ES2221074T3 - Aparato y metodo para recuperar reveladores y decapantes de resina fotosensible. - Google Patents

Abstract

EN UN APARATO DE REVELADO, MORDENTADO Y DECAPADO, LOS PRODUCTOS QUIMICOS PARA EL REVELADO Y DECAPADO DE LA RESINA FOTOSENSIBLE SE EXTRAEN EN VIAS DE CIRCULACION SEPARADAS, EN CADA UNA DE LAS CUALES SON BOMBEADOS A TRAVES DE UN TERMOINTERCAMBIADOR (52), UNA SERIE DE FILTROS TANGENCIALES (60, 62, 64, 66), UN CONTACTOR DE ULTRAVIOLETAS (56) Y UN DEPOSITO DE RECOGIDA (38). EL PERMEADO PROCEDENTE DE LOS FILTROS SE DEVUELVE A LA ETAPA DE REVELADO (14) O DECAPADO (22), Y LAS SOLUCIONES CON ELEVADAS CONCENTRACIONES DE SOLIDOS SE RETIRAN DE LOS DEPOSITOS DE RECOGIDA PARA SU EVACUACION. EN LA REGENERACION DE LA SOLUCION DE REVELADO, BASADA EN CARBONATO SODICO O POTASICO, SE AÑADE GAS DE DIOXIDO DE CARBONO JUNTO CON UN HIDROXIDO DE METAL ALCALINO, A FIN DE MANTENER UN PH ADECUADO Y LA PROPORCION APROPIADA ENTRE CARBONATO Y BICARBONATO.

Description

Aparato y método para recuperar reveladores y decapantes de resina fotosensible.

Campo técnico

Esta invención se refiere generalmente al tratamiento de líquidos residuales producidos en la fabricación de placas de circuito impreso, semiconductores y otros productos en procedimientos que utilizan resina fotosensible. Más particularmente, se refiere a un aparato para recuperar y reciclar soluciones de revelado de resina fotosensible y/o soluciones decapantes de resina fotosensible.

Técnica anterior

En las industrias de circuitos impresos, semiconductores, fresado químico y de impresión, una emulsión fotosensible conocida como resina fotosensible se aplica a diversos sustratos. Una herramienta fotográfica ("phototool") o máscara que define una plantilla se aplica sobre la resina fotosensible. La exposición de una resina fotosensible negativa a través de la máscara a radiación, por ejemplo luz ultravioleta, da como resultado una plantilla de emulsión polimérica endurecida en la zona expuesta. Las resinas fotosensibles positivas también se usan en ocasiones y dan como resultado una plantilla de resina fotosensible endurecida en la zona no expuesta.

En cualquier caso, tras la exposición, los artículos se transportan normalmente mediante una cinta transportadora a través de un equipo automático conocido como una línea "DES" (Develop Etch Strip, revelado, ataque químico, decapado). En una primera fase de la línea DES, se pulveriza una solución de revelado sobre los artículos. La solución de revelado elimina la resina fotosensible no endurecida, dejando sólo el polímero endurecido sobre el sustrato. En una fase de tratamiento posterior, las zonas del sustrato no cubiertas por el polímero endurecido se atacan químicamente mediante su exposición de un reactivo de ataque. En una fase todavía posterior, se pulveriza un decapante químico sobre los artículos para eliminar el polímero endurecido. En procedimientos similares, las zonas expuestas del sustrato se metalizan o se recubren con metal, en lugar de someterse a ataque químico. Sin embargo, al igual que en la línea DES, la fase de recubrimiento o metalizado está precedida por una fase de revelado y va seguida por una fase de decapado.

