JP2000250066A - カラー液晶パネル及びその製造方法 - Google Patents

カラー液晶パネル及びその製造方法

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JP2000250066A JP11055478A JP5547899A JP2000250066A JP 2000250066 A JP2000250066 A JP 2000250066A JP 11055478 A JP11055478 A JP 11055478A JP 5547899 A JP5547899 A JP 5547899A JP 2000250066 A JP2000250066 A JP 2000250066A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラーフィルタをTFT基板側に有する液
晶パネルの構成を明確化する。 【解決手段】 画素電極の形成される第1の基板1側
に、各画素のスイッチング素子である薄膜トランジス
タ、薄膜トランジスタを覆って形成されるパッシベーシ
ョン膜7、該パッシベーション膜上に形成されるカラー
フィルタ層10及びブラックマトリクス8、該カラーフ
ィルタ層及びブラックマトリクスを覆って形成されるオ
ーバーコート層12を有し、前記第1の基板に対向して
形成される透明共通電極17を有する第2の基板16
と、前記第1の基板とをシール材15で貼り合わせて形
成された空隙内に液晶材料19が注入されてなるカラー
液晶パネルにおいて、前記第1の基板1に該第1の基板
端部を額縁状に覆う額縁状ブラックマトリクス9を有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶パネル
及びその製造方法に関し、詳しくは、薄膜トランジスタ
(TFT)等のスイッチング素子とカラーフィルター及
びブラックマトリクスを同一基板上に形成した
【0002】
【従来の技術】従来、カラー液晶パネルの構成は図12
に示されるように、ゲート電極2、ゲート絶縁膜3、半
導体層4、ソース・ドレイン電極5,6からなるTFT
などのスイッチング素子、各電極への配線層(不図
示)、これらを覆って形成される層間膜7、各画素毎の
画素電極11、これらを覆って形成されるパッシベーシ
ョン膜11、配向膜18a、外部回路と接続するための
端子13とを有する第1の基板1と、ブラックマトリク
ス8、R、G、Bの各色のカラーフィルタ層10R、1
0G、10B、ITOなどの透明共通電極17、配向膜
18bを有する第2の基板16とを、両基板間のギャッ
プを所定の距離に保つスペーサ14を間に挟み、基板周
辺部に配設したシール材15を介してそれぞれの形成面
を対向させて貼り合わせてパネル組立を行い、シール焼
成、ギャップ測定の後、液晶材料19をパネル内に注入
する。
【0003】液晶注入方法としては、パネルの所定の位
置に2カ所の穴を設け、一方から液晶を注入するととも
に、他方からパネル内の排気を行って液晶物質を吸い込
む2穴方式、1カ所の注入口を設けた空セルと液晶物質
を真空(1×10-2〜1×10-4Torr)状態にし、
注入口に液晶を付着させ、その後、大気圧に徐々に戻
し、液晶セルの内外の圧力差を用いて液晶物質をセル内
に注入する真空注入方式が知られており、現在はもっぱ
ら後者の方法が採られている。
【0004】液晶注入後、注入口を封止し、両基板の外
側に偏光板20a、20bを貼り付け、液晶パネルが完
成する。
【0005】液晶パネルの高精細化を図るには、画素の
高密度化を達成する必要があるが、従来のカラーフィル
ター及びブラックマトリクスを対向基板側に配した構成
の液晶パネルでは、組み立て工程における位置合わせに
誤差を生じることから予めマージンを見込んで形成する
必要があり、画素開口部の面積(開口率)を最大限に確
保することが困難であった。
【0006】これに対して、TFTなどのスイッチング
素子の形成されるアクティブマトリクス基板側にカラー
フィルタ及びブラックマトリクスを形成する方法(CF
−on−TFT、以下、「COT」と称す)が提案され
ている。
【0007】COT基板側にカラーフィルタ及びブラッ
クマトリクスを形成するため、組み合わせマージンを考
慮する必要がなく、製造工程が簡略化できると同時に、
画素開口率の拡大も達成される。
【0008】しかしながら、カラーフィルタやブラック
