CN100555084C - 显影液成分调整方法及其显影系统 - Google Patents

Abstract

一种显影系统，包括一第一显影机台、一第二显影机台、一连通管以及一废液槽。第一显影机台包括一第一显影槽、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上。第二显影机台包括一第二显影槽、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上。连通管连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽。废液槽连接该第一废液管以及该第二废液管。

Description

显影液成分调整方法及其显影系统

技术领域：

本发明是关于一种显影系统，特别是关于一种能控制显影液中光阻浓度的显影系统。

背景技术：

在显影制作工艺中，显影液中的光阻成分(在显影过程中从光阻图案上所洗出的光阻材料)与显影液的显影效果有直接的关系。当显影液中的光阻浓度过低时，显影液的显影效果会降低，而无法准确的显影出光阻图案。由于每道制作工艺之中所需处理的光阻图案均不尽相同，且由于显影液中的光阻成分来自于显影过程中从光阻图案上所洗出的光阻材料，因此，不同制作工艺中的显影液光阻浓度会随着光阻图案的不同而变化。例如，在显影介层孔(via)的光阻图案时，由于介层孔(via)的光阻图案简单，洗出的光阻材料极少，因此，在此制作工艺中显影液的光阻成分将会过低，进而影响显影效果。

发明内容：

本发明即为了解决上述传统技术的问题，而提供一种显影系统，包括一第一显影机台、一第二显影机台、一连通管以及一废液槽。第一显影机台包括一第一显影槽用于对一第一基板上的光阻图案进行显影、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上。第二显影机台包括一第二显影槽用于对一第二基板上的光阻图案进行显影、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上。连通管连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽。废液槽连接该第一废液管以及该第二废液管。

应用本发明，可简便的控制显影机台中显影液的光阻浓度，因此能维持显影机台的显影效果，提升产品的良品率。

附图说明：

图1显示本发明的显影系统；

图2a显示补充第一显影液循环槽中显影液的光阻成分的情形；

图2b显示补充第二显影液循环槽中显影液的光阻成分的情形；

图3显示本发明的显影系统设置有第三废液管以及第四废液管的情形；

图4a显示清空第一显影液循环槽的情形；

图4b显示清空第一显影液循环槽后，对第一显影液循环槽补充显影液的情形；

图5a显示清空第二显影液循环槽的情形；

图5b显示清空第二显影液循环槽后，对第二显影液循环槽补充显影液的情形。

符号说明：

1～显影系统

10～厂务端

11～第一显影液补充管

12～第二显影液补充管

20～连通管

21～第一连通阀

22～第二连通阀

30～废液槽

100～第一显影机台

101～基板

110～第一显影槽

111～第一显影液收集管

120～第一显影液循环槽

121～第一显影液供给管

122～第一泵

123～第一光阻浓度感应器

131～第一废液管

132～第一废液控制阀

141～第三废液管

142～第一废液排放阀

200～第二显影机台

201～基板

210～第二显影槽

211～第二显影液收集管

220～第二显影液循环槽

221～第二显影液供给管

222～第二泵

223～第二光阻浓度感应器

231～第二废液管

232～第二废液控制阀

241～第四废液管

242～第二废液排放阀

具体实施方式：

参照图1，其显示本发明的显影系统1，包括一第一显影机台100以及一第二显影机台200。第一显影机台100包括一第一显影槽110、一第一显影液收集管111、一第一显影液循环槽120、一第一显影液供给管121、一第一泵122、一第一光阻浓度感应器123、一第一废液管131以及一第一废液控制阀132。第二显影机台200包括一第二显影槽210、一第二显影液收集管211、一第二显影液循环槽220、一第二显影液供给管221、一第二泵222、一第二光阻浓度感应器223、一第二废液管231以及一第二废液控制阀232。

第一显影槽110透过底部的第一显影液收集管111连通该第一显影液循环槽120。第一显影液供给管121从该第一显影液循环槽120的底部延伸至该第一显影槽110的上方，第一泵122设于该第一显影液供给管121之上，以将该第一显影液循环槽120中的显影液加压送入该第一显影槽110之中，对基板101上的光阻图案进行显影。第一废液管131连通该第一显影液循环槽120以及一废液槽30。第一废液控制阀132设于该第一废液管131之上，以开闭该第一废液管131的流路。第一光阻浓度感应器123伸入该第一显影液循环槽120之中，以检测第一显影液循环槽120中的显影液浓度。一第一控制器(未图标)耦接该第一废液控制阀132以及该第一光阻浓度感应器123，并根据该第一光阻浓度感应器123的检测结果开闭该第一废液控制阀132。

