TWI605022B - Glass substrate for display - Google Patents

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TWI605022B
TWI605022B TW104132347A TW104132347A TWI605022B TW I605022 B TWI605022 B TW I605022B TW 104132347 A TW104132347 A TW 104132347A TW 104132347 A TW104132347 A TW 104132347A TW I605022 B TWI605022 B TW I605022B
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glass
cooling
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convex portion
sheet
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TW104132347A
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Tomohide Shibahara
Takaaki Ubukata
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Avanstrate Inc
Avanstrate Taiwan Inc
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/064—Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B17/067—Forming glass sheets combined with thermal conditioning of the sheets

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  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

顯示器用玻璃基板之製造方法
本發明係關於一種顯示器用玻璃基板之製造方法。
為製造用於液晶顯示器或電漿顯示器等平板顯示器之玻璃基板(以下，稱為「顯示器用玻璃基板」)，有時使用溢流下拉法。溢流下拉法包含：藉由於成形爐中使熔融玻璃自成形體之上部溢出(溢流)而於成形體之下方成形板狀之平板玻璃之步驟；及使平板玻璃於緩冷爐中緩冷之冷卻步驟。於緩冷爐中，將平板玻璃引入至成對之輥間，一面利用輥向下方搬送平板玻璃一面將平板玻璃延展至所需之厚度之後，使平板玻璃緩冷。此後，將平板玻璃切斷成特定之尺寸而形成玻璃板。
沿成形體之側面流下之熔融玻璃於離開成形體之同時，藉由表面張力而向平板玻璃之寬度方向收縮。專利文獻1中揭示有一種方法，即於成形體與成形體下方之拉伸輥之間，於平板玻璃之寬度方向之邊緣部附近使用與平板玻璃隔開而設置之冷卻單元來調整平板玻璃之邊緣部之溫度，從而控制平板玻璃之收縮。其後，收縮得以抑制之平板玻璃通過緩冷空間而成形。於該緩冷空間中，以使環境溫度成為所需之溫度分佈(不會使玻璃板產生應變之溫度分佈)之方式進行控制而抑制玻璃板之板厚偏差、翹曲、應變。
[現有技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開平5-124827號公報
近年來，對液晶顯示裝置用玻璃基板所要求之規格(品質)變得嚴格。對於玻璃基板之表面要求較高之平坦性，為滿足要求規格，特別是必須抑制由陡峭之凹或凸所致之條痕(或局部性之板厚偏差)之產生。該條痕係於特定之寬度上玻璃板之厚度(高度)變動所成之凹凸，且係供給至成形體之熔融玻璃中所含之異質材料延展而產生，或係於熔融玻璃沿成形體流下時，因由氣流引起之溫度變化而產生，於玻璃板之搬送方向上呈條紋狀連續地產生。
