JP6007341B2 - ガラス基板の製造方法、及び、ガラス基板の製造装置 - Google Patents
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Description
(1)本発明の一態様は、ダウンドロー法により、溶融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスに成形し、前記シートガラスを流下方向に引き伸ばしながら冷却することによりガラス基板を製造するガラス基板の製造方法であって、
前記シートガラスは幅方向の端部と前記端部に挟まれた幅方向中央領域とを有し、前記幅方向中央領域の板厚より厚みを有する前記端部に対向する位置に、前記端部に接するように一対の冷却ローラを備え、
前記シートガラスは、前記幅方向中央領域の粘度より前記端部の粘度が高くなるように冷却され、
前記成形体の下端から前記一対の冷却ローラより上流の位置における前記端部を冷却する第1冷却速度は、前記一対の冷却ローラの下流であって前記幅方向中央領域の温度が徐冷点以上となる温度領域における前記端部を冷却する第2冷却速度より遅く、前記第2冷却速度は17.5℃/秒以下である、
ことを特徴とする。
8.3℃/秒〜17.5℃/秒の範囲の前記第2冷却速度で冷却する、ことが好ましい。
前記シートガラスは幅方向の端部と前記端部に挟まれた幅方向中央領域とを有し、前記幅方向中央領域の板厚より厚みを有する前記端部に対向する位置に、前記端部に接するように一対の冷却ローラを備え、
前記シートガラスは、前記幅方向中央領域の粘度より前記端部の粘度が高くなるように冷却され、
前記成形体の下端から前記一対の冷却ローラより上流の位置における前記端部を冷却する第1冷却速度は、前記一対の冷却ローラの下流であって前記幅方向中央領域の温度が徐冷点以上となる温度領域における前記端部を冷却する第2冷却速度より遅く、前記第2冷却速度は17.5℃/秒以下である、
ことを特徴とする。
まず、図1および図2を参照して、ガラス基板の製造方法に含まれる複数の工程および複数の工程に用いられるガラス基板の製造装置100を説明する。ガラス基板の製造方法は、図1に示すように、主として、溶融工程S1と、清澄工程S2と、成形工程S3と、冷却工程S4と、切断工程S5とを含む。
まず、図3および図4に、成形装置40の概略構成を示す。図3は、成形装置40の断面図である。図4は、成形装置40の側面図である。
成形体41は、オーバーフローチャンバー20内に設けられる。成形体41は、溶融ガラスFGをオーバーフローさせることによって、溶融ガラスFGをシート状のガラス(シートガラスSG)へと成形する。
仕切り部材50は、オーバーフローチャンバー20からフォーミングチャンバー30への熱の移動を遮断する部材である。仕切り部材50は、溶融ガラスFGの合流ポイントの近傍に配置されている。また、図3に示すように、仕切り部材50は、合流ポイントで合流した溶融ガラスFG(シートガラスSG)の厚み方向両側に配置される。仕切り部材50は、断熱材である。仕切り部材50は、溶融ガラスFGの合流ポイントの上側雰囲気および下側雰囲気を仕切ることにより、仕切り部材50の上側から下側への熱の移動を遮断する。
冷却ローラ51は、フォーミングチャンバー30内に設けられる。より具体的に、冷却ローラ51は、仕切り部材50の直下に配置されている。また、冷却ローラ51は、シートガラスSGの厚み方向両側、且つ、シートガラスSGの幅方向両側に配置される。シートガラスSGの厚み方向両側に配置された冷却ローラ51は対で動作する。すなわち、シートガラスSGの両側部(幅方向両端部)は、二対の冷却ローラ51,51,・・・によって挟み込まれる。
温度調整ユニット60は、オーバーフローチャンバー20内及びフォーミングチャンバー30内に設けられ、シートガラスSGを徐冷点近傍まで冷却するユニットである。温度調整ユニット60は、成形体41の下端部41aに対向する位置、及び、仕切り部材50の下方であって、冷却チャンバー80の天板80aの上に配置される。
引下げローラ81a〜81gは、冷却チャンバー80内に設けられ、フォーミングチャンバー30内を通過したシートガラスSGを、シートガラスSGの流れ方向へ引き下げる。引下げローラ81a〜81gは、冷却チャンバー80の内部で、流れ方向に沿って所定の間隔を空けて配置される。引下げローラ81a〜81gは、シートガラスSGの厚み方向両側(図3参照)、および、シートガラスSGの幅方向両側(図4参照)に複数配置される。すなわち、引下げローラ81a〜81gは、シートガラスSGの幅方向の両側部(両耳部、両端部)R,L、かつ、シートガラスSGの厚み方向の両側に接触しながらシートガラスSGを下方に引き下げる。
