JP2000106278A - 有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子 - Google Patents
有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子Info
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- JP2000106278A JP2000106278A JP10248816A JP24881698A JP2000106278A JP 2000106278 A JP2000106278 A JP 2000106278A JP 10248816 A JP10248816 A JP 10248816A JP 24881698 A JP24881698 A JP 24881698A JP 2000106278 A JP2000106278 A JP 2000106278A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 材料や素子設計の最適化を行うことができ、
短時間、低コストで精度の高いパターニング成膜を行う
ことができる正孔注入輸送層用組成物を提供する。 【解決手段】 本発明の正孔注入輸送層用組成物は、有
機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインクジェット式記録ヘ
ッドを用いてパターニング形成するために用いられる組
成物であって、正孔注入輸送層の成分である導電性化合
物と溶媒とを含み、インクジェット式記録ヘッドのイン
ク吐出ノズル面を構成する材料に対する接触角が３０°
から１７０°の範囲であり、かつ、粘度が１ｃｐから２
０ｃｐの範囲であって、表面張力が２０ｄｙｎｅから７
０ｄｙｎｅの範囲である。このような物性的特性によ
り、材料や素子設計の最適化を行うことができ、かつ簡
便、短時間、低コストで精度の高いパターニング成膜を
行うことができる正孔注入輸送層用組成物を提供するこ
とができる。
短時間、低コストで精度の高いパターニング成膜を行う
ことができる正孔注入輸送層用組成物を提供する。 【解決手段】 本発明の正孔注入輸送層用組成物は、有
機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインクジェット式記録ヘ
ッドを用いてパターニング形成するために用いられる組
成物であって、正孔注入輸送層の成分である導電性化合
物と溶媒とを含み、インクジェット式記録ヘッドのイン
ク吐出ノズル面を構成する材料に対する接触角が３０°
から１７０°の範囲であり、かつ、粘度が１ｃｐから２
０ｃｐの範囲であって、表面張力が２０ｄｙｎｅから７
０ｄｙｎｅの範囲である。このような物性的特性によ
り、材料や素子設計の最適化を行うことができ、かつ簡
便、短時間、低コストで精度の高いパターニング成膜を
行うことができる正孔注入輸送層用組成物を提供するこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスプレイ、表
示光源などに用いられる電気的発光素子である有機ＥＬ
（electroluminescence）素子の製造方法に関するもの
である。特に、インクジェットパターニングに好適な正
孔注入輸送層用組成物に係わる。
示光源などに用いられる電気的発光素子である有機ＥＬ
（electroluminescence）素子の製造方法に関するもの
である。特に、インクジェットパターニングに好適な正
孔注入輸送層用組成物に係わる。
【０００２】
【従来の技術】蛍光性有機分子を含む固体薄膜を電極で
挟み電荷を印加すると陽極から正孔（ホール）が、陰極
から電子が注入され、これらのキャリアは印加電場によ
り薄膜中を移動し再結合する。この再結合の際放出され
たエネルギーは蛍光分子の一重項励起状態（分子励起
子）の形成に消費され、この一重項励起子の基底状態へ
の緩和にともなって放出される蛍光を利用した素子が有
機ＥＬ素子である。
挟み電荷を印加すると陽極から正孔（ホール）が、陰極
から電子が注入され、これらのキャリアは印加電場によ
り薄膜中を移動し再結合する。この再結合の際放出され
たエネルギーは蛍光分子の一重項励起状態（分子励起
子）の形成に消費され、この一重項励起子の基底状態へ
の緩和にともなって放出される蛍光を利用した素子が有
機ＥＬ素子である。
【０００３】ところで、発光層のみからなる単層型構造
素子では発光効率が低く、耐久性に問題があるため、陽
極と発光層間に密着性の良い正孔注入輸送層を設けた二
層構造型素子が提案されている。積層構造を採用するこ
とで、キャリアの注入／輸送バランスおよびキャリアの
再結合部位の制御により、ＥＬ発光素子の発光効率、耐
久性を向上させることができる。また、積層構造によれ
ば、発光、注入／輸送といった機能を別々の材料に分担
させることができるため、材料、素子の最適設計が可能
になるという利点を持つ。
素子では発光効率が低く、耐久性に問題があるため、陽
極と発光層間に密着性の良い正孔注入輸送層を設けた二
層構造型素子が提案されている。積層構造を採用するこ
とで、キャリアの注入／輸送バランスおよびキャリアの
再結合部位の制御により、ＥＬ発光素子の発光効率、耐
久性を向上させることができる。また、積層構造によれ
ば、発光、注入／輸送といった機能を別々の材料に分担
させることができるため、材料、素子の最適設計が可能
になるという利点を持つ。
【０００４】これまで二層積層型有機ＥＬ素子の正孔注
入輸送層化合物としては、ポルフィリン化合物（米国特
許第４３５６４２９号，同４７２０４３２号）、アニリ
ンやピリジンおよびそれらの誘導体低分子（特開平 ３
−３４３８２号）、あるいはカーボン層用いた正孔注入
輸送層（特開平 ８−３１５７３号）などがこれまでに
提案されている。これらの低分子系材料を用いた正孔注
入輸送層形成には、真空蒸着やスパッタによる成膜法が
一般的である。高分子材料としてはポリアニリン（Natu
re,３５７，４７７（１９９２））などが知られ、スピ
ンコートなどの湿式法で成膜される。
入輸送層化合物としては、ポルフィリン化合物（米国特
許第４３５６４２９号，同４７２０４３２号）、アニリ
ンやピリジンおよびそれらの誘導体低分子（特開平 ３
−３４３８２号）、あるいはカーボン層用いた正孔注入
輸送層（特開平 ８−３１５７３号）などがこれまでに