因此，本發明之目的在於提供一種可抑制平板玻璃之條痕之玻璃基板之製造方法。
本發明之一態樣之特徵在於，其係一種顯示器用玻璃基板之製造方法，且包括：成形步驟，其係於使自於下部具有尖端之剖面楔狀之成形體之上部溢流的熔融玻璃沿兩側面流下之後，於上述成形體之下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；冷卻步驟，其係將所成形之玻璃板一面朝下方搬送一面冷卻；及檢測步驟，其係檢測於已冷卻之玻璃板之表面上產生之凸部之玻璃板寬度方向位置，並且檢測由上述凸部所致之玻璃板之板厚偏差；且於上述板厚偏差高於基準值之情形時，對上述玻璃板於高於軟化點之溫度區域，藉由降低檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度來進行調整，以使由上述凸部 所致之板厚偏差成為上述基準值以下。
此處，「基準值」係指根據對玻璃板要求之規格而任意決定之值。基準值可設為例如0.06μm。
於上述冷卻步驟中，較佳為藉由抑制檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻而降低黏度。
於上述冷卻步驟中，較佳為藉由於檢測出上述凸部之寬度方向位置配置保溫材而抑制玻璃板之冷卻。
較佳為於上述玻璃板之黏度處於107.5~109.67泊(poise)之範圍之區域，降低檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度。
較佳為於上述檢測步驟中，檢測於已冷卻之玻璃板之表面上產生之凹部之玻璃板寬度方向位置，並且檢測由上述凹部及上述凸部所致之玻璃板之板厚偏差，且 於上述板厚偏差高於基準值之情形時， 對上述玻璃板於高於軟化點之溫度區域，藉由提高檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度來進行調整，以使由上述凹部及上述凸部所致之板厚偏差成為上述基準值以下。
較佳為於上述熔融玻璃之合流部，藉由促進檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻而提高黏度。
較佳為於上述熔融玻璃之合流部，使促進玻璃板之冷卻之冷卻材接近於檢測出上述凹部之寬度方向位置。
較佳為於上述玻璃板之黏度處於105.7~107.5泊之範圍之區域，提高檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度。
本發明之二態樣之特徵在於，其係顯示器用玻璃基板之製造方法，且包括：成形步驟，其係於使自於下部具有尖端之剖面楔狀之成形體之上部溢流的熔融玻璃沿兩側面流下之後，於上述成形體之下方使熔融 玻璃合流而成形玻璃板；冷卻步驟，其係於藉由設置於上述成形體之下方之間隔板而與進行上述成形步驟之空間隔開之空間，將所成形之玻璃板一面朝下方搬送一面冷卻；及檢測步驟，其係檢測於已冷卻之玻璃板之表面上產生之凹部及凸部之玻璃板寬度方向位置，並且檢測由上述凹部及凸部所致之玻璃板之板厚偏差；且於上述板厚偏差高於基準值之情形時，藉由以如下方式進行調整以使上述凹部及凸部之板厚偏差成為上述基準值以下，即於上述成形步驟中，藉由促進檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻而提高黏度，並且於上述冷卻步驟中，藉由抑制檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻而降低黏度。
根據上述形態之玻璃板之製造方法及玻璃板之製造裝置，對玻璃板高於軟化點之溫度區域，藉由提高檢測出凹部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度，並且降低檢測出凸部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度來進行調整，以使由凹部及凸部導致之板厚偏差成為基準值以下，故而可抑制玻璃板條痕。
100‧‧‧熔解裝置
101‧‧‧熔解槽
102‧‧‧澄清槽
103‧‧‧攪拌槽
