CN105392741A - 平板玻璃的制造方法及平板玻璃制造装置 - Google Patents

Abstract

平板玻璃的制造方法，包括：成形工序，使熔融玻璃成形为平板玻璃；冷却工序，通过使成形的平板玻璃退火而制造热收缩率为35ppm以下的平板玻璃；以及再退火工序，实施对退火的所述平板玻璃再加热后退火的热处理，将所述热收缩率降低到10ppm以下，所述热处理在比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下进行。

Description

平板玻璃的制造方法及平板玻璃制造装置

技术领域

本发明涉及制造平板玻璃的平板玻璃的制造方法及平板玻璃制造装置。

背景技术

近年来，在显示器面板的领域，为了提高画质，像素的高精细化在不断进展。随着该高精细化的进展，对用于显示器面板的玻璃基板的平板玻璃，也开始期望尺寸精度高。例如，在用平板玻璃作为显示器的玻璃基板的情况下，对该平板玻璃，为了显示器面板的制作，在形成低温多晶硅(Low-temperaturePolySilicon，以下称为LTPS)·TFT或氧化物半导体而不是a-Si·TFT(AmorphousSiliconThinFilmTransistor)的情况下，与a-Si·TFT相比，进行更高温的热处理。因此，因热处理导致的平板玻璃的热收缩变大，结果是，期望用于显示器面板的平板玻璃的热收缩率低，使得在平板玻璃上形成的TFT电路不会产生位置偏移。

一般地，平板玻璃的热收缩率是玻璃的应变点或退火点越高则越小。因此，公知有作为无碱的硼铝硅酸盐玻璃的、通过提高退火点来实现良好的尺寸稳定性的玻璃组成物(专利文献1)。

具体而言，用氧化物基准的摩尔百分比来表示，玻璃包含70～74.5％的SiO₂、10.5～13.5％的Al₂O₃、0～2.5％的B₂O₃、3～7％的MgO、3～7％的CaO、0～4％的SrO、1.5～6％的BaO、0～0.3％的SnO₂、0～0.3％的CeO₂、0～0.5％的As₂O₃、0～0.5％的Sb₂O₃、0.01～0.08％的Fe₂O₃以及F+Cl+Br，其中RO/Al₂O₃≦1.7及0.2≦MgO/RO≦0.45，RO是MgO、BaO、SrO及CaO的总计。

[在先技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特表2014-503465号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，为了降低热收缩率而改变玻璃组成以使玻璃的应变点或退火点变高时，有玻璃原料的熔融温度变高、失透温度也变高的趋势。因此，制作平板玻璃变难，产率下降。特别是，在成形时的熔融玻璃的温度比浮动法等低的融合法(溢流下引法)中，上述失透的问题变大。

因此，本发明的目的在于，提供不会加大制作上述平板玻璃的难度的、制作可用于高精细显示器的面板的热收缩率低的平板玻璃的平板玻璃制造方法及平板玻璃制造装置。

解决课题的手段

本发明的方式包括平板玻璃制造方法及平板玻璃制造装置。

该制造方法及装置包括以下的方式。

(第一方式)

一种平板玻璃的制造方法，该平板玻璃是在用于实施加热处理而在表面形成薄膜的显示器用玻璃基板中使用的平板玻璃，其特征在于，包括再退火工序，对使从熔融玻璃成形的平板玻璃退火而得的热收缩率为35ppm以下的平板玻璃进行再加热，通过在按规定温度进行热处理后进行退火，使所述热收缩率降低到10ppm以下，所述规定温度是比形成所述薄膜的所述加热处理的温度高250℃的温度以下的温度，其中，所述热收缩率是使用升降温速度为10℃/分钟、在450℃下保持温度1小时而实施热处理后的玻璃的热收缩量，用下式求出的值：

热收缩率(ppm)＝(热处理后的玻璃样本的热收缩量/热处理前的玻璃样本的长度)×10⁶。

(第二方式)一种平板玻璃的制造方法，其特征在于，包括：成形工序，把熔融玻璃成形为平板玻璃；冷却工序，通过对成形的平板玻璃退火制造热收缩率为35ppm以下的平板玻璃；以及再退火工序，对所述退火的平板玻璃实施再加热后退火的热处理，使所述热收缩率降低到10ppm以下，其中，所述热处理在比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行。

(第三方式)根据第一方式或第二方式记载的平板玻璃制造方法，其中，所述平板玻璃包括作为所述平板玻璃的宽度方向的两端部的区域的侧部以及作为比所述侧部靠近所述平板玻璃的宽度方向内侧、且包括所述平板玻璃的宽度方向的中心部的区域的中央区域，所述热收缩率为35ppm以下的平板玻璃通过以平均冷却速度0.5～5.0℃/秒冷却所述中央区域使得至少所述中心部的温度从退火点达到比所述应变点低100℃的温度而得。

(第四方式)根据第一方式至第三方式中任一个方式所记载的平板玻璃制造方法，其中，成形的平板玻璃包括作为所述平板玻璃的宽度方向的两端部的区域的侧部以及作为比所述侧部靠近所述平板玻璃的宽度方向内侧、且包括所述平板玻璃的宽度方向的中心部的区域的中央区域，所述热收缩率为35ppm以下的平板玻璃通过进行至少包括以下工序的冷却工序来获得：第一冷却工序，以第一平均冷却速度冷却所述中央区域直到所述中心部的温度达到退火点；第二冷却工序，以第二平均冷却速度冷却所述中央区域，直到所述中心部的温度从所述退火点达到应变点；以及第三冷却工序，以第三平均冷却速度冷却所述中央区域，直到所述中心部的温度从所述应变点达到比所述应变点低100℃的温度，所述第三平均冷却速度比所述第二平均冷却速度慢。

(第五方式)根据第一方式至第四方式中任一个方式所记载的平板玻璃的制造方法，还包括：将退火的所述平板玻璃切断为规定尺寸的切断工序，所述再退火工序在所述切断工序之后进行。

(第六方式)根据第一方式至第五方式中任一个方式所记载的平板玻璃的制造方法，还包括：将退火的平板玻璃切断为规定尺寸的切断工序，层叠多块切断为规定尺寸的平板玻璃来进行所述热处理。

(第七方式)根据第一方式至第五方式中任一个方式所记载的平板玻璃制造方法，还包括：将退火的平板玻璃切断为规定尺寸的切断工序，对切断为规定尺寸而得的多个平板玻璃按块方式进行所述热处理。

(第八方式)根据第一方式至第七方式中任一个方式所记载的平板玻璃制造方法，其中，所述平板玻璃的应变点是600℃～720℃。

(第九方式)根据第一方式至第八方式中任一个方式所记载的平板玻璃的制造方法，所述再退火工序包括：加热工序，加热平板玻璃直到进行所述热处理的规定温度；热处理工序，按规定温度进行热处理，降温工序，在所述热处理后对平板玻璃退火，所述降温工序在设所述平板玻璃的中心部的温度从所述规定温度到比所述规定温度的温度低100℃的温度的降温速度为第一降温速度，设所述平板玻璃的中心部的温度从不足比所述规定温度低100℃的温度到比所述规定温度低300℃的温度的降温速度为第二降温速度时，第二降温速度比第一降温速度快。

(第十方式)一种平板玻璃的制造方法，其特征在于，包括：再退火工序，对使从熔融玻璃成形的平板玻璃退火而得的热收缩率为35ppm以下的平板玻璃实施再加热后退火的热处理，将所述热收缩率降低到10ppm以下，所述热处理以比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行。

(第十一方式)根据第一方式至第十方式中任一个方式所记载的平板玻璃的制造方法，其中，所述平板玻璃用作液晶显示器用玻璃基板，有机EL(Electro-Luminescence)显示器用玻璃基板、或者使用LTPS(LowTemperaturePoly-silicon)薄膜半导体的显示用玻璃基板。

(第十二方式)一种平板玻璃制造装置，其特征在于，包括：成形体，使熔融玻璃成形为平板玻璃；冷却装置，通过使成形的平板玻璃退火而制造热收缩率在35ppm以下的平板玻璃；以及再退火装置，对所述退火的平板玻璃实施再加热后退火的热处理，将所述热收缩率降低到10ppm以下，所述热处理在比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行。

(第十三方式)根据第十二方式所记载的平板玻璃制造装置，所述平板玻璃用作液晶显示器用玻璃基板、有机EL(Electro-Luminescence)显示器用玻璃基板、或者使用LTPS(LowTemperaturePoly-silicon)薄膜半导体的显示用玻璃基板。

