JP2001024476A - 送受切換器 - Google Patents
送受切換器Info
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
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- H03H9/566—Electric coupling means therefor
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/703—Networks using bulk acoustic wave devices
- H03H9/706—Duplexers
Abstract
換器の信頼性又はフィルタ特性の安定性が損なわれない
十分に急峻なフィルタ特性を備え、個別同調を必要とし
ない小型化された送受切換器を提供する。 【解決手段】 本発明は、第1のポート、第2のポー
ト、第3のポート、第1のポートと第3のポートとの間
に接続された第1の帯域フィルタ及び第2のポートと第
3のポートとの間に接続された直列回路を含むFBAR
ベースの送受切換器を提供する。第1の帯域フィルタに
は分路素子及び直列素子を備えた第1の梯子型回路が含
まれている。第1の梯子型回路の素子には、それぞれ薄
膜バルク音波共振器が含まれている。直列回路には、第
2の帯域フィルタと直列をなす90゜移相器が含まれて
いる。第2の帯域フィルタには分路素子及び直列素子を
備えた第2の梯子型回路が含まれている。第2の梯子型
回路の素子にはそれぞれFBARが含まれている。
Description
トである送受切換器に係り、特に、大電力無線周波回路
に用いられる電子コンポーネントである送受切換器に関
する。
の入力及び送信機の出力の両方に対して共用信号経路が
結合されている。例えば、セルラ電話又はコードレス電
話等のトランシーバの場合、受信機の入力及び送信機の
出力に対してアンテナを結合することが可能である。こ
のような構成の場合、送受切換器を用いて、共用信号経
路と受信機の入力及び送信機の出力とが結合される。送
受切換器は、必要な結合を可能にし、同時に、送信機に
よって発生した変調送信信号が、アンテナから受信機の
入力に結合して戻され、受信機に過負荷をかけるのを阻
止する。
重送受切換器である。半二重送受切換器については、ニ
ューヨークのアカデミック出版から出版されたサーフェ
イス・アコースティック・ウェーブ・デバイス・フォー
・モバイル・アンド・ワイアレス・コミュニケーション
のP253−272(SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICESFO
R MOBILE AND WIRELESS COMMUNICATION.,pp.253-272,Ac
ademic Press,New York(1988))にシー・ケー・キャンベ
ル(C.K.Campbell)氏による解説がある。半二重送受切換
器では、スイッチを利用して、時分割式に受信機又は送
信機にアンテナを接続する。半二重送受切換器は、優れ
た結合特性及び減衰特性を備えているが、双方が同時に
話す(聞く)ことができないので、電話用途に関しては
許容できない解決手法である。
態の送受切換器は、やはり、キャンベル氏による解説に
ある全二重送受切換器である。全二重送受切換器の利用
を可能にするには、送信信号が受信信号と異なる周波数
でなければならない。全二重送受切換器にはスイッチが
なく、信号の周波数に基づいて受信信号から送信信号を
分離する帯域フィルタが組み込まれている。図6は、セ
ルラ電話、パーソナル通信システム(Personal Communi
cation System;以下、PCSという)又は他の送信装
置/受信装置に用いられる従来のフロント・エンド回路
10を示すブロック図である。この場合、送信機14の
電力増幅器12の出力及び受信機18の低雑音増幅器
(Low-Noise Amplifier;以下、LNAという)16の
入力は全二重送受切換器である送受切換器20に接続さ
れる。
ポート26及びアンテナ・ポート28を備えた3ポート
装置である。アンテナ・ポート28は、帯域フィルタ3
0を介して送信ポート24に接続され、直列構成をなす
90゜移相器34及び帯域フィルタ32を介して受信ポ
ート26に接続されている。帯域フィルタ30,32の
通過帯域はそれぞれ、送信機14によって生じる送信信
号の周波数範囲及び受信機18を同調させることが可能
な受信信号の周波数範囲を中心にする。図示の場合、帯
域フィルタは、帯域フィルタ30の高周波阻止帯域が帯
域フィルタ32の通過帯域と重なり、帯域フィルタ32
の低域周波数阻止帯域が帯域フィルタ30の通過帯域に
重なるように構成されている。
0,32の要件は、極めて厳しい。帯域フィルタは、電
力増幅器12によって生じる強い送信信号からアンテナ
22によって生じる極めて弱い受信信号を分離して、こ
の受信信号を低雑音増幅器16の入力に入力する。一般
に、低雑音増幅器16の感度は、約−100dBm程度
であり、電力増幅器12は約28dBmの電力量を送受
切換器に入力することが可能である。この場合、送受切
換器は、受信ポートで受信信号と混合された残留送信信
号が低雑音増幅器に過負荷をかけるのを阻止するため、
アンテナ・ポート28と受信ポート26の間で送信信号
を約50dBだけ減衰させなければならない。
イプが、符号分割多重アクセス(Code Division Multip
le Access;以下、CDMAという)を利用するPCS
(以下、CDMA PCSという)である。CDMA
PCSについては、ニュージャージー州・ピスカタウェ
イのIEEE出版によるティー・エス・ラポール氏著の
セルラー・ラジオ・アンド・パーソナル・コミュニケー
ション第2集のP501−509(T.S.Rapport,ed.,CEL
LULAR RADIO & PERSONAL COMMUNICATIONS,VOL.2,pp.501
-509,IEEE Press,Piscataway,NJ,(1996)に解説がある。
CDMA PCS装置は、約1900MHzの周波数帯
域で動作し、送受切換器の性能に対して特に厳格な要件
を課している。送信信号及び受信信号に割り当てられた
スペクトル部分間の保護帯域は、搬送波周波数の約1
%、20MHzにすぎない。送信信号及び受信信号に割
り当てられたスペクトル部分の帯域幅は、搬送波周波数
の約3%、すなわち、60MHzである。これは、帯域
フィルタ30,32が、極めて鋭いロール・オフを備え
る必要があることを表している。図7は、送信帯域及び
受信帯域の基本構成を示す周波数に対する減衰量の特性
図である。帯域フィルタ30,32に必要とされる特性
がそれぞれ破線36及び線38で示されている。
装置は、常に、より小型に、より低コストになるように
製造されている。一般に、いくつかのスタック式プリン
ト回路基板は全パッケージ・サイズ内にPCS装置の回
