JP2000264418A - 搬送装置及び搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板等の搬送物を衝突や滑りを伴うこ
となく安定して搬送し、且つ追い越し搬送、枝分かれ搬
送を可能とさせる搬送装置。 【解決手段】 搬送装置１０は、エンドレスベルト１２
によって往復動される移動部材１４上に、上下駆動手段
３２によって上下動される上下動部材１８を設け、この
上下動部材１８からの走行ローラ２６を上段固定レール
２２又は下段固定レール２４上を走行させることによっ
て、可動パレット３４を上下動させ、可動パレット３４
の上昇時に固定パレット３６上のガラス基板４２を受け
取り、可動パレット３４が固定パレット３６の位置で下
降するとき、固定パレット３６にガラス基板４２を移載
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板などの
搬送に適した搬送装置及び搬送システムに関する。更に
詳しくは、搬送高さを切替え可能として、搬送物の飛び
越し、乗せ替えが自在の搬送装置及び搬送システムに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の搬送装置、例えばベルトコンベア
は、搬送中の搬送物の飛び越しができないので、このよ
うな場合は、ロボット等によって追い越されるべき搬送
物を持ち上げ、後行搬送物が通過後にコンベア上に戻す
等の方法を採っている。

【０００３】又、コンベアから他のコンベアに搬送物を
乗せ替えたり、コンベアの途中から搬送物を他のコンベ
アに移載する際にも、同様にロボット等を用いている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、できる
だけ衝撃や他部材との接触が少ないことが要求されるデ
ィスプレイパネル用ガラス基板、シリコンウェハ等の搬
送に際しては、当然、ロボットの使用ができない場合も
あり、且つ、ロボットは高コストであるという問題点が
ある。

【０００５】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、ロボット等を用いることなく、
又、衝撃、接触が少なく搬送物の乗せ替え、飛び越し、
搬送装置の途中からの乗せ替え等ができるようにした搬
送装置及び搬送システムを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１のよ
うに、送り手段により、略水平の搬送方向に一定間隔
で、移動自在に支持された少なくとも１個の移動部材
と、この移動部材の各々に上下位置可変に支持された上
下動部材と、前記搬送手段による前記移動部材の水平移
動ラインの側方近傍位置で、各々が、前記水平移動ライ
ンと平行に、且つ、異なる高さで、フレームに取り付け
られた少なくとも２段の固定レールと、前記上下動部材
から前記固定レール側に突出して取り付けられるととも
に、前記固定レール上を走行自在の走行ロ−ラと、最下
段よりも上段の前記固定レールに長手方向の複数箇所に
間欠的に形成され、且つ、前記走行ロ−ラの上下方向移
動を許容するための貫通切欠と、前記上下動部材に対し
て水平方向に相対移動可能、且つ、上下方向に係合して
設けられ、この上下動部材を、前記走行ロ−ラが、前記
貫通切欠を通って前記複数の固定レールのうちいずれか
のレ−ル面に転接する位置に上下動させる上下駆動手段
と、前記上下動部材の上端に片持状態で略水平方向に延
在して設けられ、上面に搬送物を載置可能とされた可動
パレットと、この可動パレットの上下移動ラインの側方
近傍位置で、前記フレームに片持状態で取り付け固定さ
れ、その支持端部から前記上下移動ラインに交差するよ
うに略水平方向に延在され、上面に搬送物を載置可能と
された固定パレットと、を有してなり、前記可動パレッ
トは、平面視で、その外周端部から切り込まれた少なく
とも１つのスリット部により水平方向に離間された複数
の櫛状支持部を備えて構成され、前記固定パレットは、
平面視で、前記可動パレットの複数の櫛状支持部及びス
リット部と水平面内で隙間をもって噛み合い可能な少な
くとも１つのスリット部及び複数の櫛状固定支持部を、
前記可動パレットにおけると反対向きに備えた形状とさ
れ、この固定パレットに対して前記スリット部を通っ
て、前記可動パレットの櫛状支持部の上下方向移動が許
容されるように配置したことを特徴とする搬送装置によ
り上記目的を達成するものである。