Las soluciones residuales se producen en las fases de revelado y decapado. Normalmente, en la fabricación de placas de circuito impreso, las soluciones residuales procedentes de ambas fases de tratamiento son soluciones alcalinas que contienen altas concentraciones de material de resina fotosensible soluble en agua. Las soluciones residuales tienen tanto una alta demanda química de oxígeno (DQO) como una alta demanda biológica de oxígeno (DBO). Antes de liberar tal solución residual al medioambiente, las soluciones deben tratarse para eliminar los materiales orgánicos y los recubrimientos poliméricos.

En el pasado, las líneas DES se hacían funcionar haciendo circular las soluciones de revelado y decapado a través de filtros "directos" ("dead end"). Es decir, los productos químicos se recogían de las fases de revelado y decapado, se hacían pasar a través de un medio filtrante y volvían a las boquillas rociadoras. La acumulación de sólidos sobre los medios filtrantes requería la interrupción periódica del funcionamiento de la línea DES para limpiar los filtros. El revelador se deterioraba paulatinamente, con una reducción paulatina resultante en la calidad del producto. Además, la acumulación de polímero disuelto en la solución de decapado reducía paulatinamente su eficacia y requería que toda la línea DES se hiciera funcionar más y más lentamente a lo largo del tiempo hasta que finalmente se desconectaba para la sustitución de la solución de decapado.

Los documentos DE 3143106A, DE 29517588U, EP 0254550 y WO 9620434 describen aparatos y métodos para recuperar reveladores de resina fotosensible que se basan en el tratamiento discontinuo del líquido residual.

Normalmente, una solución de revelador nueva es una solución que comprende carbonato de sodio o potasio. En el proceso de revelado, el carbonato se transforma paulatinamente en bicarbonato, lo que disminuye el pH de la solución de revelado. El pH de funcionamiento de una solución de revelador normalmente, aunque no necesariamente, está en el intervalo de 10,5 a 11. Si el pH disminuye hasta un nivel de aproximadamente 10,2, el revelador se considera agotado. En el pasado, se han hecho intentos para ampliar la duración del baño de revelado añadiendo hidróxido de potasio o sodio para regenerar la solución de revelado, permitiendo una carga mayor. Sin embargo, con la carga mayor, se necesitan aditivos antiespumantes. Estos, junto con la resina, producen un lodo que se vuelve a depositar sobre las placas de circuito impreso, produciendo exceso de manchas de cobre en el proceso de impresión y ataque químico. Es necesario aumentar los enjuagues para mantener el revelado limpio.

En la regeneración del carbonato, los hidróxidos de metales alcalinos solos generalmente no son adecuados para mantener un pH apropiado y, al mismo tiempo, logran una concentración adecuada de carbonato y una razón adecuada de carbonato/bicarbonato. Por tanto, los hidróxidos de metales alcalinos normalmente se añaden al producto de revelado junto con los aditivos registrados, que tienden a ser caros.

Descripción de la invención

Un objetivo de la invención es prever un aparato para recuperar y reciclar productos químicos de revelado y decapado de resina fotosensible, lo que permite un aparato de tratamiento de resina fotosensible que se hace funcionar continuamente y a una elevada velocidad durante largos intervalos.

Otro objetivo de la invención es mejorar la eficacia del funcionamiento del equipo de tratamiento de resina fotosensible.

Todavía otro objetivo de la invención es mejorar la calidad de los productos producidos por el equipo de tratamiento de resina fotosensible.

El aparato según la invención es un aparato mejorado para el tratamiento de artículos a los que se ha aplicado una resina fotosensible. Tiene una primera trayectoria de flujo circulatorio en la que el líquido de revelado o decapado de la resina fotosensible se hace circular a través de una fase de tratamiento de resina fotosensible. Incluye un sistema de recuperación de líquido que comprende una segunda trayectoria de flujo circulatorio conectada para recibir una parte del líquido desde la primera trayectoria de flujo circulatorio. La segunda trayectoria de flujo circulatorio incluye un filtro tangencial. Es decir, al menos una parte de la segunda trayectoria de flujo circulatorio está definida por un medio filtrante poroso que es una membrana porosa rígida, de manera que un permeado salga de la segunda trayectoria de flujo circulatorio a través del medio filtrante poroso cuando el líquido fluye a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio. El aparato incluye medios para devolver el permeado a la primera trayectoria de flujo circulatorio.

