JP7311286B2 - アルミナ焼結体の製造方法およびアルミナ焼結体 - Google Patents
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Description
粒径0.1μm以上1μm未満のアルミナ粒子と、粒径1μm以上100μm未満のアルミナ粒子と、を含むアルミナ粉末を成形して、アルミナ物品を得る工程と、
前記アルミナ物品の表面に炭素粉末含有層を形成して積層物を得る工程と、
前記積層物の前記炭素粉末含有層の表面にレーザを照射して、透明なアルミナ焼結部を形成する工程と、を含むアルミナ焼結体の製造方法である。
前記アルミナ物品の総細孔容積が0.20mL/g以下であり、細孔径4μm以上の細孔の累積細孔容積が総細孔容積の10%未満である、態様1に記載の焼結方法である。
前記アルミナ粉末が、
粒径1μm以上100μm未満のアルミナ粒子を30~95体積%と、
粒径0.1μm以上1μm未満のアルミナ粒子を5~70体積%を含む、態様1または2に記載の焼結方法である。
透明なアルミナ焼結部を含むアルミナ焼結体であって、
当該アルミナ焼結部は、
可視光領域の透過率が50%以上であり、
単位面積あたりの単結晶状組織の数が0.2個/mm2以上、25個/mm2未満である、アルミナ焼結体である。
本実施形態に係るアルミナ焼結体の製造方法は、アルミナ粉末から成形した成形体(アルミナ物品)をレーザ照射により焼結して、透明なアルミナ焼結部を含むアルミナ焼結体を製造するものであり、以下の工程1~3を含む。
[工程1]異なる粒径の粒子を含むアルミナ粉末を成形して、アルミナ物品を作製する
[工程2]得られたアルミナ物品の表面に炭素粉末含有層を形成して、アルミナ物品および炭素粉末含有層が積層された積層物を作製する
[工程3]積層物の炭素粉末含有層の表面にレーザを照射して焼結し、透明なアルミナ焼結部を含むアルミナ焼結体を作製する
以下、図1~図4を参照しながら、実施形態1に係る透明アルミナ焼結体の製造方法を説明する。
工程1では、異なる粒径の粒子を含むアルミナ粉末を成形して、成形体(アルミナ物品21)を作製する。アルミナ粉末としては、図1、図2に示すように、粒径0.1μm以上1μm未満のアルミナ粒子(本明細書では「小粒径のアルミナ粒子11」と称する)と、粒径1μm以上100μm未満のアルミナ粒子(本明細書では「大粒径のアルミナ粒子12」と称する)とを含むものを使用する。
本実施の形態では、アルミナ物品に好適なアルミナ粉末は、大きく分けて2つ挙げられる。図1に示す第1のアルミナ粉末100は、小粒径のアルミナ粒子11と大粒径のアルミナ粒子12とを拡散混合して得られたアルミナ粉末である。図2に示す第2のアルミナ粉末10は、小粒径のアルミナ粒子11と大粒径のアルミナ粒子12とをジェットミル混合して得られたアルミナ粉末である。第2のアルミナ粉末10は、大粒径のアルミナ粒子12の表面に小粒径のアルミナ粒子11が結合したアルミナ複合粒子13から主として構成されている。
以下に、第1のアルミナ粉末100と、第2のアルミナ粉末10について順次説明する。
第2のアルミナ粉末10の調製方法の詳細については後述する。
本明細書において、第2のアルミナ粉末10に含まれる小粒径のアルミナ粒子11および大粒径のアルミナ粒子12の粒径、含有量等についての記載は、超音波振動によってアルミナ複合体13を小粒径のアルミナ粒子11および大粒径のアルミナ粒子12に分離した後の、それぞれの粒径、含有量等について述べている。
それらの機能をより効果的に発揮するためには、小粒径のアルミナ粒子11の含有量が5~70体積%、大粒径のアルミナ粒子12の含有量が30~95体積%であることが好ましい。小粒径のアルミナ粒子11の含有量は、8~60体積%であることがより好ましく、10~50体積%であることが特に好ましい。大粒径のアルミナ粒子12の含有量は、40~92体積%であることがより好ましく、50~90体積%であることが特に好ましい。