【０００７】また、第２発明は、請求項２のように、送
り手段により、略水平の搬送方向に一定間隔で、移動自
在に支持された少なくとも１個の移動部材と、この移動
部材の各々に上下位置可変に支持された上下動部材と、
前記搬送手段による前記移動部材の水平移動ラインの側
方近傍位置で、各々が、前記水平移動ラインと平行に、
且つ、異なる高さで、フレームに取り付けられた少なく
とも２段の固定レールと、前記上下動部材から前記固定
レール側に突出して取り付けられるとともに、前記固定
レール上を走行自在の走行ロ−ラと、最下段よりも上段
の前記固定レールに長手方向の複数箇所に間欠的に形成
され、且つ、前記走行ロ−ラの上下方向移動を許容する
ための貫通切欠と、前記上下動部材に対して水平方向に
相対移動可能、且つ、上下方向に係合して設けられ、こ
の上下動部材を、前記走行ロ−ラが、前記貫通切欠を通
って前記複数の固定レールのうちいずれかのレ−ル面に
転接する位置に上下動させる上下駆動手段と、前記上下
動部材の上端に片持状態で略水平方向に延在して設けら
れ、上面に搬送物を載置可能とされた可動パレットと、
を１組として、２組を、平行に、且つ、一方の可動パレ
ットと他方の可動パレットとが、前記走行ロ−ラが、前
記貫通切欠を通って上下動されるとき、平面視で上下方
向に重なる位置で対向するように配置されてなり、前記
一方の可動パレットは、平面視で、その外周端部から切
り込まれた少なくとも１つのスリット部により水平方向
に離間された複数の櫛状支持部を備えて構成され、前記
他方の可動パレットは、平面視で、前記可動パレットの
複数の櫛状支持部及びスリット部と水平面内で隙間をも
って噛み合い可能な少なくとも１つのスリット部及び複
数の櫛状支持部を、前記可動パレットにおけると反対向
きに備えた形状とされ、これら可動パレットが相互の隙
間を通って上下方向移動が許容されるように配置された
ことを特徴とする搬送装置により上記目的を達成するも
のである。

【０００８】また、前記搬送装置において、前記送り手
段は、前記移動部材を、前記固定レ−ルに沿って往復動
自在に駆動する無端帯としてもよい。

【０００９】さらに、搬送システムの発明は、請求項４
のように、適宜数の移動部材を一組として備えた上記の
ような搬送装置を、複数基、終端を前記固定パレットと
して順次接続して配置して上記目的を達成するものであ
る。

【００１０】前記搬送システムにおいて、前記複数基の
搬送装置の、少なくとも１基の終端の固定パレットを、
その支持端部を中心として水平面内で回転自在とすると
共に、この搬送装置の搬送方向に対して交差する搬送方
向の交差搬送装置を、前記水平面内で回転自在の固定パ
レットに接続して配置してもよい。

【００１１】この発明においては、固定パレット又は他
方可動パレット上に載置された搬送物が、平面視でこれ
と隙間をもって噛み合う形状の一方可動パレットが下方
から上昇してくることにより、この一方可動パレット上
に移し替えられ、一方可動パレットは固定パレット又は
他方可動パレットから持ち上げた搬送物を水平方向に所
定距離搬送し、目的の固定パレット又は他方可動パレッ
トの上方位置で、該固定パレット又は他方可動パレット
と噛み合うように下降し、その載置している搬送物を固
定パレット又は他方可動パレットに移載する。このよう
な工程を繰り返して搬送物を搬送していく。

【００１２】このとき、一方可動パレットは、例えば先
行する基板が載置されている固定パレット又は他方可動
パレットの上方を通過して、更に前方の固定パレット又
は他方可動パレット上に搬送物を移載することができ
る、即ち、飛び越し搬送をすることができる。

【００１３】又、搬送物は共に櫛状の固定パレット又は
他方可動パレットと一方可動パレット間で上下方向に移
載されるので、搬送物がその移載時に滑ったり衝突した
りすることがない。

