JP4594337B2 - 帯域通過フィルタおよびそれを備えたデュプレクサ - Google Patents

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Description

本発明は、帯域通過フィルタおよびそれを備えたデュプレクサに関し、詳細には減衰特性を向上させることでフィルタリング特性を向上すると共に、高集積化および製造コストの節減を図ることのできる帯域通過フィルタおよびそれを備えたデュプレクサに関する。
最近、携帯電話機として代表とされる移動通信機器が幅広く普及されるにつれて移動通信機器の性能がより向上され、小型化および軽量化製造のための試みが進行されつつある。これにより、移動通信機器に使用される構成部品の性能を向上させると共に小型化および軽量化させるための研究が盛んになされている。
一方、移動通信機器の核心部品の1つであるデュプレクサが挙げられるが、デュプレクサとは、フィルタを複合的に用いる代表的な素子の種類であって、周波数分割方式(FDD)で具現される通信システムにおいて1つのアンテナを介して送信される信号および受信される信号を適切に分岐することにより同一アンテナを効率よく共有できるようにする素子である。
デュプレクサの基本的な構造は、アンテナを除いて送信端フィルタおよび受信端フィルタから大分される。送信端フィルタは、送信しようとする周波数帯域内の信号のみを通過させる帯域通過フィルタ(Band Pass Filter)であり、受信端フィルタは受信しようとする周波数帯域内の信号のみを通過させる帯域通過フィルタである。かかるデュプレクサは送信端フィルタと受信端フィルタとで通過させる周波数を異なるように調整することによって、1つのアンテナにて送受信を行なうことができる。
デュプレクサの基本構造を形成する送信端フィルタおよび受信端フィルタはFBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)を介して具現され得る。小型および軽量で具現されながらも、大電力の用途に適したフィルタを構成するための有力な手段として知られているFBARは、最小のコストで大量生産ができ、最小型に具現できる長所を持つ。
さらに、フィルタの主な特徴である高い品質係数(Quality Factor:Q)値を求めることができ、マイクロ周波数帯域においても使用可能である。特に、PCS(Personal Communication System)とDCS(Digital Cordless System)帯域に至るまで具現できる長所を有する。
FBARとは、一般に下部電極、圧電層、および上部電極が順次積層された構造で製造され、外部電界が印加されると共振現象を引き起こす素子のことを意味する。即ち、FBARの上部および下部電極に電気的なエネルギーを印加して圧電層内へ時間的に変化する電界を誘起すると、圧電層からは電気的なエネルギーを音響波状の機械的なエネルギーの方に変換する圧電効果を起こすことで共振が発生される。この場合、発生する共振周波数を中心に所定の帯域内信号のみが通過されるので、一種の帯域通過フィルタとして動作することになる。
図10は米国6262637号において複数の薄膜バルク音響共振器を直列および並列に組み合わせて具現したLadder型フィルタの構成に対する回路図である。
同図に示すように、従来技術によるデュプレクサ10は、アンテナポート20、送信ポート30、および受信ポート40を含み、アンテナポート20と送信ポート30との間に形成された送信端フィルタ50、アンテナポート20と受信ポート40との間に形成された受信端フィルタ60、およびアンテナポート20と受信端フィルタ60との間に形成された位相遷移器70を含んでなる。
それぞれの送信端および受信端フィルタ50、60は、接続されたそれぞれのポートとの間に直列接続される複数の第1共振器(FBAR11〜FBAR16)、それぞれの送信端および受信端フィルタ50、60が接続されたポートとの間に形成された分路上に形成されて第1共振器(FBAR11〜FBAR16)に対して並列接続された複数の第2共振器(FBAR21〜FBAR26)および第2共振器(FBAR21〜FBAR26)と接地電極(GND)との間に第2共振器(FBAR21〜FBAR26)と直列接続されて第2共振器(FBAR21〜FBAR26)の周波数特性を調整するインダクター(IDT3〜IDT8)を含んでなる。
前述したように、複数の第1共振器(FBAR11〜FBAR16)および第2共振器(FBAR21〜FBAR26)は直列および並列に組合されたLadder型フィルタを具現することができる。これにより、所定の周波数帯域の信号のみを送受信するためにフィルタリングする帯域通過フィルタとして動作する。
