JP2013040099A - ガラス板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】シートガラスの板厚を極力均一にし反り及び歪を低減できるガラス板の製造方法を提供する。
【解決手段】ダウンドロー法によるガラス板の製造方法であって、成形されたシートガラスの冷却工程では、成形体の下部からガラス歪点の近傍の温度領域を下回るまでの温度領域において、シートガラスの幅Ｗの方向の温度制御を行う工程であって、シートガラスの幅Ｗの方向の端部Ｌ，ＣＬ，Ｒ，ＣＲが端部Ｌ，ＣＬ，Ｒ，ＣＲに挟まれた中央領域ＣＡの温度より低く且つ中央領域ＣＡの温度が均一になるようにする第１温度制御工程と、シートガラスの幅Ｗの方向の温度が中央部Ｃから端部Ｌ，ＣＬ，Ｒ，ＣＲに向かって低くなるようにする第２温度制御工程と、ガラス歪点の近傍の温度領域においてシートガラスの幅Ｗの方向の端部Ｌ，ＣＬ，Ｒ，ＣＲと中央部Ｃとの温度勾配がなくなるようにする第３温度制御工程とを含むガラス歪点上温度制御工程が行われる。
【選択図】図７

Description

本発明は、ガラス板の製造方法に関する。

特許文献１（特開２００４−１１５３５７号公報）に記載のように、ダウンドロー法を用いてガラス板を製造する方法が存在する。ダウンドロー法では、成形体に溶融ガラスを流し込んだ後、当該溶融ガラスを成形体の頂部からオーバーフローさせる。オーバーフローされた溶融ガラスは、成形体の両側面に沿って流下し、成形体の下端部で合流することにより、シート状のガラス（シートガラス）となる。シートガラスは、その後、ローラによって下方に引っ張られ、所定の長さに切断される。

特許文献１に開示の発明では、所定の温度領域においてシートガラスの幅方向の中央部と末端部の近傍との温度勾配を所定値にすることにより、シートガラスの残留応力を低減している。また、特許文献１に開示の発明では、シートガラスの残留応力や歪を考慮して、シートガラスの中央部と末端部の近傍との温度勾配を規定している。

しかし、シートガラスの板厚を均一にしつつ、シートガラスの反りおよび歪を低減することは出来なかった。

そこで、本発明の課題は、シートガラスの板厚を極力均一にし、反り及び歪（残留応力）を低減できる、ガラス板の製造方法を提供することにある。

本発明のガラス板の製造方法は、ダウンドロー法によるガラス板の製造方法であって、成形工程と、冷却工程とを備える。成形工程では、溶融ガラスを成形体の両側面に沿って流下させ成形体の下部で合流させることによりシートガラスを成形する。冷却工程では、シートガラスをローラによって下方に引っ張りながら冷却する。また、冷却工程では、ガラス歪点上温度制御工程が行われる。ガラス歪点上温度制御工程は、成形体の下部からガラス歪点の近傍の温度領域を下回るまでの温度領域において、シートガラスの幅方向の温度制御を行う工程であって、第１温度制御工程と、第２温度制御工程と、第３温度制御工程とを含む。第１温度制御工程では、シートガラスの幅方向の端部が端部に挟まれた中央領域の温度より低く、且つ、中央領域の温度が均一になるようにする。第２温度制御工程では、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって低くなるようにする。第３温度制御工程では、ガラス歪点の近傍の温度領域において、シートガラスの幅方向の端部と中央部との温度勾配がなくなるようにする。これにより、シートガラスの板厚を極力均一にし、反り及び歪（残留応力）を低減できる。なお、シートガラスの中央領域は、板厚を均一にする対象の部分を含む領域であり、シートガラスの端部は、製造後に切断される対象の部分を含む領域である。

第１温度制御工程では、シートガラスの幅方向の端部の温度を、端部に挟まれた中央領域の温度より低くすることで、シートガラスの端部の粘度が高くなる。これにより、シートガラスの幅方向の収縮が抑えられる。シートガラスが幅方向に収縮すると、収縮した箇所の板厚が大きくなり、板厚偏差が悪くなる。従って、シートガラスの幅方向の端部の温度を中央領域の温度より低くすることにより、板厚を均一化することができる。また、第１温度制御工程では、シートガラスの中央領域の温度を均一にすることで、中央領域の粘度が均一になる。これにより、シートガラスの板厚を均一化することができる。

第２温度制御工程では、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって低くなるように温度勾配が形成される。そして、第３温度制御工程では、第２温度制御工程において形成された温度勾配を、ガラス歪点の近傍の温度領域に向かって低減するように、シートガラスを冷却する。これにより、シートガラスの体積収縮量は、シートガラスの端部から中央部に向かうにつれて大きくなるので、シートガラスの中央部において引張り応力が働く。特に、シートガラスの中央部において、シートガラスの流れ方向および幅方向に引張り応力が働く。なお、シートガラスの幅方向に働く引張り応力よりも、シートガラスの流れ方向に働く引張り応力の方が大きいことが好ましい。引張り応力により、シートガラスの平坦度を維持しつつ冷却することができるので、シートガラスの反りを低減することができる。

また、シートガラスは、ガラス歪点において温度勾配を有していると、常温まで冷却されたときに歪が生じる。従って、第３温度制御工程において、ガラス歪点の近傍の温度領域に向かって温度勾配が低減するように冷却することで、冷却後の歪を低減することができる。なお、第３温度制御工程で冷却されたシートガラスは、幅方向の中央部の温度から端部の温度を引いた値が、−２０℃から２０℃までの範囲に入ることが好ましい。

また、第２温度制御工程において、シートガラスの幅方向の温度勾配が、シートガラスの流れ方向に向かうに従って漸減することがより好ましい。

また、第２温度制御工程において、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって漸減するように温度勾配が形成されることがより好ましい。

また、第２温度制御工程において、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって漸減するように温度勾配が形成され、かつ、この温度勾配が、シートガラスの流れ方向に向かうに従って漸減することがより好ましい。

また、第２温度制御工程において、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって凸状に漸減するように温度勾配が形成されることがより好ましい。

また、第２温度制御工程において、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって凸状に漸減するように温度勾配が形成され、かつ、この温度勾配が、シートガラスの流れ方向に向かうに従って漸減することがより好ましい。

また、第１温度制御工程は、シートガラスの中央部の温度がガラス軟化点以上である場合に行われ、第２温度制御工程及び第３温度制御工程は、シートガラスの中央部の温度がガラス軟化点より低い場合に行われることが好ましい。これにより、第１温度制御工程において、シートガラスの中央領域の温度が均一になるように制御され、シートガラスの板厚が均一になった後に、第２温度制御工程及び第３温度制御工程が行われる。従って、板厚が均一になったシートガラスの中央部に、シートガラスの流れ方向および幅方向において引張り応力を働かせることができる。これにより、シートガラスの平坦度を維持しつつシートガラスを冷却することができる。従って、シートガラスの反りを低減することができる。