路要素を収容するために用いられる。プリント回路基板
に取り付けられるコンポーネントは、小型化しなければ
ならないだけではなく、厳格な高さに関する要件を満た
さなければならない。制限された高さより高いコンポー
ネントは、プリント回路基板の間隔をさらにあけること
が必要になり、このため、実現可能な実装密度が低下す
る。また、高さの高すぎるコンポーネントは、少なくと
も1つの隣接するプリント回路基板にそれら高すぎるコ
ンポーネントを収容するホールをあける必要があり、実
装密度の低下及びアセンブリ・コストの増大の両方をも
たらすことになる。
は、その電力処理能力である。送信機14の電力増幅器
12は、送受切換器20の送信ポート24に対して1ワ
ットまでの電力を供給することが可能である。説明した
小型化が施されると、帯域フィルタ30,32は、破壊
されることなく又は使用しているうちにその特性を劣化
させることなく電力を供給できなければならない。
としてセラミック・フィルタを利用している。しかし、
このセラミック・フィルタは、約28×8×5mmとか
さばり、高さの高すぎるコンポーネントであり、高価で
ある。このようなフィルタのサンプルは、個別に同調が
行われてきたことを示し、これがこのような装置のコス
トの要因となっている。
電話及びPCS装置において送受切換器としても利用さ
れてきた。例えば、1998年の日本の仙台におけるIEE
E国際超音波シンポジウムでのオー・イケダ,エヌ・ニ
シハラ,ワイ・サトウ,エッチ・フクシマ及びエヌ・ヒ
リサワ氏らによるデザイン・オブ・アンテナ・デュプレ
クサ・ユージング・ラダー・タイプ・SAW・フィルタ
(O.Ikata,N.Nishihara,Y.Satoh,H.Fukushima,and N.Hi
risawa,A Design of Antenna Duplexer UsingLadder Ty
pe SAW Filters,PROC.1998 IEEE INTERNATIONAL ULTRAS
ONICS SYMPOSIUM,SENDAI,JAPAN,paper O-1(Oct.1998))
を参照されたい。上記CDMA用途において、十分な電
力処理能力を備えたSAWフィルタのロール・オフは、
不十分な急峻さ(steep)である。その代わり、2つのS
AWフィルタと電子スイッチとを利用しなければならな
い。フィルタの一方によって、送信帯域及び受信帯域の
上半分がカバーされ、もう一方のフィルタによって、送
信帯域及び受信帯域の下半分がカバーされる。電子スイ
ッチによって、送信帯域及び受信帯域のPCS装置が動
作している部分に基づいて、適合するフィルタが選択さ
れる。したがって、SAWフィルタをベースにした送受
切換器は、許容できないほどかさばり、複雑で、高価で
あり、さらに、送信機出力電力にサージが生じると故障
する可能性がある。
のであり、送信帯域と受信帯域との分離が動作周波数の
わずか約1%にすぎず、1ワットを超える電力レベルに
よって送受切換器の信頼性又はフィルタ特性の長期安定
性が損なわれることのないCDMA PCS装置等の用
途における利用を可能にするのに十分に急峻なフィルタ
特性を備える送受切換器を提供することを目的とする。
また、本発明のもう1つの目的は、セラミック・フィル
タ又はSAWフィルタをベースにした現行の送受切換器
よりかなり小型であって、製造コストを低く保つことが
できるように個別同調を必要としない送受切換器を提供
することも目的とする。
ト、第2のポート、第3のポート、第1のポートと第3
のポートとの間に接続された第1の帯域フィルタ及び第
2のポートと第3のポートとの間に接続された直列回路
を含むFBARベースの送受切換器を提供する。第1の
帯域フィルタには分路素子及び直列素子を備えた第1の
梯子型回路が含まれている。第1の梯子型回路の素子に
は、それぞれ薄膜バルク音波共振器(FilmBulk Acousti
c Resonator;以下、FBARという)が含まれてい
る。直列回路には、第2の帯域フィルタと直列をなす9
0゜移相器が含まれている。第2の帯域フィルタには分
路素子及び直列素子を備えた第2の梯子型回路が含まれ
ている。第2の梯子型回路の素子にはそれぞれFBAR
が含まれている。
まれるFBARは、全体として2つの異なる共振周波数
を備えることが可能である。
まれるFBARは、全体として3つ以上の異なる共振周
波数を備えることが可能である。
まれるFBARは、全て、異なる共振周波数を備えるこ
とが可能である。
さらに、それに含まれるFBARと直列をなす補助イン
ダクタを含むことが可能である。
に含まれるFBARは、全て、同じ共振周波数を備える
ことが可能であり、帯域フィルタの少なくとも1つの分
路素子に含まれるFBARは、全て、直列素子に含まれ
るFBARの共振周波数とは異なる、同一の共振周波数
を備えることが可能である。
は、分路キャパシタンスが含まれており、補助インダク
タは、第1の帯域フィルタの帯域上限、第1の帯域フィ
ルタの帯域下限、第2の帯域フィルタの帯域上限又は第
2の帯域フィルタの帯域下限に対応する周波数におい
て、分路キャパシタンスと直列共振を生じるインダクダ
ンスを備えている。
タの少なくとも1つにおける2つの分路素子に対する共
通接地接続と直列をなす補助インダクタンスを含むこと
が可能である。
列をなす第1のFBAR及び第2のFBARを含むこと
が可能である。
素子を含み、直列素子及び分路素子が接続されて梯子型
回路を形成し、素子のそれぞれにFBARが含まれてい
る帯域フィルタも得られる。
1つが、他のFBARと共振周波数が異なるFBARの
集積アレイを提供する。集積アレイには、第2の主表面
と向かい合った第1の主表面を含む圧電層が含まれてい
る。集積アレイには、さらに、圧電層の第1の主表面に
配置された第1の電極と、圧電層の第2の主表面に配置
された第2の電極が含まれている。FBARの1つは、
第2の電極の1つが第1の電極の1つと重なる位置のそ
れぞれにおいて形成される。他のFBARと共振周波数
が異なるFBARの1つを形成する電極は、他のFBA
Rを形成する他の電極と重み付き厚さ(weighted thickn
ess)が異なっている。
記載がある。例えば、本発明の譲受人に譲渡された米国
特許第5,587,620号公報(本明細書において援
用する)には、FBARの記載がある。図1(a)は、
FBAR50を示す断面図である。
ェル54の上に、その周縁で吊られた(suspend)圧電層
52を備えて構成される。圧電素子のウェルの上に重な
る部分の対向表面には、電極58,60が配置されてい
る。電極58,60には、それぞれ、端子66,68を
介して電気的接続が施される。圧電層52及び電極5
8,60は、圧電共振器スタック62を形成している。
圧電共振器スタックは、電極間に印加される電圧の大き
さ及び方向に応答して、矢印64で表示される方向に伸
張及び収縮する。
成される圧電共振器スタック62は、その周縁で吊られ
ており、その主表面が両方とも空気、他の周囲ガス又は