此外，热收缩率用以下的方法测量。

从平板玻璃切出规定尺寸的长方形的实验片，测量长边两端部间的长度。接着，在短边中央部把切出的实验片切断为两半，得到两个玻璃样本。从两个玻璃样本的一端在相同距离的位置放入划线。将其中的一个玻璃样本从室温(20℃)以10℃/分钟的升温速度升温，在升温到450℃后，在450℃下放置1小时，其后，以10℃/分钟降温到室温。其后，使加热的一个玻璃样本和未加热的另一个玻璃样本的一端对齐，测量两个划线的位置偏移距离，设该位置偏移距离为热收缩量。热收缩量用激光显微镜等测量。该热收缩量使用热处理前的玻璃样本的长度，用以下的式子来求出热收缩率。设该玻璃样本的热收缩率为平板玻璃的热收缩率。

热收缩率(ppm)＝(热收缩量)/(热处理前的玻璃样本的长度)×10⁶

发明效果

依据上述的平板玻璃的制造方法及平板玻璃制造装置，能制作可用于高精细显示器的面板的、热收缩率低的平板玻璃，而不降低产率，不使平板玻璃的制作变难。

附图说明

图1是本实施方式的平板玻璃制造方法的流程图。

图2是示出在平板玻璃的制造方法中使用的平板玻璃制造装置的示意图。

图3是成形装置的概要的概要图(截面图)。

图4是成形装置的概要的概要图(侧视图)。

图5是示出平板玻璃的规定高度位置中的温度分布的图。

图6是说明在平板玻璃的制造方法中进行的再退火工序的热处理的图。

图7是示出本实施方式中的再退火工序的热处理的温度履历的一个例子的图。

图8是示出与图6所示的热处理不同的方式的例子的图。

具体实施方式

(平板玻璃的制造方法的概要)

本实施方式的平板玻璃的制造方法通过进行对从熔融玻璃成形的平板玻璃进行退火的冷却工序，制造热收缩率为35ppm以下，优选为30ppm以下的平板玻璃。其后，进行再退火工序，对退火的平板玻璃进一步实施使退火的平板玻璃再加热后退火的热处理，使热收缩率降低到10ppm以下。该再退火工序在比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行。下面，将比平板玻璃的应变点低70℃的温度表示为平板玻璃的应变点(℃)-70(℃)。

在本说明书中，称形成半导体薄膜等的薄膜前的玻璃板为平板玻璃，称在表面形成薄膜的玻璃板为玻璃基板。因此，平板玻璃是薄膜形成前的原板。

在本实施方式中，在平板玻璃的冷却工序中，冷却平板玻璃使得热收缩率为35ppm以下，并选择玻璃组成使得平板玻璃为具有在成形工序中不失透的程度的失透温度的玻璃。然而，具有这样的玻璃组成的平板玻璃的热收缩率不满足高精细显示器用的玻璃基板所要求的热收缩率。因此，在本实施方式中，在平板玻璃的应变点(℃)-70(℃)以下的温度进行再退火工序。

在现有的再退火工序中，加热平板玻璃到退火点或者应变点以上来进行热处理，故热处理后的平板玻璃的热收缩率降低到满足高精细显示器用玻璃基板所要求的热收缩率的程度。然而，上述再退火工序需要长时间，导致平板玻璃的生产效率下降。此外，在现有的再退火工序中，平板玻璃例如在从平板玻璃的应变点到达到退火点的温度范围内进行再加热，故在冷却工序中，调整平板玻璃的平均冷却速度而使热收缩率为35ppm以下的处理是浪费的。此外，在再退火工序中，在从平板玻璃的应变点到达到退火点的温度范围内进行再加热、并随后退火时，存在难以高效且均匀地冷却平板玻璃的面内温度，从而导致平板玻璃的变形或翘曲恶化之类的问题。

因此，优选通过有效地使用调整平板玻璃的冷却工序而降低了热收缩率的平板玻璃来高效地进行再退火工序，来降低热收缩率(成为10ppm以下)。本实施方式包括对冷却的平板玻璃进一步在例如平板玻璃的应变点(℃)-70(℃)以下的温度进行热处理的再退火工序。在平板玻璃的应变点(℃)-70(℃)以下的温度的热处理中，产生因平板玻璃的冷却工序中的热履历而下降的热收缩率，并且，玻璃从当前具有的热收缩率，由于热处理而降低热收缩率。因此，能有效利用冷却的平板玻璃的35ppm以下的热收缩率，通过本实施方式的再退火工序高效地降低到10ppm以下。此外，设热处理的温度为平板玻璃的应变点(℃)-70(℃)以下的温度，故与现有的相比，能缩短热处理的升温时间，再退火工序的时间缩短成为可能。因此，能提高热收缩率极低的平板玻璃的生产效率。此外，能抑制在再退火工序中产生的上述的平板玻璃的变形或翘曲的恶化。

如上所述，通过调整冷却工序来降低热收缩率并进行再退火工序，故不需要使用失透温度高的玻璃组成。因此，能制作难以产生失透的、可用于高精细显示器的面板的、热收缩率低的平板玻璃。以下，详细说明本实施方式的平板玻璃制造方法。

(平板玻璃制造方法及平板玻璃制造装置)

在本实施方式的平板玻璃制造方法中，使用溢流下引法制造平板玻璃。以下，参照附图说明平板玻璃制造方法。

参照图1及图2，说明平板玻璃制造方法所包括的多个工序及进行平板玻璃制造方法的平板玻璃制造装置100。图1是本实施方式的平板玻璃制造方法的流程图，图2是示出进行平板玻璃制造方法的平板玻璃制造装置。

如图1所示，平板玻璃制造方法主要包括熔融工序S1、澄净工序S2、成形工序S3、冷却工序S4、切断工序5以及再退火工序6。

熔融工序S1是熔融玻璃的原料的工序。玻璃的原料被调制成期望的玻璃组成后，投入到熔融装置11。玻璃的原料在熔融装置11中熔融，成为熔融玻璃FG。熔融温度根据玻璃的种类而调整。在本实施方式中，加热到使熔融工序S1中的熔融玻璃FG的最高温度为1500℃～1630℃。熔融玻璃FG通过上游管道23送至澄净装置12。

澄净工序S2是进行熔融玻璃FG中的气泡的除去的工序。在澄净装置12内除去了气泡的熔融玻璃FG，其后通过下游管道24送至成形装置40。

成形工序S3是将熔融玻璃FG成形为片状的玻璃(平板玻璃)SG的工序。具体地，熔融玻璃FG连续地供给到成形装置40所包括的成形体41(参照图3)后，从成形体41溢流。溢流的熔融玻璃FG沿成形体41的表面流下。熔融玻璃FG其后在成形体41的下端部41a(参照图3)合流并成形为平板玻璃SG。

冷却工序S4是对平板玻璃SG进行退火的工序。玻璃片经过冷却工序S4而冷却到接近室温的温度。此外，平板玻璃SG的厚度(板厚)、平板玻璃SG的翘曲量以及平板玻璃SG的平面变形、平板玻璃SG的热收缩率的值根据冷却工序S4中的冷却的状态而决定。

切断工序S5是将温度接近室温的平板玻璃SG在切断装置90中切断为规定尺寸的工序。

再退火工序S6是对退火并切断的平板玻璃SG实施再加热后退火的热处理，而使热收缩率降低到10ppm以下的工序。再退火工序S6是在将平板玻璃SG切断为规定尺寸后，对层叠多块的平板玻璃SG的平板玻璃SG的层叠体整体地进行热处理的离线工序。在本实施方式中，是对平板玻璃SG的层叠体进行热处理的方式，但也可以是如后述那样，进行按块方式对切断后尺寸整齐的平板玻璃SG进行热处理的方式。

此外，将在切断工序S5中切断为规定尺寸的平板玻璃SG(玻璃板PG)供给到再退火工序。由此，得到热收缩率为10ppm以下的平板玻璃SG。其后，经过端面加工等的工序，形成最终制品的平板玻璃。最终制品的平板玻璃在打包后运送到面板制造商等。面板制造商在平板玻璃的表面形成元件作为显示器用的玻璃基板，制造显示器。

以下，参照图3～图5说明平板玻璃制造装置100包括的成形装置40的结构。此外，本实施方式中，平板玻璃SG的宽度方向意为，作为平板玻璃SG的表面的面内方向的、与平板玻璃SG流下的方向(流动方向)正交的方向，即水平方向。