マトリクスを直接TFTや配線等の上に形成すると、カ
ラーフィルタやブラックマトリクスに含まれる元素ある
いはイオンがスイッチング素子の構成部分に侵入してス
イッチング素子を誤動作させるおそれがあることから、
特開平10−39292号公報には、スイッチング素子
とカラーフィルタとの間に保護膜(パッシベーション
膜)を形成することが提案されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、この
ようなCOT構成の液晶パネルの構成を明らかにするこ
とである。なお、前記特開平10−39292号公報に
は液晶パネル端部に関する記載は明らかにされていな
い。
【0010】
【発明を解決するための手段】本発明は、画素電極の形
成される第1の基板側に、各画素のスイッチング素子で
ある薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタを覆って形成
されるパッシベーション膜、該パッシベーション膜上に
形成されるカラーフィルタ層及びブラックマトリクス、
該カラーフィルタ層及びブラックマトリクスを覆って形
成されるオーバーコート層を有し、前記第1の基板に対
向して形成される透明共通電極を有する第2の基板と、
前記第1の基板とをシール材で貼り合わせて形成された
空隙内に液晶材料が注入されてなるカラー液晶パネルに
おいて、前記第1の基板に形成されるブラックマトリク
スが該第1の基板端部を額縁状に覆って形成されている
ことを特徴とするカラー液晶パネルに関するものであ
る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。
【0012】[第1の実施形態]図1は、本発明の一実
施形態になる液晶パネルの概略断面図である。同図にお
いて、1はTFT側のガラス基板などの透明絶縁性材料
からなる第1の基板であり、その上にスイッチング素子
であるTFTが形成されている。TFTはゲート電極
2、ゲート電極2上に形成されるゲート絶縁膜3、ソー
ス電極5、ドレイン電極6とソース・ドレイン電極に挟
まれたアモルファスシリコンなどの半導体層4とから構
成されている。
【0013】これらのスイッチング素子を覆って、パッ
シベーション膜7が例えばシリコン窒化膜(SiNx)
により形成されている。半導体層4の上方には、ブラッ
クマトリクス(BM)8が形成されており、また、赤
(R)、青(B)、緑(G)の3原色からなるカラーフ
ィルタ(CF)10が各画素に対応して形成されてい
る。また、COT基板の周辺部には額縁状BM9がパッ
シベーション膜上に形成される。額縁状BM9はBM8
と同材料であっても別材料で形成しても良いが、製造工
程を簡略化するために同材料で形成するのが好ましい。
【0014】BM及びCFを覆ってオーバーコート12
が設けられ、各画素部ではオーバーコート上にITOな
どの透明導電性材料からなる画素電極11が形成され、
画素電極11はオーバーコート12に形成されたコンタ
クトを介してドレイン電極6に接続されている。COT
基板の端部には外部回路との接続をはかるための端子1
3が形成される。
【0015】また、対向側の第2の基板16には、表示
部全面にITOなどの透明共通電極17が形成されてい
る。両基板の対向面にはさらに配向膜18が形成され、
所定の方向にラビング処理が施される。
【0016】両基板は間に所定のギャップを設けるた
め、スペーサ14を任意に分散させ、その後、シール材
15により、両基板を透明電極同士を内側に組み合わせ
る。
【0017】[第2の実施形態]上記の実施形態では、
基板端部にまで額縁状ブラックマトリクスを形成する
と、液晶注入を真空注入方式などにより行った場合、真
空状態から大気圧状態に戻されたときの基板のたわみに
よりシール部で負荷が架かり、ブラックマトリクスとパ
ッシベーション膜との密着性が十分でない場合には、膜
剥がれを起こすことが懸念される。これを解決する手段
について以下に説明する。
【0018】図2〜4は、シール部での膜剥がれを解消
するための第1の例を示しており、図2は画素部の平面
図、図3はパネル全体の平面図、図4は図2のP−P’
線での断面図を示している。図1に示す実施形態との違
いは、第1の基板1の周辺部に形成される額縁状BM9
をシール材15の配設部よりも基板内側に形成している
点である。つまり、シール材15の下の第1の基板1で