提案されている。これらの低分子系材料を用いた正孔注
入輸送層形成には、真空蒸着やスパッタによる成膜法が
一般的である。高分子材料としてはポリアニリン（Natu
re,３５７，４７７（１９９２））などが知られ、スピ
ンコートなどの湿式法で成膜される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、真空蒸
着やスパッタによる成膜法はバッチ処理であり長時間を
有するため量産効率が悪い。また低分子材料の場合には
成膜後結晶化しやすく、素子の信頼性が低下するといっ
た課題を有する。一方、高分子材料の場合は分子設計上
の自由度が高く、湿式のため材料の最適化がしやすいと
いう利点を有するが、スピンコートなどの成膜法は材料
の殆どを浪費するという大きな問題がある。
着やスパッタによる成膜法はバッチ処理であり長時間を
有するため量産効率が悪い。また低分子材料の場合には
成膜後結晶化しやすく、素子の信頼性が低下するといっ
た課題を有する。一方、高分子材料の場合は分子設計上
の自由度が高く、湿式のため材料の最適化がしやすいと
いう利点を有するが、スピンコートなどの成膜法は材料
の殆どを浪費するという大きな問題がある。
【０００６】更に、フルカラーディスプレイなど材料の
微細パターンニングが必要とされる場合、蒸着法におい
ては高精度のパターニングは困難であり、またフォトリ
ソグラフィーによるパターニング工程に対しては材料に
耐性がないという根本的な問題がある。高分子材料にお
いても同様な問題を有する。正孔注入輸送層あるいはバ
ッファー層として用いられる材料は導電性を有するもの
であるから完全なパターニングが実現できなければ同一
基板上に設けられた隣の画素間での漏電を引き起こす原
因となる。
微細パターンニングが必要とされる場合、蒸着法におい
ては高精度のパターニングは困難であり、またフォトリ
ソグラフィーによるパターニング工程に対しては材料に
耐性がないという根本的な問題がある。高分子材料にお
いても同様な問題を有する。正孔注入輸送層あるいはバ
ッファー層として用いられる材料は導電性を有するもの
であるから完全なパターニングが実現できなければ同一
基板上に設けられた隣の画素間での漏電を引き起こす原
因となる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、材料
や素子設計の最適化を行うことができ、かつ簡便、短時
間、低コストで精度の高いパターニング成膜を行うこと
ができる正孔注入輸送層用組成物を提供することを課題
とする。また、正孔注入輸送層用組成物の製造方法を提
供することを課題とする。また、この組成物を用いた有
機ＥＬ素子の製造法を提供することを課題とする。さら
に、この製造方法で製造した、発光特性に優れた有機Ｅ
Ｌ素子を提供することを課題とする。
や素子設計の最適化を行うことができ、かつ簡便、短時
間、低コストで精度の高いパターニング成膜を行うこと
ができる正孔注入輸送層用組成物を提供することを課題
とする。また、正孔注入輸送層用組成物の製造方法を提
供することを課題とする。また、この組成物を用いた有
機ＥＬ素子の製造法を提供することを課題とする。さら
に、この製造方法で製造した、発光特性に優れた有機Ｅ
Ｌ素子を提供することを課題とする。
【０００８】本発明の正孔注入輸送層用組成物は、有機
ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインクジェット式記録ヘッ
ドを用いてパターニング形成するために用いられる組成
物であって、正孔注入輸送層を形成する導電性化合物を
分散或いは溶解させる極性溶媒、及び、インクジェット
パターニングを容易にするための湿潤剤とを含み、以下
の物性的特性（接触角、粘度、表面張力）を有する。
ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインクジェット式記録ヘッ
ドを用いてパターニング形成するために用いられる組成
物であって、正孔注入輸送層を形成する導電性化合物を
分散或いは溶解させる極性溶媒、及び、インクジェット
パターニングを容易にするための湿潤剤とを含み、以下
の物性的特性（接触角、粘度、表面張力）を有する。
【０００９】（１）接触角 インクジェット式記録ヘッドのノズル面を構成する材料
と正孔注入輸送層用組成物との接触角は３０deg〜１７
０degの範囲に設定することが好ましい。特に、３５deg
〜６５degの範囲に設定することが好ましい。
と正孔注入輸送層用組成物との接触角は３０deg〜１７
０degの範囲に設定することが好ましい。特に、３５deg
〜６５degの範囲に設定することが好ましい。
【００１０】正孔注入輸送層用組成物がこの範囲の接触
角をもつことによって吐出時の飛行曲がりを抑制するこ
とができ、精密な吐出制御が可能になる。接触角が３０
deg未満の場合、正孔注入輸送層用組成物のノズル面に
おける濡れ性が増大し、正孔注入輸送層用組成物を吐出
する際に、正孔注入輸送層用組成物がノズル孔の周囲に
非対称に付着することがある。この場合、ノズル孔に付
着した正孔注入輸送層用組成物と吐出しようとする正孔
注入輸送層用組成物との相互間に引力が働くため、正孔
注入輸送層用組成物は不均一な力により吐出されること
になり、飛行曲がりが生じ、目標位置に着弾できない。
また、飛行曲がり頻度が多くなる。一方、接触角が１７
０degを超えると、正孔注入輸送層用組成物とノズル孔
との相互作用が極小となり、ノズル先端でのメニスカス
の形状が安定しないため正孔注入輸送層用組成物の吐出
量及び吐出タイミングの制御が困難になる。
角をもつことによって吐出時の飛行曲がりを抑制するこ
とができ、精密な吐出制御が可能になる。接触角が３０
deg未満の場合、正孔注入輸送層用組成物のノズル面に
おける濡れ性が増大し、正孔注入輸送層用組成物を吐出
する際に、正孔注入輸送層用組成物がノズル孔の周囲に
非対称に付着することがある。この場合、ノズル孔に付
着した正孔注入輸送層用組成物と吐出しようとする正孔
注入輸送層用組成物との相互間に引力が働くため、正孔
注入輸送層用組成物は不均一な力により吐出されること
になり、飛行曲がりが生じ、目標位置に着弾できない。
また、飛行曲がり頻度が多くなる。一方、接触角が１７
０degを超えると、正孔注入輸送層用組成物とノズル孔
との相互作用が極小となり、ノズル先端でのメニスカス
の形状が安定しないため正孔注入輸送層用組成物の吐出
