JP2018088678A - 位相をキャンセルするループ回路を含むフィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】ラダー型回路を使用した帯域通過型フィルタの阻止帯域における通過帯域近傍の減衰量の改善する。【解決手段】バルク弾性波（ＢＡＷ）共振器２１１〜２１７により形成されたラダー型回路２１０と、当該ラダー型回路の入力部２０２から出力部２０４へと延びる信号経路の、異なる２点間に、当該異なる２点における信号の位相をキャンセルするべく接続されたループ回路２２０とを含む。異なる２点は、ラダー型回路の入力部及び出力部でよい。ループ回路はＳＡＷ共振器２３２、２３４又はＢＡＷ共振器を含んでよい。ＢＡＷ共振器は、圧電薄膜共振器（ＦＢＡＲ）又は音響多層膜共振器（ＳＭＲ）としてよい。【選択図】図３

Description

関連出願の相互参照
本願は、２０１７年４月１２日に出願された同時係属中の「位相をキャンセルするループ回路を含むフィルタ」との名称の米国仮出願第６２／４８４，６５４号の、及び２０１６年１１月２９日に出願された同時係属中の「位相をキャンセルするループ回路を含むフィルタ」との名称の米国仮出願第６２／４２７，３４１号の、米国特許法第１１９条（ｅ）項の利益を主張し、これらはそれぞれ、その全体が、あらゆる目的のために参照としてここに組み入れられる。

従来、携帯電話機のような通信機器において、例えば送信信号及び受信信号のような異なる帯域の信号を分離するべくフィルタデバイスが使用されている。このようなフィルタデバイスに対し、バルク弾性波（ＢＡＷ）共振器が使用されている。ＢＡＷ共振器は、圧電薄膜共振器（ｆｉｌｍ ｂｕｌｋ ａｃｏｕｓｔｉｃ ｒｅｓｏｎａｔｏｒ（ＦＢＡＲ））、及び多数の音響膜により形成された音響多層膜共振器（ｓｏｌｉｄｌｙ ｍｏｕｎｔｅｄ ｒｅｓｏｎａｔｏｒ（ＳＭＲ））を含み得る。

図１は、ＦＢＡＲにより形成された従来のラダー型帯域通過フィルタの一例を示す回路図である。ラダー型フィルタ１１０は、入力部（ＩＮ）から出力部（ＯＵＴ）まで延びる信号経路に沿って直列に接続された直列接続ＦＢＡＲ１１１、１１３、１１５、１１７を含む。ラダー型フィルタ１１０はさらに、直列接続ＦＢＡＲ１１１、１１３、１１５、１１７を結ぶ各ノードとグランドとの間に並列に接続された並列接続ＦＢＡＲ１１２、１１４、１１６を含む。

図２Ａ及び２Ｂは、図１のラダー型フィルタ１１０が形成された従来の電子機器の構成を例示する。図２Ａは電子機器１００の平面図であり、図２Ｂは当該電子機器の端面図である。図２Ａの平面図は、図２ＢにおけるＩＩ−ＩＩ’線断面図に対応する。

電子機器１００において、直列接続ＦＢＡＲ１１１、１１３、１１５、１１７は、圧電基板１５１の上面１５１ａの、第１信号接点１４１から第２信号接点１４３へと延びる導電信号経路１３１に沿って直列に配置される。圧電基板１５１は支持基板１５２によって支持される。さらに、並列接続ＦＢＡＲ１１２、１１４、１１６は、グランド面１３２と、導電信号経路１３１に沿って直列接続ＦＢＡＲ１１１、１１３、１１５、１１７を結ぶ各ノードとの間に並列に接続される。グランド面１３２は、並列接続ＦＢＡＲ１１２、１１４、１１６をグランド接点１４２、１４４、１４６に接続する。

電子機器１００は、所定の間隙を介して圧電基板１５１の上面１５１ａに対向するように配置された封止基板１５３を含む。圧電基板１５１の上面１５１ａの外縁に沿って形成された側壁１５４により、封止基板１５３が圧電基板１５１から離間され、圧電基板１５１と封止基板１５３との間隙が封止される。図２Ｂの端面図に示されるように、封止基板１５３には外部電極１５５、１５６が配置される。外部電極１５５、１５６は、例えばビア（図示せず）を介して適切な信号接点１４１、１４３又はグランド接点１４２、１４４、１４６、１４８に接続される。

複数の側面及び実施形態が、バルク弾性波共振器を使用して形成されたラダー型回路を含むフィルタに関する。

図１及び２Ａ〜Ｂに示されるＦＢＡＲから構成された従来のラダー型フィルタにおいては、フィルタの通過帯域における損失を低減して当該フィルタの阻止帯域内の減衰特性を改善するべく、直列接続ＦＢＡＲ１１１、１１３、１１５、１１７と並列接続ＦＢＡＲ１１２、１１４、１１６との間で設計パラメータが最適化される。しかしながら、一般に、フィルタの通過特性と減衰特性との間にはトレードオフの関係があり、通過帯域の近傍の減衰特性が、所望の性能を得るのに不十分となる。

上述した実情に鑑み、本発明の側面及び実施形態は、阻止帯域における通過帯域近傍の減衰量を改善するための、ＦＢＡＲのようなＢＡＷ共振器により形成されたラダー型回路を使用した帯域通過フィルタを与える。

一実施形態によれば、フィルタは、複数のバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器により形成されたラダー型回路と、当該ラダー型回路の入力部から出力部へと延びる信号経路の異なる２点間に接続されて当該異なる２点において信号の位相をキャンセルするループ回路とを含む。

異なる２点は、ラダー型回路の入力部及び出力部としてよい。異なる２点は、ラダー型回路の入力部と、信号経路に沿って当該ラダー型回路の出力部から一つのＢＡＷ共振器だけ離れた位置にあるノードとでよく、当該一つのＢＡＷ共振器は、当該ノードと当該ラダー型回路の出力部との間に直列に接続される。