また、第2のアルミナ粉末10は、小粒径のアルミナ粒子11と大粒径のアルミナ粒子12のみを含むアルミナ複合粒子13のみから成ってもよく、当該アルミナ複合粒子13に加えて、小粒径のアルミナ粒子11および/または大粒径のアルミナ粒子12(互いに結合せずに単独の状態のままの粒子)を含んでもよい。さらに、アルミナ複合粒子13と、小粒径のアルミナ粒子11および/または大粒径のアルミナ粒子12とに加えて、他のアルミナ粒子(例えば、粒径100μm以上のアルミナ粒子、および/または粒径0.1μm未満のアルミナ粒子)を、本発明の効果を損なわない範囲で、含んでもよい。
一方、第2のアルミナ粉末10の場合、第2のアルミナ粉末10に含まれる小粒径のアルミナ粒子11および大粒径のアルミナ粒子12の粒径および含有量は、上記超音波振動により小粒径のアルミナ粒子11と大粒径のアルミナ粒子12とを分離した後、レーザ回折分散法により測定する。まず、第2のアルミナ粉末10を水溶液中に分散させて、振動強度40Wで5分以上、超音波振動を付与する。これにより、アルミナ複合粒子13のほぼ全てを大粒径のアルミナ粒子12と小粒径のアルミナ粒子11に分離することができる。その後、溶液中に分散した状態の大粒径のアルミナ粒子12および小粒径のアルミナ粒子11について、粒径をレーザ回折分散法で測定する。
上述したレーザ回折分散法で得られた粒径の測定結果から、縦軸を体積基準の累積分布、横軸を粒径としてプロットした粒度分布曲線(例えば、図3)を作成する。この粒度分布曲線において、(粒径1μmの累積分布値)-(粒径0.1μmの累積分布値)を小粒径の含有量とし、(粒径100μmの累積分布値)-(粒径1μmの累積分布値)を大粒径の含有量とする。
図2に示す第2のアルミナ粉末10の調製方法について詳述する。
第2のアルミナ粉末10は、比表面積が1.5m2/g以上15m2/g未満の第1のアルミナ粒子と、比表面積が0.01m2/g以上1.5m2/g未満の第2のアルミナ粒子とを、解砕しながら混合する工程を含む方法により製造することができる。このような方法として、第1のアルミナ粒子と第2のアルミナ粒子とをジェットミルにより混合する工程(混合工程)を含む方法が挙げられる。
以下に、混合工程の一例を説明する。
比表面積が1.5m2/g以上の第1のアルミナ粒子と、比表面積が1.5m2/g未満の第2のアルミナ粒子を準備する。第1のアルミナ粒子は、比表面積が1.5m2/g以上15m2/g未満が好ましく、2m2/g以上10m2/g未満がより好ましい。第2のアルミナ粒子は、比表面積が0.01m2/g以上1.5m2/g未満が好ましく、0.03m2/g以上1.0m2/g未満がより好ましい。
準備した第1のアルミナ粒子および第2のアルミナ粒子を袋に投入して封止し、袋を振ることにより、第1のアルミナ粒子と第2のアルミナ粒子とを予備混合して、混合物を得る。予備混合を行うと、第1のアルミナ粒子の一部が、第2のアルミナ粒子の表面に弱い力で付着する。袋に投入する第1のアルミナ粒子と第2のアルミナ粒子の配合比は、質量比で、20:80~80:20であることが好ましく、30:70~70:30であることがより好ましい。
予備混合で得られた混合物をジェットミル混合することにより、第2のアルミナ粉末10が得られる。
ジェットミルで混合すると、混合中に、第1のアルミナ粒子と第2のアルミナ粒子が衝突する。そのときに、第1のアルミナ粒子は解砕されて、第2のアルミナ粉末10における「小粒径のアルミナ粒子11」となり、第2のアルミナ粒子は解砕されて、第2のアルミナ粉末10における「大粒径のアルミナ粒子12」となる。また、小粒径のアルミナ粒子11は、大粒径のアルミナ粒子12の表面に強く結合するようになる。