一方、従来技術によるデュプレクサ10は、1つのアンテナを介して送受信される信号を適切に分岐する役割を行なうので、その性能を向上させるためには送受信される信号間の干渉を防止する必要がある。即ち、送信端フィルタおよび受信端フィルタを介してそれぞれ送信および受信される信号の周波数はその差異が微々しているので、相互間の干渉作用によりデュプレクサは敏感に反応するようになる。
これを防止するために、送信端フィルタ50および受信端フィルタ60を隔離させて相互干渉を抑える隔離部が求められる。これによって、干渉作用およびノイズ挿入などが防止されることによりデュプレクサ10の性能が向上される。
隔離部は、通常、コンデンサおよびインダクターを使用して位相遷移器70を具現することによって、送受信信号の周波数位相差が90°になるべく、相互干渉を防止する役割を果す。
係る構成を有するデュプレクサ10は、第2共振器(FBAR21〜FBAR26)の共振周波数を減少させる送信端フィルタ50および受信端フィルタ60それぞれの周波数特性を調整するためのインダクター(IDT3〜IDT8)を第2共振器(FBAR21〜FBAR26)ごとに直列に接続しなければならず、またこのために3〜4nHの高いインダクタンスを有すると同時に品質係数(Q)の高い値を有するインダクタ(IDT3〜IDT8)を使用しなければならない。
従って、従来技術によるデュプレクサを製造する際、インダクターの使用数量が増加することに従って高集積化および小型化するには不都合になり、また、高い品質係数(Q)のインダクターを使用することによって製造コストが上昇してしまう問題がある。
本発明は前述した問題点を解決するために案出されたもので、本発明の目的は、通過周波数帯域の周辺周波数帯域において減衰特性を向上させると共にフィルタリング特性を向上させ、且つ高集積化および製造コストの節減が図られる帯域通過フィルタを提供することにある。
本発明の更なる目的は、前記帯域通過フィルタを備えたデュプレクサを提供することにある。
前述した目的を達成するために、本発明の一実施の形態に係る帯域通過フィルタは、n(nは1以上の自然数)個の第1共振器が直列接続された第1共振回路部と、前記第1共振回路部と対向配置され、m(mは1以上の自然数)個の第2共振器が直列接続された第2共振回路部と、前記第1および第2共振回路部を接続する分路上に形成されるk(kは1以上の自然数)個の第3共振器が並列接続された第3共振回路部と、を含む。
ここで、前記第1共振器、第2共振器、および第3共振器は、薄膜バルク音響共振器で形成される。
第1及び第2共振回路部を接続する分路は、前記第1共振器の両端に形成され、前記kはn+1の値を有し得ると共に、前記第3共振器は、前記各分路上にそれぞれ1つずつ形成されることができる。
さらに、第1及び第2共振回路部を接続する分路は、前記nが2以上の値を有する場合、各第1共振器の間のノードにのみ形成され、前記kはn−1の値を有することができる。
前記第1共振回路部は、第1信号ポートと第2信号ポートとの間に形成されることが好ましい。
ここで、前記第1信号ポートはアンテナと接続されたアンテナポートであり、前記第2信号ポートは前記アンテナポートに送信信号を伝送する送信ポートから構成されることができる。さらに、前記第1信号ポートはアンテナと接続されたアンテナポートであり、前記第2信号ポートはアンテナポートに印加された受信信号の入力を受ける受信ポートから構成されることもできる。
前記第2共振回路部の両端は接地電極に接続されることが好ましい。
この時、前記第2共振回路部は、前記接地電極と前端および後端ノードとの間にそれぞれインダクターを更に含むことが好ましい。
また、前記第1共振回路部は、前記第1共振器のうち前端と後端の第1共振器にそれぞれ並列に接続されたインダクターを更に含むことができる。
前記第2共振回路部に含まれた第2共振器との間のノードのうち任意のノードに前記接地電極を更に接続し、この時、前記第2共振回路部に含まれた第2共振器との間のノードのうち1つのノードのみ前記接地電極と接続されることが好ましい。
本発明の他の目的を達成するために、本発明の一実施の形態に係るデュプレクサは、第1信号ポートと第2信号ポートとの間に形成される第1帯域通過フィルタと、前記第1信号ポートと第3信号ポートとの間に形成される第2帯域通過フィルタと、前記第1信号ポートと第2帯域通過フィルタとの間に形成される位相遷移器を含み、前記各帯域通過フィルタは、n(nは1以上の自然数)個の第1共振器が直列接続された第1共振回路部と、前記第1共振回路部と対向配置され、m(mは1以上の自然数)個の第2共振器が直列接続された第2共振回路部と、前記第1および第2共振回路部を接続する分路上に形成されるk(kは1以上の自然数)個の第3共振器が並列接続された第3共振回路部と、を含む。
