KR101837875B1 - 글래스 기판의 제조 방법 및 글래스 기판의 제조 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는 시트 글래스의 단부끼리가 이격되는 것을 억제하면서, 시트 글래스의 폭 방향의 수축을 억제할 수 있는 글래스 기판의 제조 방법 등을 제공하는 것이다. 다운드로법에 의해, 용융 글래스를 성형체로부터 오버플로우시켜 시트 글래스로 성형해서 글래스 기판을 제조하는 글래스 기판의 제조 방법으로서, 시트 글래스는 폭 방향의 단부와 단부에 끼워진 폭 방향 중앙 영역을 갖고, 폭 방향 중앙 영역의 판 두께보다 두께를 갖는 단부에 대향하는 위치에, 단부에 접하도록 한 쌍의 롤러를 구비하고, 성형체의 하단부로부터 한 쌍의 롤러보다 상류의 위치에서의 단부를 냉각하는 제1 냉각 속도는, 한 쌍의 롤러의 하류이며 폭 방향 중앙 영역의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역에서의 단부를 냉각하는 제2 냉각 속도보다 느리다.

Description

글래스 기판의 제조 방법 및 글래스 기판의 제조 장치{METHOD FOR MANUFACTURING GLASS SUBSTRATE AND DEVICE FOR MANUFACTURING GLASS SUBSTRATE}
본 발명은, 글래스 기판의 제조 방법 및 글래스 기판의 제조 장치에 관한 것이다.
종래부터, 다운드로법을 사용해서 TFT 타입의 디스플레이를 제조하는 방법이 제안되어 있다. 다운드로법에서는, 성형체에 용융 글래스를 유입한 후, 당해 용융 글래스를 성형체의 정상부로부터 오버플로우시킨다. 오버플로우한 용융 글래스는, 성형체의 양측면을 따라서 유하하고, 성형체의 하단부에서 합류함으로써, 시트 형상의 글래스(시트 글래스)가 된다. 시트 글래스는 인장 롤러에 의해 하방으로 인하하면서 냉각된다. 냉각된 시트 글래스는, 원하는 길이로 절단되어, 글래스 기판이 된다. 특허문헌 1에서는, 성형체의 하단부에서 합류한 시트 글래스의 폭 방향으로 인장 응력이 작용하도록 냉각함으로써, 시트 글래스의 판 두께를 균일하게 유지하는 방법이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2013-212987호 공보
성형체에 의해 성형된 시트 글래스는, 폭 방향의 양측의 단부와, 양측의 단부에 끼워진 폭 방향 중앙 영역을 갖고 있다. 시트 글래스의 폭 방향 중앙 영역(글래스 기판의 제품이 되는 영역)의 판 두께가 0.4㎜ 이하가 되는 얇은 시트 글래스는, 단부의 판 두께도 얇고, 단부의 보유 열량이 작으므로, 성형체의 하단부에서 급냉되어, 성형체의 하단부에서 합류한 단부끼리가 이격되어 버릴 우려가 있었다. 한편, 단부끼리의 이격을 방지하기 위해, 성형체의 하단부에서의 시트 글래스의 냉각량을 억제하면, 성형체의 하단부에서의 시트 글래스의 점도가 높아져, 시트 글래스의 폭 방향의 수축이 일어날 우려도 있었다. 이로 인해, 시트 글래스의 단부끼리가 이격되는 것을 억제하면서, 시트 글래스의 폭 방향의 수축을 억제할 필요가 있었다.
따라서, 본 발명은, 시트 글래스의 단부끼리가 이격되는 것을 억제하면서, 시트 글래스의 폭 방향의 수축을 억제할 수 있는 글래스 기판의 제조 방법 및 글래스 기판의 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 하기 (1) 내지 (4)를 제공한다.
(1) 본 발명의 일 형태는, 다운드로법에 의해, 용융 글래스를 성형체로부터 오버플로우시켜 시트 글래스로 성형하고, 상기 시트 글래스를 유하 방향으로 신장시키면서 냉각함으로써 글래스 기판을 제조하는 글래스 기판의 제조 방법으로서,
상기 시트 글래스는 폭 방향의 단부와 상기 단부에 끼워진 폭 방향 중앙 영역을 갖고, 상기 폭 방향 중앙 영역의 판 두께보다 두께를 갖는 상기 단부에 대향하는 위치에, 상기 단부에 접하도록 한 쌍의 롤러를 구비하고,
상기 성형체의 하단부로부터 상기 한 쌍의 롤러보다 상류의 위치에서의 상기 단부를 냉각하는 제1 냉각 속도는, 상기 한 쌍의 롤러의 하류이며 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역에서의 상기 단부를 냉각하는 제2 냉각 속도보다 느린 것을 특징으로 한다.
(2) 상기 (1)에 있어서, 상기 성형체의 하단부에서의 상기 단부의 점도를 105.7Poise 미만으로 하고, 상기 단부의 점도가 연화점과 대응하는 점도 이상을 유지하도록 상기 단부를 8.3℃/초 미만의 상기 제1 냉각 속도로 냉각하고, 8.3℃/초 내지 17.5℃/초의 범위의 상기 제2 냉각 속도로 냉각하는 것이 바람직하다.
(3) 상기 (1) 또는 상기 (2)에 있어서, 상기 폭 방향 중앙 영역의 판 두께가, 0.4㎜ 이하가 되도록 성형하는 것이 바람직하다.
(4) 본 발명의 다른 형태는, 다운드로법에 의해, 용융 글래스를 성형체로부터 오버플로우시켜 시트 글래스에 성형하고, 상기 시트 글래스를 유하 방향으로 연장시키면서 냉각함으로써 글래스 기판을 제조하는 글래스 기판의 제조 장치로서,
상기 시트 글래스는 폭 방향의 단부와 상기 단부에 끼워진 폭 방향 중앙 영역을 갖고, 상기 폭 방향 중앙 영역의 판 두께보다 두께를 갖는 상기 단부에 대향하는 위치에, 상기 단부에 접하도록 한 쌍의 롤러를 구비하고,
상기 성형체의 하단부로부터 상기 한 쌍의 롤러보다 상류의 위치에서의 상기 단부를 냉각하는 제1 냉각 속도는, 상기 한 쌍의 롤러의 하류이며 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역에서의 상기 단부를 냉각하는 제2 냉각 속도보다 느린 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 시트 글래스의 단부끼리가 이격되는 것을 억제하면서, 시트 글래스의 폭 방향의 수축을 억제할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태에 관한 글래스 기판의 제조 방법의 흐름도이다.