第1のアルミナ粉末100または第2のアルミナ粉末10を成形して、アルミナ物品21を得る。例えば、図4Aのように、成形用の金型60に第1のアルミナ粉末100または第2のアルミナ粉末10を投入し、加圧治具61を矢印F方向に加圧して、加圧成形する。これにより、図4Bに示すように、所定の形状のアルミナ物品21が得られる。
このようなアルミナ物品21は、第1のアルミナ粉末100または第2のアルミナ10を圧力10MPa~30MPaで加圧成形することにより得ることができる。
水銀にかける圧力を増加させながら細孔に侵入する水銀の累積侵入量を測定する。得られた測定結果について、圧力を細孔半径に、累積侵入量を累積細孔容積にそれぞれ換算する。そして、換算値を用いて、細孔半径が100μmから0.0018μmまでの範囲について、累積細孔容積をプロットしてグラフを作成する。このグラフから、総細孔容積および所定の細孔半径における累積細孔容積等を読み取る。
4μm以上の細孔の割合=(4μm以上の累積細孔容積)÷(総細孔容積)×100(%)・・・(1)
1μm以上の細孔の割合=(1μm以上の累積細孔容積)÷(総細孔容積)×100(%)・・・(2)
工程2では、アルミナ物品21の表面21aに炭素粉末含有層22を形成する。これにより、アルミナ物品21および炭素粉末含有層22が積層された積層物20が得られる。炭素粉末含有層22に含まれる炭素粉末が、次の[工程3]において照射するレーザを吸収して発熱することにより、炭素粉末含有層22の下側にあるアルミナ物品21が焼結される。
工程3では、積層物20の炭素粉末含有層22の表面22aにレーザを照射して、透明なアルミナ焼結部41を含むアルミナ焼結体40を作製する。本明細書においては、「アルミナ焼結体40」とは、透明なアルミナ焼結部41を少なくとも一部に含むものを意味する。よって、アルミナ焼結体40は、一部に不透明な非焼結部42を含んでもよく、さらには、一部に不透明なアルミナ焼結部(図示せず)を含んでもよい。アルミナ焼結体40は、透明なアルミナ焼結部41のみからなることが好ましい。
本発明で形成される透明なアルミナ焼結部41は、レーザの照射方向に依存して内部構造(主に結晶粒の粒界方位)に異方性を有する。その内部構造の異方性に起因して、可視光の透過率に異方性が生じることがある。その場合は、最も高い透過率を示す方向における可視光の透過率に基づいて、「透明」、「半透明」、「不透明」を判断する。
図5A~図5Cは、実施形態2に係る透明アルミナ焼結体40の製造方法を説明するための概略断面図である。実施形態2では、アルミナ物品21を、基材23の上に形成している点で実施形態1と異なるが、その他の点については、実施形態1と同様である。以下、実施形態1と異なる点を中心に説明する。
図5Aに示すように、基材23上で、異なる粒径の粒子を含む第1のアルミナ粉末100または第2のアルミナ粉末10を成形して、基材23上に成形体(アルミナ物品21)を作製する。
基材23は、金属、合金及びセラミックスから選ばれた少なくとも1種からなることが好ましい。基材23上にアルミナ物品21を形成する方法としては、溶射法、電子ビーム物理蒸着法、レーザ化学蒸着法、コールドスプレー法、焼結用セラミックス粒子、分散媒及び必要に応じて用いられる高分子バインダーを含むスラリーを塗布した後、乾燥を行い、更に脱脂する方法等の、従来、公知の方法で形成することができる。基材23およびアルミナ物品21は、接合されていてよいし、接合されずに、アルミナ物品21が基材23の上に載置されていてもよい。
図5Bに示すように、アルミナ物品21の表面21aに炭素粉末含有層22を形成する。これにより、基材23、アルミナ物品21および炭素粉末含有層22が積層された積層物200が得られる。
図5Cに示すように、積層物200の炭素粉末含有層22の表面22aにレーザを照射して、アルミナ物品21中に透明なアルミナ焼結部41を形成する。これにより、基材23上に、透明なアルミナ焼結部41と非焼結部42とを含むアルミナ焼結体40が形成される。
