TWI422539B - 玻璃板製造方法以及玻璃板製造設備 - Google Patents

Description

玻璃板製造方法以及玻璃板製造設備

本發明關於一種使自成形體流下的熔融玻璃沿著鉛直方向延伸成形出玻璃帶(glass ribbon)之玻璃板製造方法以及玻璃板製造設備。

對於各種電子機器、特別是液晶顯示器等平板顯示器(flat panel display)面板用途之玻璃基板的製造方法而言，已知的下拉法(down draw)是藉由自成形體流下熔融玻璃並沿著鉛直方向延伸成形出玻璃帶(glass ribbon)來作出玻璃板。

所謂的下拉法，有溢流下拉(overflow down draw)法以及流孔下拉(slot down draw)法兩種，且由於溢流下拉法可以獲得表面起伏及粗度非常小、表面品質優異的玻璃板而特別地廣為人知。

所謂的溢流下拉法是如下方法：使連續供給至具有楔狀剖面形狀的成形體的熔融玻璃自成形體的頂部沿著兩側面流下，藉此使該熔融玻璃在成形體的下端部熔合而形成為板狀的玻璃帶，一面利用複數個拉伸輥(pull roller)夾持此板狀玻璃帶的兩端部，一面使其沿著鉛直方向延伸的搬運路徑流下而延伸成形為玻璃帶。藉由此種方法，玻璃帶逐漸地固化之後成為具有規定幅度以及厚度的玻璃板。此外，藉由對搬運路徑中之環境氣體溫度進行嚴格的管理，可以充分地降低玻璃板的內應變(internal strain)(熱 應變)，將玻璃板冷卻至室溫附近。

特別是當玻璃板使用於液晶顯示器的場合時，玻璃板的內部即使殘存些微的內應變，也會因為雙折射而無法獲得均質(homogeneous)的影像，因此，自過往以來提出各種在所定溫度梯度下極力均一地冷卻玻璃帶之工程的提案。

舉例而言，為了防止玻璃板因輥軸冷卻的影響產生內應變而變形，特開平5-124826號公報提出以單方支持輥的方法，並提出利用為了避免在玻璃帶的搬送路徑內產生的因熱對流的內應變，揭露水平隔開搬送路徑內的對流防止板。

此外，在特開平10-53427號公報中提出：成形爐與熔爐的內部以水平複數分割的方式形成複數的腔室，在個別的腔室中配設有室溫調節機能以進行充分地緩冷(slow cooling)，以製造出內應變小之玻璃板的製造方法。

更有於特開2001-31435號公報中，提出退火爐的溫度亦形成於玻璃帶的寬度方向，以抑制微小的內應變與變形的技術。

然而，近年來，液晶顯示器更加被要求高精細、高畫質，用於液晶顯示器的玻璃板被要求其內應變小於等於1.0MPa。並且，用於液晶顯示器的玻璃基板被急速地推進大板化，舉例而言，最終地成為玻璃製品的部位的寬度尺寸(有效寬度)為2000釐米(mm)以上的玻璃帶也被變得被成形。然而，伴隨著被生產之玻璃帶的尺寸增加，玻璃板的內應變有變大的傾向，因此將內應變作為1.0MPa以下變 得困難。

作為玻璃板之內應變的原因之一，為沿著玻璃帶表面上昇的空氣流(以下稱為低溫空氣流)。換言之，在玻璃帶的搬送路徑內，低溫空氣流常沿著玻璃帶表面而上昇，因而使得退火爐內的環境氣體溫度變得容易變動。雖然在特開平5-139766號公報中揭示一種在退火爐內形成對流防止板的方式，但由於低溫空氣流上昇玻璃帶的鄰近表面，對流防止板無法充分地遮斷。並且，打算以對流防止板來完全防止低溫空氣流時，玻璃帶與對流防止板之間的間隔需要非常小，而有玻璃帶與對流防止板接觸的表面形成傷痕之虞。

鑒於以上實情，本發明的技術性課題是：避免內應變隨著玻璃板的大板化而增加，提供生產性優異且獲得高品質玻璃板的方法。

本發明者等人為了解決上述課題而經由反覆檢討的結果，利用設置排氣通道於冷卻室，減少自冷卻室流入退火爐的低溫空氣流量，找出於玻璃帶之搬送路徑內能夠抑制低溫空氣流上昇的方法，而達到提案出本發明。