はパッシベーション膜7の上に直接オーバーコート12
が形成されており、シール材配設部において、前記図1
の実施形態より密着性が向上している。
【0019】図5及び図6は、この実施形態になる液晶
パネルの製造方法を示す工程断面図である。まず、図5
(a)に示すように板厚0.7mmあるいは1.1mm
の無アルカリガラスなどの透明絶縁性材料からなる第1
の基板1上にTFTを形成する。TFTの形成は、まず
第1の基板1上にAl、Mo、Cr等の金属からなる材
料を100〜400nmの膜厚に例えばスパッタ法で成
膜し、フォトリソグラフィ法により所望のゲート電極2
形状にパターニングする。ゲート電極2及び第1の基板
1上にゲート絶縁膜3としてSiOx及びSiNxの積
層膜を100〜200nm程度の膜厚にCVD法などに
より成膜する。次に半導体層4としてアモルファスシリ
コンを膜厚約400nmに成膜し、所望の形状にパター
ニングした後、ソース・ドレイン電極となるAl、M
o、Cr等の金属からなる材料を100〜400nmの
膜厚に例えばスパッタ法で成膜し、フォトリソグラフィ
法により所望の電極形状にパターニングする。さらにこ
れらを覆ってパッシベーション膜7をシリコン窒化膜
(SiNx)により100〜200nm程度の膜厚に形
成する。パッシベーション膜としてはシリコン窒化膜な
どの無機材料の他、エポキシ樹脂、アクリル樹脂などの
透明な樹脂材料を使用することもできる。
【0020】次に図5(b)に示すように半導体層4の
遮光のため、BM8をTFTの上に形成する。またパネ
ル周辺からの光漏れを防止するため、額縁状BM9を形
成する。BMは、遮光性のある顔料を分散したネガ型感
光性アクリル系レジスト(例えば、JSR製「オプトマ
ーCRシリーズ」)やカーボン系レジスト材料などを塗
布し、所望のBM形状に露光し、現像することで形成で
きる。この時、膜厚としては約1〜3μmに形成する。
BMに要求される特性としては、光学濃度(OD値)が
3以上であり、シート抵抗が1010Ω/□以上あるもの
が望ましい。
【0021】続いて、図5(c)に示すように、各画素
毎にCF10を形成する。例えば、赤色顔料をアクリル
系樹脂に分散させたネガ型感光性カラーレジスト(例え
ば、JSR製「オプトマーCRシリーズ」)を、スピン
コート法で基板上に塗布する。膜厚は約1.0〜1.5
μm程度になるようスピン回転数を調整する。次にホッ
トプレートで80℃/2分プリベークを行い、露光した
後、TMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロオキサ
イド)液で現像し、対応する部分に赤色CF10Rを形
成する。その際、後の工程でドレイン電極6と画素電極
11を接続するためのコンタクトスルーホール21を形
成する領域には、開口を形成しておく。この開口の大き
さは、少なくともコンタクトスルーホールが含まれる程
度の大きさである。次にクリーンオーブンで220℃・
60分焼成を行い、赤色カラーフィルター10Rを硬化
させる。
【0022】赤色CF10R形成と同様の方法で緑色C
F10G、青色CF10Bを形成する。各CFは図3に
示すように順次隣接して形成すれば良く、形成順序は特
に限定されない。なお、図3では各色に対応する画素開
口部24として示している。
【0023】次に図5(d)に示すように、各色CF1
0の形成後、平坦化のため、例えばノボラック系のポジ
型感光性レジスト(例えば、JSR製「オプトマーPC
シリーズ」)を塗布し、露光・現像によりコンタクトス
ルーホールの部分に開口を有するパターン状に形成し、
さらに220℃・60分間焼成を行い硬化させることで
オーバーコート層12を形成する。
【0024】続いて図6(e)に示すように、オーバー
コート層12、コンタクトスルーホールから露出したド
レイン電極6上にスパッタ法でITO等の透明導電膜を
成膜し、パターニングして画素電極11を形成する。こ
のとき、膜厚は厚いほど良好なカバレッジが得られ、ド
レイン電極6との電気的な接続が安定するが、透明導電
膜に用いるITO膜の加工性を考慮すると60〜120
nm程度の膜厚が適当である。
【0025】その後、表示部全面にポリイミド系配向剤
(例えば日産化学製、「サンエバー」シリーズ、あるい
はJSR製「オプトマーAL」シリーズ)をスピンコー
ト法などにより塗布し、200℃以下の温度で焼成す
