JP2000042780A - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工方法及びレーザ加工装置Info
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- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ加工において加工速度を短縮するこ
と。 【解決手段】 ワーク４１の加工部にアシストガスを連
続的に吹き付けながら、レーザビームによってピアッシ
ング加工する。この加工中に、加工部に対してブローガ
スを断続的に吹き付け、溶融物を飛散させる。
と。 【解決手段】 ワーク４１の加工部にアシストガスを連
続的に吹き付けながら、レーザビームによってピアッシ
ング加工する。この加工中に、加工部に対してブローガ
スを断続的に吹き付け、溶融物を飛散させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザビームに
よってワークに加工を行うレーザ加工方法及びレーザ加
工装置に関するものである。
よってワークに加工を行うレーザ加工方法及びレーザ加
工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工装置は、板状のワークをレー
ザビームにより切断して、所定形状の製品を得る場合に
使用される。この切断加工に際しては、まず、ピアッシ
ングが行われる。そして、このピアッシングにより形成
された貫通孔を始点として、製品形状等の所要の軌跡を
描くように加工ヘッドが移動され、これによりワークが
所要形状に切断される。
ザビームにより切断して、所定形状の製品を得る場合に
使用される。この切断加工に際しては、まず、ピアッシ
ングが行われる。そして、このピアッシングにより形成
された貫通孔を始点として、製品形状等の所要の軌跡を
描くように加工ヘッドが移動され、これによりワークが
所要形状に切断される。
【０００３】このようなピアッシングの時間を短縮した
り、ワーク表面における溶融物の盛り上がりを防止した
りするために、従来から種々の方法が提案されている。
例えば、ピアッシングを短時間に行う方法としては、次
の（１）〜（３）の方法が提案されている。
り、ワーク表面における溶融物の盛り上がりを防止した
りするために、従来から種々の方法が提案されている。
例えば、ピアッシングを短時間に行う方法としては、次
の（１）〜（３）の方法が提案されている。
【０００４】（１） 特開平７−９１７５号公報には、
ピアッシングの開始時にノズルをワークの表面から離間
した状態で、ワークにレーザビームを照射し、ピアッシ
ングが進行するのに従って、ノズルをワークに対して徐
々に接近移動させる方法が開示されている。
ピアッシングの開始時にノズルをワークの表面から離間
した状態で、ワークにレーザビームを照射し、ピアッシ
ングが進行するのに従って、ノズルをワークに対して徐
々に接近移動させる方法が開示されている。
【０００５】（２） 特開平５−１３８３８２号公報に
は、ピアッシングの開始時にパルス発振のデュティ比を
低く設定し、ピアッシングが進行するに従って、パルス
発振のデュティ比を徐々に高くして、レーザ出力を上げ
る方法が開示されている。
は、ピアッシングの開始時にパルス発振のデュティ比を
低く設定し、ピアッシングが進行するに従って、パルス
発振のデュティ比を徐々に高くして、レーザ出力を上げ
る方法が開示されている。
【０００６】（３） 特開平５−１１１７８４号公報に
は、ピアッシングに際して、ノズルをワークに対して周
期的に接離移動させる方法が開示されている。しかしな
がら、この（１）〜（３）の方法は、いずれもピアッシ
ングに際して、ワークの表面に溜まる溶融物をできるだ
け少なくするようにするとともに、ノズルから吹き出さ
れるアシストガスにより、酸化の外に溶融物の吹き飛ば
しを行わせるようにしたものである。このため、これら
の方法においては、溶融物の盛り上がりをある程度抑制
することができても、ピアッシングを短時間に行うこと
はできず、その加工に長時間を必要とした。
は、ピアッシングに際して、ノズルをワークに対して周
期的に接離移動させる方法が開示されている。しかしな
がら、この（１）〜（３）の方法は、いずれもピアッシ
ングに際して、ワークの表面に溜まる溶融物をできるだ
け少なくするようにするとともに、ノズルから吹き出さ
れるアシストガスにより、酸化の外に溶融物の吹き飛ば
しを行わせるようにしたものである。このため、これら
の方法においては、溶融物の盛り上がりをある程度抑制
することができても、ピアッシングを短時間に行うこと
はできず、その加工に長時間を必要とした。
【０００７】また、切断加工に際して、溶融物の吹き上
がりが生じるのを防止する方法としては、次の（４）〜
（７）の方法が提案されている。 （４） 特開平５−８４５８９号公報では、切断加工の
際に、センタノズルからワークの加工部に吹き出される
アシストガスとして、高純度の酸素を使用し、加工部に
大気を巻き込まないように、かつ、流速を弱めるため
に、センタノズルとシールドノズルとの二重構造が採用
され、センタノズルから吹き出されるアシストガスの周
囲に、シールドノズルからシールドガスが吹き付けられ
るようになっている。
がりが生じるのを防止する方法としては、次の（４）〜
（７）の方法が提案されている。 （４） 特開平５−８４５８９号公報では、切断加工の
際に、センタノズルからワークの加工部に吹き出される
アシストガスとして、高純度の酸素を使用し、加工部に
大気を巻き込まないように、かつ、流速を弱めるため
に、センタノズルとシールドノズルとの二重構造が採用
され、センタノズルから吹き出されるアシストガスの周
囲に、シールドノズルからシールドガスが吹き付けられ
るようになっている。
【０００８】（５） 特開平９−２１６０８１号公報に
は、補助ノズルからの酸素圧力を高く設定して、溶融金
属を吹き飛ばす方法が開示されている。 （６） 特開平６−１９８４８５号公報には、ノズルを
二重構造とし、シールドガスの周囲から冷却ガスを噴出
させることによって、切断幅を小さくする方法が開示さ
れている。
は、補助ノズルからの酸素圧力を高く設定して、溶融金
属を吹き飛ばす方法が開示されている。 （６） 特開平６−１９８４８５号公報には、ノズルを
二重構造とし、シールドガスの周囲から冷却ガスを噴出
させることによって、切断幅を小さくする方法が開示さ