真空と接している場合、圧電共振器スタックはQの高い
音波共振器を形成する。端子66,68を介して電極5
8,60に加えられる交流信号は、圧電共振器スタック
における音速をスタックの重み付き厚さの2倍で割った
値に等しい周波数を備えている。すなわち、fr=c/
2t0(ここで、frは共振周波数であり、cはスタック
内における音速であり、t0はスタックの重み付き厚さ
である)の場合、その信号によって、圧電共振器スタッ
クが共振する。圧電共振器スタックの共振周波数は、ス
タックを構成する材料内における音速がそれぞれに異な
るため、物理的厚さではなく、重み付き厚さによって決
まる。
50の例の場合、基板56は単結晶シリコンのウェーハ
であり、圧電層52は厚さが約2μmの窒化アルミニウ
ム(AIN)の層であり、電極58,60は厚さが約
0.1μmのモリブデンの層である。この薄膜におい
て、電極は圧電共振器スタック62の質量のかなりの部
分を構成するので、モリブデンは電極に関して望ましい
材料である。したがって、電極材料の音響特性は圧電共
振器スタックのQにかなりの影響を与える。金及びアル
ミニウム等の一般的な電極材料に比べて、モリブデンは
優れた音響特性を備えており、材質がモリブデンの電極
によってFBAR50は他の材料の電極よりも高いQを
有することが可能になる。FBARの構造及び製作に関
するさらなる詳細については、上記特許公報及び本発明
の譲受人に譲渡された米国特許出願第09/088,9
64号公報(本明細書において援用する)に開示されて
いる。
示す回路図である。主リアクタンス成分は、電極58,
60及び圧電層52によって形成されるコンデンサのキ
ャパシタンスである分路キャパシタンスCpである。圧
電層は分路コンデンサCpの誘電体である。抵抗器R
pは、分路キャパシタンスCpの直列抵抗を表している。
インダクタンスLM及びキャパシタンスCMは、圧電共振
器スタック62のインダクタンス及びキャパシタンスを
表している。抵抗器RMは、圧電共振器スタックの損失
を表している。抵抗器RSは、端子66,68と圧電共
振器スタック62との間における接続の直列電気抵抗を
表している。
において測定されるインピーダンス|Z|係数と周波数
との関係を示す特性図である。周波数が増加するにつれ
て、インピーダンスは分路キャパシタンスCpのインピ
ーダンス降下のために漸次降下する。インピーダンス
は、最終的には、機械的インダクタンスLMと機械的キ
ャパシタンスCMとの間の直列共振周波数で最低値に到
達する。その後、インピーダンスは急激に上昇し、機械
的インダクタンスLM及び直列に組み合わせられた機械
的キャパシタンスCMと分路キャパシタンスCpとの間の
並列共振周波数で最高値に到達する。分路キャパシタン
スは機械的キャパシタンスの約20倍であるため、直列
共振と並列共振との周波数差は小さい。周波数が並列共
振周波数を超えると、インピーダンスは急峻な降下を示
す。この開示においてFBARの共振周波数に言及する
場合、別段の記述のない限り、FBARの並列共振周波
数について言及したものと解釈すべきである。
信FBARアレイ102及び受信FBARアレイ104
を組み込んだ送受切換器を示す回路図である。送受切換
器100は、CDMA PCS装置に用いるのに適した
送信ポート124、受信ポート126及びアンテナ・ポ
ート128を含む3ポート装置である。送受切換器は、
90゜移相器134、送信FBARアレイ102を含む
送信帯域フィルタ130及び受信FBARアレイ104
を含む受信帯域フィルタ132を備えて構成されてい
る。送信ポート124は、送信帯域フィルタ130を介
してアンテナ・ポート128に接続されている。アンテ
ナ・ポート128は、直列構成をなす90゜移相器13
4及び受信帯域フィルタ132を介して、受信ポート1
26に接続されている。
信装置に用いられる場合、図2に示す回路と同様の回路
構成において、送受切換器100のアンテナ・ポート1
28はアンテナ(図示せず)に接続され、送信ポート1
24は送信機(図示せず)の出力に接続され、受信ポー
ト126は受信機(図示せず)の入力に接続される。帯
域フィルタ130及び132の通過帯域は、それぞれ、
送信機によって生じる送信信号の周波数範囲及び受信機
を同調させることが可能な受信信号の周波数範囲を中心
にする。図示の例の場合、送信及び受信帯域フィルタ1
30及び132は、送信FBARアレイ102を含む送
信帯域フィルタ130の高周波阻止帯域が、受信FBA
Rアレイ104を含む受信帯域フィルタ132の通過帯
域と重なり、受信帯域フィルタ132の低域周波数阻止
帯域が、送信帯域フィルタ130の通過帯域に重なるよ
うに構成されている。
いて説明する。送信帯域フィルタは、送信FBARアレ
イ102を備えて構成されている。送信FBARアレイ
102は、梯子型回路を形成するように接続された直列
FBAR101,103,105と分路FBAR10
7,109とを備えて構成されている。直列FBARは
送信ポート124とアンテナ・ポート128との間に直
列に接続されており、分路FBAR107は、アースと
直列FBAR103及び直列FBAR105の間のノー
ドとの間に接続されている。したがって、図示の例の場
合、FBAR101,103,105,107,109
は、21/2段の梯子型回路を形成している。しかし、梯
子型回路における段数は、本発明にとって重要なもので
はない。FBARアレイ102において、1つの直列F
BARと1つの分路FBARとでそれぞれ構成される全
段の数及び1つの直列FBAR又は1つの分路FBAR
でそれぞれ構成される半段の数は、送信帯域フィルタ1
30の所望のフィルタ特性及び送信FBARアレイ10
2を構成する個々のFBARの特性によって決まる。例
えば、好適には、送信帯域フィルタはFBAR105の
ない2段フィルタである。
いて説明する。受信帯域フィルタ132は、受信FBA
Rアレイ104を備えて構成されている。受信FBAR
アレイ104は、梯子型回路を形成するように接続され
た直列FBAR111,113,115と分路FBAR
121,123,125,127とを備えて構成されて
いる。直列FBARは、アンテナ・ポート128から遠
隔の90゜移相器134の端部と受信ポート126との
間に直列に接続されている。分路FBAR121は、ア
ースと直列FBAR111及びアンテナ・ポート128
から遠隔の90゜移相器134の端部の間のノードとの
間に接続されている。分路FBAR123はアースと直
列FBAR111及び直列FBAR113間のノードと
の間に接続されており、分路FBAR125はアースと
直列FBAR113及び直列FBAR115間のノード
との間に接続されており、分路FBAR127はアース
と直列FBAR115及び受信ポート126の間のノー
ドとの間に接続されている。したがって、図示の例の場
合、FBAR111,113,115,121,12
3,125,127は、31/2段の梯子型回路を形成し