ここで、前記第1帯域通過フィルタの第1共振回路部の前端および後端ノードはそれぞれ前記第1および第2信号ポートに接続され、前記第2帯域通過フィルタの第1共振回路の前端および後端ノードはそれぞれ前記位相遷移器および第3信号ポートに接続される。
また、前記各帯域通過フィルタの前記第2共振回路部の両端は接地電極に接続される。
この時、前記各帯域通過フィルタの第2共振回路部は、前記接地電極と前端および後端ノードとの間にそれぞれインダクターを更に含むことができる。
また、前記第1共振回路部は、前記第1共振回路部に含まれた第1共振器のうち前端と後端の第1共振器にそれぞれ並列に接続されたインダクターを更に含むことができる。
前記第2共振回路部に含まれた第2共振器との間のノードのうち任意のノードに前記接地電極を更に接続し、この時、前記第2共振回路部に含まれた第2共振器との間のノードのうち1つのノードのみ前記接地電極と接続されることが好ましい。
なお、前記第1信号ポートはアンテナと接続されたアンテナポートであり、第2信号ポートは送信信号をアンテナに提供する送信ポートであり、第3信号ポートはアンテナに印加された受信信号の入力を受ける受信ポートから構成される。
係る帯域通過フィルタおよびデュプレクサによると、通過周波数帯域周辺の周波数帯域において減衰特性を向上させると共にフィルタリング特性を向上させ、また、高集積化及び製造コストの節減を図ることができる。
本発明に係る帯域通過フィルタおよびデュプレクサによると、共振器をブリッジ構造で形成することにより、通過周波数帯域周辺の周波数帯域にて信号の減衰特性を向上させることができる。
これによって、共振器の共振周波数を調整するためのインダクターの使用数量を使用し、品質係数の低いインダクターを使用することにおいても従来と等しいレベル以上のフィルタリング特性を有することができるので、製造コストを減少させることができる。
さらに、インダクターの使用数量を減少することによって、同一サイズの単一チップでデュプレクサを構成する場合、共振器の工程マージンが向上され、共振器の共振周波数特性を向上させることができると共に、製造の便宜性が図られる。
従って、受信端フィルタと送信端フィルタのフィルタリング特性が向上され、両者間の干渉現象が防止されてデュプレクサの性能が向上される効果が挙げられる。
以下、添付の図面に基づいて本発明の好適な実施形態を詳述する。
図1は、本発明に係る帯域通過フィルタを説明するためのブロック図である。
同図に示すように、本発明の一実施の形態に係る帯域通過フィルタは、第1共振回路部100、第2共振回路部200、および第3共振回路部300を含んでなる。
詳細に、第1共振回路部100は、第1信号ポート(SIG_P1)と第2信号ポート(SIG_P2)との間に形成されることができ、第1信号ポート(SIG_P1)と第3信号ポート(SIG_P3)との間に形成されることもできる。
本発明に係る帯域通過フィルタは、後述するデュプレクサ送信端フィルタまたは受信端フィルタで使用され得る。即ち、第1信号ポート(SIG_P1)はアンテナポートであり、第2信号ポート(SIG_P2)は送信端ポートであり、第3信号ポート(SIG_P3)は受信端ポートである場合に、第1共振回路部100が第1信号ポート(SIG_P1)と第2信号ポート(SIG_P2)との間に形成されて送信端フィルタとして使用されることができ、第1信号ポート(SIG_P1)と第3信号ポート(SIG_P3)との間に形成されて受信端フィルタとして使用されることもできる。
第2共振回路部200は、第1共振回路部100と向かい合って配置され、両端がそれぞれ接地電極(GND)と接続される。
第3共振回路部300は、第1および第2共振回路部100、200に形成された分路上に形成され、第1および第2共振回路部100、200に対して並列接続されており、第1および第2共振回路部100、200を電気的に接続する。
なお、第1ないし第3共振回路部100、200、300は、1つ以上の共振器、即ち、薄膜バルク音響共振器(Film Bulk Acoustic Resonator、以下、FBARと称する)を含む。さらに、第1共振回路部100に含まれた共振器と第2共振回路部200に含まれた共振器はLadder構造からなり、第2共振回路部200に含まれた共振器と第3共振回路部300に含まれた共振器においてもLadder構造からなり、結果的に、第1ないし第3共振回路部100、200、300に含まれた共振器はブリッジ状で形成される。
