WO2016104805A1 - ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置 - Google Patents

ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2016104805A1
WO2016104805A1 PCT/JP2015/086444 JP2015086444W WO2016104805A1 WO 2016104805 A1 WO2016104805 A1 WO 2016104805A1 JP 2015086444 W JP2015086444 W JP 2015086444W WO 2016104805 A1 WO2016104805 A1 WO 2016104805A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
glass plate
temperature
region
heater
width direction
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/086444
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
公彦 中嶋
Original Assignee
ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社
安瀚視特股▲分▼有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社, 安瀚視特股▲分▼有限公司 filed Critical ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社
Priority to CN201580071369.4A priority Critical patent/CN107108316B/zh
Priority to JP2016566581A priority patent/JPWO2016104805A1/ja
Priority to KR1020177017167A priority patent/KR102459796B1/ko
Publication of WO2016104805A1 publication Critical patent/WO2016104805A1/ja

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B25/00—Annealing glass products
    • C03B25/04—Annealing glass products in a continuous way
    • C03B25/10—Annealing glass products in a continuous way with vertical displacement of the glass products
    • C03B25/12—Annealing glass products in a continuous way with vertical displacement of the glass products of glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/064—Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/067—Forming glass sheets combined with thermal conditioning of the sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/068—Means for providing the drawing force, e.g. traction or draw rollers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a glass plate manufacturing method and a glass plate manufacturing apparatus.
  • the method of manufacturing a glass plate (sheet glass) using the downdraw method is used.
  • the sheet glass formed by the downdraw method has a product region (central region in the width direction) with a substantially constant plate thickness and ends (ears) located at both ends in the width direction of the product region where the plate thickness is thicker than the product region. It consists of.
  • the boundary region between the product region and the end portion of the sheet glass is sandwiched between the conveyance rolls.
  • the sheet glass is cooled (slowly cooled) so that warpage and distortion satisfy a certain quality standard.
  • a temperature profile in the width direction of the sheet glass is designed in advance along the flow direction so that the warpage and distortion become predetermined values. That is, by performing temperature management so as to obtain a pre-designed temperature profile, it is possible to manufacture a glass plate having a warp and strain value assumed in advance. This makes it possible to produce a glass plate that meets the customer's warp and distortion quality standards. Therefore, strict temperature management is performed using a cooling device, a heater, or the like so that the sheet glass has a designed temperature profile.
  • the transport roll used for transporting the sheet glass When cooling while transporting the sheet glass, the transport roll used for transporting the sheet glass is cooled so that the temperature of the transport roll becomes constant or lower in order to suppress deformation due to heat.
  • the temperature difference between the transport roll and the sheet glass increases, and further, when the sheet glass becomes thin and the retained heat of the sheet glass decreases, the sheet glass is easily affected by the transport roll, It may be difficult to form a region where the conveyance roll sandwiches the sheet glass based on a predetermined temperature profile.
  • the present invention can easily realize this temperature profile when trying to reproduce the designed temperature profile in the region where the conveyance roll sandwiches the sheet glass, even if it is a thin glass plate. It aims at providing the manufacturing method of the glass plate which can obtain the flatness (warpage amount) of a plate accurately, and the manufacturing apparatus of a glass plate.
  • the present invention includes the following forms.
  • Form 1 A molding step of forming a glass plate by letting molten glass flow down from the molded body; While the glass plate formed in the forming step is conveyed downward by a pair of rollers disposed below the molded body, the temperature of the glass plate is sequentially decreased with respect to the conveyance direction of the glass plate.
  • the manufacturing method of the glass plate characterized by the above-mentioned.
  • Form 2 In Form 1, In the forming step, a glass plate having both ends in the width direction of the glass plate and a center region in the width direction in which the thickness of the glass plate is thinner than the thickness of the glass plate at both ends sandwiched between the both ends is formed. And In the cooling step, The pair of rollers sandwiches a region between the central region in the width direction and the end, The glass plate is arranged so that the temperature in the central region in the width direction becomes uniform before the rollers are clamped, and the temperature in the central region in which the rollers are clamped is higher than the temperature in the central region in the width direction. To control the temperature.
  • the heater in the cooling step, before the roller sandwiches the glass plate, the heater has a temperature distribution of the sandwiching region determined by the thickness of the glass plate at the both ends sandwiched between the both ends.
  • the temperature of the glass plate is controlled so that the thickness of the glass plate decreases toward the center region in the width direction and toward the end.
  • the heater includes a divided heater divided into a plurality in the width direction,
  • the divided heater includes a sandwiching area corresponding heater provided at a position in the width direction corresponding to a sandwiching area sandwiched by the roller.
  • the divided heater is sandwiched between both ends of the glass plate in the width direction, in addition to the sandwiching region corresponding heater, and the thickness of the glass plate is smaller than the thickness of the glass plate at the both ends.
  • Including a heater for the central region provided at a position in the width direction corresponding to the central region The distance from the glass plate of the sandwiching region corresponding heater is made longer than the distance of the central region corresponding heater from the glass plate, and before the roller sandwiches the glass plate, the temperature of the sandwiching region is The output of the sandwiching region corresponding heater is controlled so as to be higher than the temperature of the central region in the width direction.
  • the width direction center region has a first center region including the center in the width direction, and a second center region located between the first center region and the sandwiching region
  • the heater corresponding to the central area includes a heater corresponding to the first central area provided at a position in the width direction corresponding to the first central area and a second center provided at a position in the width direction corresponding to the second central area.
  • An area-compatible heater The distance from the glass plate of the heater corresponding to the second central region is made longer than the distance from the glass plate of the heater corresponding to the first central region, and before the roller sandwiches the glass plate, the second The output of the heater corresponding to the second central region is controlled so that the temperature of the central region is partially higher than the temperature of the first central region.
  • Form 8 In any one of Forms 1-7, Between the glass plate and the heater, a soaking plate is disposed so as to face the surface of the glass plate, The temperature distribution of the glass plate is controlled by making the heat distribution in the width direction of the heater gentle by the heat equalizing plate.
  • Form 9 A molded body for forming a glass plate by letting molten glass flow down; A pair of rollers disposed below the molded body and transporting the glass plate downward; A heater that controls the temperature of the glass plate so that the temperature sequentially decreases with respect to the conveying direction of the glass plate, The pair of rollers sandwich the glass plate while being cooled so that deformation due to heat is suppressed, The said heater controls the temperature of the area
  • the manufacturing apparatus of the glass plate characterized by the above-mentioned.
  • the present invention even if it is a thin glass plate, it can be realized when the designed temperature profile is to be reproduced in the region where the conveyance roll sandwiches the sheet glass, and the flatness (warpage) of the glass plate can be realized. Amount) can be obtained with high accuracy.
  • a glass substrate for TFT (Thin Film Transistor) display is manufactured.
  • the glass plate is manufactured using a downdraw method.
  • the manufacturing method of the glass substrate which concerns on this embodiment is demonstrated, referring drawings.
  • the glass substrate manufacturing method mainly includes a melting step S1, a clarification step S2, a forming step S3, a cooling step S4, and a cutting step S5.
  • the melting step S1 is a step in which the glass raw material is melted.
  • the glass raw material is put into a melting apparatus 11 arranged upstream.
  • Glass raw materials for example, SiO 2, Al 2 O 3 , B 2 O 3, CaO, SrO, a composition of BaO or the like.
  • a glass material having a strain point of 660 ° C. or higher is used.
  • the glass raw material is melted by the melting device 11 to become a molten glass FG.
  • the melting temperature is adjusted according to the type of glass. In this embodiment, the glass raw material is melted at 1500 ° C. to 1650 ° C.
  • the molten glass FG is sent to the refining device 12 through the upstream pipe 23.
  • the clarification step S2 is a step of removing bubbles in the molten glass FG.
  • the molten glass FG from which bubbles have been removed in the refining device 12 is then sent to the forming device 40 through the downstream pipe 24.
  • the forming step S3 is a step of forming the molten glass FG into a sheet-like glass (sheet glass) SG. Specifically, the molten glass FG overflows from the molded body 41 after being continuously supplied to the molded body 41 included in the molding apparatus 40. The overflowed molten glass FG flows down along the surface of the molded body 41. The molten glass FG is then merged at the lower end 41a of the molded body 41 and formed into a sheet glass SG.
  • the sheet glass SG has side portions (ear portions, end portions) located at the ends in the width direction and a center region in the width direction sandwiched between the side portions. The plate thickness of the side part of the sheet glass SG is formed thicker than the plate thickness of the central region.
  • the central region of the sheet glass SG is a region that becomes a glass substrate product having a certain plate thickness.
  • region of the sheet glass SG into a thin plate of 0.4 mm or less the plate
  • Cooling step S4 is a step of cooling (slow cooling) the sheet glass SG.
  • the sheet glass SG is cooled to a temperature close to room temperature through the cooling step S4. Note that the thickness (plate thickness) of the glass substrate, the amount of warpage of the glass substrate, and the amount of strain of the glass substrate are determined according to the cooling state in the cooling step S4.
  • the cutting step S5 is a step of cutting the sheet glass SG having a temperature close to room temperature into a predetermined size.
  • size becomes a glass substrate through processes, such as end surface processing after that.
  • the width direction of the sheet glass SG means a direction orthogonal to the direction (flow direction) in which the sheet glass SG flows down, that is, the horizontal direction.
  • FIGS. 3 is a cross-sectional view of the molding apparatus 40.
  • FIG. 4 is a side view of the molding apparatus 40.
  • the forming apparatus 40 includes a passage through which the sheet glass SG passes and a space surrounding the passage.
  • the space surrounding the passage is composed of an overflow chamber 20, a forming chamber 30, and a cooling chamber 80.
  • the overflow chamber 20 constitutes a space in which the molten glass FG sent from the refining device 12 is formed into a sheet glass SG.
  • the forming chamber 30 is disposed below the overflow chamber 20 and constitutes a space for adjusting the thickness and warpage amount of the sheet glass SG. In the forming chamber 30, a part of cooling process is performed.