도 2는 글래스 기판의 제조 방법에서 사용되는 글래스 기판의 제조 장치를 도시하는 모식도이다.
도 3은 성형 장치의 개략을 도시하는 개략도(단면도)이다.
도 4는 성형 장치의 개략을 도시하는 개략도(측면도)이다.
도 5는 제어 장치의 제어 블록도이다.
도 6은 시트 글래스의 소정의 높이 위치에서의 온도 프로파일을 도시하는 도면이다.
도 7은 시트 글래스의 냉각 속도의 예를 나타내는 도면이다.
본 실시 형태에 관한 글래스 기판의 제조 방법에서는, 예를 들어, 주표면에 TFT가 형성되는 TFT 디스플레이용의 글래스 기판을 제조한다. 글래스 기판은, 다운드로법을 사용해서 제조된다. 이하, 도면을 참조하면서, 본 실시 형태에 관한 글래스 기판의 제조 방법에 대해서 설명한다.
(1) 글래스 기판의 제조 방법의 개요
우선, 도 1 및 도 2를 참조하여, 글래스 기판의 제조 방법에 포함되는 복수의 공정 및 복수의 공정에 사용되는 글래스 기판의 제조 장치(100)를 설명한다. 글래스 기판의 제조 방법은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 주로, 용융 공정 S1과, 청징 공정 S2와, 성형 공정 S3과, 냉각 공정 S4와, 절단 공정 S5를 포함한다.
용융 공정 S1은, 글래스의 원료가 용융되는 공정이다. 글래스의 원료는, 원하는 조성이 되도록 조합된 후, 도 2에 도시하는 바와 같이, 상류에 배치된 용융 장치(11)에 투입된다. 글래스 원료는, 예를 들어, SiO2, Al2O3, B2O3, CaO, SrO, BaO 등을 포함하는 조성으로 이루어진다. 구체적으로는, 변형점이 660℃ 이상이 되는 글래스 원료를 사용한다. 글래스의 원료는, 용융 장치(11)에서 용융되어, 용융 글래스 FG가 된다. 용융 온도는 글래스의 종류에 따라서 조정된다. 본 실시 형태에서는, 글래스 원료가 1500℃ 내지 1650℃에서 용융된다. 용융 글래스 FG는, 상류 파이프(23)를 통하여 청징 장치(12)에 보내진다.
청징 공정 S2는, 용융 글래스 FG 중의 기포의 제거를 행하는 공정이다. 청징 장치(12) 내에서 기포가 제거된 용융 글래스 FG는, 그 후, 하류 파이프(24)를 통하여, 성형 장치(40)에 보내진다.
성형 공정 S3은, 용융 글래스 FG를 시트 형상의 글래스(시트 글래스) SG로 성형하는 공정이다. 구체적으로, 용융 글래스 FG는, 성형 장치(40)에 포함되는 성형체(41)에 연속적으로 공급된 후, 성형체(41)로부터 오버플로우한다. 오버플로우한 용융 글래스 FG는, 성형체(41)의 표면을 따라서 유하한다. 용융 글래스 FG는, 그 후, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류하여 시트 글래스 SG로 성형된다. 시트 글래스 SG는, 폭 방향의 단부에 위치하는 측부(귀부, 단부)와, 측부에 끼워진 폭 방향의 중앙 영역을 갖는다. 시트 글래스 SG의 측부의 판 두께는, 중앙 영역의 판 두께와 비교해서 두껍게 성형된다. 시트 글래스 SG의 중앙 영역은, 일정한 판 두께를 포함하는 글래스 기판의 제품이 되는 영역이다. 시트 글래스 SG의 중앙 영역의 판 두께를 0.4㎜ 이하의 박판으로 성형하고자 하는 경우, 시트 글래스 SG의 측부의 판 두께는 종래보다 얇게 성형된다. 시트 글래스 SG의 측부의 판 두께가 얇아지면, 측부의 보유 열량이 작아져, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 급냉되어, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류한 측부끼리가 이격되어 버릴 우려가 있다. 이로 인해, 성형체(41)의 하단부(41a)로부터 하류의 영역에서, 시트 글래스 SG의 측부의 냉각 속도를 제어할 필요가 있다.
냉각 공정 S4는, 시트 글래스 SG를 냉각(서냉)하는 공정이다. 글래스 시트는, 냉각 공정 S4를 거쳐서 실온에 가까운 온도로 냉각된다. 또한, 냉각 공정 S4에 있어서의, 냉각 상태(냉각 조건)에 따라서, 글래스 기판의 두께(판 두께), 글래스 기판의 휨량 및 글래스 기판의 변형량이 결정된다.
절단 공정 S5는, 실온에 가까운 온도로 된 시트 글래스 SG를, 소정의 크기로 절단하는 공정이다.
또한, 소정의 크기로 절단된 시트 글래스 SG(글래스판 PG)는, 그 후, 단부면 가공 등의 공정을 거쳐, 글래스 기판이 된다.
이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 글래스 기판의 제조 장치(100)에 포함되는 성형 장치(40)의 구성을 설명한다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 시트 글래스 SG의 폭 방향이란, 시트 글래스 SG가 유하하는 방향(흐름 방향)에 교차하는 방향, 즉, 수평 방향을 의미한다.
(2) 성형 장치의 구성
우선, 도 3 및 도 4에, 성형 장치(40)의 개략 구성을 도시한다. 도 3은 성형 장치(40)의 단면도이다. 도 4는 성형 장치(40)의 측면도이다.
성형 장치(40)는 시트 글래스 SG가 통과하는 통로와, 통로를 둘러싸는 공간을 갖는다. 통로를 둘러싸는 공간은 오버플로우 챔버(20), 포밍 챔버(30) 및 냉각 챔버(80)로 구성되어 있다.
오버플로우 챔버(20)는, 청징 장치(12)로부터 보내지는 용융 글래스 FG를 시트 글래스 SG로 성형하는 공간이다.