量及び吐出タイミングの制御が困難になる。
【００１１】尚、飛行曲がりとは、正孔注入輸送層用組
成物をノズル孔から吐出させたとき、正孔注入輸送層用
組成物の着弾位置が目標位置に対して３０μｍ以上のず
れを生じることをいう。また、飛行曲がり頻度とは、イ
ンクジェット式記録ヘッドの圧電体薄膜素子の振動周波
数、例えば、１４．４ｋＨｚで連続吐出したときの飛行
曲がりが生じるまでの時間をいう。
成物をノズル孔から吐出させたとき、正孔注入輸送層用
組成物の着弾位置が目標位置に対して３０μｍ以上のず
れを生じることをいう。また、飛行曲がり頻度とは、イ
ンクジェット式記録ヘッドの圧電体薄膜素子の振動周波
数、例えば、１４．４ｋＨｚで連続吐出したときの飛行
曲がりが生じるまでの時間をいう。
【００１２】（２）粘度 正孔注入輸送層用組成物の粘度は１cp〜２０cpの範囲が
好ましい。特に、２cp〜４cpの範囲に設定することが好
ましい。
好ましい。特に、２cp〜４cpの範囲に設定することが好
ましい。
【００１３】正孔注入輸送層用組成物の粘度が１cp未満
の場合、ノズル孔における正孔注入輸送層用組成物のメ
ニスカスが安定せず、吐出制御が困難となる。一方、粘
度が２０cpを超えると、ノズル孔から正孔注入輸送層用
組成物を円滑に吐出させることができず、ノズル孔を大
きくする等のインクジェット式記録ヘッドの仕様を変更
しない限り、インク吐出が困難となる。さらに、粘度が
大きい場合、正孔注入輸送層用組成物中の固形成分が析
出しやすくなり、ノズル孔の目詰まり頻度が高くなる。
の場合、ノズル孔における正孔注入輸送層用組成物のメ
ニスカスが安定せず、吐出制御が困難となる。一方、粘
度が２０cpを超えると、ノズル孔から正孔注入輸送層用
組成物を円滑に吐出させることができず、ノズル孔を大
きくする等のインクジェット式記録ヘッドの仕様を変更
しない限り、インク吐出が困難となる。さらに、粘度が
大きい場合、正孔注入輸送層用組成物中の固形成分が析
出しやすくなり、ノズル孔の目詰まり頻度が高くなる。
【００１４】（３）表面張力 正孔注入輸送層用組成物の表面張力は２０dyne〜７０dy
neの範囲に設定することが好ましい。特に、２５dyne〜
４０dyneの範囲内に設定することが好ましい。
neの範囲に設定することが好ましい。特に、２５dyne〜
４０dyneの範囲内に設定することが好ましい。
【００１５】この範囲内の表面張力に設定することによ
り、上述した接触角と同様、飛行曲がりを抑制し、飛行
曲がり頻度を低減することができる。表面張力が７０dy
ne以上になると、ノズル先端でメニスカス形状が安定し
ないため、正孔注入輸送層用組成物の吐出量、吐出タイ
ミングの制御が困難となる。一方、表面張力が２０dyne
未満であると、ノズル面の構成材料に対する正孔注入輸
送層用組成物の濡れ性が増大するため、上記接触角の場
合と同様、飛行曲がりが生じ、飛行曲がり頻度が高くな
る。
り、上述した接触角と同様、飛行曲がりを抑制し、飛行
曲がり頻度を低減することができる。表面張力が７０dy
ne以上になると、ノズル先端でメニスカス形状が安定し
ないため、正孔注入輸送層用組成物の吐出量、吐出タイ
ミングの制御が困難となる。一方、表面張力が２０dyne
未満であると、ノズル面の構成材料に対する正孔注入輸
送層用組成物の濡れ性が増大するため、上記接触角の場
合と同様、飛行曲がりが生じ、飛行曲がり頻度が高くな
る。
【００１６】この飛行曲がりは、主にノズル孔の濡れ性
が不均一である場合や、正孔注入輸送層用組成物の固形
成分の付着による目詰まり等によって発生するが、イン
クジェット式記録ヘッドをクリーニングする（以下、
「フッラッシング」という。）ことによって解消するこ
とができる。このフッラッシングは通常、インクジェッ
ト式記録ヘッド機構に細工をして目詰まりや飛行曲がり
を防止するもので、正孔注入輸送層用組成物の吐出が一
定時間（以下、「フラッシング時間」という。）行われ
なくなると、所定量の正孔注入輸送層用組成物を強制的
に吐出させる仕組みになっている。このフラッシング時
間は、正孔注入輸送層用組成物を吐出していないノズル
が乾燥し、飛行曲がりを起こすまでの時間を意味し、正
孔注入輸送層用組成物の特性を示す指標となる。フラッ
シング時間が長い程、インクジェットの印刷技法に適し
ているといえるため、長時間安定して正孔注入輸送層用
組成物を吐出することができる。
が不均一である場合や、正孔注入輸送層用組成物の固形
成分の付着による目詰まり等によって発生するが、イン
クジェット式記録ヘッドをクリーニングする（以下、
「フッラッシング」という。）ことによって解消するこ
とができる。このフッラッシングは通常、インクジェッ
ト式記録ヘッド機構に細工をして目詰まりや飛行曲がり
を防止するもので、正孔注入輸送層用組成物の吐出が一
定時間（以下、「フラッシング時間」という。）行われ
なくなると、所定量の正孔注入輸送層用組成物を強制的
に吐出させる仕組みになっている。このフラッシング時
間は、正孔注入輸送層用組成物を吐出していないノズル
が乾燥し、飛行曲がりを起こすまでの時間を意味し、正
孔注入輸送層用組成物の特性を示す指標となる。フラッ
シング時間が長い程、インクジェットの印刷技法に適し
ているといえるため、長時間安定して正孔注入輸送層用
組成物を吐出することができる。
【００１７】従って、正孔注入輸送層用組成物が上記の
物性値を有することで、フラッシング時間を長くするこ
とができ、大気と正孔注入輸送層用組成物の界面をより
フレッシュな状態に保持することができる。また、吐出
される正孔注入輸送層用組成物のドットの濃度を均一に
することができるので正孔注入輸送層用組成物のムラの
発生等を防止することができる。さらに、飛行直進性に
優れるため、インクジェット式記録ヘッドの制御が容易
となり、製造装置を簡易な構成とすることができる。
物性値を有することで、フラッシング時間を長くするこ
とができ、大気と正孔注入輸送層用組成物の界面をより
フレッシュな状態に保持することができる。また、吐出
される正孔注入輸送層用組成物のドットの濃度を均一に
することができるので正孔注入輸送層用組成物のムラの
発生等を防止することができる。さらに、飛行直進性に
優れるため、インクジェット式記録ヘッドの制御が容易
となり、製造装置を簡易な構成とすることができる。
【００１８】尚、極性溶媒として、水と低級アルコール
（例えば、メタノール又はエタノール）の混合溶媒が好
