CN107479342B - 一种显影装置及显影方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其包括：显影槽、回收箱和设于显影槽正上方且用于传送基板的传送部；显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；回收箱包括第一箱体和第二箱体；第一槽与第一箱体连通；基板处于第二槽内，第二槽与第一箱体连通；基板处于第三槽内，第三槽与第二箱体连通。该显影装置能够解决在基板显影过程中，分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液的技术问题，从而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。

Description

一种显影装置及显影方法
技术领域
本发明涉及显示面板制造技术领域，特别涉及一种显影装置及显影方法。
背景技术
在显示面板制造行业中，基板的制作工艺是制造高质量显示面板的一个重要部分。基板的制作包括：清洗、成膜、涂布、曝光、显影等。基板的显影是基板制作中的重要流程。
目前，基板的显影需要显影装置对已曝光的基板进行显影。在显影过程中，显影装置利用显影液对基板上的光阻进行反应去除并回收显影液。然而，在显影液回收过程中，与基板上的光阻相互反应的显影液中的光阻浓度过高，该部分显影液回收至回收箱会降低回收箱中显影液的浓度。这时，用户需要往回收箱补充大量的标准浓度的显影液进行稀释，从而降低光阻浓度。然而，这一稀释流程将浪费大量的材料成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种显影装置，用以解决在基板显影过程中，分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液的技术问题，从而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。
本发明提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其特征在于，包括：显影槽、回收箱和设于所述显影槽正上方且用于传送所述基板的传送部；所述显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；所述回收箱包括第一箱体和第二箱体；所述第一槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第二槽内，所述第二槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第三槽内，所述第三槽与所述第二箱体连通。
其中，所述第二槽与所述第一箱体通过第一通道连接，所述第一通道上设有第一阀门；在所述基板到达所述第二槽时，所述第一阀门开启。
其中，所述第三槽与所述第二箱体通过第二通道连接，所述第二通道上设有第二阀门；在所述基板到达第三槽时，所述第二通道的所述第二阀门开启。
其中，所述显影装置还包括：设于所述第一槽顶端的喷嘴及设于所述第三槽顶端的风刀。
其中，所述传送部包括多个传送滚轴；多个所述传送滚轴平行间隔设置构成运输平面。
其中，所述显影装置还包括反射式传感器；所述反射式传感器包括发射装置及控制装置，所述发射装置用于发射信号，所述控制装置用于接收信号，并控制所述第一阀门与所述第二阀门的开启及关闭。
其中，所述第一箱体设有进水口。
其中，所述第一箱体的内部端面设有溢流管；所述溢流管连通所述第一箱体的内部和所述第一箱体外部。
本发明还提供一种显影方式，其包括：
所述基板置于所述运输平面，所述反射式传感器检测到所述基板，并开始计时；
启动所述传送部将所述基板移动至所述第一槽上方，并通过所述喷嘴进行喷淋；
经过第一喷淋时间，所述基板移动至所述第二槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门开启，所述第二阀门关闭，所述第二槽与所述第一箱体连通；
经过一段传送时间，所述基板移动至第三槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门关闭，所述第二阀门开启，所述第三槽与所述第二箱体连通。
