JP2018144014A5 - - Google Patents

Description

本発明の中空糸膜装置の洗浄方法は、超純水製造装置に設置される前の中空糸膜装置を、超純水製造装置と異なる洗浄装置において、アルカリ性水溶液で洗浄し、アルカリ性水溶液で洗浄された後、超純水でリンスすることを有する。アルカリ性水溶液で洗浄することは、中空糸膜装置にアルカリ性水溶液を通水し、その後、超純水でリンスされる前に、中空糸膜装置をアルカリ性水溶液で浸漬し、浸漬の終了後でかつ超純水によるリンスを行う前に、アルカリ性水溶液を通水することを含む。

Claims (10)

1. 超純水製造装置に設置される前の中空糸膜装置を、前記超純水製造装置と異なる洗浄装置において、アルカリ性水溶液で洗浄し、前記アルカリ性水溶液で洗浄された後、超純水でリンスすることを有し、
   前記アルカリ性水溶液で洗浄することは、前記中空糸膜装置に前記アルカリ性水溶液を通水し、その後、前記超純水でリンスされる前に、前記中空糸膜装置を前記アルカリ性水溶液で浸漬し、浸漬の終了後でかつ超純水によるリンスを行う前に、前記アルカリ性水溶液を通水することを含む、中空糸膜装置の洗浄方法。
2. 前記リンスに使用される超純水は、電気抵抗率が１８ＭΩ・ｃｍ以上、ＴＯＣが５ｐｐｂ以下、粒径５０ｎｍ以上の微粒子数が１個／ｍＬ以下、金属濃度が１０ｐｐｔ以下である、請求項１に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
3. 前記アルカリ性水溶液のｐＨは８〜１１である、請求項１または２に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
4. 前記アルカリ性水溶液はアンモニア水溶液、アミン水溶液または水酸化テトラアルキルアンモニウム水溶液である、請求項１から３のいずれか１項に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
5. 前記中空糸膜装置は超純水製造装置の最後段に設置される限外ろ過膜装置である、請求項１から４のいずれか１項に記載の中空糸膜装置の洗浄方法。
6. 超純水製造装置に設置される限外ろ過膜装置であって、
   ハウジングと、前記ハウジングに収容される中空糸膜と、前記ハウジングに設けられ、前記ハウジングの内部空間と連通する被処理水入口と、前記ハウジングに設けられ、前記中空糸膜の内部空間と連通する処理水出口と、を有し、前記被処理水入口から超純水を供給して前記処理水出口で得られる処理水に含まれる粒径２０ｎｍ以上の微粒子数が０．５個／ｍＬ以下である、限外ろ過膜装置。
7. 前記限外ろ過膜装置は、前記超純水製造装置に設置される前に、前記超純水製造装置と異なる洗浄装置において、アルカリ性水溶液が通水され、その後、前記アルカリ性水溶液で浸漬され、浸漬の終了後に、前記アルカリ性水溶液が通水され、その後、超純水でリンスされる、請求項６に記載の限外ろ過膜装置。
8. イオン交換装置と、前記イオン交換装置の下流に配置された請求項６または７に記載の限外ろ過膜装置と、を有する超純水製造装置。
9. ハウジングと、前記ハウジングに収容される中空糸膜と、を備えた中空糸膜装置の洗浄装置であって、
   前記ハウジングの内部空間と連通する被処理水入口に接続される洗浄水の供給ラインと、
   前記中空糸膜の内部空間と連通する処理水出口に接続される前記洗浄水の第１の出口ラインと、
   前記ハウジングの前記内部空間と連通する濃縮水出口に接続される前記洗浄水の第２の出口ラインと、
   前記供給ラインに接続された超純水の供給部と、
   前記供給ラインに接続されたアルカリ性洗浄剤の供給部と、
   前記アルカリ性洗浄剤の供給を制御する手段と、を有する、中空糸膜装置の洗浄装置。
10. 前記アルカリ性洗浄剤の供給を制御する手段は、前記中空糸膜装置が前記超純水でリンスされる前に、前記中空糸膜装置に前記アルカリ性水溶液が通水され、その後、前記中空糸膜装置が前記アルカリ性水溶液で浸漬され、浸漬の終了後に、前記中空糸膜装置に前記アルカリ性水溶液が通水されるように、前記アルカリ性洗浄剤の供給を制御する、請求項９に記載の洗浄装置。