TWI577646B - A manufacturing method of a glass plate, and a manufacturing apparatus for a glass plate - Google Patents

Description

玻璃板之製造方法、及玻璃板之製造裝置

本發明係關於一種玻璃板之製造方法、及玻璃板之製造裝置。

業界使用利用下拉法而製造玻璃板(平板玻璃)之方法。藉由下拉法而成形之平板玻璃包含：板厚大致固定之製品區域(寬度方向中央區域)；及板厚較製品區域厚之位於製品區域之寬度方向的兩端之端部(耳部)。為了將所成形之平板玻璃穩定地朝下方向搬送，而藉由搬送輥夾持平板玻璃之製品區域與端部之交界區域。

然而，平板玻璃係以使翹曲、應變滿足固定之品質基準之方式冷卻(緩冷)。具體而言，以使翹曲及應變成為特定值之方式沿行進方向預先設計有平板玻璃之寬度方向之溫度分佈。即，藉由以成為預先設計之溫度分佈之方式執行溫度管理，而可製造具有預先設定之翹曲、應變之值的玻璃板。藉此，可製造滿足客戶方之翹曲及應變之品質基準之玻璃板。因此，利用冷卻裝置或加熱器等以平板玻璃成為所設計之溫度分佈之方式進行嚴格之溫度管理。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2013-212987號公報

為了抑制於一面搬送平板玻璃一面進行冷卻時用於平板玻璃之 搬送之搬送輥因熱而變形，而以搬送輥之溫度成為固定以下之方式進行冷卻。若搬送輥被冷卻，則搬送輥與平板玻璃之溫度差變大，進而，若平板玻璃變薄而平板玻璃之保有熱變小，則存在平板玻璃變得易於受搬送輥之影響，難以基於特定之溫度分佈而成形搬送輥夾持平板玻璃之區域之情形。

因此，本發明之目的在於提供一種玻璃板之製造方法、及玻璃板之製造裝置，該製造方法即便為較薄之玻璃板，於在搬送輥夾持平板玻璃之區域欲再現所設計之溫度分佈之情形時亦可容易地實現該溫度分佈，從而能夠高精度地獲得玻璃板之平面度(翹曲量)。

本發明包含以下形態。

(形態1)

一種玻璃板之製造方法，其特徵在於具備：成形步驟，其係使熔融玻璃自成形體流下而成形玻璃板；及冷卻步驟，其係一面藉由配置於上述成形體之下方之一對輥將上述成形步驟中所成形之上述玻璃板向下方搬送，一面藉由以相對於上述玻璃板之搬送方向溫度依序降低之方式控制上述玻璃板的溫度之加熱器而冷卻上述玻璃板；且於上述冷卻步驟中，上述一對輥一面被以抑制由熱所致之變形之方式冷卻一面夾持上述玻璃板，上述加熱器係以於上述玻璃板之寬度方向上變得均勻之方式控制藉由上述一對輥而冷卻之上述玻璃板之區域的溫度。

(形態2)

如形態1，其中於上述成形步驟中成形玻璃板，該玻璃板具有上述玻璃板之寬 度方向之兩端、及夾於上述兩端之上述玻璃板之厚度較上述兩端之上述玻璃板之厚度薄的寬度方向中央區域，於上述冷卻步驟中，上述一對輥夾持上述寬度方向中央區域與上述端之間之區域，上述加熱器於上述輥夾持之前，以使上述寬度方向中央區域之溫度變得均勻，且上述輥夾持之夾持區域之溫度變得高於上述寬度方向中央區域之溫度的方式控制上述玻璃板之溫度。

(形態3)

如形態1或2，其中於上述冷卻步驟中，上述加熱器於上述輥夾持上述玻璃板之前，以使上述夾持區域之溫度分佈朝向夾於上述兩端之上述玻璃板之厚度較上述兩端之上述玻璃板之厚度薄的寬度方向中央區域及上述端而降低之方式控制上述玻璃板之溫度。

(形態4)

如形態1至3中任一項之形態，其中上述加熱器包含有於上述寬度方向上被分割為複數個之分割加熱器，上述分割加熱器包含設置於與上述輥夾持之夾持區域對應之寬度方向的位置之夾持區域對應加熱器。

(形態5)

如形態4，其中上述分割加熱器除包含上述夾持區域對應加熱器以外，還包含中央區域對應加熱器，該中央區域對應加熱器設置於與夾於上述玻璃板之寬度方向之兩端的上述玻璃板之厚度較上述兩端之上述玻璃板之厚度薄的寬度方向中央區域對應之寬度方向之位置，使上述夾持區域對應加熱器距上述玻璃板之距離遠於上述中央區域對應加熱器距上述玻璃板之距離，於上述輥夾持上述玻璃板之前，以上述夾持區域之溫度變得高於上述寬度方向中央區域之溫度之 方式控制上述夾持區域對應加熱器之輸出。

(形態6)

如形態5，其中上述寬度方向中央區域具有包含上述寬度方向之中心之第1中央區域、及位於上述第1中央區域與上述夾持區域之間之第2中央區域，上述中央區域對應加熱器包含設置於與上述第1中央區域對應之寬度方向之位置的第1中央區域對應加熱器、及設置於與述第2中央區域對應之寬度方向之位置的第2中央區域對應加熱器，使上述第2中央區域對應加熱器距上述玻璃板之距離遠於上述第1中央區域對應加熱器距上述玻璃板之距離，於上述輥夾持上述玻璃板之前，以使上述第2中央區域之溫度變得部分性地高於上述第1中央區域之溫度之方式控制上述第2中央區域對應加熱器之輸出。