れている。
【０００９】しかしながら、この（４）〜（６）の方法
は、いずれもノズルを二重構造として、通常の切断加工
を良好に行うことを目的としている。そして、補助アシ
ストガスに高圧の酸素や冷却した不活性ガスが使用さ
れ、溶融金属の吹き飛ばしや酸化の抑制を目的に切断の
際には連続的に吹き出しを行っている。このため、コー
ナ部の切断に差し掛かった際に、そのコーナ部に溶融物
の吹き上がりが生じるのを防止することに対しては、充
分ではなかった。すなわち、コーナ部は切断速度が遅く
なるために、単位時間当りの熱量と酸素が多過ぎて多量
の溶融物が生じる。また、不活性ガスを連続的に吹き付
けるものについては、アシストガスの酸素の純度が低下
する。
は、いずれもノズルを二重構造として、通常の切断加工
を良好に行うことを目的としている。そして、補助アシ
ストガスに高圧の酸素や冷却した不活性ガスが使用さ
れ、溶融金属の吹き飛ばしや酸化の抑制を目的に切断の
際には連続的に吹き出しを行っている。このため、コー
ナ部の切断に差し掛かった際に、そのコーナ部に溶融物
の吹き上がりが生じるのを防止することに対しては、充
分ではなかった。すなわち、コーナ部は切断速度が遅く
なるために、単位時間当りの熱量と酸素が多過ぎて多量
の溶融物が生じる。また、不活性ガスを連続的に吹き付
けるものについては、アシストガスの酸素の純度が低下
する。
【００１０】さらに、ピアッシングに際して、貫通孔の
回りに盛り上がる溶融物を少なくする方法としては、次
の（７）の方法が提案されている。 （７） 特開平９−２７７０７１号公報には、ワークに
ピアッシングを行う際に、ピアッシング時のノズル動作
を単純化してピアッシング時間を短かくする加工方法
と、ワークの加工部に対し、センタノズルからアシスト
ガスを吹き付けるとともに、ブローノズルからブローガ
スを吹き付けて、アシストガスが遮断されないようにし
て溶融物を吹き飛ばす方法が開示されている。
回りに盛り上がる溶融物を少なくする方法としては、次
の（７）の方法が提案されている。 （７） 特開平９−２７７０７１号公報には、ワークに
ピアッシングを行う際に、ピアッシング時のノズル動作
を単純化してピアッシング時間を短かくする加工方法
と、ワークの加工部に対し、センタノズルからアシスト
ガスを吹き付けるとともに、ブローノズルからブローガ
スを吹き付けて、アシストガスが遮断されないようにし
て溶融物を吹き飛ばす方法が開示されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】前記（７）の方法にお
いては、ピアッシングの開始直後または開始から所定時
間経過後に、ブローガスの吹き付けが開始され、ピアッ
シングが終了するまでの間、ブローガスが連続的に吹き
付けられる。このため、ブローガスの連続的な吹き付け
に伴ってアシストガスの流れが阻害され続け、アシスト
ガスによる酸化反応が抑制されて、加工時間を短くする
ことには効果があがらなかった。また、ブローガスが連
続的に吹き付けられる結果、加工部が過度に冷却され
て、加工が進行せず、この点からも加工時間短縮には限
界があった。
いては、ピアッシングの開始直後または開始から所定時
間経過後に、ブローガスの吹き付けが開始され、ピアッ
シングが終了するまでの間、ブローガスが連続的に吹き
付けられる。このため、ブローガスの連続的な吹き付け
に伴ってアシストガスの流れが阻害され続け、アシスト
ガスによる酸化反応が抑制されて、加工時間を短くする
ことには効果があがらなかった。また、ブローガスが連
続的に吹き付けられる結果、加工部が過度に冷却され
て、加工が進行せず、この点からも加工時間短縮には限
界があった。
【００１２】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、加工時間を大幅に短縮できるレーザ加工
方法及び装置を提供することにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、加工時間を大幅に短縮できるレーザ加工
方法及び装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記の目
的を達成するために、請求項１に記載の発明では、加工
部に対してブローガスを断続的に吹き付けるようにし
た。請求項２に記載の発明では、ピアッシング加工部に
対してブローガスを断続的に吹き付けるようにした。さ
らに、請求項９、１０に記載の発明では、コーナ部の切
断加工に際して、そのコーナ加工部にブローガスを断続
的に吹き付けるようにした。
的を達成するために、請求項１に記載の発明では、加工
部に対してブローガスを断続的に吹き付けるようにし
た。請求項２に記載の発明では、ピアッシング加工部に
対してブローガスを断続的に吹き付けるようにした。さ
らに、請求項９、１０に記載の発明では、コーナ部の切
断加工に際して、そのコーナ加工部にブローガスを断続
的に吹き付けるようにした。
【００１４】このため、加工部に発生した溶融物はブロ
ーガスにより一瞬にして、かつ断続的に吹き飛ばされ、
新たな加工面がレーザビームに曝されることになる。こ
のため、レーザビームが溶融物によって加工面を照射す
るのを妨げることが抑制され、加工速度をアップでき
る。しかも、ブローガスの吹き付けが断続的であるた
め、アシストガスの流れが阻害されるのを最小限にする
ことができ、アシストガスによる酸化作用はほとんど抑
制されない。むしろ、ブローガスの吹き付けが断続的で
あるため、加工部が過度に冷却されることなく、適度に
冷却される。このため、過度な酸化作用を抑制して、ピ
アッシングの障害になる溶融物の量を少なくできる。こ
れらの結果、ピアッシングの時間の大幅短縮を実現でき
る。また、溶融物の発生量が少ないことは、高精度加工
にも寄与できる。特に、コーナ部においては、切断加工
の速度が遅くなるために、単位時間当りの熱量とアシス
トガスとしての酸素が多過ぎて溶融物の発生量が多くな
り、加工精度が低下するものであるが、この発明におい
ては、このような問題点を解決できる。
ーガスにより一瞬にして、かつ断続的に吹き飛ばされ、
新たな加工面がレーザビームに曝されることになる。こ
のため、レーザビームが溶融物によって加工面を照射す
るのを妨げることが抑制され、加工速度をアップでき
る。しかも、ブローガスの吹き付けが断続的であるた
め、アシストガスの流れが阻害されるのを最小限にする