これに関して、詳説すると次のとおりである。
図2は、本発明の一実施の形態にかかる帯域通過フィルタを概略的に示すブロック図であり、図3は本発明の一実施の形態にかかるFBARを説明するための断面図であり、図4は図1に図示された通過フィルタのフィルタリング特性に対するシミュレーション結果を示す図面である。
最初に、図3に基づいて説明すると、本発明で使用される共振器500、600は、基板400上に形成された下部電極510、610、圧電層520、620、おおび上部電極530、630を含む。なお、共振器500は、送信端フィルタを構成する共振器を指し、共振器600は受信端フィルタを構成する共振器を指す。
詳細には、SiまたはGaAsのような、半導体物質から形成された基板400上部にAl、W、Au、Pt、あるいはMoなどの導電物質のうち1つを選択して形成された下部電極510、610、下部電極510、610上にAlN、ZnOなどの物質のうち1つを選択して形成された圧電層520、620、およびこの圧電層520、620上にAl、W、Au、Pt、あるいはMoなどの導電物質のうち1つを選択して形成された上部電極530、630を有する。
この際、圧電層520、620に生じるバルク音響が基板400から影響を受けることを防止するために、基板400と共振器500、600を隔離させる構造、例えば、反射膜構造あるいはエアギャップ構造を更に含むことができる。
かかる構造の共振器500、600は、下部および上部電極510、610、530、630に電圧を印加して圧電層520、620内に時間的に変化する電界を誘起し、これにより所定の音響波を出力する圧電効果を引き起こして共振を発生させる。この際、共振器500、600の面積または上部電極の厚さを相違に形成することで共振器500、600の共振周波数を相違に制御する。
従って、送信端共振器500と受信端共振器600の共振周波数を制御することによって、送信端フィルタと受信端フィルタとしての役割を行う。なお、各送信端および受信端フィルタは、それぞれ複数の送信端および受信端共振器500、600を直列および並列に接続することで、共振周波数のチューニング特性の向上を図ることにより、周波数フィルタリング特性を向上させ得る。
図2に示すように、本発明の一実施の形態に係る帯域通過フィルタは、第1信号ポート(SIG_P1)と第2または第3信号ポート(SIG_P2、SIG_P3)との間に形成された第1共振回路部100、この第1共振回路部100と向かい合って配置される第2共振回路部200、および第1および第2共振回路部100、200を電気的に接続する分路(DL1〜DLk)上に形成され、第1および第2共振回路部100、200について並列接続され、第1および第2共振回路部100、200を電気的に接続する第3共振回路部300を含む。
詳細には、第1共振回路部100は、少なくとも1つのFBARに形成された複数の共振器(FBAR11〜FBAR1n)が第1信号ポート(SIG_P1)と第2または第3信号ポート(SIG_P2、SIG_P3)との間で相互直列に接続される。
第2共振器回路部200は、少なくとも1つのFBARに形成された複数の共振器(FBAR21〜FBAR2m)が相互直列に接続されている。この時、第2共振回路部200の両端は接地電極(GND)と接続され、接地電極(GND)と第21共振器(FBAR21)との間の第1ノード(N21)および接地電極(GND)と第2m共振器(FBAR21m)との間の第2(m+1)ノード(N2(m+1))にはそれぞれ第1および第2インダクター(IDT1、IDT2)が形成される。なお、第1および第2インダクター(IDT1、IDT2)は後述するデュプレクサに送受信周波数の相異なる周波数帯域に印加されることにより、デュプレクサの設計時に意図した共振周波数特性が変化することを防止するために形成される。
なお、第2共振回路部200に隣接の共振器(FBAR21〜FBAR2m)との間に形成されたノード(N22〜N2m)のうち1つのノードを例に挙げると、第22ノード(N22)に送受信される周波数を安定化させるために接地端子(GND)と接続することが好ましい。
第3共振器回路部300は、少なくとも1つのFBARに形成された複数の共振器(FBAR31〜FBAR3k)が第1共振回路部100と第2共振回路部200を接続する分路(DL1〜DLk)上に形成されて相互並列に接続される。
