JP6031613B2 - シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、シートガラスをつくるシートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置に関する。

近年、ディスプレイパネルの分野では、画質の向上のために画素の高精細化が進展している。この高精細化の進展に伴って、ディスプレイパネルのガラス基板に用いるシートガラスにも寸法精度が高いことが望まれている。例えば、シートガラスをディスプレイのガラス基板として用いる場合、このシートガラスに、ディスプレイパネルの作製のために、ａ−Ｓｉ・ＴＦＴ（Amorphous Silicon Thin Film Transistor）ではなく、低温ポリシリコン（Low-temperature Poly Silicon、以下、ＬＴＰＳという）・ＴＦＴや酸化物半導体を形成する場合、ａ−Ｓｉ・ＴＦＴと比較して、より高温の熱処理が行われる。このため、熱処理によるシートガラスの熱収縮が大きくなり、その結果、シートガラス上に形成されたＴＦＴ回路の位置ズレが生じることがないように、ディスプレイパネルに用いるシートガラスは、熱収縮率が低いことが望まれている。

一般に、シートガラスの熱収縮率は、ガラスの歪点や徐冷点が高いほど小さくなる。このため、無アルカリのボロアルミノシリケートガラスであって、徐冷点を高くすることで良好な寸法安定性を実現したガラス組成物が知られている（特許文献１）。
具体的には、ガラスは、酸化物基準のモルパーセントで表して、７０〜７４．５％のＳｉＯ₂、１０．５〜１３．５％のＡｌ₂Ｏ₃、０〜２．５％のＢ₂Ｏ₃、３〜７％のＭｇＯ、３〜７％のＣａＯ、０〜４％のＳｒＯ、１．５〜６％のＢａＯ、０〜０．３％のＳｎＯ₂、０〜０．３％のＣｅＯ₂、０〜０．５％のＡｓ₂Ｏ₃、０〜０．５％のＳｂ₂Ｏ₃、０．０１〜０．０８％のＦｅ₂Ｏ₃、およびＦ＋Ｃｌ＋Ｂｒを含み、ＲＯ／Ａｌ₂Ｏ₃≦１．７および０．２≦ＭｇＯ／ＲＯ≦０．４５であり、ＲＯは、ＭｇＯ、ＢａＯ、ＳｒＯおよびＣａＯの合計である。

特表２０１４−５０３４６５号公報

しかし、熱収縮率の低減のために、ガラスの歪点や徐冷点が高くなるようにガラス組成を変更すると、ガラス原料の熔融温度が高くなり、失透温度が高くなる傾向にある。このため、シートガラスを作製することは難しくなり、歩留りは低下する。特に、成形時の熔融ガラスの温度がフロート法等に比べて低いフュージョン法（オーバーフローダウンドロー法）では、上記失透の問題が大きくなる。

そこで、本発明は、上記シートガラスの作製を困難にすることなく、高精細なディスプレイのパネルに用いることが可能な、熱収縮率の低いシートガラスを作製する、シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置を提供することを目的とする。

本発明の態様は、シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置を含む。
当該製造方法及び装置は、以下の形態を含む。

（第１の形態）
加熱処理を施して表面に薄膜を形成するためのディスプレイ用ガラス基板に用いられるシートガラスの製造方法であって、
熔融ガラスから成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含むシートガラスを少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで得た熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスを再加熱して所定温度で熱処理した後に徐冷することで、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程、を備え、
前記所定温度は、前記薄膜を形成する前記加熱処理の温度よりも２５０℃高い温度以下の温度である、ことを特徴とするシートガラスの製造方法。ただし、前記熱収縮率とは、昇降温速度を１０℃／分とし、４５０℃で１時間温度を保持して熱処理が施された後のガラスの熱収縮量を用いて、次式にて求められる値である。
熱収縮率（ｐｐｍ）＝（熱処理後のガラスサンプルの熱収縮量／熱処理前のガラスサンプルの長さ）×１０⁶

（第２の形態）
熔融ガラスをシートガラスに成形する成形工程と、
成形したシートガラスは、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで、熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスをつくる冷却工程と、
前記徐冷したシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程と、を備え、
前記熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう、ことを特徴とするシートガラスの製造方法。

（第３の形態）
熔融ガラスから成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで得た熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程、を備え、
前記熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう、ことを特徴とするシートガラスの製造方法。

（第４の形態）
成形した前記シートガラスは、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、
前記熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスは、少なくとも、
前記中心部の温度が徐冷点になるまで、前記中央領域を第１の平均冷却速度で冷却する第１冷却工程と、
前記中心部の温度が前記徐冷点から歪点になるまで、前記中央領域を第２の平均冷却速度で冷却する第２冷却工程と、
前記中心部の温度が前記歪点から、前記歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を第３の平均冷却速度で冷却する第３冷却工程と、を含む冷却工程を行うことで得、
前記第３の平均冷却速度は、前記第２の平均冷却速度より遅い、第１の形態〜第３の形態のいずれか１つの形態に記載のシートガラスの製造方法。

（第５の形態）
徐冷した前記シートガラスを所定のサイズに切断する切断工程を備え、
前記再徐冷工程は、前記切断工程の後に行われる、第１の形態〜第４の形態のいずれか１つの形態に記載のシートガラスの製造方法。

（第６の形態）
さらに、徐冷したシートガラスを所定のサイズに切断する切断工程を備え、
所定のサイズに切断したシートガラスを複数枚積層して前記熱処理を行う、第１の形態〜第５の形態のいずれか１つの形態に記載のシートガラスの製造方法。

（第７の形態）
さらに、徐冷したシートガラスを所定のサイズに切断する切断工程を備え、
所定のサイズに切断して得られた複数のシートガラスを枚様式で前記熱処理を行う、第１の形態〜第５の形態のいずれか１つの形態に記載のシートガラスの製造方法。

（第８の形態）
前記シートガラスの歪点は、６００℃〜７２０℃である、第１の形態〜第７の形態のいずれか１つの形態に記載のシートガラスの製造方法。

（第９の形態）
前記再徐冷工程は、
前記熱処理を行う所定温度までシートガラスを加熱する加熱工程と、
所定温度で熱処理を行う熱処理工程と、
前記熱処理後にシートガラスを徐冷する降温工程と、を備え、 前記降温工程は、前記シートガラスの中心部の温度が前記所定温度から前記所定温度の温度よりも１００℃低い温度となるまでの降温速度を第１降温速度とし、前記シートガラスの中心部の温度が前記所定温度よりも１００℃低い温度未満から前記所定温度よりも３００℃低い温度となるまでの降温速度を第２降温速度とした場合に、第１降温速度よりも第２降温速度は速い、第１の形態〜第８の形態のいずれか１つの形態に記載のシートガラスの製造方法。

（第１０の形態）
熔融ガラスから成形したシートガラスを徐冷することで得た熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程、を備え、
前記熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう、ことを特徴とするシートガラスの製造方法。

（第１１の形態）
前記シートガラスは、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ用ガラス基板、あるいはＬＴＰＳ（Low Temperature Poly-silicon）薄膜半導体を用いたディプレイ用ガラス基板として用いられる、第1の形態〜第１０の形態のいずれか1つの形態に記載のシートガラスの製造方法。

（第１２の形態）
熔融ガラスをシートガラスに成形する成形体と、
成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで、熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスをつくる冷却装置と、
前記徐冷したシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷装置と、を備え、
前記熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう、ことを特徴とするシートガラス製造装置。
（第１３の形態）
前記冷却装置は、
前記中心部の温度が徐冷点になるまで、前記中央領域を第１の平均冷却速度で冷却する第１冷却機構と、
前記中心部の温度が前記徐冷点から歪点になるまで、前記中央領域を第２の平均冷却速度で冷却する第２冷却機構と、
前記中心部の温度が前記歪点から、前記歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を前記第２の平均冷却速度より遅い第３の平均冷却速度で冷却する第３冷却機構と、を含む、第１２の形態に記載のシートガラス製造装置。

（第１４の形態）
加熱処理を施して表面に薄膜を形成するために用いられるディスプレイ用ガラス基板の製造装置であって、
オーバーフローダウンドロー法によって成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで得た熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスを再加熱して所定温度で熱処理した後に徐冷することで、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷装置、を備え、
前記所定温度は、前記薄膜を形成する前記加熱処理の温度よりも２５０℃高い温度以下の温度である、ことを特徴とするシートガラス製造装置。

なお、熱収縮率は、以下の方法で測定される。
シートガラスから所定のサイズの長方形の試験片に切りだし、長辺両端部間の長さを計測する。次に、切り出した試験片を短辺中央部で半分に切断し、２つのガラスサンプルを得る。２つのガラスサンプルの一方の端から同じ距離の位置にケガキ線を入れる。このうちの一方のガラスサンプルを、室温（２０℃）から１０℃／分の昇温速度で昇温して４５０℃に昇温した後、４５０℃で１時間放置し、その後、１０℃／分で室温まで降温する。その後、加熱した一方のガラスサンプルと加熱しなかった他方のガラスサンプルの一方の端を位置あわせして、２つのケガキ線の位置ずれ距離を測定し、この位置ずれ距離を熱収縮量とする。熱収縮量は、レーザー顕微鏡等で測定される。この熱収縮量と、熱処理前のガラスサンプルの長さ用いて、以下の式により熱収縮率を求める。このガラスサンプルの熱収縮率をシートガラスの熱収縮率とする。
熱収縮率（ｐｐｍ）＝（熱収縮量）／（熱処理前のガラスサンプルの長さ）×１０^６

上述のシートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置によれば、歩留りを低下させることなく、シートガラスの作製を困難にすることなく、高精細なディスプレイのパネルに用いることが可能な、熱収縮率の低いシートガラスを作製することができる。

本実施形態に係るシートガラスの製造方法のフローチャートである。 シートガラスの製造方法で用いられるシートガラス製造装置を示す模式図である。 成形装置の概略の概略図（断面図）である。 成形装置の概略の概略図（側面図）である。 シートガラスの所定の高さ位置における温度プロファイルを示す図である。 シートガラスの製造方法で行う再徐冷工程の熱処理を説明する図である。 本実施形態における再徐冷工程の熱処理の温度履歴の一例を示す図である。 図６に示す熱処理とは異なる形態の例を説明する図である。

