JP2000036135A - 多層情報記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大容量のディスク状の情報記録媒体を容易に
且つ大量に生産可能とする。 【解決手段】 信号を有する層を複数有する多層構造の
ディスク状の情報記録媒体の製造方法である。シート側
に第１スタンパの信号を転写し信号面に半透明膜を形成
して打抜くことで第１基板を得るとともに、射出成形に
より第２スタンパの信号を転写して信号面に反射膜を形
成することで第２基板を得、これら第１基板と第２基板
を透明接着層で貼り合わせる。あるいは、シート側に第
１スタンパにより信号面を形成するとともに、感圧性樹
脂層やドライフォトポリマー等自体に、あるいはこれら
を介して信号面を重ねて形成し、多層化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、信号を有する層を
複数有する多層構造のディスク状の情報記録媒体の製造
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報記録の分野においては光学情
報記録方式に関する研究が各所で進められている。この
光学情報記録方式は、非接触で記録・再生が行えるこ
と、磁気記録方式に比べて一桁以上も高い記録密度が達
成できること、再生専用型、追記型、書換可能型のそれ
ぞれのメモリ形態に対応できる等の数々の利点を有し、
安価な大容量ファイルの実現を可能とする方式として産
業用から民生用まで幅広い用途の考えられているもので
ある。

【０００３】その中でも特に、再生専用型のメモリ形態
に対応した光ディスクであるデジタルオーディオディス
ク、デジタルバーサタイルディスクなどと呼ばれている
高密度情報記録媒体や光学式ビデオディスク等が普及し
ている。

【０００４】この種の光ディスクでは、情報信号を示す
ピットやグルーブ等の凹凸パターンが形成された透明基
板である光ディスク基板上にアルミニウム膜等の金属薄
膜よりなる反射膜が形成され、さらにこの反射膜を大気
中の水分、酸素から保護するための保護膜が上記反射膜
上に形成された構成とされる。なお、このような光ディ
スクの情報を再生する際には、たとえば光ディスク基板
側より上記凹凸パターンにレーザ光等の再生光を照射
し、その入射光と戻り光の反射率の差によって情報を検
出する。

【０００５】このような光ディスクを製造する際には、
先ず射出成形等の手法により上記凹凸パターンを有する
光ディスク基板を形成し、この上に金属薄膜よりなる反
射膜を蒸着等の手法により形成し、さらにその上に紫外
線硬化型樹脂等を塗布して保護膜を形成する。

【０００６】ところで、このような光ディスクにおいて
は高記録容量化が要求されており、これに対応するべ
く、凹凸パターンを光ディスク基板の１つの面上に形成
し、この上に半透明膜を形成し、この半透明膜上にも数
１０μｍの間隔をへだてて凹凸パターンを形成し、この
上に反射膜を形成するようにして合計２層の情報基板層
を有する光ディスクが提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このような信号を有す
る層を複数有する多層構造のディスク状の情報記録媒体
は、大容量であって生産性を上げて容易に生産できるこ
とが望まれている。

【０００８】そこで本発明は上記課題を解消し、大容量
のディスク状の情報記録媒体を容易にかつ大量に生産す
ることができる多層情報記録媒体の製造方法を提供する
ことを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、信号を有する層を複数有する多層構造のディス
ク状の情報記録媒体の製造方法であり、シート側に第１
スタンパの信号を転写し、その信号面に半透明膜を形成
して打抜くことで第１基板を得る第１基板作成ステップ
と、射出成形により第２スタンパの信号を転写して、そ
の信号面に反射膜を形成することで第２基板を得る第２
基板作成ステップと、第１基板と第２基板を透明接着層
で貼り合わせる貼り合わせステップとを有することを特
徴とする多層構造のディスク状の情報記録媒体の製造方
法により達成される。

【００１０】本発明では、信号を有する層を複数有する
多層構造のディスク状の情報記録媒体の製造方法であ
り、第１基板作成ステップでは、シート側に第１スタン
パから信号が与えられてその信号面に半透明膜を形成し
て打ち抜くことで第１基板を得る。第２基板作成ステッ
プでは、射出成形により第２スタンパから信号が転写さ
れて、その信号面に反射膜を形成することで第２基板を
得る。

【００１１】貼り合わせステップでは、第１基板と第２
基板が透明接着層で貼り合わされるこれにより、シート
を用いることにより第１基板作成ステップでは第１基板
を大量に作成することができる。一方、第２基板作成ス
テップでは、射出成形で第２基板を大量に作成すること
ができる。このようにすることで、大容量の多層構造の
ディスク状の情報記録媒体を大量でかつ容易に生産する
ことができる。

【００１２】本発明において、好ましくは第１基板作成
ステップでは、第１スタンパに樹脂を供給して、プラス
チック製のシートに対して第１スタンパを加圧して（か
つ／あるいは紫外線照射と併用して）、樹脂に第１スタ
ンパからの信号が転写される。あるいは本発明において
は、好ましくは第１基板作成ステップでは、プラスチッ
ク製のシートに対して第１スタンパを加圧してシートに
は第１スタンパからの信号が直接転写される。

【００１３】このような第１基板作成ステップの方式は
いずれを採用してもよい。

【００１４】本発明において、好ましくは貼り合わせス
テップでは、透明接着層として光硬化型の樹脂を用い、
第１基板と第２基板を回転することで透明接着層の厚み
を制御するようになっている。これにより、簡単に第１
基板と第２基板を透明接着層を介して一体化することが
できる。

【００１５】本発明において、好ましくは点状光源の紫
外線照射源が、第１基板と第２基板の内周側から外周側
に向けて移動しながら紫外線を透明接着層に照射する。
これにより、紫外線照射源を移動するだけで、透明接着
層を光硬化させることができる。