(形態7)

如形態3，其中上述夾持區域之上述溫度分佈之最高溫度與上述寬度方向中央區域之溫度之間的溫度差，自上述玻璃板之上述搬送方向之上游側朝向下游側而慢慢變小。

(形態8)

如形態1至7中任一項之形態，其中於上述玻璃板與上述加熱器之間以與上述玻璃板之表面對向之方式配置有均熱板，藉由利用上述均熱板使上述加熱器之上述寬度方向之熱分佈變得和緩，而控制上述玻璃板之溫度分佈。

(形態9)

一種玻璃板之製造裝置，其特徵在於具備：成形體，其使熔融玻璃流下而成形玻璃板；一對輥，其等配置於上述成形體之下方，將上述玻璃板向下方 搬送；及加熱器，其以相對於上述玻璃板之搬送方向溫度依序降低之方式控制上述玻璃板之溫度；且上述一對輥一面被以抑制由熱所致之變形之方式冷卻一面夾持上述玻璃板，上述加熱器係以於上述玻璃板之寬度方向上變得均勻之方式控制藉由上述一對輥而冷卻的上述玻璃板之區域之溫度。

根據本發明，即便為較薄之玻璃板，於欲在搬送輥夾持平板玻璃之區域再現所設計之溫度分佈之情形時亦可實現所設計之溫度分佈，從而可高精度地獲得玻璃板之平面度(翹曲量)。

11‧‧‧熔融裝置

12‧‧‧澄清裝置

20‧‧‧溢流腔室

23‧‧‧上游管

24‧‧‧下游管

30‧‧‧成形腔室

40‧‧‧成形裝置

41‧‧‧成形體

41a‧‧‧成形體之下端部

41b‧‧‧成形體之頂部

41c‧‧‧成形體之側面

42‧‧‧流入口

43‧‧‧槽

50‧‧‧區隔構件

51‧‧‧冷卻輥

60‧‧‧溫度調整單元

61~65‧‧‧冷卻單元

80‧‧‧冷卻腔室

80a‧‧‧隔熱構件

80b‧‧‧隔熱構件

81a~81g‧‧‧下拉輥

82‧‧‧加熱器

82a~82g‧‧‧加熱器

82a1~82a7‧‧‧分割加熱器

90‧‧‧切斷裝置

100‧‧‧玻璃基板之製造裝置

380‧‧‧熱電偶

381‧‧‧主電源開關

390‧‧‧冷卻輥驅動馬達

391‧‧‧下拉輥驅動馬達

392‧‧‧切斷裝置驅動馬達

500‧‧‧控制裝置

CA‧‧‧中央區域

CA1‧‧‧第1中央區域

CA2‧‧‧第2中央區域

D1‧‧‧距離

D2‧‧‧距離

FG‧‧‧熔融玻璃

L‧‧‧最外端部區域

R‧‧‧最外端部區域

RA‧‧‧夾持區域

S1~S5‧‧‧步驟

SG‧‧‧平板玻璃

TD‧‧‧溫度差

TP1‧‧‧溫度分佈

TP2‧‧‧溫度分佈

圖1係本實施形態之玻璃板之製造方法之流程圖。

圖2係表示玻璃板之製造方法中所使用之玻璃板之製造裝置的模式圖。

圖3係成形裝置之概略之概略圖(剖視圖)。

圖4係成形裝置之概略之概略圖(側視圖)。

圖5係控制裝置之控制方塊圖。

圖6係自背面側觀察控制冷卻腔室內之氛圍溫度之加熱器之圖。

圖7係自上游側觀察圖6之圖。

圖8係表示冷卻步驟中之平板玻璃之特定高度位置的溫度分佈之圖。

圖9係表示冷卻步驟中之平板玻璃之特定高度位置的平板玻璃之溫度分佈之圖。

圖10係表示冷卻步驟中之分割加熱器之配置例之圖。

於本實施形態之玻璃板(玻璃基板)之製造方法中，例如製造TFT(Thin Film Transistor，薄膜電晶體)顯示器用之玻璃基板。玻璃板係利用下拉法而製造。以下，參照圖式對本實施形態之玻璃基板之製造方法進行說明。

(1)玻璃板之製造方法之概要

首先，參照圖1及圖2，對玻璃基板之製造方法中所包含之複數個步驟及複數個步驟中所使用之玻璃基板之製造裝置100進行說明。玻璃基板之製造方法如圖1所示，主要包含熔融步驟S1、澄清步驟S2、成形步驟S3、冷卻步驟S4、及切斷步驟S5。

熔融步驟S1係將玻璃之原料熔融之步驟。玻璃之原料於以成為所期望之組成之方式調製之後，如圖2所示投入至配置於上游之熔融裝置11中。玻璃原料例如包含SiO₂、Al₂O₃、B₂O₃、CaO、SrO、BaO等組成。具體而言，使用應變點為660℃以上之玻璃原料。玻璃之原料於熔融裝置11中熔融而成為熔融玻璃FG。熔融溫度係根據玻璃之種類而調整。於本實施形態中，玻璃原料於1500℃~1650℃熔融。熔融玻璃FG通過上游管23被輸送至澄清裝置12。