例えば、第31共振器(FBAR31)は、第1信号ポート(SIG_P1)と第11共振器(FBAR11)との間の第11ノード(N11)にて分岐され、接地電極(GND)と第21共振器(FBAR21)との間の第21ノード(N21)と接続される第1分路(DL1)上に形成される。
従って、第1ないし第3共振回路部100、200、300に含まれた共振器は相互間にブリッジ状で形成される。例えば、第1共振回路部100に含まれた第11共振器(FBAR11)と第2共振回路部200に含まれた第21共振器(FBAR21)および第3共振回路部300に含まれた第31および第32共振器(FBAR31、FBAR32)は相互ブリッジ状で形成される。このようなブリッジ状を介して図10に示すような周波数特性を調整するためのインダクター(IDT3〜IDT8)を除去することができる。
図2では、その一例として、第1共振回路部100に含まれたn個の共振器(FBAR11〜FBAR1n)と第2共振回路部200に含まれたm個の共振器(FBAR21〜FBAR2m)は互いに同一数、即ち、nとmは同じものであると表示したが、異なる値で形成することもできる。
さらに、図2では、その一例として、第11ノード(N11)と第21ノード(N21)を接続する分路(DL1)上に第31共振器(FBAR31)が形成されてブリッジ構造を有することによって、kはn+1の値を有することと形成したが、第11ノード(N11)と第1(n+1)ノード(N1(n+1))に形成された分路(DL1、DLk)を除去して、kはn−1の値を有するべく形成することもできる。
その他、分路(DL)の数を構成して第1ないし第3共振回路部100、200、300に含まれた共振器をブリッジ構造で形成することができる。
さらに、図2に示す第1共振器(FBAR11〜FBAR1n)と第2共振器(FBAR21〜FBAR2m)はそれぞれ相異なる共振周波数を有するよう形成することもでき、第1共振器(FBAR11〜FBAR1n)および第2共振器(FBAR21〜FBAR2m)はそれぞれ異なる共振周波数を有するよう形成することもできる。即ち、フィルタリングしたい周波数帯域の共振周波数を形成するよう設計時に任意で形成することができる。
かかる構造で帯域通過フィルタを形成した場合に、図4に示すように、帯域通過フィルタがフィルタリングしたい周波数帯域、例えば、2.07〜2.16GHzの周波数帯域に属していなければ急激な減衰特性が現れ、2.07〜2.16GHzの周波数帯域の透過係数(S(6,5))が高まり、前記周波数帯域での通過を円滑にさせるフィルタリング特性が現れる。
一方、隣接した周波数帯域、例えば1.88〜1.95GHzの周波数帯域において、透過係数(S(6.5))が−40dB以下に形成され、通過周波数帯域の周辺周波数帯域で透過特性を低くするフィルタリング特性が現れる。従って、移動通信機器での送受信周波数帯域の差が小さい場合に適用することが適切である。
これはブリッジ状で共振器を構成する場合に減衰特性が向上されることにより、共振周波数を制御してフィルタリング特性を向上させるための、図10のインダクター(IDT3〜IDT8)の構成を除去することができ、1nH程度の低いインダクタンスと低い品質係数(Q)を有するインダクター(IDT1、IDT2)の使用が可能であることを意味する。
さらに、インダクター(IDT3〜IDT8)を省略することにより、工程マージンが向上されてFBARの面積が拡大され得る。これは共振周波数特性が向上されることによりフィルタ性能がもっと向上されることを意味する。
図5は本発明の他の実施形態にかかる帯域通過フィルタを概略的に示すブロック図であり、図6は図5に示す帯域通過フィルタのフィルタリング特性に対するシミュレーション結果を示す図面である。
図5に示すように、本発明の他の実施形態にかかる帯域通過フィルタは、第1信号ポート(SIG_P1)と第2または第3信号ポート(SIG_P2、SIG_P3)との間に形成された第1共振回路部100、第1共振回路部100と向かい合って配置される第2共振回路部200、および第1および第2共振回路部100、200を電気的に接続する分路(DL1〜DLk)上に形成された第3共振回路部300を含む。
詳細には、第1共振回路部100は少なくとも1つのFBARで形成された複数の共振器(FBAR11〜FBAR1n)が第1信号ポート(SIG_P1)と第2または第3信号ポート(SIG_P2、SIG_P3)との間で相互直列に接続される。なお、第1共振回路部100の前端と後端に形成された共振器、即ち、第11共振器(FBAR11)と第1n共振器(FBAR1n)には第11共振器(FBAR11)および第1n共振器(FBAR1n)に対してそれぞれ並列に接続されたインダクター(IDT1、IDT2)が形成される。ここで、第1および第2インダクター(IDT1、IDT2)は後述するデュプレクサに相異なる周波数帯域の信号が印加されることによって意図した周波数特性が変化してしまうことを防止するために形成される。
