JP2000516133A - フィルターシート及び該フィルターシート使用のホトレジスト組成物精製法 - Google Patents
フィルターシート及び該フィルターシート使用のホトレジスト組成物精製法Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. 内部に固定した微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子を有する自立繊維 マトリックスからなり、前記微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子が前記マト リックスの横断面全体に実質的に均一に分散されていることを特徴とするフィル ターシート。 2. 前記イオン交換樹脂が、カチオン交換樹脂であることを特徴とする請求項 1記載のフィルターシート。 3. 前記イオン交換樹脂が、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂の混合物で あることを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 4. 前記カチオン交換樹脂は、スルホン化フェノール−ホルムアルデヒド縮合 物、スルホン化フェノール−ベンズアルデヒド縮合物、スルホン化スチレン−ジ ビニルベンゼン共重合体、スルホン化メタクリル酸−ジビニルベンゼン共重合体 からなる群から選択することを特徴とする請求項2記載のフィルターシート。 5. 前記カチオン交換樹脂が、スルホン化スチレン−ジビニルベンゼン共重合 体であることを特徴とする請求項2記載のフィルターシート。 6.前記微粒ろ過助剤は、けいそう土、マグネシア、パーライト、タルク、コロ イドシリカ、重合微粒子、活性化カーボン、モレキュラシーブ、粘土、及びそれ らの混合物からなる群から選択することを特徴とする請求項1記載のフィルター シート。 7. 前記微粒ろ過助剤が、けいそう土であることを特徴とする請求項1記載の フィルターシート。 8. さらに結合剤樹脂を含むことを特徴とする請求項1記載のフィルターシー ト。 9. 前記結合剤樹脂が、ポリアミド−ポリアミンエピクロロヒドリン樹脂であ ることを特徴とする請求項8記載のフィルターシート。 10. さらにキレート化交換樹脂からなることを特徴とする請求項1記載のフ ィルターシート。 11. 乳酸エチル及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートか らなる群から選んだ溶媒75mlを約47mm直径のフィルターシートを介して フラッシングすることによって測定したとき、各金属に対して20ppbを越え ないナトリウム、鉄、カルシウム、クロム、アルミニウム、カリウム及び銅の抽 出物を含有することを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 12. 前記自立繊維マトリックスは、ポリアクリルニトリル繊維、ナイロン繊 維、レーヨン繊維、ポリ塩化ビニル繊維、セルロース繊維、及びセルロースアセ テート繊維からなる群から選択することを特徴とする請求項1記載のフィルター シート。 13. 前記自立繊維マトリックスが、セルロース繊維からなることを特徴とす る請求項1記載のフィルターシート。 14. 前記セルロース繊維が、90%以上のアルファセルロース含量を有する ことを特徴とする請求項13記載のフィルターシート。 15. 前記セルロース交換樹脂は、亜硫酸法で製造されることを特徴とする請 求項13記載のフィルターシート。 16. 前記セルロース交換樹脂は、カナダ標準ろ水度が+400〜+800m Lの主量部の標準セルロースパルプと、カナダ標準ろ水度が+100〜−100 0mLの少量部の高精製パルプからなることを特徴とする請求項13記載のフィ ルターシート。 17. 前記イオン交換樹脂は、フィルターシートの5〜65重量%を占めるこ とを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 18. 前記イオン交換樹脂は、フィルターシートの5〜35重量%を占めるこ とを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 19. 前記微粒ろ過助剤は、フィルターシートの5〜40重量%を占めること を特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 20. 前記微粒ろ過助剤は、フィルターシートの15〜40重量%を占めるこ とを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 21. 前記結合剤樹脂は、フィルターシートの0.05〜2.0重量%を占め ることを特徴とする請求項8記載のフィルターシート。 22. 