图3及图4示出成形装置40的概要结构。图3是成形装置40的截面图。图4是成形装置40的侧视图。

成形装置40具有平板玻璃SG通过的通路以及包围通路的空间。包围通路的空间例如由成形体室20、第一冷却室30及第二冷却室80构成。设于第一冷却室30、第二冷却室80及各个冷却室的加热器等的各装置，构成通过对成形的平板玻璃进行退火来制造热收缩率为35ppm以下的平板玻璃的冷却装置。

成形体室20是将从上述的澄净装置12送来的熔融玻璃FG成形为平板玻璃SG的空间。在成形体室20内设置成形体41。成形体41通过使熔融玻璃FG溢流来将熔融玻璃FG成形为片状的玻璃(平板玻璃SG)。如图3所示，成形体41具有截面形状为近似五角形的形状(类似楔形的形状)。近似五角形的前端相当于成形体41的下端部41a。

此外，成形体41在第一端部具有流入口42(参照图4)。在成形体41的上表面形成槽43。流入口42与上述的下游管道24连接，从澄净装置12流出的熔融玻璃FG从流入口42流入槽43中。流入成形体41的槽43的熔融玻璃FG从成形体41的一对顶部41b、41b溢流，沿成形体41的一对侧面(表面)41c、41c流下。其后，熔融玻璃FG在成形体41的下端部41a合流，成为平板玻璃SG。

成形体室20的平板玻璃SG的下游侧的壁是分隔部件50。分隔部件50是截断从成形体室20到第一冷却室30的热移动的绝热材。分隔部件50通过分隔熔融玻璃FG的合流点的上侧气氛及下侧气氛，截断从分隔部件50的上侧到下侧的热移动。

第一冷却室30是配置在成形体室20的下方、用于调整平板玻璃SG的厚度及翘曲量的空间。在第一冷却室30中，执行后述的第一冷却工序S41的一部分。在第一冷却室30中，冷却平板玻璃SG的中心部C的温度比退火点高的状态下的平板玻璃SG。平板玻璃SG的中心部C是平板玻璃SG的宽度方向的中心部。在第一冷却室30中，平板玻璃SG的中心部C的温度处于第一温度区域及第二温度区域。第一温度区域是平板玻璃SG的中心部C的温度从比软化点高的温度到软化点附近为止的温度区域。此外，第二温度区域是平板玻璃SG的中心部C的温度从软化点附近到退火点附近为止的温度区域。平板玻璃SG在通过第一冷却室30内后，通过后述的第二冷却室80内。

在第一冷却室30设置冷却辊51和温度调整单元60。冷却辊51在第一冷却室30内配置在分隔部件50的正下方。此外，冷却辊51配置在平板玻璃SG的厚度方向两侧且平板玻璃SG的宽度方向两侧。配置在平板玻璃SG的厚度方向两侧的冷却辊51成对动作。与冷却辊51接触的平板玻璃SG的侧部R、L的粘度为规定值(具体而言，10^9.0泊)以上。这里，平板玻璃SG的侧部R、L是平板玻璃SG的宽度方向的两端部的区域，具体而言，是指从平板玻璃SG的宽度方向的边缘朝向平板玻璃SG的中心部C、平板玻璃SG的宽度方向200mm以内的范围。

冷却辊51由驱动电机旋转驱动。冷却辊51冷却平板玻璃SG的侧部R、L，还具有将平板玻璃SG引到下方的功能。

温度调整单元60是设于第一冷却室30内、将平板玻璃SG冷却到退火点附近的单元。温度调整单元60处于分隔部件50的下方，配置在第二冷却室80的顶板80a的上方。温度调整单元60冷却平板玻璃SG，使得平板玻璃SG的中心部C的温度达到退火点附近。

第二冷却室80是配置在成形体室20的下方、调整平板玻璃SG的翘曲、热收缩率及变形值的空间。在第二冷却室80设有下拉辊81a～81g和加热器82a～82g。在第二冷却室80中，执行后述的第一冷却工序S41的一部分、第二冷却工序S42、第三冷却工序S43及第四冷却工序S44。在第二冷却室80中，通过第一冷却室30内的平板玻璃SG，冷却到使其中心部C的温度经过退火点、应变点，至少到达比应变点低200℃的温度附近。第三冷却工序S43是进行中心部C的温度从应变点到比应变点低100℃的温度附近的温度区域中的冷却的工序，第四冷却工序S44是从比应变点低100℃的温度附近到比应变点低200℃的温度附近进行冷却的工序。

在第二冷却室80中，平板玻璃SG可冷却到室温附近的温度。此外，第二冷却室80的内部可由绝热部件80b划分为多个空间。多个绝热部件80b在多个下拉辊81a～81g的各个之间，配置在平板玻璃SG的厚度方向的两侧。由此，能以更好精度进行平板玻璃SG的温度管理。

下拉辊81a～81g将通过第一冷却室30内的平板玻璃SG向平板玻璃SG的流动方向下拉。

加热器82a～82g设于第二冷却室80的内部，调整第二冷却室80的内部空间的温度。具体而言，加热器82a～82g沿平板玻璃SG的流动方向及平板玻璃SG的宽度方向配置多个。例如，沿宽度方向配置的加热器分别对平板玻璃SG的中央区域CA和平板玻璃SG的侧部R、L进行温度控制。加热器82a～82g利用后述的控制装置91控制输出。由此，控制通过第二冷却室80内部的平板玻璃SG的附近的气氛温度。通过利用加热器82a～82g控制第二冷却室80内的气氛温度，来进行平板玻璃SG的温度控制。

此外，在平板玻璃SG的附近也可设置检测气氛温度的未图示的气氛温度检测单元(在本实施方式中，热电偶)。例如，多个热电偶配置在平板玻璃SG的流动方向及平板玻璃SG的宽度方向。例如，热电偶分别检测平板玻璃SG的中心部C的温度和平板玻璃SG的侧部R、L的温度。加热器82a～82g的输出基于热电偶检测的气氛温度来控制。

在第二冷却室80的平板玻璃SG的流动方向的下游侧设置切断装置90。切断装置90将在第二冷却室80内冷却到室温附近的温度的平板玻璃SG切断成规定尺寸。由此，平板玻璃SG例如成为适于规定显示器的平板玻璃。此外，切断装置也可不一定设置在第二冷却室80的正下方。

在本实施方式的平板玻璃制造方法中，冷却工序S4由多个冷却工序S41、S42、S43、S44组成。具体而言，沿平板玻璃SG的流动方向依次执行第一冷却工序S41、第二冷却工序S42、第三冷却工序S43及第四冷却工序S44。对第一冷却工序S41、第二冷却工序S42、第三冷却工序S43及第四冷却工序S44如下所述地管理温度分布或者平均冷却速度，在第一冷却工序S41中主要能降低平板玻璃SG的翘曲，在第二冷却工序S42中主要能降低平板玻璃SG的内部变形及热收缩率，在第三冷却工序S43中，主要能降低平板玻璃SG的热收缩率，在第四冷却工序S44中，主要能降低平板玻璃SG的翘曲。

平板玻璃SG的温度通过控制平板玻璃SG的气氛温度来管理。此外，平板玻璃SG的温度可使用平板玻璃SG的温度的实测值，此外，也可使用基于由加热器82a～82g控制的平板玻璃SG的气氛温度而模拟算出的值。在各冷却工序S41～S44中，通过按规定平均冷却速度冷却平板玻璃SG，来进行平板玻璃SG的流动方向的温度管理。这里，规定平均冷却速度是与各冷却工序S41～S44对应的冷却速度，平均冷却速度是平板玻璃SG的中央区域CA的温度变化的量除以该温度变化所需时间的值。以下，如无特别说明，平均冷却速度原则上是指平板玻璃SG的中央区域CA中的平均的冷却速度。中央区域CA是包括板厚均匀的对象部分的区域，是包括中心部C、从平板玻璃SG的两侧部R、L偏平板玻璃SG的宽度方向内侧的区域，是平板玻璃SG的宽度方向的宽度中、从平板玻璃SG的宽度方向的中心到宽度的一半的例如85％以内的范围的区域。中心部C是指平板玻璃SG的宽度方向的中心位置。