포밍 챔버(30)는, 오버플로우 챔버(20)의 하방에 배치되고, 시트 글래스 SG의 두께 및 휨량을 조정하기 위한 공간이다. 포밍 챔버(30)에서는, 냉각 공정 S4의 일부가 실행된다. 구체적으로, 포밍 챔버(30)에서는 시트 글래스 SG의 상류 영역이 냉각된다(상류 영역 냉각 공정). 시트 글래스 SG의 상류 영역이란, 시트 글래스 SG의 중심부(중앙 영역) C의 온도가 서냉점보다 위인 시트 글래스 SG의 영역이고, 도 3에 있어서 A1 및 A2로 나타내는 시트 글래스 SG의 영역이다. 시트 글래스 SG의 중심부 C는, 시트 글래스 SG의 폭 방향 중심이다. 상류 영역에는, 구체적으로, 제1 온도 영역과 제2 온도 영역이 포함된다. 제1 온도 영역은, 후술하는 제1 성형 공정 S31에 있어서의 온도 영역이며, 성형체(41)의 하단부(41a)로부터 후술하는 냉각 롤러(51)의 상단부까지의 온도 영역(도 3에 있어서 A1로 나타내는 시트 글래스 SG의 영역)이다. 또한, 제2 온도 영역은, 후술하는 제2 성형 공정 S32에 있어서의 온도 영역이며, 냉각 롤러(51)의 상단부로부터 시트 글래스 SG의 중심부 C의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역(도 3에 있어서 A2로 나타내는 시트 글래스 SG의 영역)이다. 시트 글래스 SG는, 성형체(41)의 표면을 따라서 유하하고, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류하여 시트 글래스 SG로 성형되지만, 성형체(41)의 하단부(41a)보다 하류에 있어서는, 시트 글래스 SG의 온도가 서서히 내려간다. 또한, 시트 글래스 SG(의 측부)가, 냉각 롤러(51)에 접촉하면, 시트 글래스 SG의 온도는 더 내려간다. 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류하여 맞댄 시트 글래스 SG가 급냉되면, 맞댐부가 박리되는 불량이 발생할 우려가 있다. 시트 글래스 SG의 온도는, 냉각 롤러(51)에 접촉하면 급격하게 내려가므로, 제1 온도 영역과 제2 온도 영역은, 시트 글래스 SG(의 측부)가, 냉각 롤러(51)에 접촉하지 않은 냉각 롤러(51)의 상단부보다 상류측과, 냉각 롤러(51)에 접촉하는 냉각 롤러(51)의 상단부보다 하류측으로 나뉜다. 시트 글래스 SG는 포밍 챔버(30) 내를 통과한 후, 후술하는 냉각 챔버(80) 내를 통과한다.
냉각 챔버(80)는 오버플로우 챔버(20), 포밍 챔버(30)의 하방에 배치되고, 시트 글래스 SG의 변형량을 조정하기 위한 공간이다. 구체적으로, 냉각 챔버(80)에서는 포밍 챔버(30) 내를 통과한 시트 글래스 SG가, 서냉점, 변형점을 거쳐, 실온 근방의 온도까지 냉각된다(하류 영역 냉각 공정). 또한, 냉각 챔버(80)의 내부는 단열 부재(80b)에 의해, 복수의 공간으로 구분되어 있다.
또한, 성형 장치(40)는, 주로, 성형체(41)와, 구획 부재(50)와, 냉각 롤러(51)와, 온도 조정 유닛(60)과, 인하 롤러(81a 내지 81g)와, 히터(82a 내지 82g)와, 절단 장치(90)로 구성되어 있다. 또한, 성형 장치(40)는 제어 장치(91)를 구비한다(도 5 참조). 제어 장치(91)는 성형 장치(40)에 포함되는 각 구성의 구동부를 제어한다.
이하, 성형 장치(40)에 포함되는 각 구성에 대해서 상세하게 설명한다.
(2-1) 성형체
성형체(41)는 오버플로우 챔버(20) 내에 설치된다. 성형체(41)는 용융 글래스 FG를 오버플로우시킴으로써, 용융 글래스 FG를 시트 형상의 글래스(시트 글래스 SG)로 성형한다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 성형체(41)는 단면 형상으로 대략 5각형의 형상(웨지형에 유사한 형상)을 갖는다. 대략 5각형의 선단은, 성형체(41)의 하단부(41a)에 상당한다.
또한, 성형체(41)는, 제1 단부에 유입구(42)를 갖는다(도 4 참조). 유입구(42)는, 상술한 하류 파이프(24)와 접속되어 있고, 청징 장치(12)로부터 흘러나온 용융 글래스 FG는, 유입구(42)로부터 성형체(41)에 유입된다. 성형체(41)에는 홈(43)이 형성되어 있다. 홈(43)은 성형체(41)의 길이 방향으로 연장된다. 구체적으로는, 홈(43)은, 제1 단부로부터, 제1 단부의 반대측의 단부인 제2 단부로 연장된다. 보다 구체적으로, 홈(43)은, 도 4의 좌우 방향으로 연장된다. 홈(43)은 유입구(42) 근방이 가장 깊고, 제2 단부에 근접함에 따라서, 서서히 얕아지도록 형성되어 있다. 성형체(41)에 유입된 용융 글래스 FG는, 성형체(41)의 한 쌍의 정상부(41b, 41b)로부터 오버플로우하고, 성형체(41)의 한 쌍의 측면(표면)(41c, 41c)을 따르면서 유하한다. 그 후, 용융 글래스 FG는, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류하여 시트 글래스 SG가 된다.
이때, 성형체(41)의 하단부(41a)에서의 시트 글래스 SG의 액상 온도는 1100℃ 이상이고, 액상 점도는 2.5×105poise 이상이며, 보다 바람직하게는, 액상 온도는 1160℃ 이상이고, 액상 점도는 1.2×105poise 이상이다. 또한, 성형체(41)의 하단부(41a)에서의 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부)의 점도는 105.7Poise 미만이다.
