JP2000219570A - 透光性アルミナ焼結体の製造方法およびその用途 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】各種ランプ用発光管、半導体製造装置部材、高
温装置の測温窓等に用いる直線透過率が高い透光性アル
ミナ焼結体およびその製造方法を提供する。 【解決手段】（１）実質的に破砕面を有さない、多面体
一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ²／ｇの純度
９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末
に対して１０重量％以下のＢＥＴ比表面積が５〜２００
ｍ²／ｇのアルミナ粉末、さらに焼結助剤を添加した混
合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気〜真空中の条件下で
１６００〜１９００℃の範囲で焼結することを特徴とす
る透光性アルミナ焼結体の製造方法。 （２）上記（１）記載の方法で得られる焼結体組織の平
均粒径が２０〜５０μｍで、肉厚０．８５ｍｍを通過す
る６００ｎｍの波長光の直線透過率が５０〜７０％の多
結晶アルミナおよびその用途。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、直線透過率が高い
透光性アルミナ焼結体およびその製造方法に関し、主に
ナトリウム放電ランプあるいはメタルハライドランプ用
の発光管として、またはマイクロ波照射窓、ドライエッ
チャーチャンバー、搬送ハンド、真空チャック等の半導
体製造装置部材、高温装置の測温窓等として、あるいは
視覚的に透明感が要求される人工歯や、皿、カップ等の
装飾品として、好適な透光性アルミナ焼結体の製造方法
を提供することにある。

【０００２】

【従来の技術】ナトリウム放電管等の用途においては、
管を形成するアルミナ焼結体の透光性の向上がナトリウ
ム放電ランプの輝度あるいは視認性に関係し商品価値を
大きく左右する要因であることから、高透光性アルミナ
が要求され、従来より数々の検討がおこなわれている。 （ｉ）原料粉末；透光性アルミナの原料粉末はアルミニ
ウム以外の元素化合物量、特に可視光を吸収する元素が
少ないことが重要である。市販の原料としてはアルミニ
ウムミョウバンの熱分解によって得られる純度９９．９
％以上の高純度アルミナ粉末が最も広く用いられてい
る。また有機アルミニウムの加水分解によって得られる
高純度アルミナ粉末も使われている。これらの粉末はＢ
ＥＴ比表面積が５〜５０ｍ²／ｇでレーザー回折散乱法
による粒度分布の平均粒子径が０．５〜２．０μｍであ
り比較的広い粒度分布を有している。通常これらの粉末
に水等の溶媒、焼結助剤、有機バインダーを添加しスプ
レードライヤーにより造粒する。あるいはニーダーによ
りコンパウンドとする。

【０００３】（ii）焼結助剤；焼結助剤の検討は特に広
く検討されている。アルミナの焼結には酸化マグネシウ
ムを用いるのが最も一般的で、０．５重量％までの酸化
マグネシウムを添加して水素雰囲気中で１７５０〜１９
００℃の範囲で焼成する技術が知られている（米国特許
第３０２６２１０号明細書）。酸化マグネシウムは、焼
結過程においてポアの消滅と異常粒成長を抑制し均一な
結晶粒子を構成する効果を有する。しかし酸化マグネシ
ウムの存在により焼結体粒径は小さくなる、あるいはア
ルミナ粒界にスピネル相を形成するために透光性が低下
することが広く知られている。こうした問題に対し、酸
化マグネシウムに加え、酸化ランタンをはじめとする希
元素酸化物等を添加し、スピネル相の屈折率をアルミナ
に近づけて透光性を向上させる技術が知られている。し
かしながらこの方法ではアルミニウムよりも重い微量成
分を均一に分散させることが難しく、結果として焼結体
組織が不均一になりやすいことや、これらの微量成分が
光を吸収するために全光線透過率が低下することが問題
であった。また酸化マグネシウムに加え、さらにアルミ
ナの結晶成長を促進する効果のある酸化カルシウムを添
加し、焼結体組織を大きくすることによって透光性を高
める技術も知られている（特公昭５４−１４８００８号
公報）。しかし組織の拡大とともに、機械的強度が低下
するといった問題があった。また高純度アルミナ微粉末
に酸化マグネシウムの他に酸化ジルコニウムと酸化ハフ
ニウムを添加することによりアルミナ中への酸化マグネ
シウムの溶解度を促進させる方法も知られている（特公
昭５９−６８３１号公報）。

【０００４】（iii）製造工程；成形方法としてはプレ
ス成形、押し出し成形が広く用いられ通常は中空管形状
や平板状に成形されている。そして該成形体はまず有機
添加物を除去するために空気中５００〜１５００℃の範
囲で焼成される。さらに必要に応じて加工された後、水
素あるいは水素・窒素混合ガス等の常圧還元雰囲気ある
いは真空中１６００〜１９００℃の範囲で焼結される。
また、１４００〜１５００℃の範囲で焼結することによ
り焼結体粒径を小さくし焼結体強度を高めるとともに、
透光性を発現させるために熱間静水圧プレス（ＨＩＰ）
を用いる技術も知られている（再公表特許 国際公開番
号ＷＯ９５−０６６２２）。この方法によれば酸化マグ
ネシウムを添加しない透光性アルミナが作製できるが、
原料中もしくは仮焼体中の微量の不純物により著しく
透光性が左右されるためにキレート剤による洗浄をおこ
なう必要があること、添加物として高価な遷移金属元
素酸化物が必要であること、製造工程において大掛か
りな高圧設備を必要とするＨＩＰが必要であり、工程が
複雑でコストが高くなること、などの問題がある。

