JP5342264B2 - めっき装置及びめっき方法 - Google Patents
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Description
脱気装置の上流側と下流側の2箇所にろ過フィルタを設けた場合、下流側に設けられるろ過フィルタの方が、上流側に設けられるろ過フィルタよりもフィルタ孔径が細かいことが望ましい。
このように、ろ過フィルタを脱気装置の上流側及び下流側に少なくともそれぞれ1段以上設けることで、細菌やカビ等の微生物をより確実に前処理液から除去することができる。
12 前処理槽
14 めっき液
16 めっき槽
18 基板ホルダ
20 オーバフロー槽
22,22a 前処理液循環系
24a,24b,24c,24d 循環ポンプ
26a,26b,26c,26d,70a,70b ろ過フィルタ
28a,28b 脱気装置
30a,30b 微生物処理装置(光触媒UV装置)
38a 脱気膜モジュール
40a 真空ポンプ
44 アノード
46 めっき電源
50 オーバフロー槽
52,52a めっき液循環系
54a,54b 循環タンク
60 第1前処理液循環系
62,62a 第2前処理液循環系
64 第1めっき液循環系
66,66a 第2めっき液循環系
Claims (6)
- 被めっき物の表面に前処理液による前処理を行った後、めっきを行うめっき装置であって、
前記前処理を行うための前処理槽と、
前記前処理液中の溶存気体を脱気する脱気装置と、
紫外線を照射することにより生じる光触媒反応を用いて前記前処理液中の微生物を分解する光触媒UV装置と、
前記前処理液を循環させる前処理液循環系とを備え、
前記前処理液循環系には、前記脱気装置と前記光触媒UV装置とが配置され、
前記脱気装置は、前記光触媒UV装置の上流側に配置されていることを特徴とするめっき装置。 - 前記前処理槽と前処理液循環タンクとの間で前処理液を循環させる第1前処理液循環系と、前記前処理液循環タンク内の前処理液を循環させる第2前処理液循環系とを備え、該第2前処理液循環系に、前記脱気装置と前記光触媒UV装置とを有することを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前処理液中のパーティクルを除去するろ過フィルタを更に有し、前記脱気装置は、脱気膜を有する脱気膜モジュールと真空ポンプとを備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のめっき装置。
- 前記ろ過フィルタは、前記脱気装置の上流側及び下流側の少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項3に記載のめっき装置。
- 被めっき物の表面に前処理液による前処理を行った後、めっきを行うめっき装置であって、
前処理液中の溶存気体を脱気する脱気装置と、
前処理液中の微生物の発生を抑える微生物処理装置と、
めっき槽内のめっき液を循環させるめっき液循環系を備え、
前記めっき液循環系に、めっき液中の溶存気体を脱気する脱気装置と、めっき液中の微生物の発生を抑える微生物処理装置とを有することを特徴とするめっき装置。 - 被めっき物の表面に前処理液による前処理を行った後、めっきを行うめっき装置であって、
前処理液中の溶存気体を脱気する脱気装置と、
前処理液中の微生物の発生を抑える微生物処理装置と、
めっき槽とめっき液循環タンクとの間でめっき液を循環させる第1めっき液循環系と、
めっき液循環タンク内のめっき液を循環させる第2めっき液循環系とを備え、
前記第2めっき液循環系に、めっき液中の溶存気体を脱気する脱気装置と、めっき液中の微生物の発生を抑える微生物処理装置とを有することを特徴とするめっき装置。
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