104、105‧‧‧移送管
106‧‧‧玻璃供給管
200‧‧‧成形裝置
201‧‧‧成形爐
201A‧‧‧上部成形爐
201B‧‧‧下部成形爐
202‧‧‧緩冷爐
203‧‧‧壁
210‧‧‧成形體
212‧‧‧槽
213‧‧‧下方端部
220‧‧‧冷卻材
230‧‧‧冷卻輥
240‧‧‧冷卻裝置
241‧‧‧端部冷卻單元
242‧‧‧中央冷卻單元
243‧‧‧保溫材
244‧‧‧冷卻管
250(1)、250(2)、...、250(n)‧‧‧搬送構件
260(0)‧‧‧環境分隔構件
260(1)、260(2)、...、260(n)‧‧‧間隔材
270(1)、270(2)，270(n)‧‧‧溫度調整裝置
290‧‧‧檢測裝置
300‧‧‧切斷裝置
ST1~ST7‧‧‧步驟
C、C1、C2‧‧‧凸部
MG‧‧‧熔融玻璃
SG‧‧‧平板玻璃
圖1係表示本實施形態之製造方法之流程之圖。
圖2係玻璃基板之製造裝置之概略圖。
圖3係成形裝置之概略圖。
圖4係圖3之IV-IV箭視剖視圖。
圖5係表示平板玻璃與保溫材之位置關係之圖。
圖6係表示平板玻璃與保溫材之位置關係之圖。
圖7係表示平板玻璃與冷卻材之位置關係之圖。
以下，對本發明之玻璃基板之製造方法進行說明。
(玻璃基板之製造方法之整體概要)
圖1係表示本實施形態之玻璃基板之製造方法之步驟之一例之圖。玻璃基板之製造方法主要包含熔解步驟(ST1)、澄清步驟(ST2)、均質化步驟(ST3)、供給步驟(ST4)、成形步驟(ST5)、緩冷步驟(ST6)、及切斷步驟(ST7)。又，亦可包含磨削步驟、研磨步驟、清洗步驟、檢查步驟、及捆包步驟等。所製造之玻璃基板根據需要而於捆包步驟中積層，並搬送至收貨方之業者。
於熔解步驟(ST1)中，藉由對玻璃原料進行加熱而製作熔融玻璃。
於澄清步驟(ST2)中，藉由使熔融玻璃升溫而產生包含熔融玻璃中所含之氧氣、CO2或SO2之氣泡。該氣泡吸收藉由熔融玻璃中所含之澄清劑(氧化錫等)之還原反應產生之氧氣而成長，並上浮至熔融玻璃之液面而釋放出。其後，於澄清步驟中，藉由使熔融玻璃之溫度降低，而使利用澄清劑之還原反應而獲得之還原物質進行氧化反應。由此，殘存於熔融玻璃中之氣泡中之氧氣等氣體成分被再次吸收至熔融玻璃中而氣泡消失。
於均質化步驟(ST3)中，藉由使用攪拌器攪拌熔融玻璃而進行玻璃成分之均質化。由此，可降低成為條痕等之原因之玻璃之組成不均。均質化步驟係於下述之攪拌槽中進行。
於供給步驟(ST4)中，將經攪拌之熔融玻璃供給至成形裝置。
成形步驟(ST5)及緩冷步驟(ST6)係於成形裝置中進行。
於成形步驟(ST5)中，將熔融玻璃成形為平板玻璃並形成平板玻璃流。於成形中使用溢流下拉法。
於緩冷步驟(ST6)中，以使成形且流動之平板玻璃成為所需之厚度，且不產生內部應力之方式，進而以不產生翹曲之方式冷卻。
於切斷步驟(ST7)中，將緩冷後之平板玻璃切斷成特定之長度，由此獲得板狀之玻璃基板。將經切斷之玻璃基板進而切斷成特定之尺寸而製作目標尺寸之玻璃基板。
圖2係進行本實施形態之熔解步驟(ST1)~切斷步驟(ST7)之玻璃基板之製造裝置之概略圖。如圖2所示，玻璃基板之製造裝置主要具有熔解裝置100、成形裝置200、及切斷裝置300。熔解裝置100具有熔解槽101、澄清管102、攪拌槽103、移送管104、105、及玻璃供給管106。
於圖2所示之熔解槽101中設置有未圖示之燃燒器等加熱器件。向熔解槽中投入添加有澄清劑之玻璃原料而進行熔解步驟(ST1)。於熔解槽101中熔融之熔融玻璃經由移送管104而供給至澄清管102。
於澄清管102中，調整熔融玻璃MG之溫度而利用澄清劑之氧化還原反應來進行熔融玻璃之澄清步驟(ST2)。澄清後之熔融玻璃經由移送管105而供給至攪拌槽103。
於攪拌槽103中，利用攪拌件110攪拌熔融玻璃而進行均質化步驟(ST3)。將於攪拌槽103中得以均質化之熔融玻璃經由玻璃供給管106而供給至成形裝置200(供給步驟ST4)。
於成形裝置200中，利用溢流下拉法而自熔融玻璃成形平板玻璃SG(成形步驟ST5)，且進行緩冷(緩冷步驟ST6)。
於切斷裝置300中，形成自平板玻璃SG切下之板狀之玻璃基板(切斷步驟ST7)。