（シートガラスの製造方法の概要）
本実施形態のシートガラスの製造方法は、熔融ガラスから成形したシートガラスを徐冷する冷却工程を行なうことで、熱収縮率が３５ｐｐｍ以下、好ましくは３０ｐｐｍ以下のシートガラスをつくる。この後、徐冷したシートガラスにさらに徐冷したシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程を行なう。この再徐冷工程は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なわれる。以降、シートガラスの歪点より７０℃低い温度を、シートガラスの歪点［℃］−７０［℃］と表す。
本明細書では、半導体薄膜等の薄膜が形成される前のガラス板をシートガラスといい、薄膜が表面に形成されたガラス板をガラス基板という。このため、シートガラスは、薄膜形成前の素板である。

本実施形態では、シートガラスの冷却工程において、熱収縮率が３５ｐｐｍ以下になるようにシートガラスを冷却するとともに、シートガラスが成形工程で失透しない程度の失透温度を有するガラスとなるようにガラス組成が選択される。しかし、このようなガラス組成を有するシートガラスの熱収縮率は、高精細ディスプレイ用のガラス基板に要求される熱収縮率を満足しない。このため、本実施形態では、シートガラスの歪点［℃］−７０［℃］以下の温度で再徐冷工程を行う。

従来の再徐冷工程では、シートガラスを徐冷点あるいは歪点以上まで加熱して熱処理をするので、熱処理後のシートガラスの熱収縮率は、高精細ディスプレイ用ガラス基板に要求される熱収縮率を満足する程度に低下する。しかし、上記再徐冷工程は長時間を要するので、シートガラスの生産効率は低下する。また、従来の再徐冷工程では、シートガラスは、例えば、シートガラスの歪点から徐冷点となる温度の範囲まで再加熱されるので、冷却工程中、シートガラスの平均冷却速度を調整して熱収縮率を３５ｐｐｍ以下にする処理は無駄になる。また、再徐冷工程において、シートガラスの歪点から徐冷点となる温度の範囲まで再加熱し、その後徐冷する場合、シートガラスの面内温度を効率的に、かつ、均一に冷却することが難しく、結果的にシートガラスの歪や反りが悪化してしまうという問題があった。
このため、シートガラスの冷却工程を調整して熱収縮率を低くしたシートガラスを有効に用いて効率よく再徐冷工程を行うことにより、熱収縮率を低下させる（１０ｐｐｍ以下にする）ことが好ましい。本実施形態は、冷却したシートガラスをさらに、例えばシートガラスの歪点［℃］−７０［℃］以下の温度で熱処理する再徐冷工程を備える。シートガラスの歪点［℃］−７０［℃］以下の温度の熱処理では、シートガラスの冷却工程中の熱履歴に起因して低下した熱収縮率を生かしつつ、ガラスが現時点で有する熱収縮率から熱処理によって熱収縮率が低下する。このため、冷却したシートガラスの３５ｐｐｍ以下の熱収縮率を有効利用して、本実施形態の再徐冷工程により、効率よく低下させて１０ｐｐｍ以下にすることができる。また、熱処理の温度をシートガラスの歪点［℃］−７０［℃］以下の温度とするので、従来に比べて熱処理の昇温時間を短くすることができ、再徐冷工程の時間短縮が可能となる。したがって、熱収縮率を極めて低くしたシートガラスの生産効率を向上することができる。また、再徐冷工程で生じうる上述したシートガラスの歪や反りの悪化を抑制することができる。
上述したように、冷却工程を調整することにより熱収縮率を低くするとともに、再徐冷工程を行なうので、失透温度を高くしたガラス組成を用いる必要がなくなる。このため、失透が生じ難く、高精細なディスプレイのパネルに用いることが可能な、熱収縮率の低いシートガラスを作製することができる。以下、本実施形態のシートガラスの製造方法について詳細に説明する。

（シートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置）
本実施形態のシートガラスの製造方法では、オーバーフローダウンドロー法を用いてシートガラスが製造される。以下、図面を参照しながら、シートガラスの製造方法について説明する。

図１および図２を参照して、シートガラスの製造方法に含まれる複数の工程およびシートガラスの製造方法を行うシートガラス製造装置１００を説明する。図１は、本実施形態のシートガラスの製造方法のフローチャートであり、図２は、シートガラスの製造方法を行なうシートガラス製造装置を示す模式図である。
シートガラスの製造方法は、図１に示すように、主として、熔融工程Ｓ１と、清澄工程Ｓ２と、成形工程Ｓ３と、冷却工程Ｓ４と、切断工程５と、再徐冷工程６と、を含む。

熔融工程Ｓ１は、ガラスの原料が熔融される工程である。ガラスの原料は、所望のガラス組成になるように調合された後、熔融装置１１に投入される。ガラスの原料は、熔融装置１１で熔融されて、熔融ガラスＦＧになる。熔融温度は、ガラスの種類に応じて調整される。本実施形態では、熔融工程Ｓ１における熔融ガラスＦＧの最高温度が１５００℃
〜１６３０℃となるように加熱される。熔融ガラスＦＧは、上流パイプ２３を通って清澄装置１２に送られる。
清澄工程Ｓ２は、熔融ガラスＦＧ中の気泡の除去を行う工程である。清澄装置１２内で気泡が除去された熔融ガラスＦＧは、その後、下流パイプ２４を通って、成形装置４０へと送られる。
成形工程Ｓ３は、熔融ガラスＦＧをシート状のガラス（シートガラス）ＳＧに成形する工程である。具体的に、熔融ガラスＦＧは、成形装置４０に含まれる成形体４１（図３参照）に連続的に供給された後、成形体４１からオーバーフローする。オーバーフローした熔融ガラスＦＧは、成形体４１の表面に沿って流下する。熔融ガラスＦＧは、その後、成形体４１の下端部４１ａ（図３参照）で合流してシートガラスＳＧへと成形される。
冷却工程Ｓ４は、シートガラスＳＧを徐冷する工程である。ガラスシートは、冷却工程Ｓ４を経て室温に近い温度へと冷却される。なお、冷却工程Ｓ４における、冷却の状態に応じて、シートガラスＳＧの厚み（板厚）、シートガラスＳＧの反り量、およびシートガラスＳＧの平面歪、シートガラスＳＧの熱収縮率の値が決まる。
切断工程Ｓ５は、室温に近い温度になったシートガラスＳＧを、切断装置９０において所定のサイズに切断する工程である。
再徐冷工程Ｓ６は、徐冷し切断したシートガラスＳＧを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる工程である。再徐冷工程Ｓ６は、シートガラスＳＧを所定のサイズに切断した後、複数枚のシートガラスＳＧを積層したシートガラスＳＧの積層体をまとめて熱処理するオフライン工程である。本実施形態では、シートガラスＳＧの積層体を熱処理する形態であるが、後述するように、切断してサイズのそろえられたシートガラスＳＧを枚様式で熱処理をする形態であってもよい。

なお、切断工程Ｓ５で所定のサイズに切断されたシートガラスＳＧ（ガラス板ＰＧ）は、再徐冷工程に供される。これにより、熱収縮率が１０ｐｐｍ以下のシートガラスＳＧが得られる。その後、端面加工等の工程を経て、最終製品のシートガラスとなる。最終製品のシートガラスは、梱包された後、パネルメーカー等に出荷される。パネルメーカーは、ディスプレイ用のガラス基板として、シートガラスの表面に素子を形成して、ディスプレイを製造する。

以下、図３〜図５を参照して、シートガラス製造装置１００に含まれる成形装置４０の構成を説明する。なお、本実施形態において、シートガラスＳＧの幅方向とは、シートガラスＳＧの表面の面内方向であって、シートガラスＳＧが流下する方向（流れ方向）に直交する方向、すなわち、水平方向を意味する。
図３および図４に、成形装置４０の概略構成を示す。図３は、成形装置４０の断面図である。図４は、成形装置４０の側面図である。
成形装置４０は、シートガラスＳＧが通過する通路と、通路を取り囲む空間とを有する。通路を取り囲む空間は、例えば、成形体室２０、第１冷却室３０、および第２冷却室８０で構成されている。第１冷却室３０、第２冷却室８０、及びそれぞれの冷却室に設けられるヒータ等の各装置が、成形したシートガラスを徐冷することで、熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスをつくる冷却装置を構成している。

成形体室２０は、前述の清澄装置１２から送られる熔融ガラスＦＧがシートガラスＳＧに成形される空間である。成形体室２０内には、成形体４１が設けられる。成形体４１は、熔融ガラスＦＧをオーバーフローさせることによって、熔融ガラスＦＧをシート状のガラス（シートガラスＳＧ）へと成形する。図３に示すように、成形体４１は、断面形状で略五角形の形状（楔形に類似する形状）を有する。略五角形の先端は、成形体４１の下端部４１ａに相当する。
また、成形体４１は、第１端部に流入口４２を有する（図４参照）。成形体４１の上面には、溝４３が形成されている。流入口４２は、上述の下流パイプ２４と接続されており、清澄装置１２から流れ出た熔融ガラスＦＧは、流入口４２から溝４３に流し込まれる。成形体４１の溝４３に流し込まれた熔融ガラスＦＧは、成形体４１の一対の頂部４１ｂ，４１ｂからオーバーフローし、成形体４１の一対の側面（表面）４１ｃ，４１ｃを沿いながら流下する。その後、熔融ガラスＦＧは、成形体４１の下端部４１ａで合流してシートガラスＳＧになる。

成形体室２０のシートガラスＳＧの下流側の壁は、仕切り部材５０となっている。仕切り部材５０は、成形体室２０から第１冷却室３０への熱の移動を遮断する断熱材である。仕切り部材５０は、熔融ガラスＦＧの合流ポイントの上側雰囲気および下側雰囲気を仕切ることにより、仕切り部材５０の上側から下側への熱の移動を遮断する。