また、第３温度制御工程では、冷却工程におけるシートガラスの幅方向の端部と中央部との温度差が、最も小さくなるようにすることが好ましい。シートガラスは、ガラス歪点において温度差を有していると、常温まで冷却された後に歪が生じる。すなわち、ガラス歪点の近傍の温度領域において、シートガラスの幅方向の端部と中央部との温度差を小さくすることで、シートガラスの歪を低減することができる。

また、温度勾配がなくなるとは、シートガラスの幅方向において中央部の温度から端部の温度を引いた値が、−２０℃から２０℃までの範囲に入ることが好ましい。

また、冷却工程では、ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、シートガラスの幅方向の温度が端部から中央部に向かって低くなるようにする第４温度制御工程がさらに行われることが好ましい。これにより、シートガラスの冷却量は、シートガラスの端部から中央部に向かうにつれて大きくなる。そのため、上述したように、シートガラスの中央部は、シートガラスの流れ方向および幅方向に引張り応力が働くことになる。従って、シートガラスの平坦度を維持しつつ冷却することができるので、シートガラスの反りを低減することができる。

また、第４温度制御工程において、ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、シートガラスの温度が幅方向の端部から中央部に向かって漸減するように温度勾配が形成されることが好ましい。

また、第４温度制御工程において、ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、シートガラスの温度が幅方向の端部から中央部に向かって凸状に漸減するように温度勾配が形成されることが好ましい。

また、第４温度制御工程では、シートガラスの幅方向の端部と中央部との間の温度勾配を、シートガラスの流れ方向に向かって増加させることが好ましい。

また、第４温度制御工程では、シートガラスの幅方向の端部と中央部との間の温度勾配を、シートガラスの流れ方向に向かって漸増させることが好ましい。

また、シートガラスは、１．０ｎｍ以下の歪値を有することが好ましく、０ｎｍ〜０．９５ｎｍの範囲内の歪値を有することがより好ましく、０ｎｍ〜０．９０ｎｍの範囲内の歪値を有することがさらに好ましい。

また、シートガラスは、０．１５ｍｍ以下の反り値を有することが好ましく、０ｍｍ〜０．１０ｍｍの範囲内の反り値を有することがより好ましく、０ｍｍ〜０．０５ｍｍの範囲内の反り値を有することがさらに好ましい。

また、シートガラスは、１５μｍ以下の板厚偏差を有することが好ましく、０μｍ〜１４μｍの範囲内の板厚偏差を有することがより好ましく、０μｍ〜１３μｍの範囲内の板厚偏差を有することがさらに好ましい。

本発明に係るガラス板の製造方法では、シートガラスの板厚を極力均一にし、反り及び歪（残留応力）を低減できる。

本実施形態に係るガラス板の製造方法の一部のフローチャート。 ガラス板の製造装置に含まれる溶解装置を主として示す模式図。 成形装置の概略の正面図。 成形装置の概略の側面図。 制御装置の制御ブロック図。 各温度プロファイル（後述する）におけるシートガラスＳＧの温度を示す表。 図６の表における温度プロファイルのグラフである。 温度制御工程における冷却速度及び温度勾配を示す表。

以下、図面を参照しながら、本実施形態のガラス板の製造装置１００を用いてガラス板を製造するガラス板の製造方法について説明する。

（１）ガラス板の製造方法の概要
図１は、本実施形態に係るガラス板の製造方法の一部のフローチャートである。
以下、図１を用いてガラス板の製造方法について説明する。

ガラス板は、図１に示すように、溶解工程ＳＴ１と、清澄工程ＳＴ２と、均質化工程ＳＴ３と、成形工程ＳＴ４と、冷却工程ＳＴ５と、切断工程ＳＴ６とを含む種々の工程を経て製造される。以下、これらの工程について説明する。

溶解工程ＳＴ１では、ガラス原料を加熱して溶解する。ガラス原料は、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃等の組成からなる。完全に溶解したガラス原料は、溶融ガラスとなる。

清澄工程ＳＴ２では、溶融ガラスを清澄する。具体的には、溶融ガラス中に含まれるガス成分を溶融ガラスから放出する、或いは、溶融ガラス中に含まれるガス成分を溶融ガラス中に吸収する。

均質化工程ＳＴ３では、溶融ガラスを均質化する。なお、この工程では、清澄が済んだ溶融ガラスの温度調整を行う。

成形工程ＳＴ４では、ダウンドロー法（具体的には、オーバーフローダウンドロー法）により溶融ガラスをシート状のシートガラスＳＧ（図３や図４を参照）に成形する。

冷却工程ＳＴ５では、成形工程ＳＴ４で成形されたシートガラスＳＧの冷却を行う。当該冷却工程ＳＴ５において、シートガラスＳＧは、室温近くまで冷却される。

切断工程ＳＴ６では、室温近くまで冷却されたシートガラスＳＧを、所定の長さ毎に切断して切断シートガラスＳＧ１（図３を参照）とする。

なお、所定の長さ毎に切断された切断シートガラスＳＧ１は、その後、さらに切断されて、研削・研磨、洗浄、検査が行われてガラス板となり、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに使用される。

（２）ガラス板の製造装置１００の概要
図２は、ガラス板の製造装置１００に含まれる溶解装置２００を主として示す模式図である。図３は、ガラス板の製造装置１００に含まれる成形装置３００の概略の正面図である。図４は、成形装置３００の概略の側面図である。以下、ガラス板の製造装置１００について説明する。

ガラス板の製造装置１００は、主として、溶解装置２００（図２を参照）と、成形装置３００（図２−図４を参照）と、切断装置４００（図３を参照）とを有する。

（２−１）溶解装置２００の構成
溶解装置２００は、溶解工程ＳＴ１、清澄工程ＳＴ２、及び、均質化工程ＳＴ３を行うための装置である。

溶解装置２００は、図２に示すように、溶解槽２０１、清澄槽２０２、攪拌槽２０３、第１配管２０４、及び、第２配管２０５を有する。

溶解槽２０１は、ガラス原料を溶解するための槽である。溶解槽２０１では、溶解工程ＳＴ１を行う。

清澄槽２０２は、溶解槽２０１で溶解された溶融ガラスから泡を除去するための槽である。溶解槽２０１より送り込まれた溶融ガラスを、清澄槽２０２でさらに加熱することで、溶融ガラス中の気泡の脱泡が促進される。清澄槽２０２では、清澄工程ＳＴ２を行う。

攪拌槽２０３は、溶融ガラスを収容する容器と、回転軸と、当該回転軸に取り付けられた攪拌翼とを含む攪拌装置を有している。容器、回転軸、及び、攪拌翼としては、例えば、白金等の白金族元素又は白金族元素の合金製のものを用いることができるが、これに限られない。モータ等の駆動部（図示せず）の駆動によって回転軸が回転することによって、回転軸に取り付けられた攪拌翼が、溶融ガラスを攪拌する。攪拌槽２０３では、均質化工程ＳＴ３を行う。

第１配管２０４及び第２配管２０５は、白金族元素又は白金族元素の合金製の配管である。第１配管２０４は、清澄槽２０２と攪拌槽２０３とを接続する配管である。第２配管２０５は、攪拌槽２０３と成形装置３００とを接続する配管である。

