KR101308398B1 - 약액 회수장치 및 이를 이용한 약액 회수방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약액 회수장치 및 이를 이용한 약액 회수방법에 관한 것으로, 기판이송방향을 따라 이송되는 기판에 대하여 습식처리하는 베쓰와, 상기 베쓰 저면에 형성되어 기판의 습식처리에 사용된 약액을 집수하는 집수부와, 상기 집수부의 약액을 유입받아 저장하는 회수탱크를 포함하는 약액 회수장치를 제공한다. 또한 본 발명은 (a) 상기 베쓰에서 기판의 습식처리에 사용된 약액을 상기 베쓰의 저면에 형성된 집수부에 집수하는 단계; 및 (b) 상기 집수부에 집수된 약액을 회수탱크로 유입시켜 저장하는 단계를 포함하는 약액 회수방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 폐현상액을 회수하는 구성부품의 간소화로 인해 장비의 원가를 대폭 절감할 뿐만 아니라 설치가 용이해지며 유지보수가 간편해 진다는 효과가 있다.
기판, 약액, 회수, 집수부, 회수탱크

Description

약액 회수장치 및 이를 이용한 약액 회수방법{Device for collecting chemical and method to collect chemical thereof}
도 1은 종래 약액 회수장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 약액 회수장치의 개략적인 일실시 구성도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 베쓰 110 : 제1현상존
120 : 제2현상존 130 : 제3현상존
210 : 제1집수부 211 : 개폐기재
220 : 제2집수부 221 : 개폐기재
310 : 제1회수탱크 320 : 제2회수탱크
본 발명은 약액 회수장치 및 이를 이용한 약액 회수방법에 관한 것으로, 특히 베쓰 내에서 기판 현상에 사용된 폐현상액을 회수하는 약액 회수장치 및 이를 이용한 약액 회수방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조공정에서는 피처리기판(실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판)상의 특정 기능을 수행하는 박막, 예를 들면, 산화 박막, 금속 박막, 반도체 박막 등이 원하는 형상으로 패터닝(patterning)되도록 광원과 반응하는 감광액(sensitive material)을 상기 박막상에 도포하는 공정이 수행된다.
이처럼 피처리기판의 박막에 소정의 회로패턴이 구현되도록 감광액을 도포하여 감광막 코팅하고, 회로패턴에 대응하여 상기 감광막을 노광하며, 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 현상처리하여 제거하는 일련의 과정을 사진공정 또는 포토리소그래피(Photolithography)공정이라 한다.
일례로, 상기한 사진공정에서는 감광막에 노광 완료된 기판을 컨베이어 등으로 일방향 수평이송하며 순차현상하는 과정이 진행된다.
구체적으로, 기판 현상처리시에는 일방향으로 수평이송되는 기판의 표면에 현상액을 분사하여 기판의 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 현상액에 의해 제거하되, 기판 현상에 사용된 폐현상액을 회수처리하는 과정이 진행된다.
도 1은 종래 약액 회수장치의 개략적인 구성도이다. 여기서 점선으로 표시된 화살표는 기판이송방향을 나타낸다.
도 1을 참조하면, 종래 약액 회수장치는 베쓰(10)의 하부에 설치되는 회수탱크(30; 31, 32)와, 상기 베쓰(10) 내의 각 현상존(11, 12, 13)과 소통연결되어 상기 현상존(11, 12, 13)에서 기판 현상에 사용된 폐현상액을 상기 회수탱크(30: 31, 32)로 이송하는 다수의 집수관(20)과, 상기 집수관(20)에 설치되어 폐현상액의 유 입을 단속하는 다수의 밸브(21)를 포함한다.
따라서, 현상존(11, 12, 13)을 통과하는 기판의 현상에 사용된 폐현상액은 베쓰(10) 하부에 설치된 집수관(20)으로 유입되고, 집수관(20)으로 유입된 폐현상액은 집수관(20)에 설치된 다수 에어밸브(21)의 선택적 작동제어에 의해 제1회수탱크(31) 또는 제2회수탱크(32)로 유입된다.
그러나 종래 약액 회수장치는 다수의 집수관(20)과, 다수의 밸브(21)가 설치되어야 하므로 비용증가의 원인이 된다는 단점이 있었다.