第１冷却室３０は、成形体室２０の下方に配置され、シートガラスＳＧの厚みおよび反り量を調整するための空間である。第１冷却室３０では、後述する第１冷却工程Ｓ４１の一部が実行される。第１冷却室３０では、シートガラスＳＧの中心部Ｃの温度が徐冷点より高い状態のシートガラスＳＧが冷却される。シートガラスＳＧの中心部Ｃは、シートガラスＳＧの幅方向の中心部である。第１冷却室３０では、シートガラスＳＧの中心部Ｃの温度は、第１温度領域および第２温度領域にある。第１温度領域は、シートガラスＳＧの中心部Ｃの温度が軟化点より高い温度から軟化点近傍になるまでの温度領域である。また、第２温度領域とは、シートガラスＳＧの中心部Ｃの温度が軟化点近傍から徐冷点近傍になるまでの温度領域である。シートガラスＳＧは、第１冷却室３０内を通過した後、後述の第２冷却室８０内を通過する。

第１冷却室３０には、冷却ローラ５１と温度調整ユニット６０が設けられている。冷却ローラ５１は、第１冷却室３０内に、仕切り部材５０の直下に配置されている。また、冷却ローラ５１は、シートガラスＳＧの厚み方向両側、且つ、シートガラスＳＧの幅方向両側に配置される。シートガラスＳＧの厚み方向両側に配置された冷却ローラ５１は対で動作する。冷却ローラ５１に接触したシートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌの粘度は、所定値（具体的には、１０^9.0ｐｏｉｓｅ）以上である。ここで、シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌとは、シートガラスＳＧの幅方向の両端部の領域であり、具体的には、シートガラスＳＧの幅方向の縁からシートガラスＳＧの中心部Ｃに向かって、シートガラスＳＧの幅方向２００ｍｍ以内の範囲をいう。
冷却ローラ５１は、駆動モータにより回転駆動される。冷却ローラ５１は、シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌを冷却すると共に、シートガラスＳＧを下方に引き下げる機能も有する。

温度調整ユニット６０は、第１冷却室３０内に設けられ、シートガラスＳＧを徐冷点近傍まで冷却するユニットである。温度調整ユニット６０は、仕切り部材５０の下方であって、第２冷却室８０の天板８０ａの上方に配置される。 温度調整ユニット６０は、シートガラスＳＧの中心部Ｃの温度が徐冷点近傍になるまで、シートガラスＳＧを冷却する。

第２冷却室８０は、成形体室２０の下方に配置され、シートガラスＳＧの反り、熱収縮率、および歪値を調整するための空間である。第２冷却室８０には、引下げローラ８１ａ〜８１ｇと、ヒータ８２ａ〜８２ｇと、が設けられている。第２冷却室８０では、後述する第１冷却工程Ｓ４１の一部、第２冷却工程Ｓ４２、第３冷却工程Ｓ４３、及び第４冷却工程Ｓ４４が実行される。第２冷却室８０では、第１冷却室３０内を通過したシートガラスＳＧが、中心部Ｃの温度が徐冷点、歪点を経て、少なくとも歪点より２００℃低い温度近傍まで冷却される。第３冷却工程Ｓ４３は、中心部Ｃの温度が歪点から歪点より１００℃低い温度近傍までの温度領域における冷却を行なう工程であり、第４冷却工程Ｓ４４は、歪点より１００℃低い温度近傍から、歪点より２００℃低い温度近傍まで冷却する工程である。
第２冷却室８０では、シートガラスＳＧが、室温付近の温度まで冷却されてもよい。なお、第２冷却室８０の内部は、断熱部材８０ｂによって、複数の空間に区分けされていてもよい。複数の断熱部材８０ｂは、複数の引下げローラ８１ａ〜８１ｇのそれぞれの間で、シートガラスＳＧの厚み方向の両側に配置される。これにより、シートガラスＳＧの温度管理を、より精度よく行うことができる。

引下げローラ８１ａ〜８１ｇは、第１冷却室３０内を通過したシートガラスＳＧを、シートガラスＳＧの流れ方向へ引き下げる。
ヒータ８２ａ〜８２ｇは、第２冷却室８０の内部に設けられ、第２冷却室８０の内部空間の温度を調整する。具体的に、ヒータ８２ａ〜８２ｇは、シートガラスＳＧの流れ方向およびシートガラスＳＧの幅方向に複数配置される。例えば、幅方向に配置されるヒータは、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡと、シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌとをそれぞれ温度制御する。ヒータ８２ａ〜８２ｇは、後述する制御装置９１によって出力が制御される。これにより、第２冷却室８０内部を通過するシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度が制御される。ヒータ８２ａ〜８２ｇによって第２冷却室８０内の雰囲気温度が制御されることによって、シートガラスＳＧの温度制御が行われる。

なお、シートガラスＳＧの近傍には、雰囲気温度を検出する図示されない雰囲気温度検出手段（本実施形態では、熱電対）が設けられていてもよい。例えば、複数の熱電対が、シートガラスＳＧの流れ方向およびシートガラスＳＧの幅方向に配置される。例えば、熱電対は、シートガラスＳＧの中心部Ｃの温度と、シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌの温度とをそれぞれ検出する。ヒータ８２ａ〜８２ｇの出力は、熱電対によって検出される雰囲気温度に基づいて制御される。

第２冷却室８０のシートガラスＳＧの流れ方向の下流側には、切断装置９０が設けられている。切断装置９０は、第２冷却室８０内で室温付近の温度まで冷却されたシートガラスＳＧを、所定のサイズに切断する。これにより、シートガラスＳＧは、例えば所定のディスプレイに適したシートガラスになる。なお、切断装置は、必ずしも第２冷却室８０の直下に設けられていなくてもよい。

本実施形態のシートガラスの製造方法では、冷却工程Ｓ４は、複数の冷却工程Ｓ４１，Ｓ４２，Ｓ４３，Ｓ４４からなる。具体的には、シートガラスＳＧの流れ方向に沿って、第１冷却工程Ｓ４１、第２冷却工程Ｓ４２、第３冷却工程Ｓ４３、および第４冷却工程Ｓ４４が順に実行される。第１冷却工程Ｓ４１、第２冷却工程Ｓ４２、第３冷却工程Ｓ４３、および第４冷却工程Ｓ４４を下記のように温度プロファイルあるいは平均冷却速度を管理することにより、第１冷却工程Ｓ４１では、主にシートガラスＳＧの反りを低減することができ、第２冷却工程Ｓ４２では、主にシートガラスＳＧの内部歪及び熱収縮率を低減することができ、第３冷却工程Ｓ４３では、主にシートガラスＳＧの熱収縮率を低くすることができ、第４冷却工程Ｓ４４では、主にシートガラスＳＧの反りを低減することができる。

シートガラスＳＧの温度は、シートガラスＳＧの雰囲気温度を制御することにより、管理される。なお、シートガラスＳＧの温度は、シートガラスＳＧの温度の実測値を用いてもよく、また、ヒータ８２ａ〜８２ｇによって制御されるシートガラスＳＧの雰囲気温度に基づいてシミュレーションにより算出された値を用いてもよい。 各冷却工程Ｓ４１〜Ｓ４４では、所定の平均冷却速度で、シートガラスＳＧを冷却することにより、シートガラスＳＧの流れ方向の温度管理を行っている。ここで、所定の平均冷却速度とは、各冷却工程Ｓ４１〜Ｓ４４に応じた冷却速度であり、平均冷却速度は、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度変化の量をこの温度変化に要する時間で割った値である。以下、特に断らずに平均冷却速度という場合には、原則として、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡにおける平均の冷却速度を指す。中央領域ＣＡは、板厚を均一にする対象の部分を含む領域であり、中心部Ｃを含み、シートガラスＳＧの両側部Ｒ，ＬよりシートガラスＳＧの幅方向内側の領域であって、シートガラスＳＧの幅方向の幅のうちシートガラスＳＧの幅方向の中心から幅の半分の例えば８５％以内の範囲の領域である。中心部Ｃとは、シートガラスＳＧの幅方向の中心位置をいう。
高精細ディスプレイの製造過程の熱処理工程において発生するシートガラスの熱収縮を効率的に低減するためには、全冷却工程Ｓ４１〜Ｓ４４の平均冷却速度のうち、第３冷却工程Ｓ４３の冷却速度（第３の平均冷却速度）が最も低いことが好ましい。つまり、第３冷却工程Ｓ４３の平均冷却速度（第３の平均冷却速度）は、第２冷却工程Ｓ４２の平均冷却速度（第２の平均冷却速度）より低いことが好ましい。また、シートガラスの生産効率を低下させないためにも、全冷却工程Ｓ４１〜Ｓ４４の冷却速度のうち、第１冷却工程Ｓ４１の冷却速度（第１の平均冷却速度）が最も高いことが好ましい。また、第４冷却工程Ｓ４４における平均冷却速度（第４の平均冷却速度）は、第１の平均冷却速度より低く、かつ、第２の平均冷却速度より高いことが好ましい。すなわち、全冷却工程Ｓ４１〜Ｓ４４の平均冷却速度に関して、第１の平均冷却速度＞第４の平均冷却速度＞第２の平均冷却速度＞第３の平均冷却速度の関係式が成り立つことが好ましい。これにより、生産効率を低下させることなく、高精細ディスプレイの製造過程の熱処理工程におけるシートガラスの熱収縮を低減したシートガラスを製造することができる。

図５は、シートガラスＳＧの所定の高さ位置における幅方向の温度プロファイルＴ１、Ｔ３、Ｔ５，Ｔ６，Ｔ７，Ｔ９を示す。この他に、温度プロファイルＴ２，Ｔ４，Ｔ８を用いてもよい。図５では、温度プロファイルＴ２，Ｔ４，Ｔ８は省略されている。以下において、シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌを、単に、側部Ｒ，Ｌと記載する。