【００１４】更に、本搬送システムにおいては、固定パ
レットを１つの搬送装置の終端として順次複数の搬送装
置を連続させることによって、任意の長さに搬送経路を
構成することができる。又、搬送装置中の固定パレット
を、水平面内で回転可能にし、回転した固定パレットに
対して平面視で噛み合い可能な可動パレットを備えた搬
送装置を、該回転可能な固定パレットから枝別れして設
けることにより、搬送物を受け渡し時に滑らせたり衝突
させたりすることなく、任意の方向に且つ任意に枝別れ
した搬送路上を搬送することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００１６】図１〜図４に示されるように、この実施の
形態の第１例に係る搬送装置１０は、エンドレスベルト
１２に等間隔で取付けられ、これにより水平方向に駆動
される複数の移動部材１４と、これらの移動部材１４
に、各々垂直のリニアガイド１６を介して上下方向位置
可変に支持された上下動部材１８と、前記エンドレスベ
ルト１２による前記移動部材１４の水平移動ラインの側
方（図２において左側）で、各々が前記水平移動ライン
と平行に、且つ異なる高さでフレーム２０に取り付けら
れた上段固定レール２２及び下段固定レール２４と、前
記上下動部材１８から前記上段及び下段固定レール２
２、２４方向に突出して、ベルト送り方向（水平移動ラ
イン方向）に一対取り付けられると共に、前記上段固定
レール２２又は下段固定レール２４上を走行自在の走行
ローラ２６と、前記上段固定レール２２の長手方向の複
数箇所に間欠的に形成され、且つ、前記走行ローラ２６
の上下方向移動を許容するための複数の貫通切欠２８
と、前記上下動部材１８に、前記走行ローラ２６と平行
に取り付けられた第２走行ローラ２６Ａを、前記上段及
び下段固定レール２２、２４と平行に走行可能に支持す
ると共に、エアシリンダ３０によって上下動可能に支持
され、これにより、前記第２走行ローラ２６Ａを介して
前記走行ローラ２６及び上下動部材１８を各移動部材１
４毎に独立して上下動させる上下駆動手段３２と、前記
上下動部材１８の上から、エンドレスベルト１２と反対
側に片持ち状で略水平方向に延在され、上面に搬送物を
載置可能とされた可動パレット３４と、この可動パレッ
ト３４の上下移動ラインの側方近傍位置で、前記フレー
ム２０に片持ち状で取付固定され、その支持端部から前
記上下移動ラインに交差するように略水平に延在され、
上面に搬送物を載置可能とされた複数の固定パレット３
６とを備えて構成されている。

【００１７】前記可動パレット３４は平面視で、その外
周端部から切り込まれた３本のスリット部３４Ａにより
水平方向に且つエンドレスベルト１２による搬送方向に
離間して形成された複数の櫛状支持部３４Ｂと、を備え
て構成され、又、前記固定パレット３６は、前記可動パ
レット３４と同様のスリット部３６Ａ及び櫛状支持部３
６Ｂを備えてなり、両者は、一方の櫛状支持部が他方の
スリット部内に隙間をもって入り込むように相互に反対
向きに配置され、水平状態のまま相対的に上下方向に移
動可能とされている。

【００１８】ここで、前記移動部材１４は、エンドレス
ベルト１２の下側辺に取り付けられ、モータ１２Ａによ
りプーリ１２Ｂを介してエンドレスベルト１２が駆動さ
れるとき、前記上段及び下段固定レール２２、２４に沿
って往復動できるようにされている。

【００１９】又、この実施の形態の例においては、前記
上下駆動手段３２は、各移動部材１４に支持された全上
下動部材１８を独立して上下動するように、各貫通切欠
２８に対応して複数配置され、その各々は前記上段及び
下段固定レール２２、２４と平行に長いレール状に形成
され、第２走行ローラ２６Ａが転接可能なように形成さ
れている。