(2-2) 구획 부재
구획 부재(50)는 오버플로우 챔버(20)로부터 포밍 챔버(30)에의 열의 이동을 차단하는 부재이다. 구획 부재(50)는 용융 글래스 FG의 합류 포인트의 근방에 배치되어 있다. 또한, 도 3에 도시하는 바와 같이, 구획 부재(50)는 합류 포인트에서 합류한 용융 글래스 FG(시트 글래스 SG)의 두께 방향 양측에 배치된다. 구획 부재(50)는 단열재이다. 구획 부재(50)는 용융 글래스 FG의 합류 포인트의 상측 분위기 및 하측 분위기를 구획함으로써, 구획 부재(50)의 상측으로부터 하측에의 열의 이동을 차단한다.
(2-3) 냉각 롤러
냉각 롤러(51)는 포밍 챔버(30) 내에 설치된다. 보다 구체적으로, 냉각 롤러(51)는 구획 부재(50)의 바로 아래에 배치되어 있다. 또한, 냉각 롤러(51)는 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측, 또한, 시트 글래스 SG의 폭 방향 양측에 배치된다. 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측에 배치된 냉각 롤러(51)는 쌍으로 동작한다. 즉, 시트 글래스 SG의 양측부(폭 방향 양단부)는, 2쌍의 냉각 롤러(51, 51, …)에 의해 끼워 넣어진다.
냉각 롤러(51)는 내부에 통과된 공냉관에 의해 공냉되어 있다. 냉각 롤러(51)는 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L(도 3에 있어서, 편의적으로, 대응하는 글래스판 PG의 폭 방향 위치에 의해 도시함)에 접촉하고, 열전도에 의해 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L을 급냉한다(급냉 공정). 냉각 롤러(51)에 접촉한 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 점도는, 소정값(구체적으로는, 109. 0poise) 이상이다. 여기서, 시트 글래스 SG의 측부 R, L이란, 시트 글래스 SG의 폭 방향의 양단부의 영역이고, 구체적으로는, 시트 글래스 SG의 폭 방향의 모서리로부터 시트 글래스 SG의 중심부 C를 향하여, 시트 글래스 SG의 폭 방향 200㎜ 이내의 범위를 말한다.
냉각 롤러(51)는 냉각 롤러 구동 모터(390)(도 5를 참조)에 의해 회전 구동된다. 냉각 롤러(51)는 시트 글래스 SG의 측부 R, L을 냉각함과 함께, 시트 글래스 SG를 하방으로 인하하는 기능도 갖는다.
또한, 냉각 롤러(51)에 의한 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 냉각은, 시트 글래스 SG의 폭 W 및 시트 글래스 SG의 두께의 균일화에 영향을 준다.
(2-4) 온도 조정 유닛
온도 조정 유닛(60)은, 오버플로우 챔버(20) 내 및 포밍 챔버(30) 내에 설치되고, 시트 글래스 SG를 서냉점 근방까지 냉각하는 유닛이다. 온도 조정 유닛(60)은 성형체(41)의 하단부(41a)에 대향하는 위치 및 구획 부재(50)의 하방이며, 냉각 챔버(80)의 천장판(80a) 상에 배치된다.
온도 조정 유닛(60)은 시트 글래스 SG의 상류 영역을 냉각한다(상류 영역 냉각 공정). 구체적으로는, 온도 조정 유닛(60)은 시트 글래스 SG의 측부의 점도가 연화점과 대응하는 점도 이상을 유지하도록, 또한, 시트 글래스 SG의 중심부 C의 온도가 서냉점에 근접하도록, 시트 글래스 SG를 냉각한다. 시트 글래스 SG의 중심부 C는, 그 후, 후술하는 냉각 챔버(80) 내에서, 서냉점, 변형점을 거쳐, 실온 근방의 온도까지 냉각된다(하류 영역 냉각 공정). 여기서, 연화점이란, 점도 η가 logη=7.65가 되는 온도이다. 또한, 글래스의 서냉점은, 예를 들어, 715.0℃이고, 변형점은, 예를 들어, 661℃이다.
온도 조정 유닛(60)은, 복수의 냉각 유닛(61 내지 65)을 갖는다. 복수의 냉각 유닛(61 내지 65)은, 시트 글래스 SG의 폭 방향 및 시트 글래스 SG의 흐름 방향에 배치된다. 구체적으로, 복수의 냉각 유닛(61 내지 65)에는 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)과, 측부 냉각 유닛(64, 65)이 포함된다. 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)은 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA를 공냉한다. 여기서, 시트 글래스 SG의 중앙 영역이란, 시트 글래스 SG의 폭 방향 중앙 부분이며, 시트 글래스 SG의 유효 폭 및 그 근방을 포함하는 영역이다. 바꾸어 말하면, 시트 글래스 SG의 중앙 영역은, 시트 글래스 SG의 양측부(양쪽 귀부, 양쪽 단부)에 끼워진 부분이다. 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)은, 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 표면에 대향하는 위치에, 흐름 방향을 따라서 배치된다. 중앙 영역 냉각 유닛(61 내지 63)에 포함되는 각 유닛은, 독립적으로 제어 가능하다. 또한, 측부 냉각 유닛(64, 65)은 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L을 수냉한다. 측부 냉각 유닛(64, 65)은 시트 글래스 SG의 측부 R, L(폭 방향의 양단부)의 표면에 대향하는 위치에, 흐름 방향을 따라서 배치된다. 측부 냉각 유닛(64, 65)에 포함되는 각 유닛은, 독립적으로 제어 가능하다. 또한, 성형체(41)의 하단부(41a)에 대향하는 위치에 배치된 온도 조정 유닛(60)에 관하여, 냉각 유닛(61 내지 65)의 사이의 경계의 도시를 생략하지만, 이 온도 조정 유닛(60)도, 상술한 바와 같이 구성된 냉각 유닛(61 내지 65)을 갖고 있다.
(2-5) 인하 롤러
인하 롤러(81a 내지 81g)는 냉각 챔버(80) 내에 설치되고, 포밍 챔버(30) 내를 통과한 시트 글래스 SG를, 시트 글래스 SG의 흐름 방향으로 인하한다. 인하 롤러(81a 내지 81g)는 냉각 챔버(80)의 내부에서, 흐름 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 배치된다. 인하 롤러(81a 내지 81g)는 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측(도 3 참조) 및 시트 글래스 SG의 폭 방향 양측(도 4 참조)에 복수 배치된다. 즉, 인하 롤러(81a 내지 81g)는 시트 글래스 SG의 폭 방향의 양측부(양쪽 귀부, 양쪽 단부) R, L, 또한, 시트 글래스 SG의 두께 방향의 양측에 접촉하면서 시트 글래스 SG를 하방으로 인하한다.