ことができ、アシストガスによる酸化作用はほとんど抑
制されない。むしろ、ブローガスの吹き付けが断続的で
あるため、加工部が過度に冷却されることなく、適度に
冷却される。このため、過度な酸化作用を抑制して、ピ
アッシングの障害になる溶融物の量を少なくできる。こ
れらの結果、ピアッシングの時間の大幅短縮を実現でき
る。また、溶融物の発生量が少ないことは、高精度加工
にも寄与できる。特に、コーナ部においては、切断加工
の速度が遅くなるために、単位時間当りの熱量とアシス
トガスとしての酸素が多過ぎて溶融物の発生量が多くな
り、加工精度が低下するものであるが、この発明におい
ては、このような問題点を解決できる。
【００１５】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は２において、ブローガスとして不活性ガスを使用する
ようにした。このため、加工部の過度な酸化を抑制して
ピアッシングを円滑に行うことができる。
は２において、ブローガスとして不活性ガスを使用する
ようにした。このため、加工部の過度な酸化を抑制して
ピアッシングを円滑に行うことができる。
【００１６】請求項４に記載の発明では、請求項２また
は３において、ブローガスの吹き付けは、レーザビーム
の照射開始からあらかじめ定められた時間だけ遅れて行
われるようにした。請求項６に記載の発明では、請求項
２〜５のいずれかにおいて、レーザビームの照射開始か
らあらかじめ定められた時間後に、０．１〜１．０秒間
だけ加工部にブローガスを吹き付け、その後予め定めら
れた時間後に０．１〜１．０秒間だけ加工部にブローガ
スを断続的に吹き付けるようにした。
は３において、ブローガスの吹き付けは、レーザビーム
の照射開始からあらかじめ定められた時間だけ遅れて行
われるようにした。請求項６に記載の発明では、請求項
２〜５のいずれかにおいて、レーザビームの照射開始か
らあらかじめ定められた時間後に、０．１〜１．０秒間
だけ加工部にブローガスを吹き付け、その後予め定めら
れた時間後に０．１〜１．０秒間だけ加工部にブローガ
スを断続的に吹き付けるようにした。
【００１７】従って、溶融物が形成された状態で、ブロ
ーガスが吹き付けられるため、その溶融物を確実に除去
できるとともに、加工部の過度な冷却を防止でき、前述
した加工速度短縮をいっそう促進できる。
ーガスが吹き付けられるため、その溶融物を確実に除去
できるとともに、加工部の過度な冷却を防止でき、前述
した加工速度短縮をいっそう促進できる。
【００１８】請求項５に記載の発明では、請求項４にお
いて、ブローガスをレーザビームの照射時間よりも短か
い時間だけ加工部に吹き付けるようにした。従って、レ
ーザビームとアシストガスとのワークのピアッシング加
工における酸化作用がブローガスによる酸化抑制作用に
より阻害されることなく、生成過程の溶融物をブローガ
スにより吹き飛ばし、新たな切断面をレーザビームにあ
らわすことができ、ピアッシングを短時間で行うことが
できる。
いて、ブローガスをレーザビームの照射時間よりも短か
い時間だけ加工部に吹き付けるようにした。従って、レ
ーザビームとアシストガスとのワークのピアッシング加
工における酸化作用がブローガスによる酸化抑制作用に
より阻害されることなく、生成過程の溶融物をブローガ
スにより吹き飛ばし、新たな切断面をレーザビームにあ
らわすことができ、ピアッシングを短時間で行うことが
できる。
【００１９】請求項７に記載の発明では、請求項２〜６
のいずれかにおいて、ピアッシング加工進行にともない
ノズルがワークに対して近づきながらピアッシングを行
うようにした。
のいずれかにおいて、ピアッシング加工進行にともない
ノズルがワークに対して近づきながらピアッシングを行
うようにした。
【００２０】従って、ピアッシングの加工が進行して
も、ノズルと加工面との間が大きく離れることがなく、
加工面に対するアシストガスの圧力を適正に維持できる
とともに、レーザビームの焦点を加工面の穴底にあわせ
て、レーザ加工を確実に行うことができる。しかも、加
工終了時には、貫通孔の形成と同時にアシストガスの圧
力により加工部の残留溶融物を下方へ確実に吹き飛ばす
ことができ、加工穴の周囲が特別に厚くならず加工速度
短縮と高精度加工に好適である。
も、ノズルと加工面との間が大きく離れることがなく、
加工面に対するアシストガスの圧力を適正に維持できる
とともに、レーザビームの焦点を加工面の穴底にあわせ
て、レーザ加工を確実に行うことができる。しかも、加
工終了時には、貫通孔の形成と同時にアシストガスの圧
力により加工部の残留溶融物を下方へ確実に吹き飛ばす
ことができ、加工穴の周囲が特別に厚くならず加工速度
短縮と高精度加工に好適である。
【００２１】請求項８に記載の発明では、請求項１〜７
のいずれかにおいて、加工部におけるブローガスの圧力
がアシストガスの圧力よりも高くした。従って、ブロー
ガスにより溶融物を一瞬のうちに吹き飛ばすことができ
る。この場合、ブローガスの吹き付けがワンショットで
断続的であるため、アシストガスの酸化作用にはほとん
ど影響を与えず、むしろ溶融物の除去による効果のほう
がはるかに大きい。
のいずれかにおいて、加工部におけるブローガスの圧力
がアシストガスの圧力よりも高くした。従って、ブロー
ガスにより溶融物を一瞬のうちに吹き飛ばすことができ
る。この場合、ブローガスの吹き付けがワンショットで
断続的であるため、アシストガスの酸化作用にはほとん
ど影響を与えず、むしろ溶融物の除去による効果のほう
がはるかに大きい。
【００２２】請求項９に記載の発明ではコーナ部の切断
加工に際して、そのコーナ加工部にブローガスを断続的
に吹き付けるようにした。請求項１０に記載の発明では
請求項９において、ノズルがコーナ部に到達した時にコ
ーナ部にブローガスを吹き付けるようにした。このため
コーナ部での切断に、ブローガスの吹き付けが効果的に
作用し、溶融物の発生量を最小限に抑制でき局部的に切
断幅が大きくなることはない。
加工に際して、そのコーナ加工部にブローガスを断続的
に吹き付けるようにした。請求項１０に記載の発明では
請求項９において、ノズルがコーナ部に到達した時にコ
ーナ部にブローガスを吹き付けるようにした。このため
コーナ部での切断に、ブローガスの吹き付けが効果的に
作用し、溶融物の発生量を最小限に抑制でき局部的に切
断幅が大きくなることはない。
【００２３】請求項１１に記載の発明では、請求項１〜
１０のいずれかにおいて、ブローガスの吹き付けがアシ