  • the sheet glass SG flows down along the surface of the molded body 41 and joins at the lower end portion 41a of the molded body 41 to be formed into the sheet glass SG.
  • the temperature of the glass SG gradually decreases.
  • the cooling chamber 80 is disposed below the overflow chamber 20 and constitutes a space for adjusting the strain amount of the sheet glass SG. Specifically, in the cooling chamber 80, the sheet glass SG that has passed through the forming chamber 30 is cooled to a temperature in the vicinity of room temperature via a slow cooling point and a strain point.
  • the cooling chamber 80 includes a space divided into a plurality of portions by the heat insulating members 80a and 80b.
  • the molding apparatus 40 mainly includes a molded body 41, a partition member 50, a cooling roller 51, a temperature adjustment unit 60, pull-down rollers 81a to 81g, heaters 82a to 82g, and a cutting device 90. Yes. Furthermore, the shaping
  • the molded body 41 is provided in the overflow chamber 20.
  • the molded body 41 forms the molten glass FG into a sheet-like glass plate by overflowing the molten glass FG.
  • This glass plate is hereinafter referred to as sheet glass SG.
  • the molded body 41 has a substantially pentagonal shape (a shape similar to a wedge shape) in cross-sectional shape.
  • the substantially pentagonal tip corresponds to the lower end portion 41 a of the molded body 41.
  • the molded body 41 has an inlet 42 at the first end (see FIG. 4).
  • the inlet 42 is connected to the above-described downstream pipe 24, and the molten glass FG that has flowed out of the refining device 12 is poured into the molded body 41 from the inlet 42.
  • a groove 43 is formed in the molded body 41.
  • the groove 43 extends in the longitudinal direction of the molded body 41. Specifically, the groove 43 extends from the first end to the second end that is the end opposite to the first end. More specifically, the groove 43 extends in the left-right direction in FIG.
  • the groove 43 is deepest in the vicinity of the inlet 42 and is formed so as to become gradually shallower as it approaches the second end.
  • the molten glass FG poured into the molded body 41 overflows from the pair of top portions 41 b and 41 b of the molded body 41 and flows down along the pair of side surfaces (surfaces) 41 c and 41 c of the molded body 41. Thereafter, the molten glass FG joins at the lower end 41a of the molded body 41 to become the sheet glass SG.
  • the liquidus temperature of the sheet glass SG at the lower end 41a of the molded body 41 is 1100 ° C. or higher, the liquidus viscosity is 2.5 ⁇ 10 5 poise or higher, and more preferably, the liquidus temperature is 1160.
  • the liquid phase viscosity is 1.2 ⁇ 10 5 poise or more.
  • edge part, edge part) of the sheet glass SG in the lower end part 41a of the molded object 41 is less than 10 5.7 Poise.
  • the partition member 50 is a member that blocks heat transfer from the overflow chamber 20 to the forming chamber 30.
  • the partition member 50 is arrange
  • the partition member 50 is a heat insulating material.
  • the partition member 50 blocks the movement of heat from the upper side to the lower side of the partition member 50 by partitioning the upper atmosphere and the lower atmosphere at the joining point of the molten glass FG.
  • the cooling roller 51 is provided in the forming chamber 30. More specifically, the cooling roller 51 is disposed directly below the partition member 50. Moreover, the cooling roller 51 is arrange
  • the cooling rollers 51 disposed on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG operate in pairs. That is, both sides (width direction both ends) of sheet glass SG are inserted between two pairs of cooling rollers 51, 51,.
  • the cooling roller 51 is air-cooled by an air-cooling tube passed through the inside.
  • the cooling roller 51 contacts the side part (ear part) of the sheet glass SG, and quenches the side part (ear part) of the sheet glass SG by heat conduction (rapid cooling step).
  • the viscosity of the side portion of the sheet glass SG in contact with the cooling roller 51 (specifically, 10 9.0 poise) a predetermined value is not less than.
  • the cooling roller 51 is rotationally driven by a cooling roller drive motor 390 (see FIG. 5).
  • the cooling roller 51 cools the side portion of the sheet glass SG and also has a function of pulling the sheet glass SG downward.
  • the temperature adjustment unit 60 is a unit that is provided in the overflow chamber 20 and the forming chamber 30 and cools the sheet glass SG to the vicinity of the annealing point.
  • the temperature adjustment unit 60 has a plurality of cooling units 61 to 65.
  • the plurality of cooling units 61 to 65 are arranged in the width direction of the sheet glass SG and the flow direction of the sheet glass SG.
  • the plurality of cooling units 61 to 65 include central area cooling units 61 to 63 and side cooling units 64 and 65.
  • the central area cooling units 61 to 63 air-cool the central area CA in the width direction of the sheet glass SG.
  • the central region CA in the width direction is referred to as a central region CA.
  • the central region of the sheet glass SG is a central portion in the width direction of the sheet glass SG, and is a region including the effective width of the sheet glass SG and the vicinity thereof.
  • the central region of the sheet glass SG is a portion sandwiched between both side portions of the sheet glass SG. Both side portions of the sheet glass SG are also referred to as both ear portions.
  • the central area cooling units 61 to 63 are arranged along the flow direction at positions facing the surface of the central area CA of the sheet glass SG. Each unit included in the central area cooling units 61 to 63 can be controlled independently.
  • the side part cooling units 64 and 65 water-cool the side part of the sheet glass SG.
  • the side cooling units 64 and 65 are arranged along the flow direction at positions facing the side surfaces of the sheet glass SG. Each unit included in the side cooling units 64 and 65 can be controlled independently.
  • Pulling rollers (conveying rollers) 81a to 81g are provided in the cooling chamber 80, and pull down the sheet glass SG that has passed through the forming chamber 30 in the flow direction of the sheet glass SG.
  • the pulling rollers 81a to 81g are arranged inside the cooling chamber 80 with a predetermined interval along the flow direction.
  • a plurality of pulling rollers 81a to 81g are arranged on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG (see FIG. 3) and on both sides in the width direction of the sheet glass SG (see FIG. 4). That is, the pulling rollers 81a to 81g pull down the sheet glass SG while contacting both sides in the width direction of the sheet glass SG and both sides in the thickness direction of the sheet glass SG.
  • the pulling rollers 81a to 81g are driven by a pulling roller driving motor 391 (see FIG. 5). Further, the pulling rollers 81a to 81g rotate inward with respect to the sheet glass SG.
  • the peripheral speed of the pull-down rollers 81a to 81g is larger as the downstream pull-down roller. That is, among the plurality of lowering rollers 81a to 81g, the peripheral speed of the lowering roller 81a is the smallest, and the peripheral speed of the lowering roller 81g is the highest.
  • the pull-down rollers 81a to 81g arranged on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG operate in pairs, and the pair of pull-down rollers 81a, 81a, ... pulls the sheet glass SG downward.
  • the lowering rollers 81a to 81g sandwich the high-temperature sheet glass SG
  • the lowering rollers 81a to 81g are air-cooled by air-cooling tubes passed through the lowering rollers 81a to 81g in order to prevent deformation due to heat.
  • the temperature of the sheet glass SG decreases (viscosity increases).
  • the sheet thickness of the central region of the sheet glass SG is to be formed into a thin sheet having a thickness of 0.4 mm or less, the retained heat of the sheet glass SG is small, and the temperature of the sheet glass SG is affected by the pulling rollers 81a to 81g.
  • Cheap the sheet thickness of the central region of the sheet glass SG is to be formed into a thin sheet having a thickness of 0.4 mm or less
  • the heater 82 (82a to 82g) is provided inside the cooling chamber 80 and adjusts the temperature of the internal space of the cooling chamber 80.
  • a plurality of heaters 82a to 82g are arranged in the flow direction of the sheet glass SG and the width direction of the sheet glass SG. More specifically, seven heaters are arranged in the flow direction of the sheet glass SG, and seven heaters are arranged in the width direction of the sheet glass.
  • the seven heaters arranged in the width direction respectively heat-treat the central area CA of the sheet glass SG and the side portions (ear portions) of the sheet glass SG including the clamping area RA that is held by the pulling rollers 81a to 81g.
  • the outputs of the heaters 82a to 82g are controlled by a control device 500 described later.
  • the temperature of the sheet glass SG is controlled by controlling the atmospheric temperature in the cooling chamber 80 by the heaters 82a to 82g.
  • the sheet glass SG transitions from the viscous region to the elastic region through the viscoelastic region by temperature control.
  • the temperature of the sheet glass SG is cooled from the temperature near the annealing point to the temperature near room temperature by the control of the heaters 82a to 82g.
  • the annealing point is a temperature at which the viscosity becomes 10 13 poise, for example, 715.0 ° C.
  • FIG. 6 is a view of the heater 82a that controls the ambient temperature in the cooling chamber 80 as seen from the back side
  • FIG. 7 is a view of FIG. 6 as seen from the upstream side.
  • the heater 82a is composed of a plurality of divided heaters 82a1 to 82a7 arranged in the width direction of the sheet glass SG.
  • Each divided heater is provided at a position in the width direction corresponding to the outermost end regions R and L on the side of the sheet glass SG, and the divided heaters 82a1 and 82a7 for heating the outermost end regions R and L, a pulling roller 81a to 81g are provided at positions in the width direction corresponding to the inner end region sandwiched between the divided heaters 82a2 and 82a6 for heating the inner end region, and the first central region CA1 of the sheet glass SG.
  • the heater is divided into divided heaters (heaters corresponding to the second center area) 82a3 and 82a5 for heating the second center area CA2. Since the inner end region is a region sandwiched by the pulling rollers 81a to 81g, this region is hereinafter referred to as a sandwiching region RA.
  • the side portion of the sheet glass SG is a region in a range from, for example, 10 to 500 mm, or 10 to 300 mm from the both ends of the sheet glass SG toward the inner side in the width direction of the sheet glass SG.
  • the sandwiching area RA for sandwiching the sheet glass SG is preferably in the range of, for example, 50 to 500 mm or 50 to 300 mm from the end of both sides toward the inner side in the width direction of the sheet glass SG among the side regions. .
  • the outermost end regions R and L are regions located on the outer side in the width direction of the sheet glass SG with respect to the sandwiching region RA.
  • the center area CA is an area on the inner side in the width direction of the sheet glass SG with respect to the sandwiching area RA.
  • the central area CA is further divided into a first central area CA1 that is not adjacent to the sandwiching area RA and includes the center in the width direction of the sheet glass SG, and a second central area CA2 that is adjacent to the sandwiching area RA.
  • the second central area CA2 is an area located on the inner side in the width direction of the sheet glass SG with respect to the clamping area RA, and is 20 to 80% of the central area CA from the clamping area RA toward the inner side in the width direction of the sheet glass SG. This is a region having a width of. 1st center area
  • region CA1 is an area
  • the outputs of the divided heaters 82a1 to 82a7 are independently controlled by the control device 500, the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG passing through the cooling chamber 80 is controlled, and the temperature control of the sheet glass SG is performed.
  • Each of the divided heaters 82a1 to 82a7 is independently controlled to realize the temperature profiles of the outermost end regions R and L, the sandwiching region RA, the first central region CA1, and the second central region CA2.
  • the heaters arranged in the sheet glass width direction in the heaters 82b to 82g have the same configuration as that of the divided heaters 82a1 to 82a7, and thus the description thereof is omitted.