【００２０】更に、前記貫通切欠２８は、各上下動部材
１８の走行ローラ２６を同時に貫通できるように移動部
材１４と等ピッチで形成されている。

【００２１】更に又、前記上下駆動手段３２による可動
パレット３４の上方への移動限界は、可動パレット３４
が固定パレット３６よりも、少なくともその厚さ分だけ
上方に突出して、水平移動時に固定パレット３６と干渉
しないようにされている。図２の符号１３は、前記移動
部材１４とエンドレスベルト１２の下側辺とを連結する
ための結合部材、３８Ａ、３８Ｂは前記移動部材１４か
ら、前記エンドレスベルト１２の上下に平行に突出した
位置に鉛直方向の軸に回転自在に配置された支持ロー
ラ、３８Ｃは前記移動部材１４に、水平軸により回転自
在に支持された支持ローラ、をそれぞれ示す。

【００２２】前記上下の支持ローラ３８Ａ、３８Ｂは、
フレーム２０と一体の鉛直ガイドレール４０Ａ、４０Ｂ
に、また、支持ローラ３８Ｃは前記下段固定レール２４
に、それぞれ転接可能とされることによって、移動部材
１４を鉛直方向の姿勢を保った状態で水平に移動され得
るようにしている。上記走行ローラ、支持ローラはゴム
車輪を用いる。

【００２３】図の符号４４は前記上下駆動手段３２部分
を覆うようにされたカバーであり、これによって、移動
部材１４の走行時における塵埃の飛散が防止される。

【００２４】次に、上記実施の形態の例に係る搬送装置
１０によって、搬送物、例えば図１〜５において二点鎖
線で示されるガラス基板４２を搬送する過程について説
明する。

【００２５】この搬送装置１０においては、前記エンド
レスベルト１２を間欠的に駆動して、移動部材１４を、
これに支持された前記可動パレット３４が目的の固定パ
レット３６の下方位置に到達したとき停止して、この停
止状態のまま上下駆動手段３２によって、第２走行ロー
ラ２６Ａを介して、上下動部材１８及び走行ローラ２６
を上方に駆動させる。

【００２６】図５に明確に示されるように、固定パレッ
ト３６上に予め載置されているガラス基板４２は、上昇
してきた可動パレット３４によって固定パレット３６か
ら押し上げられ、可動パレット３４上に移載される。

【００２７】このとき、走行ローラ２６は下段固定レー
ル２４上から前記貫通切欠２８を通って上段固定レール
２２上に上昇され、次に、エンドレスベルト１２によっ
て移動部材１４を水平方向に駆動させたとき、走行ロー
ラ２６は上段固定レール２２上を走行することになる。

【００２８】この状態で、可動パレット３４を次の、又
は更に下流側の固定パレット３６上まで水平に移動し
て、エンドレスベルト１２を停止させ、上下駆動手段３
２によって上下動部材１８を下降させると、走行ローラ
２６は貫通切欠２８を通って下段レール２４上に移動
し、且つ、可動パレット３４が固定パレット３６の間を
通過することによって、載置されていたガラス基板４２
は固定パレット３６上に移載される。

【００２９】このようにして、ガラス基板４２を固定パ
レットから可動パレット３４、可動パレット３４から次
の固定パレット３６へと順次移載していくことによっ
て、ガラス基板４２を滑らせたり、衝突させたりするこ
となく水平状態を維持したまま安全に搬送することがで
きる。

【００３０】ここで、例えば固定パレット３６から移載
されたガラス基板４２を載置した可動パレット３４が、
次の固定パレット３６上に到達したとき、ここに他のガ
ラス基板が載置されていた場合は、このガラス基板と可
動パレット３４とが衝突してしまうので、可動パレット
３４はガラス基板を載置している固定パレット３６を飛
び越して更に前方の固定パレット３６上まで移動し、即
ち１つのガラス基板４２を飛び越して移動し、空いてい
る固定パレット３６上に、上記と同様の手順によってガ
ラス基板４２を移載することができる。

【００３１】又、必要であれば、ガラス基板４２を固定
パレット３６から受け取った可動パレット３４を、固定
パレット３６上にガラス基板４２を移載することなく搬
送装置１０の終端位置にまで水平移動させてもよい。

【００３２】前記隣接する固定パレット３６上にガラス
基板４２を移載した可動パレット３４を含むすべての可
動パレット３４は、下降後に、下段固定レール２４に沿
って前記と逆方向に水平に戻り、最初の固定パレット３
６の下方位置に待機する。