ストガスの吹き付け領域を中心にした環状領域から行わ
れるようにした。
１０のいずれかにおいて、ブローガスの吹き付けがアシ
ストガスの吹き付け領域を中心にした環状領域から行わ
れるようにした。
【００２４】このため、ブローガスの吹き付けが全方位
から行われることになり、溶融物を小さくして確実に吹
き飛ばすことができる。請求項１２に記載の発明では、
請求項１〜１０のいずれかにおいて、ブローガスの吹き
付けがアシストガスの吹き付け領域の側方からアシスト
ガスの吹き付け方向と斜交するように行われるようにし
た、従って、ノズル形状として従来と同一のものを使用
できるため、ブローガスの吹き付け用ノズルを後付けで
設けることができ、既存のレーザ加工機でも、この発明
の効果を享受できるようになる。
から行われることになり、溶融物を小さくして確実に吹
き飛ばすことができる。請求項１２に記載の発明では、
請求項１〜１０のいずれかにおいて、ブローガスの吹き
付けがアシストガスの吹き付け領域の側方からアシスト
ガスの吹き付け方向と斜交するように行われるようにし
た、従って、ノズル形状として従来と同一のものを使用
できるため、ブローガスの吹き付け用ノズルを後付けで
設けることができ、既存のレーザ加工機でも、この発明
の効果を享受できるようになる。
【００２５】請求項１３に記載の発明では、センタノズ
ルの外側にはワークの加工部にブローガスを吹き付ける
ためのブローノズルを配設し、そのブローノズルからの
ブローガスの吹き付けが断続的になるように制御する制
御手段を設けたものである。
ルの外側にはワークの加工部にブローガスを吹き付ける
ためのブローノズルを配設し、そのブローノズルからの
ブローガスの吹き付けが断続的になるように制御する制
御手段を設けたものである。
【００２６】このため、請求項１〜１０の発明の効果を
有するレーザ加工装置を実現できる。請求項１４に記載
の発明では、請求項１２において、ブローガスの吹き付
けノズルのノズル口がアシストガスの吹き付けノズルの
ノズル口に対して同心状に設けられている。
有するレーザ加工装置を実現できる。請求項１４に記載
の発明では、請求項１２において、ブローガスの吹き付
けノズルのノズル口がアシストガスの吹き付けノズルの
ノズル口に対して同心状に設けられている。
【００２７】従って、請求項１１に記載の発明の効果を
有するレーザ加工装置を実現できる。請求項１５に記載
の発明では、請求項１３において、ブローガスの吹き付
けノズルがアシストガスの吹き付けノズルから離隔して
加工部を指向するように設けられている。
有するレーザ加工装置を実現できる。請求項１５に記載
の発明では、請求項１３において、ブローガスの吹き付
けノズルがアシストガスの吹き付けノズルから離隔して
加工部を指向するように設けられている。
【００２８】従って、請求項１２に記載の発明の効果を
有するレーザ加工装置を実現できる。
有するレーザ加工装置を実現できる。
【００２９】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下に、この
発明の第１の実施形態を、図１〜図４に基づいて説明す
る。初めに、レーザ加工装置の構成を説明する。図１に
示すように、レーザ加工装置の加工ヘッド２０におい
て、レンズ１１を有するホルダ１２の下端にはセンタノ
ズル１３が固定されており、その下端にはノズル口１４
が形成されている。そして、レーザ発振器１５から出力
されたレーザビームが前記レンズ１１を通ってノズル口
１４からワーク４１に対して照射される。前記ホルダ１
２の内側にはアシストガス供給バルブ１６を介してアシ
ストガス供給源１７が接続されており、アシストガス供
給バルブ１６の開放時に、アシストガス供給源１７から
ホルダ１２内にワークを酸化溶融させるための酸素より
なるアシストガスが供給され、センタノズル１３のノズ
ル口１４からワーク４１の加工部に向かって噴出され
る。
発明の第１の実施形態を、図１〜図４に基づいて説明す
る。初めに、レーザ加工装置の構成を説明する。図１に
示すように、レーザ加工装置の加工ヘッド２０におい
て、レンズ１１を有するホルダ１２の下端にはセンタノ
ズル１３が固定されており、その下端にはノズル口１４
が形成されている。そして、レーザ発振器１５から出力
されたレーザビームが前記レンズ１１を通ってノズル口
１４からワーク４１に対して照射される。前記ホルダ１
２の内側にはアシストガス供給バルブ１６を介してアシ
ストガス供給源１７が接続されており、アシストガス供
給バルブ１６の開放時に、アシストガス供給源１７から
ホルダ１２内にワークを酸化溶融させるための酸素より
なるアシストガスが供給され、センタノズル１３のノズ
ル口１４からワーク４１の加工部に向かって噴出され
る。
【００３０】前記センタノズル１３を包囲するようにホ
ルダ１２の下端にはブローノズル２１がリング１８のね
じ込みにより固定され、その下端にはノズル口２２が形
成されている。ブローノズル２１の内側にはブローガス
供給バルブ２３を介してブローガス供給源２４が接続さ
れており、ブローガス供給バルブ２３の開放時に、ブロ
ーガス供給源２４から窒素ガス等の不活性ガスよりなる
ブローガスが供給され、ノズル口２２からワーク４１の
加工部に向かって噴出される。このブローガスは、溶融
物としてのドロスを吹き飛ばすためのものである。前記
ブローノズル２１のノズル口２２は前記センタノズル１
３のノズル口１４を中心とした同心状をなす環状に形成
されており、ブローガスがアシストガスの噴射流を包囲
するように環状に噴出される。
ルダ１２の下端にはブローノズル２１がリング１８のね
じ込みにより固定され、その下端にはノズル口２２が形
成されている。ブローノズル２１の内側にはブローガス
供給バルブ２３を介してブローガス供給源２４が接続さ
れており、ブローガス供給バルブ２３の開放時に、ブロ
ーガス供給源２４から窒素ガス等の不活性ガスよりなる
ブローガスが供給され、ノズル口２２からワーク４１の
加工部に向かって噴出される。このブローガスは、溶融
物としてのドロスを吹き飛ばすためのものである。前記
ブローノズル２１のノズル口２２は前記センタノズル１
３のノズル口１４を中心とした同心状をなす環状に形成
されており、ブローガスがアシストガスの噴射流を包囲
するように環状に噴出される。
【００３１】図２に示すように、制御装置３１はＣＰＵ
（中央処理装置）３２、装置の動作プログラムを格納す
るＲＯＭ（リードオンリメモリ）３３及び一時的なデー