澄清步驟S2係進行除去熔融玻璃FG中之氣泡之步驟。於澄清裝置12內已除去氣泡之熔融玻璃FG其後通過下游管24被輸送至成形裝置40。

成形步驟S3係將熔融玻璃FG成形為片狀之玻璃(平板玻璃)SG之步驟。具體而言，熔融玻璃FG於連續地被供給至成形裝置40所包含之成形體41之後，自成形體41溢流。溢流之熔融玻璃FG沿成形體41之表面流下。熔融玻璃FG其後於成形體41之下端部41a合流而成形為平板玻璃SG。平板玻璃SG具有位於寬度方向之端之側部(耳部、端部)、及夾於側部之寬度方向之中央區域。平板玻璃SG之側部之板厚與中央區域之板厚相比成形得較厚。平板玻璃SG之中央區域係成為 包含固定板厚之玻璃基板的製品之區域。於欲成形為使平板玻璃SG之中央區域之板厚為0.4mm以下之薄板的情形時，平板玻璃SG之側部之板厚與先前相比成形得較薄。

冷卻步驟S4係冷卻(緩冷)平板玻璃SG之步驟。平板玻璃SG經過冷卻步驟S4而被冷卻至接近室溫之溫度。再者，根據冷卻步驟S4中之冷卻狀態而決定玻璃基板之厚度(板厚)、玻璃基板之翹曲量、及玻璃基板之應變量。

切斷步驟S5係將成為接近室溫之溫度之平板玻璃SG切斷為特定大小之步驟。

再者，被切斷為特定大小之平板玻璃SG(玻璃板PG)，其後經過端面加工等步驟而成為玻璃基板。

以下，參照圖3~圖5，對玻璃基板之製造裝置100所包含之成形裝置40之構成進行說明。再者，於本實施形態中，平板玻璃SG之寬度方向係指與平板玻璃SG流下之方向(行進方向)正交之方向，即水平方向。

(2)成形裝置之構成

首先，圖3及圖4表示成形裝置40之概略構成。圖3係成形裝置40之剖視圖。圖4係成形裝置40之側視圖。

成形裝置40具有平板玻璃SG通過之通路、及包圍通路之空間。包圍通路之空間包含溢流腔室20、成形腔室30、及冷卻腔室80。

溢流腔室20構成使自澄清裝置12輸送之熔融玻璃FG成形為平板玻璃SG之空間。

成形腔室30配置於溢流腔室20之下方，構成用以調整平板玻璃SG之厚度及翹曲量之空間。於成形腔室30中執行冷卻步驟之一部分。平板玻璃SG沿成形體41之表面流下，且於成形體41之下端部41a合流而成形為平板玻璃SG，但於較成形體41之下端部41a更下游，平 板玻璃SG之溫度慢慢降低。

冷卻腔室80配置於溢流腔室20之下方，構成用以調整平板玻璃SG之應變量之空間。具體而言，於冷卻腔室80中。通過成形腔室30內之平板玻璃SG經過緩冷點、應變點而被冷卻至室溫附近之溫度。再者，冷卻腔室80具備被隔熱構件80a、80b區隔為複數個之空間。

又，成形裝置40主要具備成形體41、區隔構件50、冷卻輥51、溫度調整單元60、下拉輥81a~81g、加熱器82a~82g、及切斷裝置90。進而，成形裝置40具備控制裝置500(參照圖5)。控制裝置500控制成形裝置40所包含之各構成之驅動部。

以下，對成形裝置40所包含之各構成進行詳細說明。

(2-1)成形體

成形體41設置於溢流腔室20內。成形體41藉由使熔融玻璃FG溢流而使熔融玻璃FG成形為片狀之玻璃板。該玻璃板以下稱為平板玻璃SG。

如圖3所示，成形體41具有剖面形狀為大致五邊形之形狀(類似於楔形之形狀)。大致五邊形之前端相當於成形體41之下端部41a。

又，成形體41於第1端部具有流入口42(參照圖4)。流入口42與上述下游管24連接，自澄清裝置12流出之熔融玻璃FG自流入口42流入至成形體41。於成形體41形成有槽43。槽43於成形體41之長度方向上延伸。具體而言，槽43自第1端部延伸至第1端部之相反側之端部即第2端部。更具體而言，槽43於圖4之左右方向延伸。槽43係以流入口42附近最深，且隨著靠近第2端部而慢慢變淺之方式形成。流入至成形體41之熔融玻璃FG自成形體41之一對頂部41b、41b溢流，且沿成形體41之一對側面(表面)41c、41c流下。此後，熔融玻璃FG於成形體41之下端部41a合流而成為平板玻璃SG。

此時，於成形體41之下端部41a之平板玻璃SG的液相溫度為1100 ℃以上，液相黏度為2.5×10⁵泊以上，更佳為液相溫度為1160℃以上，液相黏度為1.2×10⁵泊以上。又，使於成形體41之下端部41a之平板玻璃SG的側部(耳部、端部)之黏度為未達10^5.7泊(Poise)。

(2-2)區隔構件

區隔構件50係阻斷自溢流腔室20向成形腔室30之熱移動之構件。區隔構件50配置於熔融玻璃FG之合流點附近。又，如圖3所示，區隔構件50配置於在合流點合流之熔融玻璃FG(平板玻璃SG)之厚度方向兩側。區隔構件50為隔熱材料。區隔構件50藉由區隔熔融玻璃FG之合流點之上側氛圍及下側氛圍，而阻斷自區隔構件50之上側向下側之熱移動。

(2-3)冷卻輥

冷卻輥51設置於成形腔室30內。更具體而言，冷卻輥51配置於區隔構件50之正下方。又，冷卻輥51配置於平板玻璃SG之厚度方向兩側、且平板玻璃SG之寬度方向兩側。配置於平板玻璃SG之厚度方向兩側之冷卻輥51成對地進行動作。即，平板玻璃SG之兩側部(寬度方向兩端部)被兩對冷卻輥51、51、…夾住。