る。次に所望のプレチルト角を得るため、形成した配向
膜18aの表面層を一定方向にラビングする。ラビング
はビスコースレーヨン等の導電性合成繊維を巻き付けた
ラビングロールを配向膜に接触させ、圧力、回転速度、
回転方向、角度を調整して行えばよい。このようにして
COT基板が形成される。次に図6(f)に示すよう
に、基板周辺部にシール材15をスクリーン印刷法やデ
ィスペンサー塗布などにより配設する。シール材15と
しては、例えばエポキシ系樹脂接着剤(例えば、三井化
学製「ストラクトボンド」シリーズ)などが使用でき
る。シール材の厚みは特に規定されないが、対向側基板
との貼り合わせ強度が十分あり、注入する液晶の漏れが
発生しないようにすれば良く、ここでは、1.5mm程
度の厚みに形成する。
【0026】次に、シール材15の4隅に銀粉末を含む
エポキシ系樹脂からなるトランスファを塗布し、別途形
成した対向側基板を図6(g)に示すように貼り付け、
シール材を硬化させるために焼成する。対向側基板は板
厚0.7もしくは1.1mmの無アルカリガラス製の第
2の基板16にITOからなる対向側透明共通電極17
を例えば80〜150nmの厚みにスパッタ法などによ
り形成し、前記同様に配向膜18bを形成したものであ
る。両基板の貼り合わせに際しては、所定の基板間ギャ
ップが得られるように、対向側基板上にスペーサ14を
塗布しておく。スペーサ14としては、直径4.5〜
5.5μmのジビニルベンゼン系架橋重合体からなるミ
クロパールを表示部面内に、基板周辺部には径約5〜7
μmのガラスファイバー製のマイクロロッドと呼ばれる
スペーサを配しておく。
【0027】次に所望のパネルサイズに両基板の切断を
行う(スクライブブレイク)。この時、対向側基板では
図3の平面図に示すようにH側端子13H、V側端子1
3Vとが露出するよう、第1の基板1より小さく切断す
るが、切断ラインにITOからなる透明共通電極17が
形成されていると、第1の基板に形成された端子13に
ITOの切断くずが付着し、端子間ショートの原因とな
り好ましくない。そこで、本発明では、切断ラインに透
明共通電極17が架からないように予めパターニングし
ておくことが望ましい。ITO膜のパターニングの方法
としては、フォトリソグラフィ法、マスクスパッタ法な
ど公知の方法が使用できる。又、ITO膜は切断ライン
に架からなければシール材配設部分に形成されていても
良いが、密着性の観点からはシール材配設部より内側に
形成されている方が望ましい。
【0028】このようにして完成した液晶セルに液晶材
料を注入する。液晶の注入は、所望の真空度を達成でき
る真空容器内に液晶セルを置き、セル内部の空気を排気
し、図3の平面図に示すように、シール材の配設されて
いない注入口23に液晶材料を密着接触させ、徐々に大
気圧に戻す真空注入方式により行う。ここでは、液晶材
料としてフッ素系化合物、例えば、チッソ石油化学製
「LIXON」シリーズなどを用いて、1×10-4To
rr程度の真空度から徐々に窒素ガスを導入しながら大
気圧に戻して実施した。液晶注入後、UV硬化型アクリ
レート系樹脂などの封孔剤22を用いて注入口23を塞
ぐ。
【0029】最後に両基板の外側に偏光板20a、20
bを貼り付けて図4に示す液晶パネルが完成する。偏光
板としては、ヨウ素系偏光フィルム(例えば、日東電工
製「NPF」シリーズや住友化学製「スミカラン」シリ
ーズ)が使用できる。
【0030】この実施形態の更に好ましい例として図7
に示すように、オーバーコート12についてもシール材
配設部から除外するように形成する。有機系材料からな
るオーバーコート12と無機系材料からなるパッシベー
ション膜7とを比較すると、シール材との密着強度は有
機系材料であるオーバーコートでは約80kgfである
のに対して無機系材料からなるパッシベーション膜7で
は約110kgfであり約1.4倍程度剥離強度が高
い。
【0031】[第3の実施形態]上記第2の実施形態で
は、シール材配設部に額縁状BM9を形成していないた
め、パネルを液晶表示窓があけられたシールドケースに
より周辺部からの光漏れを防止する必要があり、表示領
域に対する液晶表示装置の最終外形寸法が大きくなる。
そこで、図8に示すように額縁状BM9がシール材配設
部に一部架かるように形成してパネル周辺部からの光漏
れを防止する手段について説明する。前記したように、
額縁状BM9がシール材配設部に形成されていると密着