タを記憶するＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３４に
より構成されている。制御装置３１にはインターフェー
ス３６を介して操作部３５が接続されている。また、制
御装置３１には前記レーザ発振器１５，アシストガス供
給源１７，アシストガス供給バルブ１６，ブローガス供
給源２４及びブローガス供給バルブ２３の外に、加工ヘ
ッド移動機構３６がインターフェース３７を介して接続
されている。その加工ヘッド移動機構３６は前記加工ヘ
ッド２０をＸ，Ｙ，Ｚの３方向に移動させるためのもの
である。
（中央処理装置）３２、装置の動作プログラムを格納す
るＲＯＭ（リードオンリメモリ）３３及び一時的なデー
タを記憶するＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３４に
より構成されている。制御装置３１にはインターフェー
ス３６を介して操作部３５が接続されている。また、制
御装置３１には前記レーザ発振器１５，アシストガス供
給源１７，アシストガス供給バルブ１６，ブローガス供
給源２４及びブローガス供給バルブ２３の外に、加工ヘ
ッド移動機構３６がインターフェース３７を介して接続
されている。その加工ヘッド移動機構３６は前記加工ヘ
ッド２０をＸ，Ｙ，Ｚの３方向に移動させるためのもの
である。
【００３２】そして、操作部３５からの操作に基づき、
制御装置３１は加工ヘッド移動機構３６を動作させて、
加工ヘッド２０をＸ，Ｙ，Ｚの３方向の少なくとも１方
向に移動させる。そして、これと同時に、制御装置３１
は、前記レーザ発振器１５を駆動させて、ワーク４１の
加工部に対してレーザビームを照射させるとともに、ア
シストガス供給源１７，アシストガス供給バルブ１６，
ブローガス供給源２４，ブローガス供給バルブ２３の動
作をそれぞれ制御し、ワーク４１の加工部に対してアシ
ストガス及びブローガスを所定のタイミングで噴出させ
る。この制御装置３１の制御により後述する各種の動作
が行われる。
制御装置３１は加工ヘッド移動機構３６を動作させて、
加工ヘッド２０をＸ，Ｙ，Ｚの３方向の少なくとも１方
向に移動させる。そして、これと同時に、制御装置３１
は、前記レーザ発振器１５を駆動させて、ワーク４１の
加工部に対してレーザビームを照射させるとともに、ア
シストガス供給源１７，アシストガス供給バルブ１６，
ブローガス供給源２４，ブローガス供給バルブ２３の動
作をそれぞれ制御し、ワーク４１の加工部に対してアシ
ストガス及びブローガスを所定のタイミングで噴出させ
る。この制御装置３１の制御により後述する各種の動作
が行われる。
【００３３】そこで、ワーク４１に対してピアッシング
加工を行う場合の動作について説明する。操作部３５か
らピアッシング加工開始指令が制御装置３１に入力され
ると、ＲＯＭ３３内のプログラムに基づき、まず、セン
タノズル１３及びブローノズル２１のノズル口１４，２
２とワーク４１との間の間隔がＬ１となるように加工ヘ
ッド２０が移動される。この状態で、図２に示される制
御手段により、図３に示すようなタイムチャートによ
り、アシストガス供給バルブ１６が開放されて、アシス
トガスがセンタノズル１３のノズル口１４からワーク４
１の加工部に対して噴出される。次に、加工部がアシス
トガス（酸素）が充満されたところで、レーザビームが
ワーク４１の加工部に対して照射され、ピアッシングが
開始される。アシストガスの吹き付けはレーザビームの
照射を開始する０．２秒以上前が最適である。
加工を行う場合の動作について説明する。操作部３５か
らピアッシング加工開始指令が制御装置３１に入力され
ると、ＲＯＭ３３内のプログラムに基づき、まず、セン
タノズル１３及びブローノズル２１のノズル口１４，２
２とワーク４１との間の間隔がＬ１となるように加工ヘ
ッド２０が移動される。この状態で、図２に示される制
御手段により、図３に示すようなタイムチャートによ
り、アシストガス供給バルブ１６が開放されて、アシス
トガスがセンタノズル１３のノズル口１４からワーク４
１の加工部に対して噴出される。次に、加工部がアシス
トガス（酸素）が充満されたところで、レーザビームが
ワーク４１の加工部に対して照射され、ピアッシングが
開始される。アシストガスの吹き付けはレーザビームの
照射を開始する０．２秒以上前が最適である。
【００３４】従って、この段階で、図４のＡ部分に示す
ように、ピアッシング加工が開始される。次いで、レー
ザビームの照射開始から０．４秒程度経過した後に、ブ
ローガス供給バルブ２３が瞬間的に開放され、ブローガ
スがブローノズル２１のノズル口２２からワーク４１の
加工部に対して０．２秒間噴出される。このレーザビー
ムの照射開始からブロー開始までの時間は、０．２秒〜
０．８秒程度が効果的であり、本実施形態では０．４秒
程度が最適である。また、ブローガスの噴出時間は、板
厚によっては０．１秒〜１．０秒程度であるが、本実施
形態では０．２秒程度が最適である。
ように、ピアッシング加工が開始される。次いで、レー
ザビームの照射開始から０．４秒程度経過した後に、ブ
ローガス供給バルブ２３が瞬間的に開放され、ブローガ
スがブローノズル２１のノズル口２２からワーク４１の
加工部に対して０．２秒間噴出される。このレーザビー
ムの照射開始からブロー開始までの時間は、０．２秒〜
０．８秒程度が効果的であり、本実施形態では０．４秒
程度が最適である。また、ブローガスの噴出時間は、板
厚によっては０．１秒〜１．０秒程度であるが、本実施
形態では０．２秒程度が最適である。
【００３５】このブローガスの噴出により、図４のＢ部
分に示すように、レーザビームによって形成された加工
孔４２内の溶融物としてのドロス４３が吹き飛ばされ
る。このため、加工孔４２内のドロス４３が除去され、
加工孔４２の新たな加工面が露出され、レーザビーム及
びアシストガスに曝される。また、ブローガスの瞬間的
吹き付けにより加工面が適度に冷却されるとともに、過
度な酸化が抑制され、余分なドロス４３の生成が抑制さ
れる。そして、その露出された加工面に対してアシスト
ガスの噴出及びレーザビームの照射が継続され、図４の
Ｃ部分に示すように、レーザビームによるピアッシング
加工が継続される。そして、前回のブローガスの噴出開
始から０．４秒程度経過すると再びブローガス供給バル
ブ２３が瞬間的に開放されてブローガスが０．２秒程度
噴出され、図４のＤ部分に示すように、ドロス４３が吹
き飛ばされて除去される。この場合も、ブローガスの噴