ループ回路は、弾性表面波（ＳＡＷ）共振器又はＢＡＷ共振器を含んでよい。ループ回路のＳＡＷ共振器は、縦結合型フィルタを形成してよい。

ラダー型回路を形成するＢＡＷ共振器と、ループ回路を形成するＳＡＷ共振器又はＢＡＷ共振器とは、共通の基板に配置されてよい。ＢＡＷ共振器は、圧電薄膜共振器（ＦＢＡＲ）又は音響多層膜共振器（ＳＭＲ）としてよい。

所定の実施形態によれば、通過特性を確保することができ、阻止帯域における通過帯域近傍の減衰量を改善することができる。したがって、フィルタデバイスの分離特性及びアイソレーション特性を改善することができる。

一実施形態によれば、フィルタ回路が、入力部及び出力部を有するラダー型フィルタと、入力部及び出力部間に当該ラダー型フィルタと並列に接続されたループ回路とを含み、当該ラダー型フィルタは、入力部及び出力部間の信号経路に沿って直列に接続された複数の直列腕弾性波素子と、当該信号経路及びグランド間に接続された複数の並列腕弾性波素子とを含む。ループ回路は、弾性波フィルタ、第１キャパシタ、及び第２キャパシタを含み、第１キャパシタは入力部に接続され、第２キャパシタは出力部に接続され、弾性波フィルタは、第１及び第２キャパシタ間に直列に接続され、第１弾性波素子及び第２弾性波素子を含む。第１及び第２弾性波素子はそれぞれが信号電極及びグランド電極を有するとともに、当該信号電極から当該グランド電極への方向が、第１及び第２弾性波素子それぞれにおいて同じ向きとなるように配列される。

フィルタ回路の一例において、弾性波フィルタはさらに第３弾性波素子及び第４弾性波素子を含み、ループ回路はさらに、第３弾性波素子と入力部との間に接続された第３キャパシタと、第４弾性波素子と出力部との間に接続された第４キャパシタとを含む。第３及び第４弾性波素子はそれぞれが、信号電極及びグランド電極を有し得る。第１、第２及び第３弾性波素子は、信号電極からグランド電極への方向が第１方向となるように配列され、第４弾性波素子は、信号電極からグランド電極への方向が、第１方向とは反対の第２方向に向けられる。

一例において、弾性波フィルタは縦結合型弾性表面波フィルタであり、ループ回路の第１及び第２弾性波素子はそれぞれが弾性表面波素子である。

他例において、ループ回路の第１及び第２弾性波素子はそれぞれが、例えば圧電薄膜共振器又は音響多層膜共振器のようなバルク弾性波素子である。

他例において、各直列腕弾性波素子及び各並列腕弾性波素子は、例えば圧電薄膜共振器又は音響多層膜共振器のようなバルク弾性波素子である。

他実施形態が、フィルタ回路であって、入力部及び出力部間の信号経路に沿って直列に接続された複数の直列腕弾性波素子を含むラダー型フィルタと、第１キャパシタ、第２キャパシタ、並びに第１キャパシタ及び第２キャパシタ間に直列に接続された弾性波フィルタを含むループ回路とを含むフィルタ回路に向けられ、ラダー型フィルタはさらに、信号経路及びグランド間に接続された複数の並列腕弾性波素子を含み、第１キャパシタは入力部に接続され、第２キャパシタは信号経路に沿ってノードに接続され、複数の並列腕弾性波素子の第１並列腕弾性波素子が当該ノード及びグランド間に接続され、複数の直列腕弾性波素子の一つの直列腕弾性波素子が当該ノード及び出力部間に接続される。弾性波フィルタは第１弾性波素子及び第２弾性波素子を含み、第１及び第２弾性波素子はそれぞれが信号電極及びグランド電極を有するとともに、当該信号電極から当該グランド電極への方向が、第１及び第２弾性波素子それぞれにおいて同じ向きとなるように配列される。

一例において、各直列腕弾性波素子及び各並列腕弾性波素子は、例えば圧電薄膜共振器又は音響多層膜共振器のようなバルク弾性波素子である。

一例において、弾性波フィルタは縦結合型弾性表面波フィルタであり、ループフィルタの第１及び第２弾性波素子はそれぞれが弾性表面波素子である。

他例において、ループ回路の第１及び第２弾性波素子はそれぞれがバルク弾性波素子である。各バルク弾性波素子は、例えば圧電薄膜共振器又は音響多層膜共振器としてよい。

他実施形態によれば、フィルタ回路が一次フィルタ及びループ回路を含む。一次フィルタは、一次フィルタに通過帯域及び阻止帯域を与えるように構成及び配列された複数の一次弾性波素子であって、フィルタ回路の入力部と当該フィルタ回路の出力部との間の信号経路に沿って直列に接続された複数の直列腕弾性波素子を含む複数の一次弾性波素子と、当該信号経路及びグランド間に接続された複数の並列腕弾性波素子とを含む。ループ回路は、第１キャパシタ、第２キャパシタ、並びに第１キャパシタ及び第２キャパシタ間に直列に接続された弾性波フィルタを含み、第１キャパシタは一次フィルタの第１ノードに接続され、第２キャパシタは、一次フィルタの、第１ノードとは異なる第２ノードに接続される。弾性波フィルタは、第１及び第２の二次弾性波素子を含み、これらはそれぞれが、信号電極及びグランド電極を含み、信号電極からグランド電極への方向が第１及び第２の二次弾性波素子それぞれにおいて同じ向きとなるように配列される。ループ回路は、一次フィルタの阻止帯域における信号の一部分を、信号位相のキャンセルによって減衰させるように構成される。

一例において、ループ回路の弾性波フィルタは縦結合型弾性表面波フィルタであり、第１及び第２弾性波素子はそれぞれが弾性表面波素子である。

一例において、第１ノードは一次フィルタの入力部であり、第２ノードは一次フィルタの出力部である。

他例において、第１ノードは一次フィルタの入力部であり、複数の並列腕弾性波素子の第１並列腕弾性波素子は第２ノード及びグランド間に接続され、複数の直列腕弾性波素子の少なくとも一つの直列腕弾性波素子は、第２ノードと一次フィルタの出力部との間に接続される。