（２−２）成形装置３００の構成
成形装置３００は、成形工程ＳＴ４、及び、冷却工程ＳＴ５を行うための装置である。

成形装置３００は、図３や図４に示すように、成形体３１０と、雰囲気仕切り部材３２０と、冷却ローラ３３０と、冷却ユニット３４０と、引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅと、ヒータ３６０ａ〜３６０ｅとを有する。以下、これらの構成について説明する。

（２−２−１）成形体３１０
成形体３１０は、成形工程ＳＴ４を行うための装置である。

成形体３１０は、図３に示すように、成形装置３００の上方部分に位置し、溶解装置２００から流れてくる溶融ガラスを、オーバーフローダウンドロー法によりシート状のガラス板（シートガラスＳＧ）に成形する機能を有する。成形体３１０は、垂直方向に切断した断面形状が楔形形状を有し、レンガにより構成されている。

成形体３１０には、図４に示すように、溶解装置２００から流れてくる溶融ガラスの流路方向の上流側に、供給口３１１が形成されている。また、成形体３１０には、図３に示すように、その長手方向に沿って、上方に開放された溝部３１２が形成されている。溝部３１２は、溶融ガラスの流路方向の上流側から下流側に向かうにつれ、徐々に浅くなるように形成されている。

溶解装置２００から成形装置３００に向かって流れてくる溶融ガラスは、供給口３１１を介して成形体３１０の溝部３１２に流れるようになっている。

成形体３１０の溝部３１２に流れた溶融ガラスは、当該溝部３１２の頂部においてオーバーフローし、成形体３１０の両側面３１３を沿って流下する。そして、成形体３１０の両側面３１３を沿って流下する溶融ガラスは、成形体３１０の下部３１４で合流してシートガラスＳＧとなる。

（２−２−２）雰囲気仕切り部材３２０
図３や図４に示すように、雰囲気仕切り部材３２０は、成形体３１０の下部３１４の近傍に配置される板状の部材である。

雰囲気仕切り部材３２０は、成形体３１０の下部３１４から流下していくシートガラスＳＧの厚み方向の両側に、略水平となるように配置されている。雰囲気仕切り部材３２０は、断熱材として機能する。すなわち、雰囲気仕切り部材３２０は、その上下の空気を仕切ることにより、雰囲気仕切り部材３２０の上側から下側への熱の移動を抑制している。

（２−２−３）冷却ローラ３３０
冷却ローラ３３０は、雰囲気仕切り部材３２０の下方に配置されている。また、冷却ローラ３３０は、シートガラスＳＧの厚み方向の両側に、且つ、その幅方向の両端部分に対向するように配置されている。冷却ローラ３３０は、内部に通された空冷管により空冷されている。よって、シートガラスＳＧは、冷却ローラ３３０を通る際に、空冷された冷却ローラ３３０に接触するその厚み方向の両側部分且つその幅方向の両端部分（以下では、当該部分をシートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌ（図４や図７を参照）という）が冷却される。これにより、当該耳部Ｒ，Ｌの粘度は、所定値（具体的には、１０^9.0ポワズ）以上にされる。冷却ローラ３３０は、冷却ローラ駆動モータ３９０（図５を参照）による駆動力が伝達されることにより、シートガラスＳＧを下方に引っ張る役割も有する。

冷却ローラ３３０により、シートガラスＳＧは、所定の厚さに引き伸ばされる。

（２−２−４）冷却ユニット３４０
冷却ユニット３４０は、空冷式の冷却装置であり、冷却ローラ３３０及びその下方を通るシートガラスＳＧの雰囲気温度を冷却する。

冷却ユニット３４０は、シートガラスＳＧの幅方向に複数（ここでは、３つ）及びその流れ方向に複数配置される。具体的には、冷却ユニット３４０は、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの表面に対向するように、１つずつ配置され、且つ、後述する中央領域ＣＡ（図４や図７を参照）の表面に対向するように１つ配置されている。

（２−２−５）引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅ
引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅは、冷却ローラ３３０の下方に、シートガラスＳＧの流れ方向に所定の間隔をもって配置される。また、引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅは、それぞれ、シートガラスＳＧの厚み方向の両側に、且つ、シートガラスＳＧの幅方向の両端部分に対向するように配置される。そして、引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅは、冷却ローラ３３０において耳部Ｒ，Ｌの粘度が所定値以上になったシートガラスＳＧの厚み方向の両側部分であってその幅方向の両端部分に接触しながら当該シートガラスＳＧを下方に引っ張る。なお、引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅは、引っ張りローラ駆動モータ３９１（図５を参照）による駆動力が伝達されることにより駆動される。引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅの周速度は、冷却ローラ３３０の周速度よりも大きい。引っ張りローラの周速度は、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に配置されるにつれて大きくなる。すなわち、複数の引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅにおいては、引っ張りローラ３５０ａの周速度が最も小さく、引っ張りローラ３５０ｅの周速度が最も大きい。

（２−２−６）ヒータ
ヒータは、シートガラスＳＧの流れ方向に複数（ここでは、５つ）且つシートガラスＳＧの幅方向に複数（ここでは、５つ）配置される。ヒータ３６０ａ〜３６０ｅは、後述する制御装置５００によって出力を制御されることで、引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅによって下方に牽引されるシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度を制御する（具体的には、昇温する）温度制御装置として機能する。

シートガラスＳＧの幅方向に複数配置されるヒータは、各々、上記流露方向の上流側から順に、耳部Ｌ、左部ＣＬ（図４や図７を参照），中央部Ｃ（図４や図７を参照），右部ＣＲ（図４や図７を参照），耳部Ｒの雰囲気温度を制御する。

ここでは、引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅによって下方に牽引されるシートガラスＳＧの雰囲気温度が、ヒータ３６０ａ〜３６０ｅによって温度制御されることによって（具体的には、シートガラスＳＧの雰囲気温度が制御されることにより、シートガラスＳＧが温度制御されることによって）、シートガラスＳＧが粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する冷却が行われる。

なお、ヒータ３６０ａ〜３６０ｅのそれぞれの近傍には、シートガラスＳＧの各領域の雰囲気温度を検出する雰囲気温度検出手段としての複数の熱電対（ここでは、熱電対ユニット３８０（図５を参照）という）が、ヒータ３６０ａ〜３６０ｅのそれぞれに対応するように配置されている。すなわち、熱電対は、シートガラスＳＧの流れ方向に複数且つその幅方向に複数配置されている。

以上のように、成形体３１０の下部３１４以下の領域において、冷却ローラ３３０、冷却ユニット３４０、ヒータ３６０ａ〜３６０ｅによってシートガラスＳＧが冷却されていく工程が冷却工程ＳＴ５である。

（２−３）切断装置４００
切断装置４００では、切断工程ＳＴ６を行う。切断装置４００は、成形装置３００において流下するシートガラスＳＧを、その長手面に対して垂直な方向から切断する装置である。これにより、シート状のシートガラスＳＧは、所定の長さを有する複数の切断シートガラスＳＧ１となる。切断装置４００は、切断装置駆動モータ３９２（図５を参照）によって駆動される。

