JP7358597B2 - フィルタ、フィルタの製造方法、ろ過装置、薬液の製造方法 - Google Patents
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Description
近年、半導体製品の高度化に伴い、半導体製造に用いる上記の薬液には更なる欠陥抑制性が求められている。
そこで、本発明は、欠陥抑制性が優れる薬液を製造できるフィルタの提供を課題とする。また、フィルタの製造方法、ろ過装置、及び、薬液の製造方法の提供を課題とする。
ろ過用のフィルタであって、
フィルタ本体と、
一般式(I)~(V)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケン、からなる群から選択される第1有機化合物を1種以上と、を含有し、
上記第1有機化合物の合計含有量が、上記フィルタの質量に対して、0.10~10000質量pptである、フィルタ。
〔2〕
上記フィルタが、更に、一般式(VI)~(VIII)で表される化合物からなる群から選択される第2有機化合物の1種以上を含有する、〔1〕に記載のフィルタ。
〔3〕
上記第1有機化合物の合計含有量が、上記フィルタの質量に対して、5.0質量ppt以上、かつ、
一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される化合物の合計含有量が、上記フィルタの質量に対して、6500質量ppt以下である、〔2〕に記載のフィルタ。
〔4〕
上記フィルタが、
一般式(I)~(VIII)で表される化合物からなるA群から選択される化合物の1種以上と、
一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなるB群から選択される化合物の1種以上と、を含有する、〔2〕又は〔3〕に記載のフィルタ。
〔5〕
上記A群から選択される化合物の合計含有量が、上記フィルタの質量に対して、0.10~3200質量pptである、〔4〕に記載のフィルタ。
〔6〕
上記B群から選択される化合物の合計含有量が、上記フィルタの質量に対して、1.0~1200質量pptである、〔4〕又は〔5〕に記載のフィルタ。
〔7〕
更に、Al、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Na、Ni、Zn、及び、Pbからなる群から選択される金属成分を、上記フィルタの質量に対して、0.10~5000質量ppt含有する、〔1〕~〔6〕のいずれかに記載のフィルタ。
〔8〕
上記フィルタ本体がナイロンを含有し、
上記A群から選択される化合物1種以上と、上記B群から選択される化合物2種以上と、を含有する、〔4〕~〔6〕のいずれかに記載のフィルタ。
〔9〕
一般式(X)で表されるアルカンと、一般式(XI)で表されるアルケンと、を含有し、
一般式(X)で表されるアルカンの含有量A、一般式(XI)で表されるアルケンの含有量B、及び、一般式(XII)で表されるアルケンの含有量Cが、質量基準で、C<A、かつ、C<Bである、〔8〕に記載のフィルタ。
〔10〕
上記フィルタ本体がポリエチレン又はポリテトラフルオロエチレンを含有し、
上記A群から選択される化合物1種以上と、一般式(X)で表されるアルカンと、を含有する、〔4〕~〔7〕のいずれかに記載のフィルタ。
〔11〕
上記フィルタの細孔径が、10nm以下である、〔1〕~〔10〕のいずれかに記載のフィルタ。
〔12〕
上記フィルタ本体が、イオン交換基を含有する、〔1〕~〔11〕のいずれかに記載のフィルタ。
〔13〕
上記フィルタ本体がそれぞれ異なる材料からなる2以上の層を含有する、〔1〕~〔12〕のいずれかに記載のフィルタ。
〔14〕
上記フィルタ本体が、非対称多孔質膜を含有する、〔1〕~〔13〕のいずれかに記載のフィルタ。
〔15〕
上記フィルタ本体が、フッ素系材料以外の材料からなる、〔1〕~〔14〕に記載のフィルタ。
〔16〕
〔1〕~〔15〕のいずれかに記載のフィルタの製造方法であって、
一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される1種以上を含有する未処理のフィルタに対し、有機洗浄液を用いた前処理を施す工程を含有する、フィルタの製造方法。
〔17〕
上記有機洗浄液が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、イソプロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、酢酸イソアミル、4-メチル-2-ペンタノール、ジメチルスルホキシド、N-メチルピロリドン、ジエチレングリコール、エチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコール、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、スルフォラン、シクロヘプタノン、2-ヘプタノン、酪酸ブチル、イソ酪酸イソブチル、ウンデカン、プロピオン酸ペンチル、プロピオン酸イソペンチル、エチルシクロヘキサン、メシチレン、デカン、3,7-ジメチル-3-オクタノール、2-エチル-1-ヘキサノール、1-オクタノール、2-オクタノール、アセト酢酸エチル、マロン酸ジメチル、ピルビン酸メチル、及び、シュウ酸ジメチルからなる群から選択される1種以上を含有する、〔16〕に記載のフィルタの製造方法。
〔18〕
上記前処理が、上記未処理のフィルタを、上記有機洗浄液に3日以上浸漬させる工程を含有する、〔16〕又は〔17〕に記載のフィルタの製造方法。
〔19〕
上記有機洗浄液に浸漬した上記未処理のフィルタに超音波処理をして上記前処理を施す工程を含有する、〔16〕~〔18〕のいずれかに記載のフィルタの製造方法。
〔20〕
上記前処理が、中空円筒状である上記未処理のフィルタに、上記有機洗浄液を通液させる工程を含有し、
上記通液をする上記有機洗浄液が、上記未処理のフィルタの筒長1インチに対して、10kg以上である、〔16〕~〔19〕のいずれかに記載のフィルタの製造方法。
〔21〕
上記未処理のフィルタ中の、一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される化合物の合計含有量に対する、
上記前処理を施した後のフィルタ中の、一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される化合物の合計含有量の質量比が、0.5000以下となる、〔16〕~〔20〕のいずれかに記載のフィルタの製造方法。
〔22〕
上記前処理を施される前の上記未処理のフィルタが、上記未処理のフィルタに対する接触部分の少なくとも一部がフッ素系樹脂又はステンレス鋼である梱包材で梱包されている、〔16〕~〔21〕のいずれか1項に記載のフィルタの製造方法。
〔23〕
流入部と、流出部と、
2以上の〔1〕~〔15〕のいずれかに記載のフィルタと、を含有し、
2以上の上記フィルタは上記流入部及び上記流出部の間に直列に配置され、
上記流入部から上記流出部にいたる流通路を含有する、被精製液を精製して、薬液を得るための、ろ過装置。
〔24〕
2以上の上記フィルタ中、細孔径が最大である上記フィルタの細孔径が10~200nmであり、細孔径が最小である上記フィルタの細孔径が1~10nmである、〔23〕に記載のろ過装置。
〔25〕
〔12〕に記載のフィルタを含有する、〔23〕又は〔24〕に記載のろ過装置。
〔26〕
〔9〕に記載のフィルタを含有する、〔23〕~〔25〕のいずれかに記載のろ過装置。
〔27〕
〔10〕に記載のフィルタを含有する、〔23〕~〔26〕のいずれかに記載のろ過装置。
〔28〕
被精製液を精製して薬液を得る薬液の製造方法であって、
〔1〕~〔15〕のいずれかに記載のフィルタを用いて被精製液をろ過して薬液を得る工程を含有する、薬液の製造方法。
〔29〕
上記被精製液が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、シクロヘキサノン、メトキシプロピオン酸メチル、酢酸ブチル、γ-ブチロラクトン、4-メチル-2-ペンタノール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、乳酸エチル、シクロペンタノン、ジイソアミルエーテル、酢酸イソアミル、イソプロパノール、ジメチルスルホキシド、N-メチルピロリドン、ジエチレングリコール、エチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコール、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、スルフォラン、シクロヘプタノン、2-ヘプタノン、酪酸ブチル、イソ酪酸イソブチル、ウンデカン、プロピオン酸ペンチル、プロピオン酸イソペンチル、エチルシクロヘキサン、メシチレン、デカン、3,7-ジメチル-3-オクタノール、2-エチル-1-ヘキサノール、1-オクタノール、2-オクタノール、アセト酢酸エチル、マロン酸ジメチル、ピルビン酸メチル、及び、シュウ酸ジメチルからなる群から選択される1種以上を含有する、〔28〕に記載の薬液の製造方法。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施形態に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施形態に限定されない。
なお、本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、本発明において、「ppm」は「parts-per-million(10-6)」を意味し、「ppb」は「parts-per-billion(10-9)」を意味し、「ppt」は「parts-per-trillion(10-12)」を意味し、「ppq」は「parts-per-quadrillion(10-15)」を意味する。
また、本発明における基(原子群)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、本発明の効果を損ねない範囲で、置換基を含有しない基と共に置換基を含有する基をも包含する。例えば、「炭化水素基」とは、置換基を含有しない炭化水素基(無置換炭化水素基)のみならず、置換基を含有する炭化水素基(置換炭化水素基)をも包含する。この点は、各化合物についても同義である。
また、本発明における「放射線」とは、例えば、遠紫外線、極紫外線(EUV;Extreme ultraviolet)、X線、又は、電子線等を意味する。また、本発明において光とは、活性光線又は放射線を意味する。本発明中における「露光」とは、特に断らない限り、遠紫外線、X線又はEUV等による露光のみならず、電子線又はイオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
本発明のフィルタは、液体のろ過用フィルタである。
上記フィルタは、フィルタ本体と、第1有機化合物とを含有する。
上記第1有機化合物は、後述する一般式(I)~(V)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンで表される化合物からなる群から選択される化合物の総称である。
上記第1有機化合物の合計含有量は、フィルタの質量に対して、0.10~10000質量pptである。
半導体製造プロセスでは、薬液が含有する微量な不純物であっても、各種欠陥等を生じる原因となりやすい。
なお、各種欠陥とは、例えば、薬液を半導体デバイスの製造工程に適用した場合に発生する欠陥である。より具体的な例としては、薬液をプリウェット液又はリンス液として使用した場合における金属残渣物欠陥、粒子状有機残渣物欠陥、及び、シミ状欠陥であり、これらの欠陥をいずれも抑制できることが求められる。他の具体例としては、薬液を配管洗浄液として使用した場合において、その後、洗浄した配管で上記プリウェット液又はリンス液を移送してから、プリウェット又はリンスを実施した際に生じる上記の欠陥であり、上記の欠陥をいずれも抑制できることが求められる。他の具体例としては、薬液をパターンの現像液及び/又はリンス液として使用した場合における、現像不良欠陥、残渣物欠陥、及び、均一性欠陥(ArF露光でパターンを形成した場合の欠陥の一例)、並びに、突起状の欠陥であるPLOT欠陥、パターン間の橋かけ状の欠陥であるBRIDGE欠陥、及び、膜状の残渣に基づく欠陥であるGEL欠陥(EUV露光でパターンを形成した場合の欠陥の一例)等であり、これらの欠陥をいずれも抑制できることが求められる。
本発明のフィルタは、第1有機化合物の含有量が所定量以下であるため、本発明のフィルタを用いて製造した薬液には、不純物として第1有機化合物が混入しにくく、薬液の欠陥抑制性が改善される。
また、本発明のフィルタは、所定量以上の第1有機化合物を含有しているため、その他の微量成分(特に、欠陥の原因となりやすい不純物等)がフィルタに付着するのを抑制でき、上記その他の微量成分が、本発明のフィルタを用いて製造した薬液に混入してパターンにおける欠陥の原因となるのを抑制できる。
このような機序に基づき、本発明のフィルタを用いて製造した薬液を用いたレジストプロセスでは、最終的に得られるパターンの欠陥の発生を抑制できた、と本発明者らは推測している。
本発明のフィルタは、後述する一般式(I)~(V)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される第1有機化合物を含有する。
なお、第1有機化合物と、更に、後述する一般式(VI)~(VIII)で表される化合物とを併せて、総称し、特定有機化合物とも言う。
特定有機化合物は、通常、常温常圧で、液体又は固体である。
第1有機化合物は、一般式(I)~(V)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される1種以上である。
以下、各第1有機化合物について説明する。
一般式(I)で表される化合物を以下に示す。
上記アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい。
上記アルキル基の炭素数は1~50が好ましく、10~20がより好ましい。なお、上記アルキル基の炭素数に、アルキル基が含有していてもよい置換基が含有する炭素原子の数は含まない。
R1bは、置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。なお、上記アルキレン基の炭素数は、アルキレン基が含有していてもよい置換基が含有する炭素原子の数を含まない。
上記アルキレン基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい。
上記アルキレン基の炭素数は1~10が好ましく、1~5がより好ましい。
一般式(I)で表される化合物を例示する。
一般式(II)で表される化合物を以下に示す。
なお、一般式(II)で表される化合物は、一般式(I)で表される化合物とは別の特定有機化合物である。
ベンゼン環基が含有してもよい置換基としては、例えば、置換基を含有していてもよい、アルキル基、アルコキシ基、及び、アリールカルボニル基が挙げられる。
シクロへキセン環基が含有してもよい置換基としては、例えば、置換基を含有していてもよい、アルケニルオキシ基、及び、シクロへキセン環基が挙げられる。
一般式(II)で表される化合物を例示する。
一般式(III)で表される化合物を以下に示す。
なお、一般式(III)で表される化合物は、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
一般式(III)中、R3a~R3hは、それぞれ独立に、置換基を含有していてもよいアルキル基を表す。
R3bとR3eとは、互いに結合して環を形成してもよく、R3bとR3eとが互いに結合して形成する基は、-O-(-Si(R3i)2-O-)a-である。
aは、1以上の整数を表す。aの上限は特に制限されないが、10以下の場合が多い。
R3iは、置換基を含有していてもよいアルキル基を表す。
複数存在するR3iは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R3a~R3iで表されるアルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい。
上記アルキル基の炭素数は1~10が好ましく、1~5がより好ましい。なお、上記アルキル基の炭素数は、アルキル基が含有していてもよい置換基が含有する炭素原子の数を含まない。