一例において、各一次弾性波素子は、圧電薄膜共振器及び音響多層膜共振器の一方である。

他実施形態によれば、フィルタアセンブリが、圧電基板と、当該圧電基板の表面に配置された第１及び第２信号接点と、当該圧電基板の表面に配置された一次弾性波フィルタとを含み、一次弾性波フィルタは、第１信号接点及び第２信号接点間の第１導電信号トラックを介して直列に接続された複数の一次直列腕弾性波素子と、導電信号トラック及びグランド間に接続された複数の一次並列腕弾性波素子とを含み、複数の一次直列腕弾性波素子及び複数の一次並列腕弾性波素子は一緒になって通過帯域及び阻止帯域を備えた一次フィルタを与え、導電信号トラックは第１ノード及び第２ノードを含む。フィルタアセンブリはさらに、圧電基板の表面に配置されて第１ノードに接続された第１キャパシタと、当該圧電基板の表面に配置されて第２ノードに接続された第２キャパシタと、当該圧電基板の表面に配置された二次弾性波フィルタとを含み、二次弾性波フィルタは、第１ノード及び第２ノード間に直列に構成及び配列された複数の二次弾性波素子を含み、二次弾性波フィルタは、一次弾性波フィルタの阻止帯域における信号の一部分を、位相のキャンセルによって減衰させるように構成される。

一例において、二次弾性波フィルタは、第１キャパシタに接続された第１二次弾性波素子と、第２キャパシタに接続された第２二次弾性波素子とを含む。

一例において、第１ノードは第１信号接点を含み、第２ノードは第２信号接点を含む。

他例において、複数の一次直列腕弾性波素子の少なくとも一つは、第１ノード及び第２ノード間の導電トラックに沿って接続される。

フィルタアセンブリはさらに、圧電基板の表面の外周縁に沿って設けられた側壁を含む。一例において、フィルタアセンブリはさらに、圧電基板の表面と、当該側壁の内面と、当該封止基板の表面との間にキャビティを形成するように側壁に配置された封止基板を含む。フィルタアセンブリはさらに第１及び第２外部電極を含む。これらはそれぞれが、封止基板に配置され、対応する第１及び第２信号接点に各導電ビアを介して接続される。

これらの典型的な側面及び実施形態の、さらに他の側面、実施形態及び利点が以下に詳述される。ここに開示される複数の実施形態は、ここに開示の複数の原理の少なくとも一つに整合する任意の態様で他の実施形態と組み合わせることができる。「一実施形態」、「いくつかの実施形態」、「代替実施形態」、「様々な実施形態」、「一つの実施形態」等の言及は、必ずしも互いに排他的というわけではなく、記載される特定の特徴、構造又は特性が少なくとも一つの実施形態に含まれ得ることを示すことが意図される。ここでのそのような用語の登場は、からなずしもすべてが同じ実施形態を言及するわけではない。

少なくとも一つの実施形態の様々な側面が、縮尺どおりであることを意図しない添付図面を参照して以下に説明される。図面は、様々な側面及び実施形態の例示及びさらなる理解を与えるべく含められ、本明細書に組み入れられかつその一部を構成するが、本発明の限界を定めることは意図しない。図面において、様々な図面に例示される同一又はほぼ同一の構成要素はそれぞれが、同じ番号で表される。明確性を目的として、すべての図面においてすべての構成要素が標識されているわけではない。

ＦＢＡＲを使用する従来のラダー型フィルタの構成を示す回路図である。 図２Ａは、ＦＢＡＲを使用して形成されたラダー型フィルタを含む従来の電子機器の平面図であり、図２Ｂは、図２Ａの従来の電子機器の端面図である。 一実施形態に係るフィルタの構成を示す回路図である。 図４Ａは、所定の側面に係る図３のフィルタの一例の上面図であり、図４Ｂは、図４Ａに示されるフィルタの部分断面図である。 一実施形態に係るフィルタの周波数特性を示すグラフである。 所定の側面に係るフィルタの他例の構成を示す回路図である。 所定の側面に係るフィルタの他例を示す回路図である。 所定の側面に係るフィルタの他例を示す回路図である。 所定の実施形態に係るフィルタが使用可能なフロントエンドモジュールの一例のブロック図である。 所定の側面に係る図９のフロントエンドモジュールにおいて使用可能なアンテナデュプレクサの一例のブロック図である。 所定の実施形態に係るフィルタが使用可能な無線機器の一例のブロック図である。

本発明の実施形態に係るフィルタの様々な側面及び例が、図面を参照して以下に詳述される。

図３は、一実施形態に係るフィルタを示す回路図である。この実施形態において、フィルタを形成するバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器として、圧電薄膜共振器（ＦＢＡＲ）が使用される。図３に示されるように、一実施形態に係るフィルタ２００は、ＦＢＡＲにより形成されて入力部（ＩＮ）２０２及び出力部（ＯＵＴ）２０４間に配置されたラダー型フィルタ回路２１０を含む。さらに、ループ回路２２０が、入力部２０２及び出力部２０４間に配置され、ラダー型フィルタ回路２１０に並列に接続される。

ラダー型フィルタ回路２１０において、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７が、入力部２０２から出力部２０４へと延びる信号経路に沿って直列に接続される。さらに、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７を結ぶ各ノードとグランドとの間に、並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４、２１６が並列に接続される。この例において、並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４はそれぞれの一端が、図３に示されるように、共通ノードを介してグランドに接続される。

ループ回路２２０は縦結合型ＳＡＷフィルタ２３０を含む。一例において、ＳＡＷフィルタ２３０は、入力部２０２に接続された第１ＳＡＷ共振器２３２と、出力部２０４に接続された第２ＳＡＷ共振器２３４とを含む。第１ＳＡＷ共振器２３２及び第２ＳＡＷ共振器２３４は、ＳＡＷ共振器２３２、２３４の信号電極から各グランド電極への方向が互いに同じ向きとなるように隣接して配列されて縦結合型フィルタ２３０を形成する。

さらに、ループ回路２２０は、入力部２０２と縦結合型ＳＡＷフィルタ２３０との間に配置された第１キャパシタ２２２を含む。なおもさらに、ループ回路２２０は、ＳＡＷフィルタ２３０と出力部２０４との間に配置された第２キャパシタ２２４を含む。

図４Ａは、図３のフィルタの一例の平面図である。このフィルタの端面図は、図２Ｂに示される従来の電子回路と同様である。フィルタ２００の対応する構成要素には、図３に示される回路図と同じ参照番号が付される。

