CN107735369B - 玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。在制造玻璃基板时，使从处于经加热的成形炉室的上部空间内的成形体的上部溢流的熔融玻璃沿所述成形体的两侧面流下之后，使熔融玻璃在所述成形体的下端合流，制造被搬送的平板玻璃，其后对平板玻璃进行冷却。此时，在与所述熔融玻璃或所述平板玻璃的搬送方向正交的宽度方向上，利用遮蔽构件部分地阻断所述熔融玻璃或所述平板玻璃接受来自所述上部空间的热，由此，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整。

Description

玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。

背景技术

以前，作为玻璃板的制造方法之一，使用下拉法。在下拉法中，从成形体溢流的熔融玻璃分流而沿成形体的侧面流下。分流而流下的熔融玻璃在成形体的下端部合流，成形为玻璃板。成形的玻璃板一边被向铅垂方向下方搬送，一边受到冷却。在冷却步骤中，玻璃板从粘性区域经由粘弹性区域而向弹性区域变迁。

沿成形体的侧面流下的熔融玻璃离开成形体，同时，玻璃板通过表面张力而向宽度方向收缩。通过该收缩，在玻璃板产生板厚度偏差或凹凸。专利文献1中揭示有如下方法：在成形体与成形体下方的拉伸辊之间，在玻璃板的宽度方向的缘部的附近，使用与玻璃板分离地设置的冷却单元，对玻璃板的缘部的温度进行调整，从而抑制玻璃板的收缩。其后，收缩已受到抑制的玻璃板通过缓冷空间而成形。在该缓冷空间中，以达到所期望的温度分布(不会使玻璃板产生应变的温度分布)的方式控制环境温度，抑制玻璃板的板厚度偏差。另一方面，近年来，对于液晶显示装置用玻璃基板来说，玻璃板的板厚度偏差所要求的规格(品质)变得严格。

板厚度偏差是在玻璃板的宽度方向上产生的厚度偏差，大多在玻璃板的搬送方向上连续地产生，且玻璃板的宽度方向上的产生位置固定。为了满足与板厚度偏差相关的近年来的严格的要求规格，如果仅进行缓冷空间中的热管理，则并不充分。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平5-124827号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

因此，本发明的目的在于提供能够抑制沿玻璃板的搬送方向产生的板厚度偏差的玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置。

[解决问题的技术手段]

本发明的一态样为玻璃基板的制造方法。该制造方法包括：

成形步骤，其使从处于经加热的成形炉室的上部空间内的成形体上部溢流的熔融玻璃沿所述成形体的两侧面流下之后，使熔融玻璃在所述成形体的下端合流，制造被搬送的平板玻璃；

冷却步骤，其对所述平板玻璃进行冷却；及

调整步骤，其在与所述熔融玻璃或所述平板玻璃的搬送方向正交的宽度方向上，利用遮蔽构件部分地阻断所述熔融玻璃或所述平板玻璃接受来自所述上部空间的热，由此，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整。

优选在所述调整步骤中，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整，使得在所述冷却步骤中获得的所述平板玻璃的所述宽度方向每20mm所获得的最大玻璃板厚度t_max与最小玻璃板厚度t_min之差t_max－t_min分别为15μm以下。

优选在所述调整步骤中，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整，使得在所述冷却步骤中获得的平板玻璃的玻璃宽度方向每100mm所获得的最大玻璃板厚度t_max与最小玻璃板厚度t_min之差t_max－t_min分别为20μm以下。

此时，优选当在所述熔融玻璃或所述平板玻璃中产生凹部而产生厚度偏差时，在所述调整步骤中，使所述遮蔽构件靠近所述凹部的宽度方向的产生位置而调整所述温度分布，使得在所述产生位置，所述熔融玻璃或所述平板玻璃不会接受所述上部空间的热。

优选当在所述熔融玻璃或所述平板玻璃中产生凸部而产生厚度偏差时，在所述调整步骤中，使所述遮蔽构件靠近夹持所述凸部的宽度方向的产生位置的两侧的位置而调整所述温度分布，使得在所述两侧的位置，所述熔融玻璃或所述平板玻璃不会接受所述上部空间的热。