R3a~R3iで表されるアルキル基は、それぞれ独立に、無置換のアルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
R3g及びR3hの一方が、置換基を含有するアルキル基であるのも好ましい。上記置換基は、1以上のオキシアルキレン基(アルキレン基部分は炭素数2~4が好ましく、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい)を含有する基が好ましい。
一般式(III)で表される化合物を例示する。
一般式(IV)で表される化合物を以下に示す。
なお、一般式(IV)で表される化合物は、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
R4c、R4d、及び、R4eは、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
R4bは、-NH-又は-S-を表す。
R4eとしては、例えば、芳香族チオ基が挙げられる。
上記芳香族チオ基における芳香環基は、ヘテロ原子(硫黄原子、窒素原子、及び/又は、酸素原子等)を含有していても、含有していなくてもよく、含有しているのが好ましい。上記芳香環基は単環でも多環でもよく多環が好ましい。
上記芳環族は、ベンゾチアゾール環基が好ましい。
一般式(IV)で表される化合物を例示する。
一般式(V)で表される化合物を以下に示す。
なお、一般式(V)で表される化合物は、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
R5aのアルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい。
R5aのアルキル基の炭素数は1~20が好ましく、1~10がより好ましい。なお、上R5aのアルキル基の炭素数は、R5aのアルキル基が含有していてもよい置換基が含有する炭素原子の数を含まない。
R5aのアルキル基が含有していてもよい置換基は、芳香環基(好ましくはベンゼン環基。さらに置換基を含有してもよい)を含有するのが好ましい。上記置換基は、芳香族エステル基がより好ましい。
Yで表されるベンゼン環基にアルキル基が置換している場合、上記アルキル基とR5aとは互いに結合して環を形成してもよい。また、Yで表されるベンゼン環基に複数のアルキル基が置換している場合、上記アルキル基同士が互いに結合して環を形成してもよい。
この場合、R5aのアルキル基の炭素数は1~15が好ましく、1~10がより好ましい。
一般式(V)で表される化合物を例示する。
一般式(X)で表されるアルカンを以下に示す。
なお、一般式(X)で表されるアルカンは、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
上記アルカンは、直鎖状でも分岐鎖状でもよい。一方で、上記アルカンは環状構造を含有しない。つまり上記アルカンはシクロアルカンではない。
一般式(XI)で表されるアルケンを以下に示す。
なお、一般式(XI)で表されるアルケンは、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
一般式(XI)で表されるアルケンは、分子中にC=C二重結合を1つ含有するアルケンである。
上記アルケンは、直鎖状でも分岐鎖状でもよい。一方で、上記アルケンは環状構造を含有しない。
一般式(XII)で表されるアルケンを以下に示す。
なお、一般式(XII)で表されるアルケンは、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
mは20~90、かつ、2n-2以下の整数を表す。
一般式(XII)で表されるアルケンは、分子中にC=C二重結合を2以上含有するアルケンである。
一般式(XII)で表されるアルケンがx個のC=C二重結合を含有する場合、mは「2n+2-2x」の値をとる。
上記アルケンは、直鎖状でも分岐鎖状でもよい。一方で、上記アルケンは環状構造を含有しない。
一般式(XII)で表されるアルケンとしては、例えば、スクアレン(C30H50)、リコペン(C40H56)、ネウロスポレン(C40H58)、フィトエン(C40H64)、又は、フィトフルエン(C40H62)が挙げられる。
第1有機化合物の合計含有量は、フィルタの質量に対して、1.0質量ppt以上(好ましくは5.0質量ppt以上)であれば、フィルタが、後述する第2有機化合物を、環境(大気等)中等から過剰に吸着しにくく、製造される薬液の欠陥抑制性がより優れると考えられる。第1有機化合物の合計含有量は、フィルタの質量に対して、8000質量ppt以下(好ましくは2500質量ppt以下、より好ましくは850質量ppt以下)であれば、製造される薬液にフィルタ由来の第2有機化合物が混入しにくく、製造される薬液の欠陥抑制性がより優れると考えられる。
フィルタが、それぞれ異なる一般式で表される第1有機化合物を複数種類含有する場合、各一般式で表される第1有機化合物の内の少なくとも1種が、それぞれ上述した好ましい含有量の範囲を満たすのが好ましく、2種以上が、上記好ましい含有量の範囲を満たすのがより好ましい。
更に、フィルタは、特定有機化合物として、一般式(VI)~(VIII)で表される化合物からなる群から選択される第2有機化合物の1種以上を含有するのが好ましい。
以下、各第2有機化合物について説明する。
一般式(VI)で表される化合物を以下に示す。
なお、一般式(VI)で表される化合物は、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
R6b及びR6cは、それぞれ独立に、水素原子、-AL-O-R6d、-CO-R6e、又は、-C(OH)-R6fを表す。
ALは置換基を含有していてもよいアルキレン基(好ましくは炭素数1~6)を表す。
R6d、R6e、又は、R6fはそれぞれ独立に、置換基(好ましくは、更に置換基を含有していてもよいアルキル基)を表す。
R6a、R6d、R6e、及び、R6fで表される置換基を含有していてもよいアルキル基は、それぞれ独立に、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい。
上記アルキル基の炭素数は1~50が好ましく、1~20がより好ましい。なお、上記アルキル基の炭素数は、アルキル基が含有していてもよい置換基が含有する炭素原子の数を含まない。
上記アルキル基が含有していてもよい置換基は、例えば、水酸基、アルキルエステル基、及び、アルキルビニル基(好ましくは、アルキル基部分の炭素数が3~12)が挙げられる。
R6dが複数存在する場合、複数存在するR6dそれぞれ同一でも異なっていてもよい。R6eが複数存在する場合、複数存在するR6eそれぞれ同一でも異なっていてもよい。R6fが複数存在する場合、複数存在するR6fそれぞれ同一でも異なっていてもよい。
R6aで表されるアルキル基が含有していてもよい置換基、R6d、R6e、及び、R6fからなる群から選択される2つの組み合わせ、2つのR6d同士、2つのR6e同士、又は、2つのR6f同士は、互いに結合して環を形成してもよい。
R6aで表されるアルキル基が含有していてもよい置換基、R6d、R6e、及び、R6fからなる群から選択される2つの組み合わせ、2つのR6d同士、2つのR6e同士、又は、2つのR6f同士が、互いに結合して形成される基は、-O-、-NR6g-(R6gは置換基)、及び、-NHCO-からなる群から選択される1以上の連結基を含有しているのが好ましい。
R6a、R6b、又は、R6cのうち、少なくとも1つは水素原子以外である。
一般式(VI)で表される化合物を例示する。
なお、下記例示中、ALは炭素数1~10の、置換基を含有していてもよいアルキレン基を表し、qは、4~6の整数を表す。
一般式(VII)で表される化合物を以下に示す。
なお、一般式(VII)で表される化合物は、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
上記アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい。
上記アルキル基の炭素数は1~20が好ましく、2~10がより好ましい。なお、上記アルキル基の炭素数は、アルキル基が含有していてもよい置換基が含有する炭素原子の数を含まない。
上記置換基としては、例えば、芳香環基(さらに置換基を含有していてもよい。好ましくはフェニル基)が好ましい。
一般式(VII)で表される化合物を例示する。
一般式(VIII)で表される化合物を以下に示す。
なお、一般式(VIII)で表される化合物は、ここまで上述した特定有機化合物とは別の特定有機化合物である。
R8a~R8cのうち、1つ以上(好ましくは2つ以上は)置換基を含有していてもよいアルキル基、又は、置換基を含有していてもよいベンゼン環基であるのが好ましい。
上記アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を含有していてもよい。
上記アルキル基の炭素数は1~20が好ましく、1~5がより好ましい。なお、上記アルキル基の炭素数は、アルキル基が含有していてもよい置換基が含有する炭素原子の数を含まない。上記置換基としては、アルコキシ基(好ましくは炭素数2~6)又はハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子、又は、ヨウ素原子等)が好ましい。
上記ベンゼン環基が含有していてもよい置換基としては、アルキル基(好ましくは炭素数2~10)が好ましい。
一般式(VIII)で表される化合物を例示する。
フィルタが、それぞれ異なる一般式で表される第2有機化合物を複数種類含有する場合、各一般式で表される第1有機化合物の内の少なくとも1種が、それぞれ上述した好ましい含有量の範囲を満たすのが好ましく、2種以上が、上記好ましい含有量の範囲を満たすのがより好ましい。
特定有機化合物は、第1有機化合物と第2有機化合物との分類とは別に、A群の特定有機化合物とB群の特定有機化合物とにも分類できる。
A群の特定有機化合物は、一般式(I)~(VIII)で表される化合物からなる群から選択される化合物であり、B群の特定有機化合物は、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される化合物である。
フィルタは、A群の特定有機化合物1種以上と、B群の特定有機化合物の1種以上と、の両方を含有するのが好ましい。
フィルタがB群の特定有機化合物を含有する場合、その合計含有量は、フィルタの質量に対して、0.10~50000質量pptが好ましく、0.10~10000質量pptがより好ましく、1.0~1200質量pptが更に好ましく、1.0~1000質量pptが特に好ましく、1.0~500質量pptが特に好ましい。
まず乾燥したフィルタを、還流条件で加熱したPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)中に1時間浸漬させ、フィルタ中の特定有機化合物をPGMEAに溶出させる(溶出処理)。
この際、浸漬させるPGMEAは高純度グレードを使用する(又、この際に含まれる不純物量を基準として、この量をゼロと規定する。)。また、フィルタを浸漬させるPGMEAの量(質量)は、測定の対象となるフィルタの質量の10~30倍とする。
溶出処理の前後でそれぞれのPGMEAが含有する特定有機化合物の量と種類とをGC/MS(ガスクロマトグラフィー質量分析)法で測定し、溶出処理によって増加したPGMEA中の各特定有機化合物の量を、測定対象のフィルタが含有していた各特定有機化合物の量として定義する。より具体的には、「(処理に供した後におけるPGMEAの各特定有機化合物の含有量)-(処理に供する前におけるPGMEAの各特定有機化合物の含有量)」が、本願で規定するフィルタ中における各特定有機化合物の含有量である。
フィルタは金属成分を含有していてもよい。
本発明において、金属成分は、金属粒子及び金属イオンが挙げられ、例えば、金属成分の含有量と言う場合、金属粒子及び金属イオンの合計含有量を示す。
フィルタは、金属粒子及び金属イオンのいずれか一方が含有してもよく、両方を含有していてもよい。フィルタは、金属粒子及び金属イオンの両方を含有するのが好ましい。
中でも、金属成分における、金属元素は、Al、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Na、Ni、Zn、及び、Pbからなる群から選択される1種以上が好ましい。以降、これらの金属元素を特に特定金属元素とも称する。また、特定金属元素を含有する、金属成分、金属粒子、金属イオンを、それぞれ、特定金属成分、特定金属粒子、特定金属イオンとも称する。
金属成分は、フィルタに不可避的に含まれている金属成分でもよいし、処理液の製造、貯蔵、及び/又は、移送時に不可避的に含まれる金属成分でもよいし、意図的に添加してもよい。
特定金属成分の含有量が0.1質量ppt以上であれば、金属が粗大の会合体を形成し、遠心力で弾き飛ばされ、その結果、欠陥抑制性をより改善できる。
また、特定金属成分の含有量が30000質量ppt未満であれば、金属成分に由来する欠陥の発生の増加を回避しやすい。
得られる薬液の欠陥抑制性がより優れる点から、フィルタが特定金属粒子を含有する場合、その含有量は、フィルタの質量に対して、0.10~5000質量pptが好ましく、0.10~1000質量pptがより好ましく、1.0~1000質量pptが更に好ましく、1.0~400質量pptが特に好ましい。
処理の前後でそれぞれのPGMEAに対してSNP-ICP/MS(single nano-particle Inductively coupled plasma mass spectrometry。例えば、Agillent8900)装置を用いて測定し、処理によって増加したPGMEA中の各金属成分の量を、測定対象のフィルタが含有していた各金属成分の量として定義する。
フィルタはフィルタ本体を含有する。フィルタ本体は、典型的には多孔質で、本発明のフィルタによって処理される被精製液は、フィルタ本体が含有する細孔を通過する。
フィルタの細孔径としては特に制限されず、後述する被精製物のろ過用として通常使用される細孔径のフィルタを使用できる。中でも、フィルタの細孔径は、薬液が含有する粒子(金属粒子等)の数を所望の範囲により制御しやすい点で、200nm以下が好ましく、20nm以下がより好ましく、10nm以下が更に好ましい。下限値としては特に制限されないが、一般に1nm以上が、生産性の観点から好ましい。
フィルタを複数使用する場合は、少なくとも1つのフィルタが上記範囲を満たすのが好ましい。
なお、本明細書において、フィルタの細孔径、及び、細孔径分布とは、イソプロパノール(IPA)又は、HFE-7200(「ノベック7200」、3M社製、ハイドロフロオロエーテル、C4F9OC2H5)のバブルポイントによって決定される細孔径及び細孔径分布を意味する。
通常、フィルタ本体の細孔径とフィルタの細孔径は一致する。
フィルタ本体の材料成分としては特に制限されない。フィルタ本体が含有する材料としては、樹脂である場合、ナイロン(例えば、6-ナイロン及び6,6-ナイロン)等のポリアミド;ポリエチレン、及び、ポリプロピレン等のポリオレフィン;ポリスチレン;ポリイミド(ポリアミドイミドを含む);ポリ(メタ)アクリレート;ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルコキシアルカン、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー、エチレン-クロロトリフロオロエチレンコポリマー、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、及び、ポリフッ化ビニル等のポリフルオロカーボン;ポリビニルアルコール;ポリエステル;セルロース;セルロースアセテート等が挙げられる。中でも、より優れた耐溶剤性を含有し、得られる薬液がより優れた欠陥抑制性を含有する点で、ナイロン(中でも、6,6-ナイロンが好ましい)、ポリオレフィン(中でも、ポリエチレンが好ましい)、ポリ(メタ)アクリレート、及び、ポリフルオロカーボン(中でも、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシアルカン(PFA)が好ましい。)からなる群から選択される少なくとも1種を含有するのが好ましい。これらの重合体は単独で又は二種以上を組み合わせて使用できる。
また、樹脂以外にも、ケイソウ土、及び、ガラス等であってもよい。
