JP3092021B2 - レーザ加工装置の切断加工ヘッド - Google Patents

レーザ加工装置の切断加工ヘッド

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JP3092021B2 JP03248988A JP24898891A JP3092021B2 JP 3092021 B2 JP3092021 B2 JP 3092021B2 JP 03248988 A JP03248988 A JP 03248988A JP 24898891 A JP24898891 A JP 24898891A JP 3092021 B2 JP3092021 B2 JP 3092021B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工装置の切断加
工ヘッドに係り、より詳しくは、被加工物の加工部にレ
ーザビームを照射して加工する際、その加工部にアシス
トガスを噴出させて加工を安定しておこなう切断加工ヘ
ッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図7は例えば特公昭61ー60757号
公報に開示された従来のレーザ加工装置の切断加工ヘッ
ドの一例を示す縦断面図である。図において、1はアシ
ストガス供給源、2は減圧弁である。7はレーザビーム
6のノズルで、3はノズル7の中心部に設けた主アシス
トガス噴射口、4、5は主アシストガス噴射口3に平行
してその外周に設けられた第1、第2の補助アシストガ
ス噴出口である。これらの噴出口3、4、5はすべて減
圧弁2を介して同一のアシストガス供給源1に接続さ
れ、またその噴出口3、4、5の出口位置は同一平面上
に設けられている。
【0003】次に、上記のように構成した従来のレーザ
加工装置の切断加工ヘッドの作用を説明する。レーザビ
ーム6は、アシストガス供給源1、減圧弁2を通ってノ
ズル7内に供給された主アシストガスとともに、主アシ
ストガス噴射口3から出射して被加工物方向に照射され
る。一方、アシストガス供給源1からはさらに減圧弁2
を介して第1、第2の補助アシストガスがノズル7内に
供給され、このアシストガスは第1、第2の補助アシス
トガス噴出口4、5から大気の巻き込みを防止しつつ被
加工部方向に噴出される。
【0004】この際、それぞれのアシストガスの噴出圧
力は、主アシストガスの噴出圧力をP0、第1の補助ア
シストガスの噴出圧力をP1、第2の補助アシストガス
の噴出圧力をP2とすれば、次の関係になる。P0>P
1>P2この関係式の範囲内において、噴出圧力P0、
P1、P2を自由に調節できるようにしてある。その結
果、アシストガスの種類を変えることなく、主アシスト
ガスは主としてレーザビームによる加工を促進し、補助
アシストガスは切断面を冷却しかつ主アシストガスの防
護壁としての役割を果たす。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成した
従来のレーザ加工装置の切断加工ヘッドでは、主アシス
トガスを噴出するときに大気の巻込みを完全に遮断する
のは困難で、大気が主アシストガスに混入して加工不良
を起こすおそれがあった。また、主アシストガスに大気
が混入するを防止するためにノズルを被加工物に近づけ
ると、アシストガスの流速が大きくなりすぎて加工不良
を起すという問題があった。
【0006】図8は上記の課題を解決するため、切断ノ
ズル8の噴出口よりも外周ノズル9の噴出口を長くした
レーザ切断加工ヘッドの一例を示す縦断面図(実開昭6
2ー82193号公報)である。すなわち、レーザビー
ム10を通す切断ノズル8の外周に、酸素ガスまたは火
炎を流すリング状の外周ノズル9を設けたものである。
【0007】また、図9はサブノズル11を設けてアシ
ストガスを排出させるもので、可動ノズル12を上下動
させてサブノズル11の照射口13との間隔を調整する
ようにしたレーザ切断加工ヘッドを示すものである(特
開昭61−169186号公報)。
【0008】さらに、図10、図11はアシストガス供
給路を複数個設けたレーザ加工装置の切断加工ヘッドの
一例を示す縦断面図及びその平断面図である(特願平1
ー181991号公報)。このレーザ加工装置の切断加
工ヘッドは、被加工物を切断するためにノズル14の主
ノズル部15の先端部を狭くし、先端部には小径のノズ
ル孔16を設けると共に、このノズル孔16を中心とし
て同心円上に可燃性のアシストガスが通るガス供給路1
7を適時間隔でかつ等分に複数個設け、その先端部にア
