KR20160038861A - 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법 - Google Patents

디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법 Download PDF

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KR20160038861A
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Abstract

본 발명의 과제는 시트 글래스의 맥리를 억제할 수 있는 글래스 기판의 제조 방법을 제공하는 것이다. 용융 글래스를 성형체의 양측면을 따라서 유하시킨 후, 성형체의 하방에서 용융 글래스를 합류시켜 글래스판을 성형하는 성형 공정과, 성형된 글래스판을 하방에 반송하면서 냉각하는 냉각 공정과, 냉각된 글래스판의 표면에 발생하는 볼록부의, 글래스판의 폭 방향 위치를 검출하는 검출 공정을 구비하는 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법이다. 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우, 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 낮춤으로써, 볼록부에 의한 판 두께 편차가 기준값 이하가 되도록 조정한다.

Description

디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법 {METHOD FOR MAKING GLASS SUBSTRATE FOR DISPLAY}
본 발명은, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 사용하는 글래스 기판(이하, 「디스플레이용 글래스 기판」이라고 함)을 제조하는 데 있어서, 오버플로우 다운드로법이 사용되는 경우가 있다. 오버플로우 다운드로법은, 성형로에 있어서 용융 글래스를 성형체의 상부로부터 흘러넘치게(오버플로우) 함으로써 성형체의 하방에 있어서 판 형상의 시트 글래스를 성형하는 공정과, 시트 글래스를 서냉로에 있어서 서냉하는 냉각 공정을 포함한다. 서냉로에서는, 쌍으로 된 롤러 사이에 시트 글래스를 인입하고, 롤러에 의해 시트 글래스를 하방에 반송하면서 원하는 두께로 신장시킨 후, 시트 글래스를 서냉한다. 이 후, 시트 글래스를 소정의 치수로 절단함으로써 글래스판이 형성된다.
성형체의 측면을 따라서 유하하는 용융 글래스는, 성형체를 이격함과 동시에, 표면 장력에 의해 시트 글래스의 폭 방향으로 수축한다. 특허문헌 1에는, 성형체와 성형체 하방의 인장 롤러 사이에 있어서, 시트 글래스의 폭 방향의 테두리부의 근방에서, 시트 글래스와 이격해서 설치된 냉각 유닛을 사용하여, 시트 글래스의 테두리부의 온도를 조정하고, 시트 글래스의 수축을 억제하는 방법이 개시되어 있다. 그 후, 수축이 억제된 시트 글래스는 서냉 공간을 통과해서 성형된다. 이 서냉 공간에서는, 분위기 온도가 원하는 온도 프로파일(글래스판에 변형이 발생하지 않는 온도 분포)이 되도록 제어되어, 글래스판의 판 두께 편차, 휨, 변형이 억제된다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 평5-124827호 공보
최근, 액정 표시 장치용 글래스 기판에 있어서는, 요구되는 스펙(품질)이 엄격해지고 있다. 글래스 기판의 표면에는 높은 평탄성이 요구되고, 요구 스펙을 충족시키기 위해서는, 특히 급준한 오목 또는 볼록에 의한 맥리(또는 국소적인 판 두께 편차)의 발생을 억제할 필요가 있다. 이 맥리는, 소정의 폭에 있어서 글래스판의 두께(높이)가 변동된 요철이며, 성형체에 공급되는 용융 글래스에 포함되는 이질 소지가 신장되어 발생하거나, 용융 글래스가 성형체를 유하할 때에, 기류에 의한 온도 변화에 따라 발생하거나 하는 것이며, 글래스판의 반송 방향으로 줄무늬 형상으로 연속적으로 발생한다.
따라서, 본 발명은, 시트 글래스의 맥리를 억제할 수 있는 글래스 기판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 형태는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법으로서,
하부에 첨단부를 갖는 단면 쐐기 형상의 성형체의 상부로부터 오버플로우시킨 용융 글래스를 양측면을 따라서 유하시킨 후, 상기 성형체의 하방에서 용융 글래스를 합류시켜 글래스판을 성형하는 성형 공정과,
성형된 글래스판을 하방에 반송하면서 냉각하는 냉각 공정과,
냉각된 글래스판의 표면에 발생하는 볼록부의 글래스판의 폭 방향 위치와 함께, 상기 볼록부에 의한 글래스판의 판 두께 편차를 검출하는 검출 공정을 구비하고,
상기 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우,
상기 글래스판이 연화점보다도 높은 온도 영역에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 낮춤으로써, 상기 볼록부에 의한 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 조정하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 「기준값」이란, 글래스판에 요구되는 스펙에 의해 임의로 결정되는 것이다. 기준값은, 예를 들어, 0.06㎛로 할 수 있다.
상기 냉각 공정에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 억제함으로써 점도를 낮추는 것이 바람직하다.
상기 냉각 공정에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에 보온재를 배치함으로써 글래스판의 냉각을 억제하는 것이 바람직하다.
상기 글래스판의 점도가 107.5 내지 109. 67Poise의 범위에 있는 영역에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 낮추는 것이 바람직하다.
상기 검출 공정에 있어서, 냉각된 글래스판의 표면에 발생하는 오목부의 글래스판의 폭 방향 위치와 함께, 상기 오목부 및 상기 볼록부에 의한 글래스판의 판 두께 편차를 검출하고,
상기 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우,
상기 글래스판이 연화점보다도 높은 온도 영역에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 높임으로써, 상기 오목부 및 상기 볼록부에 의한 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 조정하는 것이 바람직하다.
