JP2018144014A - 中空糸膜装置の洗浄方法、限外ろ過膜装置、超純水製造装置及び中空糸膜装置の洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】中空糸膜装置の洗浄方法は、超純水製造装置に設置される前の中空糸膜装置10を、超純水製造装置と異なる洗浄装置21において、アルカリ性水溶液で洗浄することを有する。
【選択図】図3
Description
(1)アルカリ性水溶液通水→アルカリ性水溶液浸漬→超純水によるリンス
(2)アルカリ性水溶液通水→アルカリ性水溶液浸漬→アルカリ性水溶液通水→超純水によるリンス
の2つのパターン(前述の通り、アルカリ性水溶液の通水の前に、超純水の通水を行うことも可能)を説明したが、本発明の洗浄方法はこれらに限定されない。例えば、浸漬の代わりにアルカリ性水溶液を長時間通水することも可能である。アルカリ性水溶液の排水量は多くなるが、微粒子数の低減効果はこちらのほうが大きい。この場合、最初にアルカリ性水溶液を大きな流量で通水し、徐々に流量を減少させながら通水を続けることもできる。さらには、これらの工程を繰り返しても良い。また、上述の実施形態ではアルカリ性水溶液の排水を廃棄しているが、フィルターでろ過した後に再循環(再利用)することもできる。洗浄の方法(浸漬か長時間の通水か)や条件(アルカリ性水溶液のpH、濃度及び温度、浸漬時間)は、洗浄対象である限外ろ過膜装置10の状態、要求される洗浄後の限外ろ過膜装置10の状態(超純水の要求品質)、アルカリ性水溶液の使用量ないし排水量の制約などを考慮し適宜決定することができる。
図3に示す装置を用いて限外ろ過膜装置10の洗浄を行った。表1に示すように、実施例1,2ではアルカリ性水溶液としてアンモニア水を使用し、比較例では超純水の通水のみを行った。実施例1,2ではアンモニア水の通水と浸漬を行った。アンモニア水の通水は、導電率計の測定でアンモニア濃度が安定したことを確認した後、5分間行い、アンモニア水の浸漬は半日程度実施した。実施例2ではアンモニア水の浸漬後アンモニア水を通水し、導電率計の測定でアンモニア濃度が安定したことを確認した後、さらに5分間アンモニア水の通水を行った。微粒子の個数はスペクトリス社製微粒子計UDI−20を用いて計測した。アンモニア濃度は11〜12mg/L、アンモニア水の通水流量は10m3/Lとした。
10 限外ろ過膜装置
12 ハウジング
13 中空糸膜
21 洗浄装置
22 洗浄水の供給ライン
23 第1の出口ライン
24 第2の出口ライン
25 超純水の供給部
26 アルカリ性洗浄剤の供給部
28〜31 第1〜第4の弁
32 微粒子計
33 導電率計
Claims (10)
- 超純水製造装置に設置される前の中空糸膜装置を、前記超純水製造装置と異なる洗浄装置において、アルカリ性水溶液で洗浄することを有する、中空糸膜装置の洗浄方法。
- 前記中空糸膜装置は前記アルカリ性水溶液で洗浄された後、超純水でリンスされる、請求項1に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
- 前記アルカリ性水溶液で洗浄することは、前記中空糸膜装置に前記アルカリ性水溶液を通水し、その後、前記超純水でリンスされる前に、前記中空糸膜装置を前記アルカリ性水溶液で浸漬することを含む、請求項2に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
- 前記超純水は、電気抵抗率が18MΩ・cm以上、TOCが5ppb以下、粒径50nm以上の微粒子数が1個/mL以下、金属濃度が10ppt以下である、請求項2または3に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
- 前記アルカリ性水溶液のpHは8〜11である、請求項1から4のいずれか1項に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
- 前記アルカリ性水溶液はアンモニア水溶液、アミン水溶液または水酸化テトラアルキルアンモニウム水溶液である、請求項1から5のいずれか1項に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
- 前記中空糸膜装置は超純水製造装置の最後段に設置される限外ろ過膜装置である、請求項1から6のいずれか1項に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
- 超純水製造装置に設置される限外ろ過膜装置であって、
ハウジングと、前記ハウジングに収容される中空糸膜と、前記ハウジングに設けられ、前記ハウジングの内部空間と連通する被処理水入口と、前記ハウジングに設けられ、前記中空糸膜の内部空間と連通する処理水出口と、を有し、前記被処理水入口から超純水を供給して前記処理水出口で得られる処理水に含まれる粒径20nm以上の微粒子数が0.5個/mL以下である限外ろ過膜装置。 - イオン交換装置と、前記イオン交換装置の下流に配置された請求項8に記載の限外ろ過膜装置と、を有する超純水製造装置。
- ハウジングと、前記ハウジングに収容される中空糸膜と、を備えた中空糸膜装置の洗浄装置であって、
前記ハウジングの内部空間と連通する被処理水入口に接続される洗浄水の供給ラインと、
前記中空糸膜の内部空間と連通する処理水出口に接続される前記洗浄水の第1の出口ラインと、
前記ハウジングの前記内部空間と連通する濃縮水出口に接続される前記洗浄水の第2の出口ラインと、
前記供給ラインに接続された超純水の供給部と、
前記供給ラインに接続されたアルカリ性洗浄剤の供給部と、
前記アルカリ性洗浄剤の供給を制御する手段と、を有する、中空糸膜装置の洗浄装置。
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