优选根据所述厚度偏差的程度，对所述遮蔽构件与所述平板玻璃的表面的分离距离进行调整。

优选所述调整步骤在所述熔融玻璃或所述平板玻璃的粘度为10^7.6泊以下时进行。

优选在所述成形体的所述下端与向所述熔融玻璃或所述平板玻璃的搬送方向下游侧或上游侧离开所述下端达50mm的位置之间，进行所述调整步骤。

优选所述冷却步骤包含为了防止所述平板玻璃向所述平板玻璃的宽度方向收缩而利用冷却辊对所述平板玻璃的两侧的端部进行冷却的步骤，

所述上部空间相对于与设置所述冷却辊的下部空间分隔的分隔板，位于所述平板玻璃的搬送方向上游侧，

所述遮蔽构件设置在所述上部空间。

优选所述成形炉室使所述平板玻璃经由所述分隔板之间的狭缝孔而进入到所述下部空间，

所述遮蔽构件由所述分隔板支持。

优选使所述分隔板的厚度或高度发生变化，由此，调整使用所述遮蔽构件而调整所述温度分布的搬送方向的位置。

而且，本发明的另一态样为玻璃基板制造装置。该制造装置包括：

成形炉室；

成形体，其设置在所述成形炉室的上部空间内，使熔融玻璃溢流而沿两侧面流下之后，使熔融玻璃在下端合流而制造被搬送的平板玻璃；

热源，其对所述上部空间的壁及所述上部空间内的环境进行加热；及

遮蔽构件，其在与所述熔融玻璃或所述平板玻璃的搬送方向正交的宽度方向上，部分地阻断所述熔融玻璃或所述平板玻璃接受来自所述上部空间的热，由此，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整。

[发明效果]

根据所述玻璃板的制造方法及玻璃板制造装置，对与流经成形体的侧面的熔融玻璃、或由熔融玻璃离开成形体的下端而形成的平板玻璃的搬送方向正交的宽度方向的温度分布进行调整，由此，能够抑制板厚度偏差。

附图说明

图1是本实施方式的玻璃板制造装置的一例的概略构成图。

图2是本实施方式的成形装置的一例的剖面概略构成图。

图3是本实施方式的成形装置的一例的侧面概略构成图。

图4是将配置着成形体的本实施方式的成形炉室的上部空间的一例放大而进行说明的图。

图5是对本实施方式的使用有遮蔽构件的平板玻璃的温度分布的调整的一例进行说明的图。

图6是对本实施方式的使用有遮蔽构件的平板玻璃的温度分布的调整的其他例子进行说明的图。

具体实施方式

以下，对本实施方式的玻璃板的制造方法及玻璃板制造装置进行说明。图1是本实施方式的玻璃板制造装置的一例的概略构成图。

如图1所示，玻璃板制造装置100包含熔解槽200、澄清槽300、及成形装置400。在熔解槽200中，玻璃的原料熔解而产生熔融玻璃。熔解槽200中所产生的熔融玻璃被送向澄清槽300。在澄清槽300中，将熔融玻璃中所含的气泡除去。在澄清槽300中除去气泡后的熔融玻璃被送向成形装置400。在成形装置400中，例如通过溢流下拉法而从熔融玻璃连续地使平板玻璃G成形。其后，成形后的平板玻璃G经冷却，被切断为特定大小的玻璃板。平板玻璃G例如用作显示器用玻璃基板(例如液晶显示器用玻璃基板、等离子体显示器用玻璃基板、有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器用玻璃基板)、覆盖玻璃或磁盘用等的强化玻璃用玻璃基板、卷绕为卷筒状的玻璃基板、积层有半导体晶片等电子元件的玻璃基板。

其次，对成形装置400的详细构成进行说明。图2是成形装置的一例的剖面概略构成图，图3是成形装置的一例的侧面概略构成图。图4是将配置着成形体的成形炉室的上部空间的一例放大而进行说明的图。

在成形装置400中进行成形步骤、冷却步骤、及调整步骤，所述成形步骤是通过溢流下拉法而制造平板玻璃的步骤，所述冷却步骤是对成形后的平板玻璃进行冷却的步骤，所述调整步骤是在制造平板玻璃时，对与熔融玻璃或平板玻璃的搬送方向正交的宽度方向的温度分布进行调整的步骤。