【０００５】従来の高純度アルミナ粉末は一次粒子径が
不定形状であり分散性が良くないために広い粒度分布で
あり、粗大粒子の空隙を微粒が充填するような成形体は
作製できない。また従来の高純度アルミナ粉末は微粒子
同士が凝集していたり、粗大粒子が不均一に存在してい
るため、焼結速度が不均一で粗大なポアが数多く残存す
る。数μｍ以上の粗大なポアは焼結助剤の最適化だけで
は除去することが難しく、最終的な焼結体の直線透過率
にも限界があった。高い透光性を得るためには、酸化マ
グネシウムに加え、例えば酸化ルテニウムあるいは酸化
ランタンなどを添加し、粒界のスピネル相の屈折率をア
ルミナに近づけ、透光性を向上させる技術が知られてい
る。しかしながらこの方法ではアルミニウムよりも重い
微量成分をマトリックスに均一に分散させることが難し
く、結果として焼結体組織が不均一になりやすいこと
や、これらの微量成分が光を吸収するために全光線透過
率が低下することが問題であった。また酸化マグネシウ
ム以外にアルミナの結晶成長を促進する効果のある酸化
カルシウムを添加し、焼結体組織を大きくすることによ
って透光性を高める技術も知られている。しかし組織の
拡大とともに、機械的強度が低下するといった問題があ
った。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来と同等
の結晶体組織を維持しつつ、従来よりも高い透光性を有
する多結晶アルミナ焼結体を常圧還元雰囲気〜真空中で
焼結することにより提供することを目的とし、詳細には
該焼結体組織の平均粒径が２０〜５０μｍで、肉厚０．
８５ｍｍを通過する６００ｎｍの波長光の直線透過率が
５０〜７０％の多結晶アルミナを提供することにあり、
それによってナトリウム放電ランプあるいはメタルハラ
イドランプ用の発光管として、またはマイクロ波照射窓
等の半導体製造装置部材として好適なアルミナ焼結体の
製造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、ある特定の実質
的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなる、αア
ルミナ粉末に対して１０重量％以下のＢＥＴ比表面積が
５〜２００ｍ²／ｇの微粒アルミナを添加し、さらに焼
結助剤を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気
〜真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結
することにより、目的の透光性アルミナ焼結体が得られ
ることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明は下記の（１）〜（５）を提供する。

【０００８】（１）実質的に破砕面を有さない、多面体
一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ²／ｇの純度
９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末
に対して１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面
積が５〜２００ｍ²／ｇのアルミナ粉末、さらに焼結助
剤を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気〜真
空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結する
ことを特徴とする透光性アルミナ焼結体の製造方法。 （２）実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子から
なるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ²／ｇのαアルミナ粉末
に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含ま
ず）のＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ²／ｇのアルミナ
粉末、さらにアルミナ総量に対して、酸化物換算で１０
ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満のマグネシウム、あるいは
さらに酸化物換算で１０００ｐｐｍ以下の元素周期率表
の金属元素３Ａ族元素および４Ａ族元素から選ばれる１
種類以上を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲
気〜真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼
結して得られる透光性アルミナ焼結体の製造方法。 （３）上記（１）または（２）の混合粉末と、水ある
いは有機溶媒、有機バインダー、可塑剤、分散剤、離型
剤を混合し、スラリーを調整する工程、該スラリーを
用いて成形する工程、該成形体を大気中で５００〜１
５００℃の範囲で焼成した後、常圧水素雰囲気〜真空中
の条件下で１６００℃〜１９００℃の範囲で焼結する工
程、を含む上記（１）または（２）の透光性アルミナ焼
結体の製造方法。 （４）上記（１）〜（３）記載の方法で得られる焼結体
組織の平均粒径が２０〜５０μｍで、肉厚０．８５ｍｍ
を通過する６００ｎｍの波長光の直線透過率が５０〜７
０％の多結晶アルミナ。 （５）上記（４）記載の多結晶アルミナを用いる各種ラ
ンプ用発光管または半導体製造装置用部材またはバイオ
セラミックス部材または装飾品。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。本発明のアルミナ原料として用いることのできる
アルミナ原料、すなわち、実質的に破砕面を有さない、
多面体一次粒子からなる、ＢＥＴ比表面積１〜７ｍ²／
ｇのαアルミナ粉末は、その原料に遷移アルミナまたは
熱処理により遷移アルミナとなるアルミナ粉末を、塩化
水素を含有する雰囲気ガス中にて焼成することにより得
られるαアルミナ粉末を挙げることができ、特開平６−
１９１８３３号公報あるいは特開平６−１９１８３６号
公報等に記載のαアルミナの単結晶粒子よりなるアルミ
ナ純度が９９．９９％以上の高純度であるアルミナ粉末
の製法に準じて得られる。

【００１０】本発明のアルミナ原料として、例えば、住
友化学工業（株）製のスミコランダムのＡＡ０３（１次
粒径０．３μm）、ＡＡ０４（一次粒径０．４μm）、Ａ
Ａ０５（一次粒径０．５μm）、ＡＡ０７（一次粒径
０．７μm）が挙げられる。これらの純度はすべて９
９．９９ｗｔ％以上である。