即為了解決上述課題而被完成之請求項1記載的發明為包含以下方法之玻璃板的製造方法：將熔融玻璃供給至設置於成形爐內的成形體，且自成形體使熔融玻璃在沿鉛直方向上延伸的搬運路徑流下而延伸成形出板狀玻璃帶的成形過程、於退火爐內除去玻璃帶之內應變的退火過程、 於冷卻室內冷卻玻璃帶至室溫附近的冷卻過程、以及將玻璃帶切斷為規定尺寸的切斷過程。上述玻璃板製造方法的特徵在於：設置排氣通道於上述冷卻室，以讓冷卻室內的空氣排出至外界。

為了解決上述課題而被完成之請求項2記載的發明裡有：如請求項1所記載之玻璃板的製造方法，其特徵在於將冷卻室內的空氣通過排氣通道，而排出至包圍成形爐及/或退火爐的腔室。

為了解決上述課題而被完成之請求項3記載的發明裡有：如請求項1或請求項2所記載之玻璃板的製造方法，其特徵在於成形過程是以溢流下拉法，或開口下拉法成形上述玻璃帶。

為了解決上述課題而被完成之請求項4記載的發明裡有：如請求項1~3中任一項所記載之玻璃板的製造方法，其特徵在於玻璃板的短邊長為大於等於2000mm。

為了解決上述課題而被完成之請求項5記載的發明裡有：如請求項1~4中任一項所記載之玻璃板的製造方法，其特徵在於玻璃板的內應變的最大值為小於等於1.0MPa。

為了解決上述課題而被完成之請求項6記載的發明裡有：如請求項1~5中任一項所記載之玻璃板的製造方法，其特徵在於玻璃板含有以質量百分率(mass percentage)計的SiO₂ 40~70%、Al₂ O₃ 2~25%、B₂ O₃ 0~20%、MgO 0~10%、CaO 0~15%、SrO 0~10%、BaO 0~15%、ZnO 0~10%、ZrO₂ 0~10%、澄清劑(clarifier)0~2%的組成。

為了解決上述課題而被完成之請求項7記載的發明為玻璃板的製造設備，其包含將熔融玻璃供給至成形體，且自該成形體使熔融玻璃在沿鉛直方向上延伸的搬運路徑流下，以延伸成形出板狀玻璃帶的成形爐、除去該玻璃帶之內應變的退火爐、冷卻該玻璃帶至室溫附近的冷卻室、以及將該玻璃帶切斷為規定尺寸的切斷室之玻璃板製造設備。上述玻璃板製造方法的特徵在於：設置排氣通道於上述冷卻室，以讓冷卻室內的空氣排出至外界。

為了解決上述課題而被完成之請求項8記載的發明裡有：如請求項7中所記載之玻璃板的製造設備，其特徵在於冷卻室的排氣通道與將成形爐及/或退火爐包圍的腔室連通。

依據請求項1記載的發明，包含將熔融玻璃供給至設置於成形爐內的成形體，且自該成形體使熔融玻璃在沿鉛直方向上延伸的搬運路徑流下而延伸成形出板狀玻璃帶的成形過程、於退火爐內除去玻璃帶之內應變的退火過程、於冷卻室內冷卻玻璃帶至室溫附近的冷卻過程、以及將玻璃帶切斷為規定尺寸的切斷過程之玻璃板的的製造方法。在上述玻璃板的製造方法中，設置排氣通道於上述冷卻室，為了讓冷卻室內的空氣排出至外界，冷卻室內的空氣往玻璃帶的搬送路徑以及排氣通道兩邊分散而被排出，能抑制在搬送路徑內之低溫空氣流的上昇。這樣的結果，能將退火爐內之環境氣體溫度的變動抑制至最小值，即使玻 璃板的尺寸變大，也可以讓其內應變能夠充分地降低。排氣通道設置在冷卻室頂(ceiling)部的話，空氣的排出效果會變大因而較佳。

依據請求項2記載的發明，為使冷卻室內的空氣通過排氣通道而排出至包圍成形爐及/或退火爐的腔室，使包圍成形爐與退火爐之腔室的氣壓提高，以讓抑制在玻璃板的搬送路徑內之低溫空氣流的上昇的效果變大。也就是說，自冷卻室上昇至退火爐內的低溫空氣流，在退火爐內被加熱後，其中的一部份通過成形爐與退火爐的爐壁的間隙而漏出至外界環境氣氛中。然而，如果提高包圍成形爐與退火爐之腔室的氣壓的話，成形爐與退火爐的內部空氣的漏出被抑制，而使抑制在玻璃帶的搬送路徑內之低溫空氣流的上昇的效果變大。