冷卻輥51藉由通過內部之空冷管而空冷。冷卻輥51接觸於平板玻璃SG之側部(耳部)，藉由熱傳導而對平板玻璃SG之側部(耳部)進行急冷(急冷步驟)。接觸於冷卻輥51之平板玻璃SG之側部之黏度為特定值(具體為10^9.0泊)以上。

冷卻輥51藉由冷卻輥驅動馬達390(參照圖5)而旋轉驅動。冷卻輥51對平板玻璃SG之側部進行，並且亦具有將平板玻璃SG向下方下拉之功能。

(2-4)溫度調整單元

溫度調整單元60設置於溢流腔室20內及成形腔室30內，其係將平板玻璃SG冷卻至緩冷點附近之單元。溫度調整單元60具有複數個 冷卻單元61~65。複數個冷卻單元61~65配置於平板玻璃SG之寬度方向及平板玻璃SG之行進方向上。具體而言，於複數個冷卻單元61~65中包含中央區域冷卻單元61~63、及側部冷卻單元64、65。中央區域冷卻單元61~63對平板玻璃SG之寬度方向中央區域CA進行空冷。寬度方向中央區域CA以下稱為中央區域CA。此處，所謂平板玻璃SG之中央區域係平板玻璃SG之寬度方向中央部分、且包含平板玻璃SG之有效寬度及其附近之區域。換言之，平板玻璃SG之中央區域係夾於平板玻璃SG之兩側部之部分。平板玻璃SG之兩側部亦稱為兩耳部。中央區域冷卻單元61~63沿行進方向配置於與平板玻璃SG之中央區域CA之表面對向的位置。中央區域冷卻單元61~63所包含之各單元係可獨立地控制。又，側部冷卻單元64、65對平板玻璃SG之側部進行水冷。側部冷卻單元64、65沿行進方向配置於與平板玻璃SG之側部之表面對向的位置。側部冷卻單元64、65所包含之各單元係可獨立地控制。

(2-5)下拉輥(搬送輥)

下拉輥(搬送輥)81a~81g設置於冷卻腔室80內，將通過成形腔室30內之平板玻璃SG向平板玻璃SG之行進方向下拉。下拉輥81a~81g於冷卻腔室80之內部沿行進方向隔開特定之間隔而配置。下拉輥81a~81g於平板玻璃SG之厚度方向兩側(參照圖3)、及平板玻璃SG之寬度方向兩側(參照圖4)配置有複數個。即，下拉輥81a~81g一面接觸於平板玻璃SG之寬度方向之兩側部、且平板玻璃SG之厚度方向之兩側，一面將平板玻璃SG向下方下拉。

下拉輥81a~81g藉由下拉輥驅動馬達391(參照圖5)而驅動。又，下拉輥81a~81g相對於平板玻璃SG而向內側旋轉。下拉輥81a~81g之圓周速度係越向下游側之下拉輥則圓周速度越大。即，複數個下拉輥81a~81g中，下拉輥81a之圓周速度最小，下拉輥81g之圓周速度最 大。配置於平板玻璃SG之厚度方向兩側之下拉輥81a~81g成對地進行動作，成對之下拉輥81a、81a、…將平板玻璃SG向下方下拉。

下拉輥81a~81g為了防止因夾持高溫之平板玻璃SG而由熱所致之變形，而藉由通過下拉輥81a~81g之內部之空冷管進行空冷。於下拉輥81a~81g夾持平板玻璃SG之夾持區域中，平板玻璃SG之溫度降低(黏度上升)。特別是於欲成形為使平板玻璃SG之中央區域之板厚為0.4mm以下之薄板之情形時，平板玻璃SG之保有熱較小，平板玻璃SG之溫度容易受到下拉輥81a~81g之影響。若下拉輥81a~81g夾持之夾持區域之黏度上升，則產生與鄰接於夾持區域之其他區域之黏度差，從而成為產生應變等之原因。因此，藉由實現後述之溫度分佈而抑制於下拉輥81a~81g夾持之夾持區域、及鄰接於夾持區域之區域產生較大之應變。

(2-6)加熱器

加熱器82(82a~82g)設置於冷卻腔室80之內部，調整冷卻腔室80之內部空間之溫度。具體而言，加熱器82a~82g於平板玻璃SG之行進方向及平板玻璃SG之寬度方向上配置有複數個。更具體而言，於平板玻璃SG之行進方向上配置有7個加熱器，於平板玻璃之寬度方向上配置有7個加熱器。配置於寬度方向上之7個加熱器分別對平板玻璃SG之中央區域CA、及包含下拉輥81a~81g夾持之夾持區域RA之平板玻璃SG的側部(耳部)進行熱處理。加熱器82a~82g藉由後述之控制裝置500而控制輸出。藉此，通過冷卻腔室80內部之平板玻璃SG之附近的氛圍溫度被控制。藉由利用加熱器82a~82g控制冷卻腔室80內之氛圍溫度，而進行平板玻璃SG之溫度控制。又，藉由溫度控制，而平板玻璃SG自黏性域經過黏彈性域向彈性域推移。如此，藉由加熱器82a~82g之控制而於冷卻腔室80，平板玻璃SG之溫度自緩冷點附近之溫度被冷卻至室溫附近之溫度。此處，緩冷點為黏度成為10¹³泊時 之溫度，例如為715.0℃。