フィルタ２００は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）及び酸化亜鉛（ＺｎＯ）のような圧電体から作られた圧電基板２５１を含む。ラダー型フィルタ回路２１０及びループ回路２２０は、圧電基板２５１の平坦な上面２５１ａに形成される。圧電基板２５１は、ＦＢＡＲ２１１〜２１７の圧電薄膜を形成するのに適切な厚さを有する。さらに、圧電基板２５１の上面２５１ａの外周縁に沿ってフィルタ２００の電子回路を封止するべく、側壁２５４が形成される。ラダー型フィルタ回路２１０の直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７は、圧電基板２５１の上面２５１ａにおいて、入力部２０２の信号接点２４１から出力部２０４の信号接点２４３へと延びる信号経路に対応する導電信号トラック２６１に沿って配置される。さらに、並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４、２１６が、グランドトラック２６２に沿って形成される。並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４、２１６により、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７を結ぶ複数のノードが、グランドトラック２６２を介して各グランド接点２４２、２４４、２４６に接続される。この例において、グランドトラック２６２は、グランド接点２４２及び２４４を介して並列接続ＦＢＡＲ２１２及び２１４間に接続される。

ＳＡＷフィルタ２３０を含むループ回路２２０が、信号接点２４１から信号接点２４３へと延びるループ信号トラック２６３に沿って形成される。ＳＡＷフィルタ２３０は、信号接点２４１に接続された第１ＳＡＷ共振器２３２と、信号接点２４３に接続された第２ＳＡＷ共振器２３４とを含む。上述したように、第１ＳＡＷ共振器２３２及び第２ＳＡＷ共振器２３４は、信号電極から各グランド電極への方向が互いに同じ向きとなるように隣接して配置されて縦結合型フィルタを形成する。これらのグランド電極は双方ともが、グランドトラック２６２を介してグランド接点２４８に接続される。

第１キャパシタ２２２は、信号接点２４１をＳＡＷフィルタ２３０に接続するループ信号トラック２６３に配置される。さらに、第２キャパシタ２２４は、ＳＡＷフィルタ２３０を信号接点２４３に接続するループ信号トラック２６３に配置される。

図４Ｂは、図４Ａに示されるフィルタの部分断面図である。図４Ｂの断面図は、図４ＡにおけるＩＶ−ＩＶ’線に沿った断面を示す。ＳＡＷフィルタ２３０の一部を形成するインターディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）電極が、支持基板２５２により支持された圧電基板２５１の上面２５１に配置される。さらに、ループ信号トラック２６３が、圧電基板５１の上面２５１ａに配置される。

ＦＢＡＲ２１５が、圧電基板２５１の一部分に形成される。ＦＢＡＲ２１５において、圧電基板２５１及び支持基板２５２間にキャビティ２７２が形成され、圧電薄膜２７４が、圧電基板２５１の対応部分により形成される。圧電薄膜２７４には、上部電極２７６及び下部電極２７８が振動できるように形成される。

図５は、一実施形態に係るフィルタ２００の周波数特性を示すグラフである。実線「Ａ」で示すこの実施形態の周波数特性は、通過帯域における損失が抑制され、阻止帯域内の通過帯域の近傍においても減衰量が確保されている。比較のために、ループ回路２２０がフィルタから取り除かれたときの周波数特性を破線「Ｂ」で示す。この場合、阻止帯域の低周波数側における通過帯域の近傍で、減衰特性が大きく劣化する。

所定の実施形態に係るフィルタ２００は、入力部２０２及び出力部２０４間に接続され、かつ、ラダー型フィルタ回路２１０に並列に接続されて当該入力部及び出力部間で信号の位相をキャンセルすることを可能にするループ回路２２０を含む。これらの実施形態に係るフィルタ２００によれば、ループ回路２２０の設計パラメータを最適化することができる。図５に示されるように、通過帯域における損失を最小限とするとともに、阻止帯域内のかつ通過帯域近傍の減衰特性を改善することができる。

さらに、所定の実施形態によれば、ＦＢＡＲ２１１〜２１７を含むラダー型フィルタ回路２１０と、ＳＡＷフィルタ２３０を含むループ回路２２０とが、図４Ａに示されるように、共通圧電基板２５１に配置される。したがって、フィルタ２００を小型化することができる。

図６は、所定の実施形態に係るフィルタ２００の他例を示す回路図である。フィルタ２００のこの例において、ループ回路２２０は、フィルタの入力部２０２と、ラダー型フィルタ回路１０の２つのＦＢＡＲ間に位置するノードとの間に接続される。特に、図６に示される例において、ループ回路２２０は、出力部２０４の最も近くに配置された直列接続ＦＢＡＲ２１７と、信号経路に沿って先行する直列接続ＦＢＡＲ２１５との間に位置するノード２０６に接続される。すなわち、直列接続ＦＢＡＲ２１７は、ループ回路２２０に接続されたノード２０６と、信号経路に沿った出力部２０４との間に位置する。これは、ループ回路２２０が入力部２０２及び出力部２０４間に接続される図３に示される配列と異なる。

図６に示される例において、ＦＢＡＲにより形成されたラダー型フィルタ回路２１０は、入力部２０２と出力部２０４との間に配置される。上述したように、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７は、ラダー型フィルタ回路２１０における信号経路に沿って直列に接続される。さらに、並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４、２１６は、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７を結ぶ各ノードとグランドＴＰＭＰ間に並列に接続される。図６に示される例において、ＦＢＡＲ２１２及び２１４はそれぞれが、共通ノードを介してグランドの一端に接続される。

上述したように、図６に示される例において、ループ回路２２０は、入力部２０２と、直列接続ＦＢＡＲ２１５、２１７を並列接続ＦＢＡＲ２１６に結ぶノード２０６との間に接続される。すなわち、ループ回路２２０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部と、入力部２０２及び出力部２０４間の信号経路に沿って出力部から一つのＦＢＡＲだけ離れるように位置決めされたノードとの間に接続される。