  • thermocouple 380 serving as an atmospheric temperature detecting means for detecting the atmospheric temperature is provided in the vicinity of each of the heaters 82a to 82g. Specifically, the several thermocouple 380 is arrange
  • a soaking plate 83 is installed in the space between the heaters 82a to 82g and the sheet glass SG so as to face the surface of the sheet glass SG.
  • the soaking plate 83 receives the heat radiated from the heaters 82a to 82g, and diffuses the received heat over the entire surface of the soaking plate 83.
  • the soaking plate 83 radiates heat from the facing surface toward the surface of the sheet glass SG.
  • the soaking plate 83 is composed of one metal plate or a plurality of metal plates. Each of the heaters 82a to 82g radiates heat toward the corresponding heat equalizing plate 83.
  • the soaking plate 83 corresponding to the heater 82a receives heat radiated from the heater 82a and radiates the received heat toward the surface of the sheet glass SG facing the soaking plate 83.
  • the region in the sheet glass SG sandwiched between the pulling rollers 81a to 81g is a region where the temperature locally decreases.
  • the soaking plate 83 diffuses the heat received from the heaters 82a to 82g over the entire surface of the soaking plate 83 and radiates it toward the surface of the sheet glass SG, whereby the temperature of the surface of the glass plate 3 is locally increased. Suppresses the decline. That is, in this embodiment, the temperature distribution of the sheet glass SG is controlled by using the soaking plate 83 to smoothen the heat distribution in the width direction of the sheet glass SG of the heaters 82a to 82g.
  • the soaking plate 83 is preferably a nickel metal plate that can be used at a high temperature and has high thermal conductivity. From the viewpoint of forming a smooth temperature distribution along the width direction of the sheet glass SG, the thermal conductivity of the soaking plate 83 is preferably 10 W / (m ⁇ K) or more. Further, the soaking plate 83 may be coated with a ceramic coating to form a ceramic layer or an oxide film may be formed on the surface in order to improve the radiation rate of heat from the surface. From the viewpoint of suppressing foreign matters such as dust from adhering to the surface of the sheet glass SG, it is preferable that a passive film (super black treatment film) having a thickness of about 1 ⁇ m is formed on the surface of the soaking plate 83.
  • a passive film super black treatment film
  • the cutting device 90 cuts the sheet glass SG cooled to a temperature near room temperature in the cooling chamber 80 into a predetermined size.
  • the cutting device 90 cuts the sheet glass SG at predetermined time intervals. Thereby, the sheet glass SG becomes a plurality of glass plates PG.
  • the cutting device 90 is driven by a cutting device drive motor 392 (see FIG. 5).
  • the control device 500 includes a CPU, a RAM, a ROM, a hard disk, and the like, and controls various devices included in the glass plate manufacturing apparatus 100.
  • the control device 500 receives signals from various sensors (eg, thermocouple 380) and switches (eg, main power switch 381) included in the glass substrate manufacturing apparatus 100.
  • switches eg, main power switch 381 included in the glass substrate manufacturing apparatus 100.
  • the temperature control unit 60, heaters 82a to 82g, divided heaters 82a1 to 82a7, cooling roller driving motor 390, pulling roller driving motor 391, cutting device driving motor 392, and the like are controlled.
  • the temperature management of the flow direction and the width direction of the sheet glass SG is performed in cooling process S4.
  • the temperature management is performed based on the temperature profile TP1.
  • the temperature profile TP1 is a temperature distribution along the width direction of the sheet glass SG with respect to the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG.
  • the temperature profile TP1 is a target temperature distribution. That is, the temperature management is performed so as to realize the temperature profile TP1.
  • the temperature management is performed using the heaters 82a to 82g including the pulling rollers 81a to 81g and the divided heaters 82a1 to 82a7 described above.
  • the temperature of the sheet glass SG is managed by controlling the atmospheric temperature of the sheet glass SG.
  • the temperature of the sheet glass SG and the atmospheric temperature controlled by the heaters 82a to 82g including the pulling rollers 81a to 81g and the divided heaters 82a1 to 82a7 are basically the same values.
  • FIG. 8 shows a temperature profile at a predetermined height position of the sheet glass SG.
  • FIG. 9 is a figure which shows the temperature distribution of the sheet glass SG in the predetermined height position of the sheet glass SG.
  • the cooling step S4 is a step of cooling the sheet glass SG conveyed to the cooling chamber 80 through the forming step S3.
  • the temperature management of the sheet glass SG is performed based on the temperature profile TP1. Since the sheet glass SG is cooled by the pulling rollers 81a to 81g in the conventional manufacturing method, the temperature of the sandwiching area RA becomes lower than the temperature of the first central area CA1 of the sheet glass SG as shown in FIG. Yes.
  • the temperature is easily influenced by the pulling rollers 81a to 81g, and the temperature of the sandwiching area RA of the sheet glass SG is lowered. It's easy to do.
  • a temperature difference occurs between the sandwiching area RA and the second central area CA2 adjacent to the sandwiching area RA, warping and distortion are caused. For this reason, it is necessary to control the temperature distribution so as to achieve a target temperature distribution in the cooling chamber 80 so that the temperature drop of the sandwiching region RA of the sheet glass SG is suppressed.
  • the temperature profile TP1 executed in the cooling step S4 will be described in detail.
  • the temperature profile TP1 is a temperature distribution of the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG realized by the divided heaters 82a1 to 82a7 in the cooling chamber 80. Since this temperature distribution is reflected in the temperature distribution of the sheet glass SG immediately before being held by the lowering rollers 81a to 81g, the temperature profile TP1 is also the temperature distribution of the sheet glass SG immediately before being held by the lowering rollers 81a to 81g. is there. In the temperature profile TP1, the temperature of the first central region CA1 is uniform, and the temperatures at the ends of the outermost end regions R and L are lower than the temperature of the first central region CA1.
  • the temperature profile TP2 is an ideal temperature profile in which the temperatures of the first central region CA1, the second central region CA2, and the sandwiching region RA are uniform.
  • the uniform temperature of the first central region CA1 means that the temperature of the first central region CA1 is included in a predetermined temperature range with respect to the reference temperature.
  • the predetermined temperature range is a range of the reference temperature ⁇ 20 ° C.
  • the reference temperature is an average temperature in the width direction of the first central region CA1.
  • the temperature of the sandwiching region RA is higher than the temperature of the first central region CA1.
  • a temperature difference TD between the maximum temperature of the sandwiching region RA and the temperature of the first central region CA1 is, for example, 30 ° C. to 150 ° C.
  • the temperature of the sandwiching area RA is lowered by the contact of the lowering rollers 81a to 81g. For this reason, by increasing the maximum temperature of the sandwiching area RA by 30 ° C. to 150 ° C. higher than the temperature of the first central area CA1, the cooling by the pulling rollers 81a to 81g is alleviated, and as shown in the temperature profile TP2, The temperatures of the first central region CA1, the second central region CA2, and the sandwiching region RA in the glass SG can be made uniform.
  • the pair of lowering rollers 81a to 81g sandwich the sheet glass SG while being cooled so that deformation due to heat is suppressed, and the divided heaters 82a1 to 82a7 sandwich the sheet glass SG cooled by the lowering rollers 81a to 81g.
  • the temperature of the region RA is controlled to be uniform in the width direction of the sheet glass SG.
  • the temperature of the sandwiching area RA shows a gentle mountain-shaped curve because the heat equalizing plate 83 diffuses the heat received from the divided heaters 82a2 and 82a6 over the entire surface.
  • the temperatures of the second central region CA2 and the outermost end regions R and L adjacent to the sandwiching region RA are also increased. This is because the effect of cooling by the pulling rollers 81a to 81g extends not only to the clamping area RA but also to the second central area CA2 and the outermost edge areas R and L adjacent to the clamping area RA.
  • the second central region CA2 adjacent to the sandwiching region RA and a part of the outermost end regions R and L are made higher than the temperature of the first central region CA1, thereby including the sandwiching region RA. Further, warpage and distortion can also be suppressed in the adjacent region.
  • the pair of pulling rollers 81a to 81g sandwich the region between the first central region CA1 and the outermost end regions R and L, and the divided heaters 82a1 to 82a7 have the temperature of the first central region CA1. Is uniform, and the temperature of the sheet glass SG before the lowering rollers 81a to 81g are nipped is controlled so that the temperature of the nipping region RA is higher than the temperature of the first central region CA1.
  • the temperature difference TD between the maximum temperature of the sandwiching region RA and the temperature of the first central region CA1 is the largest on the upstream side, that is, the space heated by the heater 82a, and gradually decreases toward the downstream side.
  • the space heated by the heater 82g is the smallest.
  • the temperature difference TD in the space heated by each of the heaters 82a to 82g gradually decreases to 150 ° C, 130 ° C, 110 ° C, 90 ° C, 70 ° C, 50 ° C, and 30 ° C. This is because the upstream side where the temperature of the sheet glass SG is higher is more susceptible to cooling by the pulling roller 81, so that the temperature difference TD is increased and the cooling by the pulling roller 81 is eased.
  • FIG. 10 is a diagram showing an arrangement example of the divided heaters 82a1 to 82a7. If the divided heaters 82a1 to 82a7 are brought closer to the sheet glass SG side and the soaking plate 83 side without changing the outputs of the divided heaters 82a1 to 82a7, the temperature of the sheet glass SG increases. The heat of the split heaters 82a1 to 82a7 is diffused on the surface of the soaking plate 83, but if the split heaters 82a1 to 82a7 are too close to the soaking plate 83, the heat may not be diffused by the soaking plate 83.
  • the distance from the sheet glass SG of the divided heaters (nipping area corresponding heaters) 82a2 and 82a6 is made longer than the distance from the sheet glass SG of the divided heater (first center area corresponding heater) 82a4, and the pulling rollers 81a ⁇
  • the positions of the divided heaters 82a3 and 82a5 facing the second central area CA2 adjacent to the sandwiching area RA are shifted to the back side by the distance D2 from the position of the divided heater 82a4, and the outputs of the divided heaters 82a3 and 82a5 are increased.
  • the distance D2 is smaller than the distance D1.
  • the temperature of the second central region CA2 is increased because it is affected by the cooling by the pulling roller 81. Since the second central region CA2 is less affected by the cooling by the pulling roller 81 than the sandwiching region RA, the temperature distribution of the second central region CA2 needs to be a gentler curve than the temperature distribution of the sandwiching region RA.
  • the split heater (2) is set so that the temperature of the second central region CA2 is partially higher than the temperature of the first central region CA1.
  • the temperature of the sandwiching region RA cooled by the pulling rollers 81a to 81g is increased above the temperature of the first central region CA1, thereby reducing the pulling roller. Cooling by 81a to 81g can be alleviated, and warping and distortion occurring in the sandwiching area RA can be suppressed. Further, in the sheet glass SG before being sandwiched by the pulling rollers 81a to 81g, the temperatures of the outermost end regions R and L and the second central region CA2, that is, the region adjacent to the sandwiching region RA are set to the first central region.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