第2共振回路部200は、少なくとも1つのFBARに形成された複数の共振器(FBAR21〜FBAR2m)が相互直列に接続される。この時、第2共振回路部200の両端は接地電極(GND)と接続され、第2共振回路部200に隣接した共振器(FBAR)との間に形成されたノード(FBAR22〜FBAR2m)のうち1つのノードは送受信される周波数を安定化させるために接地端子(GND)と接続されることが好ましい。
第3共振器回路部300は、少なくとも1つのFBARに形成された複数の共振器(FBAR31〜FBAR3m)が第1共振回路部100と第2共振回路部200とを接続する分路(DL1〜DLk)上に形成されて相互並列に接続される。例えば、第31共振器(FBAR31)は、第1信号ポート(SIG_P1)と第11共振器(FBAR11)との間の第11ノード(N11)で分岐されて接地電極(GND)と第21共振器(FBAR21)との間の第21ノード(N21)と接続される第1分路(DL1)上に形成される。
従って、第1ないし第3共振回路部100、200、300に含まれた共振器(FBAR)は相互ブリッジ状で形成される。例えば、第1共振回路部100に含まれた第11共振器(FBAR11)と第2共振回路部200に含まれた第21共振器(FBAR21)および第3共振回路部300に含まれた第31および第32共振器(FBAR31、FBAR32)は相互ブリッジ状で形成される。このようなブリッジ状を介して図10に示すような周波数特性を調整するためのインダクター(IDT3〜IDT8)を除去することができる。
かかる構造で帯域通過フィルタを形成した場合に、図6に示すように、帯域通過フィルタがフィルタリングしたい周波数帯域、例えば、2.07〜2.16GHzの周波数帯域に属していなければ急激な減衰特性が現れ、2.07〜2.16GHzの周波数帯域の透過係数(S(6,5))が高まり、前記周波数帯域での通過を円滑にさせるフィルタリング特性が現れる。
さらに、隣接した周波数帯域、例えば1.88〜1.95GHzの周波数帯域において、透過係数(S(6、5))が−40dB以下に形成され、通過周波数帯域の周辺周波数帯域で透過特性を低くするフィルタリング特性が現れる。
さらに、1.88〜1.95GHzの周波数帯域で透過係数(S(6、5))が均一値を有し、図2に示すように帯域通過フィルタより安定的にフィルタリング特性が現れる。従って、移動通信機器での送受信周波数帯域の差が小さい場合に適用することが適切である。
これはブリッジ状で共振器を構成する場合に減衰特性が向上されることにより、共振周波数を制御してフィルタリング特性を向上させるための、図10のインダクター(IDT3〜IDT8)の構成を除去することができ、1nH程度の低いインダクタンスと低い品質係数(Q)を有するインダクター(IDT1、IDT2)を使用できることを意味する。
さらに、インダクター(IDT3〜IDT8)を省略することにより、工程マージンが向上されてFBARの面積を拡大することができ、これは共振周波数特性を向上させることでフィルタ性能を向上させ得ることを意味する。
図7は、本発明の一実施の形態に係るデュプレクサを概略的に示すブロック図であり、図8は図7に示すデュプレクサを詳細に示すブロック図である。
図7に示すように、本発明の一実施の形態に係るデュプレクサは、第1帯域通過フィルタ700、第2帯域通過フィルタ800、および位相遷移器900を含んでなる。
詳細に、第1帯域通過フィルタ700は、第1信号ポート(SIG_P1)と第2信号ポート(SIG_P2)との間に形成され、第2帯域通過フィルタ800は、第1信号ポートISIG_P1)と第3信号ポート(SIG_P3)との間に形成される。また、位相遷移器900は第1信号ポート(SIG_P1)と第2帯域通過フィルタ800との間に形成される。
本発明の一実施の形態に係るデュプレクサは、第1帯域通過フィルタ700および第2帯域通過フィルタ800が図8に示すように、図2に図示された帯域通過フィルタを一例にあげて構成した。
さらに、第1帯域通過フィルタ700と第2帯域通過フィルタ800は、図5に図示された帯域通過フィルタを介して構成されることができ、図2に図示された帯域通過フィルタと図5に図示された帯域通過フィルタとを組み合わせて構成することができる。