ループ回路２２０は縦結合型ＳＡＷフィルタ２３０を含む。ＳＡＷフィルタ２３０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２に接続された第１ＳＡＷ共振器２３２と、直列接続ＦＢＡＲ２１５、２１７を並列接続ＦＢＡＲ２１６に結ぶノード２０６に接続された第２ＳＡＷ共振器２３４とを含む。第１ＳＡＷ共振器２３２及び第２ＳＡＷ共振器２３４は、信号電極から各グランド電極への方向が互いに同じ向きとなるように隣接して配置されて縦結合型フィルタを形成する。

さらに、ループ回路２２０は、入力部２０２と縦結合型ＳＡＷフィルタ２３０との間に接続された第１キャパシタ２２２を含む。なおもさらに、ループ回路２２０は、ＳＡＷフィルタ２３０及びノード２０６間に接続された第２キャパシタ２２４を含む。

上述したように、図６に示されるフィルタ２００の例において、ループ回路２２０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２と、直列接続ＦＢＡＲ２１５、２１７を並列接続ＦＢＡＲ２１６に結ぶノード２０６との間に接続される。この配列によれば、出力インピーダンスの変動を抑制し、阻止帯域内の減衰特性を改善することができる。

わかることだが、図６に示されるフィルタ２００の例が、ループ回路２２０が入力部２０２と、信号経路に沿って出力部２０４から一つの共振器だけ離れた位置にあるノード２０６との間に接続される構成を有するにもかかわらず、フィルタ２００の他の実施形態は、この構成に限られない。例えば、ループ回路２２０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２から信号経路に沿って一つの共振器だけ離れた位置にあるノードと、ラダー型フィルタ回路２１０の出力部２０４との間に接続してよい。さらに、ループ回路２２０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２及び出力部２０４、並びにラダー型フィルタ回路２１０の信号経路に沿った直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７を結ぶ各ノードから選択された異なる２点間に接続してよい。

図７は、一実施形態に係るフィルタ２００の他例の構成を示す回路図である。このフィルタ２００の例において、ループ回路２２０の縦結合型ＳＡＷフィルタ２３０は、４つのＳＡＷ共振器２３２、２３４、２３６、２３８を含む。これは、ＳＡＷフィルタ２３０が２つのＳＡＷ共振器２３２、２３４を含む図３に示されるフィルタ２００の例とは異なる。

図７に示されるフィルタ２００の例は、ＦＢＡＲにより形成されて入力部２０２及び出力部２０４間に配置されたラダー型フィルタ回路２１０を含む。さらに、ループ回路２２０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２及び出力部２０４間に、ラダー型フィルタ回路２１０と並列に接続される。

上述したように、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７は、ラダー型フィルタ回路２１０における信号経路に沿って直列に接続される。さらに、３つの並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４、２１６は、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７を結ぶ各ノードとグランドとの間に接続される。この例において、ＦＢＡＲ２１２、２１４はそれぞれが、図７に示されるように、一端が共通ノードを介してグランドに接続される。

ループ回路２２０は縦結合型ＳＡＷフィルタ２３０を含む。ＳＡＷフィルタ２３０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２に接続された第１及び第２ＳＡＷ共振器２３２及び２３４と、ラダー型フィルタ回路２１０の出力部２０４に接続された第３及び第４ＳＡＷ共振器２３６及び２３８とを含む。これら４つのＳＡＷ共振器は、縦結合型ＳＡＷフィルタ２３０を形成するべく、第１ＳＡＷ共振器２３２、第３ＳＡＷ共振器２３６、第２ＳＡＷ共振器２３４及び第４ＳＡＷ共振器２３８の順序で互いに隣接して配列される。これら４つのＳＡＷ共振器のうち、第１ＳＡＷ共振器２３２、第３ＳＡＷ共振器２３６及び第２ＳＡＷ共振器２３４が、信号電極から各グランド電極への方向が同じ向きとなるように配列される一方、第４ＳＡＷ共振器２３８は、信号電極からグランド電極への方向が他のＳＡＷ共振器とは逆向きになるように配列される。

さらに、ループ回路２２０は、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２と第１ＳＡＷ共振器２３２との間に接続された第１キャパシタ２２２と、ラダー型フィルタ回路２１０の入力部２０２と第２ＳＡＷ共振器２３４との間に接続された第２キャパシタ２２４とを含む。なおもさらに、第３ＳＡＷ共振器２３６とラダー型フィルタ回路２１０の出力部２０４との間に第３キャパシタ２２６が接続され、第４ＳＡＷ共振器２３８とラダー型フィルタ回路２１０の出力部２０４との間に第４キャパシタ２２８が接続される。

図７に示されるフィルタ２００の例において、ＳＡＷフィルタ２３０は、ループ回路２２０の接続を二重化させるべく、４つのＳＡＷ共振器２３２、２３４、２３６、２３８を含む。このように、ループ回路２２０の二重化により、減衰特性が得られる周波数帯域を拡大し、又は減衰特性が得られる周波数帯域を追加することができる。

わかることだが、図７に示されるフィルタ２００の例では、ループ回路２２０の接続が二重化された構成であるにもかかわらず、フィルタ２００の他の実施形態はこの構成に限られない。例えば、三重化のようなさらなる多重化がループ回路２２０に適用されてよい。かかる場合において、減衰特性が得られる周波数帯域をさらに広げることができ、複数の周波数帯域にわたって減衰特性を得ることができる。

図８は、所定の実施形態に係るフィルタ２００の他例を示す回路図である。このフィルタ２００の例において、ループ回路２２０はＦＢＡＲにより形成される。これは、ループ回路２２０がＳＡＷ共振器により形成された上述のフィルタ２００の他例とは異なる。図８に示されたフィルタ２００の例は、ＦＢＡＲにより形成されて入力部２０２及び出力部２０４間に配置されたラダー型フィルタ回路２１０を含む。さらに、ループ回路２２０は、入力部２０２と出力部２０４との間に、ラダー型フィルタ回路２１０と並列に接続される。

上述したように、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７が、ラダー型フィルタ回路２１０における信号経路に沿って直列に接続される。さらに、３つの並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４、２１６が、直列接続ＦＢＡＲ２１１、２１３、２１５、２１７を結ぶ各ノードとグランドとの間に接続される。この例において、並列接続ＦＢＡＲ２１２、２１４はそれぞれの一端が、図８に示されるように、共通ノードを介してグランドに接続される。

