JP2000287410A - モ−タ−の冷却液温度管理方法 - Google Patents
モ−タ−の冷却液温度管理方法Info
- Publication number
- JP2000287410A JP2000287410A JP11087325A JP8732599A JP2000287410A JP 2000287410 A JP2000287410 A JP 2000287410A JP 11087325 A JP11087325 A JP 11087325A JP 8732599 A JP8732599 A JP 8732599A JP 2000287410 A JP2000287410 A JP 2000287410A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- grinding
- coolant
- tank
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電動モ−タ−の冷却液温度を過冷却なく
温度調整する。 【解決手段】 電動モ−タ−のハウジングを冷却した冷
却液をタンク内に戻し、タンク内の冷却液の温度を温度
調整器により所望の温度域Ｔ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調
整し、これをポンプで再び電動モ−タ−に循環させる冷
却液の温度管理方法において、タンク内の冷却液の温度
調整器の加熱手段を常時作動状態とし、タンク内の研削
液の測定された温度Ｔｉ℃を測定し、該温度がＴｏに達
した際は冷却液を冷却する温度調整器の冷却器を作動
（Ｏｎ）させて冷却液を冷却し、該温度が（Ｔｏ−ｔ）
℃に達したら冷却器の作動を停止（Ｏｆｆ）し、冷却液
が過冷却されるのを防ぐことを特徴とする、モ−タ−の
冷却液温度管理方法。
温度調整する。 【解決手段】 電動モ−タ−のハウジングを冷却した冷
却液をタンク内に戻し、タンク内の冷却液の温度を温度
調整器により所望の温度域Ｔ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調
整し、これをポンプで再び電動モ−タ−に循環させる冷
却液の温度管理方法において、タンク内の冷却液の温度
調整器の加熱手段を常時作動状態とし、タンク内の研削
液の測定された温度Ｔｉ℃を測定し、該温度がＴｏに達
した際は冷却液を冷却する温度調整器の冷却器を作動
（Ｏｎ）させて冷却液を冷却し、該温度が（Ｔｏ−ｔ）
℃に達したら冷却器の作動を停止（Ｏｆｆ）し、冷却液
が過冷却されるのを防ぐことを特徴とする、モ−タ−の
冷却液温度管理方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面研削盤、円筒
研削盤、歯車研削板、４面直角出し研削盤、精密成形研
削盤、半導体製造に用いる研磨盤等において、ワ−クを
研削する際、あるいはワ−クを研磨する際のワ−ク寸法
精度をよくするために装置の温度管理がなされる際の電
動モ−タ−に循環して使用される冷却液の温度を管理す
る方法に関する。
研削盤、歯車研削板、４面直角出し研削盤、精密成形研
削盤、半導体製造に用いる研磨盤等において、ワ−クを
研削する際、あるいはワ−クを研磨する際のワ−ク寸法
精度をよくするために装置の温度管理がなされる際の電
動モ−タ−に循環して使用される冷却液の温度を管理す
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワ−クにノズルより研削液を供給しつつ
砥石によりワ−クを研削する研削盤は知られている（特
開昭５５−８３５６７号、同５９−５９３４９号、同６
１−１７３８５１号、特開平４−１３５５２号）。この
際、ワ−クの寸法精度を向上させるため、研削盤の各部
位において温度コントロ−ルが行なわれる。図４、図
５、図６、図７および図８で平面研削盤における温度コ
ントロ−ル方法を説明する。
砥石によりワ−クを研削する研削盤は知られている（特
開昭５５−８３５６７号、同５９−５９３４９号、同６
１−１７３８５１号、特開平４−１３５５２号）。この
際、ワ−クの寸法精度を向上させるため、研削盤の各部
位において温度コントロ−ルが行なわれる。図４、図
５、図６、図７および図８で平面研削盤における温度コ
ントロ−ル方法を説明する。
【０００３】図において、１は平面研削装置、２はワ−
