CN109791374B - 显影液回收系统 - Google Patents

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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor

Abstract

提供了显影液回收系统，该系统包括：显影液储罐，所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口；显影机，所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口，所述显影液喷头与所述显影液出口相连，所述显影后液出口与所述显影液储罐相连；显影液回收罐，所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口，所述显影液入口与所述显影液储罐相连；光刻胶过滤装置，所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口，所述回收液入口与所述显影回收液出口相连，所述过滤后液出口与所述显影液入口相连，所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口中的至少之一与所述显影液储罐相连。

Description

显影液回收系统
技术领域
本发明属于印制版技术领域，具体而言，本发明涉及显影液回收系统。
背景技术
显影液管理系统是用于调节并稳定显影液中TMAH、碳酸根以及光刻胶浓度的设备，其可以同时管理多台显影机，然而当其中一台显影液储罐中光刻胶浓度偏低时，显影液管理系统无法添加高光刻胶浓度的药液来调整光刻胶浓度，而需要专门投入一些涂布了光刻胶的玻璃来提高光刻胶浓度，再投入正式产品，造成物料成本和时间成本浪费。
因此，现有的显影液处理系统有待进一步改进。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种显影液回收系统，采用该系统可以实现系统内光刻胶的循环利用，从而可以显著降低显影成本。
在本发明的一个方面，本发明提出了一种显影液回收系统。根据本发明的实施例，所述系统包括：
显影液储罐，所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口；
显影机，所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口，所述显影液喷头与所述显影液出口相连，所述显影后液出口与所述显影液储罐相连；
显影液回收罐，所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口，所述显影液入口与所述显影液储罐相连；
光刻胶过滤装置，所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口，所述回收液入口与所述显影回收液出口相连，所述过滤后液出口与所述显影液入口相连，所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口中的至少之一与所述显影液储罐相连。
根据本发明实施例的显影液回收系统通过将显影液回收罐中的含有的高浓度光刻胶的回收液或/和经光刻胶过滤装置得到的光刻胶供给至显影液储罐中，保证供给到显影机中的显影液中光刻胶浓度稳定，从而实现了光刻胶的循环使用，相较于现有技术外加涂布了光刻胶的玻璃来补充光刻胶，采用本申请的系统可以显著降低原料成本，并且该系统结构简单易于操作。
另外，根据本发明上述实施例的显影液回收系统还可以具有如下附加的技术特征：
在本发明的一些实施例中，所述显影液回收罐上的出液口与所述显影液储罐相连。由此，可以显著降低系统原料和时间成本。
在本发明的一些实施例中，所述显影液回收罐上的出液口通过补液泵与所述显影液储罐相连。
在本发明的一些实施例中，所述光刻胶出口与所述显影液储罐相连。由此，可以进一步降低系统原料和时间成本。
在本发明的一些实施例中，所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口均与所述显影液储罐相连。由此，可以进一步降低系统原料和时间成本。
在本发明的一些实施例中，所述显影回收液出口与所述回收液入口通过泵相连。
在本发明的一些实施例中，所述回收显影液系统包括多个所述显影液储罐和多个所述显影机，并且所述显影液储罐与所述显影机一一对应。由此，可以显著提高系统利用率。
在本发明的一些实施例中，所述回收显影液系统包括五台所述显影液储罐和五台所述显影机。由此，可以进一步提高系统利用率。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是根据本发明一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图2是根据本发明再一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图3是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图4是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图5是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图6是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图7是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图8是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图9是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图；
图10是根据本发明又一个实施例的显影液回收系统的结构示意图。
发明详细描述
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本发明的一个方面，本发明提出了一种显影液回收系统。根据本发明的实施例，参考图1，该系统包括：显影液储罐100、显影机200、显影液回收罐300和光刻胶过滤装置400。
根据本发明的实施例，显影液储罐100具有显影液入口101和显影液出口102，且适于存储显影液TMAH(四甲基氢氧化铵)。
根据本发明的实施例，显影机200具有显影液喷头201、印版入口202和显影后液出口203，显影液喷头201与显影液出口102相连，显影后液出口203与显影液储罐100相连，且适于将显影液与印版混合，使得印版上的光刻胶溶解在显影液中，得到显影印版和含有光刻胶的显影后液，并将得到的含有光刻胶的显影后液供给显影液储罐100中。具体的，显影机200上的显影液喷头201可以包括多个，对此本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。
根据本发明的实施例，显影液回收罐300具有显影回收液入口301和显影回收液出口302，显影液入口301与显影液储罐100相连，且适于将显影液储罐100中的含有显影液和含有光刻胶的显影后液的混合显影液供给至显影液回收罐300中，经汇集后即可得到含有高浓度的光刻胶的混合显影液。
根据本发明的实施例，光刻胶过滤装置400具有回收液入口401、过滤后液出口402和光刻胶出口403，回收液入口401与显影回收液出口302相连，过滤后液出口402与显影液储罐100相连，显影液回收罐300上的出液口303和光刻胶出口403中的至少之一与显影液储罐100相连，且适于将显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液进行过滤处理，以便分离得到光刻胶和过滤后液，并将过滤后液供给至显影液储罐100中作为显影液使用，并将显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液和/或光刻胶过滤装置400中得到的光刻胶供给至显影液储罐100中，从而保持显影液储罐100中显影液光刻胶浓度稳定。发明人发现，通过将显影液回收罐中的含有的高浓度光刻胶的回收液或/和经光刻胶过滤装置得到的光刻胶供给至显影液储罐中，保证供给到显影机中的显影液中光刻胶浓度稳定，从而实现了光刻胶的循环使用，相较于现有技术外加涂布了光刻胶的玻璃来补充光刻胶，采用本申请的系统可以显著降低原料成本，并且该系统结构简单易于操作。
根据本发明的一个实施例，参考图1，显影液回收罐300上的出液口303与显影液储罐100相连，且适于将显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液供给至显影液储罐100中，以便保持显影液储罐100中显影液中光刻胶浓度稳定，实现光刻胶的循环使用。由此，可以显著降低系统原料和时间成本。
根据本发明的再一个实施例，参考图2，显影液回收罐300上的出液口303可以通过补液泵500与显影液储罐100相连，且适于采用补液泵500将储存在显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液供给至显影液储罐100中。
根据本发明的又一个实施例，参考图3，光刻胶出口403与显影液储罐100相连，且适于将光刻胶过滤装置400中分离得到的光刻胶供给至显影液储罐100中，以便保持显影液储罐100中显影液中光刻胶浓度稳定，实现光刻胶的循环使用。
根据本发明的又一个实施例，参考图4，显影液回收罐300上的出液口303和光刻胶出口403均与显影液储罐100相连，且适于将显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液和光刻胶过滤装置400中得到的光刻胶均供给至显影液储罐100中，从而保持显影液储罐100中显影液光刻胶浓度稳定。
根据本发明的又一个实施例，参考图5-7，显影回收液出口302与回收液入口401通过泵600相连，且适于采用泵600将显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液供给至光刻胶过滤装置400中进行过滤处理。
根据本发明的又一个实施例，回收显影液系统可以包括多个显影液储罐100和多个显影机200，并且显影液储罐100与显影机200一一对应，从而可以显著提高系统利用率。需要解释的是，本文中“显影液储罐100与显影机200一一对应”可以理解为显影液储罐100与显影机200数量相同，并且一台显影液储罐100搭配一台显影机200使用。例如参考图8-10，以回收显影液系统可以包括两台显影液储罐100和两台显影机200为例。
根据本发明的又一个实施例，本发明的回收显影液系统可以包括五台显影液储罐100和五台显影机200。由此，通过采用五台显影液储罐100和五台显影机200共用一台显影液回收罐300，使得每台显影机200中印版与显影液混合后得到的含有光刻胶的显影后液返回各自对应的显影液储罐100中，然后再经每台显影液储罐100供给至显影液回收罐300中汇集得到含有高浓度光刻胶的混合显影液，最后将显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液和/或经光刻胶过滤装置400得到的光刻胶供给至显影液储罐100中，从而可以保持显影液储罐100中显影液光刻胶浓度稳定，从而实现了光刻胶的循环使用，相较于现有技术外加涂布了光刻胶的玻璃来补充光刻胶，采用本申请的系统可以显著降低原料成本，并且该系统结构简单易于操作，并且设备利用率高。
为了方便理解，下面以采用两个显影液储罐100和两个显影机200为例对本发明的显影液回收系统的具体操作进行描述：首先通过两个显影液储罐100向各自对应的显影机200中供给显影液，使显影液与印版混合，印版上的光刻胶溶解在显影液中，得到显影印版和含有光刻胶的显影后液，每台显影机200中得到的含有光刻胶的显影后液供给至各自的显影液储罐100中储存，其中，一部分作为显影液使用，而另一部分再经每台显影液储罐100供给至显影液回收罐300中汇集得到含有高浓度光刻胶的混合显影液，最后将显影液回收罐300中的含有高浓度光刻胶的混合显影液和/或经光刻胶过滤装置400得到的光刻胶供给至显影液储罐100中，从而可以保持显影液储罐100中显影液光刻胶浓度稳定，实现了光刻胶的循环使用。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (7)