第１冷却工程Ｓ４１は、成形体４１の直下で合流した熔融ガラスを、中心部Ｃの温度が徐冷点になるまで冷却する工程である。徐冷点は、粘度が１０¹³ポアズ（１ポアズ＝０．１Ｐａ・秒）となるときの温度である。具体的に、第１冷却工程Ｓ４１では、例えば、中心部Ｃの温度が１１００℃〜１３００℃のシートガラスＳＧを、中心部Ｃの温度が徐冷点になるまで冷却する。ここで「徐冷点になるまで冷却する」における徐冷点とは、徐冷点近傍を含む。徐冷点近傍は、例えば徐冷点[℃]±１５[℃]の間の温度範囲、すなわち、徐冷点[℃]＋１５[℃]〜徐冷点[℃]−１５[℃]の温度範囲であってもよい。 第１冷却工程Ｓ４１では、第１温度プロファイルＴＰ１、第３温度プロファイルＴＰ３、第５温度プロファイルＴＰ５に基づいて、シートガラスＳＧの温度管理が行われる。以下、第１冷却工程Ｓ４１で実行される各温度プロファイルＴＰ１、第３温度プロファイルＴＰ３、第５温度プロファイルＴＰ５と、第１冷却工程Ｓ４１の冷却速度（第１の平均冷却速度）とを詳細に説明する。

第１温度プロファイルＴＰ１は、シートガラスＳＧの最も上流側で実現される温度分布である（図５参照）。第１温度プロファイルＴＰ１は、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度が均一であり、シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌは、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度よりも低くなり、上に凸を有する分布である。ここで、中央領域ＣＡの温度が均一であるとは、中央領域ＣＡの温度が、所定の温度域に含まれることをいう。所定の温度域とは、基準温度[℃]±２０[℃]の間の範囲である。基準温度は、中央領域ＣＡの幅方向の平均温度である。
第１温度プロファイルＴＰ１は、第１冷却室３０内の冷却ローラ５１および温度調整ユニット６０を制御することにより実現される。シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌの温度は、中央領域ＣＡの温度よりも所定温度（例えば、２００℃〜２５０℃）低い温度に冷却する。

第３温度プロファイルＴＰ３は、第１温度プロファイルＴＰ１の後に実現される温度分布である（図５参照）。
第３温度プロファイルＴＰ３は、中央領域ＣＡの中心部Ｃの温度が最も高く、側部Ｒ，Ｌの温度が最も低い。また、第３温度プロファイルＴＰ３では、中心部Ｃから側部Ｒ，Ｌに向かって温度が徐々に低くなる。なお、第１温度プロファイルＴＰ１および第３温度プロファイルＴＰ３は、第１冷却室３０内の温度調整ユニット６０を制御することにより実現される。

第５温度プロファイルＴＰ５は、第３温度プロファイルＴＰ３の後に実現される温度分布である（図５参照）。第５温度プロファイルＴＰ５もまた、中心部Ｃの温度が最も高く、側部Ｒ，Ｌの温度が最も低い。また、第５温度プロファイルＴＰ５も、中心部Ｃから側部Ｒ，Ｌに向かって温度が徐々に低くなり、上に凸を有するなだらかな放物線を形成する。
なお、第５温度プロファイルＴＰ５は、第２冷却室８０内のヒータ８２ｂを制御することにより実現される。

第１冷却工程Ｓ４１では、中央領域ＣＡの雰囲気温度よりも、側部Ｒ，Ｌの雰囲気温度を高い平均冷却速度で冷却している。すなわち、中央領域ＣＡの平均冷却速度（第１の平均冷却速度）と比較して、側部Ｒ，Ｌの平均冷却速度（第１の側部冷却速度）が高い。
第１冷却工程Ｓ４１における中央領域ＣＡの第１の平均冷却速度は、５．０℃／秒〜５０℃／秒である。第１の平均冷却速度が、５．０℃／秒より低いと、生産性が悪くなる。第１の平均冷却速度が、５０℃／秒を超えると、シートガラスＳＧに割れが発生する場合がある。また、シートガラスＳＧの反り量および板厚偏差が悪くなる。好ましくは、中央領域ＣＡの第１の平均冷却速度は、８．０℃／秒〜１６．５℃／秒である。また、第１冷却工程Ｓ４１における第１の側部冷却速度は、５．５℃／秒〜５２．０℃／秒である。好ましくは、第１の側部冷却速度は、８．３℃／秒〜１７．５℃／秒である。

第２冷却工程Ｓ４２は、第１冷却工程Ｓ４１後のシートガラスＳＧを、中心部Ｃの温度が歪点になるまで冷却する工程である。ここで、歪点は、粘度が１０^14.5ポアズとなる温度である。ここで「歪点になるまで冷却する」における歪点とは、歪点近傍を含む。ここで歪点近傍は、例えば歪点±２５℃の間の温度範囲、あるいは歪点±１５℃の間の温度範囲であってもよい。
第２冷却工程Ｓ４２では、第６温度プロファイルＴＰ６に基づいて、シートガラスＳＧの温度管理が行われる。以下、第２冷却工程Ｓ４２で実行される温度プロファイルＴＰ６と、第２冷却工程Ｓ４２の冷却速度（第２の平均冷却速度）とを説明する。

第６温度プロファイルＴＰ６は、シートガラスＳＧの幅方向の雰囲気温度（幅方向の側部Ｒ，Ｌから中心部Ｃにかけての雰囲気温度）が均一である。言い換えると、第６温度プロファイルＴＰ６は、シートガラスＳＧの幅方向において、側部Ｒ，Ｌ周辺の雰囲気温度と中心部Ｃ周辺の雰囲気温度との温度差が最も小さく、側部Ｒ，Ｌ周辺の雰囲気温度と中心部Ｃ周辺の雰囲気温度とが、同程度になる温度プロファイルである。
ここで、均一とは、側部Ｒ，Ｌ周辺の雰囲気温度と中央領域ＣＡ周辺の雰囲気温度とが、所定の温度域に含まれることをいう。所定の温度域とは、基準温度±５℃の間の温度範囲である。基準温度は、シートガラスＳＧの幅方向の平均温度である。
なお、第６温度プロファイルＴＰ６は、第２冷却室８０内のヒータ８２ｃを制御することにより実現される。また、第６温度プロファイルＴＰ６は、歪点を含む所定の温度領域で実現される。所定の温度領域とは、「（徐冷点＋歪点）／２」から「歪点［℃］−２５［℃］」までの領域である。第６温度プロファイルＴＰ６は、歪点を含む範囲の少なくとも一点（流れ方向における一箇所）において実現される。

第２冷却工程Ｓ４２では、シートガラスＳＧの幅方向の雰囲気温度がほぼ一定になるように、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの雰囲気温度と、側部Ｒ，Ｌの雰囲気温度とを制御している。すなわち、側部Ｒ，Ｌの平均冷却速度（第２の側部冷却速度）と比較して、中央領域ＣＡの平均冷却速度（第２の平均冷却速度）が若干高い。
第２冷却工程Ｓ４２におけるシートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度の平均冷却速度（第２の平均冷却速度）は、５．０℃／秒以下であることが好ましく、０．８℃／秒〜５．０℃／秒であることがより好ましい。第２の平均冷却速度が、０．８℃／秒よりも小さいと、生産性が悪くなりやすい。また、第２の平均冷却速度が、５．０℃／秒を超えると、シートガラスＳＧの精密な温度制御が困難となり、シートガラスＳＧの熱収縮率が大きくなりやすい。また、シートガラスＳＧの反りおよび歪が大きくなりやすい。

第３冷却工程Ｓ４３は、第２冷却工程Ｓ４２後のシートガラスＳＧを、歪点より１００℃低い温度、すなわち歪点［℃］−１００［℃］になるまで冷却する工程である。ここで「（歪点［℃］−１００［℃］）になるまで冷却する」における（歪点［℃］−１００［℃］）とは、（歪点［℃］−１００［℃］）の近傍を含む。（歪点［℃］−１００［℃］）の近傍は、例えば（歪点［℃］−１００［℃］）±１５［℃］の間の温度範囲であってもよい。第３冷却工程Ｓ４３においても、第２冷却工程Ｓ４２と同様に、第６温度プロファイルＴＰ６に基づいて、シートガラスＳＧの温度管理が行われる。 第３冷却工程Ｓ４３におけるシートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度の平均冷却速度（第３の平均冷却速度）は第２の平均冷却速度より低く、５℃／秒以下であることが好ましい。第３の平均冷却速度を第２の平均冷却速度より低くすることにより、ディスプレイのパネル製造工程におけるシートガラスの熱処理時（例えば、４５０℃〜６００℃）に生じる熱収縮を低くすることができる。また、第３の平均冷却速度が５℃／秒を超えると、シートガラスＳＧに割れが発生する場合もあり、シートガラスＳＧの反りも悪くなる。より好ましくは、第３の平均冷却速度は、０．５℃／秒〜４．０℃／秒である。

第４冷却工程Ｓ４４は、歪点［℃］−１００［℃］近傍、例えば（（歪点［℃］−１００［℃］）±１５［℃］の間の温度範囲）の温度になったシートガラスＳＧを、歪点［℃］−２００℃近傍の温度まで冷却する工程である。ここで、歪点［℃］−２００℃近傍の温度とは、例えば（歪点［℃］−２００［℃］）±１５［℃］の間の温度範囲内の温度であってもよい。
第４冷却工程Ｓ４４では、第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ１０に基づいて、シートガラスＳＧの温度管理が行われる。

第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ９は、第６温度プロファイルＴＰ６の後に実現される温度分布である（図５参照）。具体的に、上流側で第７温度プロファイルＴＰ７が実現され、下流側で第９温度プロファイルＴＰ９が実現される。
第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ９は、中央領域ＣＡの中心部Ｃの温度が最も低く、側部Ｒ，Ｌの温度が最も高い。また、第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ１０では、中心部Ｃから側部Ｒ，Ｌに向かって温度が徐々に高くなる。すなわち、第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ９は、下に凸を有するなだらかな放物線を形成する。
また、第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ９における中心部Ｃと側部Ｒ，Ｌとの間の温度差は、シートガラスＳＧの流れ方向に沿って、徐々に大きくなっている。すなわち、第９温度プロファイルＴＰ９は、第７温度プロファイルＴＰ７よりも大きな放物線となる。第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ９でも、中心部Ｃが側部Ｒ，Ｌよりも早く冷却される。
なお、第７温度プロファイルＴＰ７〜第９温度プロファイルＴＰ９は、第２冷却室８０内のヒータ８２ｄ〜８２ｇを制御することにより実現される。