ク、３は砥石、４は水平方向（Ｘ軸方向）に往復移動可
能なテ−ブル、５は作業台部、７は前後方向（Ｚ軸方
向）に往復移動可能なサドル、８は操作盤、８ｂは砥石
上下切り込み手動パルス発生ハンドル、９はコラム、９
ａはコラム内研削液取入口、９ｂはコラム内研削液取出
口、１０は砥石頭、１１は砥石軸、１２は砥石３を垂直
方向（Ｙ軸方向）に移動する昇降機構、１３はモ−タ
−、１４は螺合体、１５は中空ネジ軸、１７は安全保護
カバ−、１８は研削液供給ノズル、１９はフレ−ム、２
０'は研削液タンク、２０ａは研削液入り口、２０ｂは
研削液出口、２１はフィルタ−、２２はポンプ、２３は
砥石軸モ−タ−、２４は砥石頭モ−タ−回転制御装置、
２４ａ，２４ｂは砥石頭前後送り中空ネジ、２４ａ'は
中空ネジ研削液取入口、２４ｂ'は中空ネジ研削液出
口、２５は油温度調整器、２６は油圧装置、２７はオイ
ルミスト潤滑エア−取入口、２８は研削液高さ位置読取
窓、２９は水冷チャック、３０'は研削液温度調整器、
４０は油圧タンク、４１はポンプ、４２はパイプ、５０
は熱交換器、５１はモ−タ−、５２はポンプ、５３はパ
イプである。
ク、３は砥石、４は水平方向（Ｘ軸方向）に往復移動可
能なテ−ブル、５は作業台部、７は前後方向（Ｚ軸方
向）に往復移動可能なサドル、８は操作盤、８ｂは砥石
上下切り込み手動パルス発生ハンドル、９はコラム、９
ａはコラム内研削液取入口、９ｂはコラム内研削液取出
口、１０は砥石頭、１１は砥石軸、１２は砥石３を垂直
方向（Ｙ軸方向）に移動する昇降機構、１３はモ−タ
−、１４は螺合体、１５は中空ネジ軸、１７は安全保護
カバ−、１８は研削液供給ノズル、１９はフレ−ム、２
０'は研削液タンク、２０ａは研削液入り口、２０ｂは
研削液出口、２１はフィルタ−、２２はポンプ、２３は
砥石軸モ−タ−、２４は砥石頭モ−タ−回転制御装置、
２４ａ，２４ｂは砥石頭前後送り中空ネジ、２４ａ'は
中空ネジ研削液取入口、２４ｂ'は中空ネジ研削液出
口、２５は油温度調整器、２６は油圧装置、２７はオイ
ルミスト潤滑エア−取入口、２８は研削液高さ位置読取
窓、２９は水冷チャック、３０'は研削液温度調整器、
４０は油圧タンク、４１はポンプ、４２はパイプ、５０
は熱交換器、５１はモ−タ−、５２はポンプ、５３はパ
イプである。
【０００４】ワ−クの研削に使用される研削液は多量の
ため、再利用される。テ−ブル４上のミスト状態の研削
液、冷却した研削液はテ−ブルに設けられた孔を経てテ
−ブル下に設けられたフィルタ−２１を通過し、タンク
２０に貯えられ、温度調整器により所望の温度域（Ｔｏ
−ｔ）℃に調整され、ポンプで再循環される。研削液
は、ワ−ク研削時の砥石の発熱、モ−タ−の発熱、テ−
ブルやコラムの移動による発熱を受けて温度が上昇する
ので、タンクに戻された段階で温度調整器で冷却し、所
望の温度域Ｔ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調整される。通
常、Ｔｏは研削盤が設置されている室温、ｔは１．０〜
２．０℃に設定される。研削液の温度をほぼ室温という
一定の温度域に保つ目的は、温度変化によるワ−クの熱
変位を防止し、高い研削精度を出すためである。
ため、再利用される。テ−ブル４上のミスト状態の研削
液、冷却した研削液はテ−ブルに設けられた孔を経てテ
−ブル下に設けられたフィルタ−２１を通過し、タンク
２０に貯えられ、温度調整器により所望の温度域（Ｔｏ
−ｔ）℃に調整され、ポンプで再循環される。研削液
は、ワ−ク研削時の砥石の発熱、モ−タ−の発熱、テ−
ブルやコラムの移動による発熱を受けて温度が上昇する
ので、タンクに戻された段階で温度調整器で冷却し、所
望の温度域Ｔ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調整される。通
常、Ｔｏは研削盤が設置されている室温、ｔは１．０〜
２．０℃に設定される。研削液の温度をほぼ室温という
一定の温度域に保つ目的は、温度変化によるワ−クの熱
変位を防止し、高い研削精度を出すためである。
【０００５】このような研削盤１を用いてワ−ク４を研
削するに先立ち、温度（Ｔｏ−ｔ）℃の研削液ｗを研削
盤のコラムの両側面内、上下および前後送りネジ内、砥
石頭内の主軸回り、およびフレ−ム内を冷却するタンク
２０'内の研削液をポンプ４１を用いて循環させる。
削するに先立ち、温度（Ｔｏ−ｔ）℃の研削液ｗを研削
盤のコラムの両側面内、上下および前後送りネジ内、砥