El aparato se caracteriza porque se proporcionan medios en la segunda trayectoria de flujo circulatorio para acelerar la polimerización del material de resina fotosensible y/o para endurecer el material de resina fotosensible polimerizado, en el líquido que fluye a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio.

Preferiblemente, dichos medios pueden incluir un medio de calentamiento para calentar el líquido que fluye a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio y/o medios para exponer el material polimerizable en el líquido que fluye a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio a radiación ultravioleta.

Los sólidos concentrados se eliminan de la segunda trayectoria de flujo circulatorio a través de un desagüe, preferiblemente de un tanque de recogida que forma parte de la segunda trayectoria de flujo circulatorio.

Preferiblemente, se proporcionan medios para interrumpir intermitentemente el flujo de permeado a través del medio filtrante poroso y lograr un flujo de líquido a través del medio filtrante en la dirección inversa, mientras que el flujo de líquido continúa a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio.

Por tanto, en el funcionamiento del aparato, el líquido de revelado o decapado se hace circular continuamente a través de la fase de tratamiento en la primera trayectoria de flujo, mientras que una parte del líquido circulante se retira de la primera trayectoria de flujo y se hace pasar a una segunda trayectoria de flujo en la que se somete a filtración tangencial. La segunda trayectoria de flujo permite que la filtración tenga lugar con un mínimo de interrupción para el funcionamiento de las operaciones de revelado y decapado y sin necesidad de ralentización progresiva de las operaciones de revelado y decapado. Esto da como resultado un funcionamiento sumamente eficaz y un producto de alta calidad.

Al utilizar el aparato para la regeneración de una solución de revelado de resina fotosensible, puede introducirse gas dióxido de carbono en la solución de revelado que se está devolviendo desde la fase de filtración. Preferiblemente, el gas dióxido de carbono se introduce junto con un hidróxido de metal alcalino, por ejemplo, hidróxido de sodio o hidróxido de potasio.

El gas dióxido de carbono tiene varias ventajas importantes cuando se usa en un sistema de regeneración de revelador continuo. En particular, permite que la solución de revelador funcione en condiciones de estado estacionario con una razón de carbonato/bicarbonato y un pH ideales, de manera que la solución de revelador siempre sea como una solución de revelador nueva. El dióxido de carbono forma un tampón, evitando que el hidróxido de metal alcalino añadido eleve el pH de la solución de revelado hasta niveles que sobrepasen el intervalo de funcionamiento normal, habitualmente de 10,5 a 11,0. Esto reduce enormemente la posibilidad de que el pH del revelador que entra en contacto con el trabajo sea excesivo como resultado de un mezclado inadecuado. Además, el dióxido de carbono es barato y elimina la necesidad de aditivos registrados caros. El sistema de regeneración de revelador continuo, que usa gas dióxido de carbono, también elimina la formación de lodos y suciedad, evita la necesidad de vertidos frecuentes y la sustitución de la solución de revelador, reduce la corriente residual, evita la degradación de la velocidad de revelado y mejora la calidad de las paredes laterales.

Breve descripción de los dibujos

La figura 1 es un diagrama esquemático de una línea DES, en la que tanto la fase de revelado como la de decapado están equipadas con un sistema de reciclado según la invención; y

la figura 2 es una vista esquemática del sistema de reciclado, que puede utilizarse tanto con el revelador como con el decapador.