對配置於平板玻璃SG之寬度方向上之複數個加熱器進行說明。圖6係自背面側觀察控制冷卻腔室80內之氛圍溫度之加熱器82a之圖，圖7係自上游側觀察圖6之圖。加熱器82a包含配置於平板玻璃SG之寬度方向上之複數個分割加熱器82a1~82a7。各分割加熱器設置於與平板玻璃SG之側部之最外端部區域R、L對應之寬度方向的位置，對最外端部區域R、L進行加熱之分割加熱器82a1、82a7設置於與下拉輥81a~81g夾持之內側端部區域對應之寬度方向的位置，對內側端部區域進行加熱之分割加熱器(夾持區域對應加熱器)82a2、82a6設置於與平板玻璃SG之第1中央區域CA1對應之寬度方向的位置，對第1中央區域CA1進行加熱之分割加熱器(第1中央區域對應加熱器)82a4設置於與平板玻璃SG之第2中央區域CA2對應之寬度方向的位置，對第2中央區域CA2進行加熱之分割加熱器(第2中央區域對應加熱器)分為82a3、82a5。由於內側端部區域為下拉輥81a~81g夾持之區域，故而以下將該區域稱為夾持區域RA。

平板玻璃SG之側部為自平板玻璃SG之兩側之端朝向平板玻璃SG之寬度方向內側例如至10~500mm、或10~300mm為止之範圍之區域，下拉輥81a~81g夾持平板玻璃SG之夾持區域RA，較佳為位於上述側部之區域中自兩側之端朝向平板玻璃SG之寬度方向內側例如至50~500mm或50~300mm為止之範圍。最外端部區域R、L係位於相對於夾持區域RA而為平板玻璃SG之寬度方向外側之區域。中央區域CA係相對於夾持區域RA而為平板玻璃SG之寬度方向內側之區域。

中央區域CA進而分為未與夾持區域RA鄰接且包含平板玻璃SG之寬度方向中心之第1中央區域CA1，及與夾持區域RA鄰接之第2中央區域CA2。第2中央區域CA2係位於相對於夾持區域RA而為平板玻璃SG之寬度方向內側之區域，且為自夾持區域RA朝向平板玻璃SG之寬 度方向內側具有中央區域CA之20~80%之寬度的區域。第1中央區域CA1係自第2中央區域CA2朝平板玻璃SG之寬度方向內側之區域。

各分割加熱器82a1~82a7係藉由控制裝置500獨立地控制輸出而控制通過冷卻腔室80內部之平板玻璃SG之附近的氛圍溫度，從而進行平板玻璃SG之溫度控制。分割加熱器82a1~82a7係分別獨立地被控制，而實現最外端部區域R、L、夾持區域RA、第1中央區域CA1、第2中央區域CA2之溫度分佈。

再者，由於加熱器82b~82g中之配置於平板玻璃之寬度方向的加熱器為與分割加熱器82a1~82a7相同之構成，故而省略說明。

再者，於各加熱器82a~82g附近設置有檢測氛圍溫度之氛圍溫度檢測機構即熱電偶380。具體而言，複數個熱電偶380配置於平板玻璃SG之行進方向及平板玻璃SG之寬度方向上。熱電偶380分別對平板玻璃SG之第1中央區域CA1之寬度方向之中心位置的溫度、及平板玻璃SG之最外端部區域R、L之溫度進行檢測。加熱器82a~82g之輸出係根據藉由熱電偶380所檢測之氛圍溫度而控制。

於加熱器82a~82g與平板玻璃SG之間之空間，以與平板玻璃SG之表面對向之方式設置有均熱板83。均熱板83接收自加熱器82a~82g輻射之熱，且使所接收之熱擴散至均熱板83之表面全體。均熱板83自其對向面朝向平板玻璃SG之表面輻射熱。均熱板83包含一片金屬板、或複數片金屬板。加熱器82a~82g之各者朝向對應之均熱板83輻射熱。例如，與加熱器82a對應之均熱板83接收自加熱器82a輻射之熱，且朝向與均熱板83對向之平板玻璃SG之表面輻射所接收之熱。於本實施形態中，被下拉輥81a~81g夾持之平板玻璃SG之區域為溫度局部性地降低之區域。均熱板83使自加熱器82a~82g接收之熱擴散至均熱板83之表面全體而朝向平板玻璃SG之表面輻射，藉此抑制玻璃板3之表面溫度之局部降低。即，於本實施形態中，藉由使用均熱 板83而使加熱器82a~82g之於平板玻璃SG之寬度方向的熱分佈和緩，藉此控制平板玻璃SG之溫度分佈。

均熱板83例如較佳為可於高溫下使用、且熱傳導率較高之鎳金屬板。就沿平板玻璃SG之寬度方向形成和緩之溫度分佈之觀點而言，較佳為均熱板83之熱傳導率為10W/(m．K)以上。又，均熱板83為了使自其表面之熱之輻射率提高，可塗佈陶瓷塗料而形成陶瓷層，亦可於表面形成有氧化覆膜。就抑制於平板玻璃SG之表面附著灰塵等異物之觀點而言，較佳為於均熱板83之表面形成有膜厚1μm左右之不動態覆膜(超黑處理膜)。

(2-7)切斷裝置

切斷裝置90係將於冷卻腔室80內被冷卻至室溫附近之溫度為止之平板玻璃SG切斷為特定之尺寸。切斷裝置90以特定之時間間隔切斷平板玻璃SG。藉此，平板玻璃SG成為複數個玻璃板PG。切斷裝置90藉由切斷裝置驅動馬達392(參照圖5)而驅動。

(2-8)控制裝置

控制裝置500包含CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)、RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)、ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)、及硬碟等，對玻璃板之製造裝置100所包含之各種機器進行控制。

具體而言，如圖5所示，控制裝置500接收來自玻璃基板之製造裝置100所包含之各種感測器(例如熱電偶380)或開關(例如主電源開關381)等之信號，而對溫度調整單元60、加熱器82a~82g、分割加熱器82a1~82a7、冷卻輥驅動馬達390、下拉輥驅動馬達391、切斷裝置驅動馬達392等進行控制。