상기 용융 글래스의 합류부에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 촉진함으로써 점도를 높이는 것이 바람직하다.
상기 용융 글래스의 합류부에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에 글래스판의 냉각을 촉진하는 냉각재를 근접시키는 것이 바람직하다.
상기 글래스판의 점도가 105.7 내지 107. 5Poise의 범위에 있는 영역에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 높이는 것이 바람직하다.
본 발명의 제2 형태는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법으로서,
하부에 첨단부를 갖는 단면 쐐기 형상의 성형체의 상부로부터 오버플로우시킨 용융 글래스를 양측면을 따라서 유하시킨 후, 상기 성형체의 하방에서 용융 글래스를 합류시켜 글래스판을 성형하는 성형 공정과,
상기 성형체의 하방에 설치된 구획판에 의해 상기 성형 공정이 행해지는 공간과 구획된 공간에 있어서, 성형된 글래스판을 하방에 반송하면서 냉각하는 냉각 공정과,
냉각된 글래스판의 표면에 발생하는 오목부 및 볼록부의 글래스판의 폭 방향 위치와 함께, 상기 오목부 및 볼록부에 의한 글래스판의 판 두께 편차를 검출하는 검출 공정을 구비하고,
상기 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우,
상기 성형 공정에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 촉진함으로써 점도를 높임과 함께,
상기 냉각 공정에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 억제함으로써 점도를 낮춤으로써,
상기 오목부 및 볼록부에 의한 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 조정하는 것을 특징으로 한다.
상술한 형태의 글래스판의 제조 방법 및 글래스판의 제조 장치에 의하면, 글래스판이 연화점보다도 높은 온도 영역에서, 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 높임과 함께, 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 낮춤으로써, 오목부 및 볼록부에 의한 판 두께 편차가 기준값 이하가 되도록 조정하므로, 글래스판의 맥리를 억제할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태의 제조 방법의 플로우를 도시하는 도면이다.
도 2는 글래스 기판의 제조 장치의 개략도이다.
도 3은 성형 장치의 개략도이다.
도 4는 도 3의 IV-IV 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 5는 시트 글래스와 보온재와의 위치 관계를 도시하는 도면이다.
도 6은 시트 글래스와 보온재와의 위치 관계를 도시하는 도면이다.
도 7은 시트 글래스와 냉각재와의 위치 관계를 도시하는 도면이다.
이하, 본 발명의 글래스 기판의 제조 방법에 대해서 설명한다.
(글래스 기판의 제조 방법의 전체 개요)
도 1은, 본 실시 형태의 글래스 기판의 제조 방법의 공정의 일례를 나타내는 도면이다. 글래스 기판의 제조 방법은, 용해 공정(ST1), 청징 공정(ST2), 균질화 공정(ST3), 공급 공정(ST4), 성형 공정(ST5), 서냉 공정(ST6) 및 절단 공정(ST7)을 주로 갖는다. 이 밖에, 연삭 공정, 연마 공정, 세정 공정, 검사 공정, 곤포 공정 등을 가져도 좋다. 제조된 글래스 기판은, 필요에 따라서 곤포 공정에서 적층되고, 납입처의 업자에게 반송된다.
용해 공정(ST1)에서는, 글래스 원료를 가열함으로써 용융 글래스를 만든다.
청징 공정(ST2)에서는, 용융 글래스가 승온됨으로써, 용융 글래스 중에 포함되는 산소, CO2 혹은 SO2를 포함한 기포가 발생한다. 이 기포가 용융 글래스 중에 포함되는 청징제(산화주석 등)의 환원 반응에 의해 발생한 산소를 흡수해서 성장하고, 용융 글래스의 액면에 부상해서 방출된다. 그 후, 청징 공정에서는, 용융 글래스의 온도를 저하시킴으로써, 청징제의 환원 반응에 의해 얻어진 환원 물질이 산화 반응을 한다. 이에 의해, 용융 글래스에 잔존하는 기포 중의 산소 등의 가스 성분이 용융 글래스 중에 재흡수되어, 기포가 소멸된다.
균질화 공정(ST3)에서는, 교반기를 사용해서 용융 글래스를 교반함으로써, 글래스 성분의 균질화를 행한다. 이에 의해, 맥리 등의 원인인 글래스의 조성 불균일을 저감할 수 있다. 균질화 공정은, 후술하는 교반조에 있어서 행해진다.
공급 공정(ST4)에서는, 교반된 용융 글래스가 성형 장치에 공급된다.
성형 공정(ST5) 및 서냉 공정(ST6)은, 성형 장치에서 행해진다.
성형 공정(ST5)에서는, 용융 글래스를 시트 글래스로 성형하고, 시트 글래스의 흐름을 만든다. 성형에는 오버플로우 다운드로법이 사용된다.
서냉 공정(ST6)에서는, 성형되어 흐르는 시트 글래스가 원하는 두께로 되어, 내부 변형이 발생하지 않도록, 또한, 휨이 발생하지 않도록 냉각된다.
절단 공정(ST7)에서는, 서냉 후의 시트 글래스를 소정의 길이로 절단함으로써, 판 형상의 글래스 기판을 얻는다. 절단된 글래스 기판은, 또한, 소정의 크기로 절단되어, 목표 사이즈의 글래스 기판이 만들어진다.
도 2는, 본 실시 형태에 있어서의 용해 공정(ST1) 내지 절단 공정(ST7)을 행하는 글래스 기판의 제조 장치의 개략도이다. 글래스 기판의 제조 장치는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 주로 용해 장치(100)와, 성형 장치(200)와, 절단 장치(300)를 갖는다. 용해 장치(100)는 용해조(101)와, 청징관(102)과, 교반조(103)와, 이송관(104, 105)과, 글래스 공급관(106)을 갖는다.