第二显影槽210透过底部的第二显影液收集管211连通该第二显影液循环槽220。第二显影液供给管221从该第二显影液循环槽220的底部延伸至该第二显影槽210的上方，第二泵222设于该第二显影液供给管221之上，以将该第二显影液循环槽220中的显影液加压送入该第二显影槽210之中，对基板201上的光阻图案进行显影。第二废液管231连通该第二显影液循环槽220以及废液槽30。第二废液控制阀232设于该第二废液管231之上，以开闭该第二废液管231的流路。第二光阻浓度感应器223伸入该第二显影液循环槽220之中，以检测第二显影液循环槽220中的显影液浓度。一第二控制器(未图标)耦接该第二废液控制阀232以及该第二光阻浓度感应器223，并根据该第二光阻浓度感应器223的检测结果开闭该第二废液控制阀232。

第一显影液循环槽120以及第二显影液循环槽220之间以连通管20接通。连通管20上设有一第一连通阀21以及一第二连通阀22，其中，第一连通阀21以及第二连通阀22处于常开状态。

参照图2a，当第一光阻浓度感应器123检测出该第一显影液循环槽120中的显影液的光阻浓度过低时，该第一控制器开启该第一废液控制阀132，而使该第一显影液循环槽120中的显影液流入废液槽30之中。同时，由于连通管原理，第二显影液循环槽220中的显影液则通过连通管20流入第一显影液循环槽120之中，以借此提高第一显影液循环槽120中显影液的光阻浓度。

例如，当第一显影机台100用于显影介层孔(via)的光阻图案，而第二显影机台200用于显影其它较复杂的光阻图案时，第二显影液循环槽220中显影液的光阻浓度将高于第一显影液循环槽120中显影液的光阻浓度。透过上述的连通管设计，可将第二显影液循环槽220中的光阻成分补充至第一显影液循环槽120之中，而提高第一显影液循环槽120中显影液的光阻浓度，进而控制第一显影机台100的显影效果。

参照图2b，同样的，当第二光阻浓度感应器223检测出该第二显影液循环槽220中的显影液的光阻浓度过低时，该第二控制器开启该第二废液控制阀232，而使该第二显影液循环槽220中的显影液流入废液槽30之中。同时，由于连通管原理，第一显影液循环槽120中的显影液则通过连通管20流入第二显影液循环槽220之中，以借此提高第二显影液循环槽220中显影液的光阻浓度。

虽然在上述实施例之中，是以第一显影机台100以及第二显影机台200为例，说明本发明的实施方式，然其并未限制本发明。本发明亦可连通三台以上(多台)的显影机台，而互补调节该等显影机台的显影液的光阻浓度(可调节任一台显影机台的显影液的光阻浓度)。

在第一显影液循环槽120中的显影液水位下降之后，厂务端10可透过第一显影液补充管11补充第一显影液循环槽120中的显影液。同样的，在第二显影液循环槽220中的显影液水位下降之后，厂务端10可透过第二显影液补充管12补充第二显影液循环槽220中的显影液。

厂务端10所补充的显影液，其成分包括四甲基氢氧化胺(tetramethylammonium hydroxide，TMAH)，其浓度可以为2％至30％之间。

参照图3，第一显影机台100可还包括一第三废液管141，连通该第一显影液循环槽120以及该废液槽30，该第三废液管141上设有一第一废液排放阀142，处于常闭状态。第二显影机台200可还包括一第四废液管241，连通该第二显影液循环槽220以及该废液槽30，该第四废液管241上设有一第二废液排放阀242，处于常闭状态。

参照图4a，当欲清空第一显影液循环槽120中的显影液时，操作人员关闭第一连通阀21，并开启第一废液排放阀142，因此，第一显影液循环槽120中的显影液通过该第三废液管141而流入该废液槽30之中。接着，参照图4b，操作人员关闭第一废液排放阀142，并开启第一连通阀21，此时由于连通管原理，第二显影液循环槽220中的显影液通过连通管20流入第一显影液循环槽120之中，以借此对第一显影液循环槽120提供显影液的光阻成分。

参照图5a，当欲清空第二显影液循环槽220中的显影液时，操作人员关闭第二连通阀22，并开启第二废液排放阀242，因此，第二显影液循环槽220中的显影液通过该第四废液管241而流入该废液槽30之中。接着，参照图5b，操作人员关闭第二废液排放阀242，并开启第二连通阀22，此时由于连通管原理，第一显影液循环槽120中的显影液通过连通管20流入第二显影液循环槽220之中，以借此对第二显影液循环槽220提供显影液的光阻成分。

应用本发明，可简便的控制显影机台中显影液的光阻浓度，因此能维持显影机台的显影效果，提升产品的良品率。

虽然本发明已以具体的优选实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何业内人士，在不脱离本发明的精神和范围内，仍可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (18)

1.一种显影系统，包括：

一第一显影机台，其包括一第一显影槽，用于对一第一基板上的光阻图案进行显影、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上；

一第二显影机台，其包括一第二显影槽，用于对一第二基板上的光阻图案进行显影、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上；

一连通管，连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽；以及

一废液槽，连接该第一废液管以及该第二废液管。

2.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第一显影机台还包括一第一光阻浓度感应器，设于该第一显影液循环槽之中，以检测该第一显影液循环槽中的显影液的光阻浓度。