なお、FT-IR(Fourier transform infrared spectrometer)装置により測定したイミド結合を表すピークの面積を、同じくFT-IR装置により測定したベンゼンを表すピークの面積で除した値を「イミド化率」とする。
本明細書において「B値」とは、以下の方法により算出される数(単位:nm)を意味する。
まず、ポリイミドに吸着分子を吸脱着させて、吸着等温線を求める。そして、得られた吸着等温線から、下記式(1)に基づき[P/{Va(P0-P)}]を算出し、平衡相対圧(P/P0)に対してプロットする。そして、このプロットを直線と見なし、最小二乗法に基づき、傾きs(=[(C-1)/(Vm・C)])及び切片i(=[1/(Vm・C)])を算出する。そして、求められた傾きs及び切片iから式(2-1)、式(2-2)に基づき、Vm及びCを算出する。更には、Vmから、式(3)に基づき比表面積Aを算出する。
次に、求められた吸着等温線の吸着データを直線補間し、細孔容積算出相対圧で設定した相対圧での吸着量を求める。この吸着量から全細孔容積Vを算出する。
これは一般に、「BET(Brunauer,Emmett,Teller)法」と呼ばれる比表面積の一連の計算方法の理論に基づく。上記方法の実施にあたり、本明細書に記載されていない事項は、JIS R 1626-1996「ファインセラミックス粉体の気体吸着BET法による比表面積の測定方法」に準ずる。
=[1/(Vm・C)]+[(C-1)/(Vm・C)](P/P0) (1)
Vm=1/(s+i) (2-1)
C=(s/i)+1 (2-2)
A=(Vm・L・σ)/22414 (3)
Va:吸着量
Vm:単分子層の吸着量
P:吸着分子の平衡時の圧力
P0:吸着分子の飽和蒸気圧
L:アボガドロ数
σ:吸着分子の吸着断面積
である。
テトラフルオロエチレンに基づく繰り返し単位と、他の繰り返し単位とを含有する共重合体としては、特に制限されないが、例えば、テトラフルオロエチレン-ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体(Poly(PTFE-CO-PFVAE))、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、及び、それらの混合物等が挙げられる。PFAテフロン(登録商標)は、アルキルが主に又は完全にプロピル基であるテトラフルオロエチレン-ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体の一例である。FEPテフロン(登録商標)は、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体の一例である。いずれもデュポンが製造している。ネオフロン(Neoflon(トレードマーク))PFA(ダイキン工業)は、デュポンのPFAテフロン(登録商標)と類似した重合体である。米国特許5,463,006号には、アルキル基が主にメチルであるテトラフルオロエチレン-ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体が記載されている。ニュージャージー州ソロファー(Thorofare)のオーシモント・ユー・エス・エー株式会社(Ausimont USA, Inc.)から入手できるハイフロン(Hyflon(登録商標))ポリ(PTFE-CO-PFVAE)620も好ましい。
このようなテトラフルオロエチレンに基づく繰り返し単位と、他の繰り返し単位とを含有する共重合体を用いた中空繊維膜からなる材料成分の製造方法としては、例えば、特開2015-61727号公報の記載を参照できる。
この場合、フィルタ本体は、一般式(X)で表されるアルカンと、一般式(XI)で表されるアルケンと、を少なくとも含有するのが好ましい。更に、フィルタ中、一般式(X)で表されるアルカンの含有量をA、一般式(XI)で表されるアルケンの含有量をB、一般式(XII)で表されるアルケンの含有量をCとした場合において、質量基準で、C<A、かつ、C<Bの関係を満たすのが好ましい。
すなわち、フィルタ本体は、上記で挙げた各材料を基材として、上記基材にイオン交換基を導入されていてもよい。典型的には、上記基材の表面にイオン交換基を含有する基材を含む層を含むフィルタ本体が好ましい(このような形態を単に「フィルタ本体がイオン交換基を含有する」ともいう。以下の同様は表現において同じ意図に基づく)。表面修飾された基材としては特に制限されず、製造がより容易な点で、上記重合体にイオン交換基を導入するのが好ましい。
イオン交換基を含有するフィルタ本体を含有するフィルタの細孔径としては特に制限されないが、1~30nmが好ましく、5~20nmがより好ましい。イオン交換基を含有するフィルタ本体を用いるフィルタは、複数のフィルタを使用する場合において、最小の細孔径を含有するフィルタを兼ねてもよいし、最小の細孔径を含有するフィルタとは別に使用してもよい。中でも得られる薬液の欠陥抑制性がより優れる点で、後述のろ過工程で複数のフィルタを使用する場合、イオン交換基を含有するフィルタ本体を用いるフィルタと、イオン交換基を含有せず、最小の細孔径を含有するフィルタ本体を用いるフィルタとを使用する形態が好ましい。
被覆層を含有するフィルタ本体としては、例えば、ポリフルオロカーボン製の多孔質基材と、上記多孔質基材を覆うように配置された親水性基を含有する樹脂を含有する被覆層、を含有するフィルタ本体Aが挙げられる。なお、多孔質基材の表面の全体が上記被覆層で覆われるのが好ましいが、一部、被覆層で覆われていない領域があってもよい。なお、表面には多孔質基材の孔の表面も含まれる。
ポリフルオロカーボンは、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルコキシアルカン、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー、エチレン-クロロトリフロオロエチレンコポリマー、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、及び、ポリフッ化ビニル等が挙げられ、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)が好ましい。上記ポリフルオロカーボンとしては、PTFE製の多孔質基材として市販されているポリフルオロカーボン等を適宜使用できる。
フィルタ本体Aの製造方法としては特に制限されないが、典型的には、ポリフルオロカーボン(例えばPTFE)製の多孔質基材に親水性基を含有する樹脂を含有する被覆層形成用組成物と上記多孔質基材とを接触させて(例えば、塗布、及び/又は、噴霧)多孔質基材の表面(孔内部の表面も含む)に被覆層を形成する方法が好ましい。
親水性基としては、特に制限されないが、例えば、水酸基、エーテル基、オキシアルキレン基、ポリオキシアルキレン基、カルボン酸基、エステル基、炭酸エステル基、チオール基、チオエーテル基、リン酸基、リン酸エステル基、アミド基、イミド基、及び、これらを組み合わせた基(例えば、チオエーテル基と水酸基とを含有する基)等が挙げられ、本発明の効果がより優れる点で、ポリオキシアルキレン基が好ましい。
フィルタ本体Aの製造方法としては、例えば、特開2016-194038号公報及び特開2016-199733号公報の記載を参照できる。
上記ポリフルオロカーボンの例は、上述したのと同様の例が挙げられる。
フィルタ本体Bの製造方法としては特に制限されないが、典型的には、ポリフルオロカーボン(例えばPTFE)製の多孔質基材に、吸着性基を含有する樹脂を含有する被覆層形成用組成物を用い、上記多孔質基材に被覆層形成用組成物を接触させて(例えば、塗布、及び/又は、噴霧)多孔質基材の表面(孔内部の表面も含む)に被覆層を形成する方法が好ましい。
なお、樹脂は、吸着性基の1種を単独で含有していてもよいし、2種以上を含有していてもよい。
フィルタ本体Bの製造方法としては、例えば、特開2017-002273号公報、特開2016-29146号公報、特開2016-196625号及び、特開2016-194040号公報の記載を参照できる。
上記2種のモノマー単位とは、エチレン基と、-SO2F、-COOR、-COF、及び、これらの組み合わせからなる群より選択される親水性基に変換可能な官能基であって、Rは、C1~C20アルキルラジカル、又は、C6~C20アリールラジカルである官能基と、を含有するフッ素化モノマー単位;並びに、下記の式(OF-1)、式(OF-2)、及び、式(OF-3)からなる群より選択される少なくとも1種のビス-オレフィンに由来するモノマー単位、である。
フィルタ本体Cの製造方法としては、例えば、特開2012-522882号公報の記載を参照できる。
なお、フィルタ本体Dが含有する多孔質基材は、非架橋被覆層により覆われていない領域があってもよいが、その表面(多孔質膜の最表面から連通する孔の表面も含む)の全体が非架橋被覆層で覆われているのが好ましい。
2以上の層の組み合わせの具体例としては、第1親水性基を表面に含有するPTFE製多孔質基材からなる第1層と、第1層上に配置され、第1親水性基とは異なる第2親水性基を表面に含有するPTFE製多孔質基材からなる第2層とを含有する積層構造体が挙げられる。
未修飾のPTFE製多孔質基材に親水性基を導入する方法としては特に制限されないが、未修飾のPTFEを基材として、上記基材に親水性基を導入する方法が好ましい。
親水性基の導入方法としては特に制限されないが、PTFE製多孔質膜に、電離放射線(α線、β線、γ線、X線、及び、電子線等)を照射してPTFE樹脂中に活性部分(ラジカル)を生成させる。この照射後のPTFE樹脂を所定の官能基を含有する化合物を含有する溶液に浸漬して上記化合物を基材に結合させる。このとき、官能基を含有するモノマー中に上記樹脂を浸漬させる形態では、上記樹脂の主鎖に、官能基を含有するモノマーがグラフト重合する。その結果、このモノマーがポリオレフィン繊維にグラフト重合側鎖として結合する。
フィルタ本体の細孔構造(言い換えると、フィルタ本体が含有する材料成分の細孔構造)としては特に制限されず、後述する被精製物中の成分に応じて適宜選択すればよい。本明細書において、フィルタ本体の細孔構造とは、細孔径分布、フィルタ本体中の細孔の位置的な分布、及び、細孔の形状等を意味し、典型的には、フィルタ本体(又はフィルタ本体が含有する材料成分)の製造方法により制御可能である。
例えば、樹脂等の粉末を焼結して形成すれば多孔質膜が得られ、及び、エレクトロスピニング、エレクトロブローイング、及び、メルトブローイング等の方法により形成すれば繊維膜が得られる。これらは、それぞれ細孔構造が異なる。
なお、本明細書で使用される「非ふるい」による保持機構は、フィルタの圧力降下、又は、細孔径に関連しない、妨害、拡散及び吸着等の機構によって生じる保持を指す。
ふるい膜の典型的な例としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)膜とUPE膜が含まれるが、これらに制限されない。
なお、「ふるい保持機構」とは、除去対象粒子が多孔質膜の細孔径よりも大きいことによる結果の保持を指す。ふるい保持力は、フィルタケーキ(膜の表面での除去対象となる粒子の凝集)を形成して向上させられる。フィルタケーキは、2次フィルタの機能を効果的に果たす。
多孔質膜における細孔の大きさの分布とその膜中における位置の分布は、特に制限されない。大きさの分布がより小さく、かつ、その膜中における分布位置が対称であってもよい。また、フィルタ本体が、大きさの分布がより大きく、かつ、その膜中における分布位置が非対称である(上記の膜を「非対称多孔質膜」ともいう。)膜を含有するのも好ましい。非対称多孔質膜では、孔の大きさは膜中で変化する。中でも、非対称多孔質膜は、厚み方向(ろ過方向)に対して、非対称的な細孔径分布を有しているのが好ましい。典型的には、膜一方の表面から膜の他方の表面に向かって細孔径が大きくなる。このとき、細孔径の大きい細孔が多い側の表面を「オープン側」といい、細孔径が小さい細孔が多い側の表面を「タイト側」ともいう。
また、非対称多孔質膜としては、例えば、細孔の大きさが膜の厚さ内のある位置においてで最小となる膜(これを「砂時計形状」ともいう。)が挙げられる。
非対称多孔質膜を用いて、一次側をより大きいサイズの孔とすると、言い換えれば、一次側をオープン側とすると、前ろ過効果を生じさせられる。
UPE製の非対称多孔性膜と、非対称多孔性膜の表面に結合したグラフト鎖とを含有する膜については、例えば、特表2017-536232号公報の記載を参照してもよい。
中でも、多孔質膜の材料としては、超高分子量ポリエチレンが好ましい。超高分子量ポリエチレンは、極めて長い鎖を含有する熱可塑性ポリエチレンを意味し、分子量が百万以上、典型的には、200~600万が好ましい。
上述したような組成及び構造等を含有する材料は、フィルタ本体のろ過能力を発揮するために用いられる部材(「ろ過層」ともいう)を構成するのが好ましく、上述のようなフィルタ本体はこのようなろ過層の他に、支持層を含有するのが好ましい。
支持層は、例えば、ろ過層のみからなるフィルタ本体では所望の形状に加工するのが困難な場合に、ろ過層と積層させ、フィルタに適当な剛性を付与して加工性を改善する。
また、フィルタ本体は、ろ過層を1層のみ含有していてもよく、2層以上含有していてもよい。同様に、フィルタ本体は、支持層を1層のみ含有していてもよく、2層以上含有していてもよい。支持層は、ろ過層の、片面(ろ過の1次側又は2次側)のみに設けられていても両面に設けられていてもよい。フィルタ本体が2層以上のろ過層を含有する場合、ろ過層と支持層とが交互に設けられていてもよい。
支持層の材料としては、例えば、ポリオレフィン(ポリエチレン(UPEを含む)、ポリプロピレン等)、PTFE、PFA、又は、ポリエステルを使用できる。
それぞれ異なる材料からなる2以上の層を含有するフィルタ本体としては、例えば、フィルタ本体がろ過層と支持層とを有し、ろ過層と支持層とが、それぞれ異なる材料からなるフィルタが挙げられる。
また、それぞれ異なる材料からなる2以上の層を含有するフィルタ本体は、フィルタ本体がろ過層と支持層とを有し、ろ過層と支持層とが共に同じ材料からなり、ろ過層の表面がグラフト化されて、ろ過層とも支持層とも異なる材料であるグラフト層が形成されているフィルタでもよい。
他にも、それぞれ異なる材料からなる2以上の層を含有するフィルタ本体は、ろ過層及び支持層の役割を兼ねる層を有し、その表面がグラフト化されて、ろ過層及び支持層の役割を兼ねる層とは異なる材料であるグラフト層が形成されているフィルタでもよい。
フィルタ本体がフッ素系材料以外の材料からなるとは、例えば、フィルタ本体のろ過層及び支持層が、いずれもフッ素系材料(PTFE、PFA、及び、PESU等のフッ素樹脂)以外の材料からなる形態が挙げられる。
言い換えると、フッ素系材料以外の材料からなるフィルタ本体は、例えば、ろ過層及び支持層が、いずれも、フッ素系材料以外の材料(ポリオレフィン(ポリエチレン(UPEを含む)、ポリプロピレン等)、ポリエステル、及び/又は、ポリアミド(ナイロン6、ナイロン6,6等))であるのが好ましい。フッ素系材料以外の材料からなるフィルタ本体のろ過層は、(好ましくは非フッ素系の繰り返し単位を使用して)グラフト化されていてもよい。
フッ素系材料以外の材料からなるフィルタ本体では、フィルタからの成分の溶出が低減されやすく、製造される薬液の欠陥抑制性(特にEUV露光でパターンを形成した場合のパターン欠陥抑制性)がより優れる。
本発明のフィルタの製造方法としては、例えば、特定有機化合物を1種以上含有する未処理のフィルタに対し、有機洗浄液を用いた前処理をする工程を含有するのが好ましい。
未処理のフィルタとは、例えば、市場で入手できるフィルタであり、通常、未処理のフィルタの表面及び又は内部には、本発明が許容する含有量を超える第1有機化合物を含有している。
以下、前処理を施されるフィルタ(未処理のフィルタ)を被処理フィルタともいう。
そのため、前処理を施される前の被処理フィルタは、前処理に要するコストの削減、及び/又は、最終的に得られるフィルタを用いて製造される薬液の欠陥抑制性がより優れる点から、被処理フィルタに対する接触部分の少なくとも一部がフッ素系樹脂又はステンレス鋼である梱包材で梱包されているのが好ましい。
接触部分の少なくとも一部がフッ素系樹脂又はステンレス鋼であれば、被処理フィルタへのコンタミを低減でき、このような梱包材で梱包されていた被処理フィルタに前処理を施して得られる本発明のフィルタによって実現される本発明の効果もより優れたものとなる。
言い換えると、本発明のフィルタは、被処理フィルタに対する接触部分の少なくとも一部がフッ素系趣旨又はステンレス鋼である梱包材で梱包されている被処理フィルタに対して前処理を施して得られるフィルタであるのも好ましい。