이처럼 종래 약액 회수장치는 베쓰(10) 하부에 폐현상액 처리를 위한 다수의 부품이 설치되므로 베쓰(10) 하부가 복잡해져 장비의 설치 및 유지보수를 위한 작업을 수행하는 것도 용이하지 않다는 단점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 비교적 간단한 구조로 약액을 회수하는 약액 회수장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한 본 발명의 또 다른 목적은, 비교적 간단한 방식으로 약액을 회수하는 약액 회수방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판이송방향을 따라 이송되는 기판에 대하여 습식처리하는 베쓰; 상기 베쓰 저면에 형성되어 기판의 습식처리에 사용된 약액을 집수하는 집수부; 및 상기 집수부의 약액을 유입받아 저장하는 회수탱크를 포함하고, 상기 집수부는 기판이송방향을 따라 복수 설치되고, 상기 회수탱크는 상기 집수부와 일대일 대응하여 설치된 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은, (a) 상기 베쓰에서 기판의 습식처리에 사용된 약액을 상기 베쓰의 저면에 형성된 집수부에 집수하는 단계와, (b) 상기 집수부에 집수된 약액을 회수탱크로 유입시켜 저장하는 단계를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시 예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 약액 회수장치의 개략적인 구성도이다. 여기서 점선으로 표시된 화살표는 기판이송방향을 나타낸다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 약액 회수장치는 기판이송방향을 따라 공간 구분되는 복수의 현상존(110, 120, 130)을 구비하여 기판에 대하여 순차현상처리하는 베쓰(100)와, 상기 베쓰(100) 저면에 형성되어 상기 각 현상존(110, 120, 130)에서 기판 현상에 사용된 폐현상액을 집수하는 집수부(210, 220)와, 상기 집수부(210, 220)와 인접설치되어 상기 집수부(210, 220)의 폐현상액을 유입받아 저장하는 회수탱크(310, 320)를 포함한다.
상기 베쓰(100)는 그 내부에 기판이송방향을 따라 컨베이어 등의 기판이송기재(미도시)가 설치되어 습식처리될 기판이 일방향으로 수평이송될 수 있다.
본 일실시예에서는 기판에 대한 다양한 습식처리 중 예컨데 기판에 대하여 현상처리가 수행되는 것을 예시한다.
이러한 베쓰(100)는 그 내부에 기판이송방향을 따라 격벽에 의해 공간 구분되는 복수의 현상존(110, 120, 130)이 구비되는 것을 예시한다.
상기 현상존(110, 120, 130)은 그 내부로 진입한 기판 표면에 현상액을 분사하는 슬릿노즐(미도시) 또는 홀샤워타입 노즐(미도시) 등이 구비될 수 있다.
이처럼 기판은 일방향으로 수평이송되면서 베쓰(100) 내부를 통과하므로 각 현상존(110, 120, 130)을 순차통과하며 순차현상처리된다.
본 일실시예에서의 베쓰(100)는 기판이송방향을 따라 기판에 대하여 최초 현상처리하는 제1현상존(110)과, 중간 현상처리하는 제2현상존(120)과, 최종 현상처리하는 제3현상존(130)을 포함하는 것을 예시한다.
그리고 각 현상존(110, 120, 130)에서 기판에 분사되어 기판 현상에 사용된 폐현상액은 중력작용에 의해 베쓰(100)의 하부공간으로 집수(集水)된다.
상기 집수부(210, 220)는 베쓰(100) 내부의 각 현상존(110, 120, 130) 하부 공간일 수도 있고, 예시한 바와 같이 베쓰(100) 하부에 별도 형성되는 공간일 수도 있다.
이러한, 집수부(210, 220)는 예시한 바와 같이 복수 설치되되 현상존(110, 120, 130)의 갯수 보다 적은 갯수가 설치되어도 무방하고, 현상존(110, 120, 130)의 하부에 각각 설치되어 각 현상존(110, 120, 130)에서 기판 현상에 사용된 폐현상액을 각각 집수하도록 할 수도 있다.
다만, 집수부(210, 220)는 폐현상액이 회수탱크(310, 320)로 유입되기 전 현 상존(110, 120, 130)에서 발생되는 폐현상액을 원활하게 집수하여 현상존(110, 120, 130)을 통과하는 기판에 악영향을 끼치지 않도록 그 갯수 및 용량이 조절되어야 할 것이다.
상기 회수탱크(310, 320)는 집수부(210, 220)와 일대일 대응하여 설치되는 것이 바람직하다.
즉, 집수부(210, 220)와 회수탱크(310, 320)와 상호 일대일 대응하여 집수부(210, 220)에 집수된 폐현상액이 대응하는 회수탱크(310, 320)에 직접 유입된다.
이처럼, 본 일실시예에 따르면 종래 기술과 비교하여 폐현상액을 회수하기 위한 별도의 배관 및 밸브가 필요치 않으므로 장치의 간소화를 달성하는 장점 및 장비의 유지보수가 간편해 진다는 장점이 있다.
또한 각 집수부(210, 220)에 집수된 폐현상액이 직접 해당 회수탱크(310, 320)로 회수되므로 폐현상액의 회수경로 제어 등이 필요치 않아 기기운영효율을 향상시키는 장점이 있다.