도 2에 도시하는 용해조(101)에는, 도시되지 않는 버너 등의 가열 수단이 설치되어 있다. 용해조에는 청징제가 첨가된 글래스 원료가 투입되어, 용해 공정(ST1)이 행해진다. 용해조(101)에서 용융된 용융 글래스는 이송관(104)을 통하여 청징관(102)에 공급된다.
청징관(102)에서는, 용융 글래스(MG)의 온도를 조정하여, 청징제의 산화환원 반응을 이용해서 용융 글래스의 청징 공정(ST2)이 행해진다. 청징 후의 용융 글래스는 이송관(105)을 통하여 교반조(103)에 공급된다.
교반조(103)에서는, 교반자(110)에 의해 용융 글래스가 교반되어 균질화 공정(ST3)이 행해진다. 교반조(103)에서 균질화된 용융 글래스는 글래스 공급관(106)을 통하여 성형 장치(200)에 공급된다(공급 공정 ST4).
성형 장치(200)에서는, 오버플로우 다운드로법에 의해, 용융 글래스로부터 시트 글래스(SG)가 성형되어(성형 공정 ST5), 서냉된다(서냉 공정 ST6).
절단 장치(300)에서는, 시트 글래스(SG)로부터 잘라내어진 판 형상의 글래스 기판이 형성된다(절단 공정 ST7).
(성형 장치)
다음에, 본 실시 형태에 관한 성형 장치(200)에 대해서 설명한다. 도 3은 성형 장치(200)를 도시하는 개략도이며, 도 4는 도 3의 IV-IV 화살표 방향에서 본 단면도이다.
성형 장치(200)의 노벽은, 산화 피막이 형성된 SiC 부재, 내화 벽돌, 내화 단열 벽돌, 파이버계 단열재 등의 내화물 및 스테인리스 등의 금속의 조합에 의해 형성되어 있다. 도 3, 도 4에 도시하는 바와 같이, 성형 장치(200)의 내부 공간은 성형로(201)와, 성형로(201)의 하부 서냉로(202)로 구분되어 있다. 성형로(201)에서는 성형 공정(ST5)이 행해지고, 서냉로(202)에서는 서냉 공정(ST6)이 행해진다.
성형로(201)는 분위기 구획 부재[260(0)]에 의해 상부 성형로(201A)와 하부 성형로(201B)로 구분되어 있다.
상부 성형로(201A)에는 성형체(210)와, 복수의 냉각재(220)가 설치되어 있다.
성형체(210)에는, 도 2에 도시하는 글래스 공급관(106)을 통해서 용해 장치(100)로부터 용융 글래스가 공급된다.
성형체(210)는 내화 벽돌 등에 의해 구성된 가늘고 긴 구조체이며, 도 4에 도시하는 바와 같이 단면이 쐐기 형상을 이루고 있다. 성형체(210)의 상부에는, 용융 글래스(MG)를 유도하는 유로가 되는 홈(212)이 형성되어 있다. 홈(212)은, 제3 배관(106)과 접속되고, 제3 배관(106)을 통해서 흘러나오는 용융 글래스(MG)는 홈(212)을 따라 흐른다. 홈(212)의 깊이는 용융 글래스(MG)의 흐름의 하류일수록 얕아지고 있으므로, 홈(212)을 흐르는 용융 글래스(MG)는 서서히 홈(212)으로부터 넘치기 시작하고, 성형체(210)의 양측 측벽을 따라 유하하고, 성형체(210)의 하방 단부(213)에서 합류하고, 융합해서 연직 하방으로 유하한다. 이에 의해, 성형 장치(200) 내에서 성형체(210)로부터 연직 하방을 향하는 시트 글래스(SG)가 만들어진다.
또한, 성형체(210)의 하방 단부(213)의 바로 아래에 있어서의 시트 글래스(SG)의 온도는, 105.7 내지 107. 5poise의 점도에 상당하는 온도이며, 예를 들어, 1000 내지 1130℃이다.
복수의 냉각재(220)는, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 성형체(210)의 하부에 있어서 용융 글래스(MG)가 합류해서 시트 글래스(SG)가 만들어지는 부분과 동일한 높이의 위치에 설치되어 있다. 각 냉각재(220)는 시트 글래스(SG)의 폭 방향과 수직 방향으로 연장되는 막대 형상의 부재이며, 시트 글래스(SG)의 폭 방향으로 나란히 배치되어 있다. 각 냉각재(220)는 도시하지 않은 이동 기구에 의해 시트 글래스(SG)의 폭 방향과 수직 방향으로 이동함으로써 시트 글래스(SG)와의 거리를 조정할 수 있도록 상부 성형로(201A)의 벽면에 설치되어 있다.
냉각재(220)는 상부 성형로(201A) 내에 설치된 도시하지 않은 히터로부터의 복사열을 차폐함으로써, 시트 글래스(SG)의 가열량을 국소적으로 억제한다. 또한, 시트 글래스(SG)로부터의 복사열이 냉각재(220)에 의해 흡수됨으로써, 시트 글래스(SG)의 국소적인 냉각이 촉진된다.
냉각재(220)와 동일한 높이의 위치에서의 시트 글래스(SG)를 구성하는 글래스의 점도는 105.7 내지 107.5Poise의 범위에 있는 것이 바람직하다.
