (ja) * 2007-12-25 2009-07-02 Nippon Electric Glass Co., Ltd. ガラス板の製造方法及び製造設備
JP2010169306A (ja) * 2009-01-22 2010-08-05 Dai-Dan Co Ltd 給気装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
HANDOTAI YOGO DAIJITEN HENSHU IINKAI, HANDOTAI YOGO DAIJITEN, 20 March 1999 (1999-03-20), pages 379 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014163130A1 (ja) * 2013-04-05 2014-10-09 日本電気硝子株式会社 ガラス基板及びその徐冷方法
JP2015199644A (ja) * 2014-03-31 2015-11-12 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法、及び、ガラス基板の製造装置
WO2016002778A1 (ja) * 2014-06-30 2016-01-07 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置
JP6031613B2 (ja) * 2014-06-30 2016-11-24 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5848329B2 (ja) 2016-01-27
TW201317186A (zh) 2013-05-01
TWI600622B (zh) 2017-10-01
CN103261106B (zh) 2016-05-18
CN103261106A (zh) 2013-08-21
JPWO2013042379A1 (ja) 2015-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5189224B2 (ja) ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置
JP6125572B2 (ja) ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置
US8322160B2 (en) Process and apparatus for producing glass sheet
TWI422539B (zh) 玻璃板製造方法以及玻璃板製造設備
US9533908B2 (en) Glass-substrate manufacturing method
JP5848329B2 (ja) ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置
JP5952311B2 (ja) ガラス基板の製造方法及びガラス基板製造装置
WO2009081740A1 (ja) ガラス板の製造方法及び製造設備
JP6031613B2 (ja) シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置
JP2014125363A (ja) ガラス基板製造装置及びディスプレイ用ガラス基板の製造方法
JP6577215B2 (ja) ガラス基板の製造方法
WO2009081741A1 (ja) ガラス板の製造方法及び製造設備

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2013509383

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12833394

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12833394

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1