石頭内の主軸回り、およびフレ−ム内を冷却するタンク
２０'内の研削液をポンプ４１を用いて循環させる。
【０００６】同様にウエハ、ガラス基板などの研磨装置
においても、図９に示すように温度調整器を備えたタン
ク２０'内の研磨剤スラリ−ｗをポンプ４１を用いて研
磨パッド６２を取付板６１に貼付した研磨盤６０の中空
スピンドル軸６３内の研磨剤スラリ−供給管６４に供給
し、パッド６２の中央口６４ａよりワ−ク２面に供給
し、チャック４上のワ−クの研磨に供され、研磨に供さ
れたスラリ−は樋６５に接続した管６６を経てタンク２
０'に戻される（特開平７−５２０３３号）。図９にお
いて、Ｍは電動モ−タ−、６７は空気軸受、６８はエア
−シリンダである。
においても、図９に示すように温度調整器を備えたタン
ク２０'内の研磨剤スラリ−ｗをポンプ４１を用いて研
磨パッド６２を取付板６１に貼付した研磨盤６０の中空
スピンドル軸６３内の研磨剤スラリ−供給管６４に供給
し、パッド６２の中央口６４ａよりワ−ク２面に供給
し、チャック４上のワ−クの研磨に供され、研磨に供さ
れたスラリ−は樋６５に接続した管６６を経てタンク２
０'に戻される（特開平７−５２０３３号）。図９にお
いて、Ｍは電動モ−タ−、６７は空気軸受、６８はエア
−シリンダである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように、ワ−クの
寸法精度を出すために研削盤、研磨装置において、温度
調整された研削液、研磨剤スラリ−を装置の各部位に循
環させて装置の温度管理をなしている。しかし、装置の
中には、砥石や研磨パッドを回転させるスピンドル軸に
回転力を伝える電動モ−タ−２３、Ｍも使用されてお
り、電動モ−タ−の駆動による発熱がスピンドル軸に伝
わらないように電動モ−タ−の温度管理もする必要があ
る。本発明は、研削盤、研磨装置等、電動モ−タ−を使
用する装置において、電動モ−タ−の温度調整方法を提
供する。
寸法精度を出すために研削盤、研磨装置において、温度
調整された研削液、研磨剤スラリ−を装置の各部位に循
環させて装置の温度管理をなしている。しかし、装置の
中には、砥石や研磨パッドを回転させるスピンドル軸に
回転力を伝える電動モ−タ−２３、Ｍも使用されてお
り、電動モ−タ−の駆動による発熱がスピンドル軸に伝
わらないように電動モ−タ−の温度管理もする必要があ
る。本発明は、研削盤、研磨装置等、電動モ−タ−を使
用する装置において、電動モ−タ−の温度調整方法を提
供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、電動モ−タ−
のハウジングを冷却した冷却液をタンク内に戻し、タン
ク内の冷却液の温度を温度調整器により所望の温度域Ｔ
℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調整し、これをポンプで再び電
動モ−タ−に循環させる冷却液の温度管理方法におい
て、タンク内の冷却液の温度調整器の加熱手段を常時作
動状態とし、タンク内の研削液の測定された温度Ｔｉ℃
を測定し、該温度がＴｏに達した際は冷却液を冷却する
温度調整器の冷却器を作動（Ｏｎ）させて冷却液を冷却
し、該温度が（Ｔｏ−ｔ）℃に達したら冷却器の作動を
停止（Ｏｆｆ）し、冷却液が過冷却されるのを防ぐこと
を特徴とする、モ−タ−の冷却液温度管理方法を提供す
るものである。
のハウジングを冷却した冷却液をタンク内に戻し、タン
ク内の冷却液の温度を温度調整器により所望の温度域Ｔ
℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調整し、これをポンプで再び電
動モ−タ−に循環させる冷却液の温度管理方法におい
て、タンク内の冷却液の温度調整器の加熱手段を常時作
動状態とし、タンク内の研削液の測定された温度Ｔｉ℃
を測定し、該温度がＴｏに達した際は冷却液を冷却する
温度調整器の冷却器を作動（Ｏｎ）させて冷却液を冷却
し、該温度が（Ｔｏ−ｔ）℃に達したら冷却器の作動を
停止（Ｏｆｆ）し、冷却液が過冷却されるのを防ぐこと
を特徴とする、モ−タ−の冷却液温度管理方法を提供す
るものである。
【０００９】従来の研削液の温度調整においては、研削
液を冷却するという観点から温度調整器の冷却器を常に
作動（Ｏｎ）状態とし、研削液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃
