JP2012089996A - 分波器 - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 199
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 160
- 102000006463 Talin Human genes 0.000 claims description 7
- 108010083809 Talin Proteins 0.000 claims description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 17
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 75
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 59
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 52
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 50
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 42
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 41
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 28
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 28
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 22
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 21
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 8
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 3
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- -1 or the like Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02015—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
- H03H9/173—Air-gaps
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
- H03H9/175—Acoustic mirrors
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/58—Multiple crystal filters
- H03H9/60—Electric coupling means therefor
- H03H9/605—Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/703—Networks using bulk acoustic wave devices
- H03H9/706—Duplexers
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04B—TRANSMISSION
- H04B1/00—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
- H04B1/005—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges
- H04B1/0053—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band
- H04B1/0057—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band using diplexing or multiplexing filters for selecting the desired band
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
【解決手段】本発明は、一端がアンテナ端子Antに接続され、他端が送信端子Txに接続された送信フィルタF13と、一端がアンテナ端子Antに接続され、他端が受信端子Rxに接続され、送信フィルタF13の通過帯域より高周波数側に通過帯域を有する受信フィルタF14と、を具備し、送信フィルタF13とアンテナ端子Antとの間、及び受信フィルタF14とアンテナ端子Antとの間のいずれにも位相器を備えず、受信フィルタF14は、複数の圧電薄膜共振子をラダー型に接続したラダー型フィルタであり、圧電薄膜共振子の共振周波数よりも低周波数側において、圧電薄膜共振子が備える圧電薄膜の厚み方向と直交する方向の伝搬定数が実数であり、アンテナ端子Ant側から見た受信フィルタF14の初段の共振子は、並列共振子P1である分波器。
【選択図】図34
Description
送信フィルタF11aの共振子が有する容量値を以下に示す。
送信フィルタF11aにおける直列共振子S1の容量値;Cs
送信フィルタF11aにおける直列共振子S2〜S4の容量値:0.5Cs
送信フィルタF11aにおける並列共振子P1〜P3の容量値:2Cp
送信フィルタF11aにおける並列共振子P4の容量値:Cp
容量比:Cp/Cs=0.6
図5(a)に示した送信フィルタF11aは、図3(a)及び図3(b)において説明したように、1段ラダー型フィルタを複数個接続し、共振子を合成させたフィルタである。直列共振子S2〜S4の各々は、2つの直列共振子を直列に合成した共振子である。従って、直列共振子S2〜S4の各々の容量値は、2つの容量値Csを直列に合成した0.5Csとなる。また、並列共振子P1〜P3の各々は、2つの並列共振子を並列に合成した共振子である。従って、並列共振子P1〜P3の各々の容量値は、2つの容量値Cpを並列に合成した2Cpとなる。
送信フィルタF11bにおける直列共振子S1〜S3の容量値;0.5Cs
送信フィルタF11bにおける直列共振子S4の容量値:Cs
送信フィルタF11bにおける並列共振子P1の容量値:Cp
送信フィルタF11bにおける並列共振子P2〜P4の容量値:2Cp
直列共振子S1〜S3の各々は、2つの直列共振子を直列に合成した共振子である。従って、直列共振子S1〜S3の各々の容量値は、2つの容量値Csを直列に合成した0.5Csとなる。また、並列共振子P2〜P4の各々は、2つの並列共振子を並列に合成した共振子である。従って、並列共振子P2〜P4の各々の容量値は、2つの容量値Cpを並列に合成した2Cpとなる。
送信フィルタの通過帯域:1850〜1910MHz