ましい。また、水とセロソルブ系溶媒（例えば、エトキ
シエタノール）の混合溶媒としてもよい。また、湿潤剤
はグリセリンが好ましい。さらに、本発明の正孔注入輸
送層用組成物の製造方法は、超音波処理工程と、濾過工
程を経て調整するものである。
（例えば、メタノール又はエタノール）の混合溶媒が好
ましい。また、水とセロソルブ系溶媒（例えば、エトキ
シエタノール）の混合溶媒としてもよい。また、湿潤剤
はグリセリンが好ましい。さらに、本発明の正孔注入輸
送層用組成物の製造方法は、超音波処理工程と、濾過工
程を経て調整するものである。
【００１９】本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、画素
領域毎に区画された仕切部材内に形成される、正孔注入
輸送層と発光層の積層構造を有する有機ＥＬ素子の製造
方法であって、画素領域に対応した開口部を備える仕切
部材を基板上に形成する工程と、インクジェット式記録
ヘッドを用いて前記開口部内に、本発明の正孔注入輸送
層用組成物を充填する工程と、開口部内に充填された正
孔注入輸送層用組成物を乾燥処理して正孔注入輸送層を
形成する工程と、を備える。この方法により、正孔注入
輸送層の膜厚、ドット数等の条件を任意に調整すること
ができるため、有機ＥＬ発光素子のサイズやパターンも
任意に設定することができる。
領域毎に区画された仕切部材内に形成される、正孔注入
輸送層と発光層の積層構造を有する有機ＥＬ素子の製造
方法であって、画素領域に対応した開口部を備える仕切
部材を基板上に形成する工程と、インクジェット式記録
ヘッドを用いて前記開口部内に、本発明の正孔注入輸送
層用組成物を充填する工程と、開口部内に充填された正
孔注入輸送層用組成物を乾燥処理して正孔注入輸送層を
形成する工程と、を備える。この方法により、正孔注入
輸送層の膜厚、ドット数等の条件を任意に調整すること
ができるため、有機ＥＬ発光素子のサイズやパターンも
任意に設定することができる。
【００２０】本発明の有機ＥＬ素子は、上記の方法で製
造されるものであり、正孔注入輸送層の膜厚が、０．１
μｍ以下とする。また、正孔注入輸送層の膜抵抗は、
０．５×１０9Ω／ｍ2乃至５×１０9Ω／ｍ2の範囲とす
る。正孔注入輸送層の膜厚、膜抵抗を上記の範囲に設定
することで、有機ＥＬ素子の発光特性を向上させること
ができる。
造されるものであり、正孔注入輸送層の膜厚が、０．１
μｍ以下とする。また、正孔注入輸送層の膜抵抗は、
０．５×１０9Ω／ｍ2乃至５×１０9Ω／ｍ2の範囲とす
る。正孔注入輸送層の膜厚、膜抵抗を上記の範囲に設定
することで、有機ＥＬ素子の発光特性を向上させること
ができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態１．以下、本実
施の形態に係わる正孔注入輸送層用組成物、有機ＥＬ素
子の製造方法及び有機ＥＬ素子について説明する。
施の形態に係わる正孔注入輸送層用組成物、有機ＥＬ素
子の製造方法及び有機ＥＬ素子について説明する。
【００２２】正孔注入輸送層用組成物は、主として正孔
注入輸送層を形成する導電性化合物、分散溶媒、湿潤剤
を含み、インクジェット方式によるパターン成膜に用い
られる。この正孔注入輸送層を形成する導電性化合物は
陽極よりイオン化ポテンシャルが低い化合物が望まし
い。例えば、陽電極としてＩＴＯを用いた場合、低分子
系材料としては、銅フタロシアニン等のポルフィリン化
合物が挙げられる。
注入輸送層を形成する導電性化合物、分散溶媒、湿潤剤
を含み、インクジェット方式によるパターン成膜に用い
られる。この正孔注入輸送層を形成する導電性化合物は
陽極よりイオン化ポテンシャルが低い化合物が望まし
い。例えば、陽電極としてＩＴＯを用いた場合、低分子
系材料としては、銅フタロシアニン等のポルフィリン化
合物が挙げられる。
【００２３】尚、その他の添加剤、被膜安定化材料を添
加してもよく、例えば、粘度調製剤、老化防止剤、ｐＨ
調製剤、防腐剤、樹脂エマルジョン、レベリング剤等を
用いることができる。
加してもよく、例えば、粘度調製剤、老化防止剤、ｐＨ
調製剤、防腐剤、樹脂エマルジョン、レベリング剤等を
用いることができる。
【００２４】（実施例）導電性化合物（正孔注入輸送層
成分）として、銅フタロシアニンを用いた場合の、正孔
注入輸送層用組成物の物性的特性について検討した。試
料は表１乃至表１０に示す組成物１乃至組成物１０を調
整した。
成分）として、銅フタロシアニンを用いた場合の、正孔
注入輸送層用組成物の物性的特性について検討した。試
料は表１乃至表１０に示す組成物１乃至組成物１０を調
整した。
【００２５】組成物１
【００２６】
【表１】
【００２７】組成物２
【００２８】
【表２】
【００２９】組成物３
【００３０】
【表３】
【００３１】組成物４
【００３２】
【表４】
【００３３】組成物５
【００３４】
【表５】
【００３５】組成物６
【００３６】
【表６】
【００３７】組成物７
【００３８】
【表７】
【００３９】組成物８
【００４０】
【表８】
【００４１】組成物９
【００４２】
【表９】
【００４３】組成物１０
【００４４】
【表１０】
【００４５】（吐出評価）表１〜表８に示す組成物１〜
組成物８のインクジェット式記録ヘッドを構成するノズ
ル面構成材料に対する接触角、粘度および表面張力を測
定し、それらの吐出性を評価した。吐出評価はインクジ
ェットプリント装置（エプソン製ＭＪ−５００Ｃ）を用
いて行った。
組成物８のインクジェット式記録ヘッドを構成するノズ
ル面構成材料に対する接触角、粘度および表面張力を測
定し、それらの吐出性を評価した。吐出評価はインクジ
ェットプリント装置（エプソン製ＭＪ−５００Ｃ）を用
いて行った。
【００４６】尚、粘度は２０℃での測定値である。これ
らの結果を表１１に示す。
らの結果を表１１に示す。
【００４７】
【表１１】
【００４８】この結果から、接触角は３０°から１７０
°、特に、３５°から６５°が好ましいことがわかる。
また、粘度は１ｃｐから２０ｃｐ、特に、２ｃｐから４
ｃｐが好ましく、表面張力は２０dyneから７０dyne、特
に、２５dyneから４０dyneの範囲が好ましいことがわか
る。
°、特に、３５°から６５°が好ましいことがわかる。
また、粘度は１ｃｐから２０ｃｐ、特に、２ｃｐから４
ｃｐが好ましく、表面張力は２０dyneから７０dyne、特