为了高效降低在高精细显示器的制造过程的热处理工序中产生的平板玻璃的热收缩，优选全部冷却工序S41～S44的平均冷却速度中的第三冷却工序S43的冷却速度(第三平均冷却速度)最低。即，第三冷却工序S43的平均冷却速度(第三平均冷却速度)优选比第二冷却工序S42的平均冷却速度(第二平均冷却速度)低。此外，为了不降低平板玻璃的生产效率，优选全部冷却工序S41～S44的冷却速度中、第一冷却工序S41的冷却速度(第一平均冷却速度)最高。此外，第四冷却工序S44中的平均冷却速度(第四平均冷却速度)优选比第一平均冷却速度低且比第二平均冷却速度高。即，关于全部冷却工序S41～S44的平均冷却速度，优选第一平均冷却速度＞第四平均冷却速度＞第二平均冷却速度＞第三平均冷却速度的关系式成立。由此，能制造降低了高精细显示器的制造过程的热处理工序中的平板玻璃的热收缩的平板玻璃，而不降低生产效率。

图5示出平板玻璃SG的规定高度位置的宽度方向的温度分布T1、T3、T5、T6、T7、T9。此外，也可使用温度分布T2、T4、T8。在图5中，省略温度分布T2、T4、T8。以下，简称平板玻璃SG的侧部R、L为侧部R、L。

第一冷却工序S41是将在成形体41的正下方合流的熔融玻璃冷却到中心部C的温度达到退火点的工序。退火点是粘度为10¹³泊(1泊＝0.1Pa·秒)时的温度。具体而言，在第一冷却工序S41中，例如，将中心部C的温度为1100℃～1300℃的平板玻璃SG冷却到中心部C的温度达到退火点。这里“冷却到达到退火点”中的退火点，包括退火点附近。退火点附近可以是例如退火点(℃)±15(℃)之间的温度范围，即，退火点(℃)+15(℃)至退火点(℃)-15(℃)的温度范围。在第一冷却工序S41中，基于第一温度分布TP1、第三温度分布TP3、第五温度分布TP5进行平板玻璃SG的温度管理。以下，详细说明在第一冷却工序S41中执行的各温度分布TP1、第三温度分布TP3、第五温度分布TP5、和第一冷却工序S41的冷却速度(第一平均冷却速度)。

第一温度分布TP1是在平板玻璃SG的最上游实现的温度分布(参照图5)。第一温度分布TP1中平板玻璃SG的中央区域CA的温度是均匀的，平板玻璃SG的侧部R、L是比平板玻璃SG的中央区域CA的温度低、在上具有凸起的分布。这里，中央区域CA的温度是均匀的，是指中央区域CA的温度包括在规定温度区域内。规定温度区域是基准温度(℃)±20(℃)之间的范围。基准温度是中央区域CA的宽度方向的平均温度。

第一温度分布TP1通过控制第一冷却室30内的冷却辊51及温度调整单元60来实现。平板玻璃SG的侧部R、L的温度冷却到比中央区域CA的温度低规定温度(例如，200℃～250℃)的温度。

第三温度分布TP3是在第一温度分布TP1后实现的温度分布(参照图5)。

第三温度分布TP3的中央区域CA的中心部C的温度最高，侧部R、L的温度最低。此外，在第三温度分布TP3中，温度从中心部C向侧部R、L缓缓变低。此外，第一温度分布TP1及第三温度分布TP3通过控制第一冷却室30内的温度调整单元60来实现。

第五温度分布TP5是在第三温度分布TP3后实现的温度分布(参照图5)。第五温度分布TP5还是中心部C的温度最高，侧部R、L的温度最低。此外，第五温度分布TP5也形成温度从中心部C向侧部R、L缓缓变低、上面具有凸起的平缓的抛物线。

此外，第五温度分布TP5通过控制第二冷却室80内的加热器82b来实现。

在第一冷却工序S41中，与中央区域CA的气氛温度相比，以更高的平均冷却速度冷却侧部R、L的气氛温度。即，与中央区域CA的平均冷却速度(第一平均冷却速度)相比，侧部R、L的平均冷却速度(第一侧部冷却速度)更高。

第一冷却工序S41中的中央区域CA的第一平均冷却速度是5.0℃/秒～50℃/秒。第一平均冷却速度比5.0℃/秒低时，生产性变差。第一平均冷却速度超过50℃/秒时，在平板玻璃SG中有时产生裂纹。此外，平板玻璃SG的翘曲量及板厚偏差也恶化。优选，中央区域CA的第一平均冷却速度是8.0℃/秒～16.5℃/秒。此外，第一冷却工序S41中的第一侧部冷却速度是5.5℃/秒～52.0℃/秒。优选第一侧部冷却速度是8.3℃/秒～17.5℃/秒。

第二冷却工序S42是将第一冷却工序S41后的平板玻璃SG冷却到中心部C的温度达到应变点的工序。这里，应变点是粘度为10^14.5泊的温度。这里“冷却到达到应变点”中的应变点包括应变点附近。这里应变点附近是例如应变点±25℃之间的温度范围，或者可以是应变点±15℃之间的温度范围。

在第二冷却工序S42中，基于第六温度分布TP6进行平板玻璃SG的温度管理。以下，说明在第二冷却工序S42中执行的温度分布TP6以及第二冷却工序S42的冷却速度(第二平均冷却速度)。

第六温度分布TP6中，平板玻璃SG的宽度方向的气氛温度(从宽度方向的侧部R、L直到中心部C的气氛温度)是均匀的。换言之，第六温度分布TP6在平板玻璃SG的宽度方向中，侧部R、L周边的气氛温度和中心部C周边的气氛温度的温度差最小，侧部R、L周边的气氛温度和中心部C周边的气氛温度是同程度的温度分布。

这里，均匀是指侧部R、L周边的气氛温度和中央区域CA周边的气氛温度包括在规定温度区域内。规定温度区域是基准温度±5℃之间的温度范围。基准温度是平板玻璃SG的宽度方向的平均温度。

此外，第六温度分布TP6通过控制第二冷却室80内的加热器82c来实现。此外，第六温度分布TP6用包括应变点的规定温度区域实现。规定温度区域是从“(退火点+应变点)/2”到“应变点(℃)-25(℃)”为止的区域。第六温度分布TP6在包括应变点的范围的至少一点(流动方向中的一部位)中实现。

在第二冷却工序S42中，控制平板玻璃SG的中央区域CA的气氛温度和侧部R、L的气氛温度，使得平板玻璃SG的宽度方向的气氛温度大致固定。即，与侧部R、L的平均冷却速度(第二侧部冷却速度)相比，中央区域CA的平均冷却速度(第二平均冷却速度)稍高。

第二冷却工序S42中的平板玻璃SG的中央区域CA的温度的平均冷却速度(第二平均冷却速度)优选为5.0℃/秒以下，更优选为0.8℃/秒～5.0℃/秒。第二平均冷却速度比0.8℃/秒小时，生产性容易变差。此外，第二平均冷却速度超过5.0℃/秒时，平板玻璃SG的精密的温度控制变难，平板玻璃SG的热收缩率容易变大。此外，平板玻璃SG的翘曲及变形容易变大。

第三冷却工序S43是将第二冷却工序S42后的平板玻璃SG冷却到比应变点低100℃的温度、即应变点(℃)-100(℃)的工序。这里“冷却到(应变点(℃)-100(℃))”中的(应变点(℃)-100(℃))包括(应变点(℃)-100(℃))的附近。(应变点(℃)-100(℃))的附近例如可以是(应变点(℃)-100(℃))±15(℃)之间的温度范围。第三冷却工序S43中与第二冷却工序S42同样，基于第六温度分布TP6进行平板玻璃SG的温度管理。第三冷却工序S43中的平板玻璃SG的中央区域CA的温度的平均冷却速度(第三平均冷却速度)比第二平均冷却速度低，优选为5℃/秒以下。通过使第三平均冷却速度比第二平均冷却速度低，能降低在显示器的面板制造工序中的平板玻璃的热处理时(例如，450℃～600℃)中产生的热收缩。此外，第三平均冷却速度超过5℃/秒时，也存在在平板玻璃SG产生裂纹的情况，平板玻璃SG的翘曲也变差。更优选第三平均冷却速度是0.5℃/秒～4.0℃/秒。

第四冷却工序S44是将处于应变点(℃)-100(℃)附近、例如((应变点(℃)-100(℃))±15(℃)之间的温度范围)的温度的平板玻璃SG冷却到应变点(℃)-200℃附近的温度的工序。这里，应变点(℃)-200℃附近的温度可以是例如(应变点(℃)-200(℃))±15(℃)之间的温度范围内的温度。

在第四冷却工序S44中，基于第七温度分布TP7至第九温度分布TP10进行平板玻璃SG的温度管理。

第七温度分布TP7至第九温度分布TP9是在第六温度分布TP6后实现的温度分布(参照图5)。具体而言，在上游实现第七温度分布TP7，在下游侧实现第九温度分布TP9。