図８において、ループ回路２２０を模式的にボックスとして表したが、上述したように、ループ回路２２０は、例えばラダー型回路として配列可能な、ＦＢＡＲにより形成されたフィルタとしてよい。加えて、図８に示されるように、ループ回路２２０は二重化され、又はさらに多重化され得る。

ループ回路２２０がＦＢＡＲにより形成されるフィルタ２００の実施形態は、ＳＡＷ共振器により形成されるループ回路２２０の例と同様の技術的効果を奏し得る。一例において、ＦＢＡＲにより形成されたループ回路２２０と、同様にＦＢＡＲにより形成されたラダー型フィルタ回路２１０とが共通の基板に配置される。したがって、ラダー型フィルタ回路２１０及びループ回路２２０を形成するべく共通プロセスを使用することができるので、フィルタ２００を形成する製造工程数を低減することができる。

わかることだが、ここに開示される様々な実施形態においてＢＡＷ共振器がＦＢＡＲとして記載されているにもかかわらず、フィルタ２００の他の実施形態はこれに限られない。例えば、音響多層膜共振器（ＳＭＲ）のような他のＢＡＷ共振器も、様々な実施形態に係るフィルタ２００のラダー型フィルタ回路２１０及び／又はループ回路２２０を形成するＢＡＷ共振器として使用することができる。

フィルタ２００の実施形態は、多様な電子機器及び構成要素において使用することができる。例えば、フィルタ２００の実施形態は、ダイプレクサ、トライプレクサ又はアンテナデュプレクサにおいて使用することができる。フィルタ２００がアンテナデュプレクサにおいて送信フィルタ又は受信フィルタのいずれかとして使用される場合、ループ回路２２０は、当該デュプレクサのアイソレーション特性を改善するべく使用することができる。

図９を参照すると、例えば無線通信機器（例えば携帯電話機）のような電子機器において使用することができてアンテナデュプレクサ３００を含むフロントエンドモジュール４００の一例のブロック図が例示される。アンテナデュプレクサ３００は、共通端子３０２、入力端子３０４及び出力端子３０６を有する。共通端子３０２にはアンテナ５１０が接続される。所定の例において、インダクタのような位相整合構成要素４１０を共通端子３０２に接続することができる。フロントエンドモジュール４００はさらに、デュプレクサ３００の入力端子３０４に接続された送信器回路４２２と、デュプレクサ３００の出力端子３０６に接続された受信器回路４２４とを含む。送信器回路４２２は、アンテナ５１０を介して送信される信号を生成し、受信器回路４２４は、アンテナ５１０を介して信号を受信して処理することができる。いくつかの実施形態において、そのような受信及び送信の機能を、図９に例示されるような別個の構成要素に、又は以下にさらに述べる共通送受信器回路／モジュールに、実装することができる。当業者にわかることだが、本開示の利益を前提として、フロントエンドモジュール４００は、スイッチ、電磁カプラ、増幅器、プロセッサ等を含むがこれらに限られない他の構成要素も含み得る。

アンテナデュプレクサ３００は、入力端子３０４及び共通端子３０２間に接続された一以上の送信フィルタ３１０と、共通端子３０２及び出力端子３０６間に接続された一以上の受信フィルタ３２０とを含み得る。デュプレクサ３００のアイソレーション特性とは、入力端子３０４から出力端子３０６への通過特性をいう。入力端子３０４及び出力端子３０６間を通る信号のレベルを低減することにより、フィルタ３１０及び３２０の通過帯域において、改善されたアイソレーション特性を得ることができる。上述したように、これを達成することができる一つの態様は、フィルタ３１０又は３２０の少なくとも一方の阻止帯域における信号減衰を改善することである。所定の実施形態によれば、この改善されたアイソレーション特性の達成を補助するべく、送信フィルタ３１０、受信フィルタ３２０又はこれらの組み合わせのいずれか一以上を、上述した位相ループ回路２２０を含むフィルタ２００の実施形態を使用して実装することができる。特に、帯域通過フィルタとなる送信フィルタ３１０との組み合わせでループ回路２２０が使用される（したがって一を超える阻止帯域を有し得る）場合、ループ回路は、一以上の受信フィルタ３２０の通過帯域と周波数が重複する送信フィルタ３１０の阻止帯域における減衰を改善するように構成することができる。同様に、帯域通過フィルタとなる受信フィルタ３２０との組み合わせでループ回路２２０が使用される場合、ループ回路は、一以上の送信フィルタ３１０の通過帯域と周波数が重複する受信フィルタ３１０の阻止帯域における減衰を改善するように構成することができる。

図１０は、送信フィルタ３１０を実装するように構成されたフィルタ２００の一実施形態を含むアンテナデュプレクサ３００の一例の図である。すなわち、ループ回路２２０の一例が、入力端子３０４及び共通端子３０２間で送信フィルタ３１０と並列に接続される。一例において、送信フィルタ３１０は、図３及び６〜８に示されるラダー型フィルタ回路２１０の構成を有する。図１０に示される例において、送信フィルタ３１０は、フィルタ２００れるが、他例においては、受信フィルタ３２０も、フィルタ２００の一実施形態を使用して実装され得る。かかる例において、ループ回路２２０は、共通端子３０２及び出力端子３０６間で受信フィルタ３２０と並列に接続することができる。他例において、送信フィルタ３１０及び受信フィルタ３２０の双方を、フィルタ２００の実施形態を使用して実装することができる。

上述したフィルタ２００の実施形態を含むアンテナデュプレクサ３００又はフロントエンドモジュール４００の実施形態は、有利なことに、様々な電子機器において使用することができる。電子機器の例は、消費者電子製品、消費者電子製品の一部、電子試験機器、基地局のようなセルラー通信インフラストラクチャを含み得るが、これらに限られない。電子機器の例は、スマートフォンのような携帯電話機、電話機、テレビ、コンピュータモニタ、コンピュータ、モデム、ハンドヘルドコンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピュータ、電子ブックリーダー、スマートウォッチのようなウェアラブルコンピュータ、パーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）、家電製品、自動車、ステレオシステム、ＤＶＤプレーヤー、ＣＤプレーヤー、ＭＰ３プレーヤーのようなデジタル音楽プレーヤー、ラジオ、カムコーダー、カメラ、デジタルカメラ、携帯メモリチップ、ヘルスケアモニタリング機器、自動車エレクトロニクスシステム又はアビオニクス電子システムのような車両エレクトロニクスシステム、周辺機器、腕時計、置き時計等を含み得るが、これらに限られない。さらに、電子機器は、未完成の製品を含んでよい。