Descripción detallada de la invención

Tal como se muestra en la figura 1, las placas 10 de circuito impreso se transportan mediante una cinta transportadora formada por rodillos 12 giratorios y separados, a través de una serie de recintos 14, 16, 18, 10, 22 y 24. El recinto 14 es el recinto para una fase de revelado, en el que se hace circular una solución de revelado, normalmente una solución diluida de bicarbonato de potasio, mediante una bomba 26 a través de boquillas 28 rociadoras por encima y por debajo de los rodillos. La solución de revelado elimina la resina fotosensible no polimerizada, exponiendo así las zonas metálicas de las placas de circuito impreso que se van a atacar químicamente en la fase de ataque químico.

El recinto 18 es el recinto de una fase de ataque químico, en la que se hace circular un reactivo de ataque, normalmente un reactivo de ataque alcalino, a través de las boquillas rociadoras y se aplica a las placas de circuito impreso para eliminar el metal en las zonas expuestas de las placas.

El recinto 22 es el recinto de una fase de decapado, en la que una solución de decapado, normalmente una solución que contiene hidróxido de sodio, metiletilamina, etilendiamina e hidróxido de tetrametilamonio, elimina la película polimerizada de las placas de circuito impreso, exponiendo así las zonas restantes de metal, que se usan como conductores eléctricos. La solución de decapado se hace circular en la fase de decapado de la misma forma en la que se hacer circular en la fase de revelado.

Los recintos 16, 20 y 24 son fases de enjuagado, en las que se hace circular agua.

Un aparato 30 de tratamiento de revelador está asociado con la fase de revelado, y un aparato 32 de tratamiento de decapador está asociado con la fase de decapado. Estos aparatos de tratamiento pueden ser sustancialmente idénticos entre sí, aunque pueden diferir en ciertos aspectos, tal como se tratará más adelante. Dado que los aparatos 30 y 32 son sustancialmente idénticos, sólo uno, la fase 30 de tratamiento de revelador, se muestra en detalle en la figura 2.

Haciendo referencia a la figura 2, la bomba 26 recibe el revelador recogido en el fondo del recinto 14 a través del conducto 34 y devuelve una parte del revelador a las boquillas 28 rociadoras. Por tanto, la bomba 26 hace circular el revelador en la fase de revelado a través de una primera trayectoria de flujo circulatorio.

Otra parte del revelador se extrae del conducto 34 mediante una bomba 36 de trasiego. Esta trayectoria puede incluir un prefiltro grueso. La bomba 36 de trasiego suministra el revelador a un tanque 38 de recogida que tiene un fondo cónico y un conducto 40 de desagüe con una válvula 42. El tanque de recogida tiene un flotador 44, que hace funcionar un control 46. Este control hace funcionar tanto la bomba 36 como una válvula 48 para mantener el nivel de líquido en el tanque 38 dentro de límites predeterminados.

Una segunda trayectoria de flujo circulatorio, en el aparato de tratamiento de revelador, comprende un tanque 38, una bomba 50, y un intercambiador 52 de calor, un conjunto 54 de módulos de filtro y un contactor 56 de ultravioleta. El líquido se bombea a través de esta trayectoria de flujo desde el tanque y a través del intercambiador de calor, los módulos de filtro y el contactor de ultravioleta de vuelta al tanque. Una válvula 58 normalmente cerrada se dispone para que comunique los módulos de filtro.

El conjunto de módulos de filtro consiste en cuatro módulos 60, 62, 64 y 66 de filtración tangencial, conectados en serie. Cada uno comprende un tubo poroso y los tubos porosos de los módulos de filtro juntos definen una parte de la segunda trayectoria de flujo circulatorio.