第七温度分布TP7至第九温度分布TP9中，中央区域CA的中心部C的温度最低，侧部R、L的温度最高。此外，在第七温度分布TP7至第九温度分布TP10中，温度从中心部C向侧部R、L缓缓变高。即，第七温度分布TP7至第九温度分布TP9形成在下方具有凸起的平缓的抛物线。

此外，在第七温度分布TP7至第九温度分布TP9的中心部C和侧部R、L之间的温度差沿平板玻璃SG的流动方向缓缓变大。即，第九温度分布TP9是比第七温度分布TP7大的抛物线。在第七温度分布TP7至第九温度分布TP9中，中心部C比侧部R、L更快冷却。

此外，第七温度分布TP7至第九温度分布TP9通过控制第二冷却室80内的加热器82d～82g来实现。

在第四冷却工序S44中，以比侧部R、L的气氛温度更快的速度冷却中央区域CA的气氛温度。即，与侧部R、L的平均冷却速度(第四侧部冷却速度)相比，中央区域CA的平均冷却速度(第四平均冷却速度)变高。

此外，在第四冷却工序S44中，随着朝向平板玻璃SG的流动方向的下游侧，增大平板玻璃SG的侧部R、L的气氛温度的冷却速度和中央区域CA的气氛温度的冷却速度之差。

第四冷却工序S44中的第四平均冷却速度优选为1.5℃/秒～20℃/秒。第四平均冷却速度比1.5℃/秒低时，生产性变差。此外，第四平均冷却速度超过20℃/秒时，有在平板玻璃SG产生裂纹的情况，平板玻璃SG的翘曲也变差。优选第四平均冷却速度是2.0℃/秒～15℃/秒。此外，第四冷却工序S44中的第四侧部冷却速度是1.3℃/秒～13℃/秒。优选第四侧部冷却速度是1.5℃/秒～8.0℃/秒。

平板玻璃SG的流动方向的冷却速度影响在平板玻璃SG的450℃～600℃这一温度区域的热处理时产生的热收缩率。特别是，第三冷却工序S43的平均冷却速度对上述热收缩率的影响较大。因此，通过在四个冷却工序S41～S44中、使第三冷却工序S43的平均冷却速度最低，能有效地减少平板玻璃SG的上述热收缩率。由此，能提高平板玻璃SG的生产量，并能得到具有35ppm以下的热收缩率的平板玻璃SG。

此外，以平板玻璃SG的中心部C的温度在退火点至应变点的温度范围进行的第二冷却工序、及平板玻璃SG的中心部C的温度在应变点(℃)至应变点(℃)-100(℃)的温度范围进行的第三冷却工序作为一个冷却工序时的中心部C的平均冷却速度，即，用退火点至应变点(℃)-100(℃)的温度变化除以该温度变化所需时间的值是0.5～5.0℃/秒，但更优选使平板玻璃SG的热收缩率为35ppm以下。即，在冷却工序中，中心部C的温度从退火点到(平板玻璃SG的应变点(℃)-100(℃))为止，优选以平均冷却速度0.5～5.0℃/秒冷却中央区域CA。由此，能将平板玻璃SG的热收缩率设为35ppm以下。

而且，优选第二平均冷却速度和第三平均冷却速度的速度比(第三平均冷却速度/第二平均冷却速度)为0.2以上、不足1。

速度比不足0.2时，生产性容易变差。更优选速度比为0.3以上、不足0.8，进一步优选为0.4以上、不足0.6。

此外，第二平均冷却速度容易继第三平均冷却速度之后对上述热收缩率产生影响。在本实施方式中，优选使进行从退火点到应变点的范围内的平板玻璃SG的冷却的第二冷却工序S42中的第二平均冷却速度，比第一冷却工序S41及第四冷却工序S44的各平均冷却速度低。由此，能降低热收缩率。

能将用如上的平板玻璃制造方法得到的平板玻璃SG的热收缩率设为35ppm以下，例如8～35ppm。此外，例如，优选设热收缩率为8～30ppm，更优选设为10～25ppm。然而，该热收缩率未充分满足高精细显示器用玻璃基板所要求的热收缩率。因此，在冷却工序S4后供给平板玻璃SG到再退火工序。再退火工序能输送到远离进行平板玻璃的制造的生产线的场所来进行，也能回收制造的平板玻璃并当场进行。此外，再退火工序能在平板玻璃的制造后立即进行，也能在保管规定期间后进行。

(再退火工序的第一方式)

图6是说明本实施方式的第一方式的再退火工序的热处理的图。在第一方式的再退火工序S6中，在层叠切断工序S5中切断为规定尺寸的多个平板玻璃SG的平板玻璃SG的层叠体210(以下，称层叠体210)承载到托盘220的状态下，进行平板玻璃SG的热处理。

托盘220包括基台部221、承载部222和背面板223。

基台部221、承载部222及背面板223例如由钢铁等的金属组成，利用溶接等一体地形成。

基台221是近似长方形的板状，设有用于在端面插入叉车的爪的开口221a。

承载部222固定于基台221的上部，在承载部222的上部承载平板玻璃SG的层叠体210。这里，承载部222的上表面不需要完全水平。例如，在如图6所示那样斜立平板玻璃SG的情况下，可根据平板玻璃SG的斜立角度倾斜承载部222的上表面。

背面板223是近似长方形的板状，在基台221的上部中，在承载部222的后端固定成与承载部222大致垂直。背面板223支撑承载于承载部222的上部的层叠体210的层叠方向的后端部。这里，背面板223不必完全垂直。例如，如图2所示，在斜立平板玻璃SG的情况下，可根据平板玻璃SG的斜立角度倾斜背面板223。

托盘220及为对托盘220进行热处理而放入的热处理室和设于该热处理室的热源，构成实施对退火的平板玻璃再加热后进行退火的热处理从而使热收缩率降到10ppm以下的再退火装置。

层叠体210具有多个平板玻璃SG和多个片体212。

片体212夹在平板玻璃SG彼此之间。在层叠体210中，按片体212、平板玻璃SG、片体212、平板玻璃SG、……片体212的顺序堆积。片体212担当防止层叠的平板玻璃SG彼此的密合的任务。片体212能使用具有耐受对层叠体210进行热处理时的温度的耐热性的材料。片体212具有比平板玻璃SG高的热传导率，在后述的热处理中能使多个平板玻璃SG的热处理的程度一致，就这一点来说是优选的。

承载于托盘220的层叠体210在承载于托盘220的状态下进行热处理。具体而言，将承载于托盘220的层叠体210放入热处理室并加热气氛。由此，使平板玻璃SG的热收缩率比在冷却工序S4中冷却的平板玻璃SG的热收缩率低，为10ppm以下。这样的热处理在平板玻璃SG的应变点(℃)-70(℃)以下的温度进行。通过采用这样的温度的热处理，能使平板玻璃SG当时具有的35ppm以下的热收缩率因热处理而进一步降低。

在热处理中，将气氛温度按设定的升温速度从室温升到设定了气氛温度的最高温度。最高温度维持设定的时间。其后，按设定的降温速度将气氛温度降到室温附近。因此，热处理的最高温度维持设定的时间，故层叠体210的平板玻璃SG的温度也成为最高温度。该最高温度是应变点(℃)-70(℃)以下。而且，该最高温度优选为(平板玻璃SG的应变点(℃)-300(℃))至(平板玻璃SG的应变点(℃)-100(℃))，更优选为(平板玻璃SG的应变点(℃)-250(℃))至(平板玻璃SG的应变点(℃)-130(℃))。最高温度例如优选为560℃以下，更优选为360℃～560℃，进一步优选为410℃～530℃。

在层叠平板玻璃进行再退火时，为了保持生产性并充分降低平板玻璃的热收缩率，上述热处理的上述升温速度优选为0.2℃/分钟～10℃/分钟，更优选为0.3℃/分钟～5℃/分钟。此外，为了保持生产性并充分地降低平板玻璃的热收缩率，上述降温速度优选为0.05℃/分钟～2℃/分钟，更优选为0.1℃/分钟～1.5℃/分钟。此外，优选使对热收缩率的影响更大的降温速度比升温速度慢。

此外，上述最高温度的维持时间优选为4～120小时，更优选为8～24小时。

在第一方式中，包括将退火的平板玻璃SG切断为规定尺寸的切断工序，再退火工序在切断工序后进行。此时，对层叠切断为规定尺寸的多个块的平板玻璃SG而形成的层叠体进行热处理，但也可不层叠切断为规定尺寸的平板玻璃SG而一块块地实施再退火工序。