【００１６】本発明において、好ましくは第１スタンパ
は、マザースタンパに金属をスパッタして、その反転パ
ターンとして形成されている。

【００１７】本発明において、好ましくは第１基板と第
２基板は、感圧性粘着剤を用いて貼り合わせて、形成さ
れている。

【００１８】本発明において、好ましくは透明接着層が
ドライフォトポリマであり、さらに好ましくは信号が転
写される樹脂はドライフォトポリマである。

【００１９】本発明において、好ましくはシートは感圧
性シートに保護シートを貼り合わせることで構成し、感
圧性シートに信号を転写後に保護シートを剥離して第１
基板を得て、この第１基板に対して第２基板を貼り合わ
せるようになっている。

【００２０】本発明において、好ましくはシート材には
記録・再生用のレーザ光の入射面側に保護剤がコーティ
ングされている。この保護剤は表面硬度を増加する、あ
るいは表面抵抗を下げる、あるいは摩擦係数を下げる。

【００２１】上記目的は、本発明にあっては、信号を有
する層を複数有する多層構造のディスク状の情報記録媒
体の製造方法であり、シート側に第１スタンパから信号
が与えられて、その信号面に半透明膜を形成することで
第１基板を得る第１基板作成ステップと、第１基板の半
透明膜の上にさらに信号が転写された半透明膜を透明接
着層を介して（好ましくは数１０μｍの間隔をへだて
て）１つまたは複数形成する（多層）半透明膜形成ステ
ップと、を有することを特徴とする多層構造のディスク
状の情報記録媒体の製造方法により、達成される。

【００２２】本発明では、信号を有する層を複数有する
多層構造のディスク状の情報記録媒体を製造する場合
に、第１基板作成ステップでは、シート側に第１スタン
パから信号が与えられて、その信号面に半透明膜を形成
することで第１基板を得る。半透明膜形成ステップで
は、第１基板の半透明膜の上にさらに信号が転写された
半透明膜を透明接着層を介して、たとえば数１０μｍの
間隔をへだてて１つまたは複数形成する。

【００２３】第２基板作成ステップでは、射出成形によ
り第２スタンパから信号が転写されて、その信号面に反
射膜を形成することで第２基板を得る。第２基板は、ダ
ミー基板であってもよく、その場合には第２基板には信
号は転写されない。

【００２４】貼り合わせステップでは、第１基板と第２
基板を透明接着層を介して貼り合わせる。

【００２５】これにより、シートを用いることにより第
１基板作成ステップでは第１基板を大量に作成すること
ができる。一方第２基板作成ステップでは、射出成形で
第２基板を大量に作成することができる。このようにす
ることで、大容量の多層構造のディスク状の情報記録媒
体を大量でかつ容易に生産することができる。

【００２６】本発明において、好ましくは第１スタンパ
は、マザースタンパに金属をスパッタして、反転パター
ンとして形成されている。

【００２７】本発明において、好ましくは半透明膜（複
数信号層）形成ステップにおいて形成された各半透明膜
間の透明接着層の膜厚は、１０μｍないし５０μｍであ
る。透明接着層の膜厚が１０μｍよりも薄いと、重ね合
わされた半透明膜相互間の光学的な干渉が生じるので好
ましくない。また半透明膜の膜厚が５０μｍよりも厚い
と、光を照射したときに球面収差が生じるので好ましく
ない。

【００２８】本発明において、好ましくは半透明膜（複
数信号層）形成ステップにおいて形成された透明接着層
は、光硬化型の樹脂であり、第１基板を回転することで
形成される。

【００２９】本発明において、好ましくは点状光源の紫
外線照射源が、第１基板の内周面から外周面にかけて移
動しながら紫外線を透明接着層に照射することで硬化さ
せる本発明において、好ましくは透明接着層は、ドライ
フォトポリマである。

【００３０】本発明において、好ましくはシートは感圧
性シートに保護シートを貼り合わせることで構成し、感
圧性シートに信号を転写後に保護シートを剥離して第１
基板を得て、この第１基板に対して１つまたは複数の半
透明膜を介して第２基板を貼り合わせる。

【００３１】本発明において、好ましくはシートには記
録・再生レーザ光の入射面側に保護剤がコーティングさ
れている。この保護剤は、表面硬度を増加する、あるい
は表面抵抗を下げる、あるいは摩擦係数を下げる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した多層情報
記録媒体の製造方法について、添付図面に基づいて詳細
に説明する。

【００３３】図１ないし図３は、本発明の多層構造のデ
ィスク状の情報記録媒体の製造方法の一例を示す図であ
り、図５は、この製造方法の工程フローを示している。

【００３４】図１に示すディスク状の情報記録媒体の製
造方法は、いわゆる感光性樹脂法（ガラス２Ｐ法：Phot
o Polymerization）であり、第１レプリカ基板（第１基
板）Ｓ１を作るための第１基板作成ステップＳＳ１を示
し、図２は、第２レプリカ基板（基板）Ｓ２を作るため
の第２基板作成ステップＳＳ２を示している。図３は、
第１レプリカ基板Ｓ１と第２レプリカ基板Ｓ２を貼り合
わせるための貼り合わせステップＳＳ３を示している。

【００３５】この第１基板作成ステップＳＳ１、第２基
板作成ステップＳＳ２及び貼り合わせステップＳＳ３
は、図５に示している。

【００３６】先ず、図１と図５の第１基板作成ステップ
ＳＳ１を説明する。

【００３７】第１基板作成ステップＳＳ１では、図１
（Ｇ）に示す第１レプリカ基板Ｓ１を最終的に作成する
工程である。このステップＳＳ１では、連続型のシート
１０が用いられ、このシート１０はロール状に巻かれて
いる。