Los tubos porosos usados en los módulos 60-66 de filtro incorporan preferiblemente un soporte poroso y rígido de metal o mineral y una membrana interna de fluoropolímero u óxidos de tierras raras resistentes, que no sólo puede resistir el retrolavado, sino que también puede funcionar a altas temperaturas y resistir la limpieza química rigurosa cuando es necesario. Esto evita los fallos experimentados en la ultrafiltración y microfiltración usando membranas de materiales compuestos poliméricos, que tienden a estropearse fácilmente, y que normalmente no son lo suficientemente sólidas como para resistir el retrolavado. El elemento filtrante puede ser del tipo descrito en Hoover et al., patente de los Estados Unidos 4.069.157 con fecha del 17 de enero de 1978, cuya descripción se incorpora al presente documento como referencia. Las membranas de ultrafiltración y microfiltración adecuadas son bien conocidas por los expertos en la técnica y están disponibles de fuentes tales como U. S. Filter, Rhone Poulenc, Graver Separations and CeraMem Separations, así como de otras fuentes.

Rodeando a cada tubo poroso hay un colector dispuesto para recibir el permeado que sale de la segunda trayectoria de flujo a través de los tubos porosos. Los colectores están conectados en paralelo y a través del conducto 68 a un tanque 70 presurizable que tiene un conducto 72 de aire con una válvula 74, y un conducto 76 de salida que tiene una válvula 78. Ambas válvulas 74 y 78 están controladas por un temporizador 80.

El conducto 76 está conectado a través de una fase 82 de ajuste de pH a un conducto 84 de retorno, que suministra el permeado de pH ajustado de vuelta al recinto 14, en el que se devuelve a la primera trayectoria de flujo circulatorio.

Cuando el aparato se usa para el tratamiento de revelador, la fase 82 de ajuste de pH comprende preferiblemente un monitor 86 de pH y un contactor 88 estático. En la fase de ajuste de pH mostrada en la figura 2, el permeado procedente del conducto 76 fluye a través del monitor 86 de pH y después a través del contactor 88 estático hasta el conducto 84 de retorno. En el contactor 88 estático, se introduce gas dióxido de carbono y solución de hidróxido de sodio o una solución de otro hidróxido de metal alcalino en la corriente de permeado automáticamente, bajo el control del monitor de pH, a velocidades tales que se produzca el pH deseado en el conducto de retorno (normalmente, en el intervalo de 10,5 a 11) y se logre el equilibrio deseado de carbonato y bicarbonato en el revelador.

El control de la introducción de dióxido de carbono e hidróxido de sodio en la fase 82 de ajuste de pH es un control de alimentación directa, en el que el ajuste de pH se basa en el pH monitorizado del permeado en el conducto 76. Pueden usarse controles de retroalimentación alternativamente o en combinación con el control de alimentación directa para controlar la introducción de dióxido de carbono e hidróxido de sodio según el pH en el líquido que retorna al recinto 14 de revelado a través del conducto 84, y/o según el pH del revelador que se está haciendo circular en la fase de revelador.

La bomba 50 normalmente mantiene una presión en el intervalo de 200 a 700 kPa (de 2 a 7 atmósferas) en la trayectoria de flujo a través de los módulos de filtro. El tamaño de los módulos de filtro se determina partiendo de la base del flujo deseado de permeado limpio.

Como será evidente a partir de la descripción anterior del aparato, las soluciones se someten a calor, irradiación ultravioleta y filtración en membrana rígida de óxido de tierras raras con retrolavado intermitente.

El calor aplicado por el intercambiador 52 de calor ayuda a acelerar la polimerización de las soluciones de trabajo cargadas con resina fotosensible no envejecida. Cuando se usan temperaturas elevadas, debe tenerse cuidado con el fin de no superar la temperatura máxima que puede resistir la maquinaria de la cinta transportadora. Si es necesario, puede usarse maquinaria más tolerante a la temperatura o la solución puede enfriarse antes de volverse a reutilizar.

A medida que la solución fluye a través de la serie de módulos de filtro, la presión aplicada a la solución por la bomba 50 de circulación produce que una corriente de permeado pase a través de la membrana de filtro, dejando una corriente concentrada que fluye hacia el tanque 38 de recogida. El permeado se devuelve tras el ajuste de pH para el proceso de revelado o decapado.

