JP2016201426A - リソグラフィー用塗布膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】筐体とろ過膜が一体となった一体型ろ過器を具備する回転塗布装置を用いて、半導体装置製造用基板上にリソグラフィー用塗布膜形成用組成物を回転塗布し、該リソグラフィー用塗布膜形成用組成物を塗布した半導体装置製造用基板を加熱することで、前記半導体装置製造用基板上にリソグラフィー用塗布膜を形成する方法であって、 前記一体型ろ過器として、有機溶剤を毎分10mlの速度で24時間循環させた際に抽出されるろ過器一個当たりの溶出物の重量が3mg以下のものを用いることを特徴とするリソグラフィー用塗布膜の形成方法。
【選択図】なし
Description
<組成物の回転塗布>
本発明のリソグラフィー用塗布膜の形成方法では、まず、回転塗布装置を用いて半導体装置製造用基板上にリソグラフィー用塗布膜形成用組成物を回転塗布する。
本発明に使用される半導体装置製造用基板は、通常半導体装置の製造に使用されるものであればよく、特に限定されない。
本発明のリソグラフィー用塗布膜の形成方法に使用される回転塗布装置は、筐体とろ過膜が一体となった一体型ろ過器を具備するものであり、この一体型ろ過器は、有機溶剤を毎分10mlの速度で24時間循環させた際に抽出されるろ過器一個当たりの溶出物の重量が3mg以下のものである。
回転塗布装置に具備される一体型ろ過器としては、ろ過器一個当たりの溶出物の重量が少なければ少ないほど塗布欠陥の低減効果が大きいが、実際には溶出物の量をゼロにすることは不可能であり、実質的には溶出物の重量が3mg以下であれば、十分な効果が得られる。
次に、上記のようにしてリソグラフィー用塗布膜形成用組成物を塗布した半導体装置製造用基板を加熱することで、半導体装置製造用基板上にリソグラフィー用塗布膜を形成する。このとき、加熱は、例えば200℃以上の温度で行うことができる。有機下層膜を形成する際には、通常200℃以上で加熱を行うが、組成物中に溶出物が混入していると、この加熱時に塗布欠陥が発生することがある。これに対し、本発明であれば組成物中に溶出する溶出物の量を大幅に低減できるため、有機下層膜を形成する際にも、塗布欠陥の発生を大幅に低減できる。
[実施例1]
(洗浄工程−1回目)
図1に示されるように、一体型ろ過器の洗浄溶剤としてシクロヘキサノンが3L入っているガラス製ガロンビンにフッ素樹脂製チューブでポンプ、一体型ろ過器を接続した。一体型ろ過器として、目開きが5nmのインテグリス社製のポリエチレン製ろ過膜が一体成型されているPOU(point−of use)フィルターを取り付け、毎分10mLの速度でシクロヘキサノンを通液し、24時間循環させた。このシクロヘキサノンをGC−MS(ガスクロマトグラフ質量分析)で分析したところ、炭素数が18〜40の炭化水素が含まれていることが分かった。更にこれを濃縮したところ、3.5mgの不揮発分が得られた。
次に、シクロヘキサノンを新しいものに取り換えて、上記と同様に24時間循環させ、上記一体型ろ過器の抽出を行った。このシクロヘキサノンを濃縮したところ、1.5mgの不揮発分が得られた。
上記洗浄工程の1回目を行って溶出物を除去したPOUフィルター(つまり、上記洗浄工程の2回目を行うと、1.5mgの不揮発分が抽出されるもの)を、東京エレクトロン社製クリーントラックACT−12に取り付けた。信越化学工業社製有機下層膜形成用組成物を接続し、直径12インチ(300mm)のシリコンウエハーに塗布し、350℃で焼成して膜厚200nmの塗布膜を形成した。
この塗布膜に対し、KLA−Tencor社製のSP3欠陥検査装置で塗布欠陥数を計測したところ、欠陥数はウエハー1枚当たり2個であった。
実施例1と同様にして、上記洗浄工程の1回目を行って溶出物を除去したPOUフィルター(つまり、上記洗浄工程の2回目を行うと1.5mgの不揮発分が抽出されるもの)を、東京エレクトロン社製クリーントラックACT−12に取り付けた。信越化学工業社製ケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物を接続し、直径12インチ(300mm)のシリコンウエハーに塗布し、220℃で焼成して膜厚40nmの塗布膜を形成した。
この塗布膜に対し、KLA−Tencor社製のSP3欠陥検査装置で塗布欠陥数を計測したところ、欠陥数はウエハー1枚当たり3個であった。
実施例1と同様にして、上記洗浄工程の1回目を行って溶出物を除去したPOUフィルター(つまり、上記洗浄工程の2回目を行うと1.5mgの不揮発分が抽出されるもの)を、東京エレクトロン社製クリーントラックLithiusに取り付けた。信越化学工業社製ArF液浸露光用上層レジスト膜形成用組成物を接続し、直径12インチ(300mm)のシリコンウエハーに塗布し、100℃で焼成して膜厚100nmの塗布膜を形成した。