如图2～图4所示，成形装置400包括成形体10、分隔板20、冷却辊30、隔热构件40a、40b、…、40h、进给辊50a、50b、…、50h、及温度控制单元(温度控制装置)60a、60b、…、60h。而且，成形装置400具有：成形炉室的上部空间410，其是比分隔板20更靠上方的空间；成形炉室的下部空间42a，其是分隔板20正下方的空间；及缓冷区420，其是下部空间42a下方的空间。缓冷区420具有多个缓冷空间42b、42c、…、42h。下部空间42a、缓冷空间42b、缓冷空间42c、…、缓冷空间42h依序从铅垂方向上方向下方积层。上部空间410、下部空间42a、及缓冷区420由耐火材及/或隔热材建筑物(未图示)包围，在下部空间42a、缓冷区420中进行平板玻璃G的冷却步骤，温度控制单元60a等将下部空间42a、缓冷区420控制为适合使平板玻璃G成形、冷却的温度。

如图4所示，上部空间410利用炉壁412而与外部空间隔开，该炉壁412包含作为耐火材且作为隔热材的构件。在炉壁412的面向上部空间410的内壁面，对准成形体10的高度方向(图4中的纸面上下方向)的设置位置而设置有多个对上部空间410的环境及炉壁412进行加热的加热器414。

如图2或图4所示，成形体10是具有大致楔状的剖面形状的构件。成形体10以使大致楔状的下端11成为最下部的方式而配置于上部空间410。如图2、图4所示，在成形体10的上端面形成有槽12。槽12形成在成形体10的长度方向，即图3的纸面左右方向。在槽12的一端部设置有玻璃供给管14。槽12以如下方式形成，即，随着从设置有玻璃供给管14的一端部向另一端部靠近而逐步变浅。在成形体10的长度方向的两端，安装有防止熔融玻璃MG从侧壁溢出的导引件。从槽12溢出的熔融玻璃MG流经成形体10的两侧面13a、两倾斜面13b，在下端11处融合而成形平板玻璃G。所谓熔融玻璃MG或平板玻璃G的宽度方向，是指熔融玻璃MG的表面或平板玻璃G的表面的面内的方向中与搬送的搬送方向正交的方向。此处，在平板玻璃G两侧的端部形成如下部分，该部分的厚度相对于平板玻璃G的宽度方向中央的板厚度而变厚。而且，在平板玻璃G两侧的端部受到夹持的宽度方向的区域即中央区域与端部相比较，薄且保有热量小。因此，保有热量容易因温度不均等而发生变化，容易产生翘曲、应变。因此，必需严格地对中央区域的冷却量进行管理。在本实施方式中，使在成形体10的下端11融合的熔融玻璃MG、平板玻璃G的温度、粘度的调整精度提高，由此，抑制包含平板玻璃G的凹凸即脉理的板厚度偏差。以下，将在成形体10的下端11融合之前的玻璃称为熔融玻璃MG，将在下端11融合之后的玻璃称为平板玻璃G。对于薄板玻璃来说，产生板厚度偏差则欠优选，尤其对于用作显示器用玻璃基板的玻璃板来说，如果部分地产生板厚度偏差，则会对显示器的显示精度造成较大的不良影响，因此欠优选。

分隔板20是配置于成形体10的下端11附近的板状的隔热材。分隔板20以使其下端的高度方向的位置位于从成形体10的下端11的高度方向的位置靠下方的位置的方式而配置。如图2及图4所示，分隔板20配置于平板玻璃G的厚度方向的两侧。分隔板20分隔成形炉室的上部空间410与成形炉室的下部空间42a，由此，抑制热从上部空间410向下部空间42a移动。通过作为隔热材的分隔板20而分隔上部空间410与下部空间42a的目的在于：在上部空间410与下部空间42a各自中，针对空间内的温度，以使两空间不彼此影响的方式而进行温度控制。而且，以抑制从缓冷区420进入到上部空间410的上升气流的体积流量的方式，预先对平板玻璃G与分隔板20之间的间隔进行调节而配置分隔板20。