本发明的有益效果如下：通过在第一通道和第二通道中设置第一阀门和第二阀门，并利用反射式传感器控制两个阀门的开启与闭合。当基板处于第一槽，反射式传感器控制第一阀门开启，第二阀门闭合，使得第二槽与第一箱体连通，第一箱体回收第二槽中低光阻浓度的显影液；当基板位于第二槽，反射式传感器控制第一阀门闭合，第二阀门开启，使得第三槽与第二箱体连通，第二箱体回收第三槽中高光阻浓度的显影液。因此，基板在显影过程中，该显影装置能够分开回收掺杂有光阻浓度的显影液，从而减小稀释回收箱中显影液的投资成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例的显影装置结构示意图。
图2是图1的传送部结构示意图。
图3是本发明实施例的显影方法流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明实施方式提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其包括：显影槽13、回收箱20、及设于显影槽13正上方且用于传送基板的传送部12。将已经曝光的基板置于传送部12中，基板在显影槽13中移动。显影装置通过显影液与基板上的光阻反应，使基板上的光阻得到去除。所述显影槽13用于容纳显影液，并将显影液导出。所述回收箱20用于回收显影装置中的显影槽13导出的显影液，使回收的显影液能够重复利用，从而避免显影液浪费。
具体的，在显影液的回收过程中，显影液与基板上的光阻反应，使得显影液的光阻浓度增大，这时需要将高光阻浓度的显影液分开回收。该显影装置的显影槽13包括相互间隔且依次排列的第一槽131、第二槽132和第三槽133。第一槽131用于收集未反应的显影液，第二槽132用于收集基板表面流出的显影液，第三槽133用于收集与基板表面光阻已反应的显影液。此外，第一槽131与第二槽132之间设有第一隔板；第二槽132与第三槽133之间设有第二隔板。所述第一隔板用于防止第一槽131与第二槽132连通，所述第二隔板用于防止第二槽132与第三槽133连通。因此，该显影装置能够实现分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液，进而减少稀释回收显影液浓度的投入成本。
如图1所示，所述显影装置还包括：喷嘴14和风刀15。所述喷嘴14设于第一槽131的顶端。喷嘴14用于提供显影液，当基板通过传送部12传送到喷嘴14所对应的位置时，喷嘴14喷出显影液，对基板上的光阻进行反应。所述风刀15设于第三槽133的顶端。当基板传送到风刀15所对应的位置时，风刀15将基板上的显影液吹到第三槽133，并通过第三槽133将显影液导出显影10。
如图2所示，本实施例中，所述传送部12包括多个传送滚轴121及设于传送滚轴121的多个柔性环122。柔性环122由橡胶材料制成。多个传送滚轴平行间隔设置构成运输平面。所述基板置于运输平面，再通过传送滚轴121的转动带动柔性环122的转动，使得基板获得移动的动力，从而实现相对传送滚轴121的移动。柔性环122也可以避免基板与传送滚轴121在转动过程中发生刮伤。传送滚轴12的转动通过驱动装置驱动，驱动装置为电动机或者马达。在其他实施例中，所述传送部也可以包括多个传送滚轴和设于多个传送滚轴上的传送带，传送滚轴通过驱动部驱动从而发生转动，传送滚轴的转动带动传送带的移动。所述传送部也可以包括多个传送滚轴和设于多个传送滚轴之上的机械手。机械手用于提取基板，并实现基板的移动。
如图1所示，所述回收箱20包括第一箱体21和第二箱体22。所述第一箱体21用于回收低光阻浓度的显影液，并实现重复利用。第二箱体22用于回收高光阻浓度的显影液。第一箱体21设有进水口。当第一箱体21的显影液掺杂有光阻浓度时，需要利用进水口通入显影液来稀释第一箱体21中的光阻浓度，使掺有光阻浓度的显影液达到适合与光阻反应的浓度。此外，所述第一箱体21的内部端面设有溢流管，溢流管连通第一箱体21的内部和第一箱体21的外部。当第一箱体21中的显影液通过回收显影液或者通过注入标准的显影液来稀释回收的显影液时，第一箱体21存储的显影液高度达到与第一箱体21的内部溢流管的高度时，第一箱体21中的显影液便通过溢流管溢出第一箱体21外部。
本实施例中，如图1所示，显影槽13与回收箱20通过通道30相互连通。其中，第一槽131与第一箱体21通过第三通道33始终保持连通，第二槽132与第一箱体21通过第一通道连接，第三槽133与第二箱体22通过第二通道连接。第一通道和第二通道包含有主通道31。具体的，主通道31包含有与主通道31两端分别连通的子通道32。主通道31是第二槽132与第三槽133的显影液流经的公共通道。与主通道31一端连通的子通道32包括第一子通道321及与第一子通道321的一端连通的第二子通道322；与主通道31的另一端连通的子通道32包括第三子通道323及第四子通道324；第一子通道321的另一端与所述第一箱体21连通；第二子通道322的另一端与第二箱体22连通；第三子通道323的另一端与第二槽132连通；所述第四子通道324的另一端与第三槽133连通。此外，该显影装置的通道30上设有两个阀门，一个阀门用于控制回收光阻未完全反应的显影液，一个阀门用于控制回收光阻完全反应的显影液。具体的，第一子通道321设有第一阀门41以及第二子通道322设有第二阀门42。所述第一阀门41和第二阀门42分别控制第一子通道321和第二子通道322显影液的流通路径。