出時間は０．２秒程度が最適である。
分に示すように、レーザビームによって形成された加工
孔４２内の溶融物としてのドロス４３が吹き飛ばされ
る。このため、加工孔４２内のドロス４３が除去され、
加工孔４２の新たな加工面が露出され、レーザビーム及
びアシストガスに曝される。また、ブローガスの瞬間的
吹き付けにより加工面が適度に冷却されるとともに、過
度な酸化が抑制され、余分なドロス４３の生成が抑制さ
れる。そして、その露出された加工面に対してアシスト
ガスの噴出及びレーザビームの照射が継続され、図４の
Ｃ部分に示すように、レーザビームによるピアッシング
加工が継続される。そして、前回のブローガスの噴出開
始から０．４秒程度経過すると再びブローガス供給バル
ブ２３が瞬間的に開放されてブローガスが０．２秒程度
噴出され、図４のＤ部分に示すように、ドロス４３が吹
き飛ばされて除去される。この場合も、ブローガスの噴
出時間は０．２秒程度が最適である。
【００３６】一方、ピアッシング加工が継続される間、
加工ヘッド２０は、ノズル口１４，２２とワーク４１と
の間の間隔が通常の加工高さＬ２になるまで、下降し続
ける。このため、レーザビームの焦点が加工部と常に一
致するとともに、アシストガス及びブローガスの拡散を
防止して、それらを加工面に向かって噴出させることが
できる。従って、レーザビームにより効率的な加工を行
い得るとともに、ブローガスを有効に利用できる。
加工ヘッド２０は、ノズル口１４，２２とワーク４１と
の間の間隔が通常の加工高さＬ２になるまで、下降し続
ける。このため、レーザビームの焦点が加工部と常に一
致するとともに、アシストガス及びブローガスの拡散を
防止して、それらを加工面に向かって噴出させることが
できる。従って、レーザビームにより効率的な加工を行
い得るとともに、ブローガスを有効に利用できる。
【００３７】ピアッシング加工の終了時には、わずかに
残留したドロス４３がアシストガスにより加工孔４２の
貫通とともに、下方へ吹き飛ばされる。そして、切断加
工にに移行する場合は、加工ヘッド２０は前記間隔Ｌ２
を維持した状態で、横方向へ移動する。ただし、この場
合は、ブローガスの噴出は行われない。
残留したドロス４３がアシストガスにより加工孔４２の
貫通とともに、下方へ吹き飛ばされる。そして、切断加
工にに移行する場合は、加工ヘッド２０は前記間隔Ｌ２
を維持した状態で、横方向へ移動する。ただし、この場
合は、ブローガスの噴出は行われない。
【００３８】このようにして、ピアッシング加工が継続
される間、断続的にワーク４１の加工部に対してブロー
ガスが噴出され、その噴出によってドロス４３が除去さ
れる。このため、ドロス４３によりピアッシング加工が
阻害されることはほとんどなく、そのピアッシング加工
を効率的に行うことができ、その加工時間を大幅に短縮
することができ、さらには、加工孔４２の上部の縁部に
対するドロス４３の盛り上がりを防止でき、ピアッシン
グ後の加工ヘッド２０の横移動が加工穴周囲の加工厚み
にドロス４３の影響による変化がなく円滑に行われる。
される間、断続的にワーク４１の加工部に対してブロー
ガスが噴出され、その噴出によってドロス４３が除去さ
れる。このため、ドロス４３によりピアッシング加工が
阻害されることはほとんどなく、そのピアッシング加工
を効率的に行うことができ、その加工時間を大幅に短縮
することができ、さらには、加工孔４２の上部の縁部に
対するドロス４３の盛り上がりを防止でき、ピアッシン
グ後の加工ヘッド２０の横移動が加工穴周囲の加工厚み
にドロス４３の影響による変化がなく円滑に行われる。
【００３９】図６に示すように、コーナー部４５の切断
加工においては、加工ヘッド２０は前記間隔Ｌ２を維持
しながら移動する。そして、この場合、センタノズル２
２がコーナ部４５に達したときにセンタノズル１３がコ
ーナ部４５に到達した時点から０．２秒〜０．８秒毎に
前記と同様なタイミング及び噴出時間でブローガスが断
続的に加工部に対して吹き付けられる。従って、ドロス
４３が多く発生するコーナ部４５の切断において、その
切断を短時間で効率的、かつ高精度に行い得るばかりで
なく、切断形成された溝の上部側の縁部にドロス４３が
盛り上がるのを未然に防止できる。従って、ドロス４３
により加工ヘッド２０の移動に支障をきたしたりするこ
となく、コーナ部であっても加工ヘッド２０を円滑に移
動できる。
加工においては、加工ヘッド２０は前記間隔Ｌ２を維持
しながら移動する。そして、この場合、センタノズル２
２がコーナ部４５に達したときにセンタノズル１３がコ
ーナ部４５に到達した時点から０．２秒〜０．８秒毎に
前記と同様なタイミング及び噴出時間でブローガスが断
続的に加工部に対して吹き付けられる。従って、ドロス
４３が多く発生するコーナ部４５の切断において、その
切断を短時間で効率的、かつ高精度に行い得るばかりで
なく、切断形成された溝の上部側の縁部にドロス４３が
盛り上がるのを未然に防止できる。従って、ドロス４３
により加工ヘッド２０の移動に支障をきたしたりするこ
となく、コーナ部であっても加工ヘッド２０を円滑に移
動できる。
【００４０】前述した実施形態は以下に示す効果を発揮
する。 （１）ブローガスが加工部に対して断続的に吹き付けら
れることにより、加工部のドロス４３が除去され、レー
ザビーム及びアシストガスにより常に新しい加工面に対
してレーザ加工が施されることになる。また、ブローガ
スの断続的吹き付けにより、加工部が適度に冷却され、
余分なドロス４３の生成が抑制される。しかも、ブロー
ガスの吹き付けが断続的で、短時間であるため、アシス
トガスにより酸化作用はほとんど阻害されない。従っ
て、従来実現が困難であったピアッシングを極めて短時
間に効率的に行うことができる。
する。 （１）ブローガスが加工部に対して断続的に吹き付けら
れることにより、加工部のドロス４３が除去され、レー
ザビーム及びアシストガスにより常に新しい加工面に対
してレーザ加工が施されることになる。また、ブローガ
スの断続的吹き付けにより、加工部が適度に冷却され、
余分なドロス４３の生成が抑制される。しかも、ブロー
ガスの吹き付けが断続的で、短時間であるため、アシス
トガスにより酸化作用はほとんど阻害されない。従っ
て、従来実現が困難であったピアッシングを極めて短時
間に効率的に行うことができる。
【００４１】
【表１】 表１に示すデータは、図４に示すような加工条件でワー
ク４１として鉄板を用い、レーザ出力を３KW、アシスト