한편, 하나의 회수탱크(310 또는 320)만이 설치되어 복수의 집수부(210, 220)에 집수된 폐현상액을 유입하여 저장하는 것도 고려될 수 있으나, 이러한 경우 회수탱크(310, 320)가 각 집수부(210, 220)를 커버할 만큼 크기가 커지거나 별도의 배관 및 밸브가 사용되어야 할 것이다.
상기와 같이, 집수부(210, 220)는 상기 베쓰(100) 내에 복수 설치되는 것이 바람직하고, 상호 인접하는 상기 각 집수부(210, 220)를 소통연결하는 통로(101, 102)를 포함하는 것이 더욱 바람직하다.
즉, 특정 집수부(210 또는 220)에 폐현상액이 집중되어 해당 현상존(110 또는 120 또는 130)에 폐현상액이 오버플로우될 경우 상기 통로(101, 102)를 통하여 다른 집수부(210 또는 220)로 폐현상액이 집수되므로 해당 현상존(110 또는 120 또는 130)을 통과하는 기판에 악영향을 끼치는 것을 방지하는 장점이 있다.
상기의 구성에서, 집수부(210, 220)는 그의 일대일 대응하는 회수탱크(310 또는 320)로의 폐현상액 유입을 단속하는 개폐기재(211, 221)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
즉, 본 일실시예에 따른 약액 회수장치는 어느 하나의 회수탱크(310 또는 320)가 만충되어 해당 회수탱크(310 또는 320)의 교체 또는 저장된 폐현상액을 배출처리하기 전 개폐기재(211 또는 221)를 선택적으로 작동시키는 것에 의하여 수용공간이 확보된 다른 하나의 회수탱크(310 또는 320)측으로 폐현상액을 유입시킬 수 있다는 장점이 있다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 약액 회수방법을 설명한다.
상기한 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 약액 회수방법은 (a) 베쓰(100)에서 기판의 습식처리에 사용된 약액을 베쓰(100)의 저면에 형성된 집수부(210, 220)에 집수하는 단계와, (b) 상기 집수부(210, 220)에 집수된 약액을 회수탱크(310, 320)로 유입시켜 저장하는 단계를 포함한다.
본 일실시예에서는 기판에 대한 다양한 습식처리 중 예컨데 기판에 대하여 현상처리가 수행되는 것을 예시한다.
상기 (a)단계는, 기판의 습식처리에 사용된 폐현상액을 복수의 집수부(210, 220)에서 분산 집수하는 것이 바람직하다.
따라서, 베쓰(100) 내부에 발생된 폐현상액이 복수의 집수부(210, 220)에 분산 집수되므로 기판에 악영향을 끼치지 않고 원활하게 집수처리되는 장점이 있다.
이때, 각 집수부(210, 220)는 통로(101, 102)에 의해 상호 소통되어 있으므로, 집수부(210, 220) 중 그 수용량을 초과하는 폐현상액이 유입된 해당 집수부(210 또는 220)에서 다른 집수부(210 또는 220)측으로 그 초과분을 공급할 수 있다.
상기 (b)단계는, 상기 각 집수부(210, 220)에 집수된 약액을 상기 각 집수부(210, 220)와 일대일 대응하는 복수의 회수탱크(310, 320)에 일정시간씩 교번하여 유입시키는 것이 바람직하다.
따라서, 각 집수부(210, 220)에 집수된 폐현상액이 복수의 회수탱크(310, 320)에 상호 교번하여 회수되므로 기기의 중단없이 연속하여 회수과정이 진행되는 장점이 있다.
본 일실시예에서는, 상기 (b)단계 후 폐현상액을 유입받는 해당 회수탱크(310 또는 320)에 저장된 폐현상액을 베쓰(100)로 재공급한다.
따라서, 폐현상액을 유입과정이 진행되는 해당 회수탱크(310 또는 320)에 유입 저장된 폐현상액이 다시 베쓰(100)로 재공급되어 기판의 현상처리에 사용될 수 있다는 장점이 있다.
한편, 폐현상액의 오염정도나 베쓰(100)를 통과하는 기판의 현상요구정도에 따라 폐현상액이 베쓰(100) 내의 어느 하나의 현상존(110 내지 130)으로 바로 공급될 수도 있고, 폐현상액의 재공급과정 중 폐현상액을 필터 등에 통과시켜 재생하여 재공급할 수도 있다.
일례로, 집수부(210, 220)에 회수된 폐현상액이 제1회수탱크(310)로 유입되어 저장되는 것을 예시한다.