【００３８】シート１０は、プラスチック、例えば透光
性あるいは透明性を有するポリカーボネート、ポリメチ
ルメタクリレートのようなプラスチックを用いることが
でき、その厚みは好ましくは５０μｍないし１５０μｍ
である。シート１０の厚みの最も好ましい値としては、
例えば７０μｍの厚みである。

【００３９】図１（Ａ）では、第１スタンパ１２が、シ
ート１０の一方の面１０Ａに対して間隔をおいて配置さ
れている。第１スタンパ１２には、第１レプリカ基板Ｓ
１に対して形成しようとする情報信号の反転パターンが
あらかじめ形成されており、たとえばマザースタンパに
対して金属をスパッタし、その反転パターンとして作ら
れたものである。図１（Ｂ）では、この第１スタンパ１
２の信号形成面側に光硬化樹脂、例えば紫外線硬化樹脂
１４が塗布される（図５のステップＳＴ１）。

【００４０】図１（Ｃ）では、このような第１スタンパ
１２の樹脂１４が面１０Ａに密着されるとともにロール
１６により圧着される。つまり紫外線硬化樹脂１４に対
して第１スタンパ１２の信号の凹凸がしっかりと形成さ
れる。図１（Ｄ）では、紫外線照射手段から紫外線が照
射される。これにより、紫外線硬化樹脂１４が硬化す
る。

【００４１】図１（Ｅ）に示すように第１スタンパ１２
のみがシート１０側から剥離され、紫外線硬化樹脂１４
とシート１０は一体になって密着している（ステップＳ
Ｔ２）。

【００４２】図１（Ｆ）では、例えばＳｉＮの半透明膜
のスパッタ装置１８により、紫外線硬化樹脂１４の信号
面１４ＡにＳｉＮの半透明膜をスパッタ形成する（ステ
ップＳＴ３）。

【００４３】このように図１（Ａ）ないし（Ｆ）の工程
を経て作られたシート１０と紫外線硬化樹脂１４の積層
体は、図１（Ｇ）において、たとえばディスク状に打ち
抜き加工が施される。これによって、第１レプリカ基板
Ｓ１を得ることができる（ステップＳＴ４，ＳＴ５）。

【００４４】一方、図２と図５の第２基板作成ステップ
ＳＳ２では、金型２０，２２を用意し、金型２２の内面
は鏡面部２２Ａとなっている。金型２０の中には第２ス
タンパ２４が配置されており、図２（Ａ）の状態から図
２（Ｂ）に示すように金型２０，２２が組み合わされた
状態では、樹脂２６が注入される。この樹脂２６として
は、例えば透明性あるいは透光性を有するポリカーボネ
ート、アモルファスポリオレフィンなどが使用可能であ
るが、最終のディスク形態になったときに、この第２レ
プリカ基板Ｓ２には光学特性が要求されないので、充填
剤を混ぜて剛性を高めるなどのバリエーションが可能で
ある。

【００４５】これにより注入された樹脂２６には、第２
スタンパ２４の信号２４Ａが転写される。図２（Ｃ）で
は、金型２０，２２が取り外されて、脱型が行われる。
これによって、信号面２８を有する第２レプリカ基板Ｓ
２を得ることができる。この第２レプリカ基板Ｓ２の厚
みＤ２は、例えば０．６ないし１．２ｍｍである（図５
のステップＳＴ６）。

【００４６】図５に示す第１基板作成ステップＳＳ１と
第２基板作成ステップＳＳ２は、同時に行ってもよく、
あるいはどちらか先に行ってもよい。いずれにしても第
１基板作成ステップＳＳ１と第２基板作成ステップＳＳ
２が終了した時点で、図５に示すステップＳＴ９とステ
ップＳＴ１Ｏとからなる貼り合わせステップＳＳ３を実
行する。図３に示す貼り合わせステップＳＳ３では、第
２レプリカ基板Ｓ２の信号面２８に対して、Ａｌ等の反
射膜（記録材料）３０を例えばイオンビームスパッタリ
ング法で形成する（ステップＳＴ７）。この場合の反射
膜３０の厚みは、例えば４０ｎｍである。

【００４７】図３（Ｂ）では、図５のステップＳＴ９で
示すように、第２レプリカ基板Ｓ２の反射膜３０の上に
所定量の紫外線硬化樹脂（透明接着剤）を滴下する（ス
テップＳＴ８）。この紫外線硬化樹脂３２を介して、第
１レプリカ基板Ｓ１の信号面１４Ａと、第２レプリカ基
板Ｓ２の反射膜３０を対面するようにして貼り合わせる
（ステップＳＴ９）。図３（Ｃ）はこの状態を示してお
り、第１レプリカ基板Ｓ１と第２レプリカ基板Ｓ２は、
一体的にＲ方向に連続回転することで、紫外線硬化樹脂
３２の一部の余剰部分３２Ａが外部に飛び散ることで、
適切な量の紫外線硬化樹脂３２であって、かつ所定の厚
みの紫外線硬化樹脂３２からなる透明接着層が、第１レ
プリカ基板Ｓ１と第２レプリカ基板Ｓ２を接着する（ス
テップＳＴ１０）。

【００４８】図３（Ｄ）では、紫外線３４が、各基板Ｓ
１，Ｓ２の内周側から外周側に向けて、所定の速度で半
径方向に移動することで、しかも両基板Ｓ１，Ｓ２が回
転することにより、紫外線硬化樹脂３２が硬化する。こ
の時の紫外線硬化樹脂３２の厚みｄ３は、例えば５０μ
ｍを採用することができる（ステップＳＴ１Ｏ）。