ガスの噴出圧力を２．０kg/cm2 、ブローガスの噴出圧力
を５．０kg/cm2に設定し、前述の最適タイミングでピア
ッシング加工を行った結果を示す。この結果から明らか
なように、従来加工方法に比べピアッシングに要する時
間を大幅に短縮することが可能になった。
ク４１として鉄板を用い、レーザ出力を３KW、アシスト
ガスの噴出圧力を２．０kg/cm2 、ブローガスの噴出圧力
を５．０kg/cm2に設定し、前述の最適タイミングでピア
ッシング加工を行った結果を示す。この結果から明らか
なように、従来加工方法に比べピアッシングに要する時
間を大幅に短縮することが可能になった。
【００４２】このように、加工時間が短縮されるため、
ドロス４３の量が少なくなり、言い換えれば必要以上に
ワークが溶融される量が少なくなって、細密な穿孔ある
いは切断が可能になり、高精度加工を達成できる。ま
た、ドロス４３が吹き飛ばされるため、加工部の上部に
ドロス４３が盛り上がることを防止でき、加工ヘッド２
０の切断のための移動が支障なく行われる。
ドロス４３の量が少なくなり、言い換えれば必要以上に
ワークが溶融される量が少なくなって、細密な穿孔ある
いは切断が可能になり、高精度加工を達成できる。ま
た、ドロス４３が吹き飛ばされるため、加工部の上部に
ドロス４３が盛り上がることを防止でき、加工ヘッド２
０の切断のための移動が支障なく行われる。
【００４３】特に、ワークが厚板になればその効果は大
であり、例えば１２ｍｍの鋼板に穴明け部が１００個あ
るワークの場合、従来に比べピアッシング時間だけで１
枚当たり１５分の加工時間の短縮が可能となる。 （２）アシストガスの吹き付けがレーザビームの照射開
始に先だって行われるため、レーザビームの照射開始時
には加工部が確実にアシストガスの酸素の雰囲気になっ
ている。従って、レーザ加工をその加工開始から効率的
に行うことができる。 （３）レーザビームの照射開始から、予め定められた時
間だけ断続的にブローガスの吹き付けが行われるため、
言い換えれば、ブローガスの噴出が瞬間的に一定間隔で
行われるため、アシストガスによる酸化の促進が損なわ
れることなく効率的にレーザビームがワーク面に照射さ
れ、ドロス４３は発生されると直ちにそれが除去され
る。 （４）ブローガスの圧力がアシストガスの圧力よりも高
く設定されているため、ドロス４３はアシストガスに阻
害されることなくブローガスにより確実に飛散されて除
去される。この場合、ブローガスにより瞬間的にアシス
トガスが拡散されるが、その時間が短いため、レーザ加
工に悪影響を与えることはない。 （５）センタノズル１３及びブローノズル２１がレーザ
加工の進行に伴ってワーク４１に対して接近移動するた
め、常にレーザビームの焦点を加工部に位置させること
ができるとともに、加工面におけるアシストガスの圧力
を一定に維持でき、効率的なレーザ加工を行うことがで
きる。 （６）ブローガスの吹き付けがアシストガス流を中心と
した環状領域から行われるため、ドロス４３がどの位置
にあっても、そのドロス４３を確実に吹き飛ばすことが
できる。
であり、例えば１２ｍｍの鋼板に穴明け部が１００個あ
るワークの場合、従来に比べピアッシング時間だけで１
枚当たり１５分の加工時間の短縮が可能となる。 （２）アシストガスの吹き付けがレーザビームの照射開
始に先だって行われるため、レーザビームの照射開始時
には加工部が確実にアシストガスの酸素の雰囲気になっ
ている。従って、レーザ加工をその加工開始から効率的
に行うことができる。 （３）レーザビームの照射開始から、予め定められた時
間だけ断続的にブローガスの吹き付けが行われるため、
言い換えれば、ブローガスの噴出が瞬間的に一定間隔で
行われるため、アシストガスによる酸化の促進が損なわ
れることなく効率的にレーザビームがワーク面に照射さ
れ、ドロス４３は発生されると直ちにそれが除去され
る。 （４）ブローガスの圧力がアシストガスの圧力よりも高
く設定されているため、ドロス４３はアシストガスに阻
害されることなくブローガスにより確実に飛散されて除
去される。この場合、ブローガスにより瞬間的にアシス
トガスが拡散されるが、その時間が短いため、レーザ加
工に悪影響を与えることはない。 （５）センタノズル１３及びブローノズル２１がレーザ
加工の進行に伴ってワーク４１に対して接近移動するた
め、常にレーザビームの焦点を加工部に位置させること
ができるとともに、加工面におけるアシストガスの圧力
を一定に維持でき、効率的なレーザ加工を行うことがで
きる。 （６）ブローガスの吹き付けがアシストガス流を中心と
した環状領域から行われるため、ドロス４３がどの位置
にあっても、そのドロス４３を確実に吹き飛ばすことが
できる。
【００４４】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
実施形態を図５に基づいて説明する。この第２実施形態
においては、ブローノズル２１がセンタノズル１３の側
方に位置するように、ホルダ１２に対して支持されてい
る。そして、ブローノズル２１のノズル口２２は、ブロ
ーガス流がアシストガス流に対して斜交するように斜め
方向を向いて加工部を指向している。
実施形態を図５に基づいて説明する。この第２実施形態
においては、ブローノズル２１がセンタノズル１３の側
方に位置するように、ホルダ１２に対して支持されてい
る。そして、ブローノズル２１のノズル口２２は、ブロ
ーガス流がアシストガス流に対して斜交するように斜め
方向を向いて加工部を指向している。
【００４５】従って、この第２実施形態においては、ブ
ローノズル２１をそれを有しないホルダ１１に対して容
易に取り付けることができ、前述した各種の効果を得る
ことができる。
ローノズル２１をそれを有しないホルダ１１に対して容
易に取り付けることができ、前述した各種の効果を得る
ことができる。
【００４６】なお、この発明は以下のような態様で具体
化しても良い。 （１）アシストガスの吹き付け開始からレーザービーム
の照射開始までの遅延時間、同じくアシストガスの吹き
付け開始からブローガス吹き付け開始までの遅延時間、
あるいはブローガスの吹き付け間隔や吹き付け時間等
を、ワーク４１の材質や板厚などに応じて適宜に変更す
ること。 （２）前記第２実施形態においてブローノズル２１を複
数個用いること。 （３）ピアッシング加工、コーナ部の切断以外のレーザ
加工においても、前記実施形態のように、ブローガスの
断続的吹き付けを行うこと。 （４）前記実施形態では、レーザ加工が進行するのにと