(成形裝置)
其次，對本實施形態之成形裝置200進行說明。圖3係表示成形裝置200之概略圖，圖4係圖3之IV-IV箭視剖視圖。
成形裝置200之爐壁係由形成有氧化被膜之SiC構件、耐火磚、耐火隔熱磚、纖維系隔熱材料等耐火物、及不鏽鋼等金屬之組合而形成。如圖3、圖4所示，成形裝置200之內部空間劃分為成形爐201、及成形爐201下部之緩冷爐202。於成形爐201中進行成形步驟(ST5)，且於緩冷爐202中進行緩冷步驟(ST6)。
成形爐201藉由環境分隔構件260(0)劃分為上部成形爐201A與下部成形爐201B。
於上部成形爐201A中設置有成形體210及複數個冷卻材220。
對成形體210藉由圖2所示之玻璃供給管106而自熔解裝置100供給熔融玻璃。
成形體210係由耐火磚等構成之細長之構造體，如圖4所示剖面形成楔形狀。於成形體210之上部設置有成為引導熔融玻璃MG之流路之槽212。槽212與第3配管106連接，通過第3配管106流動而來之熔融玻璃MG沿槽212流動。槽212之深度越靠近熔融玻璃MG之玻璃流之下游則變得越淺，因此於槽212中流動之熔融玻璃MG慢慢自槽212溢出，並沿成形體210之兩側之側壁流下，於成形體210之下方端部213合流、融合並向鉛垂下方流下。由此，於成形裝置200內形成自成形體210朝鉛垂下方之平板玻璃SG。
又，成形體210之下方端部213之正下方之平板玻璃SG之溫度係相當於105.7~107.5泊(poise)之黏度之溫度，例如為1000~1130℃。
如圖3及圖4所示，複數個冷卻材220設置於成形體210下部之與熔融玻璃MG合流而形成平板玻璃SG之部分相同高度之位置。各冷卻材220係於與平板玻璃SG之寬度方向垂直之方向上延伸之棒狀之構件，且並列配置於平板玻璃SG之寬度方向上。各冷卻材220以可藉由利用未圖示之移動機構於與平板玻璃SG之寬度方向垂直之方向移動而調整與平板玻璃SG之距離之方式，安裝於上部成形爐201A之壁 面。
冷卻材220藉由屏蔽來自設置於上部成形爐201A內之未圖示之加熱器之輻射熱而局部地抑制平板玻璃SG之加熱量。又，來自平板玻璃SG之輻射熱被冷卻材220吸收，由此促進平板玻璃SG之局部冷卻。
構成與冷卻材220相同高度之位置上之平板玻璃SG之玻璃之黏度較佳為處於105.7~107.5泊之範圍。
再者，冷卻材220可僅設置於平板玻璃SG之一面側，亦可設置於兩側。
冷卻材220包含耐熱性、耐侵蝕性優異、且熱導率高於上部成形爐201A內之環境之材料(例如耐火磚、氧化鋁、鉑或鉑合金等耐火物)。可藉由調整冷卻材220與平板玻璃SG之距離而局部地促進來自平板玻璃SG之寬度方向之任意位置之散熱。
各冷卻材220之形狀、位置及冷卻材220之數量可根據藉由下述之檢測裝置290檢測出之凹部及凸部之位置、凹部之自基準面之凹下量、及凸部之自基準面之突出量而適當變更。
此處，「基準面」係指於藉由後述之光學式之表面檢查裝置測量平板玻璃SG之板厚偏差時，以板厚偏差成為特定基準值之範圍內之平坦區域為基準之面。以平坦區域為基準之面例如既可為平坦區域之平均面，亦可為穿過平坦區域上之突出量為基準值以下之凸部或凹陷量為基準值以下之凹部且與平均面平行之面。
再者，「基準值」係指根據對玻璃板要求之規格而任意決定之值。基準值可設為例如0.06μm。
環境分隔構件260(0)設置於成形體210之下方端部213之下方附近，將成形爐201之內部空間劃分為上部成形爐201A與下部成形爐201B。環境分隔構件260(0)係一對板狀之隔熱材料，以自厚度方向(圖中X方向)之兩側夾著平板玻璃SG之方式設置於平板玻璃SG之厚度 方向之兩側。於平板玻璃SG與環境分隔構件260(0)之間，以不使環境分隔構件260(0)與平板玻璃SG接觸之程度設置有間隙。環境分隔構件260(0)將成形裝置200之內部空間分隔開，由此阻斷環境分隔構件260(0)之上方之成形爐201與下方之緩冷爐202之間之熱移動。
於下部成形爐201B中設置有一對冷卻輥230與冷卻裝置240。
冷卻輥230及冷卻裝置240設置於環境分隔構件260(0)之下方。