在其他实施例中，第一槽131与第一箱体21始终通过第三通道33连通，第二槽132与第一箱体21通过第一通道直接连通，第三槽133与第二箱体22通过第二通道直接连通。当基板位于第一槽131内时，显影液直接通过第一槽131流进第一箱体21。当基板位于第二槽132内时，显影液未与基板表面的光阻反应，直接通过第二槽132流进第一箱体21。当基板位于第三槽133内时，基板表面的显影液与基板上的光阻反应完全。掺有高浓度的光阻的显影液直接通过第三槽133流进第二箱体22。通过第一槽131、第二槽132和第三槽133回收基板在不同位置上的显影液，使得所述显影装置分开回收掺杂有不同浓度的光阻浓度的显影液。
如图1所示，所述显影装置还包括反射式传感器16。基板在传送部12传送过程中，基板依次经过第一槽131、第二槽132和第三槽133。所述反射式传感器16用于确认基板的位置并控制第一阀门41和第二阀门42的开启与关闭。具体的，反射式传感器16包括发射装置161和控制装置162。反射式传感器16安装在显影装置的顶端。所述反射式传感器包括但不限于为反射式光电传感器。基板置于喷嘴14所对应于运输平面的位置。喷嘴14开始喷淋基板，喷淋的显影液一部分留在基板的表面，另一部分显影液通过第三通道33流进第一箱体21。同时，反射式传感器16通过发射装置161发射信号，信号经过基板反射，控制装置162接收基板反射的信号。控制装置162分析处理信号后，确认运输平面存在基板。控制装置162开始计时。经过一段喷嘴14喷淋时间，基板位于第二槽132内，控制装置162控制第一阀门41开启，第二阀门42关闭，第二槽132与第一箱体21连通。基板表面的显影液，由于基板的运动，一部分贴附在基板的表面，一部分流进第二槽132。再经过传送一段时间，基板位于第三槽内，控制装置162控制第一阀门41关闭，第二阀门42开启，第三槽133与第二箱体22连通。此时，基板表面的显影液与基板的光阻反应完全，在风刀15的吹动下，表面的显影液吹进第三槽133，并通过第二管道流进第二箱体22。因此，该显影装置能够通过反射式传感器16控制阀门的开启与关闭，使得在不同位置的基板上的显影液能够分开回收。
如图3所示，本发明还提供一种显影方式，其包括：
步骤S10，所述基板置于所述运输平面，所述反射式传感器检测到所述基板，并开始计时；将基板放置于喷嘴14对应的运输平面的位置。反射式传感器16通过发射装置161发射信号，信号经过基板反射，控制装置162接收基板反射的信号。控制装置162分析处理信号后，确认运输平面存在基板。控制装置162开始计时。
步骤S120，启动所述传送部将所述基板移动至所述第一槽上方，并通过所述喷嘴进行喷淋；喷嘴14开始喷淋基板，喷淋的显影液一部分留在基板的表面，另一部分显影液通过第三通道33流进第一箱体21。
步骤S30，经过第一喷淋时间，所述基板移动至所述第二槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门开启，所述第二阀门关闭，所述第二槽与所述第一箱体连通；经喷嘴14喷淋的基板表面存有显影液，由于基板在传动部12带下下运动，一部分显影液贴附在基板的表面，一部分显影液通过第一通道流进第一箱体21。
步骤S40，经过一段传送时间，所述基板移动至第三槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门关闭，所述第二阀门开启，所述第三槽与所述第二箱体连通。此时，基板表面的显影液与基板的光阻反应完全，并在风刀15的吹动下，基板表面的显影液被风刀15吹进第三槽133，并通过第二管道流进第二箱体22。