（３）制御装置５００
図５は、制御装置５００の制御ブロック図である。

制御装置５００は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等から構成され、ガラス板の製造装置１００に含まれる種々の機器の制御を行う制御部として機能する。

具体的には、制御装置５００は、図５に示すように、ガラス板の製造装置１００に含まれる各種のセンサ（例えば、熱電対ユニット３８０等）やスイッチ（例えば、主電源スイッチ３８１等）等による信号、入力装置（図示せず）等を介した作業者からの入力信号を受けて、冷却ユニット３４０、ヒータ３６０ａ〜３６０ｅ、冷却ローラ駆動モータ３９０、引っ張りローラ駆動モータ３９１、切断装置駆動モータ３９２等の制御を行う。

（４）冷却工程ＳＴ５における温度制御
図６は、各温度プロファイル（後述する）におけるシートガラスＳＧの温度を示す表である。図７は、図６の表における温度プロファイルのグラフである。図８は、温度制御工程ＳＴ１１〜ＳＴ１４における冷却速度及び温度勾配を示す表である。

冷却工程ＳＴ５では、シートガラスＳＧを温度制御する温度制御工程ＳＴ１０（図８を参照）を行っている。具体的には、温度制御工程ＳＴ１０では、制御装置５００が、冷却ローラ３３０を制御することにより、シートガラスＳＧの温度を制御する。また、温度制御工程ＳＴ１０では、冷却ユニット３４０、及び、ヒータ３６０ａ〜３６０ｅを制御してシートガラスＳＧの雰囲気温度の制御を行うことによって、シートガラスＳＧの温度を制御する。なお、図６，７に示されるシートガラスＳＧの温度は、冷却ユニット３４０およびヒータ３６０ａ〜３６０ｅによって制御されるシートガラスＳＧの雰囲気温度に基づいて、シミュレーションによって算出された値である。

冷却工程ＳＴ５では、温度制御工程ＳＴ１０を行うことによって、シートガラスＳＧの温度が所定の高さ位置において所定の温度範囲に入るように、且つ、シートガラスＳＧの温度がその幅方向に所定の温度分布を有するようにしている。すなわち、シートガラスＳＧの温度は、その流れ方向及び幅方向において制御されている。

以下では、シートガラスＳＧの温度が有する温度分布を適宜温度プロファイル（図７の実線に示す）という。なお、図６及び図７に示すように、成形体３１０の下部３１４においては、シートガラスＳＧの温度は、その幅方向に均一（プラスマイナス２０℃の範囲を含むものとする）であり、約１１５０℃である。

温度制御工程ＳＴ１０は、図８に示すように、ガラス歪点上温度制御工程ＳＴ１０ａと、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４とを有する。以下、各温度制御工程について説明する。

（４−１）ガラス歪点上温度制御工程ＳＴ１０ａ
ガラス歪点上温度制御工程ＳＴ１０ａは、成形体３１０の下部３１４から、シートガラスＳＧの温度がガラス歪点の近傍の温度領域下回るまでの、シートガラスＳＧの温度の制御を行う工程であって、第１温度制御工程ＳＴ１１と、第２温度制御工程ＳＴ１２と、第３温度制御工程ＳＴ１３とを有する。なお、ガラス歪点とは、一般的なガラスの歪点を言い、１０^14.5ポワズの粘度に相当する温度（例えば、６６１℃）である。ガラス歪点の近傍の温度領域とは、ガラス歪点とガラス徐冷点とを足して２で除した温度（（ガラス歪点＋ガラス徐冷点）／２）から、ガラス歪点から５０℃を引いた温度（ガラス歪点―５０℃）までの領域をいう。ガラス徐冷点とは、一般的なガラスの徐冷点を言い、１０¹³ポワズの粘度に相当する温度（例えば、７１５℃）である。

（４−１−１）第１温度制御工程ＳＴ１１
第１温度制御工程ＳＴ１１は、シートガラスＳＧの幅方向において最高の温度となる箇所（中央領域ＣＡ）の温度がガラス軟化点以上である場合に行われる。ガラス軟化点とは、一般的な、ガラスの軟化点を言い、１０^7.6ポワズの粘度に相当する温度（例えば、９５０℃）である。

第１温度制御工程ＳＴ１１では、温度プロファイルが、第１温度プロファイルＴＰ１１となるように制御している。

（４−１−１−１）第１温度プロファイルＴＰ１１
第１温度プロファイルＴＰ１１とは、図７に示すように、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度が中央領域ＣＡの温度よりも低くなり、且つ、耳部Ｒ，Ｌによって挟まれる中央領域ＣＡの幅方向の温度が均一になる温度プロファイルである。ここで、「中央領域ＣＡ幅方向の温度が均一になる」とは、中央領域ＣＡにおける幅方向の温度差が―２０℃から２０℃までの範囲に入ることを意味する。なお、中央領域ＣＡとは、右部ＣＲと中央部Ｃと左部ＣＬとから構成される領域である。具体的には、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡは、板厚を均一にする対象の部分を含む領域である。また、シートガラスＳＧの幅方向の端部である耳部Ｒ，Ｌは、製造後に切断される対象の部分を含む領域である。

（４−１−１−２）第１温度プロファイルＴＰ１１にするための制御
第１温度制御工程ＳＴ１１では、冷却ローラ３３０及び冷却ユニット３４０を制御することにより、温度プロファイルが第１温度プロファイルＴＰ１１となるようにしている。具体的には、冷却ローラ３３０によってシートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌを冷却することにより、また、冷却ユニット３４０によってシートガラスＳＧの雰囲気温度を制御することにより、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度を中央領域ＣＡの温度よりも所定温度（具体的には、２００℃〜２５０℃）低くしている。そして、冷却ユニット３４０によってシートガラスＳＧの雰囲気温度を制御することにより、耳部Ｒ，Ｌの温度が中央領域ＣＡの温度よりも所定温度低くなり、且つ、中央領域ＣＡの幅方向の温度が均一になる温度プロファイルを維持している。これにより、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの板厚を極力均一にできる。ここで、上述したように、冷却ユニット３４０は、幅方向に３つ配置されている。よって、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌのそれぞれの温度と中央領域ＣＡの温度とを独立して温度制御することができる。

第１温度プロファイルＴＰ１１における、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度は、なお、図６及び図７に示すように、８８０℃であり、中央領域ＣＡの温度は、１０７０℃である。

（４−１−２）第２温度制御工程ＳＴ１２
第２温度制御工程ＳＴ１２は、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度がガラス軟化点を下回ってから、シートガラスＳＧの温度がガラス徐冷点の近傍の温度領域を通ってガラス歪点の近傍の温度領域に入るまでの間に行われる。ガラス徐冷点の近傍の温度領域とは、ガラス徐冷点に１００℃を足した温度（ガラス徐冷点＋１００℃）から、ガラス歪点とガラス徐冷点とを足して２で除した温度（（ガラス歪点＋ガラス徐冷点）／２）より上の領域をいう。