になるとヒ−タ−を作動（Ｏｎ）させ、研削液の温度が
室温のＴｏ℃に達するとヒ−タ−の作動を停止（Ｏｆ
ｆ）していた。しかしながら、従来の研削液の温度調整
方法では、研削液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃になってヒ−
タ−を作動させてもしばらくの間は研削液の温度は低下
し、研削液の温度は設定した下限の温度（Ｔｏ−ｔ）℃
よりもさらに２〜３℃低い温度に達してしまうことがし
ばしばあった。本発明は、モ−タ−の冷却液の温度調整
を上記のように冷却器が作動している状態でも常にヒ−
タ−を作動させるので、冷却液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃
に達し、冷却器の作動が停止されてもヒ−タ−は作動し
ているので冷却液の温度が過冷却されることはなく、ワ
−クの超精密研削に適した温度調整システムが提供でき
た。
液を冷却するという観点から温度調整器の冷却器を常に
作動（Ｏｎ）状態とし、研削液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃
になるとヒ−タ−を作動（Ｏｎ）させ、研削液の温度が
室温のＴｏ℃に達するとヒ−タ−の作動を停止（Ｏｆ
ｆ）していた。しかしながら、従来の研削液の温度調整
方法では、研削液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃になってヒ−
タ−を作動させてもしばらくの間は研削液の温度は低下
し、研削液の温度は設定した下限の温度（Ｔｏ−ｔ）℃
よりもさらに２〜３℃低い温度に達してしまうことがし
ばしばあった。本発明は、モ−タ−の冷却液の温度調整
を上記のように冷却器が作動している状態でも常にヒ−
タ−を作動させるので、冷却液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃
に達し、冷却器の作動が停止されてもヒ−タ−は作動し
ているので冷却液の温度が過冷却されることはなく、ワ
−クの超精密研削に適した温度調整システムが提供でき
た。
【００１０】したがって、研削液、研磨剤スラリ−の温
度調整も、研削液または研磨剤スラリ−をタンク内に戻
し、タンク内の液の温度を温度調整器３０'により所望
の温度域Ｔ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調整し、この研削液
またはスラリ−をポンプで再びノズルまたは検波パッド
に循環させるに、タンク内の液の温度調整器の加熱手段
を常時作動状態とし、タンク内の液の測定された温度Ｔ
ｉ℃を測定し、該温度がＴｏに達した際は冷却液を冷却
する温度調整器の冷却器を作動（Ｏｎ）させて冷却液を
冷却し、該温度が（Ｔｏ−ｔ）℃に達したら冷却器の作
動を停止（Ｏｆｆ）し、冷却液が過冷却されるのを防ぐ
ようにすればより寸法精度の優れたワ−クが得られる。
度調整も、研削液または研磨剤スラリ−をタンク内に戻
し、タンク内の液の温度を温度調整器３０'により所望
の温度域Ｔ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調整し、この研削液
またはスラリ−をポンプで再びノズルまたは検波パッド
に循環させるに、タンク内の液の温度調整器の加熱手段
を常時作動状態とし、タンク内の液の測定された温度Ｔ
ｉ℃を測定し、該温度がＴｏに達した際は冷却液を冷却
する温度調整器の冷却器を作動（Ｏｎ）させて冷却液を
冷却し、該温度が（Ｔｏ−ｔ）℃に達したら冷却器の作
動を停止（Ｏｆｆ）し、冷却液が過冷却されるのを防ぐ
ようにすればより寸法精度の優れたワ−クが得られる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を用いて本発明をさらに詳細に説
明する。図１は別の態様の平面研削盤の平面図、図２は
その平面研削盤の電動モ−タ−部分の部分断面、図３は
温度調整器の断面図である。
明する。図１は別の態様の平面研削盤の平面図、図２は
その平面研削盤の電動モ−タ−部分の部分断面、図３は
温度調整器の断面図である。
【００１２】図１、図２および図３において、１は平面
研削装置、３は砥石、２０は冷却液貯蔵タンク、２３は
電動モ−タ−、２３１はハウジング、２３２は冷却液通
路、２３３は冷却液入口、２３４は冷却液出口、２８は