如圖3、圖4所示，一對冷卻輥230以自厚度方向之兩側夾著平板玻璃SG之方式設置於平板玻璃SG之厚度方向之兩側。冷卻輥230對平板玻璃SG之寬度方向兩端部以降低至相當於約109.0泊以上之黏度之溫度(例如900℃)以下之方式進行冷卻。冷卻輥230為中空，藉由對內部供給冷卻介質(例如空氣等)而急冷。冷卻輥230之直徑小於下述之搬送構件2501、2502、...、250n，向爐內之插入長度亦較短，又進行急冷，因此產生變形(偏芯)之擔心較少。
冷卻裝置240包含複數個冷卻單元(端部冷卻單元241及中央冷卻單元242)，對平板玻璃SG進行冷卻。
端部冷卻單元241對平板玻璃SG之寬度方向兩端部以降低至相當於1014.5泊以上之黏度之溫度之方式進行冷卻。
如圖4所示，中央冷卻單元242具備例如空冷管或水冷管等冷卻管244，將平板玻璃SG之寬度方向之中央部自高於軟化點之溫度冷卻至緩冷點附近為止。此處，所謂平板玻璃SG之中央部係指除於平板玻璃成形後切斷之對象以外之區域，且係以使平板玻璃SG之板厚成為均勻之方式製造之區域。
中央冷卻單元242將自成形體210之下端213離開之平板玻璃SG急冷至軟化點附近為止，其後，將平板玻璃SG自軟化點附近緩慢地冷卻至緩冷點附近為止。例如，中央冷卻單元242於流動方向上劃分為複數個，對平板玻璃SG之流動方向之冷卻速度進行調整。
本實施形態中，如圖3、圖4所示，於平板玻璃SG之寬度方向之任意位置上，於平板玻璃SG與冷卻管244之間配置有保溫材243。
保溫材243包含耐熱性、耐侵蝕性優異、且熱導率低於上部成形爐201A內之環境之材料(例如耐火隔熱磚、纖維系隔熱材料等隔熱材料)。藉由將保溫材243設置於平板玻璃SG之寬度方向之任意位置上，可局部地抑制平板玻璃SG之自寬度方向之任意位置之散熱。
構成與保溫材243相同高度之位置上之平板玻璃SG之玻璃之黏度較佳為處於107.5~109.67泊之範圍。
關於平板玻璃SG之寬度方向上之設置保溫材243之位置將於下文敍述。
保溫材243之形狀及保溫材243之數量可根據藉由下述之檢測裝置290檢測出之凹部及凸部之位置、凹部之自基準面之凹下量及凸部之自基準面之突出量而適當變更。
緩冷爐202具有壁203。壁203劃分緩冷爐202之供搬送平板玻璃SG之爐內與外部空間之爐外。於緩冷爐202中設置有複數個搬送構件250(1)、250(2)、...、250(n)、複數個溫度調整裝置270(1)、270(2)、270(n)、及複數個間隔板260(1)、260(2)、...、260(n)。
緩冷爐202藉由間隔板260(1)而與下部成形爐201B間隔開，緩冷爐202之內部空間藉由除間隔板260(1)以外之複數個間隔板2022、...、202n而於高度方向上間隔成複數個空間。於藉由複數個間隔板260(1)、260(2)、...、260(n)間隔之各空間中分別設置有搬送構件250(1)、250(2)、...、250(n)、及複數個溫度調整裝置270(1)、270(2)、270(n)。具體而言，於藉由間隔板260(1)及間隔板260(2)間隔之空間中設置有搬送構件250(1)及溫度調整裝置270(1)，於藉由間隔板260(2)及未圖示之間隔板260(3)間隔之空間中設置有搬送構件250(2)及溫度調整裝置270(2)。
間隔板260(3)與間隔板202n之間亦藉由未圖示之間隔板260(4)~260(n-1)而間隔開，於被間隔開之各空間中同樣地設置有其他未圖示之搬送構件250(4)~250(n-1)及溫度調整裝置270(4)~270(n-1)。再者，最下部之搬送構件250n及溫度調整裝置270n設置於最下部之間隔板260(n)下部之空間中。
各搬送構件250(1)、250(2)、...、250(n)具備：一對旋轉軸，其等設置於平板玻璃SG之厚度方向之兩側，於爐壁之外部藉由未圖示之軸承懸臂支撐；及一對搬送輥，其等安裝於各旋轉軸之前端。各溫度調整裝置270(1)、270(2)、...、270(n)包含設置於平板玻璃SG之厚度方向之兩側之一對加熱器。各加熱器於平板玻璃SG之寬度方向上具備複數個熱源，能夠分別調整加熱量。複數個熱源例如係鉻系發熱線等。