인하 롤러(81a 내지 81g)는 인하 롤러 구동 모터(391)(도 5 참조)에 의해 구동된다. 또한, 인하 롤러(81a 내지 81g)는 시트 글래스 SG에 대해 내측으로(시트 글래스 SG와 접촉하는 부분에 있어서 하방으로) 회전한다. 인하 롤러(81a 내지 81g)의 주속도는, 하류측의 인하 롤러일수록 크다. 즉, 복수의 인하 롤러(81a 내지 81g) 중, 인하 롤러(81a)의 주속도가 가장 작고, 인하 롤러(81g)의 주속도가 가장 크다. 시트 글래스 SG의 두께 방향 양측에 배치된 인하 롤러(81a 내지 81g)는, 쌍으로 동작하고, 쌍인 인하 롤러(81a, 81a, …)가, 시트 글래스 SG를 하측 방향으로 인하한다.
(2-6) 히터
히터(82a 내지 82g)는 냉각 챔버(80)의 내부에 설치되고, 냉각 챔버(80)의 내부 공간의 온도를 조정한다. 구체적으로, 히터(82a 내지 82g)는 시트 글래스 SG의 흐름 방향 및 시트 글래스 SG의 폭 방향으로 복수 배치된다. 보다 구체적으로는, 시트 글래스 SG의 흐름 방향에는, 7개의 히터가 배치되고, 시트 글래스의 폭 방향에는 3개의 히터가 배치된다. 폭 방향에 배치되는 3개의 히터는, 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA와, 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L을 각각 열처리한다. 중앙 영역 CA는, 중심부 C를 포함하고, 시트 글래스 SG의 양측부 R, L로부터 시트 글래스 SG의 폭 방향 내측의 영역이며, 시트 글래스 SG의 폭 방향의 폭 중 시트 글래스 SG의 폭 방향의 중심으로부터 폭 절반의 예를 들어 85％ 이내의 범위의 영역이다. 히터(82a 내지 82g)는, 후술하는 제어 장치(91)에 의해 출력이 제어된다. 이에 의해, 냉각 챔버(80) 내부를 통과하는 시트 글래스 SG의 근방의 분위기 온도가 제어된다. 히터(82a 내지 82g)에 의해 냉각 챔버(80) 내의 분위기 온도가 제어됨으로써, 시트 글래스 SG의 온도 제어가 행해진다. 또한, 온도 제어에 의해, 시트 글래스 SG는, 점성 영역으로부터 점탄성 영역을 거쳐서 탄성 영역으로 추이한다. 이와 같이, 히터(82a 내지 82g)의 제어에 의해, 냉각 챔버(80)에서는 시트 글래스 SG의 온도가, 서냉점 근방의 온도로부터 실온 근방의 온도까지 냉각된다(하류 영역 냉각 공정). 여기서, 서냉점은 점도가 1013 포아즈가 될 때의 온도이며, 여기서는, 715.0℃이다.
또한, 각 히터(82a 내지 82g)의 근방에는, 분위기 온도를 검출하는 분위기 온도 검출 수단(본 실시 형태에서는, 열전대)(380)이 설치되어 있다. 구체적으로는, 복수의 열전대(380)가, 시트 글래스 SG의 흐름 방향 및 시트 글래스 SG의 폭 방향으로 배치되어 있다. 열전대(380)는 시트 글래스 SG의 중심부 C의 온도와, 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 온도를 각각 검출한다. 히터(82a 내지 82g)의 출력은 열전대(380)에 의해 검출되는 분위기 온도에 기초해서 제어된다.
(2-7) 절단 장치
절단 장치(90)는 냉각 챔버(80) 내에서 실온 근방의 온도까지 냉각된 시트 글래스 SG를, 소정의 크기로 절단한다. 절단 장치(90)는, 소정의 시간 간격으로 시트 글래스 SG를 절단한다. 이에 의해, 시트 글래스 SG는, 복수의 글래스판 PG가 된다. 절단 장치(90)는 절단 장치 구동 모터(392)(도 5를 참조)에 의해 구동된다.
(2-8) 제어 장치
제어 장치(91)는 CPU, RAM, ROM 및 하드 디스크 등으로 구성되어 있고, 글래스판의 제조 장치(100)에 포함되는 다양한 기기의 제어를 행한다.
구체적으로는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(91)는 글래스 기판의 제조 장치(100)에 포함되는 각종의 센서[예를 들어, 열전대(380)]나 스위치[예를 들어, 주전원 스위치(381)] 등에 의한 신호를 받아, 온도 조정 유닛(60), 히터(82a 내지 82g), 냉각 롤러 구동 모터(390), 인하 롤러 구동 모터(391), 절단 장치 구동 모터(392) 등의 제어를 행한다.
(3) 온도 관리
본 실시 형태에 관한 글래스 기판의 제조 방법에서는, 성형 공정 S3이 복수의 성형 공정 S31, S32를 포함한다. 구체적으로는, 시트 글래스 SG의 흐름 방향을 따라서, 제1 성형 공정 S31, 제2 성형 공정 S32의 순서대로 실행된다.
또한, 성형 공정 S3에서는, 시트 글래스 SG의 흐름 방향 및 폭 방향의 온도 관리를 행하고 있다. 온도 관리는, 복수의 온도 프로파일 TP1, TP2(도 6을 참조)에 기초해서 행해진다. 온도 프로파일 TP1, TP2란, 시트 글래스 SG 근방의 분위기 온도에 대한, 시트 글래스 SG의 폭 방향을 따른 온도 분포이다. 바꾸어 말하면, 온도 프로파일 TP1, TP2는 목표의 온도 분포이다. 즉, 온도 관리는, 복수의 온도 프로파일 TP1, TP2를 실현시키도록 행해진다. 온도 관리는, 상술한, 냉각 롤러(51), 온도 조정 유닛(60)을 사용해서 행해진다.