冷却辊30在下部空间42a中，配置于分隔板20附近。而且，冷却辊30配置于平板玻璃G的厚度方向的两侧，在厚度方向上夹持平板玻璃G，且发挥如下作用，即，一边向下方搬送平板玻璃G，一边对平板玻璃G的端部进行冷却。沿成形体10的侧面13a、倾斜面13b流下的熔融玻璃MG离开成形体10的下端11，同时，平板玻璃G通过表面张力而向宽度方向收缩。

冷却辊30夹住相对于向宽度方向收缩的平板玻璃G两侧的端部而与中央区域的侧相邻接的部分，由此，一边防止平板玻璃G向宽度方向收缩，一边对平板玻璃G进行冷却。由此，抑制平板玻璃G向宽度方向收缩，从而抑制产生在平板玻璃G的应变、板厚度偏差、凹凸。然而，如果成形体10的下端11处的平板玻璃G的粘性高，且平板玻璃G的收缩率大，则存在无法通过冷却辊30而抑制应变、板厚度偏差、凹凸的情形。因此，在本实施方式中，利用遮蔽构件80对成形体10的下端11处的热管理进行调整，由此，可提高热管理的精度，抑制板厚度偏差。即，为了防止平板玻璃G向平板玻璃G的宽度方向收缩，对平板玻璃进行冷却的步骤包含利用冷却辊30对平板玻璃G两侧的端部进行冷却的步骤，上部空间410相对于与设置冷却辊30的下部空间42a分隔的分隔板20，位于平板玻璃G的搬送方向上游侧，遮蔽构件80设置在上部空间410。

隔热构件40a、40b、…、40h在缓冷区420中，相对于平板玻璃G的搬送方向(铅垂方向下方)，将缓冷区420分隔为多个缓冷空间42b、42c、…、42h，抑制分割而成的各缓冷空间的热移动。而且，隔热构件40a、40b、…、40h是配置于冷却辊30的下方且配置于平板玻璃G的厚度方向的两侧的板状的构件，其具有向搬送方向导引平板玻璃G的狭缝状的空间。如上所述，下部空间42a与缓冷区420由耐火材及/或隔热材建筑物(未图示)包围，但在缓冷区420中存在将平板玻璃G搬出的狭缝状的空间，而且，在隔热材建筑物等中存在一部分微细的间隙。因此，通过烟囱效应，在缓冷区420中产生从铅垂方向下方朝向下部空间42a的上升气流。该气流沿平板玻璃G上升，通过气流对平板玻璃G进行冷却，因此，优选存在抑制该气流的隔热构件40a、40b、…、40h。例如，如图2所示，隔热构件40a形成下部空间42a与缓冷空间42b，隔热构件40b形成缓冷空间42b与缓冷空间42c。隔热构件40a、40b、…、40h抑制上下的空间的空间的热移动。例如，隔热构件40a抑制下部空间42a与缓冷空间42b之间的热移动及上升气流，隔热构件40b抑制缓冷空间42b与缓冷空间42c之间的热移动及上升气流。

进给辊50a、50b、…、50h在缓冷区420中，在铅垂方向上以特定间隔在平板玻璃G的厚度方向的两侧配置多个。进给辊50a、50b、…、50g分别配置于缓冷空间42b、42c、…、42h，且向下方搬送平板玻璃G。

温度控制单元60a、60b、…、60h例如包含通过电阻加热、感应加热、微波加热而发热的护套加热器、匣式加热器、陶瓷加热器、及温度传感器等，且分别沿平板玻璃G的宽度方向而配置于下部空间42a及缓冷空间42b、42c、…、42h，对下部空间42a及缓冷空间42b、42c、…、42h的环境温度进行测定、控制。而且，温度控制单元60a、60b、…、60h以形成特定的温度分布(以下称为“温度分布”)的方式，对下部空间42a及缓冷空间42b、42c、…、42h的环境温度进行控制，该特定的温度分布(以下称为“温度分布”)经设计，不会使平板玻璃G产生翘曲、应变。在对温度控制单元60a、60b、…、60h进行总称的情形时，记载为温度控制单元60。另外，所谓上游侧，是指与平板玻璃G的搬送方向相反的方向侧，在本实施方式中，是指从缓冷区420观察的成形体10侧。