第２温度制御工程ＳＴ１２では、温度プロファイルが、第２温度プロファイルＴＰ２０となるように制御する。

（４−１−２−１）第２温度プロファイルＴＰ２０
第２温度プロファイルＴＰ２０とは、シートガラスＳＧの幅方向における温度が中央部Ｃから耳部Ｒ，Ｌに向かって低くなる温度プロファイルであり、上に凸の曲線を描く形状を有する。すなわち、第２温度制御工程ＳＴ１２では、幅方向において、シートガラスＳＧの中央部Ｃの温度が最も高く、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度が最も低い。なお、第２温度プロファイルＴＰ２０では、温度が幅方向において中央部Ｃから耳部Ｒ，Ｌに向かって連続的に低くなる。

第２温度プロファイルＴＰ２０には、複数の温度プロファイル（具体的には、本実施形態では、第２ａ温度プロファイルＴＰ２１、第２ｂ温度プロファイルＴＰ２２）が含まれる。第２ａ温度プロファイルＴＰ２１及び第２ｂ温度プロファイルＴＰ２２は、シートガラスＳＧの流れ方向の上流側から下流側に向かって順に位置する。

第２温度プロファイルＴＰ２０は、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に向かうにつれて（すなわち、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度がガラス軟化点を下回ってから、シートガラスＳＧの温度がガラス歪点の近傍の温度領域へ向かうにつれて）、シートガラスＳＧの幅方向において、耳部Ｒ，Ｌの温度と中央部Ｃの温度との温度差の絶対値（ここでは、温度差絶対値という）が小さくなる。よって、第２ａ温度プロファイルＴＰ２１の温度差絶対値のほうが、第２ｂ温度プロファイルＴＰ２２の温度差絶対値よりも小さい。

ここで、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に向かうにつれて、温度差絶対値が小さくなるということは、言い換えれば、第２温度プロファイルＴＰ２０は、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に向かうにつれて、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度と中央部Ｃの温度との温度勾配が小さくなるということである。シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度と中央部Ｃの温度との温度勾配とは、図７の二点差線に示すように、中央部Ｃの温度から耳部Ｒの温度を引いた値を、シートガラスＳＧの幅Ｗを２で除した値で、除したものの絶対値（ここでは、第１勾配絶対値という）、又は、中央部Ｃの温度から耳部Ｌの温度を引いた値を、シートガラスＳＧの幅Ｗを２で除した値で、除したものの絶対値（ここでは、第２勾配絶対値という）である。なお、以下の説明においては、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度と中央部Ｃの温度との温度勾配とは、第１勾配絶対値と第２勾配絶対値との平均値を意味するものとする。

第２温度制御工程ＳＴ１２では、第２ａ温度プロファイルＴＰ２１の温度勾配ＴＧ２１、第２ｂ温度プロファイルＴＰ２２の温度勾配ＴＧ２２の順に大きい。

（４−１−２−２）第２温度プロファイルＴＰ２０にするための制御
第２温度制御工程ＳＴ１２では、一部のヒータ（ここでは、ヒータ３６０ａ及び３６０ｂ）を制御することにより、温度プロファイルが第２温度プロファイルＴＰ２０となるようにしている。

具体的には、ヒータ３６０ａを制御することにより、第２ａ温度プロファイルＴＰ２１を形成し、ヒータ３６０ｂを制御することにより、第２ｂ温度プロファイルＴＰ２２を形成している。なお、図示はしていないが、本実施形態の第２温度プロファイルＴＰ２０には、さらにもう１つの第２ｃ温度プロファイルが含まれている。当該第２ｃ温度プロファイルは、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度がガラス軟化点を下回った直後に形成される温度プロファイルである。第２ｃ温度プロファイルは、冷却ユニット３４０によって温度制御されて形成される。

なお、本実施形態では、耳部Ｒ，Ｌ、右部ＣＲ，左部ＣＬ、中央部Ｃの５点の温度の近似曲線が、第２温度プロファイルＴＰ２０となるようにしている。

図６及び図７に示すように、第２ａ温度プロファイルＴＰ２１におけるシートガラスＳＧの耳部Ｌ，左部ＣＬ，中央部Ｃ，右部ＣＲ，耳部Ｒの温度は、順に、７８５℃、７９８℃、８１９℃、７９２℃、７７６℃である。また、第２ｂ温度プロファイルＴＰ２２におけるシートガラスＳＧの耳部Ｌ，左部ＣＬ，中央部Ｃ，右部ＣＲ，耳部Ｒの温度は、順に、７６３℃、７７０℃、７８４℃、７６５℃、７５７℃である。

また、第２温度制御工程ＳＴ１２では、シートガラスＳＧの幅方向において、中央部Ｃの冷却速度が最も速くなるように、ヒータを制御している。すなわち、シートガラスＳＧの幅方向において耳部Ｒ，Ｌの温度の冷却速度や右部ＣＲ，左部ＣＬの温度よりも中央部Ｃの温度の冷却速度が速くなるように、ヒータを制御している。これにより、第２ａ温度プロファイルＴＰ２１及び第２ｂ温度プロファイルＴＰ２２を形成できる。なお、具体的な冷却速度については、歪点近傍温度制御工程ＳＴ１３の箇所で説明する。また、各温度プロファイルＴＰ２１，ＴＰ２２における、温度勾配ＴＧ２１，ＴＧ２２は、それぞれ、７．４×１０^-3℃／ｍｍ、４．７×１０^-3℃／ｍｍである。

（４−１−３）第３温度制御工程ＳＴ１３
第３温度制御工程ＳＴ１３は、シートガラスＳＧの温度がガラス歪点の近傍の温度領域に入っている間に行われる。

第３温度制御工程ＳＴ１３では、温度プロファイルが第３温度プロファイルＴＰ３１となるように制御する。

（４−１−３−１）第３温度プロファイルＴＰ３１
第３温度プロファイルＴＰ３１とは、シートガラスＳＧの幅方向の温度（幅方向の耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃにかけての温度）が均一になる温度プロファイルである。別の言い方をすると、第３温度プロファイルＴＰ３１とは、シートガラスＳＧの幅方向において、温度の耳部Ｒ，Ｌと中央部Ｃとの温度勾配がなくなる温度プロファイルである。

ここで、「均一になる」、「温度勾配がなくなる」とは、シートガラスＳＧの幅方向において、中央部Ｃの温度から耳部Ｒ，Ｌの温度を引いた値が、−２０℃から２０℃までの範囲に入ることである。

（４−１−３−２）第３温度プロファイルＴＰ３１にするための制御
第３温度制御工程ＳＴ１３では、一部のヒータ（ここでは、３６０ｃ）を制御することによって、温度プロファイルが第３温度プロファイルＴＰ３１となるようにしている。ここでは、冷却工程ＳＴ５における温度差絶対値が最も小さくなるようにヒータ３６０ｃを制御している。

なお、図６及び図７に示すように、第３温度プロファイルＴＰ３１における、シートガラスＳＧの耳部Ｌ，左部ＣＬ，中央部Ｃ，右部ＣＲ，耳部Ｒの温度は、順に、６４７℃、６４７℃、６７０℃、６５４℃、６５３℃である。