前記結合剤樹脂は、フィルターシートの0.1〜0.5重量%を占める ことを特徴とする請求項8記載のフィルターシート。 23. 前記繊維マトリックは、フィルターシートの15〜80重量%を占める ことを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 24. 前記繊維マトリックは、フィルターシートの40〜70重量%を占める ことを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 25. 前記イオン交換樹脂はフィルターシートの5〜65重量%を占め、前記 微粒ろ過助剤は5〜40重量%を占め、前記繊維マトリックは15〜80重量% を占めることを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 26. 前記イオン交換樹脂はフィルターシートの5〜35重量%を占め、前記 微粒ろ過助剤は15〜40重量%を占め、前記繊維マトリックは40〜70重量 %を占めることを特徴とする請求項1記載のフィルターシート。 27. カナダ標準ろ水度が+400〜+800mLの主量部の標準セルロース パルプと、カナダ標準ろ水度が+100〜−1000mLの少量部の高精製パル プからなるセルロース繊維の自立マトリックスに固定されたイオン交換樹脂及び 微粒ろ過助剤からなることを特徴とするフィルターシート。 28. 前記セルロース繊維が、90%以上のアルファセルロース含量を有する ことを特徴とする請求項27記載のフィルターシート。 29. 前記セルロース換樹脂は、亜硫酸法で製造されることを特徴とする請求 項27記載のフィルターシート。 30. 前記イオン交換樹脂は、H+対イオンを含有するカチオン交換樹脂であ ることを特徴とする請求項27記載のフィルターシート。 31. 前記微粒ろ過助剤が、酸洗浄けいそう土であることを特徴とする請求項 27記載のフィルターシート。 32. さらに結合剤樹脂からなることを特徴とする請求項27記載のフィルタ ーシート。 33. カナダ標準ろ水度が+400〜+800mLの主量部の標準セルロース パルプと、カナダ標準ろ水度が+100〜−1000mLの少量部の高精製パル プからなるセルロース繊維の自立マトリックスに埋め込まれた、スルホン化スチ レン−ジビニルベンゼン共重合体、けいそう土及びポリアミド−ポリアミンエピ クロロヒドリン樹脂からなることを特徴とするフィルターシート。 34. 前記スルホン化スチレン−ジビニルベンゼン共重合体が、フィルターシ ートの5〜65重量%を占めることを特徴とする請求項33記載のフィルターシ ート。 35. 前記けいそう土が、フィルターシートの5〜40重量%を占めることを 特徴とする請求項33記載のフィルターシート。 36. 前記ポリアミド−ポリアミンエピクロロヒドリン樹脂が、フィルターシ ートの0.05〜2重量%を占めることを特徴とする請求項33記載のフィルタ ーシート。 37. 前記セルロース繊維が、フィルターシートの20〜80重量%を占める ことを特徴とする請求項33記載のフィルターシート。 38. 内部に固定した微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子を有する自立繊 維マトリックスからなり、前記微粒ろ過助剤と微粒イオン交換樹脂粒子が前記マ トリックスの横断面全体に実質的に均一に分散されているフィルターシートに、 有機液体を通過させることからなることを特徴とする有機液体からの溶解イオン 不純物の除去方法。 39. 前記有機液体が、ホトレジスト組成物であることを特徴とする請求項3 8記載の方法。 40. 前記不純物は、ナトリウム、カリウム、鉄、銅、クロム、ニッケル、モ リブデン、亜鉛、及びそれらの混合物からなる群から選らぶことを特徴とする請 求項39記載の方法。 41. 前記イオン交換樹脂が、カチオン交換樹脂であることを特徴とする請求 項38記載の方法。 42. 前記イオン交換樹脂が、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂の混合物 であることを特徴とする請求項38記載の方法。 43. 前記カチオン交換樹脂は、スルホン化フェノール−ホルムアルデヒド縮 合物、スルホン化フェノール−ベンズアルデヒド縮合物、スルホン化スチレン− ジビニルベンゼン共重合体、スルホン化メタクリル酸−ジビニルベンゼン共重合 体からなる群から選択することを特徴とする請求項41記載の方法。 44. 前記カチオン交換樹脂が、スルホン化スチレン−ジビニルベンゼン共重 合体であることを特徴とする請求項41記載の方法。 45.前記微粒ろ過助剤は、けいそう土、マグネシア、パーライト、タルク、コ ロイドシリカ、重合微粒子、活性化カーボン、モレキュラシーブ、粘土、及びそ れらの混合物からなる群から選択することを特徴とする請求項38記載の方法。 46. 前記微粒ろ過助剤が、酸洗浄けいそう土であることを特徴とする請求項 38記載の方法。 