研削液高さ位置読取窓、３０は温度調整器である。
研削装置、３は砥石、２０は冷却液貯蔵タンク、２３は
電動モ−タ−、２３１はハウジング、２３２は冷却液通
路、２３３は冷却液入口、２３４は冷却液出口、２８は
研削液高さ位置読取窓、３０は温度調整器である。
【００１３】図３に示す冷却液の温度調整器３０におい
て、Ｒは冷却液、３０１は温度センサ、３０２はヒ−タ
−、３０３は温度スウィッチ、３０４は冷却器、３０５
は撹拌モ−タ−、３０６は撹拌翼、３０７はサ−ビスバ
ルブ、３０８はコンプレッサ−、３０９はモ−タ−、３
１０はスウィッチ、３１１はコンデンサ、３１２はファ
ンモ−タ−、３１３はドライヤ−、３１４はソレノイド
バルブ、３１５はポンプである。
て、Ｒは冷却液、３０１は温度センサ、３０２はヒ−タ
−、３０３は温度スウィッチ、３０４は冷却器、３０５
は撹拌モ−タ−、３０６は撹拌翼、３０７はサ−ビスバ
ルブ、３０８はコンプレッサ−、３０９はモ−タ−、３
１０はスウィッチ、３１１はコンデンサ、３１２はファ
ンモ−タ−、３１３はドライヤ−、３１４はソレノイド
バルブ、３１５はポンプである。
【００１４】このような研削盤１を用いてワ−ク４を研
削するに先立ち、温度（Ｔｏ−ｔ）℃の研削液ｗを研削
盤のコラムの両側面内、上下および前後送りネジ内、砥
石頭内の主軸回り、およびフレ−ム内を冷却するタンク
２０内の研削液をポンプ４１を用いて循環させる。タン
ク２０'内の研削液は撹拌翼により撹拌される。同様に
電動モ−タ−２３にタンク２０内の冷却液をポンプ３１
５で供給し、循環させる。温度Ｔ℃は室温、ｔは例えば
１．７℃とＣＰＵに入力する。温度センサ３０１により
検出された温度が（Ｔｏ−ｔ）℃域の温度を安定して示
すようになったら研削液をノズル１８よりワ−ク表面に
供給しながらワ−クの研削を開始する。
削するに先立ち、温度（Ｔｏ−ｔ）℃の研削液ｗを研削
盤のコラムの両側面内、上下および前後送りネジ内、砥
石頭内の主軸回り、およびフレ−ム内を冷却するタンク
２０内の研削液をポンプ４１を用いて循環させる。タン
ク２０'内の研削液は撹拌翼により撹拌される。同様に
電動モ−タ−２３にタンク２０内の冷却液をポンプ３１
５で供給し、循環させる。温度Ｔ℃は室温、ｔは例えば
１．７℃とＣＰＵに入力する。温度センサ３０１により
検出された温度が（Ｔｏ−ｔ）℃域の温度を安定して示
すようになったら研削液をノズル１８よりワ−ク表面に
供給しながらワ−クの研削を開始する。
【００１５】タンク２０に循環された冷却液の温度をセ
ンサで読み取り、該センサ３０１より伝達３１５された
冷却液の温度ＴｉがＴ℃に達するとスウィッチ３１０が
Ｏｎとなり、コンプレッサ−３０８のモ−タ−３０９を
稼動させ、冷却液Ｒは冷却器３０４で冷却され、温度は
下降する。冷却液の温度が下降し、センサ３０１より伝
達３１５された冷却液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃に達する
とスウィッチ３１０がＯｆｆとなり、コンプレッサ−３
０８のモ−タ−３０９の稼動が停止され、冷却器３０４
は作動しなくなり、冷却液の温度はヒ−タ−が常時Ｏｎ
となっていることと、電動モ−タ−を循環してきて若干
熱を帯びた冷却液がタンク内の冷却液に混合されること
により冷却液の温度は上昇に転じる。
ンサで読み取り、該センサ３０１より伝達３１５された
冷却液の温度ＴｉがＴ℃に達するとスウィッチ３１０が
Ｏｎとなり、コンプレッサ−３０８のモ−タ−３０９を
稼動させ、冷却液Ｒは冷却器３０４で冷却され、温度は
下降する。冷却液の温度が下降し、センサ３０１より伝
達３１５された冷却液の温度が（Ｔｏ−ｔ）℃に達する
とスウィッチ３１０がＯｆｆとなり、コンプレッサ−３
０８のモ−タ−３０９の稼動が停止され、冷却器３０４
は作動しなくなり、冷却液の温度はヒ−タ−が常時Ｏｎ
となっていることと、電動モ−タ−を循環してきて若干
熱を帯びた冷却液がタンク内の冷却液に混合されること
により冷却液の温度は上昇に転じる。
【００１６】冷却液の温度Ｔｉが上昇してＴ℃に達する
と、スウィッチ３１０がＯｎとなり、コンプレッサ−３
０８のモ−タ−３０９が稼動し、冷却液Ｒは冷却器３０
４で冷却され、温度は下降する。以下、タンク２０内の
冷却液の温度をセンサで計測し、上記の冷却器の作動の
Ｏｆｆ、Ｏｎの操作を繰返して冷却液の温度ＴｉをＴ℃
から（Ｔｏ−ｔ）℃に保つ管理を行なう。同様にタンク