接触部分におけるステンレス鋼としては、耐腐食材料として後述するステンレス鋼が挙げられ、中でも、接触部分が電解研磨処理されたステンレス鋼(EP-SUS)であるのが好ましい。
フッ素系樹脂及び/又はステンレス鋼である接触部分の面積は、接触部分の全面積に対して、50~100%が好ましく、90~100%がより好ましく、99~100%が更に好ましい。
梱包材の形態に特に制限はなく、袋形態でもよくカプセル形態でもよい。
梱包材は、接触部分の少なくとも一部がフッ素系樹脂及び/又はステンレス鋼でありさえすればよく、梱包材の全体がフッ素系樹脂及び/又はステンレス鋼であってもよいし、他の材料との複合材料であってもよい。例えば、接触部分がフッ素系樹脂及び/又はステンレス鋼からなり、接触部分以外がフッ素系樹脂及び/又はステンレス鋼からなる層構造の複合材料でもよい。
なお、本発明のフィルタ(例えば、前処理を施された後の被処理フィルタ)を梱包材で梱包して保管又は流通する場合も、上述のような構成の接触部分の構成を有する梱包材で梱包されているのが好ましい。
なお、梱包材で梱包されている被処理フィルタが、梱包される前に、適宜洗浄処理等を施されていてもよい。
有機溶剤は、例えば、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート、アルキレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキル、環状ラクトン(好ましくは炭素数4~10)、環を含有していてもよいモノケトン化合物(好ましくは炭素数4~10)、アルキレンカーボネート、アルコキシ酢酸アルキル、ピルビン酸アルキル、ジアルキルスルホキシド、環状スルホン、ジアルキルエーテル、一価アルコール、グリコール、酢酸アルキルエステル、及び、N-アルキルピロリドン等が挙げられる。
浸漬用容器としては、後述するろ過装置において、フィルタユニットが含有するハウジングも使用できる。すなわち、ろ過装置が含有するハウジングに被処理フィルタを(好ましくは後述するフィルタ付きカートリッジに含有された状態で)を収納した状態で、ハウジング内に浸漬液を満たし、その状態で静置する方法が挙げられる。
また、上記以外にも、浸漬用容器を精製装置が含有するハウジングとは別途準備し(すなわち、精製装置外において浸漬用容器を準備し)、別途準備した浸漬用容器に有機洗浄液を満たし、被処理フィルタを浸漬する方法も挙げられる。
中でも、被処理フィルタから溶出した不純物がろ過装置内に混入しない点で、ろ過装置外に準備した浸漬用容器に有機洗浄液を満たし、上記有機洗浄液に被処理フィルタを浸漬する方法が好ましい。
浸漬用容器の材料としては、特に制限されないが、少なくとも接液部が、後述する耐腐食材料で形成されているのが好ましい。
また、浸漬用容器の材料としては、ポリフルオロカーボン(PTFE、PFA:パーフルオロアルコキシアルカン、及び、PCTFE:ポリクロロトリフルオロエチレン等)、PPS(ポリフェニレンスルフィド)、POM(ポリオキシメチレン)、並びに、ポリオレフィン(PP、及び、PE等)からなる群から選択される少なくとも1種を含有するのが好ましく、ポリフルオロカーボン、PPS、及び、POMからなる群から選択される少なくとも1種を含有するのがより好ましく、ポリフルオロカーボンを含有するのが更に好ましく、PTFE、PFA、及び、PCTFEからなる群から選択される少なくとも1種を含有するのが特に好ましく、PTFEを含有するのが最も好ましい。
また、浸漬用容器は、使用前に洗浄するのが好ましく、洗浄の際には有機洗浄液を使用して洗浄(いわゆる共洗い)するのが好ましい。
浸漬処理の際の有機洗浄液の温度は、室温(23℃)以上が好ましく、35℃以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、通常、使用する有機洗浄液の沸点未満である。
例えば、フィルタ本体を中空円筒状の形態で使用する場合(例えば、フィルタを後述のフィルタ付きカートリッジに含有された状態で使用する場合)、超音波の出力は、上記フィルタ付きカートリッジのフィルタ(被処理フィルタ)の筒長1インチに対して、50kw以上が好ましく、80kw以上がより好ましく、100kw以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、通常200kwである。
超音波処理の時間は、例えば、5分以上が好ましく、15分以上がより好ましく、1時間以上が更に好ましく、3時間以上が特に好ましい。上限は特に制限されないが、通常10時間未満である。
通液する有機洗浄液の温度は、室温(23℃)以上が好ましく、35℃以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、通常、使用する有機洗浄液の沸点未満である。
本発明のフィルタはろ過装置に設置して用いるのが好ましい。
上記ろ過装置は、本発明のフィルタを含有し、被精製液を精製して薬液を製造するために用いられるのが好ましい。
例えば、ろ過装置は、流入部と、流出部と、1以上(好ましくは2以上、より好ましくは2~6、更に好ましくは3~4、特に好ましくは4)の本発明のフィルタと、を含有し、各フィルタが流入部及び流出部の間に直列に配置され、流入部から流出部にいたる流通路を含有するのが好ましい。
ろ過装置は、複数のフィルタが並列に配置されていてもよい。この場合、被精製液が流入部から流出部にいたるいずれの流通路を経るとしても、被精製液が1以上(好ましくは2以上、より好ましくは2~6、更に好ましくは3~4、特に好ましくは4)の本発明のフィルタを通過するように構成されているのが好ましい。つまり、ろ過装置は、複数のフィルタの、並列の配置と、直列の配置との両方を組み合わせていてもよい。
また、直列に配置された2以上のフィルタ中、少なくとも1つのフィルタのフィルタ本体が、ナイロンを含有するフィルタ本体であって、上記少なくとも1つのフィルタが、一般式(X)で表されるアルカンと、一般式(XI)で表されるアルケンと、を少なくとも含有し、一般式(X)で表されるアルカンの含有質A、一般式(XI)で表されるアルケンの含有質B、及び、一般式(XII)で表されるアルケンの含有量Cが、質量基準で、C<A、かつ、C<Bとなるのも好ましい。
また、直列に配置された2以上のフィルタ中、少なくとも1つのフィルタのフィルタ本体が、ポリエチレン又はポリテトラフルオロエチレンを含有し、上記少なくとも1つのフィルタが上述のA群から選択される1種以上の化合物と、一般式(X)で表されるアルカンと、を含有するのも好ましい。
また、直列に配置された2以上のフィルタ中、少なくとも1つ(好ましくは、2以上のフィルタ中の半分以上、より好ましくは2以上のフィルタ中の半分超)のフィルタのフィルタ本体が、フッ素系材料以外の材料からなるフィルタ本体であるのも好ましい。
ただし、ろ過装置は少なくとも2以上の本発明のフィルタを流入部及び流出部の間に直列に配置しているのが好ましく、ろ過装置中のフィルタが、いずれも本発明のフィルタであるのがより好ましい。
図1は、本発明の第一実施形態に係るろ過装置を表す模式図である。
ろ過装置100は、流入部101及び流出部102の間に、フィルタ103(フィルタA)及び上記フィルタ103とは異なるフィルタ104(フィルタBUともいう)が配管105を介して直列に配置されたろ過装置である。
流入部101、フィルタ104、配管202、フィルタ103、及び、流出部102は、それぞれの内部に被精製液を流通できるよう構成されており、上記部材が連結されて、流通路S1(被精製液が流れる経路)が形成されている。
流入部101、配管105、及び、流出部102の形態としては特に制限されないが、典型的には、内部に被精製液を流通可能に形成された中空円筒状の形態が挙げられる。これらの材料としては特に制限されないが、接液部(被精製液をろ過するに際して、被精製液が接触する可能性のある部分)は、後述する耐腐食材料を材料成分(構成する成分)として含有するのが好ましい。言い換えれば、後述する耐腐食材料を用いて形成されているのが好ましい。
なお、ろ過装置100は、被精製液を流通させる目的で、流通路S1上に(例えば、流入部(101)、配管(105)、及び、流出部(102)等)に、図示しないポンプ、ダンパ、及び、弁等を含有していてもよい。なお、ろ過装置100内の流通路に被精製液を流通させる方法としては上記に制限されず、流入部に、加圧した被精製液を導入する方法であってもよい。
なお、芯材はフィルタの構成要素ではない。
また、より優れた本発明の効果を含有するろ過装置が得られる点で、ハウジングの接液部の少なくとも一部、好ましくは接液部の表面積に対して90%、より好ましくは接液部の表面積に対して99%は、後述する耐腐食材料からなるのが好ましい。なお、本明細書において接液部とは、被精製液が接触する可能性のある部分(但し、フィルタ自体を除く)を意味し、ハウジング等のユニットの内壁等を意味する。
フィルタBUは、流通路上において直列に配置されたフィルタである。フィルタBUは、流通路上においてフィルタAの上流側に、フィルタAと直列に配置されたフィルタである。
フィルタAとフィルタBUとは、異なるフィルタであるのが好ましい。なお、本明細書において、フィルタAと異なるフィルタとは、フィルタAと材料、細孔径、及び、細孔構造からなる群より選択される少なくとも1種が異なるフィルタを意味する。
中でもより優れた本発明の効果を含有するろ過装置が得られる点で、フィルタBUはフィルタAと細孔径、及び、材料からなる群より選択される少なくとも一方が異なるのが好ましく、少なくとも材料が異なるのが好ましい。
なお、本明細書においてフィルタAとフィルタBUの材料が異なるとは、それぞれのフィルタが含有する成分(材料成分)が異なる場合;フィルタが樹脂からなる場合に、表面処理の違いによって、フィルタの表面に配置された置換基の種類が異なる場合等が典型的には含まれる。
本発明者らの検討によれば、流通路S1に上においてフィルタAの上流側に、細孔径が20nm以上のフィルタBUを配置したろ過装置を用いた場合、フィルタAがより目詰まりしにくく、フィルタAの寿命をより長くできることを知見している。その結果として、より優れた欠陥抑制性を含有する薬液を安定して提供できるろ過装置が得られる。
本発明の実施形態に係る薬液の製造方法は、被精製液を精製して薬液を得る、薬液の製造方法であって、既に説明した本発明のフィルタ(本発明のフィルタを含有するろ過装置)を用いて被精製液をろ過して、薬液を得るろ過工程を含有する。
本発明の実施形態に係る薬液の製造方法が適用できる被精製液としては特に制限されないが、溶剤を含有するのが好ましい。溶剤としては有機溶剤、及び、水等が挙げられ、有機溶剤を含有するのが好ましい。以下では、被精製液中に含有される溶剤の全質量に対して、有機溶剤の含有量(複数の有機溶剤を含有する場合にはその合計含有量)が50質量%を超える有機溶剤系被精製液と、被精製液中に含有される溶剤の全質量に対して、水の含有量が50質量%を超える水系被精製液とに分けて説明する。
・有機溶剤
有機溶剤系被精製液は、溶剤を含有し、被精製液に含有される溶媒の全質量に対して有機溶剤の含有量が50質量%超である。
有機溶剤系被精製液は、有機溶剤を含有する。有機溶剤系被精製液中における有機溶剤の含有量としては特に制限されないが、一般に、有機溶剤系被精製液の全質量に対して、99.0質量%以上が好ましい。上限値としては特に制限されないが、一般に、99.99999質量%以下が好ましい。
有機溶剤は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の有機溶剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
なお、本明細書において液状とは、25℃、大気圧下において、液体であることを意味する。
有機溶剤系被精製液(又は製造される薬液)の体積抵抗率は、例えば、日置電気株式会社製体積抵抗計SME-8310又は超絶縁計SM-8220を用いて計測できる。
また、有機溶剤としては、例えば、特開2016-57614号公報、特開2014-219664号公報、特開2016-138219号公報、及び、特開2015-135379号公報に記載の有機溶剤を用いてもよい。
有機溶剤を2種以上使用する場合は、少なくとも1種が上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たすのが好ましい。
有機溶剤を2種以上使用する場合、各有機溶剤の含有量のモル比に基づいた、ハンセン溶解度パラメータの加重平均値が、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たすのが好ましい。
この場合、得られる薬液の欠陥抑制性がより優れる点から、有機溶剤系被精製液(混合溶剤)が、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たす有機溶剤を有機溶剤系被精製液の全質量に対して20~80質量%(好ましくは30~70質量%)含有し、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤を有機溶剤系被精製液の全質量に対して20~80質量%(好ましくは30~70質量%)含有するのが好ましい。
上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たす有機溶剤の含有量と上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤の含有量が、それぞれ一定以上である場合、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤が所定範囲外の量(例えば、混合溶剤の全質量に対して1質量%以上20質量%未満又は80質量%超)である場合に比べて、薬液の、金属系素材及び有機系素材に対する親和性を適度な範囲に調整でき、本発明の効果がより優れると考えられている。
また、この場合、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たす有機溶剤と上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤との合計含有量は、有機溶剤系被精製液の全質量に対して、99.0質量%以上が好ましい。上限値としては特に制限されないが、一般に、99.99999質量%以下が好ましい。
なお、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤における、エイコセンに対するハンセン溶解度パラメータの距離は、0MPa0.5以上3MPa0.5未満(好ましくは0MPa0.5超3MPa0.5未満)、又は、20MPa0.5超(好ましくは20MPa0.5超50MPa0.5以下)である。
ハンセン溶解度パラメータの距離とは、2種の化合物のハンセン空間における距離であり、ハンセン溶解度パラメータの距離は以下の式によって求められる。
(Ra)2=4(δd2-δd1)2+(δp2-δp1)2+(δh2-δh1)2
Ra:第1の化合物と第2の化合物とのハンセン溶解度パラメータの距離(単位:MPa0.5)
δd1:第1の化合物の分散項(単位:MPa0.5)
δd2:第2の化合物の分散項(単位:MPa0.5)
δp1:第1の化合物の双極子間項(単位:MPa0.5)
δp2:第2の化合物の双極子間項(単位:MPa0.5)
δh1:第1の化合物の水素結合項(単位:MPa0.5)
δh2:第2の化合物の水素結合項(単位:MPa0.5)
本明細書において、化合物のハンセン溶解度パラメータは、具体的には、HSPiP(Hansen Solubility Parameter in Practice)を用いて計算する。
被精製液は、上記以外の他の成分を含有してもよい。他の成分としては、例えば、無機物(金属イオン、金属粒子、及び、金属酸化物粒子等)、樹脂、樹脂以外の有機物、及び、水等が挙げられる。
被精製液は、無機物を含有してもよい。無機物としては特に制限されず、金属イオン、及び、金属含有粒子等が挙げられる。
被精製液は樹脂を含有してもよい。
上記薬液は更に樹脂を含有してもよい。樹脂としては、酸の作用により分解して極性基を生じる基を含有する樹脂Pがより好ましい。
極性基としては、アルカリ可溶性基が挙げられる。アルカリ可溶性基としては、例えば、カルボキシ基、フッ素化アルコール基(好ましくはヘキサフルオロイソプロパノール基)、フェノール性水酸基、及びスルホ基が挙げられる。
樹脂Pは、式(AI)で表される繰り返し単位を含有するのが好ましい。
Xa1は、水素原子又は置換基を含有していてもよいアルキル基を表す。