El concentrado pasa entonces a través del contactor 56 de radiación de luz ultravioleta, en el que las capas protectoras se endurecen adicionalmente y se envían de nuevo al tanque 38 de recogida. Cuando se alcanza una concentración predeterminada de solución residual y capas, el material se drena del fondo del tanque 38 y se vierten según las leyes aplicables.

Una ventaja de la filtración tangencial es que el flujo de líquido a través de los módulos de filtro evita que los sólidos se acumulen sobre el medio filtrante. En consecuencia, los módulos de filtro pueden hacerse funcionar eficazmente durante largos periodos de tiempo.

Incluso en condiciones ideales, se formará una fina capa de torta de filtro sobre el medio filtrante y tenderá a afectar a la eficacia de la filtración. Para garantizar que los módulos de filtro continúan funcionando eficazmente, el flujo de permeado a través del tanque 70 se detiene y se invierte intermitentemente. El tanque 70 se presuriza mediante el flujo de aire en él a través del conducto 72 durante un corto periodo de tiempo para facilitar el flujo inverso del permeado a través de la membrana de filtro. Este flujo inverso limpia la torta de filtro y otras obstrucciones, manteniendo una alta velocidad de flujo del permeado. El flujo inverso intermitente a través del medio filtrante puede tener lugar sin interrumpir la circulación de líquido a través de la trayectoria circulatoria que comprende los filtros, el tanque 38 de recogida, el intercambiador 52 de calor y el contactor 56 de ultravioleta.

La válvula 58 de comunicación, cuando se abre, permite que se reparen o se sustituyan los módulos de filtro. También puede abrirse para hacer circular la solución de revelado a través del contactor 56 de ultravioleta sin hacerlo pasar a través de los módulos de filtro, de manera que las partículas transportadas por la solución de revelado circulante puedan endurecerse más eficazmente por la radiación ultravioleta. Esto reduce la posibilidad de obstrucción de los módulos de filtro cuando se restaura el flujo a través de los módulos de filtro.

Aplicabilidad industrial

El aparato según la invención puede usarse para los tratamientos de diversas soluciones que contienen resina fotosensible de la fase de revelado o decapado de un proceso de fotoformación de imágenes, tal como el utilizado en la fabricación de placas de circuito impreso, fresado químico, fabricación de semiconductores e impresión. La invención permite que estas soluciones se traten continuamente durante un largo periodo de tiempo en condiciones de estado estacionario.

La invención representa un cambio significativo con respecto a los métodos convencionales para el tratamiento de soluciones de revelado y decapado que llevan resinas fotosensibles. En lugar del tratamiento discontinuo convencional, en el que se usan soluciones de trabajo hasta su agotamiento, la invención permite el tratamiento en estado estacionario, en el que el polímero de resina fotosensible (capas) se elimina rápida y continuamente, haciendo que la solución de trabajo se pueda reutilizar inmediata y continuamente. Este tratamiento en estado estacionario no deja tiempo al polímero, o al tinte en el polímero, para que reaccione o se disuelva en la solución de revelado o en la solución de decapado. Esto, no sólo reduce la cantidad de solución nueva necesaria, sino que evita problemas de limpieza de sumideros y obstrucción de boquillas que se han experimentado en el funcionamiento del equipo convencional. También permite el funcionamiento continuado a velocidades de la cinta transportadora más elevadas que las normalmente posibles con la solución nueva.

Esta invención emplea varías tecnologías juntas. Membranas porosas rígidas constituidas por compuestos cerámicos, carbono o acero inoxidable, soportan varios óxidos impregnados con tierras raras usando el procedimento de sol-gel para lograr módulos de ultrafiltración o microfiltración estables, de ensuciamiento bajo, de retrolavado y de alta temperatura.

Estos módulos, en combinación con el intercambiador de calor, el contactor de luz ultravioleta y el mecanismo de retrolavado intermitente, hacen posible un tratamiento continuo para que la solución de revelador y decapador de resina fotosensible de reciclado se reutilice inmediatamente, mientras se genera un residuo altamente concentrado.