依據請求項3記載的發明，由於成形過程是以溢流下拉法，或開口下拉法成形上述玻璃帶的成形過程，能夠效率很好地成形薄板玻璃。特別是在獲得表面品味優異之平板玻璃的場合中，相較於開口下拉法，較好採用溢流下拉法。又，開口下拉法的方法為供給熔融玻璃至具有長孔狀(狹縫(slot)狀)開口部的成形體之後，自成形體的開口部將熔融玻璃拉出成板狀的玻璃帶，將該玻璃帶往鉛直方向延伸成形之玻璃板的製造方法。

並且，於本發明中，在將玻璃帶切斷為規定長度的場合中，可以將從冷卻過程沿著鉛直方向流下的玻璃帶以其寬度方向切斷，也可以將玻璃帶自鉛直方向往水平方向彎 曲，一面以水平方向移動一面沿寬度方向切斷。

依據請求項4記載的發明，由於玻璃板的短邊長為大於等於2000mm，可以從一片的玻璃板(原板)切割出多數片的顯示器面板(display panel)用玻璃板，因而使提高生產效率成為可能。當玻璃板的尺寸越大，其內應變亦有越大的傾向。上述理由的其中之一被認為應是：當玻璃板的尺寸越大，其製造設備大板化，低溫空氣容易流入玻璃帶的搬送路徑內，退火爐內的環境氣體溫度變得容易變動。為此本發明，特別是大型玻璃板的製造場合變得有用，具體而言，短邊大於等於2000mm，較好的是大於等於2500mm，更好的是大於等於3000mm的玻璃板。

依據請求項5記載的發明，由於玻璃板的內應變的最大值為小於等於1.0MPa，能夠防止液晶顯示器的影像因雙折射而成為不均質(nonhomogeneous)。依據本發明，由於能夠將退火爐內的環境氣體溫度的變動抑制在最小限度，即使玻璃板的尺寸變大，亦能抑制內應變的發生。具體而言，使內應變的最大值小於等於1.0MPa、小於等於0.8MPa，或更小於等於1.0MPa變成可能。

依據請求項6記載的發明，由於玻璃板含有以質量百分率計的SiO₂ 40~70%、Al₂ O₃ 2~25%、B₂ O₃ 0~20%、MgO 0~10%、CaO 0~15%、SrO 0~10%、BaO 0~15%、ZnO 0~10%、ZrO₂ 0~10%、澄清劑0~2%的組成，滿足耐藥性(良好的耐酸性、耐鹼性、耐緩衝氟化氫酸(buffered hydrofluoric)性)、耐熱性(應變點大於等於630℃)、熔融性(meltability) (10^2.5 poise的黏度相當於溫度1600℃)、成形性(液相溫度小於等於1150℃)、熱膨脹係數(30℃~380℃時為25~45×10^-7 /℃)等特性，使得獲得容易抑制成形後內應變的液晶顯示器用玻璃板變成可能。

上述玻璃組成為佳的理由，如以下所述。

SiO₂ 是構成玻璃的網狀結構(network)的成分，有使玻璃的熱膨脹係數下降、使內應變變小、使玻璃的耐酸性提升、使玻璃的應變點提高而減少玻璃板的熱收縮的效果。然而，如果SiO₂ 的含量過多，則伴隨著玻璃的高溫黏度變高、熔融性惡化，從而有容易出現白矽石(cristobalite)之失透物質的傾向。因此SiO₂ 的含量為40%~70%，較好的是50%~67%、特別好的是57%~64%。

Al₂ O₃ 是使玻璃的熱膨脹係數降低、使玻璃板的內應變變小的成分。另外，亦有提高玻璃的應變點以及抑制白矽石的失透物質之析出的效果。然而，如果Al₂ O₃ 的含量過多，則耐緩衝氟化氫酸性惡化，液相溫度上昇而變得難以成形。因此Al₂ O₃ 的含量為2%~25%，較好的是10%~20%、特別好的是14%~17%。

B₂ O₃ 是作為融劑而起作用、降低玻璃的黏性、改善玻璃的熔融性的成分。並且，使玻璃的熱膨脹係數降低、使玻璃板的內應變變小的成分。然而如果B₂ O₃ 的含量過多，則玻璃的應變點降低、耐酸性變得容易惡化。因此B₂ O₃ 的含量為0%~20%，較好的是5%~15%、特別好的是7.5%~12%。