に、２５dyneから４０dyneの範囲が好ましいことがわか
る。
【００４９】また、湿潤剤としてグリセリンが混入され
ている組成物１乃至組成物３は、湿潤剤が混入されてい
ない組成物６乃至組成物８と比較すると、吐出性に優れ
ていることがわかる。従って、インク組成物中に湿潤剤
が含まれていることが好ましい。湿潤剤を混入すること
で、インク組成物がノズル口で乾燥・凝固することを有
効に防止することができる。かかる湿潤剤としては、例
えば、グリセリン、ジエチレングリコール等の多価アル
コール類が挙げられるが、グリセリンが特に好ましい。
ている組成物１乃至組成物３は、湿潤剤が混入されてい
ない組成物６乃至組成物８と比較すると、吐出性に優れ
ていることがわかる。従って、インク組成物中に湿潤剤
が含まれていることが好ましい。湿潤剤を混入すること
で、インク組成物がノズル口で乾燥・凝固することを有
効に防止することができる。かかる湿潤剤としては、例
えば、グリセリン、ジエチレングリコール等の多価アル
コール類が挙げられるが、グリセリンが特に好ましい。
【００５０】（正孔注入輸送層用組成物の製法）表１乃
至表３、及び、表９、表１０にそれぞれ示す組成物１乃
至組成物３、及び、組成物９、組成物１０を製造し、超
音波処理前後の正孔注入輸送層形成化合物（銅フタロシ
アニン）の粒度分布を測定した。更に、超音波処理後、
濾過工程を経た上記正孔注入輸送層用組成物を用い、イ
ンクジェット方式パターニングにより形成された正孔注
入輸送層の成膜性を評価した。
至表３、及び、表９、表１０にそれぞれ示す組成物１乃
至組成物３、及び、組成物９、組成物１０を製造し、超
音波処理前後の正孔注入輸送層形成化合物（銅フタロシ
アニン）の粒度分布を測定した。更に、超音波処理後、
濾過工程を経た上記正孔注入輸送層用組成物を用い、イ
ンクジェット方式パターニングにより形成された正孔注
入輸送層の成膜性を評価した。
【００５１】これらの結果を表１２に示す。超音波処理
の効果は１μｍ以下の粒度分布の割合で示した。
の効果は１μｍ以下の粒度分布の割合で示した。
【００５２】尚、スチレンアクリル樹脂分散液での粒径
は１μｍ以上である。
は１μｍ以上である。
【００５３】
【表１２】
【００５４】この結果から、前記分散液を４時間超音波
処理することで分散性を上げることができることがわか
る。また、超音波処理分散液をさらに濾過することによ
って、より均一な正孔注入輸送層膜を得ることができ
る。また、導電性化合物の分散極性溶媒としては、水、
又は、水とメタノール或いはエトキシエタノールとの混
合溶媒であることが好ましく（組成物１乃至組成物
３）、これらの溶媒を用いた場合、成膜性も良いことが
わかる。
処理することで分散性を上げることができることがわか
る。また、超音波処理分散液をさらに濾過することによ
って、より均一な正孔注入輸送層膜を得ることができ
る。また、導電性化合物の分散極性溶媒としては、水、
又は、水とメタノール或いはエトキシエタノールとの混
合溶媒であることが好ましく（組成物１乃至組成物
３）、これらの溶媒を用いた場合、成膜性も良いことが
わかる。
【００５５】（有機ＥＬ素子の製造工程）表１乃至表３
に示す組成物１乃至組成物３を用いて、以下に示す手順
でインクジェット方式による正孔注入輸送層のパターニ
ング成膜を行い、有機ＥＬ素子を製造した。
に示す組成物１乃至組成物３を用いて、以下に示す手順
でインクジェット方式による正孔注入輸送層のパターニ
ング成膜を行い、有機ＥＬ素子を製造した。
【００５６】陽極形成工程（第１図（Ａ）） 本工程はガラス基板１０２上に陽極１０１を形成する工
程である。ガラス基板１０２としては、酸やアルカリ等
の薬品に侵されにくく、量産可能であるものが好まし
い。ＩＴＯ透明電極を基板１０２上に０．１μｍの厚さ
で成膜し、１００μｍピッチでパターニングする。
程である。ガラス基板１０２としては、酸やアルカリ等
の薬品に侵されにくく、量産可能であるものが好まし
い。ＩＴＯ透明電極を基板１０２上に０．１μｍの厚さ
で成膜し、１００μｍピッチでパターニングする。
【００５７】仕切部材形成工程（同図（Ｂ）） 本工程は、ガラス基板１０２上に仕切部材１０３を形成
する工程である。具体的には、陽極（ＩＴＯ電極）１０
１間を埋め、インク垂れ防止壁（バンク）を兼ねた非感
光性ポリイミド（仕切部材）をフォトリソグラフィーに
より形成した。非感光性ポリイミドは幅２０μｍ、厚さ
２．０μｍとした。
する工程である。具体的には、陽極（ＩＴＯ電極）１０
１間を埋め、インク垂れ防止壁（バンク）を兼ねた非感
光性ポリイミド（仕切部材）をフォトリソグラフィーに
より形成した。非感光性ポリイミドは幅２０μｍ、厚さ
２．０μｍとした。
【００５８】正孔注入輸送層用組成物吐出工程（同図
（Ｃ）） 更に、インクジェットプリント装置（エプソン製ＭＪ−
８００Ｃ）１０４のヘッド１０５から正孔注入輸送層用
組成物１乃至３（図中１０６）を吐出し、正孔注入輸送
層１０７をパターンニング成膜した。パターン成膜後、
２００℃１０分の乾燥処理により正孔注入輸送層を形成
した。正孔注入輸送層用組成物吐出時において、バンク
越しの塗布は見られず、高精度の正孔注入輸送層パター
ンが得られた。
（Ｃ）） 更に、インクジェットプリント装置（エプソン製ＭＪ−
８００Ｃ）１０４のヘッド１０５から正孔注入輸送層用
組成物１乃至３（図中１０６）を吐出し、正孔注入輸送
層１０７をパターンニング成膜した。パターン成膜後、
２００℃１０分の乾燥処理により正孔注入輸送層を形成
した。正孔注入輸送層用組成物吐出時において、バンク
越しの塗布は見られず、高精度の正孔注入輸送層パター
ンが得られた。
【００５９】発光層組成物充填工程（同図（Ｄ）） 次いで、緑色発光層としてＰＰＶ前駆体（ポリ（パラ−
フェニレンビニレン））組成物を製造した。インクジェ
ット方式により発光層組成物１０８を吐出し、発光層１
０９をパターンニング成膜した。発光層１０９としては
赤色発光を示すローダミンＢをドープしたＰＰＶや青色
発光を示すクマリンをドープしたＰＰＶを用いても良
い。赤、緑、青の３原色発光を示す発光層を正孔注入輸
送層上に更にパターニングすることにより高精細なフル
カラー有機ＥＬディスプレイの製造が可能となる。
フェニレンビニレン））組成物を製造した。インクジェ
ット方式により発光層組成物１０８を吐出し、発光層１
０９をパターンニング成膜した。発光層１０９としては
赤色発光を示すローダミンＢをドープしたＰＰＶや青色