Tは、単結合又は2価の連結基を表す。
Ra1~Ra3は、それぞれ独立に、アルキル基(直鎖状又は分岐鎖状)又はシクロアルキル基(単環又は多環)を表す。
Ra1~Ra3の2つが結合して、シクロアルキル基(単環又は多環)を形成してもよい。
Xa1は、水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基又はヒドロキシメチル基が好ましい。
Tは、単結合又は-COO-Rt-基が好ましい。Rtは、炭素数1~5のアルキレン基が好ましく、-CH2-基、-(CH2)2-基、又は、-(CH2)3-基がより好ましい。
Ra1~Ra3の2つが結合して形成されるシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、若しくはシクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基、又は、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、若しくはアダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましい。炭素数5~6の単環のシクロアルキル基がより好ましい。
また、樹脂Pは、ラクトン構造を含有する繰り返し単位Qを含有するのが好ましい。
ラクトン構造を含有する繰り返し単位Qは、1種単独で用いてもよく、2種以上を併用していてもよいが、1種単独で使用するのが好ましい。
ラクトン構造を含有する繰り返し単位Qの含有量は、樹脂P中の全繰り返し単位に対して、3~80モル%が好ましく、3~60モル%がより好ましい。
ラクトン構造としては、下記式(LC1-1)~(LC1-17)のいずれかで表されるラクトン構造を含有する繰り返し単位を含有するのが好ましい。ラクトン構造としては式(LC1-1)、式(LC1-4)、式(LC1-5)、又は式(LC1-8)で表されるラクトン構造が好ましく、式(LC1-4)で表されるラクトン構造がより好ましい。
また、樹脂Pは、フェノール性水酸基を含有する繰り返し単位を含有していてもよい。
フェノール性水酸基を含有する繰り返し単位としては、例えば、下記一般式(I)で表される繰り返し単位が挙げられる。
R41、R42及びR43は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子、シアノ基又はアルコキシカルボニル基を表す。但し、R42はAr4と結合して環を形成していてもよく、その場合のR42は単結合又はアルキレン基を表す。
L4は、単結合又はアルキレン基を表す。
Ar4は、(n+1)価の芳香環基を表し、R42と結合して環を形成する場合には(n+2)価の芳香環基を表す。
nは、1~5の整数を表す。
上記(n+1)価の芳香環基は、更に置換基を含有していてもよい。
樹脂Pは、極性基を含有する有機基を含有する繰り返し単位、特に、極性基で置換された脂環炭化水素構造を含有する繰り返し単位を更に含有していてもよい。これにより基板密着性、現像液親和性が向上する。
極性基で置換された脂環炭化水素構造の脂環炭化水素構造としては、アダマンチル基、ジアマンチル基又はノルボルナン基が好ましい。極性基としては、水酸基又はシアノ基が好ましい。
樹脂Pは、下記一般式(VI)で表される繰り返し単位を含有していてもよい。
R61、R62及びR63は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、又はアルコキシカルボニル基を表す。但し、R62はAr6と結合して環を形成していてもよく、その場合のR62は単結合又はアルキレン基を表す。
X6は、単結合、-COO-、又は-CONR64-を表す。R64は、水素原子又はアルキル基を表す。
L6は、単結合又はアルキレン基を表す。
Ar6は、(n+1)価の芳香環基を表し、R62と結合して環を形成する場合には(n+2)価の芳香環基を表す。
Y2は、n≧2の場合にはそれぞれ独立に、水素原子又は酸の作用により脱離する基を表す。但し、Y2の少なくとも1つは、酸の作用により脱離する基を表す。
nは、1~4の整数を表す。
Mは、単結合又は2価の連結基を表す。
Qは、アルキル基、ヘテロ原子を含んでいてもよいシクロアルキル基、ヘテロ原子を含んでいてもよいアリール基、アミノ基、アンモニウム基、メルカプト基、シアノ基又はアルデヒド基を表す。
Q、M、L1の少なくとも2つが結合して環(好ましくは、5員若しくは6員環)を形成してもよい。
Ar3は、芳香環基を表す。
R3は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アシル基又はヘテロ環基を表す。
M3は、単結合又は2価の連結基を表す。
Q3は、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表す。
Q3、M3及びR3の少なくとも二つが結合して環を形成してもよい。
樹脂Pは、更に、側鎖に珪素原子を含有する繰り返し単位を含有していてもよい。側鎖に珪素原子を含有する繰り返し単位としては、例えば、珪素原子を含有する(メタ)アクリレート系繰り返し単位、及び、珪素原子を含有するビニル系繰り返し単位などが挙げられる。側鎖に珪素原子を含有する繰り返し単位は、典型的には、側鎖に珪素原子を含有する基を含有する繰り返し単位であり、珪素原子を含有する基としては、例えば、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、トリフェニルシリル基、トリシクロヘキシルシリル基、トリストリメチルシロキシシリル基、トリストリメチルシリルシリル基、メチルビストリメチルシリルシリル基、メチルビストリメチルシロキシシリル基、ジメチルトリメチルシリルシリル基、ジメチルトリメチルシロキシシリル基、及び、下記のような環状若しくは直鎖状ポリシロキサン、又はカゴ型あるいははしご型若しくはランダム型シルセスキオキサン構造などが挙げられる。式中、R、及び、R1はそれぞれ独立に、1価の置換基を表す。*は、結合手を表す。
水系被精製液は、水系被精製液が含有する溶剤の全質量に対して、水を50質量%超含有し、51~95質量%が好ましい。
上記水は、特に限定されないが、半導体製造に使用される超純水を使用するのが好ましく、その超純水を更に精製し、無機陰イオン及び金属イオン等を低減させた水を使用するのがより好ましい。精製方法は特に限定されないが、ろ過膜又はイオン交換膜を用いた精製、並びに、蒸留による精製が好ましい。また、例えば、特開2007―254168号公報に記載されている方法により精製を行うのが好ましい。
水系被精製液は、酸化剤を含有してもよい、酸化剤としては特に制限されず、公知の酸化剤が使用できる。酸化剤としては、例えば、過酸化水素、過酸化物、硝酸、硝酸塩、ヨウ素酸塩、過ヨウ素酸塩、次亜塩素酸塩、亜塩素酸塩、塩素酸塩、過塩素酸塩、過硫酸塩、重クロム酸塩、過マンガン酸塩、オゾン水、銀(II)塩、及び鉄(III)塩等が挙げられる。
水系被精製液は無機酸を含有してもよい。無機酸としては特に制限されず、公知の無機酸を使用できる。無機酸としては例えば、硫酸、リン酸、及び、塩酸等が挙げられる。なお、無機酸は上述した酸化剤には含まれない。
水系被精製液中の無機酸の含有量としては特に制限されないが、水系被精製液の全質量に対して0.01質量%以上が好ましく、99.0質量%以下が好ましい。
無機酸は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の無機酸を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
水系被精製液は、防食剤を含有してもよい。防食剤としては特に制限されず、公知の防食剤が使用できる。防食剤としては例えば、1,2,4-トリアゾール(TAZ)、5-アミノテトラゾール(ATA)、5-アミノ-1,3,4-チアジアゾール-2-チオール、3-アミノ-1H-1,2,4トリアゾール、3,5-ジアミノ-1,2,4-トリアゾール、トリルトリアゾール、3-アミノ-5-メルカプト-1,2,4-トリアゾール、1-アミノ-1,2,4-トリアゾール、1-アミノ-1,2,3-トリアゾール、1-アミノ-5-メチル-1,2,3-トリアゾール、3-メルカプト-1,2,4-トリアゾール、3-イソプロピル-1,2,4-トリアゾール、ナフトトリアゾール、1H-テトラゾール-5-酢酸、2-メルカプトベンゾチアゾール(2-MBT)、1-フェニル-2-テトラゾリン-5-チオン、2-メルカプトベンゾイミダゾール(2-MBI)、4-メチル-2-フェニルイミダゾール、2-メルカプトチアゾリン、2,4-ジアミノ-6-メチル-1,3,5-トリアジン、チアゾール、イミダゾール、ベンゾイミダゾール、トリアジン、メチルテトラゾール、ビスムチオールI、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン、1,5-ペンタメチレンテトラゾール、1-フェニル-5-メルカプトテトラゾール、ジアミノメチルトリアジン、イミダゾリンチオン、4-メチル-4H-1,2,4-トリアゾール-3-チオール、5-アミノ-1,3,4-チアジアゾール-2-チオール、ベンゾチアゾール、リン酸トリトリル、インダゾール、アデニン、シトシン、グアニン、チミン、ホスフェート阻害剤、アミン類、ピラゾール類、プロパンチオール、シラン類、第2級アミン類、ベンゾヒドロキサム酸類、複素環式窒素阻害剤、アスコルビン酸、チオ尿素、1,1,3,3-テトラメチル尿素、尿素、尿素誘導体類、尿酸、エチルキサントゲン酸カリウム、グリシン、ドデシルホスホン酸、イミノ二酢酸、ホウ酸、マロン酸、コハク酸、ニトリロ三酢酸、スルホラン、2,3,5-トリメチルピラジン、2-エチル-3,5-ジメチルピラジン、キノキサリン、アセチルピロール、ピリダジン、ヒスタジン(histadine)、ピラジン、グルタチオン(還元型)、システイン、シスチン、チオフェン、メルカプトピリジンN-オキシド、チアミンHCl、テトラエチルチウラムジスルフィド、2,5-ジメルカプト-1,3-チアジアゾールアスコルビン酸、アスコルビン酸、カテコール、t-ブチルカテコール、フェノール、及びピロガロールが挙げられる。
上記の市販品としては、例えばニューカルゲンFS-3PG(竹本油脂社製)、及びホステンHLP-1(日光ケミカルズ社製)等が挙げられる。
親水性ポリマーとしては、例えば、ポリエチレングリコール等のポリグリコール類、ポリグリコール類のアルキルエーテル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、アルギン酸等の多糖類、ポリメタクリル酸、及びポリアクリル酸等のカルボン酸含有ポリマー、ポリアクリルアミド、ポリメタクリルアミド、及びポリエチレンイミン等が挙げられる。そのような親水性ポリマーの具体例としては、特開2009-88243号公報0042~0044段落、特開2007-194261号公報0026段落に記載されている水溶性ポリマーが挙げられる。
セリウム塩としては特に制限されず、公知のセリウム塩を使用できる。
セリウム塩としては、例えば、3価のセリウム塩として、酢酸セリウム、硝酸セリウム、塩化セリウム、炭酸セリウム、シュウ酸セリウム、及び硫酸セリウム等が挙げられる。また、4価のセリウム塩として、硫酸セリウム、硫酸セリウムアンモニウム、硝酸セリウムアンモニウム、硝酸二アンモニウムセリウム、及び水酸化セリウム等が挙げられる。
水系被精製液は、有機溶剤を含有してもよい。有機溶剤としては特に制限されないが、有機溶剤系被精製液が含有する有機溶剤として既に説明したとおりである。有機溶剤を含有する場合、水系被精製液が含有する溶媒の全質量に対して、有機溶剤の含有量は5~35質量%が好ましい。
本実施形態に係る薬液の製造方法は、本発明のフィルタ(典型的には、本発明のフィルタを設置したろ過装置)を用いて、上記被精製液をろ過して、薬液を得るろ過工程を含有する。
上記ろ過装置における、各フィルタに対する被精製液の供給圧力としては特に制限されないが、一般に、0.00010~1.0MPaが好ましい。
中でも、より優れた欠陥抑制性を含有する薬液が得られる点で、供給圧力P2は、0.00050~0.090MPaが好ましく、0.0010~0.050MPaがより好ましく、0.0050~0.040MPaが更に好ましい。
また、ろ過圧力はろ過精度に影響を与えるため、ろ過時における圧力の脈動は可能な限り少ない方が好ましい。
フィルタにはフィルタ性能(フィルタが壊れない)を保障する耐差圧が設定されており、この値が大きい場合にはろ過圧力を高めてろ過速度を高められる。つまり、上記ろ過速度上限は、通常、フィルタの耐差圧に依存するが、通常、10.0L/分/m2以下が好ましい。
なお、後述する各工程も、上記クリーン環境下にて実施するのが好ましい。
循環ろ過の回数としては特に制限されないが、一般に2~10回が好ましい。なお、循環ろ過はフィルタAによるろ過を繰り返すよう、被精製液をフィルタAの上流に返送してもよいが、この際、フィルタAに加えてフィルタA以外のフィルタによるろ過も合わせ繰り返すよう、返送流通路を調整してもよい。
本実施形態に係る薬液の製造方法は、上記以外の工程を含有していてもよい。上記以外の工程としては、例えば、装置洗浄工程、及び、除電工程等が挙げられる。以下では、各工程について詳述する。
装置洗浄工程は、ろ過工程の前に、ろ過装置の接液部を洗浄する工程である。ろ過工程の前にろ過装置の接液部を洗浄する方法としては特に制限されないが、以下では、フィルタがフィルタ付きカートリッジに含有されであり、上記フィルタ付きカートリッジが、流通路上に配置されたハウジング内に収納されるろ過装置を例として説明する。
工程Aは、ハウジングからフィルタ付きカートリッジが取り除かれた状態で、洗浄液を用いてろ過装置の接液部を洗浄する工程である。ハウジングからフィルタが取り除かれた状態で、とは、ハウジングからフィルタカートリッジを取り除くか、ハウジングにフィルタカートリッジを収納する前に、洗浄液を用いてろ過装置の接液部を洗浄することを意味する。
ハウジングからフィルタが取り除かれた状態における(以下「フィルタ未収納の」ともいう。)ろ過装置の接液部を、洗浄液を用いて洗浄する方法としては特に制限されない。流入部から洗浄液を導入し、流出部から回収する方法が挙げられる。
洗浄液としては特に制限されず、公知の洗浄液を使用できる。中でもより優れた本発明の効果が得られる点で、洗浄液としては、水又は有機溶剤を主成分として含有するのが好ましく、有機溶剤を主成分として含有するのがより好ましい。本明細書において主成分とは、洗浄液の全質量に対して99.9質量%以上含有される成分を意味し、99.99質量%以上含有するのがより好ましい。
工程Bは、ハウジングにフィルタが収納された状態で、洗浄液を用いてろ過装置を洗浄する方法である。
洗浄液を用いてろ過装置を洗浄する方法としては、既に説明した工程Aにおける洗浄方法のほか、ろ過装置に洗浄液を通液する方法も使用できる。ろ過装置に洗浄液を通液する方法としては特に制限されないが、流入部から洗浄液を導入し、流出部から排出すればよい。なお、本工程で使用できる洗浄液としては特に制限されず、工程Aで説明した洗浄液を使用できる。
除電工程は、被精製液を除電して、被精製液の帯電電位を低減させる工程である。除電方法としては特に制限されず、公知の除電方法を使用できる。除電方法としては、例えば、被精製液を導電性材料に接触させる方法が挙げられる。
被精製液を導電性材料に接触させる接触時間は、0.001~60秒が好ましく、0.001~1秒がより好ましく、0.01~0.1秒が更に好ましい。導電性材料としては、ステンレス鋼、金、白金、ダイヤモンド、及びグラッシーカーボン等が挙げられる。
被精製液を導電性材料に接触させる方法としては、例えば、導電性材料からなる接地されたメッシュを、流通路を横切るように配置し、ここに被精製液を流通させる方法等が挙げられる。
次に、耐腐食材料について説明する。これまで説明した本発明の実施形態に係るろ過装置、及び、精製装置は、その接液部の少なくとも一部が耐腐食材料で形成されているのが好ましく、接液部の90%以上が耐腐食材料で形成されているのがより好ましく、接液部の99%以上が耐腐食材料で形成されているのが更に好ましい。
金属材料としては例えば、ステンレス鋼、及びNi-Cr合金等が挙げられる。
Ni-Cr合金としては、例えば、ハステロイ(商品名、以下同じ。)、モネル(商品名、以下同じ)、及びインコネル(商品名、以下同じ)等が挙げられる。より具体的には、ハステロイC-276(Ni含有量63質量%、Cr含有量16質量%)、ハステロイ-C(Ni含有量60質量%、Cr含有量17質量%)、ハステロイC-22(Ni含有量61質量%、Cr含有量22質量%)等が挙げられる。