【００１１】この本発明に用いるαアルミナは、純度が
９９．９９％以上の高純度であることに加え、一次粒子
が均質で内部に欠陥を有さず、多面体形状の、Ｄ／Ｈ比
が０．５以上３．０以下の粒子で、一次粒子同士が凝集
していない単一粒子粉末を原料とすると、粒度分布がシ
ャープなために成形体中の粒子配列が均一であり粒子間
の空隙サイズが均一である。

【００１２】

【作用】本発明に用いるαアルミナは分散性が良好であ
るため、 ＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ²／ｇの微粒
アルミナが均一に混合されて、αアルミナ粒子間の空隙
を充填することが出来るため、成形体中に粗大なポアが
少なく、焼結後に残存するポア数が少なく、またポアも
小さくなるため、高い透光性が得られる。顆粒にした場
合は添加した微粒アルミナが顆粒表面に偏析するが、こ
れにより顆粒表面のバインダー等の有機物の偏析が抑制
され、また成形体の脱脂後の空隙は微粒アルミナで充填
されるため、残存する粗大なポアが少なく、高い透光性
の焼結体が作製できる。

【００１３】本発明の主原料とするアルミナ粒子はＢＥ
Ｔ比表面積が１〜７ｍ²／ｇであるが、ＢＥＴ比表面積
が１ｍ²／ｇ未満では成形体中のポア径が０．１５μｍ
を越えるものが存在する為、焼結中に除去できない。ま
た緻密化するための焼結温度が１９００℃以上が必要で
あるため好ましくない。またＢＥＴ比表面積が７ｍ²／
ｇを越えると粒子同士が凝集するため、粒度分布がブロ
ードとなり、粗大なポアの残存や酸化マグネシウム等の
焼結助剤の偏析、ＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ²／ｇ
のアルミナ粉末の偏析の原因となり、局所的な粒成長が
生じ、ポアが残存するため好ましくない。さらには純度
が９９．９９％未満では不純物が光を吸収するため透光
性が低下する、あるいは不純物による局所的な異常粒成
長が進行しポアが残存するため好ましくない。

【００１４】上記のＢＥＴ比表面積が１〜７ｍ²／ｇの
αアルミナ粉末は純度９９．９９％以上のものである
が、原料中に含まれている０．０１重量％未満のアルミ
ニウム以外の元素の酸化物あるいは塩類、または１００
０℃以下の焼成により原料中より除去できる１重量部未
満の水、有機物、ハロゲンは本発明のアルミナ焼結体の
特徴を損うものではなく、許容されるものである。

【００１５】上記のＢＥＴ比表面積が１〜７ｍ²／ｇの
αアルミナ粉末は、αアルミナの六方格子面に平行な最
大粒子径をＤ、六方細密格子面に垂直な粒子径をＨとし
た場合に、Ｄ／Ｈ比が０．５以上２．０未満であるαア
ルミナ粒子からなり、該αアルミナ粒子の数平均粒径が
０．０１μｍ以上１．０μｍ以下であり、累積粒度分布
の微粒側からの累積１０％、累積９０％の粒径をそれぞ
れＤ１０、Ｄ９０としたときにＤ９０／Ｄ１０の値が１
０以下の粒度分布を有する粉末が好ましい。

【００１６】次に、本発明のアルミナ焼結体の製造方法
について説明する。本発明では、まず上記ＢＥＴ比表面
積が１〜７ｍ²／ｇのαアルミナ粉末に、該アルミナ粉
末に対して１０重量％以下（０を含まず）、好ましくは
０．５〜７重量％、さらに好ましくは２〜５重量％のＢ
ＥＴ比表面積が５〜２００ｍ²／ｇのアルミナ粉末、酸
化マグネシウム等の焼結助剤あるいはさらに酸化ジルコ
ニウムを添加した混合粉末に、溶媒、有機バインダー、
可塑剤、分散剤を混合し、スラリーを調整する。次に該
スラリーを用いて成形し、必要に応じ該成形体を大気中
で５００〜１５００℃の範囲で焼成した後、得られた成
形体を常圧水素雰囲気〜真空中の条件下で１６００〜１
９００℃の範囲で焼結して目的とするアルミナ焼結体を
製造する。

【００１７】本発明において添加するＢＥＴ比表面積が
５〜２００ｍ²／ｇの微粒アルミナは必ずしもα相でな
くとも良い。好ましくは１４〜１２０ｍ²／ｇであり、
例えば、大明化学社製のＴＭ―ＤＡＲ（ＢＥＴ比表面積
１４．４ｍ²／ｇ）やデグッサ社製のＡｌ２Ｏ３−ｃ
（ＢＥＴ比表面積１１０ｍ²／ｇ）を挙げることができ
る。また特に高純度な微粒アルミナとして住友化学工業
社製のＡＫＰ−３０（ＢＥＴ比表面積６．８ｍ²／ｇ）
を挙げることができるが、本発明はこれに限定されるも
のではない。