그리고, 제1집수부(210)에 일대일 대응하는 제1회수탱크(310)에 폐현상액이 유입되도록 제1집수부(210)에 구비된 개폐기재(211)를 일정시간 동안 개방한다.
이때, 베쓰(100)에서는 현상공정이 지속적으로 진행되므로 집수부(210, 220)에 각각 폐현상액이 집수되지만, 제2집수부(220)에 집수된 폐현상액은 개폐기재(221)가 폐쇄되어 있으므로 오버플로우되어 통로(101, 102)를 통하여 제1집수부(210)로 유입된다.
이처럼, 제1집수부(210)를 통하여 제1회수탱크(310)로 유입된 폐현상액은 다시 베쓰(100)로 재공급되는 일련의 순환과정이 반복된다.
한편, 제1회수탱크(310)에 폐현상액이 유입되고 제1회수탱크에서 베쓰(100)측으로 폐현상액이 순환공급되는 일련의 과정이 일정시간 지속되면, 폐현상액의 농도가 저하되고 오염정도가 기준치 이상으로 증가될 것이다.
이에, 제1회수탱크(310)로의 폐현상액 유입여부를 단속하는 개폐기재(211)를 폐쇄하여 제1회수탱크(310)로의 폐현상액 유입을 차단하고, 제2회수탱크(320)로의 폐현상액 유입여부를 단속하는 개폐기재(221)를 개방하여 제2회수탱크(320)로의 폐 현상액 유입과정을 수행하여 베쓰(100)에는 항상 일정수준의 현상액이 공급될 수 있도록 한다.
본 일실시예에서는, 상기 (b)단계 후 폐현상액의 유입과정이 진행되지 않는 해당 회수탱크(310 또는 320)에 저장된 폐현상액을 배액시키고 고순도의 폐현상액을 새로이 보충하는 것이 바람직하다.
즉, 제2회수탱크(320)로의 폐현상액의 유입과정이 진행되는 동안 폐현상액 회수과정이 중단된 제1회수탱크(310) 내부의 폐현상액을 배액시키고 고순도의 현상액을 보충함으로써, 베쓰(100)에는 항상 일정수준의 현상액이 중단없이 연속하여 공급될 수 있는 장점이 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.
상기한 바와 같이 본 발명은, 폐현상액을 회수하는 구성부품의 간소화로 인해 장비의 원가를 대폭 절감할 뿐만 아니라 설치가 용이해지며, 유지보수가 간편해 지는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 각 집수부에 집수된 폐현상액이 직접 해당 회수탱크로 회수되므로 폐현상액의 회수경로 제어 등이 필요치 않아 기기운영효율을 향상시키는 효 과가 있다.
또한 본 발명은, 복수의 집수부에 일대일 대응하는 회수탱크가 구비되고 이러한 회수탱크가 상호 교번하여 폐현상액을 회수하므로 기기의 중단없이 연속하여 폐현상액을 회수할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 기판이송방향을 따라 이송되는 기판에 대하여 습식처리하는 베쓰;
    상기 베쓰 저면에 형성되어 기판의 습식처리에 사용된 약액을 집수하는 집수부; 및
    상기 집수부의 약액을 유입받아 저장하는 회수탱크를 포함하고,
    상기 집수부는 기판이송방향을 따라 복수 설치되고,
    상기 회수탱크는 상기 집수부와 일대일 대응하여 설치된 것을 특징으로 하는 약액 회수장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상호 인접하는 상기 각 집수부를 소통연결하는 통로를 더 포함하는 약액 회수장치.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 집수부는,
    상기 회수탱크로의 약액 유입을 단속하는 개폐기재를 더 포함하는 약액 회수장치.
  5. 제1항의 약액 회수장치를 이용한 약액 회수방법에 있어서,
    (a) 베쓰에서 기판의 습식처리에 사용된 약액을 상기 베쓰의 저면에 형성된 집수부에 집수하는 단계; 및
    (b) 상기 집수부에 집수된 약액을 회수탱크로 유입시켜 저장하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 회수방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 (a)단계는,
    기판의 습식처리에 사용된 약액을 복수의 집수부에서 분산 집수하는 것을 특징으로 하는 약액 회수방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 (b)단계는,
    상기 각 집수부에 집수된 약액을 상기 각 집수부와 일대일 대응하는 복수의 회수탱크에 일정시간씩 교번하여 유입시키는 것을 특징으로 하는 약액 회수방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 (b)단계 후 약액을 유입받는 해당 회수탱크에 저장된 약액을 상기 베쓰로 재공급하는 것을 특징으로 하는 약액 회수방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 (b)단계 후 약액을 유입받지 않는 해당 회수탱크에 저장된 폐약액을 배액시키고 고순도의 약액을 보충하는 것을 특징으로 하는 약액 회수방법.
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