检测装置70是测定玻璃板厚度的装置，例如包含光学传感器，且按特定宽度(例如1mm的宽度)，对从缓冷区搬送而来的平板玻璃的板厚度进行测定。检测装置70对测定出的玻璃板厚度中的超过基准值且板厚度较厚或较薄的部分(凸部或凹部)进行检测，将该位置设为厚度偏差的产生位置。根据该厚度偏差的宽度及程度(凸部的高度或凹部的深度)，使遮蔽构件80接近或分离，从而对玻璃片材或熔解玻璃的宽度方向的温度分布进行调节。

在板厚度较薄的部分的温度分布的调整中，使遮蔽构件80接近板厚度较薄的部分，从而遮蔽来自加热器的热。由此，当板厚度较薄的部分的粘度局部地上升，玻璃在宽度方向上被拉伸时，玻璃的流动受到抑制。

在板厚度较厚的部分的温度分布的调整中，使遮蔽构件80接近与板厚度较厚的部分相邻接的部分，从而阻断来自加热器的热。由此，与板厚度较厚的部分相邻接的部分的粘度上升，玻璃的流动受到抑制，由于板厚度较厚的部分的玻璃流向两侧，所以能够抑制厚度偏差。

通过反复地进行所述温度分布的调整，将玻璃宽度方向的每特定间隔的厚度偏差调整为特定值以下。

关于厚度偏差，可使用所述检测装置，根据玻璃板厚度的测定值，按玻璃宽度方向的每特定间隔(例如20mm、100mm、300mm)，检测最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_max)，计算最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_max)之差即厚度偏差(t_max－t_max)。即，根据特定间隔的资料而检测最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_max)，从而计算最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_max)之差即厚度偏差(t_max－t_max)。由此，可获得每特定间隔的厚度偏差(t_max－t_max)。

关于与熔融玻璃MG或平板玻璃G的搬送方向正交的宽度方向的温度分布的调整，优选以使冷却步骤中所获得的平板玻璃的玻璃宽度方向每20mm的最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_min)之间的厚度偏差(t_max－t_min)分别为15μm以下的方式而进行调整。进而，优选以使玻璃宽度方向每100mm的最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_min)之间的厚度偏差(t_max－t_min)分别为20μm以下的方式而进行调整。进而，优选以使玻璃宽度方向每300mm的最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_min)之间的厚度偏差(t_max－t_min)分别为25μm的方式而进行调整。进而，优选以使玻璃宽度方向的最大玻璃板厚度(t_max)与最小玻璃板厚度(t_min)之差(t_max－t_min)为25μm以下的方式而进行调整。

遮蔽构件80只要为遮蔽炉壁412的热的棒状构件，则并无特别限定，但遮蔽构件80的材质优选例如以铝或二氧化硅为原料的陶瓷。在将平板玻璃G设为遮蔽对象的情形时，遮蔽构件80以夹持平板玻璃G的方式，相对于平板玻璃G的面而设置在两侧。而且，在将沿成形体10的两侧面流下的熔融玻璃MG设为遮蔽对象的情形时，遮蔽构件80设置在熔融玻璃MG的朝向上部空间410的面侧。

遮蔽构件80贯通炉壁412而从炉壁412的外部空间延伸至上部空间410内。以在平板玻璃G或熔融玻璃MG的宽度方向上排列为一列的方式而连续地配置着多个作为棒状构件的遮蔽构件80。遮蔽构件80各自以可相对于平板玻璃G或熔融玻璃MG的表面前进、后退的方式构成。一个遮蔽构件80的沿着平板玻璃G的宽度方向的长度例如为8～12mm。

所述遮蔽构件80例如以将热阻断的方式构成，使得平板玻璃G或熔融玻璃MG不会接受加热器414的辐射热、或上部空间410内的气体的热而被加热。即，以使平板玻璃G或熔融玻璃MG在平板玻璃G或熔融玻璃MG的宽度方向的一部分不会从上部空间410受热的方式，使遮蔽构件80靠近平板玻璃G或熔融玻璃MG的表面。如此，遮蔽构件80部分地将热阻断，由此，可对平板玻璃G或熔融玻璃MG的宽度方向的温度分布进行调整。