シストガス噴出口18を設けたものである。そして各ア
シストガス供給源は、ノズル1本体の外側適所にそれぞ
れ設けられている。
【0009】図8〜図11で示した従来例のいずれによ
っても、加工に直接関与する主アシストガスの流速やノ
ズル位置を最適に設定することができず、加工部の裏面
に多量のドロスが付着してしまう。ドロス量が多いと、
切断中に被加工物への入熱量が増加し、加工不良を起す
おそれがある。
【0010】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、加工に直接関与する主アシストガスの流速
やノズル位置を加工に最適な位置に設定するとともに、
加工部に大気を巻き込まないようにシールドを完全に
し、さらに、加工部の裏面にドロスが付着せず、切断中
の被加工物への入熱量を増加させず、加工不良を起こす
ことのないレーザ加工装置の切断加工ヘッドを得ること
を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係わるレーザ加
工装置の切断加工ヘッドは、レーザビームを通過させる
とともに主アシストガス噴射口を内周側先端部に有する
内側ノズルと、この内側ノズルの外周側に間隙を有して
前記内側ノズルと同心に設けられた外側ノズルと、前記
内側ノズル外周面先端と前記外側ノズルの内周面により
形成された環状の断面形状を有する補助アシストガス噴
出口と、を備え、前記外側ノズルの先端が前記内側ノズ
ルの先端よりノズル軸方向に0.5mm〜5mm長く延出さ
れたことにより前記主アシストガス及び前記補助アシス
トガスを噴射する噴射部を形成するものである。
【0012】また、主アシストガスと補助アシストガス
の供給源を同一のものとしたものである。
【0013】また、レーザビームを通過させるとともに
主アシストガス噴射口を内周側先端部に有する内側ノズ
ルと、この内側ノズルの外周側先端部に前記主アシスト
ガス噴射口と同心円上に等間隔に配置された複数個の穴
からなる補助アシストガス噴出口と、この補助アシスト
ガス噴出口に内周面が外接する外側ノズルと、を備え、
前記外側ノズルの先端が前記内側ノズルの先端よりノズ
ル軸方向に0.5mm〜5mm長く延出されたことにより前
記主アシストガス及び前記補助アシストガスを噴射する
噴射部を形成するものである。
【0014】
【作用】レーザビームは主アシストガスとともに内側ノ
ズルの主アシストガス供給通路、主アシスト噴射口から
外側ノズルの噴射部を通って被加工物に照射され、主ア
シストガスによる酸化発熱反応を加工に利用しながら被
加工物の加工をおこなう。一方、補助アシストガスは、
補助アシストガス供給通路、補助アシストガス噴出口を
通って外側ノズルの噴射部に達し、シールドガスとなっ
て供給される。
【0015】
【実施例】実施例1. 図1は本発明の第1の実施例を示す縦断面図である。2
1、22はそれぞれ内側ノズル、外側ノズルで、これら
により切断加工ヘッドである二重ノズル20を構成して
いる。23は内側ノズル21の先端部に設けられた主ア
シストガス噴射口で、レーザビーム24と主アシストガ
スとを噴射する。25は外側ノズル22の先端部に設け
られた補助アシストガス噴出口で、34は補助アシスト
ガス噴出口25と前記主アシストガス噴口23の前面に
外側ノズル22の先端を補助アシストガス噴射口25の
内径に沿って延出して形成し、主アシストガスと補助ア
シストガスを噴射する噴射部である。26は内側ノズル
21の中心部に設けられた主アシストガス供給通路、2
7は内側ノズル21と外側ノズル22の間に形成された
環状の補助アシストガス供給通路である。28は主アシ
ストガスを内側ノズル21の主アシストガス供給通路2
6に供給する主アシストガス供給源、29は補助アシス
トガスを補助アシストガス供給通路27に供給する補助
アシストガス供給源で、それぞれのアシストガス供給源
28、29は別々に設けられている。なお、アシストガ
スは通常酸素を用い、高純度であるほど厚板を高速度で
加工する。
【0016】上記のように構成した二重ノズル20で
は、外側ノズル22が被加工物30に近づく程シールド
性が向上する。しかし、内側ノズル21が被加工物30
に近づくとガスの流速が増し、加工不良を招く。従っ
て、内側ノズル21に設けられた主アシストガス噴射口
23を被加工物30から離し、外側ノズル22の噴射部
34を被加工物30に近づけるように内側ノズル21の
先端と外側ノズル22の先端の位置をずらしてある。具
体的には、外側ノズル22の噴射部34の先端を内側ノ
ズル21の主アシストガス噴射口23の先端よりも0.