MgO是不使玻璃的應變點降低而僅使高溫黏性降低、改善玻璃的熔融性的成分。然而，如果MgO的含量過多，則失透物質變得容易析出於玻璃中。而且，耐緩衝氟化氫酸性惡化，當以緩衝氟化氫酸處理玻璃板時，其表面被侵蝕反應而附著反應生成物，而使玻璃基板白濁。因此MgO的含量為0%~10%，較好的是0%~5%、特別好的是0%~3.5%。

CaO是不使玻璃的應變點降低而僅使高溫黏性降低、改善玻璃的熔融性的成分。然而，如果CaO的含量過多，則耐緩衝氟化氫酸性變得容易惡化。因此CaO的含量為0%~15%，較好的是0%~12%、特別好的是3.5%~9%。

SrO是提高玻璃的耐藥品性與耐失透性的成分。然而，如果SrO的含量過多，則玻璃的熱膨脹係數容易變大，玻璃板的內應變亦有變大的傾向。因此SrO的含量為0%~10%，較好的是0%~8%、特別好的是超過0.5%~8%。

BaO與SrO同樣是提高玻璃的耐藥品性與耐失透性的成分。然而，如果BaO的含量過多，則容易使玻璃的密度與熱膨脹係數變大，有使熔融性顯著惡化的傾向。因此BaO的含量為0%~15%，較好的是0%~10%、特別好的是0%~8%。

ZnO是改善玻璃的耐緩衝氟化氫酸性與改善玻璃的熔融性的成分，若其含量過多時，則玻璃的耐失透性與應變點容易降低。因此ZnO的含量為0%~10%，較好的是0%~5%、特別好的是0%~1%。

ZrO₂ 是使玻璃的應變點提高的成分，然而，若ZrO₂ 的含量過多時，則使玻璃的密度顯著地上升，從而使得起因於ZrO₂ 的失透物質變得容易析出。因此，ZrO₂ 的含量為0%~10%，較好的是0%~7%、特別好的是0%~5%。

作為澄清劑，可以使用至多2%的As₂ O₃ 、Sb₂ O₃ 、SnO₂ 、SO₃ 、F、Cl等。但是，由於As₂ O₃ 及Sb₂ O₃ 為環境負荷物質，應避免使用。此種場合下，較佳是含有0.01~2%的SnO₂ 。

而且，本發明除了上述的成分以外，例如，基於降低玻璃的液相溫度以提高成形性的目的，可以含有分別至多3%的Y₂ O₃ 、La₂ O₃ 、Nb₂ O₃ 、P₂ O₅ 。但是，含有Na₂ O、K₂ O、Li₂ O等鹼金屬氧化物(R₂ O)的話，恐有使形成於液晶顯示器玻璃板上的各種膜與TFT畫素特性劣化之虞，因而應避免含有這些成分。具體而言，R₂ O應限制在0.1%以下。

依據請求項7記載的發明，為玻璃板的製造設備具備有：將熔融玻璃供給至成形體，且自該成形體使熔融玻璃在沿鉛直方向上延伸的搬運路徑流下，以延伸成形出板狀玻璃帶的成形爐、除去該玻璃帶之內應變的退火爐、冷卻該玻璃帶至室溫附近的冷卻室、以及將該玻璃帶切斷為規定尺寸的切斷室。由於設置排氣通道於上述冷卻室，冷卻室內的空氣往玻璃帶的搬送路徑以及排氣通道兩邊分散而被排出，而能抑制在搬送路徑內之低溫空氣流的上昇。這樣的結果，能將退火爐內之環境氣體溫度的變動抑制至最小值，即使玻璃板的尺寸變大，也可以讓其內應變能夠充 分地降低。

依據請求項8記載的發明，由於冷卻室的排氣通道與將成形爐及/或退火爐包圍的腔室連通，冷卻室空氣流入包圍成形爐與退火爐的腔室，這些室內的氣壓變高，爐內的內部空氣變得難以通過成形爐與退火爐的爐壁的間隙而漏出。這樣的結果，使得抑制在玻璃帶的搬送路徑內之低溫空氣流的上昇的效果變大。