如上所述，检查装置70可特定出产生有厚度偏差的凹部或凸部在平板玻璃G的宽度方向上的位置，因此，基于该宽度方向的位置，使选自多个遮蔽构件80中的棒状的遮蔽构件80靠近平板玻璃G或熔融玻璃MG的表面，由此，可对宽度方向的温度分布进行调整。

具体来说，检测装置70在检测出板厚度局部地变薄的板厚度偏差的情形时，特定出板厚度变薄的平板玻璃G或熔融玻璃MG的宽度方向的位置。使用未图示的驱动机构而使遮蔽构件80前进，使得棒状的遮蔽构件80靠近与所述位置相对应的平板玻璃G或熔融玻璃MG的宽度方向的对应位置。图5是对使用有遮蔽构件的平板玻璃G的温度分布的调整的一例进行说明的图。图5是从平板玻璃G的搬送方向上游侧观察的图。图5所示的例子为如下例子，即，在宽度方向的位置A，板厚度沿宽度方向局部地变薄而产生了凹部，从而产生了应抑制的板厚度偏差。此时，使多个遮蔽构件80中的对应于位置A的棒状构件80a从平板玻璃G的两侧靠近平板玻璃G的表面。由此，在位置A，来自上部空间410的热被阻断，因此，位置A的温度局部地降低，位置A的玻璃粘度上升。因此，当熔融玻璃MG离开成形体10，平板玻璃G因表面张力而向宽度方向收缩，且平板玻璃G在宽度方向上受到拉伸时，在位置A，与未利用遮蔽构件80a而将热阻断的情形相比较，能够抑制因局部上升的玻璃粘度而导致位置A处的平板玻璃G的板厚度局部地变薄。即，能够抑制板厚度偏差。在图5所示的例子中，将平板玻璃G设为温度分布的调整对象，但优选也将流经成形体10的熔融玻璃MG设为温度分布的调整对象。

图6是对使用有遮蔽构件80的平板玻璃G的温度分布的调整的其他例子进行说明的图。图6是从平板玻璃G的搬送方向上游侧观察的图。图6所示的例子为如下例子，即，在宽度方向的位置B，板厚度沿宽度方向局部地变厚而产生了凸部，从而产生了应抑制的板厚度偏差。此时，以在多个遮蔽构件80中的夹持板厚度偏差的宽度方向的产生位置即位置B的两侧的位置，使平板玻璃G不接受上部空间410的热的方式，在该两侧的位置，使遮蔽构件80b、80c靠近平板玻璃G的表面。由此，在位置B的两侧，来自上部空间410的热被阻断，因此，位置B两侧的位置的温度局部地降低，玻璃粘度上升。因此，当熔融玻璃MG离开成形体10，平板玻璃G因表面张力而向宽度方向收缩，且平板玻璃G在宽度方向上受到拉伸时，在夹持位置B的两侧的位置，与未利用遮蔽构件80b、80c将热阻断的情形相比，玻璃的流动因局部上升的玻璃粘度而受到抑制，另一方面，由于位置B的玻璃容易流向两侧，所以能够抑制位置B处的平板玻璃G的板厚度局部地变厚。即，能够抑制板厚度偏差。在图6所示的例子中，将平板玻璃G设为温度分布的调整对象，但优选也将流经成形体10的熔融玻璃MG设为温度分布的调整对象。

另外，在图5、图6所示的例子中，在位置A、位置B两侧的位置，使遮蔽构件80a、遮蔽构件80b、80c靠近平板玻璃G的表面，但优选将平板玻璃G的表面与遮蔽构件80a、遮蔽构件80b、80c的前端之间的分离距离设定在1mm～15mm的范围。尤其，优选根据位置A、B的板厚度偏差的程度例如平板玻璃G的凹凸的深度或高度的程度(厚度偏差的程度)，对遮蔽构件80a或遮蔽构件80b、80c与平板玻璃G的表面的分离距离进行调整。例如，板厚度偏差的程度越大，则优选减小所述分离距离。在板厚度偏差的程度大的情形时，宽度方向的温度分布的变动也大，因此，为了增大阻断的程度，以使平板玻璃G难以从上部空间410受热，优选进一步减小所述分离距离。