発光を示すクマリンをドープしたＰＰＶを用いても良
い。赤、緑、青の３原色発光を示す発光層を正孔注入輸
送層上に更にパターニングすることにより高精細なフル
カラー有機ＥＬディスプレイの製造が可能となる。
【００６０】陰極形成工程（同図（Ｅ）） 最後に、発光層１０９を覆うように陰電極１１０を蒸着
して有機ＥＬ素子を形成した。
して有機ＥＬ素子を形成した。
【００６１】（正孔注入輸送層の成膜評価）上記有機Ｅ
Ｌ素子の製造工程において、正孔注入輸送層用組成物の
吐出回数を変えたときの正孔注入輸送層の膜厚、シート
抵抗を測定し、成膜性を評価した。これらの結果を表１
３に示す。
Ｌ素子の製造工程において、正孔注入輸送層用組成物の
吐出回数を変えたときの正孔注入輸送層の膜厚、シート
抵抗を測定し、成膜性を評価した。これらの結果を表１
３に示す。
【００６２】
【表１３】
【００６３】この結果から、低分子系材料の場合、正孔
注入輸送層の膜厚が０．０５μｍ以下であり、膜抵抗値
が０．５×１０9Ω／ｍ2から５×１０9Ω／ｍ2である場
合、発光特性が良いことがわかる。
注入輸送層の膜厚が０．０５μｍ以下であり、膜抵抗値
が０．５×１０9Ω／ｍ2から５×１０9Ω／ｍ2である場
合、発光特性が良いことがわかる。
【００６４】（作用）本実施の形態のインクジェット方
式パターニングによれば、微細パターニングを簡便に短
時間かつ低コストで実現できる。従って、べた成膜法で
は解決することのできなかった正孔注入輸送層自身によ
る漏電の心配はない。また、吐出量あるいは吐出回数の
加減により膜厚の制御が容易にできるため、それによっ
て薄膜設計の最適化が可能となる。
式パターニングによれば、微細パターニングを簡便に短
時間かつ低コストで実現できる。従って、べた成膜法で
は解決することのできなかった正孔注入輸送層自身によ
る漏電の心配はない。また、吐出量あるいは吐出回数の
加減により膜厚の制御が容易にできるため、それによっ
て薄膜設計の最適化が可能となる。
【００６５】発明の実施の形態２．本実施の形態は、正
孔注入輸送層を形成する導電性化合物を溶液からの成膜
が可能な材料（高分子材料）としたもので、ポリアニリ
ン、ポリシラン等の導電性高分子を用いるものである。
特に、水を主溶媒として使えること、混合比により特性
を調節できることからＰＥＤＴ（ポリエチレンジオキシ
チオフェン）
孔注入輸送層を形成する導電性化合物を溶液からの成膜
が可能な材料（高分子材料）としたもので、ポリアニリ
ン、ポリシラン等の導電性高分子を用いるものである。
特に、水を主溶媒として使えること、混合比により特性
を調節できることからＰＥＤＴ（ポリエチレンジオキシ
チオフェン）
【００６６】
【化１】
【００６７】とＰＳＳ（ポリスチレンスルフォン酸）
【００６８】
【化２】
【００６９】の混合材料が好ましい。
【００７０】（実施例）高分子材料（正孔注入輸送層成
分）として、ＰＥＤＴ／ＰＳＳ混合水溶液を用いた場合
の正孔注入輸送層用組成物を、表１４乃至表１８に示す
５種類（組成物１１乃至組成物１５）を調整し、物性的
特性（接触角、表面張力及び粘度）を測定した。
分）として、ＰＥＤＴ／ＰＳＳ混合水溶液を用いた場合
の正孔注入輸送層用組成物を、表１４乃至表１８に示す
５種類（組成物１１乃至組成物１５）を調整し、物性的
特性（接触角、表面張力及び粘度）を測定した。
【００７１】組成物１１
【００７２】
【表１４】
【００７３】組成物１２
【００７４】
【表１５】
【００７５】組成物１３
【００７６】
【表１６】
【００７７】組成物１４
【００７８】
【表１７】
【００７９】組成物１５
【００８０】
【表１８】
【００８１】吐出評価は、インクジェットプリント装置
（エプソン製ＭＪ−８００Ｃ）を用いて行った。また、
成膜性の評価は、吐出による塗布後、２００℃、１０〜
６０分の加熱処理後の膜状態を評価した。粘度は２０℃
での測定値である。
（エプソン製ＭＪ−８００Ｃ）を用いて行った。また、
成膜性の評価は、吐出による塗布後、２００℃、１０〜
６０分の加熱処理後の膜状態を評価した。粘度は２０℃
での測定値である。
【００８２】
【表１９】
【００８３】以上の結果から、導電性高分子材料の濃度
は、組成物全体に対して０．０１ｗｔ％〜１０．０ｗｔ
％が好ましく、特に、０．１ｗｔ％〜５．０ｗｔ％が好
ましい。導電性高分子の濃度が低すぎると必要な膜厚を
得るために吐出回数が多くなってしまい量産効率が悪く
なり、一方、導電性高分子の濃度が高すぎても粘度が高
くなってしまうからである。
は、組成物全体に対して０．０１ｗｔ％〜１０．０ｗｔ
％が好ましく、特に、０．１ｗｔ％〜５．０ｗｔ％が好
ましい。導電性高分子の濃度が低すぎると必要な膜厚を
得るために吐出回数が多くなってしまい量産効率が悪く
なり、一方、導電性高分子の濃度が高すぎても粘度が高
くなってしまうからである。
【００８４】また、正孔注入輸送層用組成物中には湿潤
剤が含まれていることが好ましい。これによりインク組
成物がインクジェットノズル口で乾燥・凝固することを
有効に防止することができる。かかる湿潤剤としては、
例えば、グリセリン、ジエチレングリコール等の多価ア
ルコール類が挙げられるが、グリセリンが好ましい。湿
潤剤の添加量としては、組成物全体量に対して５ｗｔ％
〜２０ｗｔ％程度が好ましい。
剤が含まれていることが好ましい。これによりインク組
成物がインクジェットノズル口で乾燥・凝固することを
有効に防止することができる。かかる湿潤剤としては、
例えば、グリセリン、ジエチレングリコール等の多価ア
ルコール類が挙げられるが、グリセリンが好ましい。湿
潤剤の添加量としては、組成物全体量に対して５ｗｔ％
〜２０ｗｔ％程度が好ましい。
【００８５】正孔注入輸送層用組成物に用いる極性溶媒
としては、水と低級アルコールの混合溶媒あるいは水と
セロソルブ系溶媒の混合溶媒が好ましい。これらの溶媒
を用いることにより導電性化合物の溶解性あるいは分散
性を損なうことなく、正孔注入輸送層用組成物のインク
ジェット用ヘッドのノズル面を構成する材料に対する接
触角、粘度および表面張力の調整が可能となる。低級ア
ルコールとしてはメタノール、エタノールがより好まし
い。セロソルブ系溶媒としては成膜性という点からもエ
トキシエタノールがより好ましい。
としては、水と低級アルコールの混合溶媒あるいは水と
セロソルブ系溶媒の混合溶媒が好ましい。これらの溶媒
を用いることにより導電性化合物の溶解性あるいは分散