【００１８】焼結助剤としては、マグネシウム化合物に
加えさらに、元素周期率表の金属元素３Ａ族化合物およ
び４Ａ族化合物から選ばれる１種類以上を混合する。化
合物としては、酸化物、硝酸塩、酢酸塩、水酸化物、塩
化物等が挙げられるが、大気中での焼結時、１２００℃
以下で酸化物になる化合物であればよくこれに限定され
ない。具体的には、マグネシウム、スカンジウム、イッ
トリウム、ジルコニウム、ハフニウム、ランタンが挙げ
られる。焼結助剤としては、特にマグネシウム化合物お
よびジルコニウム化合物が好ましく、さらには酸化マグ
ネシウムおよび酸化ジルコニウムが好ましい。これら
は、大気中での焼結時に酸化物となり焼結助剤として効
果を発現する。通常、該アルミナ粉末に焼結助剤を酸化
物換算で総計１０ｐｐｍ以上１０００ｐｐｍ以下、好ま
しくは１０ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満添加する。ま
た、用途により高純度の焼結体、例えば、９９．９９ｗ
ｔ％以上が必要な場合、該アルミナ粉末に焼結助剤を酸
化物換算で１０〜１００ｐｐｍ、さらには、１０〜５０
ｐｐｍ添加することが好ましい。これらの焼結助剤が密
度を上げる機構としては、明らかではないが粒界に異相
として存在し粒界の成長を抑制、ポアが除外されやすく
なる、また、液相を形成、それを通じてポアが除外され
やすくなる等が考えられる。

【００１９】焼結助剤として添加するマグネシウムは加
水分解あるいは焼成中に酸化物となるマグネシウム源で
あればどんなものでも使用することが出来るが、最も好
適なものとして硝酸マグネシウムを挙げることが出来
る。同様に、添加するジルコニウムは加水分解あるいは
焼成中に酸化物となるジルコニウム源であればどんなも
のでも使用することができるが、最も好適なものとして
オキシ塩化ジルコニウムを挙げることができる。

【００２０】有機バインダーとしては、ポリビニルアル
コール、ポリビニルアセタール、各種アクリル系ポリマ
ー、メチルセルロース、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルブ
チラール系、各種ワックス、各種多糖類を用いることが
できるが本発明はこれらに限定されるものではない。

【００２１】溶媒としては使用するバインダーの種類や
成形方法によって異なるが、スプレードライヤーにより
顆粒を製造する場合に用いる、ポリビニルアルコールで
は水が主に用いられる。処方によっては各種有機溶媒も
用いることができる。

【００２２】分散剤としては、溶媒が水の場合は主にポ
リアクリル酸アンモニウム塩［例えば商品名；ＳＮ−Ｄ
５４６８、サンノプコ（株）品］が用いられる。また有
機溶媒の場合にはオレイン酸エチル、ソルビタンモノオ
レート、ソルビンタントリオレート、ポリカルボン酸系
等が用いられるが、特に本発明で原料とするアルミナ原
料粉末には、ポリエステル系［商品名；テキサホール３
０１２、サンノプコ（株）品］が好ましいが、これらに
限定されるものではない。併用する有機バインダーによ
っては、分散剤を用いない方が粘度の低いスラリーが作
製できる。

【００２３】可塑剤は用いる有機バインダーによって異
なるが、エチレングリコール、ジエチレングリコール、
ポリエチエレングリコール、グリセリン、ポリグリセリ
ン、各種エステル系等が用いられる。特に有機溶媒を用
いる場合には、ジブチルフタレート、フタル酸ジエチル
ヘキシル等が用いられるが、本発明はこれらに限定され
るものではない。

【００２４】本発明において、その他の添加剤として、
離型剤や凝集剤やｐＨ調整剤を添加することもできる
が、アルミナ以外の溶媒や添加物中にアルミニウム以外
の無機不純物がないことが重要である。

【００２５】次にスラリーの作製法および成形法につい
て説明すると、まず前記アルミナ原料粉末、溶媒、分散
剤を適量配合し、機械的な撹拌混合を行う。このときに
ボールミルによる混合は広く一般におこなわれているこ
とであるが、本発明において原料とするアルミナ粉末
は、凝集が少なく粒子形状ならびに粒子径が揃った粉末
であるため、超音波槽を用いて外部より超音波を照射す
る、あるいは超音波ホモジナイザーにより超音波を照射
することによって、溶媒中で容易に分散し、均一なスラ
リーとなることが特徴である。セラミックスボール等の
メディアを使用しない分散方法は、アルミニウム以外の
酸化物あるいは塩類の混入を避ける意味で好ましい。超
音波は槽容量４０リットルの場合、１０キロヘルツ以上
好ましくは２５キロヘルツ以上の照射能力が望ましい。
撹拌混合時間は該スラリーの容量によって異なるが、例
えばスラリー量が１０リットルの場合、３０分以上おこ
なうことが望ましい。このように原料粉末を充分に分散
させた後、有機バインダーを混合する。この混合は、例
えばスラリー量が１０リットルの場合、１時間以上おこ
なうことが望ましい。

【００２６】前記のように調整したスラリーを減圧下に
おいて、脱泡してもよい。また各種消泡剤を用いてもよ
い。またその後の成形方法によって、各種ｐＨ調整剤や
凝集剤の添加により粘度を５０〜１００００センチポイ
ズとしてもよい。たとえばスプレードライヤーによる造
粒では球形の顆粒を作製するために、アルミナスラリー
の粘度は塩酸水溶液やアンモニア水等によるｐＨ調整
で、３００〜４００センチポイズに調整することが好ま
しい。さらには静置沈降や遠心分離やロータリーエバポ
レーター等による減圧濃縮等により、スラリー中のアル
ミナ濃度を高めることもできる。