もない、加工ヘッド２０を徐々に下降させたが、ピアッ
シングを高い位置のまま行い、ピアッシング終了すると
ノズルを加工高さに下降してから通常の加工を開始する
こと。 （５）前記実施形態では、ブローガスを等間隔で断続的
に吹き付けを行ったが板厚が厚くなるに従って穴底が深
くなるのでブローガスの吹き付け間隔を長くしたり又は
ブローガスの吹き付け時間を長くしたりすること。 （６）前記実施形態ではブローガスの吹き付けをブロー
ガス供給バルブにより行ったが、ブローノズルを揺動式
にして、瞬間的に加工部にブローノズルを向けてブロー
ガスを吹き付けるようにしたりすること。
化しても良い。 （１）アシストガスの吹き付け開始からレーザービーム
の照射開始までの遅延時間、同じくアシストガスの吹き
付け開始からブローガス吹き付け開始までの遅延時間、
あるいはブローガスの吹き付け間隔や吹き付け時間等
を、ワーク４１の材質や板厚などに応じて適宜に変更す
ること。 （２）前記第２実施形態においてブローノズル２１を複
数個用いること。 （３）ピアッシング加工、コーナ部の切断以外のレーザ
加工においても、前記実施形態のように、ブローガスの
断続的吹き付けを行うこと。 （４）前記実施形態では、レーザ加工が進行するのにと
もない、加工ヘッド２０を徐々に下降させたが、ピアッ
シングを高い位置のまま行い、ピアッシング終了すると
ノズルを加工高さに下降してから通常の加工を開始する
こと。 （５）前記実施形態では、ブローガスを等間隔で断続的
に吹き付けを行ったが板厚が厚くなるに従って穴底が深
くなるのでブローガスの吹き付け間隔を長くしたり又は
ブローガスの吹き付け時間を長くしたりすること。 （６）前記実施形態ではブローガスの吹き付けをブロー
ガス供給バルブにより行ったが、ブローノズルを揺動式
にして、瞬間的に加工部にブローノズルを向けてブロー
ガスを吹き付けるようにしたりすること。
【図１】 レーザ加工装置の第１の実施形態を示す要部
断面図。
断面図。
【図２】 レーザ加工装置の回路構成を示すブロック
図。
図。
【図３】 レーザビームの照射及びガスの吹き付けのタ
イミングを示すタイムチャート。
イミングを示すタイムチャート。
【図４】 ピアッシングにおける加工部の状態を順に示
す説明図。
す説明図。
【図５】 レーザ加工装置の第２の実施形態を示す要部
断面図。
断面図。
【図６】 ワークの切断された溝のコーナ部を示す一部
平面図。
平面図。
１３…センタノズル、１４，２２…ノズル口、１６…ア
シストガス供給バルブ、２０…加工ヘッド、２１…ブロ
ーノズル、２３…ブローガス供給バルブ、３１…制御装
置、４１…ワーク。４２…加工孔、４３…ドロス。
シストガス供給バルブ、２０…加工ヘッド、２１…ブロ
ーノズル、２３…ブローガス供給バルブ、３１…制御装
置、４１…ワーク。４２…加工孔、４３…ドロス。
Claims (15)
- 【請求項１】 加工部にアシストガスを連続的に吹き付
けながら、レーザビームによってワークを加工するレー
ザ加工方法において、ワークの加工中に、加工部に対し
てブローガスを断続的に吹き付けるレーザ加工方法。 - 【請求項２】 加工部にアシストガスを連続的に吹き付
けながら、レーザビームによってワークに対してピアッ
シング加工するレーザ加工方法において、ピアッシング
加工部に対してブローガスを断続的に所定時間ずつ吹き
付けるレーザ加工方法。 - 【請求項３】 請求項１または２において、ブローガス
は不活性ガスを使用するレーザ加工方法。 - 【請求項４】 請求項２または３において、ブローガス
の吹き付けは、レーザビームの照射開始からあらかじめ
定められた時間だけ遅れて行われるレーザ加工方法。 - 【請求項５】 請求項４において、ブローガスをレーザ
ビームの照射時間よりも短かい時間だけ加工部に吹き付
けるレーザ加工方法。 - 【請求項６】 請求項２〜４のいずれかにおいて、レー
ザビームの照射開始からあらかじめ定められた時間後
に、０．１〜１．０秒間だけ加工部にブローガスを吹き
付け、その後、予め定められた時間後に０．１〜１．０
秒間だけ加工部にブローガスを断続的に吹き付けるレー
ザ加工方法。 - 【請求項７】 請求項２〜６のいずれかにおいて、ノズ
ルがワークに対して高い位置からピアッシングを開始し
てピアッシング加工進行にともないノズルがワークに近
づきながらピアッシングを行うレーザ加工方法。 - 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかにおいて、加工
部におけるブローガスの圧力がアシストガスの圧力より
も高いレーザ加工方法。 - 【請求項９】 ワークにアシストガスを連続的に吹き付
けながら、レーザビームによってワークに対して切断加
工を行うレーザ加工方法において、コーナ部の切断加工
に際して、そのコーナ加工部にブローガスを断続的に吹
き付けるレーザ加工方法。 - 【請求項１０】 請求項９において、コーナ部の加工に
際して、ノズルがコーナ部に到達した時にコーナ部にブ
ローガスを吹き付けるレーザ加工方法。 - 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれかにおいて、
ブローガスの吹き付けがアシストガス流を中心にした環
状領域から行われるレーザ加工方法。 - 【請求項１２】 請求項１〜１０のいずれかにおいて、
ブローガスの吹き付けがアシストガスの吹き付け領域の
側方からアシストガスの吹き付け方向と斜交するように
行われるレーザ加工方法。 - 【請求項１３】 センタノズルからワークにアシストガ
スを連続的に吹き付けながら、レーザビームによって加
工を行うレーザ加工装置において、前記センタノズルの
外側にはワークの加工部にブローガスを吹き付けるため
のブローノズルを配設し、そのブローノズルからのブロ
ーガスの吹き付けが断続的になるように制御する制御手
段を設け、請求項１〜１２のいずれかに記載の動作を行
わせるようにしたレーザ加工装置。 - 【請求項１４】 請求項１３において、ブローガスの吹
き付けノズルのノズル口がアシストガスの吹き付けノズ
ルのノズル口に対して同心状に設けられているレーザ加
工装置。 - 【請求項１５】 請求項１３において、ブローガスの吹
き付けノズルがアシストガスの吹き付けノズルから離隔
して加工部を指向するように設けられているレーザ加工
装置。
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