【００４９】このようにして多層構造の大容量のディス
ク状の情報記録媒体１００を得ることができる。このよ
うなディスク状の情報記録媒体１００としては、例えば
コンパクトディスク（ＣＤ：商標名）やＣＤ−ＲＯＭ
（コンパクトディスクを使用したリードオンメモリ）
や、その他の光ディスクあるいはデジタルビデオディス
クやデジタルバーサタイルディスク（ＤＶＤ）と呼ばれ
ている高密度情報記録媒体のような光ディスク、その他
の光磁気ディスクのような情報記録媒体を含むものであ
る。

【００５０】図３（Ｄ）のように紫外線３４を照射しな
がら且つ両基板Ｓ１，Ｓ２を回転することにより、紫外
線硬化樹脂３２に対して均一に紫外線３４を照射するこ
とができ、これにより均一な透明の中間層である透明接
着層を形成することができる。

【００５１】紫外線硬化樹脂３２の厚みｄ３が、例えば
１０μｍよりも大きく５０μｍよりも小さいのが望まし
い。もしもこの紫外線硬化樹脂３２の厚みｄ３が５０μ
ｍよりも大きいと、光透過層の厚みによる球面収差が増
加し、良好な信号が再生できなくなる。１０μｍより小
さいと、他方の信号層からの戻り光がオーバラップして
ノイズとして観測され、良好な信号が再生されないとい
うデメリットがある。

【００５２】次に、図４を参照して本発明のディスク状
の情報記録媒体の製造方法の別の例を説明する。図４の
製造方法では、ダイレクトエンボス法を採用しており、
図４に示す第１基板作成ステップＳＳ１が、図１の第１
基板作成ステップＳＳ１とは異なる。しかし、第２基板
作成ステップＳＳ２と貼り合わせステップＳＳ３は、図
２と図３に示す第２基板作成ステップＳＳ２と貼り合わ
せステップＳＳ３と実質的に同じである。

【００５３】図４に示す例においては、上述したように
ダイレクトエンボス法を用いており、最終的には図４
（Ｆ）に示す第１基板としての第１レプリカ基板Ｓ１が
得られる。

【００５４】図４におけるシート１０は、図１のシート
１０と同様なものを用いることができる。図４（Ａ）で
は、第１スタンパ１２がシート１０に対応して配置され
ている。図４（Ｂ）では、この第１スタンパ１２の信号
面が直接シート１０に対してロール１６のところで圧着
される。シート１０は、図４（Ｃ）で冷却された後に、
図４（Ｄ）において第１スタンパ１２はシート１０から
剥離される。これによりシート１０には、信号面１０Ａ
が直接形成されている。

【００５５】図４（Ｅ）では、ＳｉＮの半透明膜がスパ
ッタリングにより信号面１０Ａに対して形成される。そ
の後、図４（Ｆ）に示すように、シート１０がたとえば
ディスク状に打ち抜かれることで、第１レプリカ基板
（第１基板）Ｓ１を得ることができる。この第１レプリ
カ基板Ｓ１には信号面１０Ａを有している。

【００５６】図１の第１基板作成ステップＳＳ１におけ
る図１（Ｆ）のスパッタリング工程と図１（Ｅ）の打ち
抜き工程は、逆にすることもできる。同様にして図４
（Ｅ）のスパッタリング工程と、図４（Ｆ）の打ち抜き
工程も逆に実施することもできる。

【００５７】このように作られた第１レプリカ基板Ｓ１
は、図２において示すように第２基板作成ステップＳＳ
２において作られた第２レプリカ基板Ｓ２とともに、図
３に示す貼り合わせステップＳＳ３において同様の方式
で貼り合わせることで、図３（Ｄ）に示す多層構造のデ
ィスク状の情報記録媒体１００を得ることができる。第
２基板作成ステップＳＳ２と貼り合わせステップＳＳ３
は、図２の第２基板作成ステップＳＳ２と図３の貼り合
わせステップＳＳ３と同様であるので、その説明を援用
する。

【００５８】尚、図１（Ｇ）と図２（Ｃ）の第１レプリ
カ基板Ｓ１と第２レプリカ基板Ｓ２は、図３（Ｄ）のよ
うに透明接着層３２で貼り合せた後に一体的にディスク
状に打ち抜くようにしてもよい。

【００５９】次に、本発明の多層構造のディスク状の情
報記録媒体の製造方法の別の例について説明する。

【００６０】図６は、さらに多層のディスクを作成する
のに最適な多層ディスクの製造工程を示している。図６
（Ａ）に示す第１レプリカ基板Ｓ１は、図１の第１基板
作成ステップＳＳ１あるいは図４の第１基板作成ステッ
プＳＳ１で得られた基板である。図７は図６に示す多層
ディスク製造工程の流れの一例を示している。図７のス
テップＳＴ１ないしＳＴ１０までは、図５の対応するス
テップＳＴ１ないしステップＳＴ１０と同じであるので
それらの説明を援用する。しかし、図７においては、半
透明膜形成ステップＳＳ４、ステップＳＴ２０とステッ
プＳＴ２１が追加されている。

【００６１】図７のステップＳＴ２０において、図６
（Ａ）の第１レプリカ基板Ｓ１の信号面１４Ａ（または
１０Ａ）に半透明膜ＨＲ１を形成し、この半透明膜ＨＲ
１に対して紫外線硬化樹脂５０を載せるとともに、スタ
ンパ４０の信号面をこの紫外線硬化樹脂５０に押し当て
る。これによりスタンパ４０の信号面が紫外線硬化樹脂
５０に転写されるとともに、第１レプリカ基板Ｓ１とス
タンパ４０をＲ方向に回転することで、余分な紫外線硬
化樹脂５０を振り切って外部に出す。