２０'内の研削液の温度をセンサで計測し、上記の冷却
器の作動のＯｆｆ、Ｏｎの操作を繰返して研削液の温度
をＴ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に保つ管理を行なう。
と、スウィッチ３１０がＯｎとなり、コンプレッサ−３
０８のモ−タ−３０９が稼動し、冷却液Ｒは冷却器３０
４で冷却され、温度は下降する。以下、タンク２０内の
冷却液の温度をセンサで計測し、上記の冷却器の作動の
Ｏｆｆ、Ｏｎの操作を繰返して冷却液の温度ＴｉをＴ℃
から（Ｔｏ−ｔ）℃に保つ管理を行なう。同様にタンク
２０'内の研削液の温度をセンサで計測し、上記の冷却
器の作動のＯｆｆ、Ｏｎの操作を繰返して研削液の温度
をＴ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に保つ管理を行なう。
【００１７】以上の説明において、冷却液Ｒの温度、研
削液ｗの温度の設定温度Ｔ℃は室温に設定した例を示し
たが、Ｔ℃はワ−クの種類により５℃の温度に設定して
もよいし、あるいは季節の室内変動温度差を考慮して室
温プラス１℃の温度に設定してもよい。
削液ｗの温度の設定温度Ｔ℃は室温に設定した例を示し
たが、Ｔ℃はワ−クの種類により５℃の温度に設定して
もよいし、あるいは季節の室内変動温度差を考慮して室
温プラス１℃の温度に設定してもよい。
【００１８】冷却液としては、水、水とエチレングリコ
−ルとの混合溶液などが用いられる。
−ルとの混合溶液などが用いられる。
【００１９】
【発明の効果】本発明においては、電動モ−タ−の冷却
液の温度調整を、ワ−ク研削時、温度度調整器のヒ−タ
−を常時作動（Ｏｎ）させて加熱し、冷却器は冷却液の
温度が上昇し、設定上限のＴ℃に達すると作動（Ｏｎ）
し、冷却液の温度が低下して設定下限の（Ｔ−ｔ）℃に
達すると冷却器の作動を停止（Ｏｆｆ）させ、冷却液が
過冷却されないように温度管理するので、ワ−クの超精
密研削も可能である。
液の温度調整を、ワ−ク研削時、温度度調整器のヒ−タ
−を常時作動（Ｏｎ）させて加熱し、冷却器は冷却液の
温度が上昇し、設定上限のＴ℃に達すると作動（Ｏｎ）
し、冷却液の温度が低下して設定下限の（Ｔ−ｔ）℃に
達すると冷却器の作動を停止（Ｏｆｆ）させ、冷却液が
過冷却されないように温度管理するので、ワ−クの超精
密研削も可能である。
【図１】 平面研削盤の平面図である。
【図２】 電動モ−タ−の部分断面図である。
【図３】 温度調整器の断面図である。
【図４】 別の態様の平面研削盤の斜視図である。
【図５】 図４に示す平面研削盤の上面図である。
【図６】 図４に示す平面研削盤における研削液（ド
ット記載部分）が循環している部分を示す側面図であ
る。
ット記載部分）が循環している部分を示す側面図であ
る。
【図７】 図４に示す平面研削盤における研削液（ド
ット記載部分）が循環している部分を示す上面図であ
る。
ット記載部分）が循環している部分を示す上面図であ
る。
【図８】 図４に示す平面研削盤における研削液（ド
ット記載部分）が循環している部分を示す平面図であ
る。
ット記載部分）が循環している部分を示す平面図であ
る。
【図９】 研磨装置の平面図である。
１ 研削盤 Ｒ 冷却液 ｗ 研削液 ２ ワ−ク ３ 砥石 ４ テ−ブル ７ サドル ９ コラム １８ 研削液供給ノズル １９ フレ−ム ２０ 冷却液タンク ２０' 研削液タンク ３０ 冷却液温度調整器 ３０' 研削液温度調整器 ３０１ 温度センサ ３０２ ヒ−タ− ３０４ 冷却器 ４０ 油圧油タンク ５０ 熱交換器
Claims (1)
- 【請求項１】 電動モ−タ−のハウジングを冷却した冷
却液をタンク内に戻し、タンク内の冷却液の温度を温度
調整器により所望の温度域Ｔ℃から（Ｔｏ−ｔ）℃に調
整し、これをポンプで再び電動モ−タ−に循環させる冷
却液の温度管理方法において、タンク内の冷却液の温度
調整器の加熱手段を常時作動状態とし、タンク内の研削
液の測定された温度Ｔｉ℃を測定し、該温度がＴｏに達
した際は冷却液を冷却する温度調整器の冷却器を作動
（Ｏｎ）させて冷却液を冷却し、該温度が（Ｔｏ−ｔ）
℃に達したら冷却器の作動を停止（Ｏｆｆ）し、冷却液
が過冷却されるのを防ぐことを特徴とする、モ−タ−の