第４冷却工程Ｓ４４では、中央領域ＣＡの雰囲気温度を、側部Ｒ，Ｌの雰囲気温度よりも早い速度で冷却している。すなわち、側部Ｒ，Ｌの平均冷却速度（第４の側部冷却速度）と比較して、中央領域ＣＡの平均冷却速度（第４の平均冷却速度）が高い。
また、第４冷却工程Ｓ４４では、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に向かうにつれて、シートガラスＳＧの側部Ｒ，Ｌの雰囲気温度の冷却速度と中央領域ＣＡの雰囲気温度の冷却速度との差を大きくする。
第４冷却工程Ｓ４４における第４の平均冷却速度は、１．５℃／秒〜２０℃／秒であることが好ましい。第４の平均冷却速度が、１．５℃／秒よりも低いと、生産性が悪くなる。また、第４の平均冷却速度が、２０℃／秒を超えると、シートガラスＳＧに割れが発生する場合もあり、シートガラスＳＧの反りも悪くなる。好ましくは、第４の平均冷却速度は、２．０℃／秒〜１５℃／秒である。また、第４冷却工程Ｓ４４における第４の側部冷却速度は、１．３℃／秒〜１３℃／秒である。好ましくは、第４の側部冷却速度は、１．５℃／秒〜８．０℃／秒である。

シートガラスＳＧの流れ方向の冷却速度は、シートガラスＳＧの４５０℃〜６００℃という温度域の熱処理時に生じる熱収縮率に影響を与える。特に、第３冷却工程Ｓ４３の平均冷却速度が上記熱収縮率に与える影響が大きい。そのため、４つの冷却工程Ｓ４１〜Ｓ４４の内、第３冷却工程Ｓ４３の平均冷却速度を最も低くすることで、シートガラスＳＧの上記熱収縮率を効果的に小さくすることができる。これにより、シートガラスＳＧの生産量を向上させることができると共に、３５ｐｐｍ以下の熱収縮率を有するシートガラスＳＧを得ることができる。
なお、シートガラスＳＧの中心部Ｃの温度が徐冷点〜歪点の温度範囲で行う第２の冷却工程、及びシートガラスＳＧの中心部Ｃの温度が歪点［℃］〜歪点［℃］−１００［℃］の温度範囲で行う第３の冷却工程を１つの冷却工程としたときの中心部Ｃの平均冷却速度、すなわち、徐冷点〜歪点［℃］−１００［℃］の温度変化を、この温度変化に要した時間で割った値は、０．５〜５．０℃／秒であることが、シートガラスＳＧの熱収縮率を３５ｐｐｍ以下にする上で好ましい。すなわち、冷却工程では、中心部Ｃの温度が徐冷点から（シートガラスＳＧの歪点［℃］−１００［℃］）になるまで、中央領域ＣＡを平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で冷却することが好ましい。これにより、シートガラスＳＧの熱収縮率を３５ｐｐｍ以下にすることができる。

さらに、第２の平均冷却速度と第３の平均冷却速度の速度比（第３の平均冷却速度／第２の平均冷却速度）は、０．２以上１未満であることが好ましい。
速度比が０．２未満であると、生産性が悪くなりやすい。速度比は、０．３以上０．８未満であることがより好ましく、０．４以上０．６未満であることがさらに好ましい。
また、第２の平均冷却速度は、第３の平均冷却速度の次に上記熱収縮率に影響を及ぼし易い。本実施形態では、徐冷点から歪点までの範囲でのシートガラスＳＧの冷却を行う第２冷却工程Ｓ４２における第２の平均冷却速度を、第１冷却工程Ｓ４１及び第４冷却工程Ｓ４４の各平均冷却速度よりも低くすることが好ましい。これにより、熱収縮率を低減することができる。

以上のようなシートガラスの製造方法により得られたシートガラスＳＧの熱収縮率を、３５ｐｐｍ以下、例えば８〜３５ｐｐｍとすることができる。また、例えば、熱収縮率を８〜３０ｐｐｍとすることが好ましく、１０〜２５ｐｐｍとすることがより好ましい。しかし、この熱収縮率は、高精細ディスプレイ用ガラス基板に要求される熱収縮率を十分に満足しない。このため、シートガラスＳＧは、冷却工程Ｓ４後、再徐冷工程に供される。再徐冷工程は、シートガラスの製造を行なう製造ラインから離れた場所に搬送して行なうことができるし、製造されたシートガラスを回収して、その場所で、行うこともできる。また、再徐冷工程は、シートガラスの製造後、直ちに行うこともできるし、所定期間保管した後、行うこともできる。

（再徐冷工程の第１の形態）
図６は、本実施形態の第１の形態の再徐冷工程の熱処理を説明する図である。第１の形態の再徐冷工程Ｓ６では、切断工程Ｓ５において所定のサイズに切断した複数のシートガラスＳＧを積層したシートガラスＳＧの積層体２１０（以下、積層体２１０という）をパレット２２０に載せた状態で、シートガラスＳＧの熱処理をする。

パレット２２０は、基台部２２１と、載置部２２２と、背面板２２３と、を備える。
基台部２２１、載置部２２２および背面板２２３は、例えば鋼鉄等の金属からなり、溶接等により一体に形成されている。
基台２２１は略長方形の板状であり、端面にフォークリフトの爪を挿入するための開口２２１ａが設けられている。
載置部２２２は基台２２１の上部に固定されており、載置部２２２の上部にシートガラスＳＧの積層体２１０が載せられる。ここで、載置部２２２の上面は完全に水平である必要はない。例えば、図６に示すように、シートガラスＳＧを斜めに立てかける場合、シートガラスＳＧの立てかけ角度に応じて載置部２２２の上面を傾斜させておいてもよい。
背面板２２３は略長方形の板状であり、基台２２１の上部において、載置部２２２の後端に載置部２２２とほぼ垂直に固定されている。背面板２２３は載置部２２２の上部に載せられる積層体２１０の積層方向の後端部を支持する。ここで、背面板２２３は完全に垂直である必要はない。例えば、図２に示すように、シートガラスＳＧを斜めに立てかける場合、シートガラスＳＧの立てかけ角度に応じて背面板２２３を傾斜させておいてもよい。
パレット２２０及びパレット２２０を熱処理のために入れる熱処理室とこの熱処理室に設けられる熱源が、徐冷したシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷装置を構成する。

積層体２１０は、複数のシートガラスＳＧと、複数のシート体２１２と、を有する。
シート体２１２は、シートガラスＳＧ同士の間に挟まれる。積層体２１０では、シート体２１２、シートガラスＳＧ、シート体２１２、シートガラスＳＧ、・・・シート体２１２の順番に積まれる。シート体２１２は積層されるシートガラスＳＧ同士の密着を防ぐ役割を果たす。シート体２１２には、積層体２１０を熱処理する際の温度に耐えうる耐熱性を有する材料を用いることができる。シート体２１２は、シートガラスＳＧよりも高い熱伝導率を有することが、後述する熱処理において、複数のシートガラスＳＧの熱処理の程度を揃えることができる点から好ましい。

パレット２２０に載せられた積層体２１０は、パレット２２０に載せられた状態で、熱処理される。具体的には、パレット２２０に載せられた積層体２１０を熱処理室に入れて、雰囲気を加熱する。これにより、シートガラスＳＧの熱収縮率を、冷却工程Ｓ４で冷却されたシートガラスＳＧの熱収縮率よりも低くして、１０ｐｐｍ以下にする。このような熱処理は、シートガラスＳＧの歪点［℃］−７０［℃］以下の温度で行なわれる。このような温度による熱処理により、シートガラスＳＧが現時点で有する３５ｐｐｍ以下の熱収縮率を、熱処理によってさらに低下させる。
熱処理では、雰囲気の温度を室温から設定された昇温速度で昇温させ、雰囲気の温度を設定された最高温度にする。最高温度は設定された時間維持される。その後、設定された降温速度で、雰囲気の温度を室温付近まで降温させる。したがって、熱処理の最高温度は、設定された時間維持されるので、積層体２１０のシートガラスＳＧの温度も最高温度となっている。この最高温度は、歪点［℃］−７０［℃］以下である。さらには、この最高温度は、（シートガラスＳＧの歪点［℃］−３００[℃]）〜（シートガラスＳＧの歪点［℃］−１００［℃］）であることが好ましく、（シートガラスＳＧの歪点［℃］−２５０[℃]）〜（シートガラスＳＧの歪点［℃］−１３０［℃］）であることがより好ましい。最高温度は、例えば、５６０℃以下であることが好ましく、３６０℃〜５６０℃であることがより好ましく、４１０℃〜５３０℃であることがよりいっそう好ましい。

シートガラスを積層して再徐冷を行う場合、生産性を保ちつつ、シートガラスの熱収縮率を十分に低減させるためには、上記熱処理の上記昇温速度は、０．２℃／分〜１０℃／分であることが好ましく、０．３℃／分〜５℃／分であることがより好ましい。また、生産性を保ちつつ、シートガラスの熱収縮率を十分に低減させるために、上記降温速度は、０．０５℃／分〜２℃／分であることが好ましく、０．１℃／分〜１．５℃／分であることがより好ましい。なお、熱収縮率に与える影響がより大きい降温速度を昇温速度よりも遅くすることが好ましい。
また、上記最高温度の維持時間は、４〜１２０時間であることが好ましく、８〜２４時間であることがより好ましい。

第１の形態では、徐冷したシートガラスＳＧを所定のサイズに切断する切断工程を備え、再徐冷工程は、切断工程の後に行われる。このとき、所定のサイズに切断した複数枚のシートガラスＳＧを積層して形成される積層体を熱処理するが、所定のサイズに切断したシートガラスＳＧを積層せずに１枚ずつ再徐冷工程を施してもよい。
また、成形し、徐冷したシートガラスＳＧを、別の場所に搬送して再徐冷工程Ｓ６を行なってもよい。この場合、搬送前の場所において熔融ガラスから成形したシートガラスＳＧを徐冷することで熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスＳＧを得る。このシートガラスＳＧを、搬送先の別の場所において、再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる。このとき、熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう。