また、Ni-Cr合金は、必要に応じて、上記した合金の他に、更に、B、Si、W、Mo、Cu、及び、Co等を含有していてもよい。
なお、金属材料はバフ研磨されていてもよい。バフ研磨の方法は特に制限されず、公知の方法を使用できる。バフ研磨の仕上げに用いられる研磨砥粒のサイズは特に制限されないが、金属材料の表面の凹凸がより小さくなりやすい点で、#400以下が好ましい。なお、バフ研磨は、電解研磨の前に行われるのが好ましい。
本発明のフィルタ(好ましくはフィルタを含有するろ過装置)を用いて製造される薬液は半導体基板の製造に用いられるのが好ましい。特に、ノード10nm以下の微細パターンを形成するため(例えば、極紫外線を用いたパターン形成を含む工程)に用いられるのがより好ましい。
言い換えれば、上記ろ過装置は、半導体基板の製造用の薬液の製造に用いられるのが好ましく、具体的には、リソグラフィー工程、エッチング工程、イオン注入工程、及び、剥離工程等を含有する半導体デバイスの製造工程において、各工程の終了後、又は、次の工程に移る前に、無機物、及び/又は、有機物を処理するために使用される薬液の製造用に用いられるのが好ましい。
上記ろ過装置は、具体的には現像液、リンス液、ウェハ洗浄液、ライン洗浄液(例えば配管洗浄液)、プリウェット液、ウェハリンス液、レジスト液、下層膜形成用液、上層膜形成用液、及び、ハードコート形成用液からなる群より選択される少なくとも1種(有機系被精製液を精製して得られる薬液)であるのが好ましく、他の形態としては、水系水性現像液、水性リンス液、剥離液、リムーバー、エッチング液、酸性洗浄液、及び、リン酸、リン酸-過酸化水素水混合液(SPM:Sulfuric acid-Hydrogen Peroxide Mixture)からなる群より選択される少なくとも1種(水系被精製液を精製して得られる薬液)の製造に用いられるのが好ましい。
また、本発明のフィルタ(好ましくはフィルタを含有するろ過装置)は、レジスト液に含有される樹脂の希釈液、レジスト液に含有される溶剤の製造にも使用できる。
また、本発明のフィルタ(好ましくはフィルタを含有するろ過装置)は、医療用途又は洗浄用途の溶媒の製造にも使用できる。特に、容器、配管、及び、基板(例えば、ウェハ、及び、ガラス等)等の洗浄に用いる薬液の製造に使用できる。
中でも、本発明のフィルタ(好ましくはフィルタを含有するろ過装置)は、パターン形成における、プリウェット液、現像液、リンス液、及び、これらの液を移送する装置を洗浄する配管洗浄液からなる群より選択される少なくとも1種の製造に使用するのが好ましい。
有機溶剤を2種以上使用する場合は、少なくとも1種が上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たすのが好ましい。
有機溶剤を2種以上使用する場合、各有機溶剤の含有量のモル比に基づいた、ハンセン溶解度パラメータの加重平均値が、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たすのが好ましい。
なお上記有機溶剤としては、例えば、被精製液としての有機溶剤として挙げた有機溶剤が同様に挙げられる。
この場合、得られる薬液の欠陥抑制性がより優れる点から、薬液(混合溶剤)が、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たす有機溶剤を薬液の全質量に対して20~80質量%(好ましくは30~70質量%)含有し、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤を薬液の全質量に対して20~80質量%(好ましくは30~70質量%)含有するのが好ましい。
上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たす有機溶剤の含有量と上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤の含有量が、それぞれ一定以上である場合、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤が所定範囲外の量(例えば、混合溶剤の全質量に対して1質量%以上20質量%未満又は80質量%超)である場合に比べて、薬液の、金属系素材及び有機系素材に対する親和性を適度な範囲に調整でき、本発明の効果がより優れると考えられている。
また、この場合、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たす有機溶剤と上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤との合計含有量は、薬液の全質量に対して、99.0質量%以上が好ましい。上限値としては特に制限されないが、一般に、99.99999質量%以下が好ましい。
なお、上記ハンセン溶解度パラメータの範囲を満たさない有機溶剤における、エイコセンに対するハンセン溶解度パラメータの距離は、0MPa0.5以上3MPa0.5未満(好ましくは0MPa0.5超3MPa0.5未満)、又は、20MPa0.5超(好ましくは20MPa0.5超50MPa0.5以下)である。
上記ろ過装置により製造された薬液は、容器に収容されて使用時まで保管されてもよい。このような容器と、容器に収容された薬液とをあわせて薬液収容体という。保管された薬液収容体からは、薬液が取り出され使用される。
使用可能な容器としては、特に制限されないが、例えば、アイセロ化学(株)製の「クリーンボトル」シリーズ、及び、コダマ樹脂工業製の「ピュアボトル」等が挙げられるが、これらに制限されない。
特に記載のない場合、試験に供した機器等には、事前に十分な洗浄処理が施されている。
〔フィルタの梱包材〕
以下に示す梱包材で梱包された被処理フィルタを入手した。
被処理フィルタの梱包材に関する略号は以下の通りである。
・フッ素系樹脂:被処理フィルタに対する接触部分がフッ素樹脂であるフッ素樹脂製の袋
・EP-SUS:被処理フィルタに対する接触部分が電解研磨されたステンレス鋼であるステンレス鋼製のカプセル
以下に示す材料を含むろ過層及び支持層を含有するフィルタ本体、を含有するフィルタを被処理フィルタとして前処理に供した。
各フィルタ(被処理フィルタ)のフィルタ本体の材料に関する略号は以下のとおりである。
・IEX(PTFE):陽イオン交換基を導入したPTFE
・PTFE:ポリテトラフルオロエチレン
・Nylon:ナイロン
・UPE:超高分子量ポリエチレン
・PFA:パーフルオロアルコキシアルカン
・Polyester:ポリエステル
・グラフトNylon:ナイロンをベースとするポリマーでグラフト化したナイロン
まず、予備架橋剤(pre-crosslinker)として式CH2CH-C6F12-CHCH2のビス-オレフィン、連鎖移動剤としてI-C4F8-I、及び、ラジカル開始剤として過硫酸カリウムを用いて、TFEと式CF2=CF-O-CF2CF2-SO2Fのビニルエーテルとを乳化重合させた。
乳化重合の条件は特開2012-522882号公報の0121段落の表2の条件に従い、上記表2のコポリマーC1を合成した。
次に、特開2012-522882号公報の0123~0125段落(特に0123段落の表3)に記載されたS1のフルオロカーボン組成物を調製した。
次に、上記フルオロカーボン組成物について、イオノマーの含有量が、1.3質量%となるよう調整した。なお、この調製後のフルオロカーボン組成物は、架橋剤及びラジカル開始剤を含有する。この調製後のフルオロカーボン組成物を用いて、PTFE製の多孔質基材の表面に被覆層を形成した膜。
この膜は、非対称多孔性膜である。
この膜は、非対称多孔性膜である。
この膜は、非対称多孔性膜である。
この膜は、非対称多孔性膜である。
特開2016-194038号公報の0124段落及び0125段落の記載を参考に、PTFE多孔質膜の表面に、ポリ(M8-b-NPF6)の被覆層を形成した膜。
細孔径は、ポリ(M8-b-NPF6)の被覆量により調整した。
なお、PTFE-1の被覆層を形成する樹脂は、親水性基としてポリオキシアルキレン基を含有する。
特開2016-194038号公報の0023段落に記載されたポリ(M8-b-NPF6)-S(CH2)SO3Naを合成した。具体的には、特開2016-194038号公報の0103~0109段落の記載を参考に上記コポリマーを合成した。合成したコポリマーを用いて、PTFEa-1と同様の方法にて製造した被覆層を含有する多孔質PTFE膜。
なお、PTFE-2の被覆層を形成する樹脂は、親水性基として、ポリオキシアルキレン基、及び、スルホン酸(塩)基を含有する。
特開2016-194038号公報の0023段落に記載されたポリ(M8-b-NPF6)-S-CH2COOHを合成した。具体的には、特開2016-194038号公報の0103~0109段落の記載を参考に上記コポリマーを合成した。合成したコポリマーを用いて、PTFE-a1と同様の方法にて製造した被覆層を含有する多孔質PTFE膜。
なお、PTFE-a3の被覆層を形成する樹脂は、親水性基としてポリオキシアルキレン基、及び、カルボン酸(塩)基を含有する。
特開2016-199733号公報の0014段落に記載された、ポリ(NTEG-b-NPF6)/チオグリセロールを合成した。具体的には、特開2016-199733号公報の0106~0108段落の記載を参考に上記コポリマーを合成した。合成したコポリマーを用いて、PTFE-a1と同様の方法にて製造した被覆層を含有する多孔質PTFE膜。
なお、PTFE-a4の被覆層を形成する樹脂は、親水性基としてポリオキシアルキレン基、及び、チオエーテル基と水酸基とを含有する基を含有する。
撹拌子を備えた50ml丸底フラスコで、第二世代グラブス触媒(3.0mg、0.004mmol)、2-ブテン-1,4-ジオール(10.0mg、0.12mmol)、及び1,5-シクロオクタジエン(490mg、4.54mmol)を混合させて、アルゴンで5分間脱気し、40℃のオイルバスへ移した。1時間加熱し続け、残りの1,5-シクロオクタジエン(4.5mg、4.2mmol)のDCM5ml溶液を混合物へ添加し、さらに6時間加熱し続けた。ヒドロキシル末端ポリマー(PCOD)を、メタノール中の沈殿によって、単離した。1H-NMR(300MHz,CDCl3):δ(ppm)5.3~5.5(s,広幅,1H)、1.75~2.5(s,広幅)。
多孔質PTFE膜は、フッ素化PCOD(1~10%質量濃度)THF溶液、光開始剤(Irgacure、1~15質量%)、3-メルカプトエタンスルホン酸ナトリウム塩(1~15質量%、均一なTHF溶液を得るまで、THFと希塩酸(1規定)の水溶液で中和させる)を含有する溶液に膜を浸漬して、チオールエン反応を介して改質された、フッ素化PCODで被覆されており、膜は、UV照射(300~480nm、150~250ミリワット、60秒~180秒)を用いて、この混合物と共に架橋結合される。次いで、水で洗浄し、100℃で10分間乾燥させて得られた膜。
特開2017-002273号公報の0018~0032段落の記載を参照して、メルカプト酢酸とアリル基とのチオールエン反応によりカルボン酸基を側鎖に導入した被覆性樹脂を得た。更に、PTFE多孔質膜上に特開2017-002273号公報の0070~0071段落の記載を参照して上記樹脂による被覆層を形成し、得られた膜。
特開2017-002273号公報の0018~0032段落の記載を参照して、メルカプトエチルジエチルアミンとアリル基とのチオールエン反応によりアミノエチル基を導入後、臭化エチルによる4級化反応により4級アンモニウム基を側鎖に導入した被覆性樹脂を得た。更に、PTFE多孔質膜上に特開2017-002273号公報の0070~0071段落の記載を参照して上記樹脂による被覆層を形成し、得られた膜。
特開2017-002273号公報の0018~0032段落の記載を参照して、2エチルヘキシルチオプロピルメルカプタンとアリル基とのチオールエン反応によりチオエーテル基を導入した被覆性樹脂を得た。PTFE多孔質膜上に特開2017-002273号公報の0070~0071段落の記載を参照して上記樹脂による被覆層を形成し、得られた膜。
特開2017-002273号公報の0018~0032段落の記載を参照して、トリプロピルオキシホスホリックオキシプロピルメルカプタンとアリル基とのチオールエン反応によりホスホリックオキシ基を導入した被覆性樹脂を得た。PTFE多孔質膜上に特開2017-002273号公報の0070~0071段落の記載を参照して上記樹脂による被覆層を形成し、得られた膜。
特開2016-29146号公報の0068~0082段落の記載を参照して、ペルフルオロデカンチオールが結合されている、PFDT-PG-AGEにより被覆したPTFE多孔質膜。
特開2016-194040号公報の0085~0088段落の記載を参照して、ポリ(SZNB-b-NPF6)-2により被覆したPTFE多孔質膜。
なお、上記の方法により得られたPTFE-7は、PTFE製の多孔質基材に、上記多孔質基材を覆うように配置された、「ポリ(SZNB-b-NPF6)-2」の構造を含有するフッ素化ポリマーであって、吸着性基としてスルホン酸基、及び、4級アンモニウム基を含有する基を含有するコポリマーによる被覆層を含有していた。
特開2016-196625号公報の0110~0112段落の記載を参照して、ポリ(C2二酸-r-NPF6)を合成し、同0109段落の記載を参照して、PTFE多孔質膜上に被覆層を形成し、得られた膜。
特開2016-196625号公報の0120~0124段落の記載を参照して、ポリ(C4-r-NPF6-r-NHS)を合成し、同0109段落の記載を参照して、PTFE多孔質膜上に被覆層を形成し、得られた膜。
1H-NMR(300MHz,CDCl3):δ(ppm)6(s 広幅)、5.9~5.0(m 広幅)、5.1~4.6(m 広幅)、4.6~4.1(m 広幅)、4.0~3.0(m 広幅)、3.0~2.4(m 広幅)、2.3~1.4(m 広幅)、1.25(s 広幅)。
特開2017-68262号公報の0223、0234~0239段落の記載を参照して製造したポリイミド系樹脂を含有する多孔質膜。
使用する微粒子の粒径等を調整して、細孔径を制御し、並びに、焼成温度及び/又は再焼成温度等を調整して、イミド化率を制御した。イミド化率は1.85とした。細孔径は、後段に記載の表に示す。
細孔径及びイミド化率が所望の値となるよう、使用する微粒子の粒径、並びに、焼成温度及び/又は再焼成温度等を調整したことを除いてはフィルタY1と同様の方法により作製した膜。
イミド化率は、フィルタY2から順に、1.82、1.60、1.93、1.68、0.88である。細孔径は、後段に記載の表に示す。
特表2016-538122号公報の0019~0027段落の記載を参照して製造した、ポリイミド系樹脂を含有する多孔質膜。
イミド化率は1.45であった。上記多孔質膜は、膜厚方向でイミド化率が異なる構造を含有していたが、多孔質膜全体の平均値として求めた。
特開2018-20301号公報の202~203段落の記載を参照して製造したポリイミド系樹脂を含有する多孔質膜。
製造した多孔質膜は、特開2018-20301号公報の実施例1として記載された膜いである。B値、及び、イミド化率は、それぞれ、8nm、1.43であった。
特開2018-20301号公報の202~203段落の記載を参照して製造したポリイミド系樹脂を含有する多孔質膜。
製造した多孔質膜は、特開2018-20301号公報の実施例2として記載された膜である。B値、及び、イミド化率は、それぞれ、10nm、1.54であった。
前処理に用いた有機洗浄液を以下に示す。有機洗浄液はいずれも高純度グレードを使用した。
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・IPA:イソプロパノール
・CyHe:シクロヘキサン
・nBA:酢酸ブチル
以下に示す洗浄方法で被処理フィルタの前処理を実施した。
なお、被処理フィルタは、フィルタの筒長が1インチとなるフィルタ付きカートリッジに含有される状態で前処理に供し、その後、後述する試験に供した。
被処理フィルタを20リットルの有機洗浄液に浸漬させた。有機洗浄液の種類、液温、及び、浸漬期間は後段の表に示す。
被処理フィルタを20リットルの有機洗浄液(PGMEA)に浸漬させた状態で超音波処理を施した。超音波処理は1時間継続した。超音波出力は後段の表に示す。
被処理フィルタを含有するフィルタ付きカートリッジが収納及び設置されたフィルタユニットに、有機洗浄液を通液させた。有機洗浄液の種類及び通液量は後段の表に示す。