冷却液温度管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11087325A JP2000287410A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | モ−タ−の冷却液温度管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11087325A JP2000287410A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | モ−タ−の冷却液温度管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000287410A true JP2000287410A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=13911721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11087325A Abandoned JP2000287410A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | モ−タ−の冷却液温度管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000287410A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003032951A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 主軸モータ |
| CN105345185A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-02-24 | 安徽天思朴超精密模具股份有限公司 | 线切割液输送系统 |
| CN105353802A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-02-24 | 安徽天思朴超精密模具股份有限公司 | 线切割液温度控制系统 |
| JP6143915B1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-06-07 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 摩擦攪拌接合装置 |
| CN108356332A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-08-03 | 李江鸿 | 一种轴头可调整降温的铣床 |
| JP2021522765A (ja) * | 2018-04-20 | 2021-08-30 | ルノー エス．ア．エス．Ｒｅｎａｕｌｔ Ｓ．Ａ．Ｓ． | 電気機械を冷却するための装置およびそのような装置を備える電気機械 |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP11087325A patent/JP2000287410A/ja not_active Abandoned
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003032951A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 主軸モータ |
| JP4711159B2 (ja) * | 2001-07-17 | 2011-06-29 | 株式会社安川電機 | 主軸モータ |
| CN105345185A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-02-24 | 安徽天思朴超精密模具股份有限公司 | 线切割液输送系统 |
| CN105353802A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-02-24 | 安徽天思朴超精密模具股份有限公司 | 线切割液温度控制系统 |
| JP6143915B1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-06-07 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 摩擦攪拌接合装置 |