ヒータ82a〜82gは、冷却チャンバー80の内部に設けられ、冷却チャンバー80の内部空間の温度を調整する。具体的に、ヒータ82a〜82gは、シートガラスSGの流れ方向およびシートガラスSGの幅方向に複数配置される。より具体的には、シートガラスSGの流れ方向には、7つのヒータが配置され、シートガラスの幅方向には3つのヒータが配置される。幅方向に配置される3つのヒータは、シートガラスSGの中央領域CAと、シートガラスSGの側部(耳部、端部)R,Lとをそれぞれ熱処理する。中央領域CAは、中心部Cを含み、シートガラスSGの両側部R,LよりシートガラスSGの幅方向内側の領域であって、シートガラスSGの幅方向の幅のうちシートガラスSGの幅方向の中心から幅の半分の例えば85%以内の範囲の領域である。ヒータ82a〜82gは、後述する制御装置91によって出力が制御される。これにより、冷却チャンバー80内部を通過するシートガラスSGの近傍の雰囲気温度が制御される。ヒータ82a〜82gによって冷却チャンバー80内の雰囲気温度が制御されることによって、シートガラスSGの温度制御が行われる。また、温度制御により、シートガラスSGは、粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する。このように、ヒータ82a〜82gの制御により、冷却チャンバー80では、シートガラスSGの温度が、徐冷点近傍の温度から室温近傍の温度まで冷却される(下流域冷却工程)。ここで、徐冷点は、粘度が1013ポワズとなるときの温度であり、ここでは、715.0℃である。
切断装置90は、冷却チャンバー80内で室温近傍の温度まで冷却されたシートガラスSGを、所定のサイズに切断する。切断装置90は、所定の時間間隔でシートガラスSGを切断する。これにより、シートガラスSGは、複数のガラス板PGになる。切断装置90は、切断装置駆動モータ392(図5を参照)によって駆動される。
制御装置91は、CPU、RAM、ROM、およびハードディスク等から構成されており、ガラス板の製造装置100に含まれる種々の機器の制御を行う。
本実施形態に係るガラス基板の製造方法では、成形工程S3が複数の成形工程S31,S32からなる。具体的には、シートガラスSGの流れ方向に沿って、第1成形工程S31、第2成形工程S32の順に実行される。
また、本実施形態に係る成形工程S3では、シートガラスSGの中心部Cの冷却速度(中心部冷却速度)と、シートガラスSGの側部(耳部、端部)R,Lの冷却速度(側部冷却速度)とを異なる速度に設定している。中心部冷却速度は、シートガラスSGの中心部Cの温度変化の量と、温度変化に要する時間とに基づいて算出される。側部冷却速度は、シートガラスSGの側部R,Lの温度変化の量と、温度変化に要する時間とに基づいて算出される。
第1成形工程S31は、成形体41の直下で合流した溶融ガラス(シートガラスSG)を、冷却ローラ51に触れていない冷却ローラ51の上端まで冷却する工程である。具体的に、第1成形工程では、約1,100℃〜1,200℃のシートガラスSGを、側部(耳部、端部)R,Lの粘度が軟化点と対応する粘度以上を維持するように、側部を冷却速度8.3℃/秒以下で冷却する(図7参照)。
第1温度プロファイルTP1は、成形体41の下端部41aの下流域において、シートガラスSGの最も上流側で実現される温度分布である(図6参照)。第1温度プロファイルTP1は、シートガラスSGの中央領域CAの温度が均一であり、シートガラスSGの側部R,Lは、シートガラスSGの中央領域CAの温度よりも低い。ここで、中央領域CAの温度が均一であるとは、中央領域CAの温度が、所定の温度域に含まれることをいう。所定の温度域とは、基準温度±20℃の範囲である。基準温度は、中央領域CAの幅方向の平均温度である。
第2成形工程S42は、側部(耳部、端部)R,Lの粘度が軟化点と対応する粘度以上を維持されたシートガラスSGを、中央領域CAの温度が徐冷点以上となる温度領域まで冷却する工程である(図7参照)。具体的に、第2成形工程S31では、シートガラスSGの側部(耳部、端部)R,Lの粘度が109.0poise以上になるように、側部R,Lを冷却速度8.3℃/秒〜17.5℃/秒の範囲で冷却する(図7参照)。