시트 글래스 SG의 온도는 시트 글래스 SG 근방의 분위기 온도를 제어함으로써, 관리된다. 여기서, 시트 글래스 SG의 온도와, 냉각 롤러(51) 및 온도 조정 유닛(60)에 의해 제어되는 분위기 온도는, 기본적으로 같은 값이다.
또한, 각 성형 공정 S31, S32는, 소정의 냉각 속도로, 시트 글래스 SG를 냉각하면서 성형함으로써, 시트 글래스 SG의 흐름 방향의 온도 관리를 행하고 있다. 여기서, 소정의 냉각 속도란, 각 성형 공정 S31, S32에 따른 냉각 속도이다. 구체적으로, 성형 공정 S31, S32의 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L의 냉각 속도 중, 제1 성형 공정의 냉각 속도(제1 냉각 속도)는, 제2 성형 공정의 냉각 속도(제2 냉각 속도)보다 느리고, 예를 들어, 제1 냉각 속도는 8.3℃/초 이하이고, 제2 냉각 속도는 8.3℃/초 내지 17.5℃/초이다.
또한, 본 실시 형태에 관한 성형 공정 S3에서는, 시트 글래스 SG의 중심부 C의 냉각 속도(중심부 냉각 속도)와, 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L의 냉각 속도(측부 냉각 속도)를 다른 속도로 설정하고 있다. 중심부 냉각 속도는, 시트 글래스 SG의 중심부 C의 온도 변화의 양과, 온도 변화에 필요로 하는 시간에 기초하여 산출된다. 측부 냉각 속도는 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 온도 변화의 양과, 온도 변화에 필요로 하는 시간에 기초하여 산출된다.
이하, 도 6 및 도 7을 참조하여, 각 성형 공정 S31, S32에 있어서의 시트 글래스 SG의 온도 관리에 대해서 상세하게 설명한다. 도 6은 시트 글래스 SG의 소정의 높이 위치에서의 온도 프로파일을 나타낸다. 도 7은 시트 글래스 SG(0.2㎜ 내지 0.4㎜)의 냉각 속도를 나타낸다.
(3-1) 제1 성형 공정
제1 성형 공정 S31은, 성형체(41)의 바로 아래에서 합류한 용융 글래스(시트 글래스 SG)를, 냉각 롤러(51)에 접촉하지 않은 냉각 롤러(51)의 상단부까지 냉각하는 공정이다. 구체적으로, 제1 성형 공정에서는, 약 1,100℃ 내지 1,200℃의 시트 글래스 SG를, 측부(귀부, 단부) R, L의 점도가 연화점과 대응하는 점도 이상을 유지하도록, 측부를 냉각 속도 8.3℃/초 이하로 냉각한다(도 7 참조).
제1 성형 공정 S31에서는, 제1 온도 프로파일 TP1에 기초하여, 시트 글래스 SG의 온도 관리가 행해진다. 이하, 제1 성형 공정 S31에서 실행되는 온도 프로파일 TP1과, 제1 성형 공정의 냉각 속도(제1 냉각 속도)를 상세하게 설명한다.
(3-1-1) 제1 온도 프로파일
제1 온도 프로파일 TP1은, 성형체(41)의 하단부(41a)의 하류 영역에 있어서, 시트 글래스 SG의 가장 상류측에서 실현되는 온도 분포이다(도 6 참조). 제1 온도 프로파일 TP1은, 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 온도가 균일하고, 시트 글래스 SG의 측부 R, L은, 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 온도보다도 낮다. 여기서, 중앙 영역 CA의 온도가 균일하다고 함은, 중앙 영역 CA의 온도가, 소정의 온도 영역에 포함되는 것을 말한다. 소정의 온도 영역이란, 기준 온도 ±20℃의 범위이다. 기준 온도는, 중앙 영역 CA의 폭 방향의 평균 온도이다.
제1 온도 프로파일 TP1은, 오버플로우 챔버(20) 내 및 포밍 챔버(30) 내의 온도 조정 유닛(60)을 제어함으로써 실현된다. 구체적으로는, 온도 조정 유닛(60)[측부 냉각 유닛(64, 65)]에 의해 시트 글래스 SG의 측부 R, L이 냉각된다. 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 온도는, 중앙 영역 CA의 온도보다도 소정 온도만큼 낮은 온도로 냉각한다. 제1 온도 프로파일 TP1에서는, 중앙 영역 CA의 온도를 균일하게 함으로써, 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 판 두께가 균일하게 되도록 하고 있다. 또한, 시트 글래스 SG의 측부 R, L을 중앙 영역 CA보다 냉각함으로써, 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 점도를 중앙 영역 CA보다 높이고 있다. 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 점도가 중앙 영역 CA보다 높으면, 시트 글래스 SG가 폭 방향으로 수축하는 것을 억제할 수 있기 때문이다. 또한, 제1 온도 프로파일 TP1에서는, 시트 글래스 SG의 측부 R, L을, 제2 온도 프로파일 TP2보다 완만하게 냉각한다. 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 냉각량을 억제함으로써, 성형체(41)의 하단부(41a)에서 합류하여 맞댄 측부 R, L이, 박리되어 이격되는 것을 억제할 수 있다.
제1 성형 공정 S31에 있어서의 제1 중심부 냉각 속도는, 5.0℃/초 내지 50.0℃/초이다. 냉각 속도가, 5.0℃/초보다 낮으면, 생산성이 나빠진다. 냉각 속도가, 50℃/초를 초과하면, 시트 글래스 SG에 균열이 발생하는 경우가 있다. 또한, 시트 글래스 SG의 휨 값 및 판 두께 편차가 나빠진다. 바람직하게는, 제1 성형 공정 S31에 있어서의 중심부 냉각 속도는, 8.0℃/초 내지 16.5℃/초이다. 또한, 제1 성형 공정 S31에 있어서의 제1 냉각 속도는, 8.3℃/초 이하이다.