　溶融ガラスを成形体から流下させてガラス板を成形する成形工程と、成形体の下方に配置される一対のローラによって、成形工程で成形されたガラス板を下方に搬送しながら、ガラス板の搬送方向に対して順次温度が下がるようガラス板の温度を制御するヒータによって、ガラス板を冷却する冷却工程と、を備える。冷却工程では、一対のローラは、熱による変形が抑制されるよう冷却されながらガラス板を挟持し、ヒータは、一対のローラにより冷却されたガラス板の領域の温度を、ガラス板の幅方向で均一になるよう制御する。

Description

ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置
　本発明は、ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置に関する。
　ダウンドロー法を用いてガラス板（シートガラス）を製造する方法が用いられている。ダウンドロー法により成形されるシートガラスは、板厚がほぼ一定の製品領域（幅方向中央領域）と、製品領域より板厚が厚い製品領域の幅方向の両端に位置する端部（耳部）とからなる。成形されたシートガラスを下方向に安定して搬送するために、シートガラスの製品領域と端部との境界領域を搬送ロールにより挟持している。
　ところで、シートガラスは、反り、歪が一定の品質基準を満たすように冷却（徐冷）される。具体的には、反り及び歪が所定の値になるように、流れ方向に沿ってシートガラスの幅方向の温度プロファイルが予め設計されている。すなわち、予め設計された温度プロファイルとなるように温度管理を実行することにより、予め想定した反り、歪の値を有するガラス板を製造することができる。これによって、顧客先の反りおよび歪の品質基準を満たすガラス板を製造することができる。したがって、シートガラスが、設計された温度プロファイルとなるように、冷却装置やヒータなどを用いて厳密な温度管理を行っている。
特開２０１３－２１２９８７号公報
　シートガラスを搬送しながら冷却するとき、シートガラスの搬送に用いる搬送ロールが熱により変形するのを抑制するために、搬送ロールの温度が一定以下になるよう冷却されている。搬送ロールが冷却されると、搬送ロールとシートガラスとの温度差が大きくなり、さらに、シートガラスが薄くなってシートガラスの保有熱が小さくなると、シートガラスは搬送ロールによる影響を受けやすくなり、搬送ロールがシートガラスを挟持する領域を所定の温度プロファイルに基づいて成形することが困難となる場合がある。
　そこで、本発明は、薄いガラス板であっても、搬送ロールがシートガラスを挟持する領域において、設計された温度プロファイルを再現しようとした場合に容易にこの温度プロファイルを実現することができ、ガラス板の平面度（反り量）を精度良く得ることが可能なガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置を提供することを目的とする。
　本発明は以下の形態を含む。
（形態１）
　溶融ガラスを成形体から流下させてガラス板を成形する成形工程と、
　前記成形体の下方に配置される一対のローラによって、前記成形工程で成形された前記ガラス板を下方に搬送しながら、前記ガラス板の搬送方向に対して順次温度が下がるよう前記ガラス板の温度を制御するヒータによって、前記ガラス板を冷却する冷却工程と、を備え、
　前記冷却工程では、
　前記一対のローラは、熱による変形が抑制されるよう冷却されながら前記ガラス板を挟持し、
　前記ヒータは、前記一対のローラにより冷却された前記ガラス板の領域の温度を、前記ガラス板の幅方向で均一になるよう制御する、ことを特徴とするガラス板の製造方法。
（形態２）
　形態１において、
　前記成形工程では、前記ガラス板の幅方向の両端と、前記両端に挟まれた前記両端における前記ガラス板の厚さより前記ガラス板の厚さが薄い幅方向中央領域と、を有するガラス板が成形され、
　前記冷却工程では、
　前記一対のローラは、前記幅方向中央領域と前記端との間の領域を挟持し、
　前記ヒータは、前記ローラが挟持する前、前記幅方向中央領域の温度が均一になり、かつ、前記ローラが挟持する挟持領域の温度が前記幅方向中央領域の温度より高くなるよう、前記ガラス板の温度を制御する。
（形態３）
　形態１又は２において、前記冷却工程では、前記ヒータは、前記ローラが前記ガラス板を挟持する前、前記挟持領域の温度分布が、前記両端に挟まれた、前記両端における前記ガラス板の厚さより前記ガラス板の厚さが薄い幅方向中央領域及び前記端に向かって低くなるよう前記ガラス板の温度を制御する。
（形態４）
　形態１～３のいずれか１つの形態において、
　前記ヒータは、前記幅方向に複数に分割された分割ヒータを含み、
　前記分割ヒータは、前記ローラが挟持する挟持領域に対応する幅方向の位置に設けられた挟持領域対応ヒータを含む。
（形態５）
　形態４において、前記分割ヒータは、前記挟持領域対応ヒータの他に、前記ガラス板の幅方向の両端に挟まれた、前記両端における前記ガラス板の厚さより前記ガラス板の厚さが薄い幅方向中央領域に対応する幅方向の位置に設けられた中央領域対応ヒータを含み、
　前記挟持領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離を、前記中央領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離に比べて遠くし、前記ローラが前記ガラス板を挟持する前、前記挟持領域の温度が前記幅方向中央領域の温度より高くなるように、前記挟持領域対応ヒータの出力を制御する。
（形態６）
　形態５において、前記幅方向中央領域は、前記幅方向の中心を含む第１中央領域と、前記第１中央領域と前記挟持領域との間に位置する第２中央領域を有し、
　前記中央領域対応ヒータは、前記第１中央領域に対応する幅方向の位置に設けられた第１中央領域対応ヒータと、前記第２中央領域に対応する幅方向の位置に設けられた第２中央領域対応ヒータと、を含み、
　前記第２中央領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離を、前記第１中央領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離に比べて遠くし、前記ローラが前記ガラス板を挟持する前、前記第２中央領域の温度が前記第１中央領域の温度より部分的に高くなるように、前記第２中央領域対応ヒータの出力を制御する。
（形態７）
　形態３において、前記挟持領域における前記温度分布の最高温度と前記幅方向中央領域の温度と間の温度差が、前記ガラス板の前記搬送方向の上流側から下流側に向かって徐々に小さくなる。
（形態８）
　形態１～７のいずれか１つの形態において、
　前記ガラス板と前記ヒータとの間には、前記ガラス板の表面と対向するように均熱板が配置され、
　前記ヒータの前記幅方向の熱分布を前記均熱板によりなだらかにすることにより、前記ガラス板の温度分布を制御する。
（形態９）
　溶融ガラスを流下させてガラス板を成形する成形体と、
　前記成形体の下方に配置され、前記ガラス板を下方に搬送する一対のローラと、
　前記ガラス板の搬送方向に対して順次温度が下がるよう前記ガラス板の温度を制御するヒータと、を備え、
　前記一対のローラは、熱による変形が抑制されるよう冷却されながら前記ガラス板を挟持し、
　前記ヒータは、前記一対のローラにより冷却された前記ガラス板の領域の温度を、前記ガラス板の幅方向で均一になるよう制御する、ことを特徴とするガラス板の製造装置。
　本発明によれば、薄いガラス板であっても、搬送ロールがシートガラスを挟持する領域において、設計された温度プロファイルを再現しようとする場合に実現することができ、ガラス板の平面度（反り量）を精度良く得ることができる。
本実施形態に係るガラス板の製造方法のフローチャートである。 ガラス板の製造方法で用いられるガラス板の製造装置示す模式図である。 成形装置の概略の概略図（断面図）である。 成形装置の概略の概略図（側面図）である。 制御装置の制御ブロック図である。 冷却チャンバー内の雰囲気温度を制御するヒータを背面側から見た図である。 図６を上流側から見た図である。 冷却工程におけるシートガラスの所定の高さ位置における温度プロファイルを示す図である。 冷却工程におけるシートガラスの所定の高さ位置におけるシートガラスの温度分布を示す図である。 冷却工程におけるにおける分割ヒータの配置例を示す図である。
　本実施形態に係るガラス板（ガラス基板）の製造方法では、例えばＴＦＴ（Thin Film Transistor）ディスプレイ用のガラス基板を製造する。ガラス板は、ダウンドロー法を用いて製造される。以下、図面を参照しながら、本実施形態に係るガラス基板の製造方法について説明する。
　（１）ガラス板の製造方法の概要
　まず、図１および図２を参照して、ガラス基板の製造方法に含まれる複数の工程および複数の工程に用いられるガラス基板の製造装置１００を説明する。ガラス基板の製造方法は、図１に示すように、主として、溶融工程Ｓ１と、清澄工程Ｓ２と、成形工程Ｓ３と、冷却工程Ｓ４と、切断工程Ｓ５とを含む。
　溶融工程Ｓ１は、ガラスの原料が溶融される工程である。ガラスの原料は、所望の組成になるように調合された後、図２に示すように、上流に配置された溶融装置１１に投入される。ガラス原料は、例えば、ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３，Ｂ２Ｏ３，ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ等の組成からなる。具体的には、歪点が６６０℃以上となるガラス原料を用いる。ガラスの原料は、溶融装置１１で溶融されて、溶融ガラスＦＧになる。溶融温度は、ガラスの種類に応じて調整される。本実施形態では、ガラス原料が１５００℃～１６５０℃で溶融される。溶融ガラスＦＧは、上流パイプ２３を通って清澄装置１２に送られる。
　清澄工程Ｓ２は、溶融ガラスＦＧ中の気泡の除去を行う工程である。清澄装置１２内で気泡が除去された溶融ガラスＦＧは、その後、下流パイプ２４を通って、成形装置４０へと送られる。