Este aparato puede montarse con piezas y componentes que están comúnmente disponibles y son conocidos por los expertos en la técnica.

Pueden hacerse varias modificaciones al aparato descrito y a su método de funcionamiento. Por ejemplo, la unidad de tratamiento puede ubicarse inmediatamente adyacente al aparato de revelado o decapado al que abastece, o puede ubicarse alejado y conectarse mediante tuberías a la maquinaria apropiada de revelador o decapador. En el caso de reciclado del revelador, puede eliminarse el intercambiador de calor, aunque es deseable para estimular la polimerización. De manera similar puede eliminarse, en el reciclado de la solución de decapador, el contactor de ultravioleta, aunque es deseable para eliminar la pegajosidad en los sólidos filtrados. Si se desea, la unidad de tratamiento también puede funcionar en un modo de tratamiento discontinuo y puede ubicarse dondequiera que el espacio lo permita, incluso en una zona de tratamiento residual.

Todavía pueden hacerse otras modificaciones al aparato y al método descritos anteriormente sin apartarse del alcance de la invención, tal como se define en las reivindicaciones siguientes.

Claims (12)

1. Aparato para tratar artículos a los que se ha aplicado una resina fotosensible, teniendo el aparato una primera trayectoria (34, 26, 28) de flujo circulatorio en la que se hace circular un líquido del grupo que consiste en líquidos de revelado y decapado de resina fotosensible a través de una fase de tratamiento de resina fotosensible, incluyendo también el aparato un sistema de recuperación de líquido, comprendiendo dicho sistema de recuperación de líquido una segunda trayectoria (36, 54) de flujo circulatorio conectada para recibir una parte del líquido procedente de la primera trayectoria de flujo circulatorio, estando definida al menos una parte de la segunda trayectoria de filtro circulatorio por un medio (54) filtrante poroso, por el que sale un permeado de la segunda trayectoria de flujo circulatorio a través del medio filtrante poroso cuando el líquido fluye a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio;

y un medio (84) para transportar el permeado que sale de la segunda trayectoria de flujo circulatorio a través del medio filtrante poroso hasta la primera trayectoria de flujo circulatorio;

teniendo el medio filtrante poroso una membrana porosa rígida constituida por materiales cerámicos, carbono o acero inoxidable y teniendo un medio filtrante poroso interno que comprende un óxido de tierras raras;

caracterizado porque se proporcionan medios (52, 56) en la segunda trayectoria de flujo circulatorio para acelerar la polimerización del material de resina fotosensible y/o para endurecer el material de resina fotosensible polimerizado, en el líquido que fluye a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio.

2. Aparato según la reivindicación 1, en el que dichos medios en la segunda trayectoria de flujo circulatorio comprenden un intercambiador (52) de calor.

3. Aparato según la reivindicación 1, en el que dichos medios en la segunda trayectoria de flujo circulatorio comprenden un contactor (56) de radiación ultravioleta.

4. Aparato según la reivindicación 1, en el que dichos medios en la segunda trayectoria de flujo circulatorio comprende tanto un intercambiador (52) de calor como un contactor (56) de radiación ultravioleta.

5. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 4, que incluye medios (72, 74, 78) para interrumpir intermitentemente el flujo de permeado a través del medio filtrante poroso y lograr un flujo de líquido a través del medio filtrante en la dirección inversa, mientras que el flujo de líquido continúa a través de la segunda trayectoria de flujo circulatorio.

6. Aparato según cualquier reivindicación anterior, que incluye un desagüe (40) para eliminar los sólidos concentrados procedentes de la segunda trayectoria de flujo circulatorio.

