JP2008184335A - 無アルカリガラス基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】短辺、長辺ともに1500mm以上の無アルカリガラス基板において、常温から10℃/分の速度で昇温し、保持温度450℃で10時間保持し、10℃/分の速度で降温(図1に示す温度スケジュールで熱処理)したときに、基板内の熱収縮率絶対値の最大値と最小値の差が5ppm以内となることを特徴とする。この基板は、成形時の冷却過程において、徐冷点から(徐冷点−100℃)の温度の範囲での平均冷却速度が、板幅方向の中央部分と端部とで100℃/分以内でとなるように調節することで作製可能である。
【選択図】図3
Description
(1)ガラス中にアルカリ金属酸化物が含有されていると、熱処理中にアルカリイオンが成膜された半導体物質中に拡散し、膜の特性の劣化を招くため、実質的にアルカリ金属酸化物を含有しないこと。
(2)フォトリソグラフィ−エッチング工程で使用される酸、アルカリ等の溶液に対する耐性、すなわち耐薬品性に優れていること。
(3)成膜、アニール等の工程で、ガラス基板は高温に晒される。その際、ガラス基板の熱収縮率が小さいことが望まれる。つまり熱収縮率が大きいと、基板上に形成される回路のパターンずれが生じてしまうためである。熱収縮率を小さくするという観点から、ガラスの歪点は高い方が有利である。
(4)ガラスの溶融工程や成形工程でガラス中に異物が発生しないように、耐失透性に優れていること。特にオーバーフローダウンドロー法等のダウンドロー法によってガラスを成形する場合には、ガラスの耐失透性が重要であり、ガラス成形温度を考慮すると、その液相線温度が1200℃以下であることが要求される。
(5)液晶ディスプレイを軽量化するため、密度が低いこと。特にノート型パソコンに搭載されるガラス基板は軽量化の要求が強く、具体的には、2.50g/cm3以下であることが要求されている。
(6)表面の平坦度が高いこと。例えば液晶ディスプレイは、2枚の薄いガラス基板の間に挟まれた液晶層が、光シャッターとして働き、この層が光を遮蔽したり、透過したりすることで表示が行われる。この液晶層は、数μm〜10数μmと非常に薄い厚みに保持されている。そのため、ガラス基板の表面の平坦度、特にうねりと呼ばれるμmレベルの凹凸は、液晶層の厚み(セルギャップと呼ばれる)に影響を与えやすく、表面のうねりが大きいと、表示ムラ等の表示不良の原因となる。
Claims (11)
- 短辺、長辺ともに1500mm以上の無アルカリガラス基板において、常温から10℃/分の速度で昇温し、保持温度450℃で10時間保持し、10℃/分の速度で降温(図1に示す温度スケジュールで熱処理)したときに、基板内の熱収縮率絶対値の最大値と最小値の差が5ppm以内となることを特徴とする無アルカリガラス基板。
- 常温から10℃/分の速度で昇温し、保持温度450℃で10時間保持し、10℃/分の速度で降温したときに、基板中央部分における熱収縮率絶対値が40ppm以上となることを特徴とする請求項1の無アルカリガラス基板。
- オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることを特徴とする請求項1又は2の無アルカリガラス基板。
- 質量%でSiO2 50〜70%、Al2O3 1〜20%、B2O3 0〜15%、MgO 0〜30%、CaO 0〜30%、SrO 0〜30%、BaO 0〜30%含有することを特徴とする請求項1〜3の何れかの無アルカリガラス基板。
- ガラス原料を溶融、成形して無アルカリガラス基板を製造する方法であって、成形時の冷却過程において、徐冷点から(徐冷点−100℃)の温度の範囲での平均冷却速度が、板幅方向の中央部分と端部で100℃/分以内の差となるように調節することを特徴とする無アルカリガラス基板の製造方法。
- 有効幅が1500mm以上となるようにガラスを成形することを特徴とする請求項5の無アルカリガラス基板の製造方法。
- ガラス原料を溶融、成形して無アルカリガラス基板を製造する方法であって、成形時の冷却過程において、徐冷点から(徐冷点−100℃)の温度の範囲での平均冷却速度が、板幅方向中央部分で200℃/分以上であることを特徴とする請求項5又は6の無アルカリガラス基板の製造方法。
- ガラス原料を溶融、成形して無アルカリガラス基板を製造する方法であって、成形時の冷却過程において、徐冷点から(徐冷点−100℃)の温度の範囲での板引き速度が150cm/分以上であることを特徴とする請求項5〜7の何れかの無アルカリガラス基板の製造方法。
- オーバーフローダウンドロー法で成形することを特徴とする請求項5〜8の何れかの無アルカリガラス基板の製造方法。
- 質量%でSiO2 50〜70%、Al2O3 1〜20%、B2O3 0〜15%、MgO 0〜30%、CaO 0〜30%、SrO 0〜30%、BaO 0〜30%含有する無アルカリガラス基板を製造することを特徴とする請求項5〜9の何れかの無アルカリガラス基板の製造方法。
- 請求項5〜10の何れかの方法によって製造されてなることを特徴とする無アルカリガラス基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007001922A JP5083707B2 (ja) | 2006-01-12 | 2007-01-10 | 無アルカリガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006004984 | 2006-01-12 | ||
JP2006004984 | 2006-01-12 | ||
JP2007000014 | 2007-01-04 | ||
JP2007000014 | 2007-01-04 | ||
JP2007001922A JP5083707B2 (ja) | 2006-01-12 | 2007-01-10 | 無アルカリガラス基板の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012083710A Division JP5477782B2 (ja) | 2006-01-12 | 2012-04-02 | 無アルカリガラス基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008184335A true JP2008184335A (ja) | 2008-08-14 |
JP5083707B2 JP5083707B2 (ja) | 2012-11-28 |
Family
ID=39727609
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007001922A Active JP5083707B2 (ja) | 2006-01-12 | 2007-01-10 | 無アルカリガラス基板の製造方法 |
JP2012083710A Active JP5477782B2 (ja) | 2006-01-12 | 2012-04-02 | 無アルカリガラス基板 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012083710A Active JP5477782B2 (ja) | 2006-01-12 | 2012-04-02 | 無アルカリガラス基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5083707B2 (ja) |
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2007
- 2007-01-10 JP JP2007001922A patent/JP5083707B2/ja active Active
-
2012
- 2012-04-02 JP JP2012083710A patent/JP5477782B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5477782B2 (ja) | 2014-04-23 |
JP5083707B2 (ja) | 2012-11-28 |
JP2012136431A (ja) | 2012-07-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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