於下部成形爐201B及緩冷爐202中，藉由上述冷卻輥230、冷卻裝置240及溫度調整裝置270(1)、270(2)、...、270(n)，以使平板玻璃SG具有與預先設計之溫度分佈對應之溫度分佈之方式進行冷卻。
於黏性區域中，以例如使平板玻璃SG之寬度方向之端部之溫度低於中央區域之溫度，且使中央區域之溫度成為均勻之溫度分佈(第1分佈)之方式設計。由此，可一面抑制寬度方向之收縮，一面使平板玻璃SG之板厚均勻。
於黏彈性區域，以例如使平板玻璃SG之溫度自中央部向端部於寬度方向上漸減之溫度分佈(第2分佈)之方式設計。
於玻璃應變點附近之溫度區域，以使平板玻璃SG之寬度方向之端部之溫度與中央部之溫度成為大致均勻之溫度分佈之方式設計。
以按照上述設計之溫度分佈之方式來管理平板玻璃SG之溫度，由此可降低平板玻璃SG之翹曲及應變(殘留應力)。再者，平板玻璃SG之中央區域係包含使板厚均勻之對象之部分之區域，平板玻璃SG 之端部係包含製造後切斷之對象之部分之區域。
於緩冷爐202之下部設置有檢測裝置290。檢測裝置290例如係光學式之表面檢查裝置，其檢測自緩冷爐202之下部搬出之平板玻璃SG之表面上所產生之凹部及凸部之寬度方向之位置、凹部之自基準面之凹下量及凸部之自基準面之突出量、以及由該凹部及凸部導致之板厚偏差。再者，該凹部及凸部係平板玻璃SG之厚度(高度)變動所成者，於平板玻璃SG之搬送方向上呈條紋狀連續地產生。於平板玻璃SG之表面產生凹部及凸部之原因在於，供給至成形體210之熔融玻璃中所含之異質材料延展，或於自成形體下降之平板玻璃產生由氣流引起之溫度變化。
本實施形態中，於藉由檢測裝置290檢測出之板厚偏差超出特定之基準值之情形時，使用冷卻材220及保溫材243進行調整，以使板厚偏差成為上述基準值以下。以使形成有凹部或凸部之凹凸形狀變得平緩之方式進行調整，由此可防止顯示器面板產生顯示不均。
具體而言，於藉由檢測裝置290檢測出之板厚偏差超出特定之基準值之情形時，於藉由檢測裝置290檢測出凹部之情形時，於熔融玻璃之合流部，使冷卻材220接近於平板玻璃SG之檢測出凹部之寬度方向位置，從而局部地促進自平板玻璃SG之散熱。由此，平板玻璃SG之檢測出凹部之寬度方向位置之部分被局部地冷卻，該部分之玻璃之黏性局部性地增加。其後，當進行平板玻璃SG之延展時，平板玻璃SG之經局部地冷卻之部分難以伸展，從而厚度難以變薄。
此時之冷卻材220與平板玻璃SG之距離係根據檢測出之凹部之自基準面的凹下量而調節。
另一方面，於藉由檢測裝置290檢測之板厚偏差超出特定之基準值之情形時，於藉由檢測裝置290檢測出凸部之情形時，如圖5所示，於冷卻步驟中，藉由將保溫材243配置於平板玻璃SG之檢測出凸部C 之寬度方向之位置而局部地抑制平板玻璃SG之冷卻。由此，平板玻璃SG之檢測出凸部C之寬度方向位置之部分之溫度相對地高於周圍，從而該部分之玻璃之黏性相對地低於周圍。其後，當進行平板玻璃SG之延展時，平板玻璃SG之經局部保溫之部分容易伸展，從而厚度容易變薄。
此時之保溫材243之厚度或材質、保溫材243與平板玻璃SG之距離係根據檢測出之凸部之自基準面之突出量而調節。
再者，如圖6所示，亦可為越向檢測出凸部C之寬度方向位置之中央部則使保溫材243與平板玻璃SG之距離越短，且越向檢測出凸部C之寬度方向位置之兩端部則使保溫材243與平板玻璃SG之距離越長。
又，如圖7所示，亦可自冷卻材220局部地對檢測出凸部C之寬度方向位置之突出量較中央部小之兩端部進行冷卻。該情形時，檢測出凸部C之寬度方向位置之兩端部之平板玻璃SG難以伸展，於檢測出凸部C之寬度方向位置之兩端部形成有突出量較凸部C小之凸部C1、C2(圖7中以一點鏈線表示)。由此，可使凸部C之寬度方向位置之兩端部之突形狀平緩。
於在平板玻璃SG之寬度方向之位置上檢測出陡峭之凹部(寬度狹窄之凹部)之情形時，當藉由冷卻材220抑制凹部之產生時，其後進行延展之結果，抑制凹部之產生之位置之周圍進一步延展而變薄，抑制凹部之產生之位置相對變厚，從而有可能作為寬度稍寬之凸部而被檢測出。該情形時，亦可藉由進而將保溫材243配置於檢測出該凸部之寬度方向之位置而抑制平板玻璃SG之凸部之產生，由此以使板厚偏差成為上述基準值以下之方式進行微調整。