【００６２】その回転する時に紫外線を内周方向から外
周方向に点状に照射することで紫外線硬化樹脂５０は所
定の厚さに制御されて硬化する。この硬化した紫外線硬
化樹脂５０は、半透明膜であり、図６（Ｂ）に示すよう
に、紫外線硬化樹脂５０と一体になった第１レプリカ基
板Ｓ１を、スタンパ４０から取り外す。

【００６３】ステップＳＴ２１において図６（Ａ）、
（Ｂ）の工程を複数回繰り返すことにより、図６（Ｃ）
に示すように透明接着層５０Ｂ，５０Ｃ・・・と半透明
膜ＨＲ１，ＨＲ２，ＨＲ３・・・を順次積層することが
できる。これらの透明接着層５０Ｂには、信号面５０
Ａ，５０Ｄ・・・がそれぞれ形成されている。つまり、
半透明膜ＨＲ１と透明接着層５０Ｂの積層体の次に、半
透明膜ＨＲ２と透明接着層５０Ｃの積層体を形成し、さ
らに次の半透明膜と透明接着層の積層体を順次積層する
ことで、多層の信号記録層６０を形成する。各積層体に
は信号面５０Ａ，５０Ｄのような信号面を有している。

【００６４】なお、透明接着層５０Ｂ，５０Ｃ・・・
は、上記紫外線硬化樹脂に代わり、ドライフォトポリマ
ーを用いて形成することもできる。この場合、紫外線硬
化樹脂５０を載せる代わりに、シート状のドライフォト
ポリマーを半透明膜ＨＲ１に密着させ、さらに反対側に
スタンパ４０を密着させて紫外線照射することにより、
同様に信号が転写された透明接着層（信号記録層）を形
成することができる。

【００６５】その後に、最下層の信号記録層に対して、
図６（Ｃ）に示すように第２レプリカ基板Ｓ２の信号面
２８側を重ね合わせて一体化する。多層の信号記録層６
０は、このようにして第１レプリカ基板Ｓ１と第２レプ
リカ基板Ｓ２に挟まれた状態で、図６（Ｄ）に示すよう
な多層の大容量のディスク状の情報記録媒体１１０を作
ることができる。図６（Ｄ）の例では、基板Ｓ１，Ｓ２
の間に、透明接着層５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｆ，５０Ｇと
半透明膜ＨＲ１，ＨＲ２，ＨＲ３…が形成されている。
第２レプリカ基板Ｓ２は、例えば図３（Ａ）の工程で作
られたものを採用することができる。あるいは、信号面
のない，いわゆるダミー基板とすることも可能である。

【００６６】各信号記録層６０の厚みは、たとえば１０
μｍ〜５０μｍである。厚みが１０μｍよりも小さい
と、重ね合せた信号記録層６０の相互間の光学的な干渉
が生じるので好ましくなく、５０μｍより大きいと、光
学ピックアップから光を照射すると球面収差が生じるの
で好ましくない。

【００６７】ところで、図６（Ａ）におけるスタンパ４
０の直径Ｌ１は、第１レプリカ基板Ｓ１の直径Ｌ２とほ
ぼ同等があるいはやや小さくするのが望ましい。このよ
うに直径Ｌ１が直径Ｌ２と同等があるいはやや小さくす
るのは、スタンパ４０側に紫外線硬化樹脂５０が残って
しまうのを防ぐことで、スタンパ４０の寿命を長くする
ことができるからである。直径Ｌ１が直径Ｌ２よりも小
さい場合には、Ｌ１とＬ２の差は、例えばＯ．５ｍｍよ
りも小さい値であることが望ましい。

【００６８】図８は、一例としてスタンパ７０とこのス
タンパ７０により形成されるレプリカ基板Ｓ４を示して
いる。スタンパ７０は、例えば従来の光ディスクの製造
プロセスで作成される要領を採用でき、その信号面７０
Ａのトラックピッチは例えば０．５０μｍであり、線密
度は０．１８５μｍ／ｂｉｔであり、高密度情報記録媒
伝を作成する場合と同様な変調方式のＥＦＭ（Eight to
Fourteen Modulation）で行うことができる。この場合
にコンパクトディスクサイズの直径が１２ｃｍである場
合には、容量が１０ＧＢとなる。

【００６９】図８（Ａ）、（Ｂ）のようにして作られた
レプリカ基板Ｓ４の信号面６０Ａには反射膜（記録膜）
６０が形成される。そしてレプリカ基板Ｓ４に対して別
のレプリカ基板Ｓ５が透明の接着層８０により一体化さ
れてディスク状の情報記録媒体が得られる。このような
図８（Ｃ）の情報記録媒体において、図８（Ｄ）に示す
ように、レプリカ基板Ｓ５側から対物レンズ８４を介し
て光８６を照射した場合と、レプリカ基板Ｓ４を介して
対物レンズ８８から光９０を照射した場合を比較してみ
る。対物レンズ８４を用いる方式は信号面再生方式と呼
ばれ、対物レンズ８８を用いる方式は読取面再生方式と
呼ばれている。

【００７０】信号面再生方式を採用することで、読取時
のジッターを６．５％まで下げることができるが、読取
面再生方式では、最良のジッターが８．０％に止まって
しまう。このことから、信号面再生方式の方が読取面再
生方式よりもジッターに関しては優れている。

【００７１】この場合の再生時の対物レンズ８４の開口
数（ＮＡ）は、例えば０．８７５であり、光８６，９０
の波長は６４０ｎｍである。このように差が出る理由と
しては、信号面再生方式におけるピットの幅Ｗ１が、読
取面再生方式におけるピットの幅Ｗ２よりも小さくでき
ることから、信号面再生方式は読取面再生方式に比べ
て、再生時における符号間の干渉が減るからである。こ
のようにできるのは、反射膜が均一に成膜されることに
よって信号ピットが小さくなっているためである。