受信フィルタの通過帯域:1930〜1960MHz
容量値Cs:1.12pF
容量値Cp:1.87pF
受信フィルタは7段のラダー型フィルタとした。つまり、受信フィルタは、図5(a)及び図5(b)に示したラダー型フィルタにおいて、送信端子Txを受信端子Rxに置き換えたフィルタとした。受信フィルタが備える圧電薄膜共振子は、位相を回転させ、送信フィルタの通過帯域におけるインピーダンスが増大するような容量値を有する。受信フィルタが備える共振子のうち、アンテナ端子Antから見て初段の共振子が、直列共振子S1である場合(図5(a)参照)、及び並列共振子P1である場合(図5(b)参照)、2つの場合を考える。まず直列共振子S1が初段に配置されている場合を考える。
下部電極 124
上部電極 126
圧電薄膜 128
共振領域 130
分波器 100,100a,100b,100c,200,300a,300b,300c,300d
RFモジュール 400
アンテナ端子 Ant
送信フィルタ F11,F13
受信フィルタ F12,F14,F15,F16,F17
インダクタ L
並列共振子 P1〜Pn
直列共振子 S1〜Sn
Claims (12)
- 一端が共通端子に接続され、他端が第1端子に接続された第1フィルタと、
一端が前記共通端子に接続され、他端が第2端子に接続され、前記第1フィルタの通過帯域より高周波数側に通過帯域を有する第2フィルタと、を具備し、
前記第1フィルタと前記共通端子との間、及び前記第2フィルタと前記共通端子との間のいずれにも位相器を備えず、
前記第2フィルタは、複数の圧電薄膜共振子をラダー型に接続したラダー型フィルタであり、
前記圧電薄膜共振子の共振周波数よりも低周波数側において、前記圧電薄膜共振子が備える圧電薄膜の厚み方向と直交する方向の伝搬定数が実数であり、
前記共通端子側から見た前記第2フィルタの初段の共振子は、並列共振子であることを特徴とする分波器。 - 前記第2フィルタが備える前記共通端子に最も近い直列共振子は、直列に分割されていることを特徴とする請求項1記載の分波器。
- 一端が共通端子に接続され、他端が第1端子に接続された第1フィルタと、
一端が前記共通端子に接続され、他端が第2端子に接続され、前記第1フィルタの通過帯域より高周波数側に通過帯域を有する第2フィルタと、を具備し、
前記第1フィルタと前記共通端子との間、及び前記第2フィルタと前記共通端子との間のいずれにも位相器を備えず、
前記第2フィルタは、複数の圧電薄膜共振子をラダー型に接続したラダー型フィルタであり、
前記圧電薄膜共振子の共振周波数よりも低周波数側において、前記圧電薄膜共振子が備える圧電薄膜の厚み方向と直交する方向の伝搬定数が実数であり、
前記共通端子側から見た前記第2フィルタの初段の共振子は、直列共振子であり、
前記直列共振子は、直列に分割されていることを特徴とする分波器。 - 前記圧電薄膜のポアソン比は0.3未満であることを特徴とする請求項1から3いずれか一項記載の分波器。
- 前記直列共振子が直列に分割されて形成された複数の直列共振子のうち、少なくとも1つの直列共振子は、前記複数の直列共振子のうち前記1つの直列共振子以外の直列共振子と異なる容量値を有することを特徴とする請求項2又は3記載の分波器。
- 前記直列共振子が直列に分割されて形成された複数の直列共振子のうち、少なくとも1つの直列共振子と、前記複数の直列共振子のうち前記1つの直列共振子以外の直列共振子とでは、前記圧電薄膜を介して前記上部電極と前記下部電極とが互いに重なる領域の形状が異なることを特徴とする請求項2、3及び5いずれか一項記載の分波器。
- 一端が共通端子に接続され、他端が第1端子に接続された第1フィルタと、
一端が前記共通端子に接続され、他端が第2端子に接続され、前記第1フィルタの通過帯域より高周波数側に通過帯域を有する第2フィルタと、を具備し、
前記第1フィルタと前記共通端子との間、及び前記第2フィルタと前記共通端子との間のいずれにも位相器を備えず、
前記第2フィルタは、複数の圧電薄膜共振子をラダー型に接続したラダー型フィルタであり、
前記圧電薄膜共振子の共振周波数よりも高周波数側において、前記圧電薄膜共振子が備える圧電薄膜の厚み方向と直交する方向の伝搬定数が実数であり、
前記共通端子側から見た前記第2フィルタの初段の共振子は、直列共振子であることを特徴とする分波器。 - 前記圧電薄膜のポアソン比は0.3以上であることを特徴とする請求項7記載の分波器。
- 前記第1フィルタは送信フィルタであり、
前記第2フィルタは受信フィルタであることを特徴とする請求項1から8いずれか一項記載の分波器。 - 前記第1フィルタの通過帯域と、前記第2フィルタの通過帯域との間隔は、40MHz以下であることを特徴とする請求項1から9いずれか一項記載の分波器。
- 一端が前記共通端子と、前記第1フィルタ及び前記第2フィルタとの間に接続され、他端が接地されているインダクタを備えることを特徴とする請求項1から10いずれか一項記載の分波器。
- 前記分波器は、W−CDMA Band2方式向けの分波器であることを特徴とする請求項1から11いずれか一項記載の分波器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010233640A JP5653161B2 (ja) | 2010-10-18 | 2010-10-18 | 分波器 |
PCT/JP2011/058926 WO2012053239A1 (ja) | 2010-10-18 | 2011-04-08 | 分波器 |
US13/759,385 US9203377B2 (en) | 2010-10-18 | 2013-02-05 | Duplexer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010233640A JP5653161B2 (ja) | 2010-10-18 | 2010-10-18 | 分波器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012089996A true JP2012089996A (ja) | 2012-05-10 |
JP5653161B2 JP5653161B2 (ja) | 2015-01-14 |
Family
ID=45974966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010233640A Expired - Fee Related JP5653161B2 (ja) | 2010-10-18 | 2010-10-18 | 分波器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9203377B2 (ja) |
JP (1) | JP5653161B2 (ja) |
WO (1) | WO2012053239A1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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