또한, 냉각재(220)는 시트 글래스(SG)의 한쪽의 면측에만 설치해도 좋고, 양측에 설치해도 좋다.
냉각재(220)는 내열성, 내침식성이 우수하고, 또한, 상부 성형로(201A) 내의 분위기보다도 열전도율이 높은 재료(예를 들어, 내화 벽돌, 알루미나, 백금 또는 백금 합금 등의 내화물)로 이루어진다. 냉각재(220)와 시트 글래스(SG)와의 거리를 조정함으로써, 시트 글래스(SG)의 폭 방향이 임의의 위치로부터의 방열을 국소적으로 촉진할 수 있다.
각 냉각재(220)의 형상, 위치 및 냉각재(220)의 수는, 후술하는 검출 장치(290)에 의해 검출되는 오목부 및 볼록부의 위치, 오목부의 기준면으로부터의 오목량 및 볼록부의 기준면으로부터의 돌출량에 따라서, 적절히 변경된다.
여기서, 「기준면」이란, 후술하는 광학식의 표면 검사 장치에 의해 시트 글래스(SG)의 판 두께 편차를 계측했을 때에, 판 두께 편차가 소정의 기준값의 범위 내가 되는 평탄 영역을 기준으로 하는 면이다. 평탄 영역을 기준으로 하는 면은, 예를 들어, 평탄 영역의 평균면이어도 좋고, 평탄 영역에서의 돌출량이 기준값 이하인 볼록부 또는 오목부량이 기준값 이하인 오목부를 통과해서 평균면과 평행한 면이어도 좋다.
또한, 「기준값」이란, 글래스판에 요구되는 스펙에 의해 임의로 결정되는 것이다. 기준값은, 예를 들어, 0.06㎛로 할 수 있다.
분위기 구획 부재[260(0)]는, 성형체(210)의 하방 단부(213)의 하방 근방에 설치되어 있고, 성형로(201A)의 내부 공간을 상부 성형로(201A)와 하부 성형로(201B)로 구분한다. 분위기 구획 부재[260(0)]는, 한 쌍의 판 형상의 단열재이며, 시트 글래스(SG)를 두께 방향(도면 중 X 방향)의 양측에서 끼우도록, 시트 글래스(SG)의 두께 방향의 양측에 설치되어 있다. 시트 글래스(SG)와 분위기 구획 부재[260(0)] 사이에는, 분위기 구획 부재[260(0)]가 시트 글래스(SG)에 접촉하지 않는 정도로 간극이 형성되어 있다. 분위기 구획 부재[260(0)]는 성형 장치(200)의 내부 공간을 구획함으로써, 분위기 구획 부재[260(0)]의 상방의 성형로(201)와 하방의 서냉로(202) 사이의 열 이동을 차단한다.
하부 성형로(201B)에는, 1쌍의 냉각 롤러(230)와, 냉각 장치(240)가 설치되어 있다.
냉각 롤러(230) 및 냉각 장치(240)는 분위기 구획 부재[260(0)]의 하방에 설치되어 있다.
1쌍의 냉각 롤러(230)는, 도 3, 도 4에 도시하는 바와 같이, 시트 글래스(SG)를 두께 방향의 양측에서 끼우도록, 시트 글래스(SG)의 두께 방향의 양측에 설치되어 있다. 냉각 롤러(230)는 시트 글래스(SG)의 폭 방향 양단부를, 약 109. 0poise 이상의 점도에 상당하는 온도(예를 들어 900℃) 이하의 온도로 저하하도록 냉각한다. 냉각 롤러(230)는 중공이며, 내부에 냉각 매체(예를 들어 공기 등)가 공급됨으로써 급냉되어 있다. 냉각 롤러(230)는 후술하는 반송 부재(2501, 2502, …, 250n)보다도 직경이 작고, 노 내부에의 삽입 길이도 짧고, 또한 급냉되어 있으므로, 변형(편심)이 생길 우려가 적다.
냉각 장치(240)는, 복수의 냉각 유닛[단부 냉각 유닛(241) 및 중앙 냉각 유닛(242)]을 포함하고, 시트 글래스(SG)를 냉각한다.
단부 냉각 유닛(241)은 시트 글래스(SG)의 폭 방향 양단부를, 1014. 5poise 이상의 점도에 상당하는 온도로 저하하도록 냉각한다.
중앙 냉각 유닛(242)은, 도 4에 도시하는 바와 같이, 예를 들어, 공냉관이나 수냉관 등의 냉각관(244)을 구비하고, 시트 글래스(SG)의 폭 방향의 중앙부를, 연화점보다 높은 온도로부터, 서냉점 근방까지 냉각한다. 여기서, 시트 글래스(SG)의 중앙부란, 시트 글래스 성형 후에 절단되는 대상을 제외한 영역이며, 시트 글래스(SG)의 판 두께가 균일해지도록 제조되는 영역이다.
중앙 냉각 유닛(242)은 성형체(210)의 하단부(213)로부터 이격된 시트 글래스(SG)를 연화점 근방까지 급냉하고, 그 후, 시트 글래스(SG)를 연화점 근방으로부터 서냉점 근방까지 완만하게 냉각한다. 예를 들어, 중앙 냉각 유닛(242)은 흐름 방향으로 복수로 구획되고, 시트 글래스(SG)의 흐름 방향의 냉각 속도가 조정된다.
본 실시 형태에 있어서는, 도 3, 도 4에 도시하는 바와 같이, 시트 글래스(SG)의 폭 방향의 임의의 위치에 있어서, 시트 글래스(SG)와 냉각관(244) 사이에 보온재(243)가 배치되어 있다.
