KR20190020221A - 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판처리 장치의 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트를 회수하기 위한 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템에 관한 것이다.
본 발명은 기판처리장치의 배기구에 연결되고, 상기 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트를 회수하기 위한 공간을 형성하며, 회수된 미스트를 배출시키기 위한 배출포트가 마련된 회수챔버; 상기 배기구와 상기 회수챔버가 연결된 부위에 설치되어, 상기 배기구를 통해 배출되는 제1 미스트를 회수하기 위한 메쉬부재를 갖는 제1 회수유닛; 및 상기 회수챔버의 내부에 설치되어, 상기 제1 미스트보다 작은 크기를 가지며 상기 제1 회수유닛을 통과한 제2 미스트를 열교환에 의해 회수되도록 하기 위한 제2 회수유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템을 제공한다.
본 발명은 기판처리장치의 배기구에 연결되고, 상기 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트를 회수하기 위한 공간을 형성하며, 회수된 미스트를 배출시키기 위한 배출포트가 마련된 회수챔버; 상기 배기구와 상기 회수챔버가 연결된 부위에 설치되어, 상기 배기구를 통해 배출되는 제1 미스트를 회수하기 위한 메쉬부재를 갖는 제1 회수유닛; 및 상기 회수챔버의 내부에 설치되어, 상기 제1 미스트보다 작은 크기를 가지며 상기 제1 회수유닛을 통과한 제2 미스트를 열교환에 의해 회수되도록 하기 위한 제2 회수유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템을 제공한다.
Description
본 발명은 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판처리 장치의 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트를 효율적으로 회수하기 위한 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조공정에서는 피처리기판(실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판)상의 특정 기능을 수행하는 박막, 예를 들면, 산화 박막, 금속 박막, 반도체 박막 등이 원하는 형상으로 패터닝(patterning)되도록 광원과 반응하는 감광액(sensitive material)을 상기 박막상에 도포하는 공정이 수행된다.
이처럼 피처리기판의 박막에 소정의 회로패턴이 구현되도록 감광액을 도포하여 감광막 코팅하고, 회로패턴에 대응하여 상기 감광막을 노광하며, 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 현상처리 하여 제거하는 일련의 과정을 사진공정 또는 포토리소그래피(Photolithography)공정이라 한다.
일례로, 상기한 사진공정에서는 감광막에 노광 완료된 기판을 컨베이어 등으로 일방향 수평이송하며 현상하는 과정이 진행된다.
구체적으로, 기판 현상 처리시에는 일방향으로 수평 이송되는 기판의 표면에 현상을 위한 약액을 분사하여 기판의 노광된 부위 또는 노광되지 않은 부위를 약액에 의해 제거하고, 기판 현상에 사용된 약액을 회수 처리하는 과정이 진행된다.
종래에는 약액을 회수하기 위한 약액 회수장치는 현상을 위한 챔버 하부에 약액을 회수하기 위한 회수탱크가 설치된다. 이때, 기판에 분사된 약액은 챔버 하부로 유동되어 회수탱크에 포집되어 회수된다.
그러나, 종래에는 현상 과정에서 유체 형태의 약액은 회수탱크를 통해 회수시킬 수 있지만, 증발되어 미스트 상태로 머물고 있는 약액은 회수되지 못하고 배기를 통해 외부로 배출됨으로 인하여 기판처리에 소요되는 비용이 높아지는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판처리장치의 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트를 제1 회수유닛과, 제2 회수유닛을 이용하여 회수되도록 함에 따라 효율적으로 미스트를 회수할 수 있는 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템을 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 미스트 회수장치는 기판처리장치의 배기구에 연결되고, 상기 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트를 회수하기 위한 공간을 형성하며, 회수된 미스트를 배출시키기 위한 배출포트가 마련된 회수챔버; 상기 배기구와 상기 회수챔버가 연결된 부위에 설치되어, 상기 배기구를 통해 배출되는 제1 미스트를 회수하기 위한 메쉬부재를 갖는 제1 회수유닛; 및 상기 회수챔버의 내부에 설치되어, 상기 제1 미스트보다 작은 크기를 가지며 상기 제1 회수유닛을 통과한 제2 미스트를 열교환에 의해 회수되도록 하기 위한 제2 회수유닛을 포함한다.