性を損なうことなく、正孔注入輸送層用組成物のインク
ジェット用ヘッドのノズル面を構成する材料に対する接
触角、粘度および表面張力の調整が可能となる。低級ア
ルコールとしてはメタノール、エタノールがより好まし
い。セロソルブ系溶媒としては成膜性という点からもエ
トキシエタノールがより好ましい。
【００８６】尚、その他の添加剤、被膜安定化材料を添
加してもよく、例えば、粘度調製剤、老化防止剤、ｐＨ
調製剤、防腐剤、樹脂エマルジョン、レベリング剤等を
用いることができる。
加してもよく、例えば、粘度調製剤、老化防止剤、ｐＨ
調製剤、防腐剤、樹脂エマルジョン、レベリング剤等を
用いることができる。
【００８７】（正孔注入輸送層用組成物の製造方法）表
１８に示す正孔注入輸送層用組成物（組成物１５）を用
いて、超音波処理、濾過工程の有無による成膜性および
発光特性の比較を表７に示す。緑色発光層としてはＰＰ
Ｖ（ポリ（パラ−フェニレンビニレン））を用いた。
１８に示す正孔注入輸送層用組成物（組成物１５）を用
いて、超音波処理、濾過工程の有無による成膜性および
発光特性の比較を表７に示す。緑色発光層としてはＰＰ
Ｖ（ポリ（パラ−フェニレンビニレン））を用いた。
【００８８】
【表２０】
【００８９】この結果から、超音波処理することでより
分散性を上げ、さらに、超音波処理分散液を濾過した組
成物を用いることによって平坦性の良い均一な正孔注入
輸送層を得ることができることがわかる。膜厚は０．０
５μｍ〜０．１μｍが好ましい。正孔注入輸送層の成膜
性は素子の発光特性に影響を及ぼすからである。
分散性を上げ、さらに、超音波処理分散液を濾過した組
成物を用いることによって平坦性の良い均一な正孔注入
輸送層を得ることができることがわかる。膜厚は０．０
５μｍ〜０．１μｍが好ましい。正孔注入輸送層の成膜
性は素子の発光特性に影響を及ぼすからである。
【００９０】尚、本実施の形態の有機ＥＬ素子の製造工
程は、実施の形態１と同様である。
程は、実施の形態１と同様である。
【００９１】
【発明の効果】本発明によれば、正孔注入輸送層用組成
物を液体にすることにより材料の最適設計を可能にし、
更に液体組成物をインク化することにより、インクジェ
ット方式による正孔注入輸送層の高精度パターニングを
可能にできる。また、正孔注入輸送層材料して導電性化
合物、特に、高分子材料を用いることにより高信頼性、
高特性の有機ＥＬ素子を製造することが可能となる。
物を液体にすることにより材料の最適設計を可能にし、
更に液体組成物をインク化することにより、インクジェ
ット方式による正孔注入輸送層の高精度パターニングを
可能にできる。また、正孔注入輸送層材料して導電性化
合物、特に、高分子材料を用いることにより高信頼性、
高特性の有機ＥＬ素子を製造することが可能となる。
【００９２】本発明に係わるインクジェット方式パター
ニングによれば、簡便でかつ低コストな正孔注入輸送層
形成を提供することができる。
ニングによれば、簡便でかつ低コストな正孔注入輸送層
形成を提供することができる。
【００９３】本発明の有機ＥＬ素子の製造法によれば、
膜厚、ドット数等の条件を任意に調整可能であるため発
光素子のサイズやパターンも任意に設定することができ
る。更に、インクジェット方式パターニングによる赤
色、緑色、青色の３原色発光層形成とを組み合わせるこ
とにより、発光特性の優れた高精細フルカラーディスプ
レイの開発が可能となる。
膜厚、ドット数等の条件を任意に調整可能であるため発
光素子のサイズやパターンも任意に設定することができ
る。更に、インクジェット方式パターニングによる赤
色、緑色、青色の３原色発光層形成とを組み合わせるこ
とにより、発光特性の優れた高精細フルカラーディスプ
レイの開発が可能となる。
【図１】ＥＬ素子の製造工程断面図である。
１０１ 透明画素電極 １０２ ガラス基板 １０３ 仕切部材 １０４ インクジェットプリント装置 １０５ インクジェットヘッド １０６ 正孔注入輸送用組成物 １０７ 正孔注入輸送層 １０８ 発光層組成物 １０９ 発光層 １１０ 陰電極
Claims (21)
- 【請求項１】 有機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインク
ジェット式記録ヘッドを用いてパターニング形成するた
めに用いられる組成物であって、導電性化合物と溶媒と
を含み、前記インクジェット式記録ヘッドのインク吐出
ノズル面を構成する材料に対する接触角が３０°から１
７０°の範囲である、正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項２】 有機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインク
ジェット式記録ヘッドを用いてパターニング形成するた
めに用いられる組成物であって、導電性化合物と溶媒と
を含み、粘度が１ｃｐから２０ｃｐの範囲である、正孔
注入輸送層用組成物。 - 【請求項３】 有機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインク
ジェット式記録ヘッドを用いてパターニング形成するた
めに用いられる組成物であって、導電性化合物と溶媒と
を含み、表面張力が２０ｄｙｎｅから７０ｄｙｎｅの範
囲である、正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項４】 有機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインク
ジェット式記録ヘッドを用いてパターニング形成するた
めに用いられる組成物であって、導電性化合物と溶媒と
を含み、前記インクジェット式記録ヘッドのインク吐出
ノズル面を構成する材料に対する接触角が３０°から１
７０°の範囲であり、かつ、粘度が１ｃｐから２０ｃｐ
の範囲である、正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項５】 有機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインク
ジェット式記録ヘッドを用いてパターニング形成するた
めに用いられる組成物であって、導電性化合物と溶媒と
を含み、粘度が１ｃｐから２０ｃｐの範囲であり、か
つ、表面張力が２０ｄｙｎｅから７０ｄｙｎｅの範囲で