보온재(243)는 내열성, 내침식성이 우수하고, 또한, 상부 성형로(201A) 내의 분위기보다도 열전도율이 낮은 재료(예를 들어, 내화 단열 벽돌, 파이버계 단열재 등의 단열재)를 포함한다. 보온재(243)를 시트 글래스(SG)의 폭 방향의 임의의 위치에 설치함으로써, 시트 글래스(SG)의 폭 방향의 임의의 위치로부터의 방열을 국소적으로 억제할 수 있다.
보온재(243)와 동일한 높이의 위치에서의 시트 글래스(SG)를 구성하는 글래스의 점도는 107.5 내지 109.67Poise의 범위에 있는 것이 바람직하다.
시트 글래스(SG)의 폭 방향에 있어서의 보온재(243)를 설치하는 위치에 대해서는, 후술한다.
보온재(243)의 형상 및 보온재(243)의 수는, 후술하는 검출 장치(290)에 의해 검출되는 오목부 및 볼록부의 위치, 오목부의 기준면으로부터의 오목량 및 볼록부의 기준면으로부터의 돌출량에 따라서, 적절히 변경된다.
서냉로(202)는 벽(203)을 갖고 있다. 벽(203)은 서냉로(202)의 시트 글래스(SG)가 반송되는 노 내부와, 외공간의 노 외부를 구획하고 있다. 서냉로(202)에는, 복수의 반송 부재[250(1), 250(2), …, 250(n)]와, 복수의 온도 조정 장치[270(1), 270(2), 270(n)]와, 복수의 구획판[260(1), 260(2), …, 260(n)]이 설치되어 있다.
서냉로(202)는 구획판[260(1)]에 의해 하부 성형로(201B)와 구획되어 있고, 서냉로(202)의 내부 공간은 구획판[260(1)] 이외의 복수의 구획판(2022, …, 202n)에 의해 높이 방향으로 복수의 공간으로 구획되어 있다. 복수의 구획판[260(1), 260(2), …, 260(n)]에 의해 구획된 각 공간에 각각 반송 부재[250(1), 250(2), …, 250(n)], 복수의 온도 조정 장치[270(1), 270(2), 270(n)]가 설치되어 있다. 구체적으로는, 구획판[260(1)] 및 구획판[260(2)]에 의해 구획된 공간에 반송 부재[250(1)] 및 온도 조정 장치[270(1)]가 설치되고, 구획판[260(2)] 및 도시하지 않은 구획판[260(3)]에 의해 구획된 공간에 반송 부재[250(2)] 및 온도 조정 장치[270(2)]가 설치되어 있다.
구획판[260(3)]과 구획판(202n) 사이도 도시되지 않는 구획판[260(4) 내지 260(n-1)]에 의해 구획되어 있고, 구획된 각 공간에 다른 도시되지 않는 반송 부재[250(4) 내지 250(n-1)] 및 온도 조정 장치[270(4) 내지 270(n-1)]가 마찬가지로 설치되어 있다. 또한, 최하부의 반송 부재(250n) 및 온도 조정 장치(270n)는 최하부의 구획판[260(n)]의 하부의 공간에 설치되어 있다.
각 반송 부재[250(1), 250(2), …, 250(n)]는 시트 글래스(SG)의 두께 방향의 양측에 설치되고, 노벽의 외부에 있어서 도시하지 않은 베어링에 의해 외팔보 지지되는 1쌍의 회전축과, 각 회전축의 선단에 설치된 1쌍의 반송 롤러를 구비한다. 각 온도 조정 장치[270(1), 270(2), …, 270(n)]는 시트 글래스(SG)의 두께 방향의 양측에 설치된 1쌍의 히터를 포함한다. 각 히터는 시트 글래스(SG)의 폭 방향으로 복수의 열원을 구비하고, 각각 가열량이 조정 가능하다. 복수의 열원은 예를 들어 크롬계 발열선 등이다.
하부 성형로(201B) 및 서냉로(202)에서는, 상기 냉각 롤러(230), 냉각 장치(240) 및 온도 조정 장치[270(1), 270(2), …, 270(n)]에 의해, 시트 글래스(SG)가, 미리 설계된 온도 프로파일에 대응한 온도 분포를 갖도록 냉각한다.
점성 영역에서는, 예를 들어, 시트 글래스(SG)의 폭 방향의 단부의 온도가 중앙 영역의 온도보다 낮고, 또한, 중앙 영역의 온도가 균일해지는 온도 프로파일(제1 프로파일)로 설계된다. 이에 의해, 폭 방향의 수축을 억제하면서, 시트 글래스(SG)의 판 두께를 균일하게 할 수 있다.
점탄성 영역에서는, 예를 들어, 시트 글래스(SG)의 온도가 중앙부로부터 단부를 향하여 폭 방향으로 점감하는 온도 프로파일(제2 프로파일)로 설계된다.
글래스 변형점의 근방 온도 영역에서는, 시트 글래스(SG)의 폭 방향의 단부의 온도와 중앙부의 온도가 대략 균일해지는 온도 프로파일로 설계된다.
상기의 설계된 온도 프로파일에 따르도록 시트 글래스(SG)의 온도를 관리함으로써, 시트 글래스(SG)의 휨 및 변형(잔류 응력)을 저감할 수 있다. 또한, 시트 글래스(SG)의 중앙 영역은, 판 두께를 균일하게 하는 대상의 부분을 포함하는 영역이며, 시트 글래스(SG)의 단부는, 제조 후에 절단되는 대상의 부분을 포함하는 영역이다.