この塗布膜に対し、KLA−Tencor社製のSP3欠陥検査装置で塗布欠陥数を計測したところ、欠陥数はウエハー1枚当たり1個であった。
<条件2>
(洗浄工程−1回目)
実施例1と同様にして、上記洗浄工程の1回目を30分行った。このシクロヘキサノンをGC−MSで分析したところ、炭素数が18〜40の炭化水素が含まれていることが分かった。更にこれを濃縮したところ、0.6mgの不揮発分が得られた。
次に、シクロヘキサノンを新しいものに取り換えて、上記と同様に24時間循環させ、上記一体型ろ過器の抽出を行った。このシクロヘキサノンを濃縮したところ、3.0mgの不揮発分が得られた。
上記洗浄工程の1回目を行って溶出物を除去したPOUフィルター(つまり、上記洗浄工程の2回目を行うと、3.0mgの不揮発分が抽出されるもの)を、東京エレクトロン社製クリーントラックACT−12に取り付けた。信越化学工業社製有機下層膜形成用組成物を接続し、直径12インチ(300mm)のシリコンウエハーに塗布し、350℃で焼成して膜厚200nmの塗布膜を形成した。
この塗布膜に対し、KLA−Tencor社製のSP3欠陥検査装置で塗布欠陥数を計測したところ、欠陥数はウエハー1枚当たり8個であった。
上記洗浄工程を行っていない、実施例1と同じPOUフィルター(つまり、上記条件1の洗浄工程の1回目を行うと3.5mgの不揮発分が抽出されるもの)を、クリーントラックACT−12に接続し、実施例1と同じ信越化学工業社製有機下層膜形成用組成物を接続し、直径12インチ(300mm)のシリコンウエハーに塗布し、350℃で焼成して膜厚200nmの塗布膜を形成した。
この塗布膜に対し、KLA−Tencor社製のSP3欠陥検査装置で塗布欠陥数を計測したところ、欠陥数はウエハー1枚当たり52個であった。また、このとき検出された塗布欠陥の形状を走査型電子顕微鏡で観測した結果を図2に示す。図2に示されるように、揮発性の炭化水素が蒸発したと考えられる穴状の欠陥が発生していた。これにより、溶出物が塗布欠陥の原因であると推察できる。
上記洗浄工程を行っていない、実施例1と同じPOUフィルター(つまり、上記条件1の洗浄工程の1回目を行うと3.5mgの不揮発分が抽出されるもの)を、クリーントラックACT−12に接続し、実施例2と同じ信越化学工業社製ケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物を接続し、直径12インチ(300mm)のシリコンウエハーに塗布し、220℃で焼成して膜厚40nmの塗布膜を形成した。
この塗布膜に対し、KLA−Tencor社製のSP3欠陥検査装置で塗布欠陥数を計測したところ、欠陥数はウエハー1枚当たり109個であった。また、このとき検出された塗布欠陥の形状を走査型電子顕微鏡で観測した結果を図3に示す。図3に示されるように、低極性の炭化水素がケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物中のトルエンに作用して所謂ゲル状の物質が生成した不定形状の欠陥が発生していた。これにより、溶出物が塗布欠陥の原因であると推察できる。
上記洗浄工程を行っていない、実施例1と同じPOUフィルター(つまり、上記条件1の洗浄工程の1回目を行うと3.5mgの不揮発分が抽出されるもの)を、クリーントラックLithiusに接続し、実施例3と同じ信越化学工業社製ArF液浸露光用上層レジスト膜形成用組成物を接続し、直径12インチ(300mm)のシリコンウエハーに塗布し、100℃で焼成して膜厚100nmの塗布膜を形成した。
この塗布膜に対し、KLA−Tencor社製のSP3欠陥検査装置で塗布欠陥数を計測したところ、欠陥数はウエハー1枚当たり15個であった。また、このとき検出された塗布欠陥の形状を走査型電子顕微鏡で観測した結果を図4に示す。図4に示されるように、ArF液浸露光用上層レジスト膜形成用組成物に含まれているポリメタクリル酸エステル系ポリマーと相溶性が悪い炭化水素の作用により、不定形状の欠陥が発生していた。これにより、溶出物が塗布欠陥の原因であると推察できる。
Claims (5)
- 筐体とろ過膜が一体となった一体型ろ過器を具備する回転塗布装置を用いて、半導体装置製造用基板上にリソグラフィー用塗布膜形成用組成物を回転塗布し、該リソグラフィー用塗布膜形成用組成物を塗布した半導体装置製造用基板を加熱することで、前記半導体装置製造用基板上にリソグラフィー用塗布膜を形成する方法であって、