ている。しかし、梯子型回路における段数は本発明にと
って重要なものではない。必要とされる全段の数及び半
段の数は受信帯域フィルタ132の所望のフィルタ特性
及び受信FBARアレイ104を構成する個々のFBA
Rの特性によって決まる。
た回路は当該技術において周知である。例えば、90゜
移相器134は、集中インダクタ及びコンデンサ又はλ
/4伝送ラインを備えて構成することが可能である。
信帯域フィルタ132の所望のフィルタ特性が得られる
ようにFBARアレイ102及び104の設計を行うた
め、発明者は、カリフォルニア州・ウェストレイク・ビ
レッジのHP EEsofCorp.によって販売され
ているマイクロウェーブ・デザイン・システム(MD
S)(Microwave Design System(MDS),release 7.0(199
6))と呼ばれる市販のマイクロ波設計シミュレータを利
用した。各FBARアレイの個々のFBARは、図1
(b)に示す修正されたバターワース−バン・ダイク回
路(Butterworth-VanDyke circuit)を用いてモデル化さ
れた。この設計シミュレータは、面積を最適化し、FB
ARアレイ102,104のそれぞれにおけるFBAR
の必要とされる共振周波数を計算するために利用され
た。発明者は、物理的シミュレータを用いて各FBAR
の圧電共振器スタック(図1(a)に符号62で示す)
をモデル化し、圧電共振器スタックを構成する層の物理
的特性を明らかにし、必要とされる共振周波数を実現す
る、各FBARを構成する圧電共振スタック層の厚さを
計算した。このシミュレータについては、マサチューセ
ッツ州ケンブリッジのマスソフト・インク(Mathsoft,In
c.)によって販売されているマス・キャド8(Math
cad 8)に記載があり、1964年にニューヨーク
州のアカデミック出版から出版された「フィジカル・ア
コースティック・プリンシパル・アンド・メソッド 第
1.1A集」 (PHYSICAL ACOUSTICS PRINCIPLES AND ME
THODS,Vol.1A,pp.239-247,Academic Press,New York(19
64))においてダブリュ・ピー・マソン(W.P.Mas
on)氏によって解説されたモデルをベースにしたもの
である。
の送信帯域フィルタ130の所望のフィルタ特性が得る
ため、送信FBARアレイ102を構成する直列FBA
R101〜105は全て同じ共振周波数を備えることが
可能であり、分路FBAR107及び109は両方とも
同じ共振周波数を備えることが可能である。しかし、直
列FBARの共振周波数は分路FBARの共振周波数よ
り約3%高い。
え、全ての分路FBARが直列FBARの共振周波数と
は異なる、同一共振周波数を備えている送信FBARア
レイ102によって得られるフィルタ特性とは異なる送
信帯域フィルタ130のフィルタ特性が用途によっては
必要になる場合もある。この場合、送信FBARアレイ
は全体として2つ以上の異なる共振周波数を有するFB
ARを備えて構成することが可能である。
ARアレイ104は、全て同じ共振周波数を備える直列
FBARと、全て直列FBARの共振周波数とは異な
る、同一共振周波数を備える分路FBARとを備えて構
成することも可能である。しかし、CDMA PCS装
置の送受切換器100の場合、受信帯域フィルタ132
は、受信ポート126における受信信号と混合される残
留送信信号によって、受信ポートに接続された受信機の
高感度で低雑音の増幅器に過負荷が加えられることがな
いほどの低レベルまで、アンテナ・ポート128におけ
る送信信号を減衰させることが必要になる。したがっ
て、受信帯域フィルタ132の送信信号除波要件は、送
信帯域フィルタ130の受信信号除波要件よりもかなり
厳しいものになる。今日のFBAR製作技術を利用する
と、直列FBARが全て同じ共振周波数を備え、分路F
BARが全て直列FBARの共振周波数とは異なる同じ
共振周波数を備える受信FBARアレイ104の実施態
様に関する除波要件を満たすのは困難である。
MA PSC装置の受信帯域フィルタ132が所望のフ
ィルタ特性が得られるようにするために、全ての分路F
BARが、同じ共振周波数を備えるわけではないが、直
列FBARは全て同じ共振周波数を備えることが可能で
ある。換言すれば、受信FBARアレイを構成するFB
ARは、全体として3つ以上の異なる共振周波数を備え
ることが望ましい。場合によっては、受信FBARアレ
イを構成するFBARが全て異なる共振周波数を備える
ことも可能である。
4の直列FBAR111,113,115の共振周波数
は、後述するように、送信帯域フィルタ130及び受信
帯域フィルタ132の特性をインターリーブするため、
送信FBARアレイ102の直列FBAR101,10
3,105の共振周波数よりも約80MHz高い。
れたいくつかの相互接続FBARを備える集積FBAR
アレイが製造されている。送信FBARアレイ102及
び受信FBARアレイ104として、このような集積F
BARアレイを用いることによって、極めて小さい送受
切換器100の製作が具体化可能になる。図3(a)及
び図3(b)は、FBARアレイ102及び104に必
要とされるような梯子型回路を形成するように相互接続
された6つのFBAR72,73,74,75,76,
77を備えて構成されるFBARアレイ70を示す構造
図である。図1(a)に示す単一FBAR50と同様
に、圧電層78がシリコン基板82上に形成されたウェ
ル80の上に、その周縁で吊られている。電極83,8
4,85,86,87が圧電層表面の基板から遠隔の部
分に配置されている。図3(a)に破線で示された電極
88及び電極89が、圧電層表面の基板に面した部分に
配置されている。FBARは圧電層の両側表面の電極が
重なるところに形成される。例えば、FBAR72は電
極83及び電極88が重なるところに形成されている。
する好適な代替案として、基板にFBAR72〜77の
それぞれに1つずつの複数ウェルを形成すると、FBA
Rはそれぞれ個々のウェルの上に吊られることになる。
FBARのそれぞれに個別のウェルを設けることによっ
て、FBARのQが高くなり、信頼性が向上する。
線で示されている。図3に示すFBARの輪郭形状は、
図面を単純化するためにかなり様式化されている。本開
示の譲受人に譲渡され、参考のために本明細書に組み込
まれている米国特許出願第09/282,082号公報
に記載されているように、実際のFBARは、形状が不
規則であり、長さの異なる非平行側面を備えている。不
規則な形状と、長さの異なる非平行側面のため、別様で
あれば、FBARの周波数応答を劣化させることになる
スプリアス横方向共振の発生が減少する。さらに、FB
ARアレイ70を構成するFBARは、一般に、面積が
異なっている。
シリコン基板上に製作される集積FBARアレイを用い
て、それぞれ送受切換器100のFBARアレイ102
及び104を得ることが可能である。