前処理を終えた後のフィルタ(フィルタ付きカートリッジ)は、後段に記載の[薬液の製造]の試験で使用するハウジングに収納した。
なお、最後に接触した有機洗浄液と、[薬液の製造]において使用した被精製液が異なる場合は、被精製液を400kg通液してから、[薬液の製造]の試験に供した。
前処理を終えたフィルタの分析を行った。
なお、分析に当たっては、分析のための処理(溶出処理等)によってフィルタにおける特定有機化合物等の含有量が影響されることを回避するため、各フィルタは、後述する薬液の製造に供されるフィルタ以外に2本のフィルタを用意して、それぞれ、前処理を行う前の分析、及び、前処理を行った後の分析に供した。
具体的には、後段の表に示すフィルタ1を作製する際には、前処理を施して薬液の製造試験に供するために用いられる被処理フィルタと、同一の構成で同一機会に入手されて同一条件で流通及び保管されていたフィルタ(被処理フィルタ)を更に2本準備した。上記2本のフィルタの内の1本は、前処理を行う前に分析し、分析された特定有機化合物の含有量等を、フィルタ1が前処理を施される前に含有していた特定有機化合物の含有量等であるとした。また、上記2本のフィルタの内のもう1本は、フィルタ1と同様の前処理を施した後に分析し、分析された特定有機化合物の含有量等を、被処理フィルタに前処理を施して得られたフィルタ1が含有する特定有機化合物の含有量等であるとした。
各種フィルタにおける特定有機化合物の含有量は、明細書にて上述した通りの方法で測定した。
特定有機化合物として検出された化合物は以下のとおりである。
一般式(X)に当てはめた場合、jが12~50となる化合物が、それぞれ検出された。
一般式(XI)に当てはめた場合、kが12~50となる化合物が、それぞれ検出された。
スクアレンが、検出された。
各種フィルタ中の特定金属成分(特定金属イオン及び特定金属粒子)の含有量は、Agillent8900を用いて、明細書にて上述した通りの方法で測定した。
前処理を経たフィルタを4つ選択し、第1フィルタ~第4フィルタとした。流入部と、流出部との間に、第1フィルタ~第4フィルタを、この順で直列に配置したろ過装置を作製した。なお、各フィルタは、フィルタ付きカートリッジに含有された状態でハウジングに収納し、フィルタユニットとした。
上記ろ過装置を用いて被精製液を精製した。なお、以降で称する薬液の名称は、各実施例の番号と一致する。例えば、後段に記載する実施例A001において製造し、試験に供した薬液を、薬液A001とする。
精製に供した被精製液を以下に示す。被精製液は、いずれも高純度グレードである。なお、括弧内の値は、各被精製液(有機溶剤)のエイコセンに対するハンセン溶解度パラメータの距離(MPa0.5)である。
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(9.5)
・PGME:プロピレングリコールモノエチルエーテル(11.0)
・PGMEA/PGME(v/v=7/3):PGMEAとPGMEの7:3(体積基準)の混合物(10.2)
・PGMP:プロピレングリコールモノプロピルエーテル(10.6)
・MPM:メトキシプロピオン酸メチル(8.8)
・CHN:シクロヘキサノン(5.1)
・nBA:酢酸ブチル(4.6)
・γBL:γ-ブチロラクトン(8.5)
・MIBC:4-メチル-2-ペンタノール(12.1)
・iAA:酢酸イソアミル(6.0)
・酪酸ブチル(4.6)
・イソ酪酸イソブチル(3.6)
・イソアミルエーテル(2.1)
・ウンデカン(1.8)
・マロン酸ジメチル/イソアミルエーテル=9/1(マロン酸ジメチルとイソアミルエーテルの9:1(質量基準)の混合物)(9.4)
・マロン酸ジメチル/イソアミルエーテル=5/5(マロン酸ジメチルとイソアミルエーテルの5:5(質量基準)の混合物)(5.9)
・マロン酸ジメチル/イソアミルエーテル=1/9(マロン酸ジメチルとイソアミルエーテルの1:9(質量基準)の混合物)(2.7)
なお、マロン酸ジメチルが単独の場合のエイコセンに対するハンセン溶解度パラメータの距離は、10.3MPa0.5である。
〔プリウェット液、リンス液〕
以下に示す方法で、製造した薬液の、プリウェット液及びリンス液として使用した場合の欠陥抑制性を評価した。
まず、直径300mmのシリコン基板に薬液をスピン吐出し、基板を回転させながら、基板の表面に対して、各薬液を0.5cc吐出した。その後、基板をスピン乾燥した。次に、KLA-Tencor社製のウエハ検査装置「SP-5」を用いて、薬液塗布後の基板に存在する欠陥数を計測した。
次にEDAX(energy-dispersive X-ray spectroscopy)を用いて、このウエハの欠陥のうち、粒子状の異物を、金属を主成分とする「金属残渣物欠陥」と有機物を主成分とする「粒子状有機残渣物欠陥」とに分類してそれぞれ計測した。更に、非粒子状であるシミ状の欠陥を「シミ状欠陥」として計数した。
なお、金属残渣物欠陥、粒子状有機残渣物欠陥、及び、シミ状残渣欠陥のいずれの評価でもC評価以上であれば、プリウェット液及びリンス液として好適に使用できる。
A:対応する欠陥数が20個/ウエハ以下だった。
B:対応する欠陥数が20個/ウエハを超え、50個/ウエハ以下だった。
C:対応する欠陥数が50個/ウエハを超え、100個/ウエハ以下だった。
D:対応する欠陥数が100個/ウエハを超えた。
以下に示す方法で、製造した薬液の、配管洗浄液として使用した場合の欠陥性能抑制性を評価した。
購入直後の配管(接液部:PTFE製、φ:50mm、長さ:5m)に、評価対象の薬液5000mlを500ml/minで通液させて、配管の洗浄を行った。
次に、薬液A021(実施例A021の精製処理をして得られた薬液)をこの配管を通してウエハ上に吐出した点以外は、上述のプリウェット液又はリンス液としての性能の評価と同様の試験を行い、同様の基準で評価した。洗浄後の配管を通過した薬液A021が、プリウェット液又はリンス液として好適に使用できるのであれば、このような配管洗浄液をレジストプロセスに適用して機器の洗浄を行った場合に、欠陥発生を抑制できると判断できる。
以下に示す方法で、製造した薬液を、現像液又はリンス液として使用した場合の欠陥性能抑制性を評価した。
まず、以下に示す操作によりレジストパターンを形成した。
直径300mmのシリコン基板に有機反射防止膜形成用組成物ARC29SR(日産化学社製)を塗布し、205℃で60秒間ベークを行い、膜厚78nmの反射防止膜を形成した。
塗布性の改良のため、反射防止膜を形成したシリコンウェハの反射防止膜側の表面にプリウェット液(薬液A021を使用した。)を滴下し、スピン塗布を実施した。
次いで、上記プリウェット工程後の反射防止膜上に、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物(下記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物1)を塗布し、100℃で、60秒間に亘ってプリベーク(PB)を行い、膜厚150nmのレジスト膜を形成した。
酸分解性樹脂(下記式で表される樹脂(重量平均分子量(Mw):7500):各繰り返し単位に記載される数値はモル%を意味する。):100質量部
PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート):3質量部
シクロヘキサノン:600質量部
γ-BL(γ-ブチロラクトン):100質量部
ここで、現像液の評価を行う場合は、現像液は評価対象の現像液を使用し、リンス液は薬液B049(実施例B049の精製処理をして得られた薬液)を使用した。
リンス液の評価を行う場合は、現像液は薬液B018を使用し、リンス液は評価対象のリンス液を使用した。
パターン欠陥装置(日立ハイテクノロジー社製 マルチパーパスSEM(Scanning Electron Microscope) “Inspago” RS6000シリーズ)を用いて、形成されたウエハのパターンを観測し、以下の欠陥の数を測定した。
・現像不良欠陥:パターンの底部までスペースが形成されていない欠陥
・残渣物欠陥:パターン上に異物が存在する欠陥
・均一性欠陥:パターン幅がターゲット(45nm)から3nm以上大きくなっている欠陥
なお、現像不良欠陥、残渣物欠陥、及び、均一性欠陥のいずれの評価でもC評価以上であれば、プリウェット液及びリンス液として好適に使用できる。
A:対応する欠陥数が5個/ウエハ以下だった。
B:対応する欠陥数が5個/ウエハを超え、10個/ウエハ以下だった。
C:対応する欠陥数が10個/ウエハを超え、30個/ウエハ以下だった。
D:対応する欠陥数が30個/ウエハを超えた。
(感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物(レジスト組成物1))
まず、レジスト組成物1を、各成分を以下の組成で混合して得た。
・樹脂(A-1):0.77g
・光酸発生剤(B-1):0.03g
・塩基性化合物(E-3):0.03g
・PGMEA(市販品、高純度グレード):67.5g
・乳酸エチル(市販品、高純度グレード):75g
樹脂としては、以下の樹脂を用いた。
光酸発生剤としては、以下の化合物を用いた。
塩基性化合物としては、以下の化合物を用いた。
以下の方法により、薬液の残渣欠陥抑制性能、ブリッジ欠陥抑制性能、及び、シミ状欠陥抑制性能を評価した。なお、試験には、SOKUDO社製コータデベロッパ「RF3S」を用いた。
まず、直系300mmのシリコンウェハ上にAL412(Brewer Science社製)を塗布し、200℃で60秒間ベークを行い、膜厚20nmのレジスト下層膜を形成した。その上にプリウェット液(薬液A021)を塗布し、その上からレジスト組成物を塗布し、100℃で60秒間ベーク(PB:Prebake)を行い、膜厚30nmのレジスト膜を形成した。
ここで、現像液の評価を行う場合は、現像液は評価対象の現像液を使用し、リンス液は薬液B049(実施例B049の精製処理をして得られた薬液)を使用した。
リンス液の評価を行う場合は、現像液は薬液B018を使用し、リンス液は評価対象のリンス液を使用した。
A:欠陥数が20個/ウェハ以下だった。
B:欠陥数が21個/ウェハ以上、50個/ウェハ以下だった。
C:欠陥数が51個/ウェハ以上、100個/ウェハ以下だった。
D:欠陥数が101個/ウェハ以上だった。
A:欠陥数が20個/ウェハ以下だった。
B:欠陥数が21個/ウェハ以上、50個/ウェハ以下だった。
C:欠陥数が51個/ウェハ以上、100個/ウェハ以下だった。
D:欠陥数が101個/ウェハウェハ以上だった。
A:欠陥数が20個/ウェハ以下だった。
B:欠陥数が21個/ウェハ以上、50個/ウェハ以下だった。
C:欠陥数が51個/ウェハ以上、100個/ウェハ以下だった。
D:欠陥数が101個/ウェハウェハ以上だった
以下の表2、3に、精製処理に使用した被精製液及びフィルタの種類、並びに、得られた薬液を評価した結果を示す。
表2中、用途の欄に記載した「P/R」は、〔プリウェット液、リンス液〕の項目に示した方法で薬液をプリウェット液及びリンス液として使用した場合の欠陥抑制性の評価を行ったことを示す。「配管」は、〔配管洗浄液〕の項目に示した方法で配管洗浄液として使用した場合の欠陥抑制性の評価を行ったことを示す。
表3では、〔現像液/リンス液〕の項目に示した方法で、薬液を、現像液又はリンス液の用途で使用した場合の欠陥抑制性の評価を行った結果を示す。なお、表3a1と表3a2とは、それぞれ、同一の実施例における、被精製液の処理条件(使用した被精製液とフィルタ)と、製造された薬液を使用した試験結果を示す。表3a2と表3a2との関係も同様である。
「フィルタ79b、フィルタ80b、フィルタ81b、フィルタ82b」における特定有機化合物及び特定金属化合物の含有量の分析結果は、「フィルタ79、フィルタ80、フィルタ81、フィルタ82」とそれぞれ同等であった。
得られた「フィルタ79b、フィルタ80b、フィルタ81b、フィルタ82b」を使用して、「フィルタ79、フィルタ80、フィルタ81、フィルタ82」を使用して行った試験と同様の試験を行ったところ、「フィルタ79、フィルタ80、フィルタ81、フィルタ82」を使用して行った試験と同等の結果が得られた。
このような結果と実施例B045、B046の結果等を比較して、被処理フィルタに対する接触部分がフッ素系樹脂又はステンレス鋼である梱包材で梱包されている被処理フィルタに対して前処理を行って本発明のフィルタを得た場合、本発明の効果がより優れることが確認された。
101 流入部
102 流出部
103、104 フィルタ
105 配管
Claims (30)
- ろ過用のフィルタであって、
フィルタ本体と、
一般式(I)~(V)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケン、からなる群から選択される第1有機化合物を1種以上と、を含有し、
特定方法にて測定された前記第1有機化合物の合計含有量が、前記フィルタの質量に対して、0.10~10000質量pptであり、
更に、Al、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Na、Ni、Zn、及び、Pbからなる群から選択される金属元素を含有する金属成分を、前記フィルタの質量に対して、0.10~5000質量ppt含有する、フィルタ。
特定方法:前記フィルタを、還流条件で加熱したプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中に1時間浸漬させ、前記フィルタ中の前記第1有機化合物を前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶出させる。前記フィルタを浸漬させる前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの量は、測定の対象となる前記フィルタの質量の10~30倍とする。溶出処理の前後でそれぞれの前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが含有する前記第1有機化合物の量と種類とをガスクロマトグラフィー質量分析法で測定し、溶出処理によって増加した、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中のそれぞれの前記第1有機化合物の量を、測定対象の前記フィルタが含有していたそれぞれの前記第1有機化合物の量とし、その合計値を前記第1有機化合物の合計含有量とする。
R1bは、置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。
R3bとR3eとは、互いに結合して環を形成してもよい。
R3bとR3eとが互いに結合して形成する基は、-O-(-Si(R3i)2-O-)a-である。
aは、1以上の整数を表す。
R3iは、置換基を含有していてもよいアルキル基を表す。
複数存在するR3iは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R4c、R4d、及び、R4eは、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
R4bは、-NH-又は-S-を表す。
Yが式(A)で表される基を表す場合、sは3を表し、Lはメチレン基を表し、R5aはそれぞれ独立にアルキル基を表す。
mは20~90、かつ、2n-2以下の整数を表す。 - ろ過用のフィルタであって、
フィルタ本体と、
一般式(I)~(V)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケン、からなる群から選択される第1有機化合物を1種以上と、を含有し、
特定方法にて測定された前記第1有機化合物の合計含有量が、前記フィルタの質量に対して、5.00~10000質量pptである、フィルタ。
特定方法:前記フィルタを、還流条件で加熱したプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中に1時間浸漬させ、前記フィルタ中の前記第1有機化合物を前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶出させる。前記フィルタを浸漬させる前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの量は、測定の対象となる前記フィルタの質量の10~30倍とする。溶出処理の前後でそれぞれの前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが含有する前記第1有機化合物の量と種類とをガスクロマトグラフィー質量分析法で測定し、溶出処理によって増加した、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中のそれぞれの前記第1有機化合物の量を、測定対象の前記フィルタが含有していたそれぞれの前記第1有機化合物の量とし、その合計値を前記第1有機化合物の合計含有量とする。
