JP2011072859A - ろ過膜の洗浄方法および洗浄剤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 超純水製造に使用されるろ過膜を、超純水製造工程での使用に先立って予備的に洗浄する方法において、前記ろ過膜に対する溶解性を有し、かつ水との相溶性を有する有機溶媒の水溶液からなる洗浄剤によってろ過膜を洗浄するか、あるいはさらに有機性アルカリの水溶液によってろ過膜を洗浄する。
【選択図】なし
Description
特許文献2(特開2002−361052号)には、超純水製造に使用されるろ過膜を使用に先立って予備的に洗浄する方法として、塩酸などの酸や過酸化水素などを用いて洗浄することが記載されている。
また特許文献3(特開2004−74091号)には、超純水の製造に使用されるろ過膜の洗浄剤として、鉱酸、カルボン酸、スルホン酸やNaOHなどの鉱物系アルカリまたはテトラメチルアンモニウムハイドロオキシド(TMAH)などの有機系アルカリ、或いはアルコール類などの有機溶媒を用いることが記載されている。
(1) 超純水製造に使用されるろ過膜を、超純水製造工程での使用に先立って予備的に洗浄する方法であって、
前記ろ過膜に対する溶解性を有し、かつ水との相溶性を有する有機溶媒の水溶液により、前記ろ過膜を洗浄することを特徴とするろ過膜の洗浄方法。
(2) 有機溶媒の水溶液による洗浄後、有機性アルカリの水溶液により透過膜を洗浄する上記(1)記載の方法。
(3) ろ過膜が相転換法により製造された多孔質膜である上記(1)または(2)記載の方法。
(4) ろ過膜が限外ろ過膜である上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の方法。
(5) ろ過膜に対する溶解性を有し、かつ水との相溶性を有する有機溶媒の水溶液からなることを特徴とするろ過膜の洗浄剤。
(6) ろ過膜に対する溶解性を有し、かつ水との相溶性を有する有機溶媒の水溶液、ならびに有機性アルカリの水溶液からなることを特徴とするろ過膜の洗浄剤。
相転換法により製造されたポリスルフォン製中空糸限外ろ過膜を内蔵する新品のモジュール1本(定格4m3/H)に対して、超純水を4m3/Hで供給して3時間後、10時間後、1日後の透過水中の0.1μm以上の微粒子数をリオン株式会社製パーティクルセンサKS−16により測定した。
比較例1と同様のモジュールに、テトラメチルアンモニウムハイドロオキシド(TMAH)を150mg/L超純水に溶解した水溶液を、流量0.5m3/Hで供給して1時間循環後、超純水を4m3/Hで1時間通水して洗浄し、比較例1と同様に超純水を通水して微粒子数を測定した。
比較例1と同様のモジュールに、N−メチル−2−ピロリドンを超純水に10重量%の濃度で溶解した水溶液を0.5m3/Hで供給して1時間循環後、超純水を4m3/Hで1時間通水して洗浄し、比較例1と同様に超純水を通水して微粒子数を測定した。
比較例1と同様のモジュールに、N−メチル−2−ピロリドンを超純水に10重量%の濃度で溶解した水溶液を0.5m3/Hで供給して1時間循環後、液を交換し、比較例2と同様のテトラメチルアンモニウムハイドロオキシド(TMAH)水溶液を流量0.5m3/Hで供給して1時間循環後、超純水を4m3/Hで1時間通水して洗浄し、比較例1と同様に超純水を通水して微粒子数を測定した。
Claims (6)
- 超純水製造に使用されるろ過膜を、超純水製造工程での使用に先立って予備的に洗浄する方法であって、
前記ろ過膜に対する溶解性を有し、かつ水との相溶性を有する有機溶媒の水溶液により、前記ろ過膜を洗浄することを特徴とするろ過膜の洗浄方法。 - 有機溶媒の水溶液による洗浄後、有機性アルカリの水溶液によりろ過膜を洗浄する請求項1記載の方法。
- ろ過膜が相転換法により製造された多孔質膜である請求項1または2記載の方法。
- ろ過膜が限外ろ過膜である請求項1ないし3のいずれかに記載の方法。
- ろ過膜に対する溶解性を有し、かつ水との混和性を有する有機溶媒の水溶液からなることを特徴とするろ過膜の洗浄剤。
- ろ過膜に対する溶解性を有し、かつ水との混和性を有する有機溶媒の水溶液、ならびに有機性アルカリの水溶液からなることを特徴とするろ過膜の洗浄剤。
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