104を構成する個別FBARの特性は、圧電層の厚さ
並びにFBARの電極の面積及び厚さによって決まる。
例えば、集積FBARアレイ70の場合、FBAR72
の特性は、圧電層78の厚さ、電極83と電極88との
間における重なり面積及び電極83及び電極88の厚さ
によって決まる。
は、共通圧電層78を共用しているので、アレイ内にお
けるFBARのそれぞれの共振周波数は、FBARの電
極の少なくとも1つの厚さを決めることによって設定さ
れる。
えており、そして、全ての分路FBARが同じ共振周波
数を備えかつその共振周波数が直列FBARの共振周波
数とは異なる、FBARアレイ102及び104の実施
態様として用いられる集積FBARアレイ70の実施態
様では、少なくとも1つの電極が分路FBARの対応す
る電極よりも厚くなるように分路FBARを製作するこ
とによって、分路FBARの共振周波数が直列FBAR
の共振周波数に対して低下する。全ての直列FBARが
同じ共振周波数を備え、そして、全ての分路FBARが
同じ共振周波数を備えかつその共振周波数が直列FBA
Rの共振周波数とは異なる、集積FBARアレイの製作
に必要とされるプロセスは、全てのFBARが同じ共振
周波数を備える集積FBARアレイの製作に必要とされ
るプロセスよりもほんの少し複雑である。
S装置の送受切換器に用いられる受信FBARアレイ1
04の実施態様のように、3つ以上の共振周波数を備え
るFBARアレイ102及び104の実施態様に用いら
れるFBARアレイ70の実施態様では、FBARの電
極は異なる共振周波数の数に対応する数の異なる厚さを
備えている。今日の集積FBARアレイ製作技術を用い
て、電極が全体として3つ以上の異なる厚さを備え、ア
レイにおけるFBARの数に対応する数の厚さを備える
ことが可能な、CDMA PCS装置の送受切換器にお
ける受信FBARアレイ104として用いられる集積F
BARアレイの実施態様を製作することは困難である。
しかし、このようにして受信FBARアレイを製作する
と、送受切換器100は、2つのFBARアレイ102
及び104と90゜移相器134だけから構成されるの
で、送受切換器100のサイズが最小限に抑えられる。
図4は、本発明の第2の実施形態に係る送受切換器を示
す回路図である。本実施形態は、図2に示す実施形態に
比較すると、幾分大きいが、その受信FBARアレイ2
04は、今日の集積FBARアレイ製作技術を用いて製
作するのが容易であり、コストも低い。送受切換器20
0は、CDMA PCS装置の送受切換器としての利用
に適したものにするフィルタ特性を備えているが、送信
FBARアレイ202及び受信FBARアレイ204
は、両方とも、全てが同じ共振周波数を備える直列FB
ARと、全てが、直列FBARの共振周波数とは異な
る、同じ共振周波数を備える分路FBARとを備えてそ
れぞれ構成されている。これによって、FBARが全体
として2つの共振周波数だけしか備えていない集積FB
ARを、FBARアレイ202及び204のそれぞれと
して用いることが可能になる。こうした集積FBARア
レイは、FBARの全てが同じ共振周波数を備えている
FBARアレイを製作するためのプロセスと比べて、複
雑さがほとんど変わらないプロセスによって製作するこ
とが可能である。図2及び図4と重複する部分には同一
の符号を付して説明を省略する。
受信ポート126及びアンテナ・ポート128を備えた
3ポート装置であり、90゜移相器134、送信FBA
Rアレイ202を有する送信帯域フィルタ230及び受
信FBARアレイ204を含む受信帯域フィルタ232
を備えて構成されている。送信ポート124は、送信帯
域フィルタを介してアンテナ・ポート128に接続され
ている。アンテナ・ポート128は、直列構成をなす9
0゜移相器及び受信帯域フィルタを介して受信ポート1
26に接続されている。
信装置に用いられる場合、図2に示すものと同様の回路
構成において、送受切換器200のアンテナ・ポート1
28はアンテナ(図示せず)に接続され、送信ポート1
24は送信機(図示せず)の出力に接続され、受信ポー
ト126は、受信機(図示せず)の入力に接続される。
帯域フィルタ230及び232の通過帯域は、それぞ
れ、送信機によって生じる送信信号の周波数範囲及び受
信機を同調させることが可能な受信信号の周波数範囲を
中心にする。図示の例の場合、帯域フィルタ230及び
232は、送信帯域フィルタ230の高周波阻止帯域
が、受信帯域フィルタ232の通過帯域と重なり、受信
帯域フィルタの低周波阻止帯域が、送信帯域フィルタの
通過帯域と重なるように構成されている。
明する。受信帯域フィルタは、受信FBARアレイ20
4、直列補助インダクタ241,243及び分路補助イ
ンダクタ231,233,235,237を備えて構成
されている。受信FBARアレイは、梯子型回路を形成
するように接続された直列FBAR211,213,2
15と、分路FBAR221,223,225,227
とを備えて構成されている。直列補助インダクタ24
1、直列FBAR211,213,215及び直列補助
インダクタ243は、アンテナ・ポート128から遠隔
の90゜移相器134の端部と受信ポート126との間
に直列に接続されている。分路FBAR221及び分路
補助インダクタ231は、アースと直列補助インダクタ
141及び直列FBAR211間のノードとの間に直列
に接続されている。分路FBAR223及び分路補助イ
ンダクタ233は、アースと直列FBAR211及び2
13間のノードとの間に直列に接続されている。分路F
BAR225及び分路補助インダクタ235は、アース
と直列FBAR213及び215間のノードとの間に直
列に接続されている。分路FBAR227及び分路補助
インダクタ237は、アースと直列FBAR215及び
直列補助インダクタ243間のノードとの間に直列に接
続されている。したがって、図4の場合、FBAR及び
補助インダクタは、31/2段梯子型回路をなすように接
続されている。しかし、梯子型回路の段数は、本発明に
とって重要ではない。必要とされる全段の数及び半段の
数は、受信帯域フィルタ232の所望のフィルタ特性、
受信FBARアレイ204を構成する個別FBARの特
性及び補助インダクタの特性によって決まる。
R211,213,215は、全て同じ共振周波数を備
え、分路FBAR221,223,225,227は、
全て同じ共振周波数を備えている。図4の場合、直列F
BARの共振周波数は、分路FBARの共振周波数より
約3%高い。図3(a)及び図3(b)に示す集積FB
ARアレイ70と同様の集積FBARアレイが、FBA
R204として用いられる場合、共振周波数の差は、そ
れらの質量を増加させるために分路FBARの電極だけ
に追加金属を堆積させる追加ステップによって得られ
る。
FBAR211,213,215の1つに接続されない
分路FBAR221,223,225,227の電極
は、まとめて共通端子に接続されるのではなく、独立し
た端子に接続される。独立した端子によって、分路補助