以下，參照所附圖式，詳細說明本發明的實施形態。

圖1是表示本發明一實施例之玻璃板的製造設備的正面示意圖。該製造設備是藉由溢流下拉法來製造液晶顯示器用途的玻璃板(玻璃基板)的製造設備，按照由上而下的順序包括：使供給至具有楔狀剖面形狀的成形體10中的熔融玻璃A自頂部溢出，且並且在該成形體10的下端部熔合，藉此成形出玻璃帶B的成形爐11；一面使玻璃帶B緩冷，一面除去該玻璃帶B的內應變的退火爐12；使經緩冷的玻璃帶B充分冷卻的冷卻室13；以及將經冷卻的玻璃帶B切斷為規定尺寸的切斷室14。而且，在冷卻室13的頂部設置排氣通道15，成形爐11與退火爐12藉由成形室16而被包圍，冷卻室13與成形室16藉由排氣通道15而連通。在該些在上下方向上鄰接的冷卻室13、切斷室14以及成形室16是以具氣密性的周壁部17包圍，成形爐11、退火爐12、冷卻室13以及切斷室14之間在玻璃帶B流下的搬運路徑18上連通。並且，於切斷室14中，另外 設有用以將玻璃基板C向圖示以外的後續方法(例如端面研磨方法等)搬運的搬運路徑。

接著，依據上述玻璃板的製造設備說明玻璃板的製造方法。

該製造設備中，首先將熔融玻璃A供給至設置於成形爐11內的成形體10，使該熔融玻璃A自成形體10的頂部溢出且使其於該成形體10的下端部熔合，藉此成形出板狀的玻璃帶B。在成形體10的附近設置一對冷卻輥(輥式拉邊器)19，玻璃帶B的兩端部被該些冷卻輥夾持，而將寬度方向的收縮抑制在最小限度。

接著，藉由在退火爐12中緩冷該被成形的玻璃帶來除去內應變。在退火爐12的鉛直方向上設置多數對的拉伸輥(退火輥)20，玻璃帶B以不使如表面張力等寬度方向收縮的狀態，藉由拉伸輥20一面往寬度方向作拉伸一面往下方作牽引。而且，在退火爐12內，藉由加熱器(heater)(圖中省略)而被設定成為所定的溫度梯度，隨著玻璃帶B流下退火爐12內而慢慢地使溫度降低，藉此內應變被除去。

並且，退火爐12下方的冷卻室13配置多數對的支持輥21，牽引有規定寬度與厚度之經固化後的玻璃帶B至下方。玻璃帶B在冷卻室13內大致被冷卻到室溫。又，冷卻室13的空氣流入退火室12與排氣通道15兩方，流進排氣通道15的空氣流入成形室16內。藉此，減少流入退火爐12內的空氣量，從而能夠抑制在玻璃帶B的搬送路徑 18內的低溫空氣流的上昇。

在冷卻室中被冷卻到室溫附近的玻璃帶，在切斷室14中被切斷為規定尺寸的玻璃板C後，被搬送到後續製程。

使用上述之玻璃板的製造設備成形為具有質量百分比(%)為下述組成的液晶顯示器用玻璃板(日本電氣硝子股份有限公司製OA-10)：SiO₂ 60%、Al₂ O₃ 15%、B₂ O₃ 10%、CaO 6%、SrO 6%、BaO 2%、澄清劑1%的組成。

所獲得玻璃板的尺寸為2360×2030×0.7mm，測定該玻璃板的最大應變為0.8MPa。

此外，圖2是表示一種比較例之玻璃板的製造設備的正面示意圖。該設備未設置排氣通道於冷卻室13，而其他的構造與圖1的設備相同。使用圖2的設備，製作與上述實施形態具有相同條件的玻璃板，測定該玻璃板的最大應變為1.1MPa。

由以上的事實，相較於依據比較例的玻璃板，依據實施形態的玻璃板的最大應變小，由此可知，藉由從冷卻室通過包圍退火爐的腔室設置排氣通道，而理解到獲得降低玻璃板的內應變的效果。

在此，玻璃板的最大應變是以光學外差干涉法(optical heterodyne interference)利用UNIOPT公司製的應變計，根據玻璃板的雙折射量來測定應變應力而求出的最大應變。求出玻璃板的最大應變的理由為：只要玻璃板中有一處存在強應變，就會變得無法滿足液晶顯示面器用玻璃板的產品規格。