1mmから10mm、より好ましくは0.5mm〜5mm長くす
る。すなわち、外側ノズル22の先端が内側ノズル21
の先端よりノズル軸方向に0.1mmから10mm、より好
ましくは0.5mm〜5mm長く延出して主アシストガス及
び補助アシストガスを噴射する噴射部34を形成する。
このような外側ノズル22と内側ノズル21の先端の位
置関係は、0.1mmから10mm(より好ましくは0.5
mm〜5mm)の範囲内の最適値で固定した一体物にしても
よく、または0.1mmから10mm(より好ましくは0.
5mm〜5mm)の範囲内で可変可能にしてもよい。
【0017】次に、上記のように構成した第1の実施例
の作用を説明する。まず、主アシストガスは主アシスト
ガス供給源28から内側ノズル21の主アシストガス供
給通路26内に導かれ、一方、補助アシストガスは補助
アシストガス供給源29から補助アシストガス供給通路
27内に導かれる。このとき、レーザビーム24は主ア
シストガスとともに内側ノズル21の主アシストガス供
給通路26、主アシストガス噴射口23、噴射部34を
通って被加工物に照射される。一方、補助アシストガス
は、補助アシストガス供給源29から補助アシストガス
供給通路27を通って補助アシストガス噴出口25から
噴射部34に達し、シールドガスとなって供給される。
このとき、内側ノズル21の先端と外側ノズル22の先
端の位置をずらせてあるので、内側ノズル21の主アシ
ストガス噴射口23を経て噴射部34から噴出される主
アシストガスの流速は弱まり、補助アシストガス噴出口
25を経て外側ノズル22の噴射部34から噴射される
補助アシストガスによるシールド性は向上する。
【0018】その結果、レーザビーム24は、通常酸素
よりなる主アシストガスによる酸化発熱反応を加工に利
用しながら被加工物30の加工を促進し、主アシストガ
スの酸素の純度が高いほど、厚板を高速度で加工する。
一方、補助アシストガスは切断面を冷却し、主アシスト
ガスの防護壁としての役割をはたし、主アシストガスへ
の大気の巻込み、混入を阻止して純度の高いアシストガ
スで加工をおこなう。なお、それぞれのアシストガス供
給源28、29は別々に取付けられているので、目的に
応じてガスの種類を変えたりガス圧力を変化させること
ができ、被加工物30の材質や板厚に応じて各アシスト
ガスの成分を最適に設定する。
【0019】第1の実施例では、噴射部34の先端位置
を主アシストガス噴射口23の位置よりも0.1mmから
10mm、より好ましくは0.5mm〜5mmだけ噴射方向に
ずらしているが、図2に示す線図は、このような内側ノ
ズル21の高さと外側ノズル22の高さの差hと、加工
部裏面に付着するドロス高さHとの関係を示すものであ
る。図に示すように、h=0mmのときH=約3mmのドロ
ス高さが、h=2mmではH=約0.5mmのドロス高さま
で減少する。さらにhを大きくするとドロス量は増加
し、h=6mmでH=約2mmのドロス高さになる。ドロス
量が多いと切断中の被加工物30への入熱量が増え、加
工不良を起す可能性が高い。経験的にドロス高さH=
1.5mm以下では加工不良発生の頻度が低下することか
ら、ドロス高さH=1.5mm以下になるhを決定する
と、h=0.5mm〜5mmとなる。
【0020】実施例2. 図3は本発明の第2の実施例を示す縦断面図である。3
1は主アシストガス供給通路26から分岐した環状の分
岐アシストガス供給通路で、内側ノズル21と外側ノズ
ル22の間に形成されている。32は主アシストガス供
給通路26と分岐アシストガス供給通路31を結ぶ連通
穴で、内側ノズル21の側面に設けられ、アシストガス
の流量調整はこの連通穴32の穴径によって決められ
る。33はアシストガスを、主アシストガス供給通路2
6と分岐アシストガス供給通路31に供給するアシスト
ガス供給源である。
【0021】上記のように構成した第2の実施例の作用
を説明する。アシストガスは、単一のアシストガス供給