【００７２】このように、レプリカ基板の平面側（読取
面側）から信号を再生するのは、凹凸転写面側（信号面
側）から再生するのに比べて不利である。

【００７３】本発明の実施の形態において得られる多層
構造のディスク状の情報記録媒体１００［例えば図３
（Ｄ）に示す。］は、レプリカ基板Ｓ１の平面側（読取
面側）から再生する構造のものであり、このような読取
面再生方式により再生するための多層構造のディスク状
の情報記録媒体からより良い信号を再生することができ
るようにするために、図９のようなサンスタンパ（子ス
タンパ）を作成するのが望ましい。

【００７４】図９（Ｄ）のサンスタンパ１２０は、図１
の第１スタンパ１２や、図４の第１スタンパ１２として
使用することができるものである。

【００７５】このようなサンスタンパ１２０は、図９
（Ａ）から（Ｄ）の工程を経て作ることができる。

【００７６】図９（Ａ）におけるマスタースタンパ１３
０は、図９（Ｂ）において、マザースタンパ１４０を作
成する。つまりマスタースタンパ１３０の信号面がマザ
ースタンパ１４０に転写される。このマザースタンパは
反転スタンパとも呼ばれており、このマザースタンパ１
４０に対しては図９（Ｃ）に示すように例えばＮｉのス
パッタ膜１５０が形成される。このようにして得られた
マザースタンパ（親スタンパ）１４０は、図９（Ｄ）に
示すようにその信号面がサンスタンパ（子スタンパ）１
２０に対して転写されることになる。

【００７７】得られたサンスタンパ１２０は、図１と図
４に示す第１スタンパ１２として用いることができる。
なお、図９（Ｃ）のＮｉのスパッタ膜１５０の厚みは、
例えば４０ｎｍである。

【００７８】マスタースタンパ１３０は残しておき、マ
スタースタンパ１３０から作成されたサンスタンパ１２
０を用いて図１あるいは図４のような工程により得られ
た多層構造のディスク状の情報記録媒体１００（図３参
照のＳ１）からは、マスタースタンパ１３０を図１ある
いは図４の第１スタンパ１２として直接用いた場合に得
られる多層構造のディスク状の情報記録媒体１００のＳ
１とほぼ同等の品質の信号を得ることができる。

【００７９】なお、図２の第２基板作成ステップＳＳ２
で得られる第２レプリカ基板Ｓ２に対しては、その両面
に対して信号面を記録することで両面構造のものを作成
することができるのは当然のことである。

【００８０】なお、再生時の多層構造のディスク状の情
報記録媒体１００を読み出す場合の光学ピックアップの
対物レンズの開口数は、例えば０．７以上であるのが望
ましい。そして開口数ＮＡと波長λの比ＮＡ／λが１．
２０以上であることが望ましい。このＮＡ／λ≧１．２
０と、ＮＡがＯ．７以上であるのは、一方あるいは両方
同時に満たすのが望ましい。

【００８１】図１０ないし図１２は、本発明の製造方法
における別の例を示している。

【００８２】図１０の製造方法の例では、長尺状のシー
ト１０としては、ドライフォトポリマ（Dry-photo-POLY
MER ）を採用している。このドライフォトポリマのフィ
ルムあるいは層は、実質的に溶媒がないポリメリック
（高分子）なレイヤであり、このポリメリックレイヤ
は、例えば１００から２００メガポイズの範囲のクリー
プ粘性を有しており、このクリープ粘性は平行平板型の
流量計で計ることができる。

【００８３】図１０は、このようなシート１０を用いて
高温加圧圧着法で、シート１０に対して信号面を記録す
ることができるようになっており、図１０（Ａ）ないし
（Ｄ）は、図４（Ａ）ないし（Ｄ）の工程にほぼ対応し
たものである。

【００８４】シート１０に対しては、図１０（Ａ）にお
いて第１スタンパ１２が配置されている。図１０（Ｂ）
では、第１スタンパ１２がシート１０に対してロール１
６により押し付けられて、直接信号面１０Ａが形成され
る。そして紫外線が図１０（Ｃ）でこのシート１０に対
して照射されることで、この信号面１０Ａが紫外線硬化
された後に、図１０（Ｄ）では第１スタンパ１２がシー
ト１０から剥離される。その後は、図４（Ｅ）、（Ｆ）
のようにスパッタ工程や打ち抜き工程が施されて、図４
に示す第１レプリカ基板Ｓ１と同様なレプリカ基板を得
ることができる。

【００８５】図１１は、シート１０として、例えば透明
のポリカーボネート等のフィルム１０Ｆに対して上述し
たようなドライフォトポリマ１０Ｇを積層して形成した
ものである。この場合であっても、例えば図１０と同様
にして図１１（Ａ）において第１スタンパ１２を図１１
（Ｂ）のようにロール１６を用いて押し付けて、その後
紫外線照射してドライフォトポリマ１０Ｇを硬化させ
る。そして図１１（Ｃ）から（Ｄ）のように、シート１
０を第１スタンパ１２から剥離して、半透明膜のスパッ
タリングと打ち抜き工程を行えば、やはり第１レプリカ
基板を得ることができる。

【００８６】図１２では、シート１０が、保護シート１
０Ｈと感圧性シート１０Ｊを積層して作られている。保
護シート１０Ｈは、ポリカーボネートのようなフィルム
を採用でき、感圧性シート１０Ｊとしては感圧性粘着
剤、例えばアクリル系の粘着シートを採用することがで
きる。この感圧性シート１０Ｊの屈折率は、例えばポリ
カーボネートのようなプラスチックの屈折率と同様なも
のを採用するのが望ましい。