另外，本發明並不限定於上述的實施形態，只要不脫離本發明主旨的範圍內，可進一步以各種形態實施。

例如，上述實施形態中，說明了將本發明應用於利用溢流下拉法來製造玻璃基板的情況，但除此以外，本發明亦可同樣應用於例如利用開口下拉法來製造玻璃基板。

雖然說明了成形爐與退火爐是以一個腔室(成形室)包圍的情況，還有一實施形態為成形爐與退火爐也可以分別以個別的腔室(例如成形室與退火室)包圍。在這種情況下，冷卻室的排氣通道以能與退火室相通的型態來設置。

雖然說明了將排氣通道鄰近退火爐而設置，進一步的實施形態亦可以遠離退火爐而設置。此外，排氣通道的形狀以及大小也可以依據冷卻室以及退火爐的大小而適當地被設定。

產業上的利用可能性

本發明之玻璃板的製造方法及製造設備，可自液晶顯示器用途的玻璃板開始，而用以作為電漿顯示器(plasma display)、有機EL(organic electroluminescence)等電致發光顯示器(electroluminescence display)、場發射顯示器(field emission display)等其他平板顯示器用途的玻璃基板、或者用作用以形成各種電子顯示功能或薄膜的基材的玻璃板的製造方法。

10‧‧‧成形體

11‧‧‧成形爐

11a‧‧‧成形爐的爐壁

12‧‧‧熔爐

12a‧‧‧熔爐的爐壁

13‧‧‧冷卻室

14‧‧‧切斷室

15‧‧‧排氣通道

16‧‧‧成形室

17‧‧‧周壁部

18‧‧‧搬運路徑

19‧‧‧冷卻輥(輥式拉邊器)

20‧‧‧拉伸輥(退火輥)

21‧‧‧支持輥

A‧‧‧熔融玻璃

B‧‧‧玻璃帶

C‧‧‧玻璃基板

圖1是表示本發明一實施例之玻璃板的製造設備的正面示意圖。

圖2是表示一種比較例之玻璃板的製造設備的正面示意圖。

10‧‧‧成形體

11‧‧‧成形爐

11a‧‧‧成形爐的爐壁

12‧‧‧熔爐

12a‧‧‧熔爐的爐壁

13‧‧‧冷卻室

14‧‧‧切斷室

15‧‧‧排氣通道

16‧‧‧成形室

17‧‧‧周壁部

18‧‧‧搬運路徑

19‧‧‧冷卻輥(輥式拉邊器)

20‧‧‧拉伸輥(退火輥)

21‧‧‧支持輥

A‧‧‧熔融玻璃

B‧‧‧玻璃帶

C‧‧‧玻璃基板

Claims (8)

1. 一種玻璃板的製造方法，包括：將熔融玻璃供給至設置於成形爐內的成形體，且自該成形體使熔融玻璃在沿鉛直方向上延伸的搬運路徑流下而延伸成形出板狀玻璃帶的成形過程；於退火爐內除去該玻璃帶之內應變的退火過程；於冷卻室內冷卻該玻璃帶至室溫附近的冷卻過程；以及將該玻璃帶切斷為規定尺寸的切斷過程，其中，排氣通道設置於冷卻室，排出冷卻室內的空氣至外界。
2. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板的製造方法，其中將冷卻室內的空氣通過排氣通道，排出至包圍成形爐及/或退火爐的腔室。
3. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板的製造方法，其中成形過程是以溢流下拉法，或開口下拉法成形上述玻璃帶。
4. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板的製造方法，其中玻璃板的短邊的長度為大於等於2000mm。
5. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板的製造方法，其中玻璃板的內應變的最大值為小於等於1.0MPa。
6. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃板製造方法，其中玻璃板含有以質量百分率計的SiO₂ 40~70%、Al₂ O₃ 2~25%、B₂ O₃ 0~20%、MgO 0~10%、CaO 0~15%、SrO 0~10%、 BaO 0~15%、ZnO 0~10%、ZrO₂ 0~10%、澄清劑0~2%的組成。
7. 一種玻璃板的製造設備，包括：成形爐，將熔融玻璃供給至成形體，且自該成形體使熔融玻璃在沿鉛直方向上延伸的搬運路徑流下，以延伸成形出板狀玻璃帶；退火爐，除去該玻璃帶之內應變；冷卻室，冷卻該玻璃帶至室溫附近；以及切斷室，將該玻璃帶切斷為規定尺寸，其中，排氣通道設置於該冷卻室。
8. 如申請專利範圍第7項中所述之玻璃板的製造設備，其中該冷卻室的排氣通道與將成形爐及/或退火爐包圍的腔室連通。