　成形工程Ｓ３は、溶融ガラスＦＧをシート状のガラス（シートガラス）ＳＧに成形する工程である。具体的に、溶融ガラスＦＧは、成形装置４０に含まれる成形体４１に連続的に供給された後、成形体４１からオーバーフローする。オーバーフローした溶融ガラスＦＧは、成形体４１の表面に沿って流下する。溶融ガラスＦＧは、その後、成形体４１の下端部４１ａで合流してシートガラスＳＧへと成形される。シートガラスＳＧは、幅方向の端に位置する側部（耳部、端部）と、側部に挟まれた幅方向の中央領域とを有する。シートガラスＳＧの側部の板厚は、中央領域の板厚と比べて厚く成形される。シートガラスＳＧの中央領域は、一定の板厚からなるガラス基板の製品となる領域である。シートガラスＳＧの中央領域の板厚を０．４ｍｍ以下の薄板に成形しようとする場合、シートガラスＳＧの側部の板厚は従来より薄く成形される。
　冷却工程Ｓ４は、シートガラスＳＧを冷却（徐冷）する工程である。シートガラスＳＧは、冷却工程Ｓ４を経て室温に近い温度へと冷却される。なお、冷却工程Ｓ４における、冷却の状態に応じて、ガラス基板の厚み（板厚）、ガラス基板の反り量、およびガラス基板の歪量が決まる。
　切断工程Ｓ５は、室温に近い温度になったシートガラスＳＧを、所定の大きさに切断する工程である。
　なお、所定の大きさに切断されたシートガラスＳＧ（ガラス板ＰＧ）は、その後、端面加工等の工程を経て、ガラス基板となる。
　以下、図３～図５を参照して、ガラス基板の製造装置１００に含まれる成形装置４０の構成を説明する。なお、本実施形態において、シートガラスＳＧの幅方向とは、シートガラスＳＧが流下する方向（流れ方向）に直交する方向、すなわち、水平方向を意味する。
　（２）成形装置の構成
　まず、図３および図４に、成形装置４０の概略構成を示す。図３は、成形装置４０の断面図である。図４は、成形装置４０の側面図である。
　成形装置４０は、シートガラスＳＧが通過する通路と、通路を取り囲む空間とを有する。通路を取り囲む空間は、オーバーフローチャンバー２０、フォーミングチャンバー３０、および冷却チャンバー８０で構成されている。
　オーバーフローチャンバー２０は、清澄装置１２から送られる溶融ガラスＦＧをシートガラスＳＧに成形する空間を構成する。
　フォーミングチャンバー３０は、オーバーフローチャンバー２０の下方に配置され、シートガラスＳＧの厚みおよび反り量を調整するための空間を構成する。フォーミングチャンバー３０では、冷却工程の一部が実行される。シートガラスＳＧは、成形体４１の表面に沿って流下し、成形体４１の下端部４１ａで合流してシートガラスＳＧへと成形されるが、成形体４１の下端部４１ａより下流においては、シートガラスＳＧの温度が徐々に下がっていく。
　冷却チャンバー８０は、オーバーフローチャンバー２０の下方に配置され、シートガラスＳＧの歪量を調整するための空間を構成する。具体的に、冷却チャンバー８０では、フォーミングチャンバー３０内を通過したシートガラスＳＧが、徐冷点、歪点を経て、室温近傍の温度まで冷却される。なお、冷却チャンバー８０は、断熱部材８０ａ，８０ｂによって複数に区分けされた空間を備える。
　また、成形装置４０は、主として、成形体４１と、仕切り部材５０と、冷却ローラ５１と、温度調整ユニット６０と、引下げローラ８１ａ～８１ｇと、ヒータ８２ａ～８２ｇと、切断装置９０とを備えている。さらに、成形装置４０は、制御装置５００を備える（図５参照）。制御装置５００は、成形装置４０に含まれる各構成の駆動部を制御する。
　以下、成形装置４０に含まれる各構成について詳細に説明する。
　（２－１）成形体
　成形体４１は、オーバーフローチャンバー２０内に設けられる。成形体４１は、溶融ガラスＦＧをオーバーフローさせることによって、溶融ガラスＦＧをシート状のガラス板へと成形する。このガラス板は、以降、シートガラスＳＧという。
　図３に示すように、成形体４１は、断面形状で略５角形の形状（楔形に類似する形状）を有する。略５角形の先端は、成形体４１の下端部４１ａに相当する。
　また、成形体４１は、第１端部に流入口４２を有する（図４参照）。流入口４２は、上述の下流パイプ２４と接続されており、清澄装置１２から流れ出た溶融ガラスＦＧは、流入口４２から成形体４１に流し込まれる。成形体４１には、溝４３が形成されている。溝４３は、成形体４１の長手方向に延びる。具体的には、溝４３は、第１端部から、第１端部の反対側の端部である第２端部に延びる。より具体的に、溝４３は、図４の左右方向に延びる。溝４３は、流入口４２近傍が最も深く、第２端部に近づくにつれて、徐々に浅くなるように形成されている。成形体４１に流し込まれた溶融ガラスＦＧは、成形体４１の一対の頂部４１ｂ，４１ｂからオーバーフローし、成形体４１の一対の側面（表面）４１ｃ，４１ｃを沿いながら流下する。その後、溶融ガラスＦＧは、成形体４１の下端部４１ａで合流してシートガラスＳＧになる。
　このとき、成形体４１の下端部４１ａでのシートガラスＳＧの液相温度は１１００℃以上であり、液相粘度は２．５×１０５ｐｏｉｓｅ以上であり、より好ましくは、液相温度は１１６０℃以上であり、液相粘度は１．２×１０５ｐｏｉｓｅ以上である。また、成形体４１の下端部４１ａでのシートガラスＳＧの側部（耳部、端部）の粘度を１０５．７Ｐｏｉｓｅ未満である。
　（２－２）仕切り部材
　仕切り部材５０は、オーバーフローチャンバー２０からフォーミングチャンバー３０への熱の移動を遮断する部材である。仕切り部材５０は、溶融ガラスＦＧの合流ポイントの近傍に配置されている。また、図３に示すように、仕切り部材５０は、合流ポイントで合流した溶融ガラスＦＧ（シートガラスＳＧ）の厚み方向両側に配置される。仕切り部材５０は、断熱材である。仕切り部材５０は、溶融ガラスＦＧの合流ポイントの上側雰囲気および下側雰囲気を仕切ることにより、仕切り部材５０の上側から下側への熱の移動を遮断する。
　（２－３）冷却ローラ
　冷却ローラ５１は、フォーミングチャンバー３０内に設けられる。より具体的に、冷却ローラ５１は、仕切り部材５０の直下に配置されている。また、冷却ローラ５１は、シートガラスＳＧの厚み方向両側、且つ、シートガラスＳＧの幅方向両側に配置される。シートガラスＳＧの厚み方向両側に配置された冷却ローラ５１は対で動作する。すなわち、シートガラスＳＧの両側部（幅方向両端部）は、二対の冷却ローラ５１，５１，・・・によって挟み込まれる。
　冷却ローラ５１は、内部に通された空冷管により空冷されている。冷却ローラ５１は、シートガラスＳＧの側部（耳部）に接触し、熱伝導によりシートガラスＳＧの側部（耳部）を急冷する（急冷工程）。冷却ローラ５１に接触したシートガラスＳＧの側部の粘度は、所定値（具体的には、１０９．０ｐｏｉｓｅ）以上である。
　冷却ローラ５１は、冷却ローラ駆動モータ３９０（図５を参照）により回転駆動される。冷却ローラ５１は、シートガラスＳＧの側部を冷却すると共に、シートガラスＳＧを下方に引き下げる機能も有する。
　（２－４）温度調整ユニット
　温度調整ユニット６０は、オーバーフローチャンバー２０内及びフォーミングチャンバー３０内に設けられ、シートガラスＳＧを徐冷点近傍まで冷却するユニットである。温度調整ユニット６０は、複数の冷却ユニット６１～６５を有する。複数の冷却ユニット６１～６５は、シートガラスＳＧの幅方向およびシートガラスＳＧの流れ方向に配置される。具体的に、複数の冷却ユニット６１～６５には、中央領域冷却ユニット６１～６３と、側部冷却ユニット６４，６５とが含まれる。中央領域冷却ユニット６１～６３は、シートガラスＳＧの幅方向中央領域ＣＡを空冷する。幅方向中央領域ＣＡは以降、中央領域ＣＡという。ここで、シートガラスＳＧの中央領域とは、シートガラスＳＧの幅方向中央部分であって、シートガラスＳＧの有効幅およびその近傍を含む領域である。言い換えると、シートガラスＳＧの中央領域は、シートガラスＳＧの両側部に挟まれた部分である。シートガラスＳＧの両側部は、両耳部ともいう。中央領域冷却ユニット６１～６３は、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの表面に対向する位置に、流れ方向に沿って配置される。中央領域冷却ユニット６１～６３に含まれる各ユニットは、独立して制御可能である。また、側部冷却ユニット６４，６５は、シートガラスＳＧの側部を水冷する。側部冷却ユニット６４，６５は、シートガラスＳＧの側部の表面に対向する位置に、流れ方向に沿って配置される。側部冷却ユニット６４，６５に含まれる各ユニットは、独立して制御可能である。
　（２－５）引下げローラ（搬送ローラ）
　引下げローラ（搬送ローラ）８１ａ～８１ｇは、冷却チャンバー８０内に設けられ、フォーミングチャンバー３０内を通過したシートガラスＳＧを、シートガラスＳＧの流れ方向へ引き下げる。引下げローラ８１ａ～８１ｇは、冷却チャンバー８０の内部で、流れ方向に沿って所定の間隔を空けて配置される。引下げローラ８１ａ～８１ｇは、シートガラスＳＧの厚み方向両側（図３参照）、および、シートガラスＳＧの幅方向両側（図４参照）に複数配置される。すなわち、引下げローラ８１ａ～８１ｇは、シートガラスＳＧの幅方向の両側部、かつ、シートガラスＳＧの厚み方向の両側に接触しながらシートガラスＳＧを下方に引き下げる。
　引下げローラ８１ａ～８１ｇは、引下げローラ駆動モータ３９１（図５参照）によって駆動される。また、引下げローラ８１ａ～８１ｇは、シートガラスＳＧに対して内側に回転する。引下げローラ８１ａ～８１ｇの周速度は、下流側の引下げローラ程、大きい。すなわち、複数の引下げローラ８１ａ～８１ｇのうち、引下げローラ８１ａの周速度が最も小さく、引下げローラ８１ｇの周速度が最も大きい。シートガラスＳＧの厚み方向両側に配置された引下げローラ８１ａ～８１ｇは、対で動作し、対の引下げローラ８１ａ，８１ａ，・・・が、シートガラスＳＧを下方向に引き下げる。