【００２７】本発明において、成形方法としては、前記
スラリーを用いて、スリップキャスト法、遠心キャスト
成形法、押出し成形法等慣用の方法を用いることができ
る。また前記スラリーをスプレードライ等により顆粒状
とした後、プレス成形や冷間静水圧プレス成形すること
ができる。

【００２８】冷間静水圧プレス成形の場合、前記スラリ
ーをスプレードライ等により顆粒状とし、この顆粒を５
０〜５００Ｋｇ／ｃｍ²、好ましくは２００〜３００ｋ
ｇ／ｃｍ²の圧力で一軸プレス成形した後、冷間静水圧
プレス成形機にて０．５〜３ｔ／ｃｍ²、好ましくは
１．０〜１．５ｔ／ｃｍ²で等方的に加圧し、得られた
成形体を所定の形状に加工する。

【００２９】上記の成形法で得られた成形体は、５００
〜１５００℃の範囲で１時間以上、好ましくは９００〜
１２００℃の範囲で３時間以上焼成し、脱脂する。その
後、常圧還元雰囲気あるいは真空中で温度範囲が１６０
０〜１９００℃、好ましくは１７５０〜１８５０℃、さ
らに好ましくは１７８０〜１８２０℃で焼結して目的と
するアルミナ焼結体を製造する。焼成温度が１６００℃
より低いと充分緻密化せず、また、１９００℃よりも高
い温度で焼成すると、焼結体粒径が大きくなり、ポアが
残存したり焼結体の機械的強度が低下するため好ましく
ない。

【００３０】本発明の焼結体組織の平均粒径は２０〜５
０μｍであり、肉厚０．８５ｍｍを通過する６００ｎｍ
の波長光の直線透過率は５０〜７０％の多結晶アルミナ
である。本発明の焼結体はこれにより、例えば乾式成形
後に水素雰囲気中で焼結する等の通常の方法により作製
することにより、ナトリウム放電ランプあるいはメタル
ハライドランプ用の発光管として、またマイクロ波照射
窓等の半導体製造装置部材、高温装置の測温窓等とし
て、あるいは視覚的に透明感が要求される人工歯や、
皿、カップ等の装飾品として、好適に用いることができ
る。

【００３１】

【実施例】次に本発明の実施例を挙げ、本発明を詳細に
説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるもの
ではない。

【００３２】なお本発明に於ける各種の測定は次のよう
にしておこなった。 （１）ＢＥＴ比表面積の測定 島津製作所フローソーブ２３００により測定した。 （２）直線透過率の測定 両面をダイヤモンドスラリーを用いて鏡面研磨した厚み
０．８５ｍｍの円形ペレットを島津製作所ＵＶ−１２０
０を使用し波長６００ｎｍの透過率（スリット径０．５
５ｍｍ）を測定した。 アルミナ透光体の焼結体組織の観察 （２）で透過率測定に使用したペレットを空気中１６５
０℃で１時間焼成し、該表面を光学顕微鏡（株式会社ニ
コン：Ｔ−３００）を使用して倍率５０倍の写真を撮影
した。その写真から切片法により組織粒径を計測した。

【００３３】なお、比較例には、純度９９．９９％では
あるが、破砕面を有する多面体形状ではないアルミナ粉
末として、住友化学工業（株）製のＡＫＰ−２０（ＢＥ
Ｔ比表面積；４．２ｍ²／ｇ）を用いた。

【００３４】実施例１ 実質的に破砕面を有さないαアルミナとして、住友化学
工業株式会社製αアルミナ粉末（商品名スミコランダム
ＡＡ０４）を用いた。該アルミナ粉末は８〜２０面を有
する多面体粒子よりなり、Ｄ／Ｈは１であった。ＢＥＴ
比表面積は３．５ｍ²／ｇであった。この粉末のレーザ
ー回折散乱法による平均粒径は０．５２μｍであった。
ＡＡ０４粉末；４７５０ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、
硝酸マグネシウム六水和物（試薬特級）；６．４ｇ（全
アルミナ粉末に対し、酸化マグネシウムとして２００ｐ
ｐｍ）、分散剤ポリカルボン酸アンモニウム４０重量％
水溶液（（株）サンノプコ品；商品名ＳＮ−Ｄ５４６
８）；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１１０ｍ²／ｇ
の微粒アルミナ（デグッサ社品；商品名Ａｌ２Ｏ３−
ｃ）；２５０ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌
混合をおこなった。その後有機バインダーとしてポリビ
ニルアルコール（（株）クラレ品；商品名ＰＶＡ−２０
５Ｃ）の１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤として
ポリエチレングリコール＃４００（試薬特級）を１０ｇ
添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。こ
のスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆
粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿し
た後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３
ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより
１．５ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５
ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中
９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した
後、水素中（露点０℃）１８００℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は５４％であった。焼結体組織
の平均粒径は３６μｍであった。