ある、正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項６】 有機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインク
ジェット式記録ヘッドを用いてパターニング形成するた
めに用いられる組成物であって、導電性化合物と溶媒と
を含み、表面張力が２０ｄｙｎｅから７０ｄｙｎｅの範
囲であり、かつ、前記インクジェット式記録ヘッドのイ
ンク吐出ノズル面を構成する材料に対する接触角が３０
°から１７０°の範囲である、正孔注入輸送層用組成
物。 - 【請求項７】 有機ＥＬ素子の正孔注入輸送層をインク
ジェット式記録ヘッドを用いてパターニング形成するた
めに用いられる組成物であって、導電性化合物と溶媒と
を含み、前記インクジェット式記録ヘッドのインク吐出
ノズル面を構成する材料に対する接触角が３０°から１
７０°の範囲であり、かつ、粘度が１ｃｐから２０ｃｐ
の範囲であって、表面張力が２０ｄｙｎｅから７０ｄｙ
ｎｅの範囲である、正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項８】 前記導電性化合物は高分子材料或いは低
分子材料の何れかである、請求項１乃至請求項７のうち
何れか１項に記載の正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項９】 前記導電性化合物の濃度は、０．０１ｗ
ｔ％乃至１０ｗｔ％の範囲である、請求項１乃至請求項
８のうち何れか１項に記載の正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項１０】 前記導電性化合物が前記溶媒として極
性溶媒に溶解又は分散された状態で存在する、請求項１
乃至請求項９のうち何れか１項に記載の正孔注入輸送層
用組成物。 - 【請求項１１】 前記極性溶媒は水と低級アルコールの
混合溶媒である、請求項１０に記載の正孔注入輸送層用
組成物。 - 【請求項１２】 前記低級アルコールは、メタノール又
はエタノールである、請求項１１に記載の正孔注入輸送
層用組成物。 - 【請求項１３】 前記極性溶媒が水とセロソルブ系溶媒
の混合溶媒である、請求項１０に記載の正孔注入輸送層
用組成物。 - 【請求項１４】 前記セロソルブ系溶媒は、エトキシエ
タノールである、請求項１３に記載の正孔注入輸送層用
組成物。 - 【請求項１５】 前記組成物中には湿潤剤が含まれてい
る、請求項１乃至請求項１４のうち何れか１項に記載の
正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項１６】 前記湿潤剤はグリセリンである、請求
項１５に記載の正孔注入輸送層用組成物。 - 【請求項１７】 請求項１乃至請求項１６のうち何れか
１項に記載の正孔注入輸送層用組成物を、超音波処理工
程と、濾過工程を経て製造する方法。 - 【請求項１８】 画素領域毎に区画された仕切部材内に
形成される、正孔注入輸送層と発光層の積層構造を有す
る有機ＥＬ素子の製造方法において、 前記画素領域に対応した開口部を備える仕切部材を基板
上に形成する工程と、 インクジェット式記録ヘッドを用いて前記開口部内に、
請求項１乃至請求項１７のうち何れか１項に記載の正孔
注入輸送層用組成物を充填する工程と、 前記開口部内に充填された正孔注入輸送層用組成物を乾
燥処理して正孔注入輸送層を形成する工程と、 を備える有機ＥＬ素子の製造方法。 - 【請求項１９】 請求項１８に記載の製造方法で製造さ
れた有機ＥＬ素子。 - 【請求項２０】 請求項１８に記載の製造方法で製造さ
れた、前記正孔注入輸送層の膜厚が０．１μｍ以下であ
る、有機ＥＬ素子。 - 【請求項２１】 請求項１８に記載の製造方法で製造さ
れた、前記正孔注入輸送層の膜抵抗が０．５×１０9Ω
／ｍ2乃至５×１０9Ω／ｍ2の範囲である、有機ＥＬ素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10248816A JP2000106278A (ja) | 1997-09-02 | 1998-09-02 | 有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23710397 | 1997-09-02 | ||
| JP21459698 | 1998-07-29 | ||
| JP9-237103 | 1998-07-29 | ||
| JP10-214596 | 1998-07-29 | ||
| JP10248816A JP2000106278A (ja) | 1997-09-02 | 1998-09-02 | 有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子 |
Related Child Applications (7)
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|---|---|---|---|
| JP2003209652A Division JP2004031363A (ja) | 1997-09-02 | 2003-08-29 | 正孔注入輸送層用組成物、有機ｅｌ素子及びその製造方法 |
| JP2003209650A Division JP3807621B2 (ja) | 1997-09-02 | 2003-08-29 | 有機ｅｌ素子の製造方法 |
| JP2003209649A Division JP2004055555A (ja) | 1997-09-02 | 2003-08-29 | 正孔注入輸送層用組成物、有機ｅｌ素子及びその製造方法 |
| JP2003209651A Division JP2004031362A (ja) | 1997-09-02 | 2003-08-29 | 正孔注入輸送層用組成物、有機ｅｌ素子及びその製造方法 |
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Publications (2)
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|---|---|
| JP2000106278A true JP2000106278A (ja) | 2000-04-11 |
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