(3)溫度管理

於本實施形態之玻璃基板之製造方法中，於冷卻步驟S4中進行 平板玻璃SG之行進方向及寬度方向之溫度管理。溫度管理係根據溫度分佈TP1而進行。溫度分佈TP1係關於平板玻璃SG附近之氛圍溫度之沿平板玻璃SG之寬度方向上的溫度分佈。換言之，溫度分佈TP1係目標之溫度分佈。即，溫度管理係以實現溫度分佈TP1之方式進行。溫度管理係使用上述之下拉輥81a~81g、及具備分割加熱器82a1~82a7之加熱器82a~82g而進行。

平板玻璃SG之溫度係藉由控制平板玻璃SG之氛圍溫度而管理。此處，平板玻璃SG之溫度與藉由下拉輥81a~81g及具備分割加熱器82a1~82a7之加熱器82a~82g而控制之氛圍溫度基本上為相同之值。

以下，參照圖8對冷卻步驟S4中之平板玻璃SG之溫度管理進行詳細說明。圖8表示平板玻璃SG之特定高度位置之溫度分佈。又，圖9係表示平板玻璃SG之特定高度位置之平板玻璃SG之溫度分佈之圖。

(3-1)冷卻步驟

冷卻步驟S4係對經過成形步驟S3並被搬送至冷卻腔室80之平板玻璃SG進行冷卻之步驟。於冷卻步驟S4中，根據溫度分佈TP1而進行平板玻璃SG之溫度管理。平板玻璃SG於先前之製造方法中係藉由下拉輥81a~81g而冷卻，故而如圖9所示，夾持區域RA之溫度變得低於平板玻璃SG之第1中央區域CA1之溫度。於如平板玻璃SG之中央區域CA之板厚成為0.4mm以下般之薄平板玻璃SG中，其溫度容易受到下拉輥81a~81g之影響，從而平板玻璃SG之夾持區域RA之溫度容易降低。若於夾持區域RA與鄰接於夾持區域RA之第2中央區域CA2之間產生溫度差，則成為翹曲、應變之原因。因此，必須於冷卻腔室80內以成為目標之溫度分佈之方式控制溫度分佈以抑制平板玻璃SG的夾持區域RA之溫度降低。以下，對冷卻步驟S4中所執行之溫度分佈TP1進行詳細說明。

(3-1-1)溫度分佈

溫度分佈TP1係於冷卻腔室80內藉由分割加熱器82a1~82a7而實現之平板玻璃SG附近之氛圍溫度的溫度分佈。由於該溫度分佈反映於即將被下拉輥81a~81g夾持之前之平板玻璃SG的溫度分佈，故而溫度分佈TP1亦可為即將被下拉輥81a~81g夾持之前之平板玻璃SG的溫度分佈。關於溫度分佈TP1，第1中央區域CA1之溫度均勻，且最外端部區域R、L之末端溫度低於第1中央區域CA1之溫度。又，溫度分佈TP2為第1中央區域CA1、第2中央區域CA2及夾持區域RA之溫度均勻之理想的溫度分佈。此處，所謂第1中央區域CA1之溫度均勻係指第1中央區域CA1之溫度包含於相對於基準溫度而為特定之溫度域。特定之溫度域係基準溫度±20℃之範圍。基準溫度為第1中央區域CA1之寬度方向之平均溫度。又，關於溫度分佈TP1，夾持區域RA之溫度高於第1中央區域CA1之溫度。夾持區域RA之溫度之最高溫度與第1中央區域CA1之溫度之溫度差TD例如為30℃~150℃。夾持區域RA之溫度藉由接觸下拉輥81a~81g而溫度降低。因此，可藉由使夾持區域RA之最高溫度高於第1中央區域CA1之溫度30℃~150℃，而緩和由下拉輥81a~81g所致之冷卻，從而如溫度分佈TP2所示，使平板玻璃SG之第1中央區域CA1、第2中央區域CA2及夾持區域RA之溫度變得均勻。即，一對下拉輥81a~81g一面被以抑制由熱所致之變形之方式冷卻一面夾持平板玻璃SG，分割加熱器82a1~82a7係以於平板玻璃SG之寬度方向上變得均勻之方式控制藉由下拉輥81a~81g而冷卻之平板玻璃SG之夾持區域RA的溫度。由於均熱板83使自分割加熱器82a2、82a6接收之熱擴散至表面全體，故而夾持區域RA之溫度呈現出拋物線形狀之平緩之曲線。隨著使夾持區域RA之溫度變得高於第1中央區域CA1之溫度，而鄰接於夾持區域RA之第2中央區域CA2及最外端部區域R、L之溫度亦變高。其原因在於，由下拉輥81a~81g所致之冷卻之影響不僅波及至夾持區域RA，亦波及至鄰接於夾持區域 RA之第2中央區域CA2及最外端部區域R、L。從而不僅使夾持區域RA，亦使鄰接於夾持區域RA之第2中央區域CA2及最外端部區域R、L之一部分高於第1中央區域CA1之溫度，藉此亦能夠於包含夾持區域RA之鄰接區域抑制翹曲、應變。

如此，一對下拉輥81a~81g夾持第1中央區域CA1與最外端部區域R、L之間之區域，分割加熱器82a1~82a7以第1中央區域CA1之溫度變均勻，且夾持區域RA之溫度變得高於第1中央區域CA1之溫度的方式，控制下拉輥81a~81g夾持之前之平板玻璃SG的溫度。