【００３５】実施例２ 実施例１に記載のＡＡ０４粉末；４９００ｇ、水；３１
００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散剤
ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１
４．４ｍ²／ｇの微粒アルミナ（大明化学社品；商品名
ＴＭ−ＤＡＲ）；１００ｇを超音波を照射しながら、３
０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーと
してＰＶＡ２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、
可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ
添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。こ
のスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆
粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿し
た後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３
ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより
１．０ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５
ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中
９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した
後、水素中１８００℃で４時間焼成した。得られた焼結
体の透過率は５２％であった。焼結体組織の平均粒径は
４０μｍであった。

【００３６】実施例３ 実施例１に記載のＡＡ０４粉末；４９００ｇ、水；３１
００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；４．８ｇ、オキシ
塩化ジルコニウム；３．９ｇ（全アルミナ粉末に対し、
酸化ジルコニウムとして３００ｐｐｍ）、分散剤ＳＮ−
Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１４．４
ｍ²／ｇの微粒アルミナ（大明化学社品；商品名ＴＭ−
ＤＡＲ）；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間
撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰ
ＶＡ２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤
としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加
し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。このス
ラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を
作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した
後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ
／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．
５ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍ
の円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９０
０℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水
素中（露点；０℃）１８２０℃で４時間焼成した。得ら
れた焼結体の透過率は６３％であった。焼結体組織の平
均粒径は４０μｍであった。

【００３７】実施例４ 実質的に破砕面を有さないαアルミナとして、住友化学
工業株式会社製αアルミナ粉末（商品名スミコランダム
ＡＡ０７）を用いた。該アルミナ粉末は８〜２０面を有
する多面体粒子よりなり、Ｄ／Ｈは１であった。ＢＥＴ
比表面積は２．８ｍ²／ｇであった。この粉末のレーザ
ー回折散乱法による平均粒径は０．７８μｍであった。
ＡＡ０７粉末；４９００ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、
硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ
５４６８；１２５ｇ、さらにＴＭ−ＤＡＲ；１００ｇを
超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなっ
た。その後有機バインダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１
０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレ
ングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混
合してスラリーを調製した。このスラリーを、スプレー
ドライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒
を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油
圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ²の荷重で、さ
らに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ²の荷重
で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製
した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成
し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点０℃）
１８２０℃で４時間焼成した。得られた焼結体の透過率
は５５％であった。焼結体組織の平均粒径は３８μｍで
あった。

【００３８】実施例５ 実施例１のＡＡ０４粉末；４９００ｇ、水（溶媒）；３
１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散
剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積
６．８ｍ²／ｇの微粒アルミナ（住友化学社品；商品名
ＡＫＰ−３０）；１００ｇを超音波を照射しながら、３
０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーと
してＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇ
と、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１
０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製し
た。このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾
燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５ｗｔ％に
調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で
０．３ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレスに
より１．５ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高
さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を
大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去
した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成し
た。得られた焼結体の透過率は５１％であった。焼結体
組織の平均粒径は３５μｍであった。

【００３９】実施例６ 実施例３の円柱成形体を大気中９００℃で３時間焼成し
た後、真空中（１０^-2ｔｏｒｒ）１８００℃で４時間焼
成した。得られた焼結体の透過率は５３％であった。焼
結体組織の平均粒径は４４μｍであった。

【００４０】実施例７ 実施例１のＡＡ０４粉末；９８ｇ、エタノール（溶
媒）；１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物（試薬特
級）；０．０９６ｇ（全アルミナ粉末に対し、酸化マグ
ネシウムとして１５０ｐｐｍ）、オキシ塩化ジルコニウ
ム；０．０７８ｇ（全アルミナ粉末に対し、酸化ジルコ
ニウムとして３００ｐｐｍ）、さらにＴＭ−ＤＡＲ；２
ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこな
った。その後ロータリーエバポレーターにより、エタノ
ールを除去し、得られたケーキを１５０℃で熱風乾燥し
た。乾燥物を乳鉢で解砕し、アルミナ粉末を得た。この
粉末を油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ²の荷
重で、さらに冷間静水圧プレスにより０．７ｔ／ｃｍ²
の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体
を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間
焼成した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼
成した。得られた焼結体の透過率は６５％であった。焼
結体組織の平均粒径は３６μｍであった。

【００４１】実施例８ 実質的に破砕面を有さないαアルミナとして、住友化学
工業株式会社製αアルミナ粉末（商品名スミコランダム
ＡＡ０3）を用いた。該アルミナ粉末は８〜２０面を有
する多面体粒子よりなり、Ｄ／Ｈは１であった。ＢＥＴ
比表面積は４．５ｍ²／ｇであった。この粉末のレーザ
ー回折散乱法による平均粒径は０．４５μｍであった。
ＡＡ０３粉末；４９００ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、
硝酸マグネシウム六水和物；４．８ｇ、オキシ塩化ジル
コニウム；３．９ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５
ｇ、さらにＴＭ−ＤＡＲ；１００ｇを超音波を照射しな
がら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バイ
ンダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０
００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４０
０を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調
製した。このスラリーを、スプレードライヤーにより噴
霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量
％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形
機で０．３ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレ
スにより１．５ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、
高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体
を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除
去した後、水素中（露点０℃）１８００℃で４時間焼成
した。得られた焼結体の透過率は５８％であった。焼結
体組織の平均粒径は４０μｍであった。