（再徐冷工程の第２の形態）
図７は、本実施形態の第１の形態と異なる第２の形態における再徐冷工程の熱処理の温度履歴の一例を示す図である。第２の形態では、シートガラスを一枚ずつ熱処理する枚様式の再徐冷工程である。図７に示す温度履歴を用いて熱処理を行うことが好ましい。この場合においても、熱処理は、所定温度で行われる。所定温度は、例えば、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度である。枚様式の再徐冷工程は、後述するように、１枚のシートガラスを支持部材に支持した状態で熱収縮をしてもよいし、一枚のシートガラスを搬送しながら熱処理をしてもよい。 温度履歴とは、図示されない熱処理室内における熱処理によって変化するシートガラスの中心位置における温度の履歴を示すものである。図中に示す温度はＴｍ１＜Ｔｍ２＜Ｔｍ３＜Ｔｍ４であり、Ｔｍ１＝室温（例えば、２５℃）、Ｔｍ２＝第２中間温度（例えば、２００℃）、Ｔｍ３＝第１中間温度（例えば、４００℃）、Ｔｍ４＝熱処理温度（例えば、５００℃）である。
時間ｔ０〜時間ｔ１における加熱工程、時間ｔ１〜時間ｔ２の維持工程、時間ｔ２〜ｔ５の第１〜第３降温工程における速度、時間の好ましい範囲を以下に示す。Ｔｍ４は、例えば、歪点より７０℃低い温度以下である。
（１）加熱工程：ｔ１−ｔ０＝５分〜２０分、Ｔｍ４−Ｔｍ１＝４００℃〜６００℃、昇温速度Ｓ１＝（Ｔｍ４−Ｔｍ１）／（ｔ１−ｔ０）＝２０℃／分〜１２０℃／分、
（２）維持工程：ｔ２−ｔ１＝５分〜１２０分、Ｔｍ４−Ｔｍ４＝０、速度Ｓ２＝（Ｔｍ４−Ｔｍ４）／（ｔ２−ｔ１）＝０℃／分、
（３）第１降温工程：ｔ３−ｔ２＝１５分〜１００分、Ｔｍ４−Ｔｍ３＝５０℃〜１５０℃、降温速度Ｓ３（第１降温速度）＝（Ｔｍ４−Ｔｍ３）／（ｔ３−ｔ２）＝０．５℃／分〜１０℃／分
（４）第２降温工程：ｔ４−ｔ３＝１０分〜１５分、Ｔｍ３−Ｔｍ２＝１５０℃〜２５０℃、降温速度Ｓ４（第２降温速度）は、（Ｔｍ３−Ｔｍ２）／（ｔ４−ｔ３）＝１０℃／分〜２５℃／分、
（５）第３降温工程：ｔ５−ｔ４＝１５分〜１００分、Ｔｍ２−Ｔｍ１＝５０℃〜１５０℃、降温速度Ｓ５（第１降温速度）＝（Ｔｍ２−Ｔｍ１）／（ｔ５−ｔ４）＝０．５℃／分〜１０℃／分。
ここで、室温は、２５℃に限定されず、例えば、０℃〜５０℃、あるいは０℃〜３０℃である。また、熱処理温度は、５００℃に限定されず、歪点より７０℃低い温度以下の温度であって、４００℃〜６００℃の任意の温度であり、第１中間温度は、４００℃に限定されず、熱処理温度−（５０℃〜１５０℃）の任意の温度である。第２中間温度は、１５０℃〜２５０℃の範囲の温度であり、２００℃と固定してもよい。また、昇温速度・降温速度は、シートガラス全体を昇温・降温する平均速度である。

この場合、図７に示されるように、熱処理では、歪点より７０℃低い温度以下の温度であって、４００℃〜６００℃の範囲にある所定温度、すなわち熱処理温度になるまでシートガラスを加熱し、熱処理温度を維持する熱処理工程と、０．５℃／分以上から１０℃／分未満の第１降温速度で、熱処理温度から熱処理温度より５０℃〜１５０℃低い中間温度になるまでシートガラスを冷却した後、１０℃／分以上から２５℃／分未満の第２降温速度でシートガラスを徐冷する降温工程と、を含むことが好ましい。このとき、第２降温速度でシートガラスを冷却した後、さらに第３降温速度で室温になるまでシートガラスをさらに冷却することが好ましい。つまり、第１降温速度は、第２降温速度よりも遅いことが好ましい。

あるいは、再徐冷工程における熱処理温度は、ガラス基板表面に形成される薄膜を形成する際の加熱処理の温度よりも２５０℃高い温度以下であることが好ましく、加熱処理の温度よりも１５０℃高い温度以下であることがより好ましく、加熱処理の温度よりも８０℃高い温度以下であることがさらに好ましい。また、再徐冷工程における熱処理温度は、薄膜を形成する際の加熱処理の温度よりも１００℃低い温度以上であることが好ましく、薄膜を形成する際の加熱処理の温度よりも高いことがより好ましい。

また、熱処理を行う熱処理温度から、熱処理温度よりも１００℃低い温度までのシートガラスの中心位置における降温速度を第１降温速度とし、熱処理温度よりも１００℃低い温度未満から熱処理温度よりも３００℃低い温度までのシートガラスの中心位置における降温速度を第２降温速度とした場合に、第１降温速度よりも第２降温速度を速くすることが好ましい。あるいは、熱処理を行う熱処理温度から、熱処理温度よりも５０℃低い温度までのシートガラスの中心位置における降温速度を第１降温速度とし、熱処理温度よりも５０℃低い温度未満から熱処理温度よりも１５０℃低い温度までのシートガラスの中心位置における降温速度を第２降温速度とした場合に、第１降温速度よりも第２降温速度を速くすることが好ましい。

第１降温速度の好ましい範囲は０．５℃／分以上１５℃／分以下であり、０．５℃／分以上１０℃／分以下であることが好ましい。他方、第２降温速度の好ましい範囲は、８℃／分以上５０℃／分以下であり、１０℃／分以上２０℃／分以下であることが好ましい。

枚様式の再徐冷工程Ｓ６は、シートガラスを熱処理室内に設けられた支持部材によってシートガラスの下方から支持した状態で、シートガラスの熱処理を行ってもよいし、図８に示すように熱処理を行なってもよい。図８は、図６に示す熱処理とは異なる枚様式の形態の例を説明する図である。図８に示すように、所定のサイズに切断された複数のシートガラスＳＧが、搬送方向に間隔をあけるように吊り下げられており、２本のチェーンベルト（搬送ベルト）２１によって、一方向に搬送されてもよい。

このような第１、第２の形態の再徐冷工程Ｓ６により、シートガラスＳＧの熱収縮率を１０ｐｐｍ以下、好ましくは５ｐｐｍ以下、より好ましくは４ｐｐｍ以下、さらに好ましくは３ｐｐｍ以下に低下させることができる。なお、より生産効率を高めという観点からは、再徐冷工程Ｓ６により、シートガラスＳＧの熱収縮率を、０．１〜１０ｐｐｍに範囲にすることが好ましく、０．５〜９ｐｐｍの範囲にすることがより好ましく、１〜７ｐｐｍの範囲にすることがさらに好ましい。本実施形態では、シートガラスＳＧの製造方法において、冷却工程Ｓ４における平均冷却速度を調整することにより熱収縮率を低減し、さらに、再徐冷工程Ｓ６で熱収縮率を低減するが、このときの冷却工程Ｓ４及び再徐冷工程Ｓ６における熱収縮率の低減幅について、生産効率を確保しつつ、熱収縮率を低減することができる点から、再徐冷工程Ｓ６における熱収縮率の低減幅は、冷却工程Ｓ４における熱収縮率の低減幅に比べて大きいことが好ましい。冷却工程Ｓ４における低減幅が大きくなると、冷却時間を長くする必要があり生産効率が低下する。冷却工程Ｓ４及び再徐冷工程Ｓ６における熱収縮率の全低減幅を１００％としたとき、冷却工程Ｓ４は、５〜３０％であることが好ましく、１０〜２５％であることがより好ましい。再徐冷工程Ｓ６は、７０〜９５％であることが好ましく、７０〜９５％であることがより好ましい。冷却工程Ｓ４における低減幅が上記範囲を超えて大きくなると、冷却時間を長くする必要があり生産効率が低下する。 また、第１、第２の形態の再徐冷工程Ｓ６により、シートガラスＳＧにおける面内における熱収縮率の位置によるばらつきは、例えば、３ｐｐｍ以下にすることができる。シートガラスＳＧにおける面内の熱収縮率の位置によるばらつきは、２ｐｐｍ以下が好ましく、１ｐｐｍ以下がより好ましい。

本実施形態では、シートガラスＳＧの失透温度は、１２００℃以下であることが、シートガラスＳＧに失透させない点から好ましい。失透温度を１２００℃以下となるようにガラス組成を調整すると、失透温度が１２００℃超であるガラス組成と比較してガラスの歪点や徐冷点は低くなる傾向にあるので、熱収縮率が大きくなり易い。このように、熱収縮率が大きくなり易いガラス組成であっても、上述した冷却工程Ｓ４の平均冷却速度の調整により、熱収縮率を３５ｐｐｍ以下にすることができ、再徐冷工程Ｓ６のシートガラスＳＧの熱収縮率を１０ｐｐｍ以下にすることができる。
なお、シートガラスＳＧに失透を生じさせずに生産性を高めるためには、失透温度は１１８０℃以下であることが好ましく、１１００℃〜１１８０℃であることが好ましい。