図１１は、上述したようにループ回路２２０を含むフィルタ２００の一以上の実施形態を使用して実装され得るアンテナデュプレクサ３００を含む無線機器５００の一例のブロック図である。無線機器５００は、音声又はデータ通信のために構成されたセルラー電話機、スマートフォン、タブレット、モデム、通信ネットワーク、又は任意の他のポータブル若しくは非ポータブルデバイスであってよい。無線機器５００は、アンテナ５１０から信号を送受信することができる。無線機器５００は、上述したようなデュプレクサ３００を含むフロントエンドモジュール４００を含む。フロントエンドモジュール４００はさらに、例えば送信モード及び受信モードのような異なる周波数帯域又はモード間で切り替わるように構成することができるアンテナスイッチ４３０を含む。図１１に示される例において、アンテナスイッチ４３０は、デュプレクサ３００とアンテナ５１０との間に位置決めされるが、他例においては、デュプレクサ３００は、アンテナスイッチ４３０とアンテナ５１０との間に位置決めし、又はアンテナスイッチ４３０及びデュプレクサ３００を一つのモジュールに統合することもできる。

フロントエンドモジュール４００は、送信用の信号を生成し、又は受信された信号を処理するように構成された送受信器４２０を含む。送受信器４２０は、図９に示されるように、デュプレクサ３００の入力端子３０４に接続可能な送信器回路４２２と、デュプレクサ３００の出力端子３０６に接続可能な受信器回路４２４とを含み得る。送信器回路４２２による送信のために生成された信号が、送受信器４２０からの生成信号を増幅する電力増幅器（ＰＡ）モジュール４４０によって受信される。当業者にわかることだが、電力増幅器モジュール４４０は一以上の電力増幅器を含み得る。電力増幅器モジュール４４０は、多様なＲＦ又は他の周波数帯域の送信信号を増幅するべく使用することができる。例えば、電力増幅器モジュール４４０は、無線ローカルエリアネットワーク（ＷＬＡＮ）信号又は任意の他の適切なパルス信号を送信する補助となるように、電力増幅器の出力をパルス化するべく使用可能なイネーブル信号を受信することができる。電力増幅器モジュール４４０は、例えば、ＧＳＭ（Ｇｌｏｂａｌ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｍｏｂｉｌｅ）（登録商標）信号、符号分割多元接続（ＣＤＭＡ）信号、Ｗ−ＣＤＭＡ信号、ロングタームエボリューション（ＬＴＥ）信号又はＥＤＧＥ信号を含む様々なタイプの信号のいずれかを増幅するように構成することができる。所定の実施形態において、スイッチ等を含む電力増幅器モジュール４４０及び関連構成要素は、例えば、ｐＨＥＭＴ若しくはＢｉＦＥＴトランジスタを使用してＧａＡｓ基板上に、又はＣＭＯＳトランジスタを使用してシリコン基板上に作製することができる。フロントエンドモジュール４００はさらに、アンテナ５１０からの受信信号を増幅して当該増幅信号を送受信器４２０の受信回路４２４に与える低雑音増幅器モジュール４５０を含む。

図１１の無線機器５００はさらに、送受信器４２０に接続されて無線機器の動作のための電力を管理する電力管理帯域サブシステム５２０を含む。電力管理システム５２０はまた、ベース帯域サブシステム５３０、及び無線機器５００の他の構成要素の動作を制御することができる。電力管理システム５２０はまた、無線機器５００の様々な構成要素のために電力を供給する電池（図示せず）を含み又は当該電池に接続されてよい。電力管理システム５２０はさらに、例えば信号の送信を制御することができる一以上のプロセッサ又はコントローラを含み得る。

一実施形態において、ベース帯域サブシステム５３０は、ユーザとの間でやりとりされる音声又はデータの様々な入力及び出力を容易にするべくユーザインタフェイス５４０に接続される。ベース帯域サブシステム５３０はまた、無線機器の動作を容易にし、又はユーザのための情報を格納するべく、データ又は命令を格納するように構成されたメモリ５５０に接続することができる。

少なくとも一つの実施形態のいくつかの側面を上述したが、様々な改変、修正及び改善が当業者にとって容易に想起されることを理解されたい。かかる改変、修正及び改善は、本開示の一部となることが意図され、かつ、本発明の範囲内にあることが意図される。理解するべきことだが、ここで述べられた方法及び装置の実施形態は、本明細書に記載され又は添付図面に例示された構成要素の構造及び配列の詳細への適用に限られない。方法及び装置は、他の実施形態で実装し、様々な態様で実施又は実行することができる。特定の実装例は、例示のみを目的としてここに与えられ、限定されることを意図しない。また、ここで使用される表現及び用語は、説明目的であって、限定としてみなすべきではない。ここでの「含む」、「備える」、「有する」、「包含する」及びこれらの変形の使用は、以降に列挙される項目及びその均等物並びに付加項目の包括を意味する。「又は（若しくは）」の言及は、「又は（若しくは）」を使用して記載される任意の用語が、当該記載の用語の一つの、一つを超える、及びすべてのものを示すように解釈され得る。したがって、上記説明及び図面は例示にすぎず、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲の適切な構造及びその均等物から決定されるべきである。

Claims (20)