【００３３】従って、各可動パレット３４は、上昇、水
平移動、下降、逆方向への水平移動、というサイクルを
繰り返して、ガラス基板４２を順次前方に搬送すること
ができるが、上昇、下降は独立して、又、水平移動は同
期してなされる。

【００３４】又、ガラス基板４２を載置した可動パレッ
ト３４は、適宜数の固定パレット３６を飛び越して、走
行ローラ２６が上段固定レール２２上の位置にあるまま
水平方向に所定距離走行してから固定パレット３６上に
ガラス基板４２を移載した後、元の位置に水平方向に戻
るようにしてもよい。

【００３５】上記搬送装置１０は、移動部材１４が、支
持ローラ３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃによって台車構成とな
っているので、この支持ローラにゴム車輪を使用するこ
とによって、低騒音で且つ高速搬送をさせることができ
る。

【００３６】上記実施の形態の第１例に係る搬送装置１
０は、固定パレット３６に対して可動パレット３４を上
下、且つ、水平方向に移動自在としたものであるが、こ
の搬送装置１０における固定パレット３６に代えて、図
６に示される本発明の実施の形態の第２例に係る搬送装
置５０のように、可動パレットとしてもよい。

【００３７】この搬送装置５０は、前記搬送装置１０か
ら固定パレット３６を省略したもの一対を水平移動ライ
ンの両側に左右対称に配置して構成し、その一方が可動
パレット３４、他方が前記固定パレット３６と同一形状
の第２可動パレット５２を前記可動パレット３４と隙間
をもって噛み合い、且つ上下方向に相対移動可能に備え
たものである。但し、搬送方向の始端と終端は、固定パ
レット３６とする必要がある。

【００３８】この搬送装置５０においては、例えば、ガ
ラス基板４２を載置した可動パレット３４を下降させつ
つ、第２可動パレット５２を上昇させ、又次の位置では
前記と反対に、第２可動パレット５２を下降させつつ可
動パレット３４を上昇させてガラス基板４２を第２可動
パレット５２から可動パレット３４に移載して搬送する
ようにしてもよく、可動パレット３４又は第２可動パレ
ット５２を、前記固定パレット３６と同様に停止させて
もよい。

【００３９】次に、上記のような搬送装置を複数組み合
わせて構成した搬送システムの実施の形態の第１例につ
いて図７を参照して説明する。

【００４０】図７の搬送システム５４は、直線状に複数
の搬送装置５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ、・・・を順次接続
してなり、各搬送装置５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ、・・・
は、前記図１〜図４に示される搬送装置１０の終端の固
定パレット３６を、鉛直軸を中心として水平面内で回転
自在の回転パレット５６としたものであり、又、可動パ
レット３４のスリット部の向きは、各搬送装置５４Ａ、
５４Ｂ、５４Ｃ、・・・において、相互に順次反対向に
なるように配置したものである。

【００４１】この搬送システム５４においては、例えば
搬送装置５４Ａで搬送され、その終端の回転パレット５
６上に搬送物、例えばガラス基板４２が載置された後、
回転パレット５６が鉛直軸回りに水平面内で１８０°回
転して、次の搬送装置５４Ｂにおける可動パレット３４
と反対向きとし、この搬送装置５４Ｂの可動パレット３
４にガラス基板４２を移載できるようにしている。

【００４２】このようにして、各搬送装置５４Ａ、５４
Ｂ、５４Ｃ、・・・の終端の回転パレット５６が１８０
°回転することによって、順次ガラス基板４２を搬送す
ることができる。

【００４３】次に、図８に示される本発明の実施の形態
の第２例に係る搬送システム５８について説明する。

【００４４】この搬送システム５８は、前記図７の搬送
装置５４Ａと同様の搬送装置５８Ａと、この搬送装置５
８Ａの終端の回転パレット５６の位置で、搬送装置５８
Ａの搬送方向と直交する方向に接続して配置された直交
搬送装置５８Ｂとを備えて構成されている。

