KR20070027368A - 기판 도킹장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 챔버들 사이에 설치되는 도킹 본체의 상부면에 맺히는 액체를 제거하여 기판의 제품불량을 방지할 수 있는 기판 도킹장치를 제공한다. 그 기판 도킹장치는 챔버의 측벽에 근접 배치되고, 배출구와 연통하며 액체가 흘러 내릴수 있도록 형성된 관통구를 구비하는 본체; 본체에 접촉 배치되고, 관통구와 연통하며 액체가 흘러내리거나 수집되도록 형성된 출구를 구비하는 베이스; 베이스의 측부에 상하 이동 가능하게 설치되며, 상기 본체의 관통구에 수집되는 액체를 제거하기 위한 수단을 구비하는 셔터; 및 셔터를 상하로 왕복시키기 위한 액튜에이터로 구성된다.　
기판, 도킹장치, 셔터, 배출구, 출구

Description

기판 도킹장치{Apparatus for docking glass substrate}
도 1은 일반적인 기판 처리시스템의 구조를 개략적으로 보여주며 일부는 점선으로 도시한 사시도.
도 2는 도 1의 선 Ⅱ-Ⅱ에 따른 단면도로서 기판 처리시스템에서의 기판 도킹장치를 보여주는 단면도.
도 3은 도 2의 기판 도킹장치에서의 액 맺힘 현상을 보여주는 부분 확대 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 기판 도킹장치를 보여주는 단면도.
도 5 및 6은 도 4의 기판 도킹장치에서의 액 제거방식을 보여주는 부분 확대 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 본체 12: 배출구
20: 베이스 22: 출구
30: 셔터 32: 브러시
40: 액튜에이터 S: 기판　　　　　　　
본 발명은 기판 도킹장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 처리시스템의 2개의 챔버 사이에 설치되는 도킹 본체의 상부면에 맺히는 기판 처리액체를 제거하여 기판의 제품불량을 방지할 수 있는 기판 처리시스템용 도킹장치에 관한 것이다.　
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작고 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.
이 같은 평판 디스플레이(FPD), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 공정라인을 거치면서 처리된다. 즉, 감광제 도포(Photo resist coating: P/R), 노광(Expose), 현상(Develop), 부식(Etching), 박리(Stripping), 세정(Cleaning), 건조(Dry) 등의 과정을 거치게 된다. 이러한 일련의 기판 처리공정은 통상적으로 기판 처리시스템에서 기판을 이송시키기 위한 이송수단과 연계됨으로써 기판의 공급, 처리, 배출의 과정이 하나의 순환 싸이클을 이루게 되며, 이러한 기판 이송수단과 처리공정은 다양한 액체 등을 이용하여 기판을 처리하는 과정을 거치게 되며 각각의 공정들은 상호 연계되어 있다.
이 같은 기판 처리 시스템은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(1)에 약액을 분사하여 처리하기 위한 약액챔버, 약액처리된 기판을 세정 또는 수세하기 위한 수세챔버, 기판을 건조 및 세정시키기 위한 건조챔버 등과 같은 다양한 공정을 실시하기 위한 복수의 챔버(2)를 구비한다. 이들 각각의 챔버(2)에는 처리된 기판(1)이 다음 챔버로 이송될 수 있도록 형성되는 배출구(3)와, 처리될 기판(1)이 유입될 수 있도록 형성되는 인입구(4)를 구비한다.
한편, 각각의 챔버(2)사이에는 기판(1)을 안정적으로 이송, 안내 및 유지하기 위한 도킹장치가 설치된다. 그 도킹장치는 챔버(2)의 배출구(3)가 형성된 측벽(5)에 접하게 설치되며 배출구(3)와 연통하는 슬릿형 관통구(6a)가 형성된 본체(6)와, 그 본체(6)에 일체로 고정되며 본체(6)의 관통구(6a)와 연통하는 슬릿형 출구(7a)가 형성된 베이스(7)와, 베이스(7)의 출구(7a)를 개폐하기 위해 베이스(7)에 상하로 이동 가능하게 설치되는 셔터(8)와, 그 셔터(8)를 상하로 왕복동시키기 위해 기판 처리시스템 또는 챔버에 설치되는 액튜에이터(9)로 구성되어 있다.
이 같은 기판 도킹장치의 구성에 따라, 기판의 처리 공정 중 하나의 챔버에서 처리된 기판(1)은 챔버(2)의 배출구(3)와, 도킹장치의 관통구(6a) 및 출구(7a)를 통해 배출되어, 이웃하는 챔버(2)의 인입구(4)를 통해 챔버내로 유입되어 처리된다. 이때, 셔터(8)는 기판(1)의 이송여부에 따라 베이스(7)의 출구(7a)를 개폐한다.