強度が低下し、膜剥がれが起こることを述べたが、更に
検討を進めた結果、シールと額縁状BMとのオーバーラ
ップ距離により剥離強度が変化することを突き止めた。
図9は、厚さ1.5mmのシール材に対して基板内側か
らシール材とオーバーラップする額縁状BMの距離に対
する剥離強度を測定した結果を示すもので、膜剥がれを
防止するためには40kgf以上の剥離強度を有する必
要がある。この結果から、1.5mm厚のシール材に対
してその2分の1の0.75mm以下であれば、十分な
剥離強度を有していることが分かる。つまり、第1の基
板端部のシール材配設部において、そのシール材の厚さ
の少なくとも2分の1に対応する距離まで、基板端部か
ら後退して形成する。なお、前記第2の実施形態(図
4)はオーバーラップ距離0mmに相当する。
【0032】[第4の実施形態]パネル周辺部からの光
漏れを防止する手段についての別の実施形態を説明す
る。図10に示すように、ここでは対向側基板である第
2の基板16の周辺部に額縁状BM25を配する構成で
ある。TFT、カラーフィルタ、ブラックマトリクス等
の形成される第1の基板側の構成については、先に説明
した第2の実施形態と同じであり、図4,図7のどちら
の構成であってもよい。図10に示す第1の基板はここ
では図4の構成のものを使用した。第2の基板16側
に、第1の基板への額縁状BM9形成と同様の方法によ
り周辺部に額縁状BM25を形成する。このとき、額縁
状BMの基板内側端部は、第1の基板1に形成される額
縁状BM9の基板外側端部とがパネル法線方向において
重なるように形成する。また、額縁状BM25の基板外
側端部については、基板端部まで形成すると、第1の基
板と同様に膜剥がれのおそれがあるため、基板端部のシ
ール材配設部において、そのシール材の厚さの少なくと
も2分の1に対応する距離まで、基板端部から後退して
形成するのが好ましい。又、図10に示す構成では、B
M25とシール材15とが直接接触しているが、BM2
5をオーバーコートしてシール材との密着性を向上させ
ても良い。又、本発明においては、例えば、特開平2−
296223号公報や特開平5−88189号公報に開
示されているようにシール材自体に遮光性をもたせるこ
とも可能である。
【0033】[第5の実施形態]基板周辺部の遮光に関
しては、図1に示す構成がもっとも好ましく、この構成
を生かしつつ、シール部配設部での膜剥がれを防止する
手段について説明する。図11では、額縁状BM9が、
カップリング剤層26を介してパッシベーション膜7上
に形成されている点で図1と異なる。このようにカップ
リング剤層26を間に形成することで、額縁状BM9の
密着性が向上し、膜波がれを防止することができる。カ
ップリング剤層26の形成は、例えば、透明電極上に配
向膜を形成する場合にカップリング処理をすることが知
られているが、それと同様に行うことができる。カップ
リング剤としてパッシベーション膜と額縁状BMとの密
着性を改善できるものであればいずれでも良いが、本発
明ではシラン系表面処理剤(例えば、東レ製「AP−4
00」など)が好適に使用できる。カップリング剤層2
6の厚みは特に限定されないが、好ましくは20〜50
nm程度である。又、カップリング剤層を形成する部分
は、基板端部からシール材配設部までは必須であるが、
それよりも内側の領域に関しては表示部(カラーフィル
タの形成領域)にかからない程度まで任意の幅に形成す
ることができる。
【0034】このように基板端部まで額縁状BM9を配
することで、基板端部での光漏れを防止でき、視認性の
優れた液晶パネルを提供することができる。しかも、カ
ップリング剤層による密着性向上により、液晶漏れ、気
泡の侵入等も防止できる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
COT構成の好適な液晶パネル構造が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を説明する概略断面図
である。
【図2】本発明の第2の実施形態になる液晶パネルの画
素部及び端部の平面図である。
【図3】本発明の第2の実施形態になる液晶パネルの全
体を示す概略平面図である。
【図4】第2の実施形態になる液晶パネルの一例を示す
概略断面図である。
【図5】第2の実施形態になる液晶パネルの製造工程を
説明する工程断面図である。