【００４２】比較例１ 実施例１のＡＡ０４粉末；５０００ｇ、水（溶媒）；３
１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散
剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、を超音波を照射しなが
ら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バイン
ダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１００
０ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００
を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製
した。このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧
乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％
に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機
で０．３ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレス
により１．５ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高
さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を
大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去
した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成し
た。得られた焼結体の透過率は４２％であった。焼結体
組織の平均粒径は３５μｍであった。

【００４３】比較例２ 比較例１の円柱成形体を大気中９００℃で３時間焼成し
た後、真空中（10^ー2ｔｏｒｒ）１８００℃で４時間焼成
した。得られた焼結体の透過率は４０％であった。焼結
体組織の平均粒径は４０μｍであった。

【００４４】比較例３ 実施例１のＡＡ０４粉末；５０００ｇ、水（溶媒）；３
１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；４．８ｇ、オキ
シ塩化ジルコニウム；３．９ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６
８；１２５ｇ、を超音波を照射しながら、３０分間撹拌
混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ
−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤と
してポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、
６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。このスラリ
ーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製
した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金
型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ
²の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／
ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱
成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で
３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中
（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成した。得られた焼
結体の透過率は４５％であった。焼結体組織の平均粒径
は３８μｍであった。

【００４５】比較例４ 本比較例４では、純度９９．９９％のアルミナ原料粉末
（住友化学工業（株）商品名；ＡＫＰ−２０）を使用し
た。このアルミナ粉末の一次粒子は多面体形状ではない
不定形粒子であり、Ｄ／Ｈが２より大きかった。またこ
の粒子のＢＥＴ比表面積は４．２ｍ²／ｇであった。こ
の粉末のレーザー回折散乱法による平均粒子径は０．５
４μｍであった。ＡＫＰ−２０粉末；５０００ｇ、水；
３１００ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；６．４ｇ（全
アルミナ粉末に対し、酸化マグネシウムとして２００ｐ
ｐｍ）、さらにＢＥＴ比表面積１１０ｍ²／ｇの微粒ア
ルミナ（デグッサ社品；商品名Ａｌ２Ｏ３−ｃ）；２５
０ｇを添加し、超音波を照射しながら３０分間撹拌混合
をおこなった。この後さらに有機バインダーとしてＰＶ
Ａ２０５ｃの１０重量％溶液を１０００ｇ、可塑剤とし
てポリエチレングリコール（重合度４００）を１０ｇを
添加し、６０分間攪拌混合してスラリーを調製した。こ
のスラリーをスプレードライヤーにより噴霧乾燥し、顆
粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿し
た後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．７
ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレスで１．５
ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；１０ｍｍ
の円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９０
０℃で３時間焼成した後、水素中（露点；０℃）にて１
８２０℃で４時間焼成した。得られた焼結体は白濁して
おり透光性は得られなかった。焼結体組織の平均粒径は
３５μｍであった。焼結体中には１μmを越えるポアが
多数残存していた。また５０μmを越える粗大な組織も
観察された。

【００４６】比較例５ 比較例４のＡＫＰ−２０粉末；５０００ｇ、水；３１０
０ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；６．４ｇ、さらにＢ
ＥＴ比表面積１４．４ｍ²／ｇの微粒アルミナ（大明化
学社品；商品名ＴＭ−ＤＡＲ）；１００ｇを超音波を照
射しながら３０分間撹拌混合をおこなった。その後鉄球
入りプラスチックボールをメディアとして３時間ボール
ミルをおこなった。この後さらに有機バインダーとして
ＰＶＡ２０５ｃの１０重量％溶液を１０００ｇ、可塑剤
としてポリエチレングリコール（重合度４００）を１０
ｇを同時に添加し、３時間ボールミルをおこないスラリ
ーを調製した。このスラリーをスプレードライヤーによ
り噴霧乾燥し、顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．
５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレ
ス成形機で０．７ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水
圧プレスで１．５ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍ
ｍ、高さ；１０ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの
成形体を大気中１２００℃で３時間焼成した後、水素中
（露点；０℃）にて１８２０℃で４時間焼成した。得ら
れた焼結体の透過率は１０％であった。焼結体組織の平
均粒径は３５μｍであった。

【００４７】比較例６ 比較例１のＡＫＰ−２０；４９００ｇ、水（溶媒）；５
０００ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；４．８ｇ、オキ
シ塩化ジルコニウム；３．９ｇ、さらにＢＥＴ比表面積
１４．４ｍ²／ｇの微粒アルミナ（ＴＭ−ＤＡＲ）；１
００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をお
こなった。その後鉄球入りプラスチックボールをメディ
アとして、３時間ボールミルをおこなった。この後さら
に有機バインダーとしてＰＶＡ２０５ｃの１０重量％溶
液を１０００ｇ、可塑剤としてポリエチレングリコール
（重合度４００）を１０ｇを同時に添加し、３時間ボー
ルミルをおこないスラリーを調製した。このスラリーを
スプレードライヤーにより噴霧乾燥し、顆粒を作製し
た。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型
に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．７ｔ／ｃｍ²
の荷重で、さらに冷間静水圧プレスで１．５ｔ／ｃｍ²
の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；１０ｍｍの円柱成形
体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時
間焼成した後、水素中（露点；０℃）にて１８２０℃で
４時間焼成した。得られた焼結体の透過率は１５％であ
り、焼結体組織は３８μmであった。