インダクタ231,233,235,237は、それぞ
れ、分路FBAR221,223,225,227と直
列に接続することが可能になる。
ターワース−バン・ダイク等価回路を検査することによ
って分かるように、補助インダクタをFBARの端子の
1つに直列に接続することによって、補助インダクタは
FBARの機械的インダクタンスLM及び分路キャパシ
タンスCpの両方に対して直列になる。各補助インダク
タンスには2つの主たる効果、すなわち、FBARの直
列共振周波数をわずかに低下させる効果と、追加直列共
振を生じさせる効果がある。補助インダクタンスはFB
ARの並列共振周波数に対してごくわずかな影響しか及
ぼさない。
237を用いて、受信帯域フィルタ232を構成するF
BAR221,223,225,227の直列共振周波
数を異なる量ずつ低下させると、FBARアレイ204
における全ての直列FBARが、同じ共振周波数を備
え、FBARアレイにおける全ての分路FBARが、同
じ共振周波数を備えるという制約条件にもかかわらず、
理想の周波数特性を備えた受信帯域フィルタが得られ
る。
路キャパシタンスCpとの間に生じる。各追加直列共振
によって、受信帯域フィルタの周波数応答にゼロが追加
される(additional null)。補助インダクタンスの値
は、追加共振周波数を設定し、下記の周波数領域の1つ
にゼロを追加するように企図されている:送信帯域の低
周波数端、送信帯域と受信帯域のクロスオーバ領域及び
受信帯域の高周波数端。受信帯域フィルタの周波数応答
にゼロを追加することによって、実際の実施態様は、送
信周波数範囲において部分的に50dBを超える減衰を
生じさせることが可能になる。この減衰量は、これま
で、本発明による帯域フィルタと同等のサイズを備えた
帯域フィルタを用いて実現されることはなかった。
0をモデル化し、FBARアレイ204を構成するFB
ARが、2つの異なる共振周波数だけしか備えていない
にもかかわらず、受信帯域フィルタ232にその所望の
フィルタ特性を提供する補助インダクタ231,23
3,235,237,241,243の値を決定するた
めに利用される。図4の場合、補助インダクタのインダ
クタンスは、2〜5nHの範囲内である。これは、約8
0nHであるFBARの機械的インダクタンスL Mに比
べて小さい。したがって、補助インダクタとして比較的
質の劣るインダクタを利用しても、FBARの直列共振
のQが大幅に劣化することはない。
233,235,237のそれぞれのインダクタンス
は、FBARアレイ204のパッケージのそれぞれのボ
ンディング・ワイヤのインダクタンス、個別チップ・イ
ンダクタのインダクタンス及びFBARアレイ202及
びFBARアレイ204が送受切換器200を形成する
ように取り付けられたプリント回路基板の導電性トレー
スのインダクタンスとを直列に組み合わせることによっ
て得られた。導電性トレースは、パッケージのピンを個
別インダクタに接続し、個別インダクタをアースに接続
するトレースであった。さらに、FBARアレイ204
のパッケージのボンディング・ワイヤに関するインダク
タンスは、直列補助インダクタンス241及び243の
少なくとも一部において得られた。
アレイ204の直列FBAR211,213,215の
共振周波数は、上記の送信帯域フィルタ130及び受信
帯域フィルタ132の特性をインターリーブするため、
送信FBARアレイ102の直列FBAR101,10
3,105の共振周波数より約80MHz高い。
32に、補助インダクタ231,233,235,23
7,241,243の全てが含まれている必要はない。
こうした用途の場合、図2に示す第1の実施形態のよう
に、分路FBARの少なくとも1つが直接アースに接続
される構成によって、許容可能なフィルタ特性を得るこ
とが可能である。
明する。送信帯域フィルタの所望のフィルタ特性を満た
すのに十分な高さのQを備えたFBARが利用可能であ
れば、送信帯域フィルタ230として、図2に示す送信
帯域フィルタ130と同じ帯域フィルタを利用すること
が可能になる。十分な高さのQを備えたFBARが利用
できない場合、あるいは、送信帯域フィルタのフィルタ
特性に関してより大きい安全余裕度が必要とされる場
合、送信帯域フィルタとして、図4に示すような分路補
助インダクタを含む構成を利用することが可能である。
送信FBARアレイは、梯子型回路を形成するように接
続された直列FBAR201,203,205と分路F
BAR207,209とを備えて構成されている。直列
FBAR201,203,205は、送信ポート124
とアンテナ・ポート128との間に直列に接続される。
分路FBAR207及び分路補助インダクタ241は、
アースと直列FBAR201及び203間のノードとの
間に直列に接続される。分路FBAR209及び分路補
助インダクタ243は、アースと直列FBAR203及
び205間のノードとの間に直列に接続される。したが
って、図4の場合、FBAR及び補助インダクタを接続
することによって、21/2段梯子型回路が得られる。
ける段数は、本発明にとって重要ではない。必要とされ
る全段の数及び半段の数は、送信帯域フィルタの所望の
フィルタ特性、受信FBARアレイ202を構成する個
々のFBARの特性及び補助インダクタの特性によって
決まる。好適には、送信フィルタは直列FBAR205
のない2段梯子型回路を備えて構成される。
対する補助インダクタの影響は、送信アレイのフィルタ
特性に対する補助インダクタの上記の影響に相当するた
め、詳細な説明は控えることにする。
の分路FBAR207及び209のそれぞれとの直列接
続の代替案として、単一補助インダクタンスと分路FB
AR107及び109の共通アース経路245を直列に
することも可能である。説明した単一補助インダクタン
スを接続することによって、送信帯域フィルタの帯域よ
り高い成分の除波が向上し、帯域より低い成分の除波が
劣化する。図4に示すように、補助インダクタと両方の
分路FBARが直列に接続されると、帯域より高い成分
と帯域より低い成分の除波が両方とも向上する。
プの実施態様では、送信ポート124とアンテナ・ポー
ト128との間の挿入損失が、送信帯域の大部分にわた
って3dB未満であった。送信ポート124から受信ポ
ート126までの分離は、送信帯域の大部分にわたって
50dBを超え、受信帯域にわたって46dBを超え
た。
ルタ230及び232は、送信帯域にわたって2ワット
C.W.の電力処理能力を一貫して備えている。
ースにした送受切換器は、(A Miniaturized Dielectric
Monoblock Duplexer for 1.9 GHz Band PCS Tlelephon
e System,96 IEICE,no.349(CPMG 960103),pp55-60(199
6))において、ティー・オカダ氏,ティー・ツジグチ氏
及びエッチ・マツモト氏(T.Okada,T.Tsujiguchi,and H.