此外，也可将成形并退火的平板玻璃SG输送到其他的场所进行再退火工序S6。在该情况下，通过在输送前的场所中对从熔融玻璃成形的平板玻璃SG进行退火来获得热收缩率为35ppm以下的平板玻璃SG。该平板玻璃SG在作为输送目的的其他的场所中，实施在再加热后进行退火的热处理，将热收缩率降到10ppm以下。此时，热处理在比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行。

(再退火工序的第二方式)

图7是示出与本实施方式的第一方式不同的第二方式中的再退火工序的热处理的温度履历的一个例子的图。在第二方式中，是对平板玻璃一块块进行热处理的块方式的再退火工序。优选使用图7所示的温度履历进行热处理。在该情况下，按规定温度进行热处理。规定温度例如是比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度。块方式的再退火工序如后述那样，可在将一块平板玻璃支撑于支撑部件的状态下进行热收缩，也可边输送一块平板玻璃边进行热处理。温度履历示出随未图示的热处理室内的热处理而变化的平板玻璃的中心位置中的温度履历。图中所示的温度Tm1＜Tm2＜Tm3＜Tm4，Tm1＝室温(例如，25℃)，Tm2＝第二中间温度(例如，200℃)，Tm3＝第一中间温度(例如，400℃)，Tm4＝热处理温度(例如，500℃)。

以下示出时间t0至时间t1中的加热工序、时间t1至时间t2的维持工序、时间t2至t5的第一至第三降温工序中的速度、时间的优选范围。Tm4例如在比应变点低70℃的温度以下。

(1)加热工序：t1-t0＝5分钟～20分钟，Tm4-Tm1＝400℃～600℃，升温速度S1＝(Tm4-Tm1)/(t1-t0)＝20℃/分钟～120℃/分钟，

(2)维持工序：t2-t1＝5分钟～120分钟，Tm4-Tm4＝0，速度S2＝(Tm4-Tm4)/(t2-t1)＝0℃/分钟，

(3)第一降温工序：t3-t2＝15分钟～100分钟，Tm4-Tm3＝50℃～150℃，降温速度S3(第一降温速度)＝(Tm4-Tm3)/(t3-t2)＝0.5℃/分钟～10℃/分钟

(4)第二降温工序：t4-t3＝10分钟～15分钟，Tm3-Tm2＝150℃～250℃，降温速度S4(第二降温速度)是(Tm3-Tm2)/(t4-t3)＝10℃/分钟～25℃/分钟，

(5)第三降温工序：t5-t4＝15分钟～100分钟，Tm2-Tm1＝50℃～150℃，降温速度S5(第一降温速度)＝(Tm2-Tm1)/(t5-t4)＝0.5℃/分钟～10℃/分钟。

这里，室温不限于25℃，例如是0℃～50℃，或者0℃～30℃。此外，热处理温度不限于500℃，是比应变点低70℃的温度以下的温度，是400℃～600℃的任意的温度，第一中间温度不限于400℃，是热处理温度-(50℃～150℃)的任意的温度。第二中间温度是150℃～250℃的范围的温度，可固定在200℃。此外，升温速度、降温速度是对平板玻璃整体进行升温、降温的平均速度。

在该情况下，如图7所示，在热处理中，优选包括：热处理工序，加热平板玻璃，使其达到作为比应变点低70℃的温度以下的温度、位于400℃～600℃的范围内的规定温度即热处理温度，并维持热处理温度；以及降温工序，在以0.5℃/分钟以上、不足10℃/分钟的第一降温速度，从热处理温度到比热处理温度低50℃～150℃的中间温度冷却平板玻璃后，以10℃/分钟以上、不足25℃/分钟的第二降温速度对平板玻璃退火。此时，优选在以第二降温速度冷却平板玻璃后，进一步以第三降温速度冷却平板玻璃至室温。就是说，优选第一降温速度比第二降温速度慢。

或者，再退火工序中的热处理温度优选为比形成在玻璃基板表面形成的薄膜时的加热处理的温度高250℃的温度以下，更优选比加热处理的温度高150℃的温度以下，进一步优选比加热处理的温度高80℃的温度以下。此外，再退火工序中的热处理温度优选比形成薄膜时的加热处理的温度低100℃的温度以上，更优选比形成薄膜时的加热处理的温度高。

此外，在设从进行热处理的热处理温度到比热处理温度低100℃的温度为止的平板玻璃的中心位置中的降温速度为第一降温速度，设从不足比热处理温度低100℃的温度到比热处理温度低300℃的温度为止的平板玻璃的中心位置中的降温速度为第二降温速度的情况下，优选第二降温速度比第一降温速度块。或者，在设从进行热处理的热处理温度到比热处理温度低50℃的温度为止的平板玻璃的中心位置中的降温速度为第一降温速度，设从不足比热处理温度低50℃的温度到比热处理温度低150℃的温度为止的平板玻璃的中心位置中的降温速度为第二降温速度的情况下，优选第二降温速度比第一降温速度快。

第一降温速度的优选范围是0.5℃/分钟以上15℃/分钟以下，优选0.5℃/分钟以上10℃/分钟以下。另一方面，第二降温速度的优选范围是8℃/分钟以上50℃/分钟以下，优选10℃/分钟以上20℃/分钟以下。

块方式的再退火工序S6可在用设于热处理室内的支撑部件从平板玻璃的下方支撑平板玻璃的状态下，进行平板玻璃的热处理，也可如图8所示那样进行热处理。图8是说明与图6所示的热处理不同的块方式方式的例子的图。如图8所示，切断为规定尺寸的多个平板玻璃SG也可以沿输送方向隔开间隔的方式下挂，由两条链带(输送带)21朝一个方向输送。

利用这样的第一、第二方式的再退火工序S6，能将平板玻璃SG的热收缩率降到10ppm以下，优选为5ppm以下，更优选为4ppm以下，进一步优选3ppm以下。此外，从进一步提高生产效率的观点来看，优选利用再退火工序S6将平板玻璃SG的热收缩率设为0.1～10ppm的范围，更优选为0.5～9ppm的范围，进一步优选为1～7ppm的范围。在本实施方式中，在平板玻璃SG的制造方法中，通过调整冷却工序S4中的平均冷却速度降低热收缩率，并进而在再退火工序S6中降低热收缩率，但就此时的冷却工序S4及再退火工序S6中的热收缩率的降低幅度，从能确保生产效率并降低热收缩率的角度来看，优选再退火工序S6中的热收缩率的降低幅度比冷却工序S4中的热收缩率的降低幅度大。冷却工序S4中的降低幅度变大时，需要延长冷却时间，生产效率下降。设冷却工序S4及再退火工序S6中的热收缩率的整体降低幅度为100％时，冷却工序S4优选为5～30％，更优选为10～25％。再退火工序S6优选为70～95％，更优选为70～95％。冷却工序S4中的降低幅度超过上述范围并变大时，需要延长冷却时间，生产效率下降。此外，因第一、第二方式的再退火工序S6，在平板玻璃SG中的面内的热收缩率的位置的偏差，能成为例如3ppm以下。平板玻璃SG中的面内的热收缩率的位置的偏差优选为2ppm以下，更优选为1ppm以下。

在本实施方式中，从不使平板玻璃SG失透的角度来看，优选平板玻璃SG的失透温度为1200℃以下。调整玻璃组成使得失透温度为1200℃以下时，与失透温度超过1200℃的玻璃组成相比，玻璃的应变点或退火点有变低的趋势，故热收缩率容易变大。这样，即使是热收缩率容易变大的玻璃组成，通过上述的冷却工序S4的平均冷却速度的调整，也能使热收缩率为35ppm以下，能使再退火工序S6的平板玻璃SG的热收缩率为10ppm以下。