　引下げローラ８１ａ～８１ｇは高温のシートガラスＳＧを挟持するため、熱による変形を防ぐために、引下げローラ８１ａ～８１ｇの内部に通された空冷管により空冷されている。引下げローラ８１ａ～８１ｇがシートガラスＳＧを挟持した挟持領域では、シートガラスＳＧの温度が低下（粘度が上昇）する。特に、シートガラスＳＧの中央領域の板厚を０．４ｍｍ以下の薄板に成形しようとする場合、シートガラスＳＧの保有熱は小さく、シートガラスＳＧの温度は、引下げローラ８１ａ～８１ｇの影響を受けやすい。引下げローラ８１ａ～８１ｇが挟持した挟持領域の粘度が上昇すると、挟持領域に隣接する他の領域との粘度差が生じ、歪等が発生する原因となる。このため、後述する温度プロファイルを実現することにより、引下げローラ８１ａ～８１ｇが挟持した挟持領域、及び、挟持領域に隣接する領域において大きな歪が発生するのを抑制する。
　（２－６）ヒータ
　ヒータ８２（８２ａ～８２ｇ）は、冷却チャンバー８０の内部に設けられ、冷却チャンバー８０の内部空間の温度を調整する。具体的に、ヒータ８２ａ～８２ｇは、シートガラスＳＧの流れ方向およびシートガラスＳＧの幅方向に複数配置される。より具体的には、シートガラスＳＧの流れ方向には、７つのヒータが配置され、シートガラスの幅方向には７つのヒータが配置される。幅方向に配置される７つのヒータは、シートガラスＳＧの中央領域ＣＡと、引下げローラ８１ａ～８１ｇが挟持する挟持領域ＲＡを含む、シートガラスＳＧの側部（耳部）とをそれぞれ熱処理する。ヒータ８２ａ～８２ｇは、後述する制御装置５００によって出力が制御される。これにより、冷却チャンバー８０内部を通過するシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度が制御される。ヒータ８２ａ～８２ｇによって冷却チャンバー８０内の雰囲気温度が制御されることによって、シートガラスＳＧの温度制御が行われる。また、温度制御により、シートガラスＳＧは、粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する。このように、ヒータ８２ａ～８２ｇの制御により、冷却チャンバー８０では、シートガラスＳＧの温度が、徐冷点近傍の温度から室温近傍の温度まで冷却される。ここで、徐冷点は、粘度が１０１３ｐｏｉｓｅとなるときの温度であり、例えば、７１５．０℃である。
　シートガラスＳＧの幅方向に複数配置されるヒータについて説明する。図６は、冷却チャンバー８０内の雰囲気温度を制御するヒータ８２ａを背面側から見た図であり、図７は、図６を上流側から見た図である。ヒータ８２ａは、シートガラスＳＧの幅方向に複数配置される分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７からなる。各分割ヒータは、シートガラスＳＧの側部の最外端部領域Ｒ，Ｌに対応する幅方向の位置に設けられ、最外端部領域Ｒ，Ｌを加熱する分割ヒータ８２ａ１，８２ａ７、引下げローラ８１ａ～８１ｇが挟持する内側端部領域に対応する幅方向の位置に設けられ、内側端部領域を加熱する分割ヒータ（挟持領域対応ヒータ）８２ａ２，８２ａ６、シートガラスＳＧの第１中央領域ＣＡ１に対応する幅方向の位置に設けられ、第１中央領域ＣＡ１を加熱する分割ヒータ（第１中央領域対応ヒータ）８２ａ４、シートガラスＳＧの第２中央領域ＣＡ２に対応する幅方向の位置に設けられ、第２中央領域ＣＡ２を加熱する分割ヒータ（第２中央領域対応ヒータ）８２ａ３、８２ａ５に分かれている。内側端部領域は、引下げローラ８１ａ～８１ｇが挟持する領域であるため、以降ではこの領域を挟持領域ＲＡという。
　シートガラスＳＧの側部は、シートガラスＳＧの両側の端から、シートガラスＳＧの幅方向内側に向かって例えば１０～５００ｍｍ、あるいは１０～３００ｍｍまでの範囲の領域であり、引下げローラ８１ａ～８１ｇがシートガラスＳＧを挟持する挟持領域ＲＡは、上記側部の領域のうち、両側の端からシートガラスＳＧの幅方向内側に向かって、例えば５０～５００ｍｍあるいは５０～３００ｍｍまでの範囲にあることが好ましい。最外端部領域Ｒ，Ｌは、挟持領域ＲＡに対してシートガラスＳＧの幅方向外側に位置する領域である。中央領域ＣＡは、挟持領域ＲＡに対してシートガラスＳＧの幅方向内側の領域である。
　中央領域ＣＡは、さらに、挟持領域ＲＡと隣接せず、シートガラスＳＧの幅方向の中心を含む第１中央領域ＣＡ１と、挟持領域ＲＡと隣接する第２中央領域ＣＡ２とに分かれている。第２中央領域ＣＡ２は、挟持領域ＲＡに対してシートガラスＳＧの幅方向内側に位置する領域であり、挟持領域ＲＡからシートガラスＳＧの幅方向内側に向かって、中央領域ＣＡの２０～８０％の幅を有する領域である。第１中央領域ＣＡ１は、第２中央領域ＣＡ２からシートガラスＳＧの幅方向内側の領域である。
　各分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７は、制御装置５００によって出力が独立して制御され、冷却チャンバー８０内部を通過するシートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度が制御されて、シートガラスＳＧの温度制御が行われる。分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７それぞれが独立して制御されて、最外端部領域Ｒ，Ｌ、挟持領域ＲＡ、第１中央領域ＣＡ１，第２中央領域ＣＡ２の温度プロファイルが実現される。
　なお、ヒータ８２ｂ～８２ｇにおけるシートガラスの幅方向に配置されるヒータは、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７と同様の構成であるため、説明を省略する。
　なお、各ヒータ８２ａ～８２ｇの近傍には、雰囲気温度を検出する雰囲気温度検出手段である熱電対３８０が設けられている。具体的には、複数の熱電対３８０が、シートガラスＳＧの流れ方向およびシートガラスＳＧの幅方向に配置されている。熱電対３８０は、シートガラスＳＧの第１中央領域ＣＡ１の幅方向の中心位置の温度と、シートガラスＳＧの最外端部領域Ｒ，Ｌの温度とをそれぞれ検出する。ヒータ８２ａ～８２ｇの出力は、熱電対３８０によって検出される雰囲気温度に基づいて制御される。
　ヒータ８２ａ～８２ｇとシートガラスＳＧとの間の空間に、シートガラスＳＧの表面と対向するように均熱板８３が設置される。均熱板８３は、ヒータ８２ａ～８２ｇから輻射される熱を受け、均熱板８３の表面全体に、受けた熱を拡散させる。均熱板８３は、その対向面から、シートガラスＳＧの表面に向かって熱を輻射する。均熱板８３は、一枚の金属板、または、複数枚の金属板から構成される。ヒータ８２ａ～８２ｇのそれぞれは、対応する均熱板８３に向かって熱を輻射する。例えば、ヒータ８２ａに対応する均熱板８３は、ヒータ８２ａから輻射される熱を受け、均熱板８３と対向するシートガラスＳＧの表面に向かって、受けた熱を輻射する。本実施形態において、引下げローラ８１ａ～８１ｇに挟持されたシートガラスＳＧにおける領域は、温度が局所的に低下する領域である。均熱板８３は、ヒータ８２ａ～８２ｇから受けた熱を均熱板８３の表面全体に拡散させて、シートガラスＳＧの表面に向かって輻射することで、ガラス板３の表面の温度の局所的な低下を抑制する。すなわち、本実施形態では、均熱板８３を用いることにより、ヒータ８２ａ～８２ｇのシートガラスＳＧの幅方向の熱分布をなだらかにすることにより、シートガラスＳＧの温度分布を制御する。
　均熱板８３は、例えば、高温下で使用することができ、かつ、熱伝導率が高いニッケルの金属板が好ましい。シートガラスＳＧの幅方向に沿って滑らかな温度分布を形成する観点からは、均熱板８３の熱伝導率は、１０Ｗ/（ｍ・Ｋ）以上であることが好ましい。また、均熱板８３は、その表面からの熱の輻射率を向上させるために、セラミック塗料を塗布してセラミック層が形成されてもよく、表面に酸化被膜が形成されてもよい。シートガラスＳＧの表面に塵等の異物が付着することを抑制する観点からは、膜厚１μｍ程度の不動態被膜（スーパーブラック処理膜）が均熱板８３の表面に形成されることが好ましい。
　（２－７）切断装置
　切断装置９０は、冷却チャンバー８０内で室温近傍の温度まで冷却されたシートガラスＳＧを、所定のサイズに切断する。切断装置９０は、所定の時間間隔でシートガラスＳＧを切断する。これにより、シートガラスＳＧは、複数のガラス板ＰＧになる。切断装置９０は、切断装置駆動モータ３９２（図５を参照）によって駆動される。
　（２－８）制御装置
　制御装置５００は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、およびハードディスク等から構成されており、ガラス板の製造装置１００に含まれる種々の機器の制御を行う。
　具体的には、図５に示すように、制御装置５００は、ガラス基板の製造装置１００に含まれる各種のセンサ（例えば、熱電対３８０）やスイッチ（例えば、主電源スイッチ３８１）等による信号を受けて、温度調整ユニット６０、ヒータ８２ａ～８２ｇ、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７、冷却ローラ駆動モータ３９０、引下げローラ駆動モータ３９１、切断装置駆動モータ３９２等の制御を行う。
　（３）温度管理
　本実施形態に係るガラス基板の製造方法では、冷却工程Ｓ４において、シートガラスＳＧの流れ方向および幅方向の温度管理を行っている。温度管理は、温度プロファイルＴＰ１に基づいて行われる。温度プロファイルＴＰ１とは、シートガラスＳＧ近傍の雰囲気温度についての、シートガラスＳＧの幅方向に沿った温度分布である。言い換えると、温度プロファイルＴＰ１は、目標の温度分布である。すなわち、温度管理は、温度プロファイルＴＰ１を実現させるように行われる。温度管理は、上述した、引下げローラ８１ａ～８１ｇ、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７を備えるヒータ８２ａ～８２ｇを用いて行われる。
　シートガラスＳＧの温度は、シートガラスＳＧの雰囲気温度を制御することにより、管理される。ここで、シートガラスＳＧの温度と引下げローラ８１ａ～８１ｇ及び分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７を備えるヒータ８２ａ～８２ｇによって制御される雰囲気温度とは、基本的に同様の値である。
　以下、図８を参照して、冷却工程Ｓ４におけるシートガラスＳＧの温度管理について詳細に説明する。図８は、シートガラスＳＧの所定の高さ位置における温度プロファイルを示す。また、図９は、シートガラスＳＧの所定の高さ位置におけるシートガラスＳＧの温度分布を示す図である。