1. フィルタ回路であって、
   入力部及び出力部を有するラダー型フィルタと、
   前記入力部及び出力部間で前記ラダー型フィルタと並列接続されたループ回路と
   を含み、
   前記ラダー型フィルタは、
   前記入力部及び出力部間の信号経路に沿って直列に接続された複数の直列腕弾性波素子と、
   前記信号経路及びグランド間に接続された複数の並列腕弾性波素子と
   を含み、
   各直列腕弾性波素子及び各並列腕弾性波素子がバルク弾性波素子であり、
   前記ループ回路は、弾性波フィルタ、第１キャパシタ及び第２キャパシタを含み、
   前記第１キャパシタは前記入力部に接続され、
   前記第２キャパシタは前記出力部に接続され、
   前記弾性波フィルタは前記第１及び第２キャパシタ間に直列に接続され、
   前記弾性波フィルタは第１弾性波素子及び第２弾性波素子を含み、
   前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれが信号電極及びグランド電極を有するとともに、前記信号電極から前記グランド電極への方向が、前記第１及び第２弾性波素子それぞれにおいて同じ向きとなるように配列されるフィルタ回路。
2. 各バルク弾性波素子が圧電薄膜共振器である請求項１のフィルタ回路。
3. 各バルク弾性波素子が音響多層膜共振器である請求項１のフィルタ回路。
4. 前記弾性波フィルタは縦結合型弾性表面波フィルタであり、
   前記ループ回路の前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれが弾性表面波素子である請求項１のフィルタ回路。
5. 前記弾性波フィルタはさらに第３弾性波素子及び第４弾性波素子を含み、
   前記ループ回路はさらに、
   前記第３弾性波素子及び前記入力部間に接続された第３キャパシタと、
   前記第４弾性波素子及び前記出力部間に接続された第４キャパシタと
   を含む請求項１のフィルタ回路。
6. 前記第３及び第４弾性波素子はそれぞれが信号電極及びグランド電極を含み、
   前記第１、第２及び第３弾性波素子は、前記信号電極から前記グランド電極への方向が第１方向となるように配列され、
   前記第４弾性波素子は、前記信号電極から前記グランド電極への方向が、前記第１方向とは逆の第２方向となるように配列される請求項５のフィルタ回路。
7. 前記ループ回路の前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれがバルク弾性波素子である請求項１のフィルタ回路。
8. 前記ループ回路の前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれが圧電薄膜共振器である請求項７のフィルタ回路。
9. 前記ループ回路の前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれが音響多層膜共振器である請求項７のフィルタ回路。
10. フィルタ回路であって、
    入力部及び出力部間の信号経路に沿って直列に接続された複数の直列腕弾性波素子を含むラダー型フィルタと、
    第１キャパシタ、第２キャパシタ、並びに前記第１キャパシタ及び前記第２キャパシタ間に接続された弾性波フィルタを含むループ回路と
    を含み、
    前記ラダー型フィルタはさらに、前記信号経路及びグランド間に接続された複数の並列腕弾性波素子を含み、
    前記第１キャパシタは前記入力部に接続され、
    前記第２キャパシタは前記信号経路に沿ったノードに接続され、
    前記複数の並列腕弾性波素子の第１並列腕弾性波素子が前記ノード及び前記グランド間に接続され、
    前記複数の直列腕弾性波素子の一つの直列腕弾性波素子が前記ノード及び前記出力部間に接続され、
    前記弾性波フィルタは第１弾性波素子及び第２弾性波素子を含み、
    前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれが信号電極及びグランド電極を有するとともに、前記信号電極から前記グランド電極への方向が前記第１及び第２弾性波素子のそれぞれにおいて同じ向きとなるように配列されるフィルタ回路。
11. 各直列腕弾性波素子及び各並列腕弾性波素子はバルク弾性波素子である請求項１０のフィルタ回路。
12. 各バルク弾性波素子は圧電薄膜共振器及び音響多層膜共振器の一方である請求項１１のフィルタ回路。
13. 前記弾性波フィルタは縦結合型弾性表面波フィルタであり、
    前記ループフィルタの前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれが弾性表面波素子である請求項１０のフィルタ回路。
14. 前記ループ回路の前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれがバルク弾性波素子である請求項１０のフィルタ回路。
15. 各バルク弾性波素子は圧電薄膜共振器及び音響多層膜共振器の一方である請求項１４のフィルタ回路。
16. フィルタ回路であって、
    複数の一次弾性波素子を含む一次フィルタと、
    第１キャパシタ、第２キャパシタ、並びに前記第１キャパシタ及び前記第２キャパシタ間に直列に接続された弾性波フィルタを含むループ回路と
    を含み、
    前記複数の一次弾性波素子は、前記一次フィルタに通過帯域及び阻止帯域を与えるように構成及び配列され、
    前記複数の一次弾性波素子は、
    前記フィルタ回路の入力部と前記フィルタ回路の出力部との間の信号経路に沿って直列に接続された複数の直列腕弾性波素子と、
    前記信号経路及びグランド間に接続された複数の並列腕弾性波素子と
    を含み、
    前記第１キャパシタは前記一次フィルタの第１ノードに接続され、
    前記第２キャパシタは前記一次フィルタの、前記第１ノードとは異なる第２ノードに接続され、
    前記弾性波フィルタは第１及び第２二次弾性波素子を含み、
    前記第１及び第２二次弾性波素子はそれぞれが信号電極及びグランド電極を有するとともに、前記信号電極から前記グランド電極への方向が前記第１及び第２二次弾性波素子それぞれにおいて同じ向きとなるように配列され、
    前記ループ回路は、前記一次フィルタの前記阻止帯域における信号の一部分を、信号の位相をキャンセルすることにより減衰させるように構成されるフィルタ回路。
17. 前記ループ回路の前記弾性波フィルタは縦結合型弾性表面波フィルタであり、
    前記第１及び第２弾性波素子はそれぞれが弾性表面波素子である請求項１６のフィルタ回路。
18. 前記第１ノードは前記一次フィルタの前記入力部であり、
    前記第２ノードは前記一次フィルタの前記出力部である請求項１６のフィルタ回路。
19. 前記第１ノードは前記一次フィルタの前記入力部であり、
    前記複数の並列腕弾性波素子の第１並列腕弾性波素子が前記第２ノード及び前記グランド間に接続され、
    前記複数の直列腕弾性波素子の少なくとも一つの直列腕弾性波素子が前記第２ノードと前記一次フィルタの前記出力部との間に接続される請求項１６のフィルタ回路。
20. 各一次弾性波素子は圧電薄膜共振器及び音響多層膜共振器の一方である請求項１６のフィルタ回路。
    
    
    
    

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