47. フィルターシートが、さらに結合剤樹脂を含むことを特徴とする請求項 38記載の方法。 48. 前記結合剤樹脂が、ポリアミド−ポリアミンエピクロロヒドリン樹脂で あることを特徴とする請求項47記載の方法。 49. フィルターシートが、さらにキレート化交換樹脂を含むことを特徴とす る請求項38記載の方法。 50. フィルターシートが、乳酸エチル及びプロピレングリコールモノメチル エーテルアセテートからなる群から選んだ溶媒75mlを約47mm直径のフィ ルターシートを介してフラッシングすることによって測定したとき、各金属に対 して20ppbを越えないナトリウム、鉄、カルシウム、クロム、アルミニウム 、カリウム及び銅の抽出物を含有することを特徴とする請求項38記載の方法。 51. 前記自立繊維マトリックスは、ポリアクリルニトリル繊維、ナイロン繊 維、レーヨン繊維、ポリ塩化ビニル繊維、セルロース繊維、及びセルロースアセ テート繊維からなる群から選択することを特徴とする請求項38記載の方法。 52. 前記自立繊維マトリックスが、セルロース繊維からなることを特徴とす る請求項38記載の方法。 53. 前記セルロース繊維が、90%以上のアルファセルロース含量を有する ことを特徴とする請求項52記載の方法。 54. 前記セルロース交換樹脂は、亜硫酸法で製造されることを特徴とする請 求項52記載の方法。 55. 前記セルロース交換樹脂は、カナダ標準ろ水度が+400〜+800m Lの主量部の標準セルロースパルプと、カナダ標準ろ水度が+100〜−100 0mLの少量部の高精製パルプからなることを特徴とする請求項52記載の方法 。 56. 前記イオン交換樹脂は、フィルターシートの5〜65重量%を占めるこ とを特徴とする請求項38記載の方法。 57. 前記イオン交換樹脂は、フィルターシートの5〜40重量%を占めるこ とを特徴とする請求項38記載の方法。 58. 前記微粒ろ過助剤は、フィルターシートの5〜40重量%を占めること を特徴とする請求項38記載の方法。 59. 前記微粒ろ過助剤は、フィルターシートの15〜40重量%を占めるこ とを特徴とする請求項38記載の方法。 60. 前記結合剤樹脂は、フィルターシートの0.05〜2.0重量%を占め ることを特徴とする請求項47記載の方法。 61. 前記結合剤樹脂は、フィルターシートの0.1〜0.5重量%を占める ることを特徴とする請求項47記載の方法。 62. 前記繊維マトリックは、フィルターシートの15〜80重量%を占める ことを特徴とする請求項38記載の方法。 63. 前記繊維マトリックは、フィルターシートの40〜70重量%を占める ことを特徴とする請求項38記載の方法。 64. 前記イオン交換樹脂はフィルターシートの5〜65重量%を占め、前記 微粒ろ過助剤は5〜40重量%を占め、前記繊維マトリックは15〜80重量% を占めることを特徴とする請求項38記載の方法。 65. 前記イオン交換樹脂はフィルターシートの5〜35重量%を占め、前記 微粒ろ過助剤は15〜40重量%を占め、前記繊維マトリックは40〜70重量 %を占めることを特徴とする請求項38記載の方法。 66. 内部に固定した微粒ろ過助剤と微粒カチオン交換樹脂粒子を有する自立 セルロース繊維マトリックスからなり、前記微粒ろ過助剤と微粒カチオン交換樹 脂粒子が前記マトリックスの横断面全体に実質的に均一に分散されているフィル ターシートに、ホトレジスト組成物を通過させることからなることを特徴とする ホトレジストからの溶解イオン不純物の除去方法。 67. 前記イオン交換樹脂はけいそう土からなることを特徴とする請求項66 記載の方法。 68. 前記カチオン交換樹脂はスルホン化スチレン−ジビニル共重合体からな ることを特徴とする請求項66記載の方法。 69. 前記セルロース繊維マトリックスが、前記セルロース換樹脂は、カナダ 標準ろ水度が+400〜+800mLの主量部の標準セルロースパルプと、カナ ダ標準ろ水度が+100〜−1000mLの少量部の高精製パルプからなること を特徴とする請求項66記載の方法。 70. 前記セルロース繊維が、フィルターシートの15〜80重量%を占める ことを特徴とする請求項66記載の方法。 71. 前記微粒ろ過助剤は、フィルターシートの5〜40重量%を占めること を特徴とする請求項66記載の方法。 72.カチオン交換樹脂は、フィルターシートの5〜65重量%を占めることを 特徴とする請求項66記載の方法。 73. カナダ標準ろ水度が+400〜+800mLの主量部の標準セルロース パルプと、カナダ標準ろ水度が+100〜−1000mLの少量部の高精製パル プを含有するセルロース繊維マトリックスからなるフィルターシートに、ホトレ ジスト組成物を通過させることからなることをを特徴とするホトレジスト組成物 からの溶解イオン不純物の除去方法。
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