而且，在图5、图6所示的例子中，在位置A、位置B两侧的位置，仅使遮蔽构件80a、遮蔽构件80b、80c靠近平板玻璃G的表面，但虽不及遮蔽构件80a、遮蔽构件80b、80c，也可使与遮蔽构件80a、遮蔽构件80b、遮蔽构件80c相邻的遮蔽构件80靠近平板玻璃G的表面。

在本实施方式中，熔融玻璃MG或平板玻璃G在处于软化点(玻璃粘度相当于10^7.6泊时的玻璃的温度)以上的温度的区域中进行。即，使用遮蔽构件80进行的熔融玻璃MG或平板玻璃G的温度分布的调整是在熔融玻璃MG或平板玻璃G的粘度处于10^7.6泊以下时进行。根据可效率良好地减少板厚度偏差的观点，优选例如在玻璃粘度为10^4.3～10^7.5泊的区域中，使用遮蔽构件80对熔融玻璃MG或平板玻璃G的温度分布进行调整。玻璃粘度为10^4.3～10^5.5泊的区域更优选。而且，根据可效率良好地减少板厚度偏差的观点，优选在成形体10的下端11或比该下端11更靠搬送方向上游侧处，使用遮蔽构件80而调整温度分布。在所述粘度的区域中，使温度分布局部地发生变化，由此，可有效果地抑制产生板厚度偏差。

而且，在本实施方式中，优选根据产生在熔融玻璃MG或平板玻璃G的凹部或凸部的宽度方向的尺寸，对靠近熔融玻璃MG或平板玻璃G的表面的遮蔽构件80的搬送方向的位置进行调整。在已在熔融玻璃MG或平板玻璃G产生凹部或凸部的情形时，优选在成形体10的下端11与向搬送方向下游侧或上游侧离开下端11达50mm的位置之间调整温度分布。而且，更优选在成形体10的下端11与向搬送方向下游侧或上游侧离开该下端11达20mm的位置之间调整温度分布。进而优选在成形体10的下端11的高度位置(搬送方向的位置)调整温度分布。为了抑制板厚度偏差而进行温度调整的搬送方向的位置、与使遮蔽构件80靠近平板玻璃G或熔融玻璃MG的表面的分离距离根据所述凹部或凸部的程度(凹凸的程度)与宽度而预先决定，可根据检测出的凹部或凸部的程度(凹凸的程度)与宽度，设定进行温度调整的搬送方向的位置与分离距离。

在本实施方式中，成形炉室通过分隔板20而分隔(划分)上部空间410与下部空间42a，使平板玻璃G经由分隔板20之间的狭缝孔而进入到下部空间42a，对平板玻璃G进行冷却。

此时，遮蔽构件80优选由分隔板20支持。上部空间410的环境温度极高，因此，棒状的遮蔽构件80由于细长，所以容易因自重而弯曲。因此，如果以不使遮蔽构件80发生变形的方式，由分隔板20自下方支持遮蔽构件80，则可在平板玻璃G或熔融玻璃MG的搬送方向的特定位置调整温度分布。如果对温度分布进行调整的搬送方向的位置因遮蔽构件80的热变形而稍微偏离目标位置，则欲调整温度分布的玻璃粘度容易不同，因此，难以正确地抑制板厚度偏差。

搬送方向上的温度调整位置会因产生在熔融玻璃MG或平板玻璃G的凹部或凸部的宽度而有所不同。因此，在变更温度调整位置的情形时，优选例如通过使分隔板20的厚度发生变化而改变支持在分隔板20的遮蔽构件80的搬送方向的位置，由此，对欲调整温度分布的搬送方向的位置进行调整。

而且，优选也设置两个分隔板20，且以夹持在分隔板20之间的方式而设置遮蔽构件80。

在炉壁412中，包含玻璃纤维的玻璃绒塞入至开口部而堵塞开口部，但可向熔融玻璃MG或平板玻璃G的方向，将分隔板20及遮蔽板80插入至该部分。因此，在使遮蔽构件80的搬送方向的位置位于搬送方向上游侧的情形时，可通过使分隔板20的板厚变厚而对遮蔽板80的位置进行调整。

