JP2010063142A - 薄膜バルク音響共鳴器フィルタの製造方法および薄膜バルク音響共鳴器フィルタを用いた回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜バルク音響共鳴器フィルタ10は、同一の膜35上に形成されている複数の相互接続された直列及び分岐薄膜バルク音響共鳴器38a〜38gにより形成されている。薄膜バルク音響共鳴器38a〜38gのそれぞれは、各薄膜バルク音響共鳴器の底部電極を形成するように定められている1つの共通の下部導電層から形成されている。1つの共通の導電層は、各薄膜バルク音響共鳴器38a〜38gの各上部電極を形成するように定められている。パターン化される事もされない事もある1つの共通圧電薄膜層は、1つの連続する又は連続しない薄膜にて形成される製造方法である。
【選択図】図1
Description
薄膜バルク音響共鳴器の裏面キャビティは、通常、例えば水酸化カリウム(KOH)或いはエチレンジアミンピロカテコール(EDP)などの結晶軸方向依存性エッチング(crystal orientation-dependent etching)によりエッチングされる。その結果、側壁勾配の角度は、各側で約54.7゜である。 フィルタが複数の直列及び分岐を構成する薄膜バルク音響共鳴器から成り、各薄膜バルク音響共鳴器は、傾斜側壁を有する裏面キャビティを有する場合、フィルタのサイズがかなりなものとなることもある。
また、本発明は、基板と、前記基板内のキャビィを横断して第一の方向に延びている直列の少なくとも3つの薄膜バルク音響共鳴器と、分岐薄膜バルク音響共鳴器に結合するための、各薄膜バルク音響共鳴器の上に配置されている上部電極と、前記第一の方向に直角に前記キャビティを横断して延びている少なくとも2つの強化ストリップとを備え、前記ストリップの各々は、前記直列の少なくとも3つの薄膜バルク音響共鳴器の2つの隣接する音響共鳴器の間に位置していることを特徴とする薄膜バルク音響共鳴器を用いた回路にある。
各FBAR38内の中間層は、圧電薄膜である。1つの実施形態では、圧電薄膜の同一の層が、FBAR38の上部電極36のそれぞれの下に配置されている。このようにして、1つの実施形態では、材料35は圧電薄膜である。別の1つの実施形態では、材料35は、FBAR38とFBAR38との間の領域を充填する層間誘電体(ILD)を含み、各上部電極36の下の領域は圧電薄膜である。
Claims (15)
- 薄膜バルク音響共鳴器を形成する方法であって、
基板内のキャビィを横断して第一の方向に延びている、直列の少なくとも3つの薄膜バルク音響共鳴器を形成することと、
単一の導電層から、各薄膜バルク音響共鳴器の上に配置されている上部電極を形成すること、
前記第一の方向に直角に前記キャビティを横断して延びている少なくとも2つの強化ストリップを形成することであって、
前記ストリップの各々は、前記直列の少なくとも3つの薄膜バルク音響共鳴器の2つの隣接する音響共鳴器の間に位置していることを含んで成る方法。 - 複数の薄膜バルク音響共鳴器を形成することは、少なくとも1つの分岐薄膜バルク音響共鳴器により結合された複数の直列に接続された薄膜バルク音響共鳴器を同一の基板上に形成することを含む請求項1に記載の方法。
- 前記基板に、1つの領域を植えつけることにより強化ストリップを形成することを含む請求項1に記載の方法。
- ホウ素及び酸素から成る群から選択された種を使用してストリップを植えつけることを含む請求項3に記載の方法。
- 前記基板の裏面をエッチングにより除去し、裏面キャビティを形成するために裏面エッチングを使用することにより薄膜バルク音響共鳴器を形成することを含む請求項1に記載の方法。
- 前記基板内に形成された強化ストリップをエッチングにより除去しない腐食剤を使用することを含む請求項5に記載の方法。
- 同一の裏面キャビティ上に少なくとも2つの共鳴器を形成することを含む請求項5に記載の方法。
- 圧電材料から成る単一の薄膜を使用して、同一の基板上に複数の薄膜バルク音響共鳴器のための1つの圧電層を形成することを含む請求項1に記載の方法。
- 前記圧電薄膜をパターン化し、前記圧電薄膜の一部を除去し、除去された部分に誘電材料を代わりに設けることを含む請求項8に記載の方法。
- 基板と、
前記基板内のキャビィを横断して第一の方向に延びている直列の少なくとも3つの薄膜バルク音響共鳴器と、
分岐薄膜バルク音響共鳴器に結合するための、各薄膜バルク音響共鳴器の上に配置されている上部電極と、
前記第一の方向に直角に前記キャビティを横断して延びている少なくとも2つの強化ストリップとを備え、
前記ストリップの各々は、前記直列の少なくとも3つの薄膜バルク音響共鳴器の2つの隣接する音響共鳴器の間に位置していることを特徴とする薄膜バルク音響共鳴器を用いた回路。 - 前記共鳴器の下に単一の裏面キャビティを含む請求項10に記載の回路。
- 前記キャビティは、複数の強化ストリップを含む請求項11に記載の回路。
- 前記強化ストリップはイオン植えつけされた基板材料から成る請求項12に記載の回路。
- 一対の互いに平行な強化ストリップを含む請求項12に記載の回路。
- 前記共鳴器のそれぞれは、それぞれ1つの上部電極を含み、前記共鳴器の前記上部電極は同一平面内に位置する請求項10に記載の回路。
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