서냉로(202)의 하부에는, 검출 장치(290)가 설치되어 있다. 검출 장치(290)는, 예를 들어, 광학식의 표면 검사 장치이며, 서냉로(202)의 하부로부터 반출되는 시트 글래스(SG)의 표면에 발생하는 오목부 및 볼록부의 폭 방향의 위치, 오목부의 기준면으로부터의 오목량 및 볼록부의 기준면으로부터의 돌출량 및 이 오목부 및 볼록부에 의한 판 두께 편차를 검출한다. 또한, 이 오목부 및 볼록부는 시트 글래스(SG)의 두께(높이)가 변동된 것이며, 시트 글래스(SG)의 반송 방향으로 줄무늬 형상으로 연속적으로 발생한다. 시트 글래스(SG)의 표면에 오목부 및 볼록부가 발생하는 것은, 성형체(210)에 공급되는 용융 글래스에 포함되는 이질 소지가 신장되는 것이나, 성형체로부터 하강하는 시트 글래스에 기류에 의한 온도 변화가 발생하는 것이 원인이다.
본 실시 형태에서는, 검출 장치(290)에 의해 검출된 판 두께 편차가, 소정의 기준값을 초과하는 경우에, 냉각재(220) 및 보온재(243)를 사용해서 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 조정한다. 오목부 또는 볼록부가 형성하는 요철 형상이 완만해지도록 조정함으로써, 디스플레이 패널에 있어서의 표시 불균일의 발생을 방지할 수 있다.
구체적으로는, 검출 장치(290)에 의해 검출된 판 두께 편차가 소정의 기준값을 초과한 경우에 있어서, 검출 장치(290)에 의해 오목부가 검출된 경우, 용융 글래스의 합류부에 있어서, 시트 글래스(SG)의 오목부가 검출된 폭 방향 위치에 냉각재(220)를 근접시킴으로써, 시트 글래스(SG)로부터의 방열을 국소적으로 촉진한다. 이에 의해, 시트 글래스(SG)의 오목부가 검출된 폭 방향 위치의 부분이 국소적으로 냉각되고, 이 부분의 글래스의 점성이 국소적으로 증가한다. 그 후, 시트 글래스(SG)의 신장을 행하면, 시트 글래스(SG)의 국소적으로 냉각된 부분은 신장하기 어려워져, 두께가 얇아지기 어려워진다.
이때의 냉각재(220)와 시트 글래스(SG)와의 거리는, 검출된 오목부의 기준면으로부터의 오목량에 의해 조절한다.
한편, 검출 장치(290)에 의해 검출된 판 두께 편차가 소정의 기준값을 초과한 경우에 있어서, 검출 장치(290)에 의해 볼록부가 검출된 경우, 도 5에 도시하는 바와 같이, 냉각 공정에 있어서, 시트 글래스(SG)의 볼록부가 검출된 폭 방향의 위치에 보온재(243)를 배치함으로써 시트 글래스(SG)의 냉각을 국소적으로 억제한다. 이에 의해, 시트 글래스(SG)의 볼록부가 검출된 폭 방향 위치의 부분 온도가 주위보다도 상대적으로 높아지고, 이 부분의 글래스의 점성이 주위보다도 상대적으로 낮아진다. 그 후, 시트 글래스(SG)의 신장을 행하면, 시트 글래스(SG)의 국소적으로 보온된 부분은 신장하기 쉬워져, 두께가 얇아지기 쉬워진다.
이때 보온재(243)의 두께나 재질, 보온재(243)와 시트 글래스(SG)와의 거리는, 검출된 볼록부의 기준면으로부터의 돌출량에 의해 조절한다.
또한, 도 6에 도시하는 바와 같이, 볼록부(C)가 검출된 폭 방향 위치의 중앙부일수록 보온재(243)와 시트 글래스(SG)와의 거리를 짧게, 볼록부(C)가 검출된 폭 방향 위치의 양단부일수록 보온재(243)와 시트 글래스(SG)와의 거리를 길게 해도 좋다.
또한, 도 7에 도시하는 바와 같이, 볼록부(C)가 검출된 폭 방향 위치의, 중앙부보다도 돌출량이 작은 양단부를 냉각재(220)보다 국소적으로 냉각해도 좋다. 이 경우, 볼록부(C)가 검출된 폭 방향 위치의 양단부의 시트 글래스(SG)가 신장되기 어려워져, 볼록부(C)가 검출된 폭 방향 위치의 양단부에 볼록부(C)보다도 돌출량이 작은 볼록부(C1, C2)(도 7에 일점쇄선으로 나타냄)가 형성된다. 이에 의해, 볼록부(C)의 폭 방향 위치의 양단부의 돌출 형상을 완만하게 할 수 있다.
시트 글래스(SG)의 폭 방향의 위치에 있어서, 급준한 오목부(폭이 좁은 오목부)가 검출된 경우, 냉각재(220)에 의해 오목부의 생성을 억제하면, 그 후, 신장을 행한 결과, 오목부의 생성을 억제한 위치의 주위가 보다 신장되어 얇아지고, 오목부의 생성을 억제한 위치가 상대적으로 두꺼워져, 약간 폭이 넓은 볼록부로서 검출될 가능성이 있다. 이 경우, 또한 그 볼록부가 검출되게 된 폭 방향의 위치에 보온재(243)를 배치함으로써 시트 글래스(SG)의 볼록부의 발생을 억제함으로써 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 미세 조정해도 좋다.