R 1b は、置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。
R 3b とR 3e とは、互いに結合して環を形成してもよい。
R 3b とR 3e とが互いに結合して形成する基は、-O-(-Si(R 3i ) 2 -O-) a -である。
aは、1以上の整数を表す。
R 3i は、置換基を含有していてもよいアルキル基を表す。
複数存在するR 3i は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R 4c 、R 4d 、及び、R 4e は、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
R 4b は、-NH-又は-S-を表す。
Yが式(A)で表される基を表す場合、sは3を表し、Lはメチレン基を表し、R 5a はそれぞれ独立にアルキル基を表す。
mは20~90、かつ、2n-2以下の整数を表す。 - ろ過用のフィルタであって、
フィルタ本体と、
一般式(I)~(V)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケン、からなる群から選択される第1有機化合物を1種以上と、を含有し、
特定方法にて測定された前記第1有機化合物の合計含有量が、前記フィルタの質量に対して、0.10~10000質量pptであり、
更に、一般式(VI)~(VIII)で表される化合物からなる群から選択される第2有機化合物の1種以上を含有する、フィルタ。
特定方法:前記フィルタを、還流条件で加熱したプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中に1時間浸漬させ、前記フィルタ中の前記第1有機化合物を前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶出させる。前記フィルタを浸漬させる前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの量は、測定の対象となる前記フィルタの質量の10~30倍とする。溶出処理の前後でそれぞれの前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが含有する前記第1有機化合物の量と種類とをガスクロマトグラフィー質量分析法で測定し、溶出処理によって増加した、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート中のそれぞれの前記第1有機化合物の量を、測定対象の前記フィルタが含有していたそれぞれの前記第1有機化合物の量とし、その合計値を前記第1有機化合物の合計含有量とする。
R 1b は、置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。
R 3b とR 3e とは、互いに結合して環を形成してもよい。
R 3b とR 3e とが互いに結合して形成する基は、-O-(-Si(R 3i ) 2 -O-) a -である。
aは、1以上の整数を表す。
R 3i は、置換基を含有していてもよいアルキル基を表す。
複数存在するR 3i は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R 4c 、R 4d 、及び、R 4e は、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
R 4b は、-NH-又は-S-を表す。
Yが式(A)で表される基を表す場合、sは3を表し、Lはメチレン基を表し、R 5a はそれぞれ独立にアルキル基を表す。
mは20~90、かつ、2n-2以下の整数を表す。
R 6b 及びR 6c は、それぞれ独立に、水素原子、-AL-O-R 6d 、-CO-R 6e 、又は、-C(OH)-R 6f を表す。
ALは置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。
R 6d 、R 6e 、又は、R 6f はそれぞれ独立に、置換基を表す。
R 6d が複数存在する場合、複数存在するR 6d は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R 6e が複数存在する場合、複数存在するR 6e は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R 6f が複数存在する場合、複数存在するR 6f は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R 6a で表されるアルキル基が含有していてもよい置換基、R 6d 、R 6e 、及び、R 6f からなる群から選択される2つの組み合わせ、2つのR 6d 同士、2つのR 6e 同士、又は、2つのR 6f 同士は、互いに結合して環を形成してもよい。
R 6a 、R 6b 、又は、R 6c のうち、少なくとも1つは水素原子以外である。
- 前記フィルタが、更に、一般式(VI)~(VIII)で表される化合物からなる群から選択される第2有機化合物の1種以上を含有する、請求項1又は2に記載のフィルタ。
R6b及びR6cは、それぞれ独立に、水素原子、-AL-O-R6d、-CO-R6e、又は、-C(OH)-R6fを表す。
ALは置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。
R6d、R6e、又は、R6fはそれぞれ独立に、置換基を表す。
R6dが複数存在する場合、複数存在するR6dは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R6eが複数存在する場合、複数存在するR6eは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R6fが複数存在する場合、複数存在するR6fは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R6aで表されるアルキル基が含有していてもよい置換基、R6d、R6e、及び、R6fからなる群から選択される2つの組み合わせ、2つのR6d同士、2つのR6e同士、又は、2つのR6f同士は、互いに結合して環を形成してもよい。
R6a、R6b、又は、R6cのうち、少なくとも1つは水素原子以外である。
- 前記第1有機化合物の合計含有量が、前記フィルタの質量に対して、5.0質量ppt以上、かつ、
一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される化合物の合計含有量が、前記フィルタの質量に対して、6500質量ppt以下である、請求項3又は4に記載のフィルタ。 - 前記フィルタが、
一般式(I)~(VIII)で表される化合物からなるA群から選択される化合物の1種以上と、
一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなるB群から選択される化合物の1種以上と、を含有する、請求項3~5のいずれか1項に記載のフィルタ。 - 前記A群から選択される化合物の合計含有量が、前記フィルタの質量に対して、0.10~3200質量pptである、請求項6に記載のフィルタ。
- 前記B群から選択される化合物の合計含有量が、前記フィルタの質量に対して、1.0~1200質量pptである、請求項6又は7に記載のフィルタ。
- 前記フィルタ本体がナイロンを含有し、
前記A群から選択される化合物1種以上と、前記B群から選択される化合物2種以上と、を含有する、請求項6~8のいずれか1項に記載のフィルタ。 - 一般式(X)で表されるアルカンと、一般式(XI)で表されるアルケンと、を含有し、
一般式(X)で表されるアルカンの含有量A、一般式(XI)で表されるアルケンの含有量B、及び、一般式(XII)で表されるアルケンの含有量Cが、質量基準で、C<A、かつ、C<Bである、請求項9に記載のフィルタ。 - 前記フィルタ本体がポリエチレン又はポリテトラフルオロエチレンを含有し、
前記A群から選択される化合物1種以上と、一般式(X)で表されるアルカンと、を含有する、請求項6~8のいずれか1項に記載のフィルタ。 - 前記フィルタの細孔径が、10nm以下である、請求項1~11のいずれか1項に記載のフィルタ。
- 前記フィルタ本体が、イオン交換基を含有する、請求項1~12のいずれか1項に記載のフィルタ。
- 前記フィルタ本体がそれぞれ異なる材料からなる2以上の層を含有する、請求項1~13のいずれか1項に記載のフィルタ。
- 前記フィルタ本体が、非対称多孔質膜を含有する、請求項1~14のいずれか1項に記載のフィルタ。
- 前記フィルタ本体が、フッ素系材料以外の材料からなる、請求項1~15のいずれか1項に記載のフィルタ。
- 請求項1~16のいずれか1項に記載のフィルタの製造方法であって、
一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される1種以上を含有する未処理のフィルタに対し、有機洗浄液を用いた前処理を施す工程を含有する、フィルタの製造方法。
R1bは、置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。
R3bとR3eとは、互いに結合して環を形成してもよい。
R3bとR3eとが互いに結合して形成する基は、-O-(-Si(R3i)2-O-)a-である。
aは、1以上の整数を表す。
R3iは、置換基を含有していてもよいアルキル基を表す。
複数存在するR3iは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R4c、R4d、及び、R4eは、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
R4bは、-NH-又は-S-を表す。
Yが式(A)で表される基を表す場合、sは3を表し、Lはメチレン基を表し、R5aはそれぞれ独立にアルキル基を表す。
mは20~90、かつ、2n-2以下の整数を表す。
R6b及びR6cは、それぞれ独立に、水素原子、-AL-O-R6d、-CO-R6e、又は、-C(OH)-R6fを表す。
ALは置換基を含有していてもよいアルキレン基を表す。
R6d、R6e、又は、R6fはそれぞれ独立に、置換基を表す。
R6dが複数存在する場合、複数存在するR6dは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R6eが複数存在する場合、複数存在するR6eは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R6fが複数存在する場合、複数存在するR6fは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
R6aで表されるアルキル基が含有していてもよい置換基、R6d、R6e、及び、R6fからなる群から選択される2つの組み合わせ、2つのR6d同士、2つのR6e同士、又は、2つのR6f同士は、互いに結合して環を形成してもよい。
R6a、R6b、又は、R6cのうち、少なくとも1つは水素原子以外である。
- 前記有機洗浄液が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、イソプロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、ジイソアミルエーテル、酢酸ブチル、酢酸イソアミル、4-メチル-2-ペンタノール、ジメチルスルホキシド、N-メチルピロリドン、ジエチレングリコール、エチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコール、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、スルフォラン、シクロヘプタノン、2-ヘプタノン、酪酸ブチル、イソ酪酸イソブチル、ウンデカン、プロピオン酸ペンチル、プロピオン酸イソペンチル、エチルシクロヘキサン、メシチレン、デカン、3,7-ジメチル-3-オクタノール、2-エチル-1-ヘキサノール、1-オクタノール、2-オクタノール、アセト酢酸エチル、マロン酸ジメチル、ピルビン酸メチル、及び、シュウ酸ジメチルからなる群から選択される1種以上を含有する、請求項17に記載のフィルタの製造方法。
- 前記前処理が、前記未処理のフィルタを、前記有機洗浄液に3日以上浸漬させる工程を含有する、請求項17又は18に記載のフィルタの製造方法。
- 前記有機洗浄液に浸漬した前記未処理のフィルタに超音波処理をして前記前処理を施す工程を含有する、請求項17~19のいずれか1項に記載のフィルタの製造方法。
- 前記前処理が、中空円筒状である前記未処理のフィルタに、前記有機洗浄液を通液させる工程を含有し、
前記通液をする前記有機洗浄液が、前記未処理のフィルタの筒長1インチに対して、10kg以上である、請求項17~20のいずれか1項に記載のフィルタの製造方法。 - 前記未処理のフィルタ中の、一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される化合物の合計含有量に対する、
前記前処理を施した後のフィルタ中の、一般式(I)~(VIII)で表される化合物、一般式(X)で表されるアルカン、並びに、一般式(XI)及び(XII)で表されるアルケンからなる群から選択される化合物の合計含有量の質量比が、0.5000以下となる、請求項17~21のいずれか1項に記載のフィルタの製造方法。 - 前記前処理を施される前の前記未処理のフィルタが、前記未処理のフィルタに対する接触部分の少なくとも一部がフッ素系樹脂又はステンレス鋼である梱包材で梱包されている、請求項17~22のいずれか1項に記載のフィルタの製造方法。
- 流入部と、流出部と、
2以上の請求項1~16のいずれか1項に記載のフィルタと、を含有し、
2以上の前記フィルタは前記流入部及び前記流出部の間に直列に配置され、
前記流入部から前記流出部にいたる流通路を含有する、被精製液を精製して、薬液を得るための、ろ過装置。 - 2以上の前記フィルタ中、細孔径が最大である前記フィルタの細孔径が10~200nmであり、細孔径が最小である前記フィルタの細孔径が1~10nmである、請求項24に記載のろ過装置。
- 請求項13に記載のフィルタを含有する、請求項24又は25に記載のろ過装置。
- 請求項10に記載のフィルタを含有する、請求項24~26のいずれか1項に記載のろ過装置。
- 請求項11に記載のフィルタを含有する、請求項24~27のいずれか1項に記載のろ過装置。
- 被精製液を精製して薬液を得る薬液の製造方法であって、
請求項1~16のいずれか1項に記載のフィルタを用いて被精製液をろ過して薬液を得る工程を含有する、薬液の製造方法。 - 前記被精製液が、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、シクロヘキサノン、メトキシプロピオン酸メチル、酢酸ブチル、γ-ブチロラクトン、4-メチル-2-ペンタノール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、乳酸エチル、シクロペンタノン、ジイソアミルエーテル、酢酸イソアミル、イソプロパノール、ジメチルスルホキシド、N-メチルピロリドン、ジエチレングリコール、エチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコール、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、スルフォラン、シクロヘプタノン、2-ヘプタノン、酪酸ブチル、イソ酪酸イソブチル、ウンデカン、プロピオン酸ペンチル、プロピオン酸イソペンチル、エチルシクロヘキサン、メシチレン、デカン、3,7-ジメチル-3-オクタノール、2-エチル-1-ヘキサノール、1-オクタノール、2-オクタノール、アセト酢酸エチル、マロン酸ジメチル、ピルビン酸メチル、及び、シュウ酸ジメチルからなる群から選択される1種以上を含有する、請求項29に記載の薬液の製造方法。
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