此外，为了使平板玻璃SG不产生失透地提高生产性，失透温度优选为1180℃以下，优选为1100℃～1180℃。

此外，为了使热收缩率下降，平板玻璃SG的应变点(玻璃的粘度相当于10^14.5泊时的玻璃的温度)越高越好。然而，调整玻璃组成使得平板玻璃SG的应变点变高时，熔融温度或失透温度有变高的趋势。就是说，提高平板玻璃SG的应变点时，容易产生玻璃原料的未熔解或平板玻璃SG的失透之类的问题。因此，平板玻璃SG的玻璃的应变点可以是600℃～720℃，也可以是600℃～680℃。此外，平板玻璃SG的退火点(玻璃的粘度相当于10¹³泊时的玻璃的温度)可以是680℃～800℃，也可以是680℃～760℃。作为应变点为600℃～720℃的玻璃(优选600℃～680℃)的玻璃，或者退火点为680℃～800℃(优选680℃～760℃)的玻璃，与应变点超过720℃(优选680℃)的玻璃，或者退火点超过800℃(优选760℃)的玻璃相比，热收缩率容易变大。然而，即使应变点为600℃～720℃(优选600℃～680℃)，或者退火点为680℃～800℃(优选680℃～760℃)，也能通过上述的冷却工序S4的平均冷却速度的调整等，使热收缩率为35ppm以下，使再退火工序S6的平板玻璃SG的热收缩率为10ppm以下。

此外，为了不发生玻璃原料的未熔解或使平板玻璃SG发生失透地进一步提高生产性，应变点优选为600℃～720℃，更优选为650℃～680℃。此外，退火点优选为680℃～800℃，更优选为730℃～760℃。

此外，平板玻璃SG的密度可以是例如2.62g/cm³以下，优选为2.49g/cm³以下，更优选2.46g/cm³以下，进一步优选2.43g/cm³以下。平板玻璃SG的玻璃的从50℃到300℃的线性热膨胀系数可以是42×10^-7/℃以下，优选28×10^-7～39×10^-7/℃，更优选为28×10^-7～37×10^-7/℃，进一步优选30×10^-7～35×10^-7/℃。

作为具有这样的特性的平板玻璃SG的玻璃组成，按质量％显示来例示例如以下的玻璃组成。

包含：

SiO₂50～70％

B₂O₃0～18％

Al₂O₃10～25％

MgO0～10％

CaO0～20％

SrO0～20％

BaO0～10％

RO5～20％

(其中R是从Mg、Ca、Sr及Ba中选择的至少一种)，

R’₂O0％～2.0％

(其中R’是从Li、Na及K中选择的至少一种)。

在熔化玻璃中发生价数变动的金属氧化物的总计含有率并无特别限制，例如可含有0.05～1.5％。此外，优选基本上不包含As₂O₃、Sb₂O₃及PbO。

如以上那样，在本实施方式中，利用冷却工序S4降低热收缩率，并进行再退火工序S6进一步降低热收缩率，故不需要为了降低热收缩率而使用失透温度高的玻璃组成。特别是，在如本实施方式那样以溢流下引法成形平板玻璃SG的情况下，在平板玻璃SG中容易产生失透，故不应使用使失透温度提高的玻璃组成。在这一点上，本实施方式是有效的。这样，本实施方式能制造难以产生失透的、可用于高精细显示器的面板的低热收缩率的平板玻璃。

用本实施方式的平板玻璃制造方法制造的平板玻璃SG适于在玻璃表面形成薄膜的显示器用玻璃基板，特别地，适于液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器等的显示器用玻璃基板。这里，薄膜例如是TFT或彩色滤波片。此外，使用显示器用玻璃基板的显示器，除了显示器表面是平坦的平面面板显示器外，还包括作为有机EL显示器、液晶显示器的显示器表面弯曲的曲面显示器。作为高精细显示用玻璃基板，玻璃基板优选用作例如液晶显示器用玻璃基板、有机EL(Electro-Luminescence)显示器用玻璃基板、使用LTPS(LowTemperaturePoly-silicon)薄膜半导体、或者IGZO(Indium，Gallium，Zinc，Oxide)等的氧化物半导体的显示用玻璃基板。使用无碱玻璃或含有微量碱的玻璃作为显示器用玻璃基板。显示器用玻璃基板在高温时的粘性高。例如，具有10² _. ⁵泊的粘性的熔融玻璃的温度为1500℃以上。此外，无碱玻璃是基本不含碱金属氧化物(R₂O)的组成的玻璃。实际不含碱金属氧化物，是指除掉从原料等混入的杂质，不添加碱金属氧化物作为玻璃原料的组成的玻璃，例如，碱金属氧化物的含有量不足0.1质量％。此外，含微量碱玻璃包含0.1质量％～0.5质量％的R’₂O作为成分，优选包含0.2质量％～0.5质量％的R’₂O。这里，R’是从Li、Na及K中选择的至少一种，R’₂O是Li₂O、Na₂O、K₂O的总计含有量。

此外，在本实施方式中制造的平板玻璃SG的板厚为0.005mm～0.8mm，优选为0.01mm～0.5mm，更优选为0.01mm～0.2mm。

在本实施方式中，通过以慢的冷却速度进行成形工序后的平板玻璃SG的退火(冷却)，平板玻璃SG的热收缩率得到降低，通过进一步进行再退火工序，能高效地防止平板玻璃SG的板厚品质等的变差。以下，说明该点。

在成形工序S3后的冷却工序S4中，在假设要充分地降低平板玻璃SG的热收缩率的情况下，需要加长第二冷却室80(退火炉)并极为缓慢地冷却平板玻璃SG。在选择融合(溢流下引法)作为平板玻璃SG的成形的情况下，加长沿铅直方向延伸的第二冷却室80的路径，极大地减慢刚成形后的退火的速度，在成形工序S3～切断工序S5，或者直到作为之后工序的缠绕包装的工序为止，带状连续延伸的平板玻璃SG的长度变长，与此相伴，成形体41～切断装置90(或者进行缠绕包装的装置)为止的平板玻璃SG的总重量变重。这样平板玻璃SG的总重量变重时，在成形体41的下端融合之后的平板玻璃SG的移动速度(落下速度)受下游侧的平板玻璃SG的重量的影响而加速。这里，刚融合后的平板玻璃SG的温度高，粘度低到能拉伸的程度(例如，软化点以上)。因此，平板玻璃SG容易局部拉伸，使板厚品质等变差。

此外，在刚融合后使平板玻璃两侧部急剧冷却并固化的(提高粘度)情况下，仅在粘度低的平板玻璃SG的中央区域延展平板玻璃SG，产生厚度部分变得过薄这一问题。

而且，即使在刚融合后使平板玻璃SG的两侧部急剧冷却并固化，使平板玻璃SG不沿宽度方向收缩，但平板玻璃SG的移动速度(落下速度)加快，不能充分地冷却。因此，平板玻璃SG沿宽度方向收缩，产生玻璃板厚变得不均匀这一问题。

其他，如上所述，平板玻璃SG的长度变长时，在平板玻璃SG容易发生振动，加热器82a～82g之间的距离变动，产生平板玻璃SG的温度控制的精度下降这一问题。而且，平板玻璃SG的重量变重时，加到成形体41的平板玻璃SG的总荷重变大，故成形体41的变形(单元蠕变)的问题变得显著，在平板玻璃SG的宽度方向的板厚产生偏差这一问题变得显著。

相对于此，在本实施方式中，不需要加长第二冷却室80(退火炉)的路径从而极慢地冷却平板玻璃SG，故本实施方式能防止产生上述问题，能制造热收缩小的平板玻璃SG。

而且，不改变包括第二冷却室80的成形装置40的构成，难以改变成形工序S3后的冷却工序S4中的平板玻璃SG的冷却速度等。就是说，在冷却工序S4中，进行预先设定的热处理，但在例如寻求的热收缩率发生变化等情况下，在冷却工序S4中难以改变包括冷却速度的退火的条件，热处理的自由度低。在本实施方式中，除了冷却工序S4以外，还此外包括再退火工序S6，故对平板玻璃SG实施的热处理的自由度变高。

此外，作为高精细显示用玻璃基板，平板玻璃用作例如液晶显示器用玻璃基板、有机EL(Electro-Luminescence)显示器用玻璃基板、或者使用LTPS(LowTemperaturePoly-silicon)薄膜半导体的显示用玻璃基板。

(实施例1)

调制玻璃原料，使其成为SiO₂60.7％、B₂O₃11.5％、Al₂O₃17％、MgO2％、CaO5.6％、SrO3％、SnO₂0.2％的玻璃组成(质量％表示)，经过图1所示的工序得到平板玻璃SG。上述玻璃组成的应变点为660℃。设再退火工序S6的热处理的最高温度为平板玻璃的应变点(℃)-210(℃)，即450℃，设最高温度的维持时间为24小时。此外，在再退火工序S6中，对层叠了100块的平板玻璃SG的层叠体实施热处理。

再退火工序S6前的平板玻璃SG的热收缩率是18ppm。再退火工序S6后的平板玻璃SG的热收缩率是2ppm。该热收缩率满足用于高精细显示器面板的玻璃基板所要求的热收缩率。此外，在平板玻璃SG中不产生失透。由此，本实施方式的效果是明显的。