(3-2) 제2 성형 공정
제2 성형 공정 S42는, 측부(귀부, 단부) R, L의 점도가 연화점과 대응하는 점도 이상으로 유지된 시트 글래스 SG를, 중앙 영역 CA의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역까지 냉각하는 공정이다(도 7 참조). 구체적으로, 제2 성형 공정 S31에서는 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L의 점도가 109. 0poise 이상이 되도록, 측부 R, L을 냉각 속도 8.3℃/초 내지 17.5℃/초의 범위에서 냉각한다(도 7 참조).
제2 성형 공정 S32에서는, 제2 온도 프로파일 TP2에 기초하여, 시트 글래스 SG의 온도 관리가 행해진다. 이하, 제2 성형 공정 S32에서 실행되는 온도 프로파일 TP2와, 제2 성형 공정의 냉각 속도(제2 냉각 속도)를 상세하게 설명한다.
(3-2-1) 제2 온도 프로파일
제2 온도 프로파일 TP2는, 시트 글래스 SG가 냉각 롤러(51)에 접촉하는 냉각 롤러(51)의 상단부보다 하류측에서 실현되는 온도 분포이다(도 6 참조). 제2 온도 프로파일 TP2는, 제1 온도 프로파일 TP1과 마찬가지로, 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 온도가 균일하고, 시트 글래스 SG의 측부 R, L은 시트 글래스 SG의 중앙 영역 CA의 온도보다도 낮다.
제2 온도 프로파일 TP2는, 포밍 챔버(30) 내의 온도 조정 유닛(60)을 제어함으로써 실현된다. 구체적으로는, 온도 조정 유닛(60)[측부 냉각 유닛(64, 65)]에 의해 시트 글래스 SG의 측부 R, L이 냉각된다. 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 온도는, 중앙 영역 CA의 온도보다도 소정 온도만큼 낮은 온도로 냉각한다. 제2 온도 프로파일 TP2에서는, 중앙 영역 CA의 온도를 균일하게 하고 있다. 또한. 시트 글래스 SG의 측부 R, L을 중앙 영역 CA보다 냉각량을 크게 하고 있다. 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 점도가 중앙 영역 CA보다 높으면, 시트 글래스 SG가 폭 방향으로 수축하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 제2 온도 프로파일 TP2에서는 시트 글래스 SG의 측부 R, L을, 제1 온도 프로파일 TP1에 있어서의 측부 R, L의 급냉 속도보다 빠른 냉각 속도로 급속하게 냉각한다. 시트 글래스 SG의 측부 R, L의 냉각량을 증가시킴으로써, 측부 R, L의 점도를 높여, 시트 글래스 SG가 폭 방향으로 수축하는 것을 억제할 수 있다.
제2 성형 공정 S32에 있어서의 제2 중심부 냉각 속도는, 5.0℃/초 내지 50.0℃/초이다. 냉각 속도가, 5.0℃/초보다 낮으면, 생산성이 나빠진다. 냉각 속도가, 50℃/초를 초과하면, 시트 글래스 SG에 균열이 발생하는 경우가 있다. 또한, 시트 글래스 SG의 휨 값 및 판 두께 편차가 나빠진다. 바람직하게는, 제2 성형 공정 S32에 있어서의 중심부 냉각 속도는, 8.0℃/초 내지 16.5℃/초이다. 또한, 제2 성형 공정 S32에 있어서의 제2 냉각 속도는, 5.5℃/초 내지 52.0℃/초이다. 바람직하게는, 제2 냉각 속도는, 8.3℃/초 내지 17.5℃/초이다.
또한, 제1 온도 프로파일 TP1 및 제2 온도 프로파일 TP2에 있어서, 중앙 영역 CA의 중심부 C의 온도가 가장 높고, 귀부 R, L의 온도가 가장 낮아지도록, 중심부 C로부터 귀부 R, L을 향해서 구배(온도 구배)를 형성할 수도 있다. 바꾸어 말하면, 제1 온도 프로파일 TP1 및 제2 온도 프로파일 TP2는, 위로 볼록부를 갖는 완만한 포물선을 형성해도 좋다. 여기서, 온도 구배란, 시트 글래스 SG의 폭 W(예를 들어, 1650㎜, 도 6을 참조)를 2로 제한 값이고, 중심부 C의 분위기 온도로부터 귀부 R, L의 분위기 온도를 뺀 값을, 제한 것[(중심부 C의 분위기 온도-귀부 R, L의 분위기 온도)/(시트 글래스의 폭 W/2)]이다.
본 실시 형태에서는, 성형체(41)의 하단부(41a)로부터 냉각 롤러(51)의 상단부까지의 제1 온도 영역과, 냉각 롤러(51)의 상단부로부터 시트 글래스 SG의 중심부 C의 온도가 서냉점 이상이 되는 제2 온도 영역에 있어서, 제1 온도 영역에서의 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L의 냉각 속도를, 제2 온도 영역에서의 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L의 냉각 속도보다 느리게 하고 있다. 시트 글래스 SG의 측부의 온도가 높은 성형체(41)의 하단부(41a) 근방에서는, 단부의 냉각 속도를 느리게 하여 급냉을 방지함으로써, 합류하여 맞댄 단부끼리가 박리되는 것을 억제할 수 있고, 냉각 롤러(51)보다 하류측에서는 단부의 냉각 속도를 빠르게 하여 단부를 급냉함으로써, 시트 글래스 SG가 폭 방향으로 수축하는 것을 억제할 수 있다.
[실시예]
이하에, 실시예에 의해 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1)
상기 글래스 기판의 제조 장치(100) 및 글래스 기판의 제조 방법을 사용하여, 이하의 조건에서 글래스 기판을 제조한다. 글래스의 조성(질량％)은, 각 성분의 함유율이, SiO2 60％, Al2O3 17％, B2O3 10％, CaO 3％, SrO 3％, BaO 1％인 것으로 한다. 글래스의 액상 온도는, 1,100℃이고, 액상 점도는 2.5×105poise이다. 글래스의 서냉점은, 715.0℃이고, 변형점은, 661℃이다. 또한, 시트 글래스 SG의 폭은, 1600㎜인 것으로 한다. 또한, 이들 조건을 충족시키면서, 다른 두께(0.2㎜, 0.3㎜, 0.4㎜)의 시트 글래스 SG를 각각 제조했다.