実施形態3は、実施形態1および2に記載した方法により、アルミナ物品21をレーザ照射で焼結させて得られたアルミナ焼結体40に関する。
図6Aは、実施形態3に係るアルミナ焼結体40を説明するための上面側からの模式図である。アルミナ焼結体40は、透明なアルミナ焼結部41を含む。さらに、アルミナ焼結体40は、不透明な非焼結部42を含んでいてもよい。図6Aに示すアルミナ焼結体40は、アルミナ焼結部41と、その周囲を取り囲む非焼結部42とを含んでいる。
図6Aにおける「上面」とは、焼結時にレーザが照射された面に相当する。つまり、実施形態1(図4C)および実施形態2(図5B)におけるアルミナ物品21の表面21aが、焼結後に、アルミナ焼結体40の上面40aとなる。図6Aでは、アルミナ焼結体40の上面40aは、透明なアルミナ焼結部41の表面41aと、非焼結部42の表面42aを含んでいる。
アルミナ焼結部41の透過率の測定方法については後述する。なお、図5Cに示すように、アルミナ焼結体40を基材23上で製造した場合、透明なアルミナ焼結部41の透過率の測定は、基材23を除去した後に行う。
光学顕微鏡写真において、アルミナ焼結部41の任意の位置に、一辺3mmの正方形の領域を規定し、その領域内にある単結晶状組織410の数(N)を数える。数(N)を、正方形の面積(9mm2)で割ることにより、単位面積当たりの単結晶状組織410の数(個/mm2)を算出する。
なお、正方形の領域を規定する場合には、当該領域内に非焼結部42が含まれないように規定する必要がある。また、原則として、一辺3mmの正方形の領域で数Nを数えるが、アルミナ焼結部41の面積が小さく、一辺3mmの正方形の領域を規定できない場合には、例外的に、一辺2mmの正方形の領域、3mm×2mmの長方形の領域等のように、領域の面積を狭くしてもできる。
また、粒界410bの方向から、焼結時のレーザ照射方向を推定することができる。粒界410bの方向は、アルミナ焼結部41の上面観察、断面観察、または破面観察によって確認することができる。
アルミナ焼結部41の透過率は、波長可変の吸光分光装置などを用いて測定することができる。例えば、紫外線~赤外線までの波長範囲における固体の吸光度を測定可能な紫外可視吸光分光装置などが好適である。
一般的に、透過率は測定波長によって変動する。さらに、実施形態3のアルミナ焼結体40の場合、同じ波長であっても、以下の理由によって、アルミナ焼結部41に入射する光の方向によっても透過率が変動し得る。
アルミナ焼結部41の透過率測定において、測定用の光の通過経路上に粒界410bがあると、光を散乱するため、透過率が低下する。一方、測定用の光の通過経路上に存在する粒界410bの数が少ないと、粒界410bによる光の散乱が起こらず、透過率が上昇する。上述したように、レーザ焼結で製造したアルミナ焼結体40の場合、アルミナ焼結部41中の粒界410bは、レーザ照射方向に揃う傾向がある。このように、アルミナ焼結部41は、粒界410bの存在方向に異方性があるため、透過率にも異方性があると考えられる。
また、アルミナ焼結部41は、レーザ焼結特有の粒界410bを有しているので、透過率に異方性を生じる可能性がある。そのため、特定方向からの視認性は高く、それ以外の方向からの視認性が低くできる可能性があり、液晶画面等の保護フィルムとしての用途が期待される。
さらに、アルミナ焼結体40を別部材の表面に形成した場合、アルミナ焼結体40と別部材との熱膨張率差によって、アルミナ焼結体40に引張応力または圧縮応力がかかる可能性がある。また、アルミナ焼結体40単体であっても、急加熱または急冷されたときに、アルミナ焼結体40内部に引張応力または圧縮応力がかかる可能性がある。このような場合でも、アルミナ焼結部41内に存在する粒界410bがそれらの応力を緩和して、アルミナ焼結体40の破損を抑制できることが期待される。