| WO2017188272A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 摩擦攪拌接合装置 |
| JP2017196648A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 摩擦攪拌接合装置 |
| US10421150B2 (en) | 2016-04-28 | 2019-09-24 | Hitachi Power Solutinos Co., Ltd. | Friction stir welding device |
| CN108356332A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-08-03 | 李江鸿 | 一种轴头可调整降温的铣床 |
| CN108356332B (zh) * | 2018-01-30 | 2019-09-27 | 绍兴市晟途环保科技有限公司 | 一种轴头可调整降温的铣床 |
| JP2021522765A (ja) * | 2018-04-20 | 2021-08-30 | ルノー エス．ア．エス．Ｒｅｎａｕｌｔ Ｓ．Ａ．Ｓ． | 電気機械を冷却するための装置およびそのような装置を備える電気機械 |
| JP7329535B2 (ja) | 2018-04-20 | 2023-08-18 | ルノー エス．ア．エス． | 電気機械を冷却するための装置およびそのような装置を備える電気機械 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI772615B (zh) | 定溫水供給裝置 | |
| JP2000287410A (ja) | モ−タ−の冷却液温度管理方法 | |
| JP4891690B2 (ja) | 加工水温度制御装置 | |
| JP2555331B2 (ja) | 精密加工装置 | |
| JP4623040B2 (ja) | 加工機械の温度制御装置 | |
| CN106334996B (zh) | 机床 | |
| JP2002331441A (ja) | 研削盤における潤滑油および研削液の温度管理方法 | |
| JP2000271866A (ja) | 研削盤における研削液の温度管理方法 | |
| JP2003291050A (ja) | 加工機械の温度制御方法及び装置 | |
| JP4302430B2 (ja) | 工作機械の主軸バランス取り方法 | |
| US4991358A (en) | Grinding machine | |
| EP1608486A1 (en) | Workpiece cooling during grinding | |
| JP2000317749A (ja) | 変圧器固定工作機械装置 | |
| JPH09300173A (ja) | 工作機械の主軸冷却方法および装置 | |
| JP2011083864A (ja) | 加工装置 | |
| CN115673946A (zh) | 一种天然气水合物岩心磨片装置、系统及方法 | |
| JPH0525805Y2 (ja) | ||
| CN113084653A (zh) | 一种轴承加工用散热喷水装置 | |
| JP2006123132A (ja) | センタレス研削盤 | |
| JP3803511B2 (ja) | 局所カバーを備えた研削盤 | |
| JPS6157144B2 (ja) | ||
| GB2400059A (en) | A method and apparatus for grinding using liquid nitrogen coolant | |
| JP3921019B2 (ja) | 研削方法及びこの研削方法に使用する研削装置 | |
| JP2006088291A (ja) | 研削盤におけるクーラント供給方法および装置 | |
| JP2615125B2 (ja) | 倣研削盤 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060217 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081120 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090331 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20090511 |