3.根据权利要求2所述的显影系统，其特征在于，该第一显影机台还包括一第一控制器，耦接该第一光阻浓度感应器以及该第一废液控制阀，该第一控制器根据该第一光阻浓度感应器的感测结果，控制该第一废液控制阀的开闭。

4.根据权利要求3所述的显影系统，其特征在于，该第一显影机台还包括一第三废液管以及一第一废液排放阀，该第三废液管连接该第一显影液循环槽以及该废液槽，该第一废液排放阀设于该第三废液管之上。

5.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第二显影机台还包括一第二光阻浓度感应器，设于该第二显影液循环槽之中，以检测该第二显影液循环槽中的显影液的光阻浓度。

6.根据权利要求5所述的显影系统，其特征在于，该第二显影机台还包括一第二控制器，耦接该第二光阻浓度感应器以及该第二废液控制阀，该第二控制器根据该第二光阻浓度感应器的感测结果，控制该第二废液控制阀的开闭。

7.根据权利要求6所述的显影系统，其特征在于，该第二显影机台还包括一第四废液管以及一第二废液排放阀，该第四废液管连接该第二显影液循环槽以及该废液槽，该第二废液排放阀设于该第四废液管之上。

8.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第一显影机台还包括一第一连通阀，设于该连通管之上。

9.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第二显影机台还包括一第二连通阀，设于该连通管之上。

10.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第一显影机台还包括一第一显影液补充管，连接该第一显影液循环槽，用以对该第一显影液循环槽补充显影液。

11.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第二显影机台还包括一第二显影液补充管，连接该第二显影液循环槽，用以对该第二显影液循环槽补充显影液。

12.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第一显影机台还包括一第一显影液供给管、一第一泵以及一第一显影液收集管，该第一显影液供给管连接该第一显影槽以及该第一显影液循环槽，该第一显影液收集管亦接该第一显影槽以及该第一显影液循环槽，该第一泵设于该第一显影液供给管之上，透过该第一泵，显影液从该第一显影液循环槽流出，经过该第一显影液供给管，进入该第一显影槽以进行显影，并从该第一显影液收集管流回该第一显影液循环槽。

13.根据权利要求1所述的显影系统，其特征在于，该第二显影机台还包括一第二显影液供给管、一第二泵以及一第二显影液收集管，该第二显影液供给管连接该第二显影槽以及该第二显影液循环槽，该第二显影液收集管亦接该第二显影槽以及该第二显影液循环槽，该第二泵设于该第二显影液供给管之上，透过该第二泵，显影液从该第二显影液循环槽流出，经过该第二显影液供给管，进入该第二显影槽以进行显影，并从该第二显影液收集管流回该第二显影液循环槽。

14.一种显影液成分调整方法，包括：

提供一第一显影机台、一第二显影机台以及一连通管，该第一显影机台包括一第一显影液循环槽，该第二显影机台包括一第二显影液循环槽，该连通管连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽；

检测该第一显影液循环槽中显影液的光阻浓度以及该第二显影液循环槽中显影液的光阻浓度；

当该第一显影液循环槽中显影液的光阻浓度过低时，部分排放该第一显影液循环槽中的显影液，以使该第二显影液循环槽中的显影液经过该连通管而流入该第一显影液循环槽之中。

15.一种显影液成分调整方法，包括：

提供根据权利要求1所述的显影系统；

检测该第一显影液循环槽中显影液的光阻浓度以及该第二显影液循环槽中显影液的光阻浓度；

当该第一显影液循环槽中显影液的光阻浓度过低时，部分排放该第一显影液循环槽中的显影液，以使该第二显影液循环槽中的显影液经过该连通管而流入该第一显影液循环槽之中。

16.根据权利要求15所述的显影液成分调整方法，其特征在于，当该第一显影液循环槽中显影液的光阻浓度过低时，该第一废液控制阀开启，部分该第一显影液循环槽中的显影液经过该第一废液管进入该废液槽之中，同时，该第二显影液循环槽中的显影液经过该连通管而进入该第一显影液循环槽之中。

17.根据权利要求15所述的显影液成分调整方法，其特征在于，该第一显影机台还包括一第三废液管、一第一废液排放阀以及一第一连通阀，该第三废液管连接该第一显影液循环槽以及该废液槽，该第一废液排放阀设于该第三废液管之上，该第一连通阀设于该连通管之上，该第一废液排放阀常闭以防止该第一显影液循环槽中的显影液流入该第三废液管，该第一连通阀常开以容许该第二显影液循环槽中的显影液流入该第一显影液循环槽。

18.根据权利要求17所述的显影液成分调整方法，其特征在于，当欲清空该第一显影液循环槽中的显影液时，该第一废液排放阀开启以让该第一显影液循环槽中的显影液流入该第三废液管，同时，该第一连通阀关闭以防止该第二显影液循环槽中的显影液流入该第一显影液循环槽。。

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