夾持區域RA之溫度之最高溫度與第1中央區域CA1之溫度的溫度差TD係上游側即藉由加熱器82a而加熱之空間最大，且隨著朝向下游側而慢慢變小，藉由加熱器82g而加熱之空間變得最小。例如，藉由加熱器82a~82g之各者加熱之空間的溫度差TD為150℃、130℃、110℃、90℃、70℃、50℃、30℃而慢慢變小。其原因在於，越為平板玻璃SG之溫度較高之上游側，由於越容易受到由下拉輥81所致之冷卻之影響，故而使溫度差TD變大而緩和由下拉輥81所致之冷卻。

圖10係表示分割加熱器82a1~82a7之配置例之圖。若不使分割加熱器82a1~82a7之輸出變化而使分割加熱器82a1~82a7靠近平板玻璃SG側、均熱板83側，則平板玻璃SG之溫度變高。雖分割加熱器82a1~82a7之熱擴散於均熱板83之表面，但若使分割加熱器82a1~82a7過於靠近均熱板83，則存在不會藉由均熱板83而擴散熱之情形。因此，藉由使位於與欲提高溫度之夾持區域RA對向之位置的分割加熱器82a2、82a6自均熱板83遠離，且提高分割加熱器82a2、82a6之輸出，而可抑制夾持區域RA之局部之加熱，從而使夾持區域RA之溫度分佈變和緩。於使分割加熱器82a2、82a6之位置自分割加熱器82a4之位置向背面側偏移距離D1之情形時，由放射所致之導熱量與自物體之距離之平方成反比例而衰減，故而根據離開之距離D1而提高分割加熱 器82a2、82a6之輸出。即，較佳為使分割加熱器(夾持區域對應加熱器)82a2、82a6距平板玻璃SG之距離遠於分割加熱器(第1中央區域對應加熱器)82a4距平板玻璃SG之距離，且於下拉輥81a~81g夾持平板玻璃SG之前，以夾持區域RA之溫度變得高於第1中央區域CA1之溫度之方式控制分割加熱器(夾持區域對應加熱器)82a2、82a6之輸出。

又，使與鄰接於夾持區域RA之第2中央區域CA2對應之分割加熱器82a3、82a5之位置自分割加熱器82a4之位置向背面側偏移距離D2，且提高分割加熱器82a3、82a5之輸出。距離D2小於距離D1。由於在鄰接於夾持區域RA之第2中央區域CA2亦受到由下拉輥81所致之冷卻之影響，故而提高第2中央區域CA2之溫度。由於第2中央區域CA2受到由下拉輥81所致之冷卻之影響小於夾持區域RA，故而必須使第2中央區域CA2之溫度分佈成為較夾持區域RA之溫度分佈更和緩之曲線。因此，可藉由使分割加熱器82a3、82a5之位置自分割加熱器82a4之位置向背面側偏移距離D2，且提高分割加熱器82a3、82a5之輸出而實現。即，較佳為使分割加熱器(第2中央區域對應加熱器)82a3、82a5距平板玻璃SG之距離遠於分割加熱器(第1中央區域對應加熱器)82a4距平板玻璃SG之距離，於下拉輥81a~81g夾持平板玻璃SG之前，如圖8所示之溫度分佈TP1般，以第2中央區域CA2之溫度部分高於第1中央區域CA1之溫度之方式控制分割加熱器(第2中央區域對應加熱器)82a3、82a5之輸出。

由於距離D1、D2越大，溫度分佈成為越和緩之曲線，故而亦可設為距離D1<距離D2、分割加熱器82a2、82a6之輸出<分割加熱器82a3、82a5之輸出。可抑制溫度分佈之寬度方向之急遽變化，從而可控制夾持區域RA與第2中央區域CA2之翹曲、應變。

於本實施形態中，藉由於被下拉輥81a~81g夾持之前之平板玻璃SG，使藉由下拉輥81a~81g而冷卻之夾持區域RA之溫度高於第1中央 區域CA1之溫度，可緩和由下拉輥81a~81g所致之冷卻，從而可抑制於夾持區域RA產生之翹曲、應變。又，藉由於被下拉輥81a~81g夾持之前之平板玻璃SG，使最外端部區域R、L及第2中央區域CA2、即鄰接於夾持區域RA之區域之溫度高於第1中央區域CA1之溫度，而可抑制於最外端部區域R、L、及第2中央區域CA2產生之翹曲、應變。尤其是於平板玻璃SG之板厚為0.4mm以下之情形時，由於可緩和由下拉輥81a~81g所致之平板玻璃SG之冷卻，故而可於板厚為自0.05mm至0.4mm之範圍之平板玻璃SG抑制較大之應變。

以上，基於圖式對本實施形態進行了說明，但具體之構成並未限定於上述實施形態，可於不脫離發明之要旨之範圍內進行變更。

80‧‧‧冷卻腔室

CA1‧‧‧第1中央區域

CA2‧‧‧第2中央區域

L‧‧‧最外端部區域

R‧‧‧最外端部區域

RA‧‧‧夾持區域

TD‧‧‧溫度差

TP1‧‧‧溫度分佈

TP2‧‧‧溫度分佈

Claims (9)