　（３－１）冷却工程
　冷却工程Ｓ４は、成形工程Ｓ３を経て、冷却チャンバー８０に搬送されたシートガラスＳＧを冷却する工程である。冷却工程Ｓ４では、温度プロファイルＴＰ１に基づいて、シートガラスＳＧの温度管理が行われる。シートガラスＳＧは、従来の製造方法では、引下げローラ８１ａ～８１ｇによって冷却されるため、図９に示すように、挟持領域ＲＡの温度がシートガラスＳＧの第１中央領域ＣＡ１の温度より低くなっている。シートガラスＳＧの中央領域ＣＡの板厚が０．４ｍｍ以下となるような薄いシートガラスＳＧでは、その温度は引下げローラ８１ａ～８１ｇによる影響を受けやすく、シートガラスＳＧの挟持領域ＲＡの温度は低下しやすい。挟持領域ＲＡと挟持領域ＲＡに隣接する第２中央領域ＣＡ２との間で温度差が生じると、反り、歪の原因となる。このため、シートガラスＳＧの挟持領域ＲＡの温度低下が抑制されるように、冷却チャンバー８０内において目標とする温度分布になるように、温度分布を制御する必要がある。以下、冷却工程Ｓ４で実行される温度プロファイルＴＰ１を詳細に説明する。
　（３－１－１）温度プロファイル
　温度プロファイルＴＰ１は、冷却チャンバー８０内において分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７によって実現される、シートガラスＳＧの近傍の雰囲気温度の温度分布である。この温度分布が、引下げローラ８１ａ～８１ｇに挟持される直前のシートガラスＳＧの温度分布に反映されるので、温度プロファイルＴＰ１は引下げローラ８１ａ～８１ｇに挟持される直前のシートガラスＳＧの温度分布でもある。温度プロファイルＴＰ１は、第１中央領域ＣＡ１の温度が均一であり、最外端部領域Ｒ，Ｌの末端の温度は、第１中央領域ＣＡ１の温度よりも低い。また、温度プロファイルＴＰ２は、第１中央領域ＣＡ１，第２中央領域ＣＡ２及び挟持領域ＲＡの温度が均一となる理想の温度プロファイルである。ここで、第１中央領域ＣＡ１の温度が均一であるとは、第１中央領域ＣＡ１の温度が、基準温度に対して所定の温度域に含まれることをいう。所定の温度域とは、基準温度±２０℃の範囲である。基準温度は、第１中央領域ＣＡ１の幅方向の平均温度である。また、温度プロファイルＴＰ１は、挟持領域ＲＡの温度が、第１中央領域ＣＡ１の温度よりも高い。挟持領域ＲＡの温度の最高温度と第１中央領域ＣＡ１の温度との温度差ＴＤは、例えば、３０℃～１５０℃である。挟持領域ＲＡの温度は、引下げローラ８１ａ～８１ｇが接触することにより、温度が低下してしまう。このため、挟持領域ＲＡの最高温度を第１中央領域ＣＡ１の温度より、３０℃～１５０℃高くすることにより、引下げローラ８１ａ～８１ｇによる冷却を緩和して、温度プロファイルＴＰ２に示すように、シートガラスＳＧにおける第１中央領域ＣＡ１，第２中央領域ＣＡ２及び挟持領域ＲＡの温度を均一にすることができる。すなわち、一対の引下げローラ８１ａ～８１ｇは、熱による変形が抑制されるよう冷却されながらシートガラスＳＧを挟持し、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７は、引下げローラ８１ａ～８１ｇにより冷却されたシートガラスＳＧの挟持領域ＲＡの温度を、シートガラスＳＧの幅方向で均一になるよう制御する。挟持領域ＲＡの温度は、分割ヒータ８２ａ２，８２ａ６から受けた熱を均熱板８３が表面全体に拡散させるため、山なり状の緩やかな曲線を示す。挟持領域ＲＡの温度を、第１中央領域ＣＡ１の温度より高くするのに伴って、挟持領域ＲＡに隣接する第２中央領域ＣＡ２及び最外端部領域Ｒ，Ｌの温度も高くする。これは、引下げローラ８１ａ～８１ｇによる冷却の影響は、挟持領域ＲＡだけでなく、挟持領域ＲＡに隣接する第２中央領域ＣＡ２及び最外端部領域Ｒ，Ｌにも及ぶためである。挟持領域ＲＡだけでなく、挟持領域ＲＡに隣接する第２中央領域ＣＡ２及び最外端部領域Ｒ，Ｌの一部を、第１中央領域ＣＡ１の温度より高くすることにより、挟持領域ＲＡを含めた隣接領域についても、反り、歪を抑制することができる。
　このように、一対の引下げローラ８１ａ～８１ｇは、第１中央領域ＣＡ１と最外端部領域Ｒ，Ｌとの間の領域を挟持し、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７は、第１中央領域ＣＡ１の温度が均一になり、かつ、挟持領域ＲＡの温度が第１中央領域ＣＡ１の温度より高くなるよう、引下げローラ８１ａ～８１ｇが挟持する前のシートガラスＳＧの温度を制御する。
　挟持領域ＲＡの温度の最高温度と第１中央領域ＣＡ１の温度との温度差ＴＤは、上流側、つまり、ヒータ８２ａによって加熱される空間が一番大きく、下流側に向かうにしたがって徐々に小さくなり、ヒータ８２ｇによって加熱される空間が一番小さくなる。例えば、ヒータ８２ａ～８２ｇのそれぞれによって加熱される空間における温度差ＴＤは、１５０℃、１３０℃、１１０℃、９０℃、７０℃、５０℃、３０℃と、徐々に小さくなる。これは、シートガラスＳＧの温度が高い上流側ほど、引下げローラ８１による冷却の影響を受けやすいため、温度差ＴＤを大きくして、引下げローラ８１による冷却を緩和するためである。
　図１０は、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７の配置例を示す図である。分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７の出力を変化させずに、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７をシートガラスＳＧ側、均熱板８３側に近づけると、シートガラスＳＧの温度は高くなる。分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７の熱は、均熱板８３の表面において拡散されるが、分割ヒータ８２ａ１～８２ａ７を均熱板８３に近づけすぎると、均熱板８３によって熱が拡散されない場合がある。このため、温度を高くしたい挟持領域ＲＡに対向する位置にある分割ヒータ８２ａ２，８２ａ６を均熱板８３から離し、分割ヒータ８２ａ２，８２ａ６の出力を高めることにより、挟持領域ＲＡの局部的な加熱が抑制され、挟持領域ＲＡの温度分布を滑らかにすることができる。分割ヒータ８２ａ２，８２ａ６の位置を、分割ヒータ８２ａ４の位置より距離Ｄ１だけ背面側にずらした場合、放射による伝熱量は物体からの距離の２乗に反比例して減衰するため、離れた距離Ｄ１に応じて分割ヒータ８２ａ２，８２ａ６の出力を高める。すなわち、分割ヒータ（挟持領域対応ヒータ）８２ａ２，８２ａ６のシートガラスＳＧからの距離を、分割ヒータ（第１中央領域対応ヒータ）８２ａ４のシートガラスＳＧからの距離に比べて遠くし、引下げローラ８１ａ～８１ｇがシートガラスＳＧを挟持する前、挟持領域ＲＡの温度が第１中央領域ＣＡ１の温度より高くなるように、分割ヒータ（挟持領域対応ヒータ）８２ａ２，８２ａ６の出力を制御することが好ましい。
　また、挟持領域ＲＡに隣接する第２中央領域ＣＡ２に対向する分割ヒータ８２ａ３，８２ａ５の位置を、分割ヒータ８２ａ４の位置より距離Ｄ２だけ背面側にずらし、分割ヒータ８２ａ３，８２ａ５の出力を高める。距離Ｄ２は、距離Ｄ１よりも小さい。挟持領域ＲＡに隣接する第２中央領域ＣＡ２においても、引下げローラ８１による冷却の影響を受けるため、第２中央領域ＣＡ２の温度を高める。第２中央領域ＣＡ２は挟持領域ＲＡより引下げローラ８１による冷却の影響が小さいため、第２中央領域ＣＡ２の温度分布を挟持領域ＲＡの温度分布よりなだらかな曲線にする必要がある。このため、分割ヒータ８２ａ４の位置より、距離Ｄ２だけ背面側にずらし、分割ヒータ８２ａ３，８２ａ５の出力を高めることによって実現できる。すなわち、分割ヒータ（第２中央領域対応ヒータ）８２ａ３，８２ａ５のシートガラスＳＧからの距離を、分割ヒータ（第１中央領域対応ヒータ）８２ａ４のシートガラスＳＧからの距離に比べて遠くし、引き下げローラ８１ａ～８１ｇがシートガラスＳＧを挟持する前、図８に示す温度プロファイルＴＰ１のように、第２中央領域ＣＡ２の温度が第１中央領域ＣＡ１の温度より部分的に高くなるように、分割ヒータ（第２中央領域対応ヒータ）８２ａ３，８２ａ５の出力を制御することが好ましい。
　距離Ｄ１，Ｄ２が大きくなるほど、温度分布はなだらかな曲線になるため、距離Ｄ１＜距離Ｄ２、分割ヒータ８２ａ２，８２ａ６の出力＜分割ヒータ８２ａ３，８２ａ５の出力、とすることもできる。温度分布の幅方向の急激な変化を抑制し、挟持領域ＲＡと第２中央領域ＣＡ２の反り、歪を制御することができる。
　本実施形態では、引下げローラ８１ａ～８１ｇに挟持される前のシートガラスＳＧにおいて、引下げローラ８１ａ～８１ｇによって冷却される挟持領域ＲＡの温度を第１中央領域ＣＡ１の温度より高めることにより、引下げローラ８１ａ～８１ｇによる冷却を緩和でき、挟持領域ＲＡに発生する反り、歪を抑制することができる。また、引下げローラ８１ａ～８１ｇに挟持される前のシートガラスＳＧにおいて、最外端部領域Ｒ，Ｌ及び、第２中央領域ＣＡ２、すなわち挟持領域ＲＡに隣接する領域の温度を、第１中央領域ＣＡ１の温度より高めることにより、最外端部領域Ｒ，Ｌ、及び、第２中央領域ＣＡ２に発生する反り、歪を抑制することができる。特に、シートガラスＳＧの板厚が０．４ｍｍ以下の場合には、引下げローラ８１ａ～８１ｇによるシートガラスＳＧの冷却を緩和できるため、板厚が０．０５ｍｍから０．４ｍｍの範囲のシートガラスＳＧにおいて、大きな歪を抑制することができる。
　以上、本実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、上記の実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
　１１　溶解装置
　１２　清澄装置
　４０　成形装置
　４１　成形体
　５１　冷却ローラ
　６０　温度調整ユニット
　８１ａ～８１ｇ　引下げローラ
　８２ａ～８２ｇ　ヒータ
　８２ａ１～８２ａ７　分割ヒータ
　９０　切断装置
　１００　ガラス基板の製造装置
　５００　制御装置
 