【００４５】前記直交搬送装置５８Ｂは、複数の横向き
可動パレット６０を備え、この横向き可動パレット６０
は、前記搬送装置１０における可動パレット３４と同様
の形状であって、且つ、そのスリット部が前記回転パレ
ット５６が可動パレット３４と同一方向に１８０°回転
したとき、これと平面視で隙間をもって噛み合うように
されている。

【００４６】この横向き可動パレット６０は、前記搬送
装置１０における可動パレット３４と同様に駆動される
ものであり、説明は省略する。なお、この直交搬送装置
５８Ｂには、横向き可動パレット６０からガラス基板４
２等を受け取る、前記固定パレット３６のようなパレッ
トは使用されていない。従って、ガラス基板４２は、載
置された横向き可動パレット６０によりそのまま直交搬
送装置５８Ｂの終端まで搬送される。

【００４７】この搬送システム５８においては、搬送装
置５８Ａによって搬送されてきた搬送物、例えばガラス
基板４２が、終端の回転パレット５６上に載置した状態
で、水平面内で１８０°回転してそのスリットの向きを
可動パレット３４と同一方向にした後、横向き可動パレ
ット６０によって、回転パレット５６上のガラス基板４
２を持ち上げ搬送していく。

【００４８】次に、図９に示される本発明の実施の形態
の第３例に係る搬送システム６２について説明する。

【００４９】この搬送システム６２は、前記搬送システ
ム５４における搬送装置５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃと同様
に、搬送装置６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃを直列に配置する
と共に、搬送装置６４Ｂにおける水平移動ラインの途中
の固定パレットを回転パレット５６とし、この回転パレ
ット５６の位置から、前記図８に示される直交搬送装置
５８Ｂと同様の構成の第１及び第２直交搬送装置６６
Ａ、６６Ｂを設け、更に、第２直交搬送装置６６Ｂの終
端に、前記搬送装置６４Ｂと同様の並列搬送装置６８を
設けたものである。

【００５０】前記第１直交搬送装置６６Ａと第２直交搬
送装置６６Ｂとの接続部には、これらの横向き可動パレ
ット６０と反対向きの受け渡し用固定パレット７０が配
置され、第１直交搬送装置６６Ａの横向き可動パレット
６０から受け渡し用固定パレット７０上にガラス基板４
２を移載した後、ここから、次の第２直交搬送装置６６
Ｂにおける横向き可動パレット６０がガラス基板４２を
受け取って、並列搬送装置６８の先端の回転パレット５
６に移載するようにされている。

【００５１】回転パレット５６に移載されたガラス基板
４２は、該回転パレット５６が図９の状態から１８０°
回転した後、並列搬送装置６８の可動パレット３４によ
って、前記搬送装置６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃにおけると
同様に搬送されていく。

【００５２】この実施の形態の第３例に係る搬送システ
ム６２は、搬送装置６４Ｂの途中から第１、第２直交搬
送装置６６Ａ、６６Ｂにより搬送ラインを分岐させ、並
列搬送装置６８にガラス基板４２を移載することができ
る。又、これらの移載にあたって、ガラス基板４２に衝
撃を与えたり、滑らせたりすることがない。

【００５３】又、各搬送装置６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃに
おいて、必要に応じて飛び越しができるのは、前記搬送
装置１０におけると同様である。

【００５４】次に、図１０に示される本発明の実施の形
態の第４例に係る搬送システム７２について説明する。

【００５５】この搬送システム７２は、各搬送装置にお
ける終端の固定パレットを上下動させて、ガラス基板４
２等の搬送物の搬送ライン中における高さを変えること
ができるようにしたものである。

【００５６】これは、図１０に示されるように、前記搬
送システム５４における搬送装置５４Ａ、５４Ｂ、・・
・と同様に直線状に配置された搬送装置７４Ａ、７４
Ｂ、・・・における搬送ラインを、順次高くなるように
配置したものであり、搬送装置７４Ａにおける終端の固
定パレット７６は、他の固定パレット３６よりも高い位
置にまで上下動自在とされている。