그러나 이 같은 종래의 기판의 이송방식 및 도킹장치에서는 다소의 문제점이 초래되는 것으로 나타났다. 즉, 도킹장치의 본체의 광통구의 상부면이 수평하게 형성되어 있어 챔버에서 분사되는 약액 또는 미스트가 맺히거나 응집되어 이송중인 기판에 떨어져, 기판에 얼룩을 형성하게 되므로 기팜의 품질불량을 초래하는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 본체의 배출구에 응집되거나 맺혀지는 액체를 자동적으로 제거하여 기판에 낙하되는 것을 방지할 수 있는 기판 도킹장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 도킹장치는, 기판이 입장하는 인입구와 기판이 배출되는 배출구를 구비하는 복수의 챔버들 사이에 설치되어 기판을 안내 및 지지하기 위한 기판 도킹장치에 있어서, 챔버의 측벽에 근접 배치되고,　 배출구와 연통하며 액체가 흘러 내릴수 있도록 형성된 관통구를 구비하는 본체; 본체에 접촉 배치되고, 관통구와 연통하며 액체가 흘러내리거나 수집되도록 형성된 출구를 구비하는 베이스; 베이스의 측부에 상하 이동 가능하게 설치되며, 본체의 관통구에 수집되는 액체를 제거하기 위한 수단을 구비하는 셔터; 및 셔터를 상하로 왕복 시키기 위한 액튜에이터를 포함한다.　
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 도킹장치를 보여주는 단면도이며, 도 5 및 6은 도 4의 기판 도킹장치에서의 액 제거방식을 보여주는 부분 확대 단면도이다.
도 4 내지 6을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 도킹장치는 기본적으로 기판 처리시스템을 구성하는 챔버들 사이에 설치되며, 하나의 챔버(C)의 배출구(O)가 형성된 측벽(W)에 근접 또는 접촉하거나 일체로 설치될 수 있는 본체(10)를 구비한다. 본체(10)에는 챔버(C)의 배출구(O)와 연통하며 기판(S)이 관통하는 관통구(12)가 형성된다.
특히, 관통구(12)를 형성하는 상부면(12a)은 본체(10) 또는 그 상부면(12a)으로 분사되거나 튀긴 세정액, 약액, 등과 간은 기판 처리액체(R)가 흘러내릴 수 있도록 일정 경사각(a1)으로 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.
본체(10)의 일측에는 베이스(20)가 일체로 설치된다. 그 베이스(20)에는 물론 챔버(C)의 배출구(O) 및 본체(10)의 관통구(12)를 통해 배출되는 기판(S)을 통과시키기 위해 관통구(12)와 연통하는 출구(22)가 형성된다.
특히, 출구(22)는 본체(10)의 관통구(12)와 유사하게 형성되는 것이 바람직한 바, 즉 출구(22)의 상부면(22a)은 본체(10)의 관통구(12)의 경사진 상부면(12a)으로부터 흘러내린 액체를 동일하게 흘러내리게 하거나 수집하기 위해 일정 경사각(a1)으로 경사지게 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 액체의 원활한 흘러내림 또는 유동을 위해 본체(10)의 관통구(12)의 상부면(12a)의 경사각(a1)과 베이스(20)의 출구(22)의 상부면(22a)의 경사각(a2)은 동일하게 설정되는 것이 바람직하다.
한편, 베이스(20)는 볼트(24) 및 와셔(26)에 의해 본체(10)에 고정된다. 여기서, 와셔(26)는 볼트(24) 및 와셔(26)에 존재하는 액체가 하부로 쉽게 흘러내리 거나 수집될 수 있도록 베이스(20)를 향해 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.
베이스(20)에는 출구(22)를 개폐하기 위한 셔터(30)가 상하로 왕복 가능하게 설치된다. 셔터(30)는 물론 후술되는 액튜에이터에 의해 상하로 슬라이드 가능하게 설치되며, 챔버(C)내에서 기판(S)이 처리되는 동안에는 베이스(20)의 출구(22)를 폐쇄하여 챔버의 내부를 차폐하며, 기판의 처리 후 이웃하는 챔버로의 기판(S)의 이송직전에는 출구(22)를 개방하여 기판(S)을 통과시키는 것이다.
특히, 셔터(30)의 상부는 본체(20)의 관통구(12)의 상부면(12a)의 하부 및 베이스(20)의 출구(22)의 상부면(22a)에 맺히거나 집중된 액체를 제거하거나 씻어내기 위한 브러시(32)를 구비한다. 브러시(32)는 셔터와 동일한 재질로 형성될 수 도 있으나, 유연하고 다소의 탄성을 갖는 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
선택적으로, 셔터(30)의 상부면에는 와셔(26)의 하부로 집중되는 액체를 제거하거나 씻어내기 위한 플랜지(34)가 더 설치될 수 있다. 이 플랜지(34) 또한　 셔터와 동일한 재질로 형성될 수 도 있으나, 유연하고 다소의 탄성을 갖는 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 셔터(30)에는 그것의 상하 왕복운동을 위해 액튜에이터(40)가 연결된다. 그 액튜에이터(40)는 공압 또는 유압 등으로 작동되는 실린더형으로 형성된다.　