【００８７】図１２（Ａ）では第１スタンパ１２が感圧
性シート１０Ｊに対面しており、図１２（Ｂ）では感圧
性シート１０Ｊに対してロール１６を用いて押し付けら
れる。そして感圧性シート１０Ｊから第１スタンパ１２
が除去されるとともに、保護シート１０Ｈが感圧性シー
ト１０Ｊから剥離される。この感圧性シート１０Ｊは、
第１スタンパ１２から転写された信号面１０Ａを有して
おり、その後、所定の半透明膜のスパッタ処理及び打ち
抜き処理が行われると、図１２（Ｅ）に示すような第１
レプリカ基板Ｓ１が得られる。

【００８８】一方、第２レプリカ基板Ｓ２はすでに作ら
れており、第２レプリカ基板Ｓ２と第１レプリカ基板Ｓ
１は、紫外線硬化樹脂３２を用いて、ロール１６６によ
り図１２（Ｆ）のように圧着されることで、多層構造の
ディスク状の情報記録媒体１００を得ることができる。

【００８９】図１３は、本発明の製造方法により作られ
た２層構造の大容量のディスク状の情報記録媒体１００
の例を示している。この情報記録媒体１００は、成形基
板２２５（第２レプリカ基板）と、シート状基板２０２
（第１レプリカ基板）を有し、成形基板２２５とシート
状基板２０２は、光透過層２２４（紫外線硬化樹脂）に
より一体になっている。成形基板２２５の情報面２３２
は記録層（または反射膜）２２２が形成され、シート状
基板２０２には記録膜（半透明記録膜）２１３が形成さ
れている。

【００９０】図１４は、第２レプリカ基板に相当する成
形基板３０１上に、シート状基板３０２を多層積層した
多層光ディスクの例である。

【００９１】成形基板３０１は、先の図２に示す工程に
より形成されるもので、一方の面が信号面３０１Ａとさ
れ、反射膜や記録膜が形成される。

【００９２】一方、シート状基板３０２は、図１あるい
は図４に示す工程により作製され、成形基板３０１と対
向する面が信号面３０２Ａとされる。

【００９３】このシート状基板３０２は、厚さ５〜２０
μｍ程度の感圧性樹脂等を透明接着層３０３として、複
数積層されており、多層光ディスクが構成されている。
すなわち、シート状基板３０２と透明接着層３０３を基
本単位とし、これが複数積層されて多層光ディスクが構
成されている。

【００９４】成形基板３０１は、いわゆるダミー基板で
もよく、かかる例を示した物が図１５である。

【００９５】この例では、第２の基板として信号面のな
いダミー基板３０４が用いられている。したがって、信
号面の層数は、シート状基板３０２の数ということにな
る。

【００９６】以上説明したように、本発明の多層構造の
ディスク状の情報記録媒体の製造方法を用いることによ
り、２層構造あるいは３層以上の多層構造の大容量のデ
ィスク状の情報記録媒体（例えば光ディスク）を大量に
かつ容易に生産することができる。

【００９７】上述した例では、フィルム状あるいは薄板
状のシートに対して信号面をスタンパから転写させて、
シートに対して信号面をパターニングする際には、硬い
スタンパから比較的柔らかいシートに対してそのような
転写作業を行うので、容易に転写作業を行うことができ
る。

【００９８】図６（Ａ）ないし（Ｄ）に示すような多層
の半透明膜６０を形成する場合に、第１レプリカ基板Ｓ
１に対して順次形成していく半透明膜５０Ｂ，５０Ｃ，
５０Ｆ，５０Ｇにおける関係は、半透明膜５０Ｂ側から
半透明膜５０Ｇにかけて、順次反射率が高くなるように
設定されている。すなわち半透明膜５０Ｂの反射率が一
番低く次に半透明膜５０Ｃ，５０Ｆ，５０Ｇの順で反射
率が高くなっていく。このために、第１レプリカ基板Ｓ
１から紫外線を照射して、順次半透明膜を硬化させてい
く場合にこのような中間層である多層の半透明膜６０を
形成するのを容易に行うことができる。すなわち、低い
紫外線照射量で各半透明膜を順次硬化させることができ
る。

【００９９】このような半透明膜等の紫外線硬化樹脂を
紫外線を照射して硬化させる際に、紫外線がディスクの
中央部から外周部にかけて順次スキャンしながら、かつ
ディスクを回転させることで全域に渡って均一な照射量
を与えることができ、従って均一な厚みの転写層（中間
層）を作ることができる。

【０１００】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
大容量のディスク状の情報記録媒体を容易に且つ大量に
生産することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の多層構造のディスク状の情報記録媒体
の製造方法の一例における第１基板作成ステップを示す
模式図である。