【００５７】この搬送システム７２においては、搬送装
置７４Ａ、７４Ｂ、・・・の各終端の固定パレット７６
で搬送物たるガラス基板４２の位置が順次高くされるの
で、所定数の搬送装置を接続することによって、目的の
高さにガラス基板４２を搬送することができる。

【００５８】なお、上記搬送装置１０、５０、５４Ａ、
５４Ｂ、５４Ｃ、５８Ａ、６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ等に
おける移動部材１４は、エンドレスベルト１２によって
駆動されるものであるが、本発明はこれに限定されるも
のでなく、チェーン、ロープ、ワイヤ、シリンダ装置等
によって直線的に往復動させるものであればよい。但
し、エンドレスベルト１２を用いた場合は、騒音やコス
トが少なく、又、小型軽量化できるという利点がある。

【００５９】又、上記各搬送装置は、固定レールが上段
及び下段の２段構成とされているが、本発明はこれに限
定されるものでなく、３段以上であってもよい。この場
合、フレーム２０に新たな固定レールを取り付けること
によって容易に構成することができる。更に、上記各移
動部材における上下動部材は各々独立して上下動される
が、これは、複数又は全部の上下動部材を同期して上下
動させるようにしてもよい。

【００６０】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、簡
単な構造で、ガラス基板等の搬送物を衝突や滑りを生じ
ることなく、安全に搬送することができると共に、先行
する搬送物を容易に飛び越して、後行の搬送物を搬送す
ることができるという優れた効果を有する。

【００６１】又、搬送システムにおいては、搬送物を、
移載ロボットを用いたりすることなく、且つ、滑りや衝
突を伴うことなく、安定して、搬送ラインの途中から枝
分かれして搬送することができるという優れた効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の第１例に係る搬送装置の
要部を示す平面図