また、図8には、その一例として、nとmは3の値を有し、kは4の値を有するべく構成されているが、前述したように、n、m、kの値は設計者が可変的に形成することができる。従って、この詳細な説明は省略する。
位相遷移器900は、送信周波数の受信周波数が1つの第1信号ポート(SIG_P1)、即ち、アンテナポートを介して送信および受信されることにより相互間の干渉現像を防止するために第1帯域通過フィルタ700と第2帯域通過フィルタ800とを隔離させるために形成する。即ち、送信および受信周波数の差が微々する場合、相互干渉現象を抑えるために、その一例として、インダクターおよびコンデンサーを組み合わせて送信周波数及び受信周波数の位相差を90°にするための90°位相遷移器で形成され得る。
なお、第2信号ポート(SIG_P2)は送信ポートとして、第3信号ポート(SIG_P3)は送信ポートで構成し、第1帯域通過フィルタ700は送信端フィルタで形成されることができ、第2帯域通過フィルタ800は受信端フィルタで形成され得る。
図9は、本発明に係るデュプレクサが単一チップで構成された場合を示したブロック図である。
同図に示すように、本発明の一実施の形態に係るデュプレクサ1000は、第1帯域通過フィルタ700、第2帯域通過フィルタ800、位相遷移器900、第1信号ポート(SIG_P1)、第2信号ポート(SIG_P2)第3信号ポート(SIG_P3)、および接地ポート(GND_P)を含んでなる。
第1及び第2帯域通過フィルタ700、800は、図2あるいは図5に示したように、FBARは直列及び並列に組み合わせて具現したフィルタを使用することが可能である。
第1、2、3信号ポート(SIG_P1、SIG_P2、SIG_P3)はそれぞれ外部素子と電気的に接続できる部分を導電体の物質に形成する。各信号ポートは所定のメタルからなる接続ラインを介して第1および第2帯域通過フィルタ700,800および位相遷移器900と接続される。
接地ポート(GND_P)は、外部の接地端子と電気的に接続される部分のことを意味し、各帯域通過フィルタ700,800および位相遷移器900と所定のメタル物質からなる接続ラインを介して接続される。
第1信号ポート(SIG_P1)は、外部アンテナ(図示せず)と第1帯域通過フィルタ700および位相遷移器900をそれぞれ接続する。第1帯域通過フィルタ700が送信端フィルタであり、第2帯域通過フィルタ800が受信端フィルタであると構成された場合に、送信周波数は位相遷移器900により第2帯域通過フィルタ800には印加されず、第1信号ポート(SIG_P1)を介してアンテナに印加される。
位相遷移器900は、図7に基づいて説明したように、インダクターおよびコンデンサーを組み合わせた90°位相遷移器として具現されることができ、第1および第2帯域通過フィルタを互いに隔離させる。
従って、単一チップーセットでデュプレクサ1000を製造する場合、図10に図示されたデュプレクサにてインダクター(IDT3〜IDT8)を取除くことによって、第1および第2帯域通過フィルタ700、800に含まれた共振器の工程マージンが向上される。これは共振器の面積をより拡張させ得ることから、共振周波数の特性が向上されるのである。
さらに、それぞれの共振器の共振周波数特性が向上されて、図10に図示されたデュプレクサに比べてインダクタンスがより低い値を有するインダクター(IDT1、IDT2)で構成され、低い品質係数(Q)のインダクター(IDT1、IDT2)を使用することにおいても同じレベル以上のフィルタリング特性を有する帯域通過フィルタおよびデュプレクサが具現される。
以上、図面に基づいて本発明の好適な実施形態を図示および説明してきたが本発明の保護範囲は、前述の実施形態に限定するものではなく、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物にまで及ぶものである。
本発明に係る帯域通過フィルタを説明するためのブロック図である。 本発明の一実施の形態に係る帯域通過フィルタを概略的に示すブロック図である。 本発明の一実施の形態に係るFBARを説明するための断面図である。 図1に図示された帯域通過フィルタのフィルタリング特性に対するシミュレーション結果を示す図面である。 本発明の他の実施形態にかかる帯域通過フィルタを概略的に示すブロック図である。 図5に示す帯域通過フィルタのフィルタリング特性に対するシミュレーション結果を示す図面である。 本発明の一実施の形態に係るデュプレクサを概略的に示すブロック図である。 図7に図示されたデュプレクサを詳細に示すブロック図である。 本発明に係る単一チップで構成されたデュプレクサを示す図面である。 US6262637号において、複数の薄膜バルク音響共振器を直列および並列に組み合わせて具現したLadder型フィルタの構成に対する回路図である。