(实施例2)

调制玻璃原料，使其成为SiO₂60.7％、B₂O₃11.5％、Al₂O₃17％、MgO2％、CaO5.6％、SrO3％、SnO₂0.2％的玻璃组成(质量％表示)，经过图1所示的工序得到平板玻璃SG。上述玻璃组成中的应变点是660℃。此外，显示器面板制造工序中的薄膜形成温度是450℃。设再退火工序S6的热处理的最高温度为比薄膜形成温度高50℃的温度，即500℃，设最高温度的维持时间为10分钟。此外，再退火工序S6是一块块地进行热处理的块方式。此外，在设从进行热处理的热处理温度到比热处理温度低100℃的温度的平板玻璃的中心位置中的降温速度为第一降温速度，设从不足比热处理温度低200℃的温度到比热处理温度低300℃的温度的平板玻璃的中心位置中的降温速度为第二降温速度的情况下，第一降温速度为0.5℃/分钟，第二降温速度为10℃/分钟。再退火工序S6前的平板玻璃SG的平均热收缩率为18ppm，再退火工序S6后的平板玻璃SG的平均热收缩率为5ppm。此外，平板玻璃SG的面内的热收缩的位置的偏差为3ppm以下。

此外，除了将第一降温速度改为3℃/分钟，第二降温速度为13℃/分钟以外，与上述方法相同地制造的再退火工序S6后的平板玻璃SG的平均热收缩率为6ppm。此外，平板玻璃SG的面内的热收缩的位置的偏差为3ppm以下。

而且，除了将第一降温速度改为9.5℃/分钟，第二降温速度为24℃/分钟以外，与上述方法相同地制造的再退火工序S6后的平板玻璃SG的平均热收缩率为8ppm。此外，平板玻璃SG的面内的热收缩的位置的偏差为3ppm以下。

另一方面，除了将第一降温速度改为10℃/分钟，第二降温速度为5℃/分钟以外，与上述方法相同地制造的再退火工序S6后的平板玻璃SG的平均热收缩率为17ppm(比较例)。

这些实施例的热收缩率满足用于高精细显示器面板的玻璃基板所要求的热收缩率。此外，在平板玻璃SG中未产生失透。由此，本实施方式的效果变得明显起来。

以上，详细说明了本发明的平板玻璃制造方法及平板玻璃制造装置，但本发明并不限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内，当然可进行各种的改进、改变。

符号说明

11、熔融装置12、澄净装置

40、成形装置41、成形体

51、冷却辊60、温度调整单元

81a～81g、下拉辊82a～82g、加热器

90、切断装置100、平板玻璃制造装置

21、层叠体212、片体

220、托盘221、基台部

222、承载部223、背面板。

Claims (10)

1.一种平板玻璃的制造方法，所述平板玻璃是在用于实施加热处理而在表面形成薄膜的显示器用玻璃基板中使用的平板玻璃，所述平板玻璃的制造方法的特征在于，包括：

再退火工序，对使从熔融玻璃成形的平板玻璃退火而得的热收缩率为35ppm以下的平板玻璃进行再加热，通过在按规定温度进行热处理后进行退火，使所述热收缩率降低到10ppm以下，

所述规定温度是比形成所述薄膜的所述加热处理的温度高250℃的温度以下的温度，

(其中，所述热收缩率是使用升降温速度为10℃/分钟、在450℃下保持温度1小时而实施热处理后的玻璃的热收缩量，用下式求出的值：

热收缩率(ppm)＝(热处理后的玻璃样本的热收缩量/热处理前的玻璃样本的长度)×10⁶)。

2.一种平板玻璃的制造方法，其特征在于，包括：

成形工序，把熔融玻璃成形为平板玻璃；

冷却工序，通过对成形的平板玻璃退火制造热收缩率为35ppm以下的平板玻璃；以及

再退火工序，对退火的所述平板玻璃实施再加热后退火的热处理，使所述热收缩率降低到10ppm以下，

所述热处理在比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行，

(其中，所述热收缩率是使用升降温速度为10℃/分钟、在450℃下保持温度1小时而实施热处理后的平板玻璃的玻璃样本的热收缩量，用下式求出的值：

热收缩率(ppm)＝{热处理后的玻璃样本的热收缩量/热处理前的玻璃样本的长度}×10⁶)。

3.根据权利要求1或2所述的平板玻璃的制造方法，其中，

所述平板玻璃包括作为所述平板玻璃的宽度方向的两端部的区域的侧部以及作为比所述侧部靠近所述平板玻璃的宽度方向内侧、且包括所述平板玻璃的宽度方向的中心部的区域的中央区域，

所述热收缩率为35ppm以下的平板玻璃通过以平均冷却速度0.5℃/秒～5.0℃/秒冷却所述中央区域使得至少所述中心部的温度从退火点达到比所述应变点低100℃的温度而获得。

4.根据权利要求1或2所述的平板玻璃的制造方法，其中，

所述平板玻璃包括作为所述平板玻璃的宽度方向的两端部的区域的侧部以及作为比所述侧部靠近所述平板玻璃的宽度方向内侧、且包括所述平板玻璃的宽度方向的中心部的区域的中央区域，

所述热收缩率为35ppm以下的平板玻璃通过进行至少包括以下工序的冷却工序来获得：

第一冷却工序，以第一平均冷却速度冷却所述中央区域，直到所述中心部的温度达到退火点；

第二冷却工序，以第二平均冷却速度冷却所述中央区域，直到所述中心部的温度从所述退火点达到应变点；以及

第三冷却工序，以第三平均冷却速度冷却所述中央区域，直到所述中心部的温度从所述应变点达到比所述应变点低100℃的温度，

所述第三平均冷却速度比所述第二平均冷却速度慢。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的平板玻璃的制造方法，还包括：

把退火的所述平板玻璃切断为规定尺寸的切断工序，

所述再退火工序在所述切断工序之后进行。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的平板玻璃的制造方法，其中，

所述平板玻璃的应变点是600℃～720℃。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的平板玻璃的制造方法，其中，

所述再退火工序包括：

加热工序，加热平板玻璃直到进行所述热处理的规定温度；

热处理工序，按规定温度进行热处理；以及

降温工序，在所述热处理后对平板玻璃退火，所述降温工序在设所述平板玻璃的中心部的温度从所述规定温度到比所述规定温度的温度低100℃的温度的降温速度为第一降温速度，设所述平板玻璃的中心部的温度从不足比所述规定温度低100℃的温度到比所述规定温度低300℃的温度的降温速度为第二降温速度时，第二降温速度比第一降温速度快。

8.一种平板玻璃的制造方法，其特征在于，包括：

再退火工序，对使从熔融玻璃成形的平板玻璃退火而得的热收缩率为35ppm以下的平板玻璃实施再加热后退火的热处理，将所述热收缩率降低到10ppm以下，

所述热处理以比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行，

(其中，所述热收缩率是使用升降温速度为10℃/分钟、在450℃下保持温度1小时而实施热处理后的平板玻璃的玻璃样本的热收缩量，用下式求出的值：

热收缩率(ppm)＝{热处理后的玻璃样本的热收缩量/热处理前的玻璃样本的长度}×10⁶⁾。

9.一种平板玻璃制造装置，其特征在于，包括：

成形体，把熔融玻璃成形为平板玻璃；

冷却装置，通过使成形的平板玻璃退火而制造热收缩率在35ppm以下的平板玻璃；以及

再退火装置，对所述退火的平板玻璃实施再加热后退火的热处理，将所述热收缩率降低到10ppm以下，

所述热处理在比平板玻璃的应变点低70℃的温度以下的温度进行。

10.一种平板玻璃制造装置，是用于通过实施加热处理而在表面形成薄膜的显示器用玻璃基板的制造装置，其特征在于，包括：

再退火装置，对使由溢流下引法成形的平板玻璃退火而得的热收缩率为35ppm以下的平板玻璃进行再加热，通过按规定温度进行热处理后进行退火，降低所述热收缩率到10ppm以下，

所述规定温度是比形成所述薄膜的所述加热处理的温度高250℃的温度以下的温度，

(其中，所述热收缩率是用升降温速度为10℃/分钟、在450℃下保持温度1小时而实施热处理后的玻璃的热收缩量，用下式求出的值：

热收缩率(ppm)＝(热处理后的玻璃样本的热收缩量/热处理前的玻璃样本的长度)×10⁶)。