【図２】図１のII−II線に沿う拡大断面図

【図３】同搬送装置の上下動部材の下段固定レール走行
時の状態を示す図１のIII−III線視図

【図４】同上段固定レール走行時の状態を示す図３と同
様の側面図

【図５】同搬送装置における可動パレットと固定パレッ
トとの関係を示す斜視図

【図６】同実施の形態の第２例に係る搬送装置を示す略
示平面図

【図７】本発明の搬送システムの実施の形態の第１例を
示す略示平面図

【図８】同第２例を示す略示平面図

【図９】同第３例を示す略示平面図

【図１０】同第４例を示す略示斜視図

【符号の説明】

１０、５０、５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ、５８Ａ、６４
Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ、７４Ａ、７４Ｂ、７４Ｃ…搬送装
置 １２…エンドレスベルト １４…移動部材 １８…上下動部材 ２０…フレーム ２２…上段固定レール ２４…下段固定レール ２６…走行ローラ ２６Ａ…第２走行ローラ ２８…貫通切欠 ３２…上下駆動手段 ３４…可動パレット ３６、７６…固定パレット ３４Ａ、３６Ａ…スリット部 ３４Ｂ、３６Ｂ…櫛状支持部 ４２…ガラス基板 ５２…第２可動パレット ５４、５８、６２…搬送システム ５６…回転パレット ５８Ｂ…直交搬送装置 ６０…横向き可動パレット ６６Ａ…第１直交搬送装置 ６６Ｂ…第２直交搬送装置 ６８…並列搬送装置 ７０…受け渡し用固定パレット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】送り手段により、略水平の搬送方向に一定
   間隔で、移動自在に支持された少なくとも１個の移動部
   材と、この移動部材の各々に上下位置可変に支持された
   上下動部材と、前記搬送手段による前記移動部材の水平
   移動ラインの側方近傍位置で、各々が、前記水平移動ラ
   インと平行に、且つ、異なる高さで、フレームに取り付
   けられた少なくとも２段の固定レールと、前記上下動部
   材から前記固定レール側に突出して取り付けられるとと
   もに、前記固定レール上を走行自在の走行ロ−ラと、最
   下段よりも上段の前記固定レールに長手方向の複数箇所
   に間欠的に形成され、且つ、前記走行ロ−ラの上下方向
   移動を許容するための貫通切欠と、前記上下動部材に対
   して水平方向に相対移動可能、且つ、上下方向に係合し
   て設けられ、この上下動部材を、前記走行ロ−ラが、前
   記貫通切欠を通って前記複数の固定レールのうちいずれ
   かのレ−ル面に転接する位置に上下動させる上下駆動手
   段と、前記上下動部材の上端に片持状態で略水平方向に
   延在して設けられ、上面に搬送物を載置可能とされた可
   動パレットと、この可動パレットの上下移動ラインの側
   方近傍位置で、前記フレームに片持状態で取り付け固定
   され、その支持端部から前記上下移動ラインに交差する
   ように略水平方向に延在され、上面に搬送物を載置可能
   とされた固定パレットと、を有してなり、前記可動パレ
   ットは、平面視で、その外周端部から切り込まれた少な
   くとも１つのスリット部により水平方向に離間された複
   数の櫛状支持部を備えて構成され、前記固定パレット
   は、平面視で、前記可動パレットの複数の櫛状支持部及
   びスリット部と水平面内で隙間をもって噛み合い可能な
   少なくとも１つのスリット部及び複数の櫛状固定支持部
   を、前記可動パレットにおけると反対向きに備えた形状
   とされ、この固定パレットのスリット部を通って、前記
   可動パレットの櫛状支持部の上下方向移動が許容される
   ように配置したことを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】送り手段により、略水平の搬送方向に一定
   間隔で、移動自在に支持された少なくとも１個の移動部
   材と、この移動部材の各々に上下位置可変に支持された
   上下動部材と、前記搬送手段による前記移動部材の水平
   移動ラインの側方近傍位置で、各々が、前記水平移動ラ
   インと平行に、且つ、異なる高さで、フレームに取り付
   けられた少なくとも２段の固定レールと、前記上下動部
   材から前記固定レール側に突出して取り付けられるとと
   もに、前記固定レール上を走行自在の走行ロ−ラと、最
   下段よりも上段の前記固定レールに長手方向の複数箇所
   に間欠的に形成され、且つ、前記走行ロ−ラの上下方向
   移動を許容するための貫通切欠と、前記上下動部材に対
   して水平方向に相対移動可能、且つ、上下方向に係合し
   て設けられ、この上下動部材を、前記走行ロ−ラが、前
   記貫通切欠を通って前記複数の固定レールのうちいずれ
   かのレ−ル面に転接する位置に上下動させる上下駆動手
   段と、前記上下動部材の上端に片持状態で略水平方向に
   延在して設けられ、上面に搬送物を載置可能とされた可
   動パレットと、を１組として、２組を、平行に、且つ、
   一方の可動パレットと他方の可動パレットとが、前記走
   行ロ−ラが、前記貫通切欠を通って上下動されるとき、
   平面視で上下方向に重なる位置で対向するように配置さ
   れてなり、前記一方の可動パレットは、平面視で、その
   外周端部から切り込まれた少なくとも１つのスリット部
   により水平方向に離間された複数の櫛状支持部を備えて
   構成され、前記他方の可動パレットは、平面視で、前記
   可動パレットの複数の櫛状支持部及びスリット部と水平
   面内で隙間をもって噛み合い可能な少なくとも１つのス
   リット部及び複数の櫛状支持部を、前記可動パレットに
   おけると反対向きに備えた形状とされ、これら可動パレ
   ットが相互の隙間を通って上下方向移動が許容されるよ
   うに配置されたことを特徴とする搬送装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２において、前記送り手段
   は、前記移動部材を、前記固定レ−ルに沿って往復動自
   在に駆動するようにされた無端帯であることを特徴とす
   る搬送装置。
4. 【請求項４】適宜数の移動部材を一組として備えた請求
   項１、２又は３のいずれかの搬送装置を、複数基、順次
   接続して配置したことを特徴とする搬送システム。
5. 【請求項５】請求項１または２の複数基の搬送装置の、
   少なくとも１基の終端の固定パレットを、その支持端部
   を中心として水平面内で回転自在とすると共に、この搬
   送装置の搬送方向に対して交差する搬送方向の交差搬送
   装置を、前記水平面内で回転自在の固定パレットに接続
   して配置したことを特徴とする搬送システム。