符号の説明
100 第1共振回路部
200 第2共振回路部
300 第3共振回路部
400 基板
500 送信端FBAR
600 受信端FBAR
700 第1帯域通過フィルタ
800 第2帯域通過フィルタ
900 位相遷移器

Claims (12)

  1. n(nは以上の自然数)個の第1共振器が直列接続された第1共振回路部と、
    前記第1共振回路部と対向配置され、m(mは以上の自然数)個の第2共振器が直列接続された第2共振回路部と、
    前記第1および第2共振回路部を接続する分路上に形成されるk(kは以上の自然数)個の第3共振器が並列接続された第3共振回路部と、を含み、
    前記第2共振回路部の両端は接地電極に接続され
    前記第1共振回路部は、第1信号ポートと第2信号ポートとの間に形成され、前記第2共振回路部に含まれた第2共振器との間のノードのうち任意の1つのノードのみ前記接地電極と接続された
    ことを特徴とする帯域通過フィルタ。
  2. 前記第1共振器、第2共振器、および第3共振器は、薄膜バルク音響共振器で形成された
    ことを特徴とする請求項1に記載の帯域通過フィルタ。
  3. 前記分路は、前記第1共振器の両端に形成され、前記kはn+1の値を有する
    ことを特徴とする請求項1に記載の帯域通過フィルタ。
  4. 前記第3共振器は、前記各分路上にそれぞれ1つずつ形成された
    ことを特徴とする請求項3に記載の帯域通過フィルタ。
  5. 前記分路は前記nが2以上の値を有する場合、各第1共振器の間のノードにのみ形成され、前記kはn−1の値を有する
    ことを特徴とする請求項1に記載の帯域通過フィルタ。
  6. 前記第1信号ポートはアンテナと接続されたアンテナポートであり、前記第2信号ポートは前記アンテナポートに送信信号を伝送する送信ポートである
    ことを特徴とする請求項に記載の帯域通過フィルタ。
  7. 前記第1信号ポートはアンテナと接続されたアンテナポートであり、前記第2信号ポートはアンテナポートに印加された受信信号の入力を受ける受信ポートである
    ことを特徴とする請求項に記載の帯域通過フィルタ。
  8. 前記第1共振回路部は、前記第1共振器のうち前端と後端の第1共振器にそれぞれ並列に接続されたインダクターを更に含む
    ことを特徴とする請求項に記載の帯域通過フィルタ。
  9. 第1信号ポートと第2信号ポートとの間に形成される第1帯域通過フィルタと、
    前記第1信号ポートと第3信号ポートとの間に形成される第2帯域通過フィルタと、
    前記第1信号ポートと第2帯域通過フィルタとの間に形成される位相遷移器を含み、
    前記各帯域通過フィルタは、
    n(nは以上の自然数)個の第1共振器が直列接続された第1共振回路部と、
    前記第1共振回路部と対向配置され、m(mは以上の自然数)個の第2共振器が直列接続された第2共振回路部と、
    前記第1および第2共振回路部を接続する分路上に形成されるk(kは以上の自然数)個の第3共振器が並列接続された第3共振回路部と、を含み、
    前記各帯域通過フィルタの前記第2共振回路部の両端は接地電極に接続され
    前記第2共振回路部に含まれた第2共振器との間のノードのうち任意の1つのノードのみ前記接地電極と接続された
    ことを特徴とするデュプレクサ。
  10. 前記第1帯域通過フィルタの第1共振回路部の前端および後端ノードはそれぞれ前記第1および第2信号ポートに接続され、前記第2帯域通過フィルタの第1共振回路の前端および後端ノードはそれぞれ前記位相遷移器および第3信号ポートに接続された
    ことを特徴とする請求項に記載のデュプレクサ。
  11. 前記第1共振回路部は、前記第1共振回路部に含まれた第1共振器のうち前端と後端の第1共振器にそれぞれ並列に接続されたインダクターを更に含む
    ことを特徴とする請求項に記載のデュプレクサ。
  12. 前記第1信号ポートはアンテナと接続されたアンテナポートであり、第2信号ポートは送信信号をアンテナに提供する送信ポートであり、第3信号ポートはアンテナに印加された受信信号の入力を受ける受信ポートである
    ことを特徴とする請求項に記載のデュプレクサ。
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