0.4㎜, 0.3㎜, 0.2㎜의 각각의 판 두께를 갖는 시트 글래스 SG를 성형할 때의 시트 글래스 SG의 측부(귀부, 단부) R, L을 냉각하는, 제1 성형 공정 S31에 있어서의 제1 냉각 속도, 제2 성형 공정 S32에 있어서의 제2 냉각 속도를 변화시켜, 측부 R, L의 박리의 유무를, 육안으로 확인했다. 그 결과를 표 1에 나타낸다.
Figure 112016045431457-pct00001
표 1에 나타내는 바와 같이, 제1 냉각 속도를 8.3℃/초 미만, 제2 냉각 속도를 8.3℃/초 내지 17.5℃/초로 설정함으로써, 판 두께가 0.2 내지 0.4㎜의 시트 글래스 SG이어도, 측부의 박리를 방지할 수 있었다. 한편, 제1 냉각 속도가 제2 냉각 속도보다 크게 빠른 경우(비교예 1 내지 9), 측부의 박리가 발생했다. 또한, 제1 냉각 속도 <제2 냉각 속도가 되는 경우에서, 제1 냉각 속도가 8.3℃/초 이상이 되는 경우(실시예 5, 10, 15), 혹은, 제2 냉각 속도가 8.3℃/초 미만이 되는 경우(실시예 4, 9, 14)에는, 측부의 일부분에 있어서 박리가 발생했다. 이 경우, 측부의 일부분에 있어서 박리가 발생했지만, 비교예에서 나타낸 완전한 박리가 아니므로, 글래스 기판의 제품 영역에서는 박리는 발생하고 있지 않고, 종래의 과제를 극복하고 있었다. 이 점으로부터, 제1 냉각 속도<제2 냉각 속도가 되는 측부의 냉각이면, 단부끼리가 박리되는 것을 억제할 수 있는 것이 확인되었다.
이상의 결과로부터, 성형체(41)의 하단부(41a)로부터 한 쌍의 냉각 롤러(51)보다 상류의 위치에서의 측부 R, L을 냉각하는 제1 냉각 속도를 8.3℃/초 미만, 한 쌍의 냉각 롤러(51)의 하류이며 시트 글래스 SG의 폭 방향 중앙 영역 C의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역에서의 측부 R, L을 냉각하는 제2 냉각 속도를 8.3℃/초 내지 17.5℃/초로 함으로써, 측부의 박리를 보다 바람직하게 방지할 수 있는 것이 확인되었다.
이상, 본 실시 형태에 대해서 도면에 기초하여 설명했지만, 구체적인 구성은, 상기의 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 변경 가능하다.
11 : 용해 장치
12 : 청징 장치
40 : 성형 장치
41 : 성형체
51 : 냉각 롤러
60 : 온도 조정 유닛
81a 내지 81g : 인하 롤러
82a 내지 82g : 히터
90 : 절단 장치
91 : 제어 장치
100 : 글래스 기판의 제조 장치

Claims (6)

  1. 다운드로법에 의해, 용융 글래스를 성형체로부터 오버플로우시켜 시트 글래스로 성형하고, 상기 시트 글래스를 유하 방향으로 신장시키면서 냉각함으로써 글래스 기판을 제조하는 글래스 기판의 제조 방법으로서,
    상기 시트 글래스는 폭 방향의 단부와 상기 단부에 끼워진 폭 방향 중앙 영역을 갖고, 상기 폭 방향 중앙 영역의 판 두께보다 두꺼운 두께를 갖는 상기 단부에 대향하는 위치에서, 상기 단부에 한 쌍의 롤러를 접촉시키고,
    상기 시트 글래스는, 상기 폭 방향 중앙 영역의 점도보다 상기 단부의 점도가 높아지도록 냉각되고,
    상기 성형체의 하단부로부터 상기 한 쌍의 롤러보다 상류의 위치에서의 상기 단부를 냉각하는 제1 냉각 속도는, 상기 한 쌍의 롤러의 하류이며 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역에서의 상기 단부를 냉각하는 제2 냉각 속도보다 느리고, 상기 제2 냉각 속도는 17.5℃/초이하인,
    것을 특징으로 하는 글래스 기판의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 성형체의 하단부에서의 상기 단부의 점도를 105. 7Poise 미만으로 하고, 상기 단부의 점도가 연화점과 대응하는 점도 이상을 유지하도록 상기 단부를 8.3℃/초 미만의 상기 제1 냉각 속도로 냉각하고,
    8.3℃/초 내지 17.5℃/초의 범위의 상기 제2 냉각 속도로 냉각하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 폭 방향 중앙 영역의 판 두께가, 0.4㎜ 이하가 되도록 성형하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 제조 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 성형체의 하단부에서의 상기 폭 방향 중앙 영역의 점도를, 120000Poise 이하가 되도록 냉각하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 제조 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 성형체의 하단부에서의 상기 폭 방향 중앙 영역의 점도를, 120000Poise 이하가 되도록 냉각하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 제조 방법.
  6. 다운드로법에 의해, 용융 글래스를 성형체로부터 오버플로우시켜 시트 글래스로 성형하고, 상기 시트 글래스를 유하 방향으로 신장시키면서 냉각함으로써 글래스 기판을 제조하는 글래스 기판의 제조 장치로서,
    상기 성형체와,
    상기 시트 글래스의 폭 방향의 단부에 끼워진 폭 방향 중앙 영역의 판 두께보다 두꺼운 두께를 갖는 상기 단부에 대향하는 위치에 배치되고, 상기 단부에 접하는 한 쌍의 롤러를 구비하고,
    상기 시트 글래스는, 상기 폭 방향 중앙 영역의 점도보다 상기 단부의 점도가 높아지도록 냉각되고,
    상기 성형체의 하단부로부터 상기 한 쌍의 롤러보다 상류의 위치에서의 상기 단부를 냉각하는 제1 냉각 속도는, 상기 한 쌍의 롤러의 하류이며 상기 폭 방향 중앙 영역의 온도가 서냉점 이상이 되는 온도 영역에서의 상기 단부를 냉각하는 제2 냉각 속도보다 느리고, 상기 제2 냉각 속도는 17.5℃/초이하인,
    것을 특징으로 하는 글래스 기판의 제조 장치.
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