Matumoto)によって解説されたCDMA PCS の19
00MHzセラミック共振器による送受切換器の仕様の
多くに合致するか、又は、それを超える。プロトタイプ
のFBARをベースにした送受切換器のパッケージ寸法
は、約8mm×5mm×2mmであり、したがって、プ
ロトタイプのFBARをベースにした送受切換器の体積
は、上記セラミック送受切換器の約1/14になる。よ
り重要なことは、プロトタイプのFBARをベースにし
た送受切換器の高さが、セラミック送受切換器の約1/
3になるので、FBARをベースにした送受切換器は、
もはやプリント回路基板において最も高さの高いコンポ
ーネントではないという点である。これは、PCS装
置、セルラ電話又はコードレス電話の送受器のような薄
い形状係数の用途において有利である。
タイプのFBARをベースにした送受切換器とほぼ同じ
サイズを備えているが、SAW技術では、まだ、CDM
APCSの20MHz保護帯域のロール・オフ要件を満
たすのに必要な電力処理能力及び高いQが実現されてい
ない。したがって、上記のように、必要な特性を得るた
めには、2つ以上のSAWフィルタを利用しなければな
らない。このため、送受切換器の体積がそれに比例して
増大せざるを得なくなる。
では、それぞれのFBARアレイを構成するFBARの
面積によって、送受切換器の特性インピーダンスが決ま
る。送受切換器の特性インピーダンスは、アンテナの特
性インピーダンスと整合しなければならない。アンテナ
の特性インピーダンスは、一般に50Ωである。50Ω
の特性インピーダンスに合わせて受信FBARアレイ2
04を設計することによって、受信ポート126に隣接
した分路FBAR227のサイズが、分路FBAR22
3及び225よりかなり小さくなり、90゜位相器13
4に隣接した分路FBAR221のサイズが、分路22
3及び225より小さくなる。分路FBAR227は、
そのサイズが小さくなることによって、Qが残りのFB
ARよりもかなり低くなる。FBAR227のQが低下
すると、受信帯域フィルタ232のフィルタ特性が劣化
する。
受切換器300を示す回路図である。本実施形態の場
合、受信帯域フィルタ332は、50Ωの特性インピー
ダンスを備えているが、受信FBARアレイ304の分
路FBAR337は、サイズ及びQが分路FBAR23
3及び235と同等の構成要素を備えて構成されてい
る。図3及び図4に示す送受切換器の構成要素に対応す
る図5に示す送受切換器300の構成要素は、同じ参照
番号を用いて表示されており、ここでは再度の説明を省
略する。
ンスは、FBAR227とほぼ同じに保たれ、Qは、単
一FBARの約2倍の面積を備える2つのFBAR35
1及び353の直列構成を利用して改善されている。し
たがって、FBAR351及び353は、面積がFBA
R223及び225の2倍であり、Qはもっと高くな
る。結果として、第3の実施形態である50Ωの特性イ
ンピーダンスを備えた送受切換器300は、第2の実施
形態である50Ωの特性インピーダンスを備えた送受切
換器200よりも優れたフィルタ特性を備える。また、
FBAR351及び353の直列構成は、単一FBAR
227の4倍の電力に耐える。
る改善は、単一小面積FBARではなく、直列構成をな
す2つのFBAR355及び357をFBAR321と
して用いることによって達成するのが望ましい。
3とFBAR355及び357とは、上記のように面積
が等しいが、これは、本発明にとって重要ではない。直
列に接続されたFBARによって必要なインピーダンス
が得られる場合には、FBAR351及び353は、異
なる面積にすることが可能である。しかし、FBARの
面積が等しい場合、最高のQが得られる。さらに、それ
ぞれ直列に接続された3つのFBARによって置き換え
られる単一FBARのほぼ3倍の面積を備える、直列に
接続された3つのFBARを用いることによって、Qを
さらに高めることが可能である。
又は両方の物理的厚さを決めることによって、個別FB
AR又はFBARグループの共振周波数が設定される集
積FBARアレイによって実施される実施形態につい
て、本発明の説明を行ってきたが、これは本発明にとっ
て重要ではない。上記のように、FBARの共振周波数
は、その圧電共振器スタックの重み付き厚さによって決
まる。スタックの異なる材料によって音速がそれぞれ異
なるため、圧電共振器スタックの重み付き厚さは、スタ
ックの物理的厚さとは異なる。圧電共振器スタックの重
み付き厚さと同様の概念の重み付き厚さをFBARの電
極に割り当てることが可能である。電極材料における音
速を考慮に入れるため、電極の重み付き厚さは電極の物
理的厚さとは異なる。FBARの電極の一方又は両方の
重み付き厚さを変更すると、FBARの圧電共振器スタ
ックの重み付き厚さ、したがって、FBARの共振周波
数が変化する。上記のように、電極の物理的厚さを変更
するか、電極材料を音速の異なる材料に変更するか、又
は電極の厚さ及び電極材料の両方を変更することによっ
て電極の重み付き厚さを変更することが可能である。し
たがって、例えば、FBARアレイ202の分路FBA
Rを構成する集積FBARアレイ70のFBARは、全
て同じ厚さを備えることが可能であり、FBARアレイ
202の分路FBARを構成する集積FBARアレイ7
0のFBARの電極は、全て、直列FBARの厚さを超
える厚さでありかつ同じ厚さを備えることが可能であ
る。代替として、FBARアレイ202の直列FBAR
を構成する集積FBAR70のFBARの電極及びFB
ARアレイ202の分路FBARを構成する集積FBA
R70のFBARの電極を、同様の厚さの異なる電極材
料から製作することによって、同様の結果を得ることが
可能である。直列FBARの電極の電極材料における音
速は、分路FBARの電極の電極材料における音速より
も低くなるであろう。
施形態が明らかにされたが、本発明は、開示された実施
形態に制限されるものではなく、付属の請求項において
定義された本発明の範囲内においてさまざまな修正を施
すことが可能である。
3のポートと、前記第1のポートと前記第3のポートと
の間に接続され、分路素子及び直列素子を備えた第1の
梯子型回路を含んでおり、前記素子のそれぞれに薄膜バ
ルク音波共振器(FBAR)が含まれている第1の帯域
フィルタと、前記第2のポートと前記第3のポートとの
間に接続され、第2の帯域フィルタと直列をなす90゜
移相器を備える直列回路と、を備え、前記第2の帯域フ
ィルタは、分路素子及び直列素子を備え、前記素子のそ
れぞれが薄膜バルク音波共振器(FBAR)を有する第
2の梯子型回路を備える送受切換器。
を備え、前記第1の帯域フィルタの前記直列素子に含ま
れる前記FBARが、全て、同じ共振周波数を備え、前
記第1の帯域フィルタの前記分路素子に含まれる前記F
BARが、全て、前記直列素子に含まれる前記FBAR
の前記共振周波数とは異なる、同じ共振周波数を備える
上記1記載の送受切換器。