1.一种显影液回收系统，其特征在于，包括：
显影液储罐，所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口；
显影机，所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口，所述显影液喷头与所述显影液出口相连，所述显影后液出口与所述显影液储罐相连；
显影液回收罐，所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口，所述显影液入口与所述显影液储罐相连；
光刻胶过滤装置，所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口，所述回收液入口与所述显影回收液出口相连，所述过滤后液出口与所述显影液入口相连，所述光刻胶出口与所述显影液储罐相连。
2.根据权利要求1所述的显影液回收系统，其特征在于，所述显影液回收罐上的出液口与所述显影液储罐相连。
3.根据权利要求2所述的显影液回收系统，其特征在于，所述显影液回收罐上的出液口通过补液泵与所述显影液储罐相连。
4.根据权利要求2-3中任一项所述的显影液回收系统，其特征在于，所述显影回收液出口与所述回收液入口通过泵相连。
5.根据权利要求4所述的显影液回收系统，其特征在于，包括多个所述显影液储罐和多个所述显影机，并且所述显影液储罐与所述显影机一一对应。
6.根据权利要求5所述的显影液回收系统，其特征在于，包括五台所述显影液储罐和五台所述显影机。
7.一种显影液回收系统，其特征在于，包括：
显影液储罐，所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口；
显影机，所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口，所述显影液喷头与所述显影液出口相连，所述显影后液出口与所述显影液储罐相连；
显影液回收罐，所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口，所述显影液入口与所述显影液储罐相连；
光刻胶过滤装置，所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口，所述回收液入口与所述显影回收液出口相连，所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口均与所述显影液储罐相连。
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