반대로, 시트 글래스(SG)의 폭 방향의 위치에 있어서, 급준한 볼록부(폭이 좁은 볼록부)가 검출된 경우, 보온재(243)에 의해 볼록부의 생성을 억제하면, 그 후, 신장을 행한 결과, 볼록부의 생성을 억제한 위치가 주위보다도 신장되어 얇아지고, 약간 폭이 넓은 오목부로서 검출될 가능성이 있다. 이 경우, 또한 그 오목부가 검출되게 된 폭 방향의 위치에 냉각재(220)를 배치함으로써 시트 글래스(SG)의 오목부의 발생을 억제함으로써 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 미세 조정해도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우에, 용융 글래스의 합류부에 있어서, 오목부가 검출된 폭 방향 위치에 냉각재를 근접시킴으로써 시트 글래스(SG)를 냉각해서 글래스의 점도를 높이고, 오목부가 검출된 폭 방향 위치에 있어서 시트 글래스(SG)를 국소적으로 신장하기 어렵게 함으로써, 두께가 얇아지기 어렵게 되므로, 오목부의 잔존을 억제할 수 있다. 한편, 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에 보온재(243)를 배치함으로써 시트 글래스(SG)의 냉각을 억제함으로써 점도를 상대적으로 낮추고, 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에 있어서 시트 글래스(SG)를 신장하기 쉽게 함으로써, 두께가 얇아지기 쉬워지므로, 볼록부의 잔존을 억제할 수 있다. 이로 인해, 오목부 및 볼록부에 의한 판 두께 편차가 기준값 이하가 되도록 조정할 수 있다.
이상, 본 발명의 글래스 기판의 제조 방법에 대해서 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 개량이나 변경을 해도 좋은 것은 물론이다.
예를 들어, 본 실시 형태에 있어서는, 상부 성형로(201A) 내에, 코일을 권취한 자성체를 포함하는 관(자성관)을 시트 글래스(SG)의 폭 방향으로 복수 배치하고, 코일에 교류 전류를 흘림으로써 와전류를 자성관으로 흘리고, 와전류에 의한 줄열에 의해 자성관을 발열시킴으로써 시트 글래스(SG)를 국소적으로 가열해도 좋다. 이 경우, 자성관에 전류를 공급하지 않을 때에는, 자성관을 본 실시 형태의 냉각재(220)로서 사용할 수 있다.
상기 실시 형태에 있어서는, 시트 글래스(SG)의 양면으로부터 냉각재(220)를 사용해서 냉각의 촉진을 하는 것에 의한 볼록부의 조정 및 보온재(243)를 사용해서 냉각의 억제를 행하는 것에 의한 오목부의 조정을 하는 경우에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 시트 글래스(SG)의 한쪽의 면에서만 오목부나 볼록부가 검출된 경우, 시트 글래스의 한쪽의 면에서만 오목부 및 볼록부의 조정을 행해도 좋다. 또한, 시트 글래스(SG)의 양면에서 오목부 및 볼록부가 검출된 경우에서도, 오목부의 기준면으로부터의 오목량 및 볼록부의 기준면으로부터의 돌출량이 보다 큰 측의 면에서 우선 오목부 및 볼록부의 조정을 행하고, 그렇게 해도 판 두께 편차가 기준값 이하가 되지 않는 경우에, 반대측의 면에서 오목부 및 볼록부의 조정을 행해도 좋다.
본 실시 형태의 글래스 기판의 제조 방법에 의해 제조되는 글래스 기판에는, 변형점이나 서냉점이 높고 양호한 치수 안정성을 갖는 무알칼리의 보로알루미노실리케이트 글래스 혹은 알칼리 미량 함유 글래스가 사용된다.
본 실시 형태가 적용되는 글래스 기판은, 예를 들어, 이하의 조성을 포함하는 무알칼리 글래스를 포함한다.
SiO2:56-65질량％
Al2O3:15-19질량％
B2O3:8-13질량％
MgO:1-3질량％
CaO:4-7질량％
SrO:1-4질량％
BaO:0-2질량％
Na2O:0-1질량％
K2O:0-1질량％
As2O3:0-1질량％
Sb2O3:0-1질량％
SnO2:0-1질량％
Fe2O3:0-1질량％
ZrO2:0-1질량％
본 실시 형태의 제조 방법에 의해 제조되는 글래스 기판은, 예를 들어, 액정 디스플레이용 글래스 기판, 유기 EL 디스플레이용 글래스 기판 등의 플랫 패널 디스플레이용 글래스 기판, 커버 글래스에 적절하게 사용된다. 그 밖의, 휴대 단말 기기 등의 디스플레이나 하우징용의 커버 글래스, 터치 패널판, 태양 전지의 글래스 기판이나 커버 글래스로서도 사용할 수 있다.
특히, 폴리실리콘 TFT를 사용한 액정 디스플레이용 글래스 기판, IGZO(인듐, 갈륨, 아연, 산소) 등의 산화물 반도체를 사용한 산화물 반도체 디스플레이용 글래스 기판 및 LTPS(저온도 폴리실리콘) 반도체를 사용한 LTPS 디스플레이용 글래스 기판에 적합하다.