Claims (9)

  1. 　溶融ガラスを成形体から流下させてガラス板を成形する成形工程と、
    　前記成形体の下方に配置される一対のローラによって、前記成形工程で成形された前記ガラス板を下方に搬送しながら、前記ガラス板の搬送方向に対して順次温度が下がるよう前記ガラス板の温度を制御するヒータによって、前記ガラス板を冷却する冷却工程と、を備え、
    　前記冷却工程では、
    　前記一対のローラは、熱による変形が抑制されるよう冷却されながら前記ガラス板を挟持し、
    　前記ヒータは、前記一対のローラにより冷却された前記ガラス板の領域の温度を、前記ガラス板の幅方向で均一になるよう制御する、ことを特徴とするガラス板の製造方法。
  2. 　前記成形工程では、前記ガラス板の幅方向の両端と、前記両端に挟まれた、前記両端における前記ガラス板の厚さより前記ガラス板の厚さが薄い幅方向中央領域と、を有するガラス板が成形され、
    　前記冷却工程では、
    　前記一対のローラは、前記幅方向中央領域と前記端との間の領域を挟持し、
    　前記ヒータは、前記ローラが前記ガラス板を挟持する前、前記幅方向中央領域の温度が均一になり、かつ、前記ローラが挟持する挟持領域の温度が前記幅方向中央領域の温度より高くなるよう、前記ガラス板の温度を制御する、請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  3. 　前記冷却工程では、前記ヒータは、前記ローラが前記ガラス板を挟持する前、前記挟持領域の温度分布が、前記両端に挟まれた、前記両端における前記ガラス板の厚さより前記ガラス板の厚さが薄い幅方向中央領域及び前記端に向かって低くなるよう前記ガラス板の温度を制御する、請求項１または２に記載のガラス板の製造方法。
  4. 　前記ヒータは、前記幅方向に複数に分割された分割ヒータを含み、
    　前記分割ヒータは、前記ローラが挟持する挟持領域に対応する幅方向の位置に設けられた挟持領域対応ヒータを含む、請求項１～３のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  5. 　前記分割ヒータは、前記挟持領域対応ヒータの他に、前記ガラス板の幅方向の両端に挟まれた、前記両端における前記ガラス板の厚さより前記ガラス板の厚さが薄い幅方向中央領域に対応する幅方向の位置に設けられた中央領域対応ヒータを含み、
    　前記挟持領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離を、前記中央領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離に比べて遠くし、前記ローラが前記ガラス板を挟持する前、前記挟持領域の温度が前記幅方向中央領域の温度より高くなるように、前記挟持領域対応ヒータの出力を制御する、請求項４に記載のガラス板の製造方法。
  6. 　前記幅方向中央領域は、前記幅方向の中心を含む第１中央領域と、前記第１中央領域と前記挟持領域との間に位置する第２中央領域を有し、
    　前記中央領域対応ヒータは、前記第１中央領域に対応する幅方向の位置に設けられた第１中央領域対応ヒータと、前記第２中央領域に対応する幅方向の位置に設けられた第２中央領域対応ヒータと、を含み、
    　前記第２中央領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離を、前記第１中央領域対応ヒータの前記ガラス板からの距離に比べて遠くし、前記ローラが前記ガラス板を挟持する前、前記第２中央領域の温度が前記第１中央領域の温度より部分的に高くなるように、前記第２中央領域対応ヒータの出力を制御する、請求項５に記載のガラス板の製造方法。
  7. 　前記挟持領域における前記温度分布の最高温度と前記幅方向中央領域の温度と間の温度差が、前記ガラス板の前記搬送方向の上流側から下流側に向かって徐々に小さくなる、請求項３に記載のガラス板の製造方法。
  8. 　前記ガラス板と前記ヒータとの間には、前記ガラス板の表面と対向するように均熱板が配置され、
    　前記ヒータの前記幅方向の熱分布を前記均熱板によりなだらかにすることにより、前記ガラス板の温度分布を制御する、請求項１～７のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  9. 　溶融ガラスを流下させてガラス板を成形する成形体と、
    　前記成形体の下方に配置され、前記ガラス板を下方に搬送する一対のローラと、
    　前記ガラス板の搬送方向に対して順次温度が下がるよう前記ガラス板の温度を制御するヒータと、を備え、
    　前記一対のローラは、熱による変形が抑制されるよう冷却されながら前記ガラス板を挟持し、
    　前記ヒータは、前記一対のローラにより冷却された前記ガラス板の領域の温度を、前記ガラス板の幅方向で均一になるよう制御する、
    　ことを特徴とするガラス板の製造装置。
PCT/JP2015/086444 2014-12-27 2015-12-26 ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置 WO2016104805A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201580071369.4A CN107108316B (zh) 2014-12-27 2015-12-26 玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置
JP2016566581A JPWO2016104805A1 (ja) 2014-12-27 2015-12-26 ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置
KR1020177017167A KR102459796B1 (ko) 2014-12-27 2015-12-26 유리판의 제조 방법, 및 유리판의 제조 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-266880 2014-12-27
JP2014266880 2014-12-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016104805A1 true WO2016104805A1 (ja) 2016-06-30

Family

ID=56150815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/086444 WO2016104805A1 (ja) 2014-12-27 2015-12-26 ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPWO2016104805A1 (ja)
KR (1) KR102459796B1 (ja)
CN (1) CN107108316B (ja)
TW (1) TWI577646B (ja)
WO (1) WO2016104805A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6708970B2 (ja) * 2016-12-15 2020-06-10 日本電気硝子株式会社 ガラス物品の製造方法
CN111116014B (zh) * 2019-12-30 2021-08-13 彩虹显示器件股份有限公司 一种成型装置温度场的控制方法
CN112919787B (zh) * 2021-01-29 2023-05-16 彩虹显示器件股份有限公司 一种玻璃基板翘曲判断和调整方法
CN115304253B (zh) * 2022-06-20 2024-03-29 杭州乾智坤达新材料科技有限公司 一种柔性玻璃生产设备及其生产工艺

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009508803A (ja) * 2005-09-22 2009-03-05 コーニング インコーポレイテッド 反りのレベルの低い平らなガラスを製造する方法
JP2010229020A (ja) * 2009-02-27 2010-10-14 Corning Inc ガラスリボンのビード部分の温度調節
WO2013105667A1 (ja) * 2012-01-13 2013-07-18 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法及び成形装置
JP2013216526A (ja) * 2012-04-06 2013-10-24 Avanstrate Inc ガラス基板の製造方法
WO2014082000A1 (en) * 2012-11-26 2014-05-30 Corning Incorporated Thermal control of the bead portion of a glass ribbon

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5241223B2 (ja) * 2007-12-20 2013-07-17 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造設備
WO2012133842A1 (ja) 2011-03-31 2012-10-04 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法およびガラス基板の製造装置
US9290403B2 (en) * 2013-02-25 2016-03-22 Corning Incorporated Repositionable heater assemblies for glass production lines and methods of managing temperature of glass in production lines

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009508803A (ja) * 2005-09-22 2009-03-05 コーニング インコーポレイテッド 反りのレベルの低い平らなガラスを製造する方法
JP2010229020A (ja) * 2009-02-27 2010-10-14 Corning Inc ガラスリボンのビード部分の温度調節
WO2013105667A1 (ja) * 2012-01-13 2013-07-18 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法及び成形装置
JP2013216526A (ja) * 2012-04-06 2013-10-24 Avanstrate Inc ガラス基板の製造方法
WO2014082000A1 (en) * 2012-11-26 2014-05-30 Corning Incorporated Thermal control of the bead portion of a glass ribbon

Also Published As

Publication number Publication date
KR102459796B1 (ko) 2022-10-26
TWI577646B (zh) 2017-04-11
CN107108316A (zh) 2017-08-29
KR20170100525A (ko) 2017-09-04
CN107108316B (zh) 2021-01-29
JPWO2016104805A1 (ja) 2017-10-19
TW201625492A (zh) 2016-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5177790B2 (ja) ガラスリボンの製造装置及びその製造方法
JP5076443B2 (ja) ガラスリボンの製造装置及びその製造方法
TWI387565B (zh) 玻璃帶的製造裝置及其製造方法
TWI545091B (zh) Method for manufacturing glass substrates
WO2016104805A1 (ja) ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置
TWI598304B (zh) Manufacturing method of a glass substrate, and manufacturing apparatus of a glass substrate
JP2015105206A (ja) ガラス板の製造方法、及び、ガラス板
JP2019064904A (ja) ガラス基板の製造方法、及びガラス基板製造装置
CN109574471B (zh) 玻璃板的制造方法
TW201542472A (zh) 玻璃基板之製造方法、及玻璃基板之製造裝置
JP6714676B2 (ja) ガラス基板の製造方法、及びガラス基板製造装置
JP7010644B2 (ja) ガラス基板の製造方法、及びガラス基板製造装置
JP6676119B2 (ja) ガラス板の製造方法
JP6619492B2 (ja) ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置
JP2019064860A (ja) ガラス基板の製造方法、及びガラス基板製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15873373

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20177017167

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2016566581

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15873373

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1