第2温度プロファイルTP2は、シートガラスSGが冷却ローラ51に触れる冷却ローラ51の上端より下流側で実現される温度分布である(図6参照)。第2温度プロファイルTP2は、第1温度プロファイルTP1と同様に、シートガラスSGの中央領域CAの温度が均一であり、シートガラスSGの側部R,Lは、シートガラスSGの中央領域CAの温度よりも低い。
上記ガラス基板の製造装置100およびガラス基板の製造方法を用いて、以下の条件でガラス基板を製造する。ガラスの組成(質量%)は、各成分の含有率が、SiO260%,Al2O3 17%,B2O3 10%,CaO 3%,SrO 3%,BaO 1%であるものとする。ガラスの液相温度は、1,100℃であり、液相粘度は2.5×105poiseである。ガラスの徐冷点は、715.0℃であり、歪点は、661℃である。また、シートガラスSGの幅は、1600mmであるものとする。さらに、これらの条件を満たしつつ、異なる厚み(0.2mm,0.3mm,0.4mm)のシートガラスSGをそれぞれ製造した。
態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
12 清澄装置
40 成形装置
41 成形体
51 冷却ローラ
60 温度調整ユニット
81a〜81g 引下げローラ
82a〜82g ヒータ
90 切断装置
91 制御装置
100 ガラス基板の製造装置
Claims (5)
- ダウンドロー法により、溶融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスに成形し、前記シートガラスを流下方向に引き伸ばしながら冷却することによりガラス基板を製造するガラス基板の製造方法であって、
前記シートガラスは幅方向の端部と前記端部に挟まれた幅方向中央領域とを有し、前記幅方向中央領域の板厚より厚みを有する前記端部に対向する位置に、前記端部に接するように一対の冷却ローラを備え、
前記シートガラスは、前記幅方向中央領域の粘度より前記端部の粘度が高くなるように冷却され、
前記成形体の下端から前記一対の冷却ローラより上流の位置における前記端部を冷却する第1冷却速度は、前記一対の冷却ローラの下流であって前記幅方向中央領域の温度が徐冷点以上となる温度領域における前記端部を冷却する第2冷却速度より遅く、前記第2冷却速度は17.5℃/秒以下である、
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記端部を8.3℃/秒未満の前記第1冷却速度で冷却し、
8.3℃/秒〜17.5℃/秒の範囲の前記第2冷却速度で冷却する、
ことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記幅方向中央領域の板厚が、0.4mm以下になるよう成形する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記成形体の下端での前記幅方向中央領域の粘度を、120000Poise以下になるよう冷却する、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法。 - ダウンドロー法により、溶融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスに成形し、前記シートガラスを流下方向に引き伸ばしながら冷却することによりガラス基板を製造するガラス基板の製造装置であって、
前記シートガラスは幅方向の端部と前記端部に挟まれた幅方向中央領域とを有し、前記幅方向中央領域の板厚より厚みを有する前記端部に対向する位置に、前記端部に接するように一対の冷却ローラを備え、
前記シートガラスは、前記幅方向中央領域の粘度より前記端部の粘度が高くなるように冷却され、
前記成形体の下端から前記一対の冷却ローラより上流の位置における前記端部を冷却する第1冷却速度は、前記一対の冷却ローラの下流であって前記幅方向中央領域の温度が徐冷点以上となる温度領域における前記端部を冷却する第2冷却速度より遅く、前記第2冷却速度は17.5℃/秒以下である、
ことを特徴とするガラス基板の製造装置。
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