7. Aparato según cualquier reivindicación anterior, en el que el líquido que se hace circular en la primera trayectoria de flujo circulatorio es un líquido de revelado de resina fotosensible, que incluye un medio (88) para introducir gas dióxido de carbono en el permeado que sale de la segunda trayectoria de flujo circulatorio a través del medio filtrante poroso hasta la primera trayectoria de flujo circulatorio.

8. Aparato según cualquier reivindicación anterior, que incluye una cinta transportadora para transportar artículos a los que se ha aplicado una resina fotosensible y en el que la primera trayectoria de flujo circulatorio incluye un recinto (14) a través del cual se extiende la cinta transportadora y en el que tiene lugar el tratamiento de resina fotosensible, teniendo dicho recinto un interior y un fondo, un conducto (34) conectado a dicho fondo del recinto para extraer líquido del mismo y medios para devolver el líquido extraído de dicho conducto (34) al interior del recinto y dirigir dicho líquido extraído a través de dicho conducto (34) en contacto con los artículos sobre dicha cinta transportadora.

9. Aparato según cualquier reivindicación anterior, que incluye una bomba (26) para hacer circular líquido en dicha primera trayectoria de flujo circulatorio.

10. Aparato según cualquier reivindicación anterior, que incluye una cinta transportadora para transportar artículos a los que se ha aplicado una resina fotosensible y en el que la primera trayectoria de flujo circulatorio incluye un recinto (14) a través del cual se extiende la cinta transportadora y en el que tiene lugar el tratamiento de resina fotosensible, teniendo dicho recinto un interior y un fondo, un conducto (34) conectado a dicho fondo del recinto para extraer líquido del mismo, un conjunto de boquillas (28) rociadoras por encima de dicha cinta transportadora para dirigir líquido en contacto con las artículos sobre dicha cinta transportadora y medios para devolver el líquido extraído de dicho conducto (34) a dichas boquillas rociadoras.

11. Aparato según cualquier reivindicación anterior, que incluye una cinta transportadora para transportar artículos que tienen una parte superior, una parte inferior y laterales a los que se ha aplicado una resina fotosensible, y en el que la primera trayectoria de flujo circulatorio incluye medios de suministro de líquido que dirigen líquido en contacto con los lados superior e inferior de los artículos sobre dicha cinta transportadora.

12. Aparato según la reivindicación 1, en el que dicha primera trayectoria de flujo circulatorio y dicho sistema de recuperación de líquido son partes de una primera fase de tratamiento de resina fotosensible, en la que el líquido puesto en circulación en la primera fase es un líquido de revelado de resina fotosensible, y que tiene una segunda fase de tratamiento de resina fotosensible en la que el líquido puesto en circulación es un líquido de decapado de resina fotosensible, comprendiendo la segunda fase de tratamiento una tercera trayectoria (34, 26, 28) de flujo circulatorio en la que se hacer circular un líquido de decapado de resina fotosensible y un segundo sistema de recuperación de líquido, incluyendo el aparato una cinta transportadora para transportar dichos artículos a lo largo de una trayectoria secuencialmente a través de dichas fases de tratamiento de resina fotosensible primera y segunda y

teniendo el segundo sistema de recuperación de líquido:

una cuarta trayectoria (36, 54) de flujo circulatorio conectada para recibir una parte del líquido procedente de la tercera trayectoria de flujo circulatorio, estando definida al menos una parte de la cuarta trayectoria de flujo circulatorio por un segundo medio (54) filtrante poroso, por el que sale un permeado de la segunda trayectoria de flujo circulatorio a través del segundo medio filtrante poroso cuando el líquido fluye a través de la cuarta trayectoria de flujo
circulatorio; y

un medio (84) para transportar el permeado que sale de la cuarta trayectoria de flujo circulatorio a través del segundo medio filtrante poroso hasta la tercera trayectoria de flujo circulatorio;

siendo también el segundo medio filtrante poroso una membrana porosa rígida constituida por materiales cerámicos o un medio filtrante poroso que comprende un óxido de tierras raras.