1. 一種玻璃板之製造方法，其特徵在於具備：成形步驟，其係使熔融玻璃自成形體流下而成形玻璃板；及冷卻步驟，其係一面藉由配置於上述成形體之下方且與上述玻璃板接觸、使上述玻璃板之接觸區域之黏度成為10^9.0泊以上之冷卻輥之下方之一對輥將上述成形步驟中所成形之上述玻璃板向下方搬送，一面藉由以相對於上述玻璃板之搬送方向溫度依序降低之方式控制上述玻璃板的溫度之加熱器而冷卻上述玻璃板；且於上述冷卻步驟中，上述一對輥一面被以抑制由熱所致之變形之方式冷卻一面夾持上述玻璃板，上述加熱器係使藉由上述一對輥而冷卻之上述玻璃板之區域的溫度於上述玻璃板之寬度方向上變得均勻，且上述玻璃板之寬度方向之兩端之溫度比寬度方向中央區域之溫度低之方式進行控制，上述寬度方向中央區域之上述玻璃板之厚度較上述兩端之上述玻璃板之厚度薄。
2. 如請求項1之玻璃板之製造方法，其中於上述冷卻步驟中，上述一對輥夾持上述寬度方向中央區域與上述端之間之區域，上述加熱器於上述輥夾持上述玻璃板之前，以上述寬度方向中央區域之溫度變得均勻，且上述輥夾持之夾持區域之溫度變得高於上述寬度方向中央區域之溫度的方式控制上述玻璃板之溫度。
3. 如請求項1或2之玻璃板之製造方法，其中於上述冷卻步驟中， 上述加熱器於上述輥夾持上述玻璃板之前，以上述夾持區域之溫度分佈朝向夾於上述兩端之上述玻璃板之厚度較上述兩端之上述玻璃板之厚度薄的寬度方向中央區域及上述端而降低之方式控制上述玻璃板之溫度。
4. 如請求項1或2之玻璃板之製造方法，其中上述加熱器包含有於上述寬度方向上被分割為複數個之分割加熱器，且上述分割加熱器包含設置於與上述輥夾持之夾持區域對應之寬度方向的位置之夾持區域對應加熱器。
5. 一種玻璃板之製造方法，其特徵在於具備：成形步驟，其係使熔融玻璃自成形體流下而成形玻璃板；及冷卻步驟，其係一面藉由配置於上述成形體之下方之一對輥將上述成形步驟中所成形之上述玻璃板向下方搬送，一面藉由以相對於上述玻璃板之搬送方向溫度依序降低之方式控制上述玻璃板的溫度之加熱器而冷卻上述玻璃板；且於上述冷卻步驟中，上述一對輥一面被以抑制由熱所致之變形之方式冷卻一面夾持上述玻璃板，上述加熱器係使藉由上述一對輥而冷卻之上述玻璃板之區域的溫度於上述玻璃板之寬度方向上變得均勻之方式進行控制，上述加熱器包含有於上述寬度方向上被分割為複數個之分割加熱器，上述分割加熱器包含設置於與上述輥夾持之夾持區域對應之寬度方向的位置之夾持區域對應加熱器，且上述分割加熱器除包含上述夾持區域對應加熱器以外，還包含中央區域對應加熱器，該中央區域對應加熱器設置於與夾於上述玻璃板之寬度方向之兩端的上述玻璃板之厚度較上述兩端 之上述玻璃板之厚度薄的寬度方向中央區域對應之寬度方向之位置，使上述夾持區域對應加熱器距上述玻璃板之距離遠於上述中央區域對應加熱器距上述玻璃板之距離，且於上述輥夾持上述玻璃板之前，以上述夾持區域之溫度變得高於上述寬度方向中央區域之溫度的方式控制上述夾持區域對應加熱器之輸出。
6. 如請求項5之玻璃板之製造方法，其中上述寬度方向中央區域具有包含上述寬度方向之中心之第1中央區域、及位於上述第1中央區域與上述夾持區域之間之第2中央區域，且上述中央區域對應加熱器包含設置於與上述第1中央區域對應之寬度方向之位置的第1中央區域對應加熱器、及設置於與上述第2中央區域對應之寬度方向之位置的第2中央區域對應加熱器，使上述第2中央區域對應加熱器距上述玻璃板之距離遠於上述第1中央區域對應加熱器距上述玻璃板之距離，且於上述輥夾持上述玻璃板之前，以上述第2中央區域之溫度變得部分性地高於上述第1中央區域之溫度之方式控制上述第2中央區域對應加熱器之輸出。
7. 如請求項3之玻璃板之製造方法，其中上述夾持區域之上述溫度分佈之最高溫度與上述寬度方向中央區域之溫度之間的溫度差，自上述玻璃板之上述搬送方向之上游側朝向下游側而慢慢變小。
8. 如請求項1或2之玻璃板之製造方法，其中於上述玻璃板與上述加熱器之間以與上述玻璃板之表面對向之方式配置有均熱板，且藉由利用上述均熱板使上述加熱器之上述寬度方向之熱分佈 變得和緩，而控制上述玻璃板之溫度分佈。
9. 一種玻璃板之製造裝置，其特徵在於具備：成形體，其使熔融玻璃流下而成形玻璃板；冷卻輥，其配置於上述成形體之下方，且與上述玻璃板接觸，使上述玻璃板之接觸區域之黏度成為10^9.0泊以上；一對輥，其等配置於上述冷卻輥之下方，且將上述玻璃板向下方搬送；及加熱器，其以相對於上述玻璃板之搬送方向溫度依序降低之方式控制上述玻璃板之溫度；且上述一對輥一面被以抑制由熱所致之變形之方式冷卻一面夾持上述玻璃板，上述加熱器係使藉由上述一對輥而冷卻之上述玻璃板之區域的溫度於上述玻璃板之寬度方向上變得均勻，且上述玻璃板之寬度方向之兩端之溫度比寬度方向中央區域之溫度低之方式進行控制，上述寬度方向中央區域之上述玻璃板之厚度較上述兩端之上述玻璃板之厚度薄。