100 : 용해 장치
101 : 용해조
102 : 청징조
103 : 교반조
104, 105 : 이송관
106 : 글래스 공급관
200 : 성형 장치
201 : 성형로
202 : 서냉로
210 : 성형체
212 : 홈
213 : 하방 단부
220 : 냉각재
230 : 냉각 롤러
240 : 냉각 장치
241 : 단부 냉각 유닛
242 : 중앙 냉각 유닛
243 : 보온재
244 : 냉각관
250(1), 250(2), …, 250(n) : 반송 부재
260(0) : 분위기 구획 부재
260(1), 260(2), …, 260(n) : 구획재
270(1), 270(2), 270(n) : 온도 조정 장치
290 : 검출 장치
300 : 절단 장치

Claims (9)

  1. 하부에 첨단부를 갖는 단면 쐐기 형상의 성형체의 상부로부터 오버플로우시킨 용융 글래스를 양측면을 따라서 유하시킨 후, 상기 성형체의 하방에서 용융 글래스를 합류시켜 글래스판을 성형하는 성형 공정과,
    성형된 글래스판을 하방에 반송하면서 냉각하는 냉각 공정과,
    냉각된 글래스판의 표면에 발생하는 볼록부의 글래스판의 폭 방향 위치와 함께, 상기 볼록부에 의한 글래스판의 판 두께 편차를 검출하는 검출 공정을 구비하고,
    상기 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 낮춤으로써, 상기 볼록부에 의한 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 조정하는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 냉각 공정에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 억제함으로써 점도를 낮추는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 냉각 공정에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에 보온재를 배치함으로써 글래스판의 냉각을 억제하는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 글래스판의 점도가 107.5 내지 109. 67Poise의 범위에 있는 영역에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 낮추는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검출 공정에 있어서, 냉각된 글래스판의 표면에 발생하는 오목부의 글래스판의 폭 방향 위치와 함께, 상기 오목부 및 상기 볼록부에 의한 글래스판의 판 두께 편차를 검출하고,
    상기 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우,
    상기 글래스판이 연화점보다도 높은 온도 영역에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 높임으로써, 상기 오목부 및 상기 볼록부에 의한 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 조정하는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 용융 글래스의 합류부에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 촉진함으로써 점도를 높이는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 용융 글래스의 합류부에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에 글래스판의 냉각을 촉진하는 냉각재를 근접시키는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 글래스판의 점도가 105.7 내지 107. 5Poise의 범위에 있는 영역에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 점도를 높이는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
  9. 하부에 첨단부를 갖는 단면 쐐기 형상의 성형체의 상부로부터 오버플로우시킨 용융 글래스를 양측면을 따라서 유하시킨 후, 상기 성형체의 하방에서 용융 글래스를 합류시켜 글래스판을 성형하는 성형 공정과,
    상기 성형체의 하방에 설치된 구획판에 의해 상기 성형 공정이 행해지는 공간과 구획된 공간에 있어서, 성형된 글래스판을 하방에 반송하면서 냉각하는 냉각 공정과,
    냉각된 글래스판의 표면에 발생하는 오목부 및 볼록부의 글래스판의 폭 방향 위치와 함께, 상기 오목부 및 볼록부에 의한 글래스판의 판 두께 편차를 검출하는 검출 공정을 구비하고,
    상기 판 두께 편차가 기준값보다도 높은 경우,
    상기 성형 공정에 있어서, 상기 오목부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 촉진함으로써 점도를 높임과 함께,
    상기 냉각 공정에 있어서, 상기 볼록부가 검출된 폭 방향 위치에서의 글래스판의 냉각을 억제함으로써 점도를 낮춤으로써,
    상기 오목부 및 볼록부에 의한 판 두께 편차가 상기 기준값 이하가 되도록 조정하는, 디스플레이용 글래스 기판의 제조 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180111597A (ko) * 2017-03-31 2018-10-11 에이지씨 가부시키가이샤 무알칼리 유리 기판

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107735369B (zh) * 2015-06-30 2021-06-18 安瀚视特控股株式会社 玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置
CN110366543A (zh) * 2017-02-28 2019-10-22 康宁股份有限公司 具有减小的厚度变化的玻璃制品、其制造方法及用于制造其的设备
WO2020005555A1 (en) 2018-06-28 2020-01-02 Corning Incorporated Continuous methods of making glass ribbon and as-drawn glass articles from the same
KR20220063202A (ko) * 2019-09-13 2022-05-17 코닝 인코포레이티드 가열 장치를 이용하여 유리 리본을 형성하는 시스템 및 방법
JP2022547308A (ja) 2019-09-13 2022-11-11 コーニング インコーポレイテッド ジャイロトロンマイクロ波加熱デバイスを用いてガラスリボンを形成する連続的方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2455346B1 (en) * 2009-07-13 2016-01-13 Asahi Glass Company, Limited Glass plate manufacturing method
US8141388B2 (en) * 2010-05-26 2012-03-27 Corning Incorporated Radiation collimator for infrared heating and/or cooling of a moving glass sheet
KR101850164B1 (ko) * 2010-05-26 2018-04-18 코닝 인코포레이티드 흐르는 녹은 유리 리본의 두께를 제어하는 장치 및 방법
KR101927543B1 (ko) * 2011-03-31 2018-12-10 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리판의 제조 방법
US8459062B2 (en) * 2011-09-27 2013-06-11 Corning Incorporated Apparatus and methods for producing a glass ribbon
US9290403B2 (en) * 2013-02-25 2016-03-22 Corning Incorporated Repositionable heater assemblies for glass production lines and methods of managing temperature of glass in production lines
JP5944578B2 (ja) * 2014-02-21 2016-07-05 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置
JP6396142B2 (ja) * 2014-02-21 2018-09-26 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180111597A (ko) * 2017-03-31 2018-10-11 에이지씨 가부시키가이샤 무알칼리 유리 기판

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