前記一体型ろ過器として、有機溶剤を毎分10mlの速度で24時間循環させた際に抽出されるろ過器一個当たりの溶出物の重量が3mg以下のものを用いることを特徴とするリソグラフィー用塗布膜の形成方法。 - 前記一体型ろ過器として、有機溶剤を毎分10mlの速度で24時間循環させた際に抽出されるろ過器一個当たりの溶出物の重量が3mg以下となるまで有機溶剤で循環洗浄したものを用いることを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィー用塗布膜の形成方法。
- 前記加熱を、200℃以上の温度で行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のリソグラフィー用塗布膜の形成方法。
- 前記リソグラフィー用塗布膜形成用組成物を、波長が200nm以下の光又はEUV光によって感光する感光性レジスト組成物、電子線感光性レジスト組成物、誘導自己組織化レジスト組成物、ナノインプリント用レジスト組成物、ケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物、及び有機下層膜形成用組成物のいずれかとすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のリソグラフィー用塗布膜の形成方法。
- 前記ろ過膜を、ナイロン、ポリエチレン、ポリプロピレン、及びポリフルオロカーボンのいずれかを含むものとすることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のリソグラフィー用塗布膜の形成方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015079618A JP2016201426A (ja) | 2015-04-08 | 2015-04-08 | リソグラフィー用塗布膜の形成方法 |
US15/078,820 US9502247B2 (en) | 2015-04-08 | 2016-03-23 | Method for forming coating film for lithography |
KR1020160042076A KR20160120670A (ko) | 2015-04-08 | 2016-04-06 | 리소그래피용 도포막의 형성 방법 |
TW105110683A TWI583453B (zh) | 2015-04-08 | 2016-04-06 | 微影用塗布膜之形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015079618A JP2016201426A (ja) | 2015-04-08 | 2015-04-08 | リソグラフィー用塗布膜の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016201426A true JP2016201426A (ja) | 2016-12-01 |
Family
ID=57112787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015079618A Pending JP2016201426A (ja) | 2015-04-08 | 2015-04-08 | リソグラフィー用塗布膜の形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9502247B2 (ja) |
JP (1) | JP2016201426A (ja) |
KR (1) | KR20160120670A (ja) |
TW (1) | TWI583453B (ja) |
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- 2016-03-23 US US15/078,820 patent/US9502247B2/en active Active
- 2016-04-06 KR KR1020160042076A patent/KR20160120670A/ko active Search and Examination
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW201641166A (zh) | 2016-12-01 |
US20160300706A1 (en) | 2016-10-13 |
US9502247B2 (en) | 2016-11-22 |
KR20160120670A (ko) | 2016-10-18 |
TWI583453B (zh) | 2017-05-21 |
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