【図２】第２基板作成ステップを示す概略断面図であ
る。

【図３】貼り合わせステップを示す概略断面図である。

【図４】本発明の多層構造のディスク状の情報記録媒体
の製造方法の他の例における第１基板作成ステップを示
す模式図である。

【図５】図１ないし図３における製造方法の手順の一例
を示すフロー図である。

【図６】多層の反射膜を形成する場合の製造工程の一例
を示す概略断面図である。

【図７】図６の製造方法に対応して手順の一例を示すフ
ロー図である。

【図８】信号面再生方式と読取面再生方式におけるジッ
ターの一例を説明する概略断面図である。

【図９】マスタースタンパからサンスタンパを作成する
一例を示す概略断面図である。

【図１０】シート状基板の製造工程の他の例を示す模式
図である。

【図１１】シート状基板の製造工程のさらに他の例を示
す模式図である。

【図１２】シート状基板の製造工程及び第２レプリカ基
板への貼り合わせ工程の一例を示す模式図である。

【図１３】信号面が形成されたシート状基板を成形基板
に積層した多層光ディスクの一例を示す概略断面図であ
る。

【図１４】信号面が形成されたシート状基板を複数層成
形基板に積層した多層光ディスクの一例を示す概略断面
図である。

【図１５】信号面が形成されたシート状基板を複数層ダ
ミー基板に積層した多層光ディスクの一例を示す概略断
面図である。

【符号の説明】

１０ シート、１２ 第１スタンパ、２４ 第２スタン
パ、３２ 紫外線硬化樹脂（透明接着層）、Ｓ１ 第１
レプリカ基板（第１基板）、Ｓ２ 第２レプリカ基板
（第２基板）、ＳＳ１ 第１基板作成ステップ、ＳＳ２
第２基板作成ステップ、ＳＳ３ 貼り合わせステップ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古木 基裕 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 行本 智美 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 信号を有する層を複数有する多層構造の
   ディスク状の情報記録媒体の製造方法であり、 シート側に第１スタンパにより信号面を形成し、その信
   号面に半透明膜を形成して打抜くことで第１基板を得る
   第１基板作成ステップと、 射出成形により第２スタンパの信号面を形成し、その信
   号面に反射膜を形成することで第２基板を得る第２基板
   作成ステップと、 第１基板と第２基板を透明接着層で貼り合わせる貼り合
   わせステップと、を有することを特徴とする多層情報記
   録媒体の製造方法。
2. 【請求項２】 第１基板作成ステップでは、第１スタン
   パに樹脂を供給するとともに、プラスチック製のシート
   に対して第１スタンパを加圧して、樹脂に第１スタンパ
   の信号を転写する請求項１に記載の多層情報記録媒体の
   製造方法。
3. 【請求項３】 第１基板作成ステップでは、プラスチッ
   ク製のシートに対して第１スタンパを加圧して、シート
   に第１スタンパの信号を直接転写する請求項１に記載の
   多層情報記録媒体の製造方法。
4. 【請求項４】 貼り合わせステップでは、透明接着層と
   して光硬化型の樹脂を用い、第１基板と第２基板を回転
   することで透明接着層の厚みを制御する請求項１に記載
   の多層情報記録媒体の製造方法。
5. 【請求項５】 点状光源の紫外線照射源を第１基板と第
   ２基板の内周側から外周側に向けて移動しながら紫外線
   を透明接着層に照射する請求項４に記載の多層情報記録
   媒体の製造方法。
6. 【請求項６】 第１スタンパは、マザースタンパに金属
   をスパッタして、その反転パターンとして形成されてい
   る請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
7. 【請求項７】 第１基板と第２基板を感圧性粘着剤を用
   いて貼り合わせる請求項１に記載の多層情報記録媒体の
   製造方法。
8. 【請求項８】 透明接着層がドライフォトポリマである
   請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
9. 【請求項９】 信号が転写される樹脂はドライフォトポ
   リマである請求項２に記載の多層情報記録媒体の製造方
   法。
10. 【請求項１０】 シートは感圧性シートに保護シートを
    貼り合わせることで構成し、感圧性シートに信号を転写
    後に保護シートを剥離して第１基板を得て、この第１基
    板に対して第２基板を貼り合わせる請求項１に記載の多
    層情報記録媒体の製造方法。
11. 【請求項１１】 シートには記録・再生用のレーザ光を
    入射面側に保護剤がコーティングされている請求項１に
    記載の多層情報記録媒体の製造方法。
12. 【請求項１２】 信号を有する層を複数有する多層構造
    のディスク状の情報記録媒体の製造方法であり、 シート側に第１スタンパにより信号面を形成し、その信
    号面に半透明膜を形成することで第１基板を得る第１基
    板作成ステップと、 第１基板の半透明膜の上にさらに信号が転写された半透
    明膜を透明接着層を介して１つまたは複数形成する半透
    明膜形成ステップと、を有することを特徴とする多層情
    報記録媒体の製造方法。
13. 【請求項１３】 射出成形により第２スタンパから信号
    が転写されて、その信号面に反射膜を形成することで第
    ２基板を得る第２基板作成ステップと、 第１基板と第２基板を１つまたは複数の半透明膜をはさ
    んで透明接着層で貼り合わせる貼り合わせステップと、
    を有することを特徴とする請求項１２に記載の多層情報
    記録媒体の製造方法。
14. 【請求項１４】 上記第１基板をダミー基板に対して１
    つまたは複数の半透明膜をはさんで透明接着層で貼り合
    わせる貼り合わせステップと、を有することを特徴とす
    る請求項１２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
15. 【請求項１５】 第１スタンパは、マザースタンパに金
    属をスパッタして、その反転パターンとして形成されて
    いる請求項１２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
16. 【請求項１６】 半透明膜形成ステップにおいて形成さ
    れた各透明接着層の膜厚は、１０μｍないし５０μｍで
    ある請求項１２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
17. 【請求項１７】 半透明膜形成ステップにおいて形成さ
    れた透明接着層は、光硬化型の樹脂であり、第１基板を
    回転することで形成される請求項１２に記載の多層情報
    記録媒体の製造方法。
18. 【請求項１８】 点状光源の紫外線照射源を第１基板の
    内周側から外周側に向けて移動しながら紫外線を透明接
    着層に照射する請求項１７に記載の多層情報記録媒体の
    製造方法。
19. 【請求項１９】 透明接着層は、ドライフォトポリマで
    ある請求項１２に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
20. 【請求項２０】 シートは感圧性シートに保護シートを
    貼り合わせることで構成し、感圧性シートに信号を転写
    後に保護シートを剥離して第１基板を得る請求項１７に
    記載の多層情報記録媒体の製造方法。
21. 【請求項２１】 シートには記録・再生用のレーザ光の
    入射面側に保護剤がコーティングされている請求項１２
    に記載の多層情報記録媒体の製造方法。