如此，在本实施方式中，在与从成形体10流下的熔融玻璃MG或平板玻璃G的搬送方向正交的宽度方向上，利用遮蔽构件80部分地阻断熔融玻璃MG或平板玻璃G接受来自上部空间410的热，由此，可对熔融玻璃MG或平板玻璃G的宽度方向的温度分布进行调整，因此，能够抑制容易产生在玻璃板的搬送方向的板厚度偏差。

以上，详细地对本发明的玻璃板的制造方法及玻璃板制造装置进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，当然也可在不脱离本发明宗旨的范围内进行各种改变或变更。

[符号的说明]

10 成形体

11 下端

12 槽

13a 侧面

13b 倾斜面

14 玻璃供给管

20 分隔板

30 冷却辊

40a～40h 隔热构件

42a 下部空间

42b～42h 缓冷空间

50a～50h 进给辊

60a～60h 温度控制单元

70 检测装置

80、80a、80b、80c 遮蔽构件

100 玻璃板制造装置

200 熔解槽

300 澄清槽

400 成形装置

410 上部空间

412 炉壁

414 加热器

420 缓冷区

Claims (10)

1.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于包括：

成形步骤，其使从处于经加热的成形炉室的上部空间内的成形体上部溢流的熔融玻璃沿所述成形体的两侧面流下之后，使熔融玻璃在所述成形体的下端合流，而制造被搬送的平板玻璃；

冷却步骤，其对所述平板玻璃进行冷却；及

调整步骤，其在与所述熔融玻璃或所述平板玻璃的搬送方向正交的宽度方向上，利用遮蔽构件部分地阻断所述熔融玻璃或所述平板玻璃接受来自所述上部空间的热，由此，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整；

当在所述熔融玻璃或所述平板玻璃中产生凸部而产生厚度偏差时，在所述调整步骤中，使所述遮蔽构件靠近夹持在所述平板玻璃的所述宽度方向的所述凸部的产生位置的两侧的位置而调整所述温度分布，使得在所述两侧的位置，所述熔融玻璃或所述平板玻璃不会接受所述上部空间的热。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述调整步骤中，利用遮蔽构件部分地阻断所述熔融玻璃或所述平板玻璃接受来自所述上部空间的热，由此，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整，使得在所述冷却步骤中获得的平板玻璃的玻璃宽度方向每20mm所获得的最大玻璃板厚度t_max与最小玻璃板厚度t_min之差t_max－t_min分别为15μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述调整步骤中，对所述熔融玻璃或所述平板玻璃的所述宽度方向的温度分布进行调整，使得在所述冷却步骤中获得的平板玻璃的玻璃宽度方向每100mm所获得的最大玻璃板厚度t_max与最小玻璃板厚度t_min之差t_max－t_min分别为20μm以下。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中当在所述熔融玻璃或所述平板玻璃中产生凹部而产生厚度偏差时，在所述调整步骤中，使所述遮蔽构件靠近所述凹部的宽度方向的产生位置而调整所述温度分布，使得在所述凹部的产生位置，所述熔融玻璃或所述平板玻璃不会接受所述上部空间的热。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中根据所述厚度偏差的程度，对所述遮蔽构件与所述平板玻璃的表面的分离距离进行调整。

6.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述调整步骤在所述熔融玻璃或所述平板玻璃的粘度为10^7.6泊以下时进行。

7.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述成形体的所述下端与向所述熔融玻璃或所述平板玻璃的搬送方向下游侧或上游侧离开所述下端达50mm的位置之间，进行所述调整步骤。

8.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述冷却步骤包含为了防止所述平板玻璃向所述平板玻璃的宽度方向收缩而利用冷却辊对所述平板玻璃的两侧的端部进行冷却的步骤，

所述上部空间相对于与设置所述冷却辊的下部空间分隔的分隔板，位于所述平板玻璃的搬送方向上游侧，

所述遮蔽构件设置在所述上部空间。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板的制造方法，其中所述成形炉室使所述平板玻璃经由所述分隔板之间的狭缝孔而进入到所述下部空间，

所述遮蔽构件由所述分隔板支持。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板的制造方法，其中使所述分隔板的厚度或高度发生变化，由此，调整使用所述遮蔽构件而调整所述温度分布的搬送方向的位置。

Images