【図6】第2の実施形態になる液晶パネルの製造工程を
説明する工程断面図である。
【図7】第2の実施形態になる液晶パネルの他の一例を
示す概略断面図である。
【図8】本発明の第3の実施形態になる液晶パネルの概
略断面図である。
【図9】シール材と額縁状ブラックマトリクスとのオー
バーラップ距離と剥離強度との関係を示すグラフであ
る。
【図10】本発明の第4の実施形態になる液晶パネルの
概略断面図である。
【図11】本発明の第5の実施形態になる液晶パネルの
概略断面図である。
【図12】従来の液晶パネルの構造を示す概略断面図で
ある。
【符号の説明】
1 第1の基板 2 ゲート電極 3 ゲート絶縁膜 4 半導体層 5 ソース電極 6 ドレイン電極 7 パッシベーション膜 8 ブラックマトリクス 9 額縁状ブラックマトリクス 10 カラーフィルタ 11 画素電極 12 オーバーコート 13 端子 14 スペーサ 15 シール材 16 第2の基板 17 透明共通電極 18 配向膜 19 液晶 20 偏光板 21 コンタクトスルーホール 22 封孔材 23 注入口 24 画素開口 25 対向側額縁状ブラックマトリクス 26 カップリング剤層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 道昭 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 中田 慎一 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 吉川 周憲 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 渡邊 貴彦 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 井原 浩史 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 Fターム(参考) 2H091 FA02Y FA35Y FD02 GA13 GA16 GA17 LA03 LA12 LA15 2H092 GA39 JA24 JA37 JA41 JA46 JB52 JB57 KA05 KB24 MA05 MA12 MA13 MA29 NA07 NA18 PA08

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 画素電極の形成される第1の基板側に、
    各画素のスイッチング素子である薄膜トランジスタ、薄
    膜トランジスタを覆って形成されるパッシベーション
    膜、該パッシベーション膜上に形成されるカラーフィル
    タ層及びブラックマトリクス、該カラーフィルタ層及び
    ブラックマトリクスを覆って形成されるオーバーコート
    層を有し、前記第1の基板に対向して形成される透明共
    通電極を有する第2の基板と、前記第1の基板とをシー
    ル材で貼り合わせて形成された空隙内に液晶材料が注入
    されてなるカラー液晶パネルにおいて、前記第1の基板
    に形成されるブラックマトリクスが該第1の基板端部を
    額縁状に覆っていることを特徴とするカラー液晶パネ
    ル。
  2. 【請求項2】 前記第1の基板上にパッシベーション膜
    を介して形成された額縁状ブラックマトリクスが、該第
    1の基板端部のシール材配設部において、そのシール材
    の厚さの少なくとも2分の1に対応する距離まで、基板
    端部から後退して形成されていることを特徴とする請求
    項1に記載のカラー液晶パネル。
  3. 【請求項3】 前記第1の基板上にパッシベーション膜
    を介して形成された額縁状ブラックマトリクスが、該第
    1の基板端部のシール材配設部において、そのシール材
    配設部よりも基板内側に形成されていることを特徴とす
    る請求項2に記載のカラー液晶パネル。
  4. 【請求項4】 前記シール材が第1の基板上のパッシベ
    ーション膜に直接配設されていることを特徴とする請求
    項3に記載のカラー液晶パネル。
  5. 【請求項5】 前記額縁状ブラックマトリクスが、カッ
    プリング剤層を介してパッシベーション膜上に形成され
    ていることを特徴とする請求項1に記載のカラー液晶パ
    ネル。