また、第３温度制御工程ＳＴ１３では、第２温度制御工程ＳＴ１２と同様に、シートガラスＳＧの幅方向において、中央部Ｃの温度の冷却速度が最も速くなるように、ヒータ３６０ｃを制御している。すなわち、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度の冷却速度や右部ＣＲ，左部ＣＬの温度の冷却速度よりも中央部Ｃの温度の冷却速度が速くなるように、ヒータ３６０ｃを制御している。

具体的な冷却速度について説明すると、図８に示すように、例えば、（ガラス徐冷点＋１５０℃）からガラス歪点の近傍の温度領域を下回るまでの温度領域における、シートガラスＳＧの中央部Ｃの温度の平均冷却速度は、２．７℃／秒である。また、（ガラス徐冷点＋１５０℃）からガラス歪点の近傍の温度領域を下回るまでの温度領域における、シートガラスＳＧの右部ＣＲ，左部ＣＬの温度の平均冷却速度は、２．５℃／秒である。また、（ガラス徐冷点＋１５０℃）からガラス歪点の近傍の温度領域を下回るまでの温度領域における、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度の平均冷却速度は、２．１℃／秒である。

（４−２）歪点下方温度制御工程ＳＴ１４
歪点下方温度制御工程ＳＴ１４は、シートガラスＳＧの温度が、ガラス歪点の近傍の温度領域を下回ってから、ガラス歪点から２００℃を引いた温度までの間にあるときに行われる。

歪点下方温度制御工程ＳＴ１４では、温度プロファイルが第４温度プロファイルＴＰ４０となるように制御する。

（４−２−１）第４温度プロファイルＴＰ４０
第４温度プロファイルＴＰ４０とは、シートガラスＳＧの幅方向における温度が耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃに向かって低くなる温度プロファイルであり、下に凸の曲線を描く形状を有する。すなわち、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４では、幅方向において、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度が最も高く、シートガラスＳＧの中央部Ｃの温度が最も低い。

第４温度プロファイルＴＰ４０には、複数の温度プロファイル（具体的には、本実施形態では、第４ａ温度プロファイルＴＰ４１及び第４ｂ温度プロファイルＴＰ４２）が含まれる。第４ａ温度プロファイルＴＰ４１及び第４ｂ温度プロファイルＴＰ４２は、シートガラスＳＧの流れ方向の上流側から下流側にかけて順に位置する。

第４温度プロファイルＴＰ４０は、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に向かうにつれて（すなわち、シートガラスＳＧの温度が、ガラス歪点の近傍の温度領域を下回ってから、ガラス歪点から２００℃を引いた温度領域に向かうにつれて）、温度差絶対値が大きくなる。よって、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４においては、第４ａ温度プロファイルＴＰ４１における温度差絶対値は、第４ｂ温度プロファイルＴＰ４２における温度差絶対値よりも小さい。

ここで、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に向かうにつれて、温度差絶対値が大きくなるということは、言い換えれば、第４温度プロファイルＴＰ４０は、シートガラスＳＧの流れ方向の下流側に向かうにつれて、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度と中央部Ｃの温度との温度勾配が大きくなるということである。

よって、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４では、温度勾配の大きさは、大きい順に、第４ｂ温度プロファイルＴＰ４２の温度勾配ＴＧ４２、第４ａ温度プロファイルＴＰ４１の温度勾配ＴＧ４１となる。

（４−２−２）第４温度プロファイルＴＰ４０にするための制御
歪点下方温度制御工程ＳＴ１４では、一部のヒータ（３６０ｄ及び３６０ｅ）を制御することにより、温度プロファイルが第４温度プロファイルＴＰ４０となるようにしている。

具体的には、第４ａ温度プロファイルＴＰ４１となるように、ヒータ３６０ｄを制御し、第４ｂ温度プロファイルＴＰ４２となるように、ヒータ３６０ｅを制御している。

なお、本実施形態では、耳部Ｒ，Ｌ、右部ＣＲ，左部ＣＬ、中央部Ｃの５点の温度の近似曲線が、第４温度プロファイルＴＰ４０となるようにしている。

図６及び図７に示すように、第４ａ温度プロファイルＴＰ４１におけるシートガラスＳＧの耳部Ｌ，左部ＣＬ，中央部Ｃ，右部ＣＲ，耳部Ｒの温度は、順に、５８５℃、５６５℃、５６２℃、５７０℃、５８２℃である。また、第４ｂ温度プロファイルＴＰ４２におけるシートガラスＳＧの耳部Ｌ，左部ＣＬ，中央部Ｃ，右部ＣＲ，耳部Ｒの温度は、順に、５０６℃、４７２℃、４６３℃、４６８℃、４８８℃である。

また、図８に示すように、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４では、シートガラスＳＧの幅方向において、中央部Ｃの温度の冷却速度が最も速くなるように、ヒータを制御している。すなわち、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度の冷却速度や右部ＣＲ，左部ＣＬの温度の冷却速度よりも中央部Ｃの温度の冷却速度が速くなるように、ヒータを制御している。

ここで、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４における、シートガラスＳＧの中央部Ｃの温度の平均冷却速度は、３．０℃／秒である。また、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４における、シートガラスＳＧの右部ＣＲ，左部ＣＬの温度の平均冷却速度は、２．７℃／秒である。また、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４における、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度の平均冷却速度は、２．０℃／秒である。また、各温度プロファイルＴＰ４１，ＴＰ４２における、温度勾配ＴＧ４１，ＴＧ４２は、それぞれ、４．１×１０^-3℃／ｍｍ、６．７×１０^-3℃／ｍｍである。

なお、第２温度制御工程ＳＴ１２、第３温度制御工程ＳＴ１３、及び、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４では、熱電対ユニット３８０によって検出される雰囲気温度に基づいて各ヒータ３６０ａ〜３６０ｅの出力を制御することで、それぞれの工程における温度プロファイルになるようにしている。

（５）ガラス板の反りについて
以上のようなガラス板の製造方法を用いて、ガラス板を製造し、当該ガラス板の反りを測定した。このとき、反り値は、０．１５ｍｍ以下であった。

ガラス板の反りの測定に関して説明すると、まず、ガラス板の有効領域から８枚の小板を切り出す。次に、小板をガラス定盤に置く。そして、各小板とガラス定盤との隙間を、複数箇所（本実施形態では、角４箇所と、長辺の中央部２箇所と、短辺の中央部２箇所と）において隙間ゲージを用いて測定している。

（６）ガラス板の歪について
ユニオプト製の複屈折率測定器ＡＢＲ−１０Ａを使用して、ガラス板の複屈折率の大きさを測定した。このとき、最大複屈折量は、０．６ｎｍであった。

（７）ガラス板の板厚偏差について
ガラス板の有効領域において、キーエンス社製の変位計を使用して、幅方向に５ｍｍの間隔で板厚偏差を測定した。このとき、ガラス板の板厚偏差は、１０μｍ〜１５μｍであった。