이하, 전술된 바와 같은 본 발명에 따른 기판 도킹장치의 작동 및 그 작용모드에 대해 상세히 설명한다.
먼저 기판(S)이 기판 처리시스템을 구성하는 하나의 챔버(C)내로 이송된 후, 약액처리, 세정 등을 행하게 되는 바, 이때는 셔터(30)가 베이스(20)의 출구(22)를 폐쇄한 상태이며, 셔터(30)의 브러시(32)는 본체(10)의 관통구(12)의 상부면(12a)및 베이스(20)의 출구(22)의 상부면(22a)과 접촉하는 상태를 이룬다.
이 상태에서, 챔버(C)내에서 기판을 처리하기 위해 분사되는 약액 또는 세정액과 같은 액체가 미스트 상태로 도킹장치의 본체(10)로 분사되거나 튀기게 되며 이 액체는 시간이 지날수록 비교적 크게 맺혀지게 된다.
이와 같이 맺혀진 액체(R)는 본체(10)의 관통구(12)의 상부면(12a)을 타고 흘러내려 그 하부 또는 베이스(20)의 출구(22)의 상부면(22a)에 모여지게 된다.
이후, 챔버(C)의 배출구(O), 본체(10)의 관통구(12) 및 베이스(20)의 출구(22)를 통해 후속하는 챔버의 인입구를 통해 그 챔버의 내부로 이송되는 것이며, 이때 본체(10)의 관통구(12)의 상부면(12a) 및 베이스(20)의 출구(22)의 상부면(22a)에는 액체가 존재하지 않으므로 이들 액체가 기판(S)으로 낙하되는 것이 미연에 방지되며, 결국 기판(S)에 얼룩이 형성되지 않게 되는 것이다.　
또한, 셔터(30)의 상부면에 구비된 플랜지(34)에 의해 와셔(26)의 하부로 집중되는 액체(R)가 제거되거나 씻겨져 제거되어 셔터가 정상적인 표면상태를 유지할 수 있는 것이다.
선택적으로, 더욱 완벽한 액체의 제거를 위해, 기판이 챔버(C)의 배출구(O), 본체(10)의 관통구(12) 및 베이스(20)의 출구(22)를 통해 이송되기 직전 셔터(30)를 한 번 더 왕복시켜 본체(10)의 관통구(12)의 상부면(12a), 베이스(20)의 출구(22)의 상부면(22a) 및 와셔(26)에 존재하는 액체(R)를 더욱 완벽하게 제거할 수 있다.
따라서 이송중인 기판에 액체가 낙하하는 것을 완전 방지할 수 있어 기판에 얼룩이 형성되는 것을 방지할 수 있는 것이다.
결과적으로 본 발명에 따른 기판 도킹장치에 의하면, 기판이 통과하는 본체의 관통구 및 베이스의 출구의 각각의 상부면에 맺히거나 응집되는 액체를 기판의 이송 전에 셔터의 작동에 의해 완전하게 제거됨으로써, 그 액체의 낙하로 인한 기판의 얼룩 형성을 완전 방지할 수 있어 기판의 품질불량을 완전 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 기판이 입장하는 인입구와 기판이 배출되는 배출구를 구비하는 복수의 챔버들 사이에 설치되어 기판을 안내 및 지지하기 위한 기판 도킹장치에 있어서,
    상기 챔버의 측벽에 근접 배치되고, 상기 배출구와 연통하며 액체가 흘러 내릴수 있도록 형성된 관통구를 구비하는 본체;
    상기 본체에 접촉 배치되고, 상기 관통구와 연통하며 액체가 흘러내리거나 수집되도록 형성된 출구를 구비하는 베이스;
    상기 베이스의 측부에 상하 이동 가능하게 설치되며, 상기 본체의 관통구에 수집되는 액체를 제거하기 위한 수단을 구비하는 셔터; 및
    상기 셔터를 상하로 왕복시키기 위한 액튜에이터를 포함하는 기판 도킹장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 본체의 관통구의 상부면은 기판의 이송방향으로 경사지는 것을 특징으로 하는 기판 도킹장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 베이스의 출구의 상부면은 상기 본체의 관통구의 상부면과 동일 각도로 경사지는 것을 특징으로 하는 기판 도킹장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 셔터의 액체 제거수단은, 상기 본체의 관통구의 상부면의 하부 및 상기 베이스의 출구의 상부면에 맺히거나 집중된 액체를 제거할 수 있는 브러시로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 도킹장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 베이스는 상기 본체에 볼트 및 와셔에 의해 고정되며, 상기 와셔는 상기 볼트 및 와셔에 존재하는 액체가 하부로 흘러내릴 수 있도록 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 도킹장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 셔터의 상부면에는 상기 와셔의 하부로 집중되는 액체를 제거하거나 씻어내기 위한 플랜지가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 도킹장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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