反之，於在平板玻璃SG之寬度方向之位置檢測出陡峭之凸部(寬度狹窄之凸部)之情形時，當藉由保溫材243抑制凸部之產生時，其後 進行延展之結果，抑制凸部之產生之位置較周圍延展而變薄，有可能作為寬度稍寬之凹部而被檢測出。該情形時，亦可藉由進而將冷卻材220配置於檢測出該凹部之寬度方向之位置而抑制平板玻璃SG之凹部之產生，由此以使板厚偏差成為上述基準值以下之方式進行微調整。
如以上所說明，根據本實施形態，於板厚偏差高於基準值之情形時，於熔融玻璃之合流部，藉由使冷卻材接近於檢測出凹部之寬度方向位置來將平板玻璃SG冷卻而提高玻璃之黏度，於檢測出凹部之寬度方向位置上難以使平板玻璃SG局部延展，從而厚度難以變薄，因此可抑制凹部之殘存。另一方面，藉由將保溫材243配置於檢測出凸部之寬度方向位置而抑制平板玻璃SG之冷卻，從而使黏度相對降低，於檢測出凸部之寬度方向位置上容易使平板玻璃SG延展，從而厚度容易變薄，因此可抑制凸部之殘存。因此，能以使由凹部及凸部導致之板厚偏差成為基準值以下之方式進行調整。
以上，對本發明之玻璃基板之製造方法詳細地進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態，當然亦可於不脫離本發明之要旨之範圍進行各種改良或變更。
例如，本實施形態中，亦可於上部成形爐201A內，於平板玻璃SG之寬度方向上配置複數個纏繞有線圈之包含磁性體之管(磁性管)，藉由於線圈中流動交流電流而使渦電流流過磁性管，利用由渦電流所產生之焦耳熱使磁性管發熱來局部地加熱平板玻璃SG。該情形時，於不對磁性管供給電流時，可將磁性管作為本實施形態之冷卻材220而使用。
上述實施形態中，對自平板玻璃SG之兩表面使用冷卻材220促進冷卻之凸部調整、及使用保溫材243抑制冷卻之凹部調整之情形進行了說明，但本發明並不限定於此。例如，於僅於平板玻璃SG之一面檢測出凹部或凸部之情形時，亦可僅於平板玻璃之一面進行凹部及凸 部之調整。又，即便於自平板玻璃SG之兩表面檢測出凹部及凸部之情形時，亦可先於凹部之自基準面之凹下量及凸部之自基準面之突出量較大側的面進行凹部及凸部之調整，於即便如此板厚偏差仍未成為基準值以下之情形時，亦可於相反側之面進行凹部及凸部之調整。
對藉由本實施形態之玻璃基板之製造方法所製造之玻璃基板，使用應變點或緩冷點較高且具有良好之尺寸穩定性之無鹼碎紋鋁矽酸鹽玻璃或含有微量鹼之玻璃。
應用本實施形態之玻璃基板包含例如含有以下組成之無鹼玻璃。
SiO2：56~65質量%
Al2O3：15~19質量%
B2O3：8~13質量%
MgO：1~3質量%
CaO：4~7質量%
SrO：1~4質量%
BaO：0~2質量%
Na2O：0~1質量%
K2O：0~1質量%
As2O3：0~1質量%
Sb2O3：0~1質量%
SnO2：0~1質量%
Fe2O3：0~1質量%
ZrO2：0~1質量%
藉由本實施形態之製造方法所製造之玻璃基板適宜應用於例如液晶顯示器用玻璃基板、有機EL(Electroluminescence，電致發光)顯示器用玻璃基板等平板顯示器用玻璃基板、罩玻璃。又，亦可用作移 動終端機器等之顯示器或框體用之罩玻璃、觸摸面板、太陽能電池之玻璃基板或罩玻璃。
尤其適宜於使用有多晶矽TFT(thin-film transistor，薄膜電晶體)之液晶顯示器用玻璃基板、使用有IGZO(銦、鎵、鋅、氧)等氧化物半導體之氧化物半導體顯示器用玻璃基板、及使用有LTPS(Low Temperature Poly-Silicon，低溫多晶矽)半導體之LTPS顯示器用玻璃基板。
106‧‧‧玻璃供給管
200‧‧‧成形裝置
201‧‧‧成形爐
201A‧‧‧上部成形爐
201B‧‧‧下部成形爐
202‧‧‧緩冷爐
203‧‧‧壁
210‧‧‧成形體
212‧‧‧槽
213‧‧‧下方端部
220‧‧‧冷卻材
230‧‧‧冷卻輥
240‧‧‧冷卻裝置
241‧‧‧端部冷卻單元
242‧‧‧中央冷卻單元
243‧‧‧保溫材
250(1)、250(2)、250(n)‧‧‧搬送構件
260(0)‧‧‧環境分隔構件