（８）特徴
（８−１）
本実施形態では、冷却工程ＳＴ５において、ガラス歪点上温度制御工程ＳＴ１０ａを行っている。ガラス歪点上温度制御工程ＳＴ１０ａは、第１温度制御工程ＳＴ１１と、第２温度制御工程ＳＴ１２と、第３温度制御工程ＳＴ１３とを含む。

ここで、一般的に、成形体を離れたシートガラスは、自身の表面張力により収縮しようとする。このため、シートガラスの板厚にばらつきが出ることが懸念される。

そこで、本実施形態では、シートガラスＳＧの中央部Ｃの温度がガラス軟化点以上である温度領域において、第１温度制御工程ＳＴ１１において、成形体３１０の直下に配置される冷却ローラ３３０によってシートガラスＳＧを下方に引っ張りながら、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌを急冷している。これにより、極力早くシートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの粘度を上げることができ（具体的には、粘度を１０^9.0ポワズ以上にすることができ）、表面張力によるシートガラスＳＧの収縮を抑制できる。ここで、シートガラスＳＧが幅方向に収縮すると、収縮した箇所の板厚が大きくなり、板厚偏差が悪くなる。従って、第１温度制御工程ＳＴ１１においてシートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌの温度を中央領域ＣＡの温度より低くすることにより、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の厚みを幅方向において均一になるようにできる。

また、第１温度制御工程ＳＴ１１では、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの温度を均一にすることで、中央領域ＣＡの粘度が均一になる。これにより、シートガラスＳＧの板厚を均一化することができる。

また、本実施形態では、冷却ローラ３３０の周速度は、引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅの周速度よりも小さい。

これにより、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌが冷却ローラ３３０に接触する時間が長くなるので、冷却ローラ３３０によるシートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌに対する冷却効果がより大きくなる。よって、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の厚みを幅方向においてより均一にできる。

また、一般的に、ガラス歪点の近傍の温度領域においてシートガラスの幅方向における温度差があると、歪（残留応力）が発生しやすいと言われている。

そこで、本実施形態では、第３温度制御工程ＳＴ１３を行うことによって、ガラス歪点の近傍の温度領域において、シートガラスＳＧの幅方向の耳部Ｒ，Ｌと中央部Ｃとの温度勾配がなくなるように、雰囲気温度を制御している。すなわち、第３温度制御工程ＳＴ１３では、冷却工程ＳＴ５における温度差絶対値が最も小さくなるようにしている。シートガラスＳＧは、ガラス歪点において温度差を有していると、常温まで冷却された後に歪が生じる。すなわち、第３温度制御工程ＳＴ１３において、ガラス歪点の近傍の温度領域に向かって、シートガラスＳＧの幅方向の耳部Ｒ，Ｌと中央部Ｃとの温度勾配を小さくすることで、シートガラスＳＧの歪を低減することができる。温度勾配は、シートガラスＳＧの中央部Ｃの温度から耳部Ｒ，Ｌの温度を引いた値が、−２０℃から２０℃までの範囲に入ることが好ましい。

これにより、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の歪（残留応力）を低減できる。

また、本実施形態では、シートガラスＳＧの幅方向における温度が中央部Ｃから耳部Ｒ，Ｌに向かって低くなる第２温度プロファイルＴＰ２０から、シートガラスＳＧの幅方向の温度が均一になる第３温度プロファイルＴＰ３１になるようにしている。すなわち、本実施形態では、シートガラスＳＧの中央部Ｃの温度がガラス軟化点より低い温度領域において、第２温度制御工程ＳＴ１２及び第３温度制御工程ＳＴ１３において、シートガラスＳＧの幅方向において、中央部Ｃの温度の冷却速度が、耳部Ｒ，Ｌの温度の冷却速度よりも速くなるようにしている。

これにより、第２温度制御工程ＳＴ１２及び第３温度制御工程ＳＴ１３において、シートガラスＳＧの体積収縮量は、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃに向かうにつれて大きくなるので、シートガラスＳＧの中央部Ｃには引張り応力が働く。特に、シートガラスＳＧの中央部Ｃには、シートガラスＳＧの流れ方向および幅方向に引張り応力が働く。なお、シートガラスＳＧの幅方向に働く引張り応力よりも、シートガラスＳＧの流れ方向に働く引張り応力の方が大きいことが好ましい。引張り応力により、シートガラスＳＧの平坦度を維持しつつ冷却することができるので、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の反りをより低減できる。

なお、本実施形態では、第１温度制御工程ＳＴ１１によって耳部Ｒ，Ｌの温度を冷却し耳部Ｒ，Ｌと中央領域ＣＡとの温度差を所定温度にしているので、第２温度制御工程ＳＴ１２や第３温度制御工程ＳＴ１３において耳部Ｒ，Ｌの温度の冷却速度よりも中央部Ｃの温度の冷却速度を速くできている。

（８−２）
本実施形態では、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４においても、常にシートガラスＳＧの中央部Ｃに引っ張り応力が働くようにしている。また、第１温度制御工程ＳＴ１１においても、冷却ローラ３３０によって速やかに当該耳部Ｒ，Ｌの粘度を所定値以上にすることで、シートガラスＳＧの中央部Ｃに引っ張り応力を働かせている。

よって、本実施形態の冷却工程ＳＴ５では、冷却ローラ３３０や引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅによってシートガラスＳＧに幅方向及び流れ方向の引っ張り応力を働かせるだけでなく、温度制御を行うことによってもシートガラスＳＧ（特に中央部Ｃ）に幅方向及び流れ方向の引っ張り応力を働かせている。よって、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の反りを低減できる。

（８−３）
本実施形態では、ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、シートガラスＳＧの幅方向の温度が耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃに向かって低くなるようにする歪点下方温度制御工程ＳＴ１４が行われる。これにより、シートガラスＳＧの体積収縮量は、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃに向かうにつれて大きくなる。そのため、シートガラスＳＧの中央部Ｃには、シートガラスＳＧの流れ方向および幅方向に引張り応力が働く。従って、引張り応力により、シートガラスＳＧの平坦度を維持しつつ冷却することができるので、シートガラスＳＧの反りを低減することができる。

（９）変形例
以上、本実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、上記の実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。

（９−１）変形例１Ａ
上記実施形態では、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌのそれぞれと中央領域ＣＡとの雰囲気温度を制御するように、冷却ユニット３４０は、シートガラスＳＧの幅方向に３つ配置されているが、これに限られるものではなく、３つ以上であってもよい。

また、上記実施形態では、ヒータは、シートガラスＳＧの幅方向に５つ配置されている が、シートガラスＳＧの幅方向におけるヒータの数は、これに限られるものではない。

例えば、シートガラスＳＧの幅方向におけるヒータの数は、５つ以上であってもよい。なお、この場合、熱電対はヒータに対応して増やされることが好ましい。

これにより、より理想的な温度プロファイルの形状となるように、シートガラスＳＧの温度や雰囲気温度を細やかに制御できる。よって、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の反りや歪の低減により貢献できる。

（９−２）変形例１Ｂ
上記実施形態では、ヒータは、シートガラスＳＧの流れ方向に５つ配置されているが、シートガラスＳＧの流れ方向におけるヒータの数は、これに限られるものではない。