源33から内側ノズル21の主アシストガス供給通路2
6内に導かれて主アシストガスとなり、その一部は連通
穴32から分岐アシストガス供給通路31を通り、補助
アシストガスとなる。このとき、レーザビーム24は主
アシストガスとともに内側ノズル21の主アシストガス
供給通路26、主アシストガス噴射口23、外側ノズル
22の噴射部34を通って被加工物30に照射される。
一方、補助アシストガスは、分岐アシストガス供給通路
31を通って補助アシストガス噴出口25を経て噴射部
34に達し、シールドガスとなって供給される。このと
き、第1の実施例と同様に、内側ノズル21の先端と外
側ノズル22の先端の位置をずらせてあるので、内側ノ
ズル21の主アシストガス噴射口23を経て噴射部34
から噴出される主アシストガスの流速は弱まり、補助ア
シストガス噴出口25を経て外側ノズル22の噴射部3
4から噴射される補助アシストガスによるシールド性は
向上する。
【0022】実施例3. 図4は第1、第2の実施例に示したレーザ加工装置の切
断加工ヘッドを水平方向に切断した平断面図で、補助ア
シストガス供給通路27(図1)または分岐アシストガ
ス供給通路31(図3)の形状を複数穴として、内側ノ
ズル21の外周側に主アシストガス噴射口23と同心的
かつ等間隔に均等に配置してある。そして、補助アシス
トガス噴出口25も同様に、内側ノズル21の外周側先
端部に主アシストガス噴射口23と同心円上に等間隔に
配置された複数個の穴から構成されている。
【0023】実施例4. 図5は図4に示した補助アシストガス供給通路27また
は分岐アシストガス供給通路31の形状をリング状とし
た場合の平断面図で、主アシストガス噴射口23の周囲
に同心的に配置してある。
【0024】実施例5. 図6は図5に示した外側ノズル22を二重構造とした場
合の平断面図である。すなわち、第4の実施例では内側
ノズル21に対して外側ノズル22を1個だけ設けた
が、第5の実施例では外側ノズル22の外側にさらに第
2の外側ノズル22aを設け、二重構造としたものであ
る。27a(31a)は補助アシストガス供給通路27
(分岐アシストガス供給通路31)の外側に同心的に設
けられた第2の補助アシストガス供給通路(第2の分岐
アシストガス供給通路)で、各通路はリング状となって
いて、主アシストガス噴射口23の周囲に同心的に配置
してある。
【0025】実施例6. 第5の実施例では外側ノズルを二重構造とした場合につ
いて示したが、外側ノズルを三重構造またはそれ以上の
多重構造としてもよい。また、各通路はリング状であっ
ても複数穴であってもよい。
【0026】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、レーザ
ビームを通過させるとともに主アシストガス噴射口を内
周側先端部に有する内側ノズルと、この内側ノズルの外
周側に間隙を有して前記内側ノズルと同心に設けられた
外側ノズルと、前記内側ノズル外周面先端と前記外側ノ
ズルの内周面により形成された環状の断面形状を有する
補助アシストガス噴出口と、を備え、前記外側ノズルの
先端が前記内側ノズルの先端よりノズル軸方向に0.5
mm〜5mm長く延出されたことにより前記主アシストガス
及び前記補助アシストガスを噴射する噴射部を形成した
ので、主アシストガスの流速を必要以上に速くしなくと
も加工点を良好にシールド出来るため、加工部裏面にド
ロスが付着しないので、切断中の被加工物への入熱量に
よる加工不良を防止することができる。さらに、加工条
件裕度が従来に比べ広くなった(焦点位置の設定裕度は
従来1.5mm〜2.5mmの範囲であったのが、本発明の
ノズルでは0mm〜3.0mmの範囲に拡大された)ため、
加工条件の設定が容易であり、ノズル一設定を容易にす
ることができる。
【0027】また、主アシストガスと補助アシストガス
の供給源を同一のものとしたので、構成を簡単にするこ
とができる。