以下に、実施例1、2および比較例1で使用したアルミナ粉末試料の作製条件、アルミナ粉末試料を加圧成形して作製したアルミナ物品の成形条件、アルミナ物品のレーザ焼結における焼結条件を説明する。表1には、実施例1~2、比較例1のアルミナ粉末試料の作製に使用した第1のアルミナ粒子、第2のアルミナ粒子および第3のアルミナ粒子の配合率を記載した。なお、表1の各アルミナ粒子の欄において、「-」は、そのアルミナ粒子を配合しなかったことを意味する。
アルミニウムアルコキシドの加水分解法により得られた高純度水酸化アルミニウムに、平均粒径が0.25μmのα-アルミナ粒子を混合し、塩化水素雰囲気で焼成することで、比表面積が4.8m2/gの第1のアルミナ粒子を得た。アルミニウムアルコキシドの加水分解法により得られた高純度水酸化アルミニウムを塩化水素雰囲気で焼成することで、比表面積が0.2m2/gの第2のアルミナ粒子を得た。第1のアルミナ粒子と第2のアルミナ粒子を質量比30:70の割合で配合してビニル袋に投入し、ビニル袋を封止した後に上下に強く振って拡散混合させた。その後に、ジェットミル粉砕機(日本ニューマチック工業株式会社製水平型ジェットミル粉砕機 PJM-280SP)で粉砕しながら混合することで実施例1のアルミナ粉末試料を作製した。
アルミニウムアルコキシドの加水分解法により得られた高純度水酸化アルミニウムに、平均粒径が0.25μmのα-アルミナ種粒子を混合し、塩化水素雰囲気で焼成することで、比表面積が0.5m2/gの第3のアルミナ粒子を得た。実施例1における第1のアルミナ粒子のかわりに第3のアルミナ粒子を用いた以外は、前記実施例1と同様にして実施例2を得た。
第1のアルミナ粒子のみを、ジェットミル粉砕機(日本ニューマチック工業株式会社製水平型ジェットミル粉砕機 PJM-380SP)で粉砕して、アルミナ粉末試料を作製した以外は、前記実施例1と同様にして比較例1を得た。
実施例1、2および比較例1のアルミナ粉末試料について、粒度分布を測定した。
粒度分布測定は、レーザ粒度分布測定装置〔マイクロトラック・ベル(株)製「マイクロトラックMT3300EXII」〕を用いて行った。測定するアルミナ粉末を0.2質量%のヘキサメタ燐酸ソーダ水溶液(以下「分散液」とも称する)に少量添加し、装置内蔵の超音波に40Wで5分間かけて、アルミナ粒子を分散させた。なお、アルミナの屈折率は1.76とした。
比較例1のアルミナ粉末試料は、小粒径のアルミナ粒子11のみから成っていた。それらの粒子は互いに接触しているのみなので、分散液を添加すると、容易に分離した。
図7の粒度分布曲線から分かるように、比較例1のグラフは、1μm以上の範囲にピークが存在しなかった。そのため、表2の大粒径のアルミナ粒子12の「ピーク粒径」の欄では、ピークが確認されなかったことを表すために、「-」と表記した。
なお、図7の粒度分布曲線から分かるように、比較例1の小粒子のアルミナ粒子11のピークの裾野は、粒径1μmを超えて延在していた。つまり、比較例1のアルミナ粉末は、図7の粒度分布曲線では粒径1μm以上の範囲にピークが確認されなかったが、粒径1μm以上のアルミナ粒子は存在していた。そのため、表2では、比較例1は、大粒径のアルミナ粒子12の「ピーク粒径」は存在しない(「-」と表記)のに、大粒径のアルミナ粒子12(つまり、粒径1μm以上のアルミナ粒子)の含有量はゼロではなかった。
実施例1、2および比較例1の各アルミナ粉末試料を4g取り分け、そこに0.04gの水(アルミナ粉末試料の1質量%に相当)を添加して、ビニル袋に投入し、ビニル袋を封止した後に上下に強く振って拡散混合させた。得られた混合物を、ペレット成型用の金型(内径20mmの円筒形)に装填し、1軸プレス機にて10MPaで30秒加圧する。これによりアルミナ粉末ペレット(直径20mm、厚さ4~6mm)が得られた。このアルミナ粉末ペレットを120℃で4時間乾燥して、測定用のアルミナ物品試料を得た。アルミナ物品試料を120℃で4時間乾燥した後、オートポアIV9520(micromeritics社製)を用いて、水銀圧入法(JIS R 1655:2003)により測定した。細孔半径が100μmから0.0018μmまでの範囲で測定を行った。測定結果に基づいて、横軸を細孔半径、縦軸を累積細孔容積としたグラフをプロットした(図9参照)。