260(1)、260(2)、260(n)‧‧‧間隔材
290‧‧‧檢測裝置
MG‧‧‧熔融玻璃
SG‧‧‧平板玻璃

Claims (9)

  1. 一種顯示器用玻璃基板之製造方法，包括：成形步驟，其係於使自於下部具有尖端之剖面楔狀之成形體之上部溢流的熔融玻璃沿兩側面流下之後，於上述成形體之下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；冷卻步驟，其係將所成形之玻璃板一面朝下方搬送一面冷卻；及檢測步驟，其係檢測於已冷卻之玻璃板之表面上產生之凸部之玻璃板寬度方向位置，並且檢測由上述凸部所致之玻璃板之板厚偏差；且於上述板厚偏差高於基準值之情形時，調節與玻璃板對向而設之保溫材與上述玻璃板間之距離而降低檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度，藉此進行調整以使由上述凸部所致之板厚偏差成為上述基準值以下。
  2. 如請求項1之顯示器用玻璃基板之製造方法，其中於上述冷卻步驟中，藉由抑制檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻而降低黏度。
  3. 如請求項2之顯示器用玻璃基板之製造方法，其中於上述冷卻步驟中，藉由於檢測出上述凸部之寬度方向位置配置保溫材而抑制玻璃板之冷卻。
  4. 如請求項1至3中任一項之顯示器用玻璃基板之製造方法，其中於上述玻璃板之黏度處於107.5~109.67泊(poise)之範圍之區域，降低檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度。
  5. 如請求項1至3中任一項之顯示器用玻璃基板之製造方法，其中於上述檢測步驟中，檢測於已冷卻之玻璃板之表面上產生之凹 部之玻璃板寬度方向位置，並且檢測由上述凹部及上述凸部所致之玻璃板之板厚偏差，且於上述板厚偏差高於基準值之情形時，對上述玻璃板高於軟化點之溫度區域，藉由提高檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度來進行調整，以使由上述凹部及上述凸部所致之板厚偏差成為上述基準值以下。
  6. 如請求項5之顯示器用玻璃基板之製造方法，其中於上述熔融玻璃之合流部，藉由促進檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻而提高黏度。
  7. 如請求項6之顯示器用玻璃基板之製造方法，其中於上述熔融玻璃之合流部，使促進玻璃板之冷卻之冷卻材接近於檢測出上述凹部之寬度方向位置。
  8. 如請求項5之顯示器用玻璃基板之製造方法，其中於上述玻璃板之黏度處於105.7~107.5泊之範圍之區域，提高檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之黏度。
  9. 一種顯示器用玻璃基板之製造方法，包括：成形步驟，其係使自於下部具有尖端之剖面楔狀之成形體之上部溢流的熔融玻璃沿兩側面流下之後，於上述成形體之下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；冷卻步驟，其係於藉由設置於上述成形體之下方之間隔板而與進行上述成形步驟之空間隔開之空間，將所成形之玻璃板一面朝下方搬送一面冷卻；及檢測步驟，其係檢測於已冷卻之玻璃板之表面上產生之凹部及凸部之玻璃板寬度方向位置，並且檢測由上述凹部及凸部所致之玻璃板之板厚偏差；且於上述板厚偏差高於基準值之情形時，藉由以如下方式進行 調整以使由上述凹部及凸部所致之板厚偏差成為上述基準值以下，即於上述成形步驟中，藉由促進檢測出上述凹部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻而提高黏度，並且於上述冷卻步驟中，藉由調節與玻璃板對向而設之保溫材與上述玻璃板間之距離而抑制檢測出上述凸部之寬度方向位置上之玻璃板之冷卻以降低黏度。
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