【0028】また、レーザビームを通過させるとともに
主アシストガス噴射口を内周側先端部に有する内側ノズ
ルと、この内側ノズルの外周側先端部に前記主アシスト
ガス噴射口と同心円上に等間隔に配置された複数個の穴
からなる補助アシストガス噴出口と、この補助アシスト
ガス噴出口に内周面が外接する外側ノズルと、を備え、
前記外側ノズルの先端が前記内側ノズルの先端よりノズ
ル軸方向に0.5mm〜5mm長く延出されたことにより前
記主アシストガス及び前記補助アシストガスを噴射する
噴射部を形成したので、アシストガスの使用量を少なく
して加工点を良好にシールドすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示す縦断面図であ
る。
【図2】 本発明のノズルの高さの差とドロスの高さと
の関係の一例を示す線図である。
【図3】 本発明の第2の実施例を示す縦断面図であ
る。
【図4】 本発明の第3の実施例を示す平断面図であ
る。
【図5】 本発明の第4の実施例を示す平断面図であ
る。
【図6】 本発明の第5の実施例を示す平断面図であ
る。
【図7】 従来のレーザ加工装置の切断加工ヘッドの一
例を示す縦断面図である。
【図8】 従来のレーザ加工装置の切断加工ヘッドの他
の一例を示す縦断面図である。
【図9】 従来のレーザ加工装置の切断加工ヘッドのさ
らに他の一例を示す縦断面図である。
【図10】 従来のレーザ加工装置の切断加工ヘッドの
別の一例を示す縦断面図である。
【図11】 図10の平断面図である。
【符号の説明】
20 二重ノズル、21 内側ノズル、22、22a
外側ノズル、23 主アシストガス噴射口、24 レー
ザビーム、25 補助アシストガス噴出口、26 主ア
シストガス供給通路、27、27a 補助アシストガス
供給通路、28主アシストガス供給源、29 補助アシ
ストガス供給源、30 被加工物、31、31a 分岐
アシストガス供給通路、32 連通穴、33 アシスト
ガス供給源、34 噴射部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23K 26/14

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザビームを通過させるとともに主ア
    シストガス噴射口を内周側先端部に有する内側ノズル
    と、 この内側ノズルの外周側に間隙を有して前記内側ノズル
    と同心に設けられた外側ノズルと、前記内側ノズル外周面先端と前記外側ノズルの内周面に
    より形成された環状の断面形状を有する 補助アシストガ
    ス噴出口と、 を備え、前記外側ノズルの先端が前記内側ノズルの先端よりノズ
    ル軸方向に 0.5mm〜5mm長く延出されたことにより前
    記主アシストガス及び前記補助アシストガスを噴射する
    噴射部を形成することを特徴とするレーザ加工装置の切
    断加工ヘッド。
  2. 【請求項2】 主アシストガスと補助アシストガスの供
    給源を同一のものとしたことを特徴とする請求項1記載
    のレーザ加工装置の切断加工ヘッド。
  3. 【請求項3】 レーザビームを通過させるとともに主ア
    シストガス噴射口を内周側先端部に有する内側ノズル
    と、 この内側ノズルの外周側先端部に前記主アシストガス噴
    射口と同心円上に等間隔に配置された複数個の穴からな
    る補助アシストガス噴出口とこの補助アシストガス噴出口に内周面が外接する 外側ノ
    ズルと、を備え、前記外側ノズルの先端が前記内側ノズルの先端よりノズ
    ル軸方向に 0.5mm〜5mm長く延出されたことにより前
    記主アシストガス及び前記補助アシストガスを噴射する
    噴射部を形成することを特徴とするレーザ加工装置の切
    断加工ヘッド。
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