例えば、シートガラスＳＧの流れ方向におけるヒータの数は、５つ以上であってもよい。

これにより、シートガラスＳＧの流れ方向の温度や雰囲気温度を、より細やかに制御できる。よって、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の反りや歪の低減により貢献できる。

（９−３）変形例１Ｃ
成形装置３００は、複数の引っ張りローラ３５０ａ〜３５０ｅのそれぞれの間に配置される複数の断熱部材を有していてもよい。複数の断熱部材は、シートガラスＳＧの厚み方向の両側に配置される。

断熱部材を設けることにより、シートガラスＳＧの温度や雰囲気温度の制御をより行いやすくなる。つまり、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板に歪が発生することを抑制できる。

（９−４）変形例１Ｄ
上記第３温度制御工程ＳＴ１３では、シートガラスＳＧの温度がガラス歪点の近傍の温度領域に入っている間に、シートガラスＳＧの幅方向の温度が常に均一になるように温度制御していると説明した。

しかし、これに限られるものではなく、シートガラスＳＧの温度がガラス歪点近傍の温度領域に入っているときに、少なくとも１度、シートガラスＳＧの幅方向の温度が均一になればよい。すなわち、少なくとも１度、第３温度プロファイルＴＰ３１となればよい。

よって、例えば、シートガラスＳＧの温度がガラス歪点の近傍の温度領域に入るような高さ位置に、シートガラスＳＧの流れ方向に沿って上記実施形態よりも多くのヒータが設けられている場合、第３温度制御工程ＳＴ１３では、少なくとも１度、第３温度プロファイルＴＰ３１となるように温度制御がされれば、その他の温度プロファイルについては、その幅方向における温度が均一になるように温度制御されなくてもよい。この場合、第３温度プロファイルＴＰ３１よりも上に位置する温度プロファイルは、第２温度プロファイルＴＰ２０のようになり、第３温度プロファイルＴＰ３１よりも下に位置する温度プロファイルは、第４温度プロファイルＴＰ４０のようになる。

この場合であっても、歪点近傍の温度領域において、温度差絶対値（又は、上記温度勾配）が最小となるようにできる。よって、シートガラスＳＧ、ひいては、ガラス板の歪を低減できる。

（９−５）変形例１Ｅ
上記実施形態では、シートガラスＳＧの幅方向における温度制御を、シートガラスＳＧの幅方向に配置される複数のヒータによって行うと説明したが、これに限られるものではない。例えば、冷却器等を併用してもよい。

（９−６）変形例１Ｆ
上記実施形態では、第２温度制御工程ＳＴ１２において、シートガラスＳＧの幅方向の温度が中央部から端部に向かって低くなるように温度勾配が形成される。しかし、第２温度制御工程ＳＴ１２において、シートガラスＳＧの幅方向の温度勾配が、シートガラスＳＧの流れ方向に向かうに従って漸減することが好ましい。

また、第２温度制御工程ＳＴ１２において、シートガラスＳＧの幅方向の温度が中央部から端部に向かって漸減するように温度勾配が形成されることがより好ましい。この場合、温度勾配が、シートガラスＳＧの流れ方向に向かうに従って漸減することがより好ましい。

また、第２温度制御工程ＳＴ１２において、シートガラスＳＧの幅方向の温度が中央部から端部に向かって凸状に漸減するように温度勾配が形成されることがより好ましい。この場合、温度勾配が、シートガラスＳＧの流れ方向に向かうに従って漸減することがより好ましい。

（９−７）変形例１Ｇ
上記実施形態の歪点下方温度制御工程ＳＴ１４では、ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、シートガラスＳＧの幅方向の温度が耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃに向かって低くなるように温度勾配が形成される。しかし、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４において、ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、シートガラスＳＧの温度が耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃに向かって漸減するように温度勾配が形成されることが好ましい。

また、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４において、ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、シートガラスＳＧの温度が耳部Ｒ，Ｌから中央部Ｃに向かって凸状に漸減するように温度勾配が形成されることがより好ましい。

また、歪点下方温度制御工程ＳＴ１４において、シートガラスＳＧの耳部Ｒ，Ｌと中央部Ｃとの間の温度勾配を、シートガラスＳＧの流れ方向に向かって増加または漸増させることがより好ましい。

本発明は、ダウンドロー法を使用してガラス板を製造する、ガラス板の製造方法に種々適用可能である。

１００ ガラス板の製造装置
３１０ 成形体
３１３ 成形体の下部
３３０ 冷却ローラ（ローラ）
３５０ａ〜３５０ｅ 引っ張りローラ（ローラ）
Ｃ シートガラスの中央部
Ｒ，Ｌ シートガラスの耳部（幅方向の端部）
ＳＧ シートガラス
ＳＴ４ 成形工程
ＳＴ５ 冷却工程
ＳＴ１０ａ ガラス歪点上温度制御工程
ＳＴ１１ 第１温度制御工程
ＳＴ１２ 第２温度制御工程
ＳＴ１３ 第３温度制御工程

特開２００４−１１５３５７号公報

Claims (6)

1. ダウンドロー法によるガラス板の製造方法であって、
   溶融ガラスを成形体の両側面に沿って流下させ前記成形体の下部で合流させることによりシートガラスを成形する成形工程と、
   前記シートガラスをローラによって下方に引っ張りながら冷却する冷却工程と、
   を備え、
   前記冷却工程では、
   前記成形体の下部からガラス歪点の近傍の温度領域を下回るまでの温度領域において前記シートガラスの幅方向の温度制御を行う工程であって、
   前記シートガラスの幅方向の端部が前記端部に挟まれた中央領域の温度より低く、且つ、前記中央領域の温度が均一になるようにする第１温度制御工程と、前記シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって低くなるようにする第２温度制御工程と、ガラス歪点の近傍の温度領域において、前記シートガラスの幅方向の端部と中央部との温度勾配がなくなるようにする第３温度制御工程とを含む、ガラス歪点上温度制御工程、が行われる、
   ガラス板の製造方法。
2. 前記第１温度制御工程は、前記シートガラスの中央部の温度がガラス軟化点以上である場合に行われ、
   前記第２温度制御工程及び前記第３温度制御工程は、前記シートガラスの中央部の温度が前記ガラス軟化点より低い場合に行われる、
   請求項１に記載のガラス板の製造方法。
3. 前記第３温度制御工程では、前記冷却工程における前記シートガラスの幅方向の端部と中央部との温度差が、最も小さくなるようにする、
   請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
4. 前記温度勾配がなくなるとは、前記シートガラスの幅方向において中央部の温度から端部の温度を引いた値が、−２０℃から２０℃までの範囲に入ることである、
   請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
5. 前記冷却工程では、前記ガラス歪点の近傍の温度領域より低い温度領域において、前記シートガラスの幅方向の温度が端部から中央部に向かって低くなるようにする第４温度制御工程がさらに行われる、
   請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
6. 前記第４温度制御工程では、前記シートガラスの幅方向の端部と中央部との温度勾配を、前記シートガラスの流れ方向に向かって増加させる、
   請求項５に記載のガラス板の製造方法。

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