に含まれる前記FBARが、全体として、2つの異なる
共振周波数を備える上記2記載の送受切換器。
に含まれる前記FBARが、全体として、3つ以上の異
なる共振周波数を備える上記2記載の送受切換器。
に含まれる前記FBARが、全て、異なる共振周波数を
備える上記2記載の送受切換器。
くとも1つに、さらにFBARと直列をなす補助インダ
クタが含まれる上記2記載の送受切換器。
素子に含まれる前記FBARが、全て、同じ共振周波数
を備え、前記第2の帯域フィルタの前記分路素子に含ま
れる前記FBARが、全て、前記第2の帯域フィルタの
前記直列素子に含まれる前記FBARの前記共振周波数
とは異なる、同じ共振周波数を備える上記6記載の送受
切換器。
2の帯域フィルタが、それぞれ、帯域上限と帯域下限と
を備えており、前記第1の帯域フィルタの前記帯域上限
及び前記帯域下限の一方が、前記第2の帯域フィルタの
前記帯域上限及び前記帯域下限のもう一方に重なり、前
記FBARが分路キャパシタンスを備え、前記補助イン
ダクタが、前記第1の帯域フィルタの前記帯域上限及び
前記帯域下限並びに前記第2の帯域フィルタの前記帯域
上限及び帯域下限の1つに対応する周波数で、前記分路
キャパシタンスと直列共振を生じるインダクタンスを備
える上記6記載の送受切換器。
FBARが、第1のFBARと、前記第1のFBARと
直列をなす第2のFBARと、を備える上記2記載の送
受切換器。
周波数を備え、前記帯域フィルタの少なくとも1つの前
記素子に含まれる前記FBARが、全体として、2つの
異なる共振周波数を備える上記1記載の送受切換器。
周波数を備え、前記帯域フィルタの少なくとも1つの前
記素子に含まれる前記FBARが、全体として、3つ以
上の異なる共振周波数を備える上記1記載の送受切換
器。
周波数を備え、前記帯域フィルタの少なくとも1つの前
記素子に含まれる前記FBARが、全て、異なる共振周
波数を備える上記1記載の送受切換器。
なくとも1つに、さらに、それに含まれる前記FBAR
と直列をなす補助インダクタが含まる上記1記載の送受
切換器。
列素子に含まれる前記FBARが、全て、同じ共振周波
数を備え、前記第2の帯域フィルタの前記分路素子に含
まれる前記FBARが、全て、前記第2の帯域フィルタ
の前記直列素子に含まれる前記FBARの前記共振周波
数とは異なる、同じ共振周波数を備える上記13記載の
送受切換器。
第2の帯域フィルタが、それぞれ、帯域上限と帯域下限
を備えており、前記第1の帯域フィルタの前記帯域上限
及び前記帯域下限の一方が、前記第2の帯域フィルタの
前記帯域上限及び前記帯域下限のもう一方に重なり、前
記FBARが分路キャパシタンスを備え、前記補助イン
ダクタが、前記第1の帯域フィルタの前記帯域上限及び
前記帯域下限並びに前記第2の帯域フィルタの前記帯域
上限及び帯域下限の1つに対応する周波数で、前記分路
キャパシタンスと直列共振を生じるインダクタンスを備
える上記13記載の送受切換器。
素子の1つに含まれる前記FBARと直列をなしている
上記13記載の送受切換器。
の帯域フィルタの前記分路素子の1つである上記16記
載の送受切換器。
記FBARが、第1のFBARと、前記第1のFBAR
と直列をなす第2のFBARと、を備える上記1記載の
送受切換器。
くとも1つにおける前記分路素子の2つに対する共通接
地接続と直列をなす補助インダクタをさらに備える上記
1記載の送受切換器。
列素子と、を備え、前記直列素子及び前記分路素子が、
梯子型回路を形成するように接続され、前記素子のそれ
ぞれが薄膜バルク音波共振器(FBAR)を含む送受切
換器。
つの異なる共振周波数を備える上記20記載の送受切換
器。
つ以上の異なる共振周波数を備える上記20記載の送受
切換器。
振周波数を備える上記20記載の送受切換器。
らに、それに含まれるFBARと直列をなす補助インダ
クタを備える上記20記載の送受切換器。
周波数を備え、前記直列素子に含まれる前記FBAR
が、全て、同じ共振周波数を備え、前記分路素子に含ま
れる前記FBARが、全て、前記直列素子に含まれる前
記FBARの前記共振周波数とは異なる、同じ共振周波
数を備える上記24記載の送受切換器。
R)の少なくとも1つが、他のFBARと共振周波数が
異なっている、FBARの集積アレイであって、第2の
主表面と向かい合った第1の主表面を含む圧電層と、前
記圧電層の前記第1の主表面に配置された第1の電極
と、前記圧電層の前記第2の主表面に配置された第2の
電極と、を備え、前記第2の電極の1つが前記第1の電
極の1つと重なる位置に、前記FBARの1つが形成さ
れ、前記他のFBARと共振周波数が異なる前記FBA
Rの1つを形成する前記電極が、前記他のFBARを形
成する前記他の電極と重み付き厚さが異なるFBAR集
積アレイ。
異なる前記FBARの1つを形成する前記電極が、前記
他の電極と物理的厚さが異なる上記26記載の集積アレ
イ。
列素子及び分路素子を構成し、前記直列素子を構成する
前記FBARの前記電極が、ほぼ同じ重み付き厚さを備
え、前記分路素子を構成する前記FBARの前記電極
が、前記直列素子を構成する前記FBARの前記電極の
前記重み付き厚さとは異なる、ほぼ同じ重み付き厚さを
備える上記26記載の集積アレイ。
よれば、1ワットを超える電力レベルによって送受切換
器の信頼性又はフィルタ特性の安定性が損なわれない十
分に急峻なフィルタ特性を備える送受切換器を提供する
ことができる。また、セラミック・フィルタ又はSAW
フィルタをベースにした送受切換器よりかなり小型にで
き、さらに、個別同調を必要としないため製造コストを
低くすることができる。
の断面図であり、(b)は、FBARの等価回路を示す
回路図であり、(c)は、FBARのインピーダンス|
Z|係数と周波数との関係を示す特性図である。
である。
ィルタの一部として用いることが可能なFBARアレイ
を示す平面図であり、(b)は、本発明による送受切換
器及び帯域フィルタの一部として用いることが可能なF
BARアレイを示す断面図である。
である。
である。
信装置に用いられる従来のフロント・エンド回路を示す
ブロック図である。
数に対する減衰量の特性図である。
Claims (1)
- 【請求項1】第1のポート、第2のポート及び第3のポ
ートと、 前記第1のポートと前記第3のポートとの間に接続さ
れ、分路素子及び直列素子を備えた第1の梯子型回路を
含んでおり、前記素子のそれぞれに薄膜バルク音波共振
器(FBAR)が含まれている第1の帯域フィルタと、 前記第2のポートと前記第3のポートとの間に接続さ
れ、第2の帯域フィルタと直列をなす90゜移相器を備
える直列回路と、を備え、 前記第2の帯域フィルタが、分路素子及び直列素子を備
え、前記素子のそれぞれが薄膜バルク音波共振器(FB
AR)を有する第2の梯子型回路を備えることを特徴と
する送受切換器。
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