  6. 【請求項6】 前記カップリング剤が、シラン系表面処
    理剤であることを特徴とする請求項5に記載のカラー液
    晶パネル
  7. 【請求項7】 前記第2の基板の切断が前記第1の基板
    とシール材で貼り合わせた後に行われ、該第2の基板に
    形成される透明共通電極が、該第2の基板切断時の切断
    面より基板内側に形成されていることを特徴とする請求
    項1〜6のいずれか1項に記載のカラー液晶パネル。
  8. 【請求項8】 前記第2の基板に形成される透明共通電
    極が、シール材配設部より基板内側に形成されているこ
    とを特徴とする請求項6に記載のカラー液晶パネル。
  9. 【請求項9】 前記第2の基板のシール材配設部に少な
    くとも接して額縁状ブラックマトリクスが形成されてい
    ることを特徴とする請求項3又は4に記載のカラー液晶
    パネル。
  10. 【請求項10】 カラー液晶パネルの製造方法であっ
    て、第1の基板上に複数の薄膜トランジスタ及び配線層
    を形成する工程、前記薄膜トランジスタ及び配線層を覆
    って第1の基板全面にパッシベーション膜を成膜する工
    程、前記薄膜トランジスタの少なくとも半導体層上及び
    基板周縁部に額縁状にブラックマトリクスを形成する工
    程、カラーフィルタ層を形成する工程ブラックマトリク
    ス及びカラーフィルタ層を覆って第1の基板全面にオー
    バーコート層を形成する工程、該オーバーコート層にコ
    ンタクトホールを形成し、画素電極を形成する工程、該
    第1の基板の薄膜トランジスタ面周縁部にシール材を配
    設する工程、透明共通電極の形成された第2の基板を、
    透明共通電極を前記第1の基板の薄膜トランジスタ面に
    対向させて前記シール材で貼り合わせる工程、該貼り合
    わせた両基板間の空隙部に液晶材料を注入する工程とを
    有していることを特徴とするカラー液晶パネルの製造方
    法。
  11. 【請求項11】 前記第1の基板上にパッシベーション
    膜を介して形成された額縁状ブラックマトリクスを、該
    第1の基板端部のシール材配設部において、そのシール
    材の厚さの少なくとも2分の1に対応する距離まで、基
    板端部から後退して形成することを特徴とする請求項1
    0に記載のカラー液晶パネルの製造方法。
  12. 【請求項12】 前記第1の基板上にパッシベーション
    膜を介して形成された額縁状ブラックマトリクスを、該
    第1の基板端部のシール材配設部において、そのシール
    材配設部よりも基板内側に形成することを特徴とする請
    求項11に記載のカラー液晶パネルの製造方法。
  13. 【請求項13】 前記シール材を第1の基板上のパッシ
    ベーション膜に直接配設することを特徴とする請求項1
    2に記載のカラー液晶パネルの製造方法。
  14. 【請求項14】 前記基板周縁部の額縁状ブラックマト
    リクスを、カップリング剤層を介してパッシベーション
    膜上に形成することを特徴とする請求項10に記載のカ
    ラー液晶パネルの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記カップリング剤として、シラン系
    表面処理剤を用いることを特徴とする請求項14に記載
    のカラー液晶パネルの製造方法。
  16. 【請求項16】 前記第2の基板の切断が前記第1の基
    板とシール材で貼り合わせた後に行われ、該第2の基板
    に形成される透明共通電極を、該第2の基板切断時の切
    断面より基板内側に形成することを特徴とする請求項1
    0〜15のいずれか1項に記載のカラー液晶パネルの製
    造方法。
  17. 【請求項17】 前記第2の基板に形成される透明共通
    電極を、シール材配設部より基板内側に形成することを
    特徴とする請求項15に記載のカラー液晶パネルの製造
    方法。
  18. 【請求項18】 前記第2の基板のシール材配設部に少
    なくとも接して額縁状ブラックマトリクスを形成するこ
    とを特徴とする請求項12又は13に記載のカラー液晶
    パネルの製造方法。
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