また、シートガラスＳＧの歪点（ガラスの粘度が１０^１４．５ｐｏｉｓｅに相当するときのガラスの温度）は、熱収縮率を低下させるためには、高いほどよい。しかし、シートガラスＳＧの歪点が高くなるようにガラス組成を調整すると、熔融温度や失透温度が高くなる傾向にある。つまり、シートガラスＳＧの歪点を高くすると、ガラス原料の未熔解やシートガラスＳＧの失透という問題が生じやすくなる。そのため、シートガラスＳＧのガラスの歪点は、６００℃〜７２０℃であってもよく、６００℃〜６８０℃であってもよい。また、シートガラスＳＧの徐冷点（ガラスの粘度が１０^１３ｐｏｉｓｅに相当するときのガラスの温度）は、６８０℃〜８００℃であってもよく６８０℃〜７６０℃であってもよい。歪点が６００℃〜７２０℃であるガラス（好ましくは６００℃〜６８０℃）であるガラス、あるいは徐冷点が６８０℃〜８００℃（好ましくは６８０℃〜７６０℃）であるガラスは、歪点が７２０℃（好ましくは６８０℃）を超えるガラス、あるいは徐冷点が８００℃（好ましくは７６０℃）を超えるガラスに比べて、熱収縮率は大きくなりやすい。しかし、歪点が６００℃〜７２０℃（好ましくは６００℃〜６８０℃）であっても、あるいは徐冷点が６８０℃〜８００℃（好ましくは６８０℃〜７６０℃）であっても、上述した冷却工程Ｓ４の平均冷却速度の調整等により、熱収縮率を３５ｐｐｍ以下にすることができ、再徐冷工程Ｓ６のシートガラスＳＧの熱収縮率を１０ｐｐｍ以下にすることができる。
なお、ガラス原料の未熔解やシートガラスＳＧに失透を生じさせずにより生産性を高めるためには、歪点が６００℃〜７２０℃であることが好ましく、６５０℃〜６８０℃であることがより好ましい。また、徐冷点が６８０℃〜８００℃であることが好ましく、７３０℃〜７６０℃であることがより好ましい。

また、シートガラスＳＧの密度は、例えば２．６２ｇ／ｃｍ^３以下であってもよく、２．４９ｇ／ｃｍ^３以下であることが好ましく、２．４６ｇ／ｃｍ^３以下であることがより好ましく、２．４３ｇ／ｃｍ^３以下であることがさらに好ましい。シートガラスＳＧのガラスの、５０℃から３００℃までの線熱膨張係数は、４２×１０^−７／℃以下であってもよく、２８×１０^−７〜３９×１０^−７／℃であることが好ましく、２８×１０^−７〜３７×１０^−７／℃であることがより好ましく、３０×１０^−７〜３５×１０^−７／℃であることがさらに好ましい。

このような特性を有するシートガラスＳＧのガラス組成として、例えば以下のガラス組成が質量％表示で例示される。
ＳｉＯ_２ ５０〜７０％、
Ｂ_２Ｏ_３ ０〜１８％、
Ａｌ_２Ｏ_３ １０〜２５％、
ＭｇＯ ０〜１０％、
ＣａＯ ０〜２０％、
ＳｒＯ ０〜２０％、
ＢａＯ ０〜１０％、
ＲＯ ５〜２０％
（ただしＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選ばれる少なくとも１種である）、
Ｒ’_２Ｏ ０％〜２．０％
（ただしＲ’はＬｉ、ＮａおよびＫから選ばれる少なくとも１種である）
を含む。
溶融ガラス中で価数変動する金属の酸化物の合計含有率は特に制限されないが、例えば、０．０５〜１．５％含んでもよい。また、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３およびＰｂＯを実質的に含まないことが好ましい。

以上のように、本実施形態では、冷却工程Ｓ４によって熱収縮率を低くするとともに、再徐冷工程Ｓ６を行って熱収縮率をさらに低くするので、熱収縮率を低くするために失透温度を高くするガラス組成を用いる必要がなくなる。特に、本実施形態のようにオーバーフローダウンドロー法でシートガラスＳＧを成形する場合、シートガラスＳＧに失透が生じ易いため、失透温度を高くするガラス組成を用いることは好ましくない。この点でも、本実施形態は有効である。このように、本実施形態は、失透が生じ難く、高精細ディスプレイのパネルに用いることが可能な、熱収縮率の低いシートガラスを作製することができる。

本実施形態のシートガラスの製造方法によって製造されるシートガラスＳＧは、ガラス表面に薄膜が形成されるディスプレイ用ガラス基板に好適であり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のディスプレイ用ガラス基板として特に適している。ここで、薄膜とは、例えばＴＦＴやカラーフィルタである。また、ディスプレイ用ガラス基板を用いるディスプレイには、ディスプレイ表面がフラットなフラットパネルディスプレイの他、有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイであって、ディスプレイ表面が湾曲した曲面ディスプレイが含まれる。ガラス基板は、高精細ディプレイ用ガラス基板として、例えば液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ用ガラス基板、ＬＴＰＳ（Low Temperature Poly-silicon）薄膜半導体、あるいはＩＧＺＯ（Indium，Gallium，Zinc，Oxide）等の酸化物半導体を用いたディプレイ用ガラス基板として用いることが好ましい。
ディスプレイ用ガラス基板としては、無アルカリガラス、または、アルカリ微量含有ガラスが用いられる。ディスプレイ用ガラス基板は、高温時における粘性が高い。例えば、１０^2.5ポアズの粘性を有する熔融ガラスの温度は、１５００℃以上である。なお、無アルカリガラスは、アルカリ金属酸化物（Ｒ₂Ｏ）を実質的に含まない組成のガラスである。アルカリ金属酸化物を実施的に含まないとは、原料等から混入する不純物を除き、ガラス原料としてアルカリ金属酸化物を添加しない組成のガラスであり、例えば、アルカリ金属酸化物の含有量は０．１質量％未満である。なお、アルカリ微量含有ガラスは、成分として、０．１質量％〜０．５質量％のＲ’₂Ｏを含み、好ましくは、０．２質量％〜０．５質量％のＲ’₂Ｏを含む。ここで、Ｒ’は、Ｌｉ、ＮａおよびＫから選択される少なくとも１種であり、Ｒ’₂Ｏは、Ｌｉ₂Ｏ、Ｎａ₂Ｏ、Ｋ₂Ｏの含有量の合計である。
また、本実施形態で製造されるシートガラスＳＧの板厚は、０．００５ｍｍ〜０．８ｍｍであり、好ましくは０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍ、より好ましくは０．０１ｍｍ〜０．２ｍｍである。

本実施形態では、成形工程後のシートガラスＳＧの徐冷（冷却）を遅い冷却速度で行うことで、シートガラスＳＧの熱収縮率は低減するが、更に再徐冷工程を行うことにより、シートガラスＳＧの板厚品質等の悪化を効率よく防止することができる。以下、この点を説明する。
成形工程Ｓ３後の冷却工程Ｓ４において、シートガラスＳＧの熱収縮率を十分に低減しようとする場合、第２冷却室８０（徐冷炉）を長くしてシートガラスＳＧを極めてゆっくり冷却する必要がある。シートガラスＳＧの成形としてフュージョン（オーバーフローダウンドロー法）を選択する場合、鉛直方向に延びる第２冷却室８０の経路を長くして、成形直後の徐冷の速度を極めて遅くすると、成形工程Ｓ３〜切断工程Ｓ５、あるいは、さらに後工程の巻き取り梱包の工程まで、帯状に連続して延びるシートガラスＳＧの長さは長くなり、これに伴って、成形体４１〜切断装置９０（あるいは巻き取り梱包を行なう装置）までのシートガラスＳＧの総重量は重くなる。このようにシートガラスＳＧの総重量が重くなると、成形体４１の下端でフュージョンした直後のシートガラスＳＧの移動速度（落下速度）は、下流側のシートガラスＳＧの重量の影響で速くなる。ここで、フュージョン直後のシートガラスＳＧの温度は高く、引き伸ばせる程度に粘性が低い（例えば、軟化点以上）。このため、シートガラスＳＧが局所的に引き伸ばされ易くなり板厚品質等を悪化させる。
また、フュージョン直後にシートガラス両側部を急冷して固化させた（粘度を高くした）場合、粘度の低いシートガラスＳＧの中央領域でのみシートガラスＳＧが引き延ばされ、厚さが部分的に薄くなりすぎるという問題も生じる。
さらに、シートガラスＳＧが幅方向に縮まないようにフュージョン直後にシートガラスＳＧの両側部を急冷して固化しようとしても、シートガラスＳＧの移動速度（落下速度）が速くなり、十分に冷却できない。このため、シートガラスＳＧが幅方向に縮むと、ガラス板厚が不均一になるという問題が生じる。
その他、上述したようにシートガラスＳＧの長さが長くなると、シートガラスＳＧに振動が生じやすくなり、ヒータ８２ａ〜８２ｇとの間の距離が変動してシートガラスＳＧの温度制御の精度が低下するという問題が生じる。さらに、シートガラスＳＧの重量が重くなると、成形体４１にかかるシートガラスＳＧの総荷重が大きくなるので、成形体４１の変形（セルクリープ）の問題が顕著となり、シートガラスＳＧの幅方向の板厚にバラツキが生じるという問題が顕著となる。
これに対して、本実施形態では、第２冷却室８０（徐冷炉）の経路を長くしてシートガラスＳＧを極めてゆっくり冷却する必要がないので、本実施形態は、上記問題が発生することを防止でき、熱収縮の小さいシートガラスＳＧを製造することができる。

さらに、第２冷却室８０を含む成形装置４０の構成を変更することなく、成形工程Ｓ３後の冷却工程Ｓ４におけるシートガラスＳＧの冷却速度等を変更することは難しい。つまり、冷却工程Ｓ４では、予め設定された熱処理は行えるものの、例えば、求められる熱収縮率が変化した場合等において、冷却工程Ｓ４で冷却速度を含む徐冷の条件を変更することは難しく、熱処理の自由度は低い。本実施形態では、冷却工程Ｓ４の他に再徐冷工程Ｓ６を別途備えるので、シートガラスＳＧに施す熱処理の自由度が高くなる。
なお、シートガラスは、高精細ディプレイ用ガラス基板として、例えば液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ用ガラス基板、あるいはＬＴＰＳ（Low Temperature Poly-silicon）薄膜半導体を用いたディプレイ用ガラス基板として用いることが好ましい。