【００４８】比較例７ 比較例６の円柱成形体を大気中９００℃で３時間焼成し
た後、真空中（１０^ー2ｔｏｒｒ ）１８００℃で４時間
焼成した。得られた焼結体は白濁しており透光性は得ら
れなかった。この焼結体の組織は４０μmであった。焼
結体中には１μmを越えるポアが多数残存していた。ま
た５０μmを越える粗大な組織も観察された。

【００４９】比較例８ 比較例１のＡＫＰ−２０；４９００ｇ、水（溶媒）；５
０００ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；６．４ｇ、さら
にＢＥＴ比表面積６．８ｍ²／ｇの微粒アルミナ（ＡＫ
Ｐ−３０）；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分
間撹拌混合をおこなった。その後鉄球入りプラスチック
ボールをメディアとして、３時間ボールミルをおこなっ
た。この後さらに有機バインダーとしてＰＶＡ２０５ｃ
の１０重量％溶液を１０００ｇ、可塑剤としてポリエチ
レングリコール（重合度４００）を１０ｇを同時に添加
し、３時間ボールミルをおこないスラリーを調製した。
このスラリーをスプレードライヤーにより噴霧乾燥し、
顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿
した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．
７ｔ／ｃｍ²の荷重で、さらに冷間静水圧プレスで１．
５ｔ／ｃｍ²の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；１０ｍ
ｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９
００℃で３時間焼成した後、水素中（露点；０℃）にて
１８２０℃で４時間焼成した。得られた焼結体の透過率
は１０％であり、焼結体組織の平均粒径は３５μmであ
った。

【００５０】以上、実施例１〜８と比較例１、２、３を
みると、破砕面を有さない多面体一次粒子からなるαア
ルミナ粉末に微粒アルミナを添加すると焼結体の直線透
過率が向上することがわかる。実施例１〜８と比較例４
〜８をみると、破砕面を有し、多面体一次粒子ではない
αアルミナ粉末に微粒アルミナを混合しても、焼結体の
直線透過率は向上せず、逆に低下する傾向にあることが
わかる。以上の結果を下表に示す。

【００５１】

【表１】

【００５２】

【発明の効果】本発明の製造方法により、直線透過率が
高い透光性アルミナ焼結体を取得でき、該アルミナ焼結
体は、主にナトリウム放電ランプあるいはメタルハライ
ドランプ用の発光管として、または半導体製造装置部
材、高温装置の測温窓等に用いることができる。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒
   子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ²／ｇの純度９９．
   ９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対し
   て１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が５
   〜２００ｍ²／ｇのアルミナ粉末、さらに焼結助剤を添
   加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気〜真空中の
   条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結することを
   特徴とする透光性アルミナ焼結体の製造方法。
2. 【請求項２】焼結助剤がマグネシウム化合物である請求
   項１記載の透光性アルミナ焼結体の製造方法。
3. 【請求項３】焼結助剤がマグネシウム化合物に加えさら
   に、元素周期率表の金属元素３Ａ族化合物および４Ａ族
   化合物から選ばれる１種類以上である請求項１記載の透
   光性アルミナ焼結体の製造方法。
4. 【請求項４】マグネシウム化合物の添加量がアルミナ総
   量に対して、酸化物換算で１０ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ
   未満である請求項２記載の透光性アルミナ焼結体の製造
   方法。
5. 【請求項５】実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒
   子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ²／ｇの純度９９．
   ９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対し
   て１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が５
   〜２００ｍ²／ｇのアルミナ粉末、さらにアルミナ総量
   に対して、酸化物換算で１０ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未
   満のマグネシウム、あるいはさらに酸化物換算で１００
   ０ｐｐｍ以下の元素周期率表の金属元素３Ａ族元素およ
   び４Ａ族元素から選ばれる１種類以上を添加した混合粉
   末を、成形し、常圧水素雰囲気〜真空中の条件下におい
   て１６００〜１９００℃の範囲で焼結して得られる透光
   性アルミナ焼結体の製造方法。
6. 【請求項６】αアルミナに対して、０．５〜７重量％の
   ＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ²／ｇのアルミナ粉末を
   添加する請求項１〜５記載の透光性アルミナ焼結体の製
   造方法。
7. 【請求項７】（１）請求項１〜６記載のの混合粉末と、
   水あるいは有機溶媒、有機バインダー、可塑剤、分散
   剤、離型剤を混合し、スラリーを調整する工程、（２）
   該スラリーを用いて成形する工程、（３）該成形体を大
   気中で５００〜１５００℃の範囲で焼成した後、常圧水
   素雰囲気〜真空中の条件下で１６００℃〜１９００℃の
   範囲で焼結する工程、を含む請求項１〜６記載のの透光
   性アルミナ焼結体の製造方法。
8. 【請求項８】請求項１〜７記載の方法で得られる焼結体
   組織の平均粒径が２０〜５０μｍで、肉厚０．８５ｍｍ
   を通過する６００ｎｍの波長光の直線透過率が５０〜７
   ０％の多結晶アルミナ。
9. 【請求項９】請求項８記載の多結晶アルミナを用いる各
   種ランプ用発光管、半導体製造装置用部材、バイオセラ
   ミックス部材または装飾品。