本发明实施例中，所述显影装置通过在第一通道321和第二通道322中设置第一阀门41和第二阀门42，并利用反射式传感器16控制第一阀门41开启，第二阀门42关闭，第二槽132与第一箱体21连通；第一阀门41关闭，第二阀门42开启，第三槽133与第二箱体22连通，从而实现分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液，进而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种显影装置，用于对基板的显影加工，其特征在于，包括：显影槽、回收箱和设于所述显影槽正上方且用于传送所述基板的传送部；所述显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；所述回收箱包括第一箱体和第二箱体；所述第一槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第二槽内，所述第二槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第三槽内，所述第三槽与所述第二箱体连通，所述第一槽用于收集未反应的显影液，所述第二槽用于收集所述基板表面流出的显影液，所述第三槽用于收集与所述基板表面光阻已反应的显影液；
所述第二槽与所述第一箱体通过第一通道连接，所述第三槽与所述第二箱体通过第二通道连接，所述第一通道和所述第二通道包含有主通道，所述主通道是所述第二槽与所述第三槽的显影液流经的公共通道；所述主通道包含有与所述主通道两端分别连通的子通道；与所述主通道一端连通的子通道包括第一子通道及与所述第一子通道的一端连通的第二子通道；与所述主通道的另一端连通的子通道包括第三子通道及第四子通道；所述第一子通道的另一端与所述第一箱体连通；所述第二子通道的另一端与第二箱体连通；所述第三子通道的另一端与所述第二槽连通；所述第四子通道的另一端与第三槽连通。
2.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第二槽与所述第一箱体通过第一通道连接，所述第一通道上设有第一阀门；在所述基板到达所述第二槽时，所述第一阀门开启。
3.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第三槽与所述第二箱体通过第二通道连接，所述第二通道上设有第二阀门；在所述基板到达第三槽时，所述第二通道的所述第二阀门开启。
4.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括：设于所述第一槽顶端的喷嘴及设于所述第三槽顶端的风刀。
5.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述传送部包括多个传送滚轴；多个所述传送滚轴平行间隔设置构成运输平面。
6.如权利要求2或者3所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括反射式传感器；所述反射式传感器包括发射装置及控制装置，所述发射装置用于发射信号，所述控制装置用于接收信号，并控制所述第一阀门与所述第二阀门的开启及关闭。
7.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第一箱体设有进水口。
8.如权利要求7所述的显影装置，其特征在于，所述第一箱体的内部端面设有溢流管；所述溢流管连通所述第一箱体的内部和所述第一箱体外部。
9.一种显影方法，其特征在于，包括：
将基板置于所述运输平面，通过反射式传感器检测到所述基板，并开始计时；
启动传送部将所述基板移动至所述第一槽上方，并通过所述喷嘴进行喷淋；
经过第一喷淋时间，所述基板移动至所述第二槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门开启，所述第二阀门关闭，所述第二槽与所述第一箱体连通；
经过一段传送时间，所述基板移动至第三槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门关闭，所述第二阀门开启，所述第三槽与所述第二箱体连通，其中，所述第一槽用于收集未反应的显影液，所述第二槽用于收集所述基板表面流出的显影液，所述第三槽用于收集与所述基板表面光阻已反应的显影液，其中，所述第二槽与所述第一箱体通过第一通道连接，所述第三槽与所述第二箱体通过第二通道连接，所述第一通道和所述第二通道包含有主通道，所述主通道是所述第二槽与所述第三槽的显影液流经的公共通道；所述主通道包含有与所述主通道两端分别连通的子通道；与所述主通道一端连通的子通道包括第一子通道及与所述第一子通道的一端连通的第二子通道；与所述主通道的另一端连通的子通道包括第三子通道及第四子通道；所述第一子通道的另一端与所述第一箱体连通；所述第二子通道的另一端与第二箱体连通；所述第三子通道的另一端与所述第二槽连通；所述第四子通道的另一端与第三槽连通。
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