（実施例１）
ＳｉＯ_２６０．７％、Ｂ_２Ｏ_３ １１．５％、Ａｌ_２Ｏ_３ １７％、ＭｇＯ ２％、ＣａＯ ５．６％、ＳｒＯ ３％、ＳｎＯ_２ ０．２％のガラス組成（質量％表示）となるようにガラス原料を調合して、図１に示す工程を経てシートガラスＳＧを得た。上記ガラス組成における歪点は６６０℃である。再徐冷工程Ｓ６の熱処理の最高温度を、シートガラスの歪点［℃］−２１０[℃]、すなわち、４５０℃とし、最高温度の維持時間を２４時間とした。また、再徐冷工程Ｓ６では、１００枚のシートガラスＳＧを積層した積層体に対して熱処理を施した。

再徐冷工程Ｓ６前のシートガラスＳＧの熱収縮率は１８ｐｐｍであった。再徐冷工程Ｓ６後のシートガラスＳＧの熱収縮率は２ｐｐｍであった。この熱収縮率は、高精細ディスプレイパネルに用いるガラス基板に要求される熱収縮率を満足する。また、シートガラスＳＧでは失透は生じなかった。これより、本実施形態の効果は明らかである。

（実施例２）
ＳｉＯ_２６０．７％、Ｂ_２Ｏ_３ １１．５％、Ａｌ_２Ｏ_３ １７％、ＭｇＯ ２％、ＣａＯ ５．６％、ＳｒＯ ３％、ＳｎＯ_２ ０．２％のガラス組成（質量％表示）となるようにガラス原料を調合して、図１に示す工程を経てシートガラスＳＧを得た。上記ガラス組成における歪点は６６０℃である。また、ディスプレイパネル製造工程における薄膜形成温度は４５０℃であった。再徐冷工程Ｓ６の熱処理の最高温度を、薄膜形成温度よりも５０℃高い温度、すなわち、５００℃とし、最高温度の維持時間を１０分とした。また、再徐冷工程Ｓ６は、一枚ずつ熱処理する枚様式であった。なお、熱処理を行う熱処理温度から熱処理温度よりも１００℃低い温度までのシートガラスの中心位置における降温速度を第１降温速度とし、熱処理温度よりも２００℃低い温度未満から熱処理温度よりも３００℃低い温度までのシートガラスの中心位置における降温速度を第２降温速度とした場合、第１降温速度が０．５℃／分であり、第２降温速度は１０℃／分であった。再徐冷工程Ｓ６前のシートガラスＳＧの平均熱収縮率は１８ｐｐｍであったのに対し、再徐冷工程Ｓ６後のシートガラスＳＧの平均熱収縮率は５ｐｐｍであった。また、シートガラスＳＧの面内における熱収縮の位置によるばらつきは３ｐｐｍ以下であった。
また、第１降温速度を３℃／分、第２降温速度を１３℃／分に変更した以外は上記方法と同じように製造した再徐冷工程Ｓ６後のシートガラスＳＧの平均熱収縮率は６ｐｐｍであった。また、シートガラスＳＧの面内における熱収縮の位置にょるばらつきは３ｐｐｍ以下であった。
さらに、第１降温速度を９．５℃／分、第２降温速度を２４℃／分に変更した以外は上記方法と同じように製造した再徐冷工程Ｓ６後のシートガラスＳＧの平均熱収縮率は８ｐｐｍであった。また、シートガラスＳＧの面内における熱収縮の位置によるばらつきは３ｐｐｍ以下であった。
他方、第１降温速度を１０℃／分、第２降温速度を５℃／分に変更した以外は上記方法と同じように製造した再徐冷工程Ｓ６後のシートガラスＳＧの平均熱収縮率は１７ｐｐｍであった（比較例）。
これら実施例の熱収縮率は、高精細ディスプレイパネルに用いるガラス基板に要求される熱収縮率を満足する。また、シートガラスＳＧでは失透は生じなかった。これより、本実施形態の効果は明らかである。

以上、本発明のシートガラスの製造方法及びシートガラス製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。

１１ 熔融装置
１２ 清澄装置
４０ 成形装置
４１ 成形体
５１ 冷却ローラ
６０ 温度調整ユニット
８１ａ〜８１ｇ 引下げローラ
８２ａ〜８２ｇ ヒータ
９０ 切断装置
１００ シートガラス製造装置２１０ 積層体
２１２ シート体
２２０ パレット
２２１ 基台部
２２２ 載置部
２２３ 背面板

Claims (10)

1. 加熱処理を施して表面に薄膜を形成するためのディスプレイ用ガラス基板に用いられるシートガラスの製造方法であって、
   熔融ガラスから成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含むシートガラスを少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで得た熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスを再加熱して所定温度で熱処理した後に徐冷することで、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程、を備え、
   前記所定温度は、前記薄膜を形成する前記加熱処理の温度よりも２５０℃高い温度以下の温度である、ことを特徴とするシートガラスの製造方法。ただし、前記熱収縮率とは、昇降温速度を１０℃／分とし、４５０℃で１時間温度を保持して熱処理が施された後のガラスの熱収縮量を用いて、次式にて求められる値である。
   熱収縮率（ｐｐｍ）＝（熱処理後のガラスサンプルの熱収縮量／熱処理前のガラスサンプルの長さ）×１０⁶
2. 熔融ガラスをシートガラスに成形する成形工程と、
   成形したシートガラスは、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで、熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスをつくる冷却工程と、
   前記徐冷したシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程と、を備え、
   前記熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう、ことを特徴とするシートガラスの製造方法。（ただし、前記熱収縮率とは、昇降温速度を１０℃／分とし、４５０℃で１時間温度を保持して熱処理が施された後のシートガラスのガラスサンプルの熱収縮量を用いて、次式にて求められる値である。
   熱収縮率（ｐｐｍ）＝｛熱処理後のガラスサンプルの熱収縮量／熱処理前のガラスサンプルの長さ｝×１０⁶）
3. 熔融ガラスから成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで得た熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷工程、を備え、
   前記熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう、ことを特徴とするシートガラスの製造方法。ただし、前記熱収縮率とは、昇降温速度を１０℃／分とし、４５０℃で１時間温度を保持して熱処理が施された後のシートガラスのガラスサンプルの熱収縮量を用いて、次式にて求められる値である。
   熱収縮率（ｐｐｍ）＝｛熱処理後のガラスサンプルの熱収縮量／熱処理前のガラスサンプルの長さ｝×１０⁶
4. 前記熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスは、少なくとも、
   前記中心部の温度が徐冷点になるまで、前記中央領域を第１の平均冷却速度で冷却する第１冷却工程と、
   前記中心部の温度が前記徐冷点から歪点になるまで、前記中央領域を第２の平均冷却速度で冷却する第２冷却工程と、
   前記中心部の温度が前記歪点から、前記歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を第３の平均冷却速度で冷却する第３冷却工程と、を含む冷却工程を行うことで得、
   前記第３の平均冷却速度は、前記第２の平均冷却速度より遅い、請求項１〜３のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法。
5. 徐冷した前記シートガラスを所定のサイズに切断する切断工程を備え、
   前記再徐冷工程は、前記切断工程の後に行われる、請求項１〜４のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法。
6. 前記シートガラスの歪点は、６００℃〜７２０℃である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法。
7. 前記再徐冷工程は、
   前記熱処理を行う所定温度までシートガラスを加熱する加熱工程と、
   所定温度で熱処理を行う熱処理工程と、
   前記熱処理後にシートガラスを徐冷する降温工程と、を備え、
   前記降温工程は、前記シートガラスの中心部の温度が前記所定温度から前記所定温度の温度よりも１００℃低い温度となるまでの降温速度を第１降温速度とし、前記シートガラスの中心部の温度が前記所定温度よりも１００℃低い温度未満から前記所定温度よりも３００℃低い温度となるまでの降温速度を第２降温速度とした場合に、第１降温速度よりも第２降温速度は速い、請求項１〜６のいずれか１項に記載のシートガラスの製造方法。
8. 熔融ガラスをシートガラスに成形する成形体と、
   成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで、熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスをつくる冷却装置と、
   前記徐冷したシートガラスを再加熱した後に徐冷する熱処理を施して、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷装置と、を備え、
   前記熱処理は、シートガラスの歪点より７０℃低い温度以下の温度で行なう、ことを特徴とするシートガラス製造装置。
9. 前記冷却装置は、
   前記中心部の温度が徐冷点になるまで、前記中央領域を第１の平均冷却速度で冷却する第１冷却機構と、
   前記中心部の温度が前記徐冷点から歪点になるまで、前記中央領域を第２の平均冷却速度で冷却する第２冷却機構と、
   前記中心部の温度が前記歪点から、前記歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を前記第２の平均冷却速度より遅い第３の平均冷却速度で冷却する第３冷却機構と、を含む、請求項８に記載のシートガラス製造装置。
10. 加熱処理を施して表面に薄膜を形成するために用いられるディスプレイ用ガラス基板の製造装置であって、
    オーバーフローダウンドロー法によって成形したシートガラスであって、前記シートガラスの幅方向の両端部の領域である側部と、前記側部よりも前記シートガラスの幅方向内側にあり、前記シートガラスの幅方向の中心部を含む領域である中央領域と、を含み、少なくとも前記中心部の温度が徐冷点から歪点より１００℃低い温度になるまで、前記中央領域を平均冷却速度０．５〜５．０℃／秒で徐冷することで得た熱収縮率が３５ｐｐｍ以下のシートガラスを再加熱して所定温度で熱処理した後に徐冷することで、前記熱収縮率を１０ｐｐｍ以下に低減させる再徐冷装置、を備え、
    前記所定温度は、前記薄膜を形成する前記加熱処理の温度よりも２５０℃高い温度以下の温度である、ことを特徴とするシートガラス製造装置。ただし、前記熱収縮率とは、昇降温速度を１０℃／分とし、４５０℃で１時間温度を保持して熱処理が施された後のガラスの熱収縮量を用いて、次式にて求められる値である。
    熱収縮率（ｐｐｍ）＝（熱処理後のガラスサンプルの熱収縮量／熱処理前のガラスサンプルの長さ）×１０⁶

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