0.0018μmにおける累積細孔容積(細孔半径0.0018μm以上の細孔の総細孔容積)を、「総細孔容積(B)」とした。
「4μm以上の細孔の割合(A/B×100)」(細孔半径4μm以上の細孔の割合)は、以下の式(1)から算出した。
4μm以上の細孔の割合=(4μm以上の累積細孔容積)÷(総細孔容積)×100(%)・・・(1)
実施例1、2および比較例1で得られたアルミナ焼結体試料のアルミナ焼結部に対して、紫外可視吸光分光装置(Perkin-Elmer Lambda 950)を用いて透過スペクトルを測定した。なお、透過率測定の測定方向(光の透過方向)が、焼結時のレーザ照射方向と一致するように、アルミナ焼結体試料を測定装置内にセットした。また、ビームのサイズは2mm×4mm程度とし、試料の厚みは0.8mmとした。
360nm~830nmの可視光領域における透過率の範囲を表4に示した。表4の「評価」では、可視光領域における透過率の最小値が50%未満を「不可」、50%以上を「良」、70%以上を「優」とした。
実施例1および実施例2で作製したアルミナ焼結体試料の上面からの光学顕微鏡写真を撮影し、単位面積当たりの単結晶状組織の数を計測した。
図11Aは、実施例1で作製したアルミナ焼結体試料の光学顕微鏡写真である。アルミナ焼結体の全体が透明なアルミナ焼結部となっていた。図11Bに示すように、アルミナ焼結部の任意の位置に、一辺3mmの正方形の領域を規定し、その領域内において粒界を手動で描画した。なお、粒界は、光学顕微鏡写真(例えば、倍率5~200倍)を肉眼で視認することで、容易に特定可能である。当該正方形の領域内にある単結晶状組織の数(N)を数えた。そして、数(N)を、正方形の面積(9mm2)で割って、単位面積当たりの単結晶状組織の数(個/mm2)を算出した。
実施例1、2は、小粒径のアルミナ粒子11と、大粒径のアルミナ粒子12と、を含むアルミナ粉末を用いた。そのため、得られたアルミナ焼結体のアルミナ焼結部では、360nm~830nmの可視光領域における透過率は50%以上となった。このことから、実施例1、2では、透明なアルミナ焼結部が形成されたことが分かる。
特に、実施例1では、アルミナ粉末に含まれる大粒径のアルミナ粉末12の粒径が18μmと大きかったであったので、可視光領域における透過率が70%以上となり、特に透明なアルミナ焼結部が形成された。
11 小粒径のアルミナ粒子
12 大粒径のアルミナ粒子
13 アルミナ複合粒子
20、200 積層物
21 アルミナ物品
22 炭素粉末含有層、
23 基材
30 レーザ照射手段
31 レーザ
31E 照射位置
31R 照射位置の直下領域
40 アルミナ焼結体
41 アルミナ焼結部
410 単結晶状組織
410b 粒界
42 非焼結部
60 金型
61 加圧治具
Claims (2)
- 粒径0.1μm以上1μm未満のアルミナ粒子5~70体積%と、粒径1μm以上100μm未満のアルミナ粒子30~95体積%と、を含むアルミナ粉末を成形して、アルミナ物品を得る工程と、
前記アルミナ物品の表面に炭素粉末含有層を形成して積層物を得る工程と、
前記積層物の前記炭素粉末含有層の表面にレーザを照射して、透明なアルミナ焼結部を形成する工程と、を含むアルミナ焼結体の製造方法。 - 前記アルミナ物品の総細孔容積が0.20mL/g以下であり、細孔径4μm以上の細孔の累積細孔容積が総細孔容積の10%未満である、請求項1に記載のアルミナ焼結体の製造方法。
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