이때, 상기 제1 회수유닛은, 중앙이 상기 배기구와 연통되도록 제1 연통공이 형성되고, 상기 메쉬부재가 제1 연통공에 밀착되도록 설치되며, 상기 제1 연통공 주변에 결합홈이 마련된 플랜지; 및 상기 플랜지의 제1 연통공과 연통되도록 제2 연통공이 형성되고, 상기 결합홈에 결합되어 상기 메쉬부재를 고정시키기 위한 고정플레이트;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 회수유닛은, 상기 고정플레이트의 상기 제2 연통공의 내측면을 가로지르도록 배치되어, 상기 메쉬부재를 지지하는 지지부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 제2 회수유닛은, 하부가 오픈된 상태로 형성되고, 내부에 상기 제2 미스트가 유입되어 열교환되도록 하기 위한 열교환 공간을 형성하는 본체하우징; 상기 본체하우징의 내부에 배치되어, 상기 배기구를 통해 상기 회수챔버로 이동된 배기를 외부로 배기시키기 위한 배기관; 상기 본체하우징의 내측면과 상기 배기관의 외측면 사이에서 상기 배기관의 둘레를 따라 설치되되, 상기 배기관의 상하방향으로 적층되는 제1 냉각관층과, 제2 냉각관층을 포함하며, 상기 열교환 공간으로 유입된 상기 제2 미스트와 열교환되도록 냉각유체가 흐르는 냉각관; 및 상기 배기관의 외측 둘레에 끼워지며, 상기 제1 냉각관층과 상기 제2 냉각관층 사이에 배치되는 제1 상하방향 간격유지부재;를 포함한다.
이때, 상기 제1 상하방향 간격유지부재는, 외측 프레임; 상기 외측 프레임 보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 상기 외측 프레임의 내부에 배치되고, 중앙에는 상기 배기관이 관통되도록 관통홀이 마련된 내측 프레임; 일단은 외측 프레임에 연결되고 타단은 내측프레임에 연결되어, 상기 외측 프레임과 상기 내측 프레임을 연결시키기 위한 복수개의 연결 프레임; 및 상기 각 연결 프레임의 사이에 형성되어, 상기 제2 미스트가 통과되는 통과홀;을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 회수유닛은, 상기 배기관의 상하방향으로 상기 제1 상하방향 간격유지부재와 일정간격 떨어져 배치되는 제2 상하방향 간격유지부재를 더 포함하고, 상기 제1 상하방향 간격유지부재는, 이웃하는 상기 연결 프레임 사이에 형성되어, 상기 제1 상하방향 간격유지부재에서 상기 제1 냉각관층을 형성한 상기 냉각관이 상기 제2 상하방향 간격유지부재에 상기 제2 냉각관층을 형성하기 위해 이동될 수 있도록 하기 위한 이동홈부를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 제1 냉각관층은, 상기 배기관의 반경방향으로 적층되는 복수개의 단위 냉각관들을 포함하고, 상기 제2 회수유닛은, 상기 제1 상하방향 간격유지부재 상에 설치되어, 상기 복수 단위 냉각관들이 일정간격을 갖도록 하기 위한 제1 반경방향 간격유지부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 반경방향 간격유지부재는, 상기 제1 상하방향 간격유지부재의 상면에 설치되는 고정 몸체부; 및 상기 고정 몸체부의 상면에 오목하게 형성되어 상기 단위 냉각관이 안착되는 적어도 하나의 안착홈부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1 상하방향 간격유지부재는, 상기 각 연결 프레임의 상면에 오목하게 형성되어 상기 고정 몸체부를 고정시키기 위한 고정홈부를 더 포함하고, 상기 내측 프레임의 외측면으로부터 상기 각 고정홈부의 일측 단부까지의 이격된 간격이 각각 다르게 형성될 수 있다.
한편, 상기 제2 회수유닛은, 상기 제1 간격유지부재가 설치된 상기 본체하우징의 하면에 결합되어 상기 제1 간격유지부재가 상기 본체하우징의 하부로 이탈되는 것을 방지하기 위한 하단 플레이트;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 제2 회수유닛의 다른 형태는, 상기 회수챔버의 중앙에 배치되는 고정부재; 상기 고정부재의 외측면에 코일 형태로 감기도록 설치되되, 상기 고정부재의 중심으로부터 외측방향으로 향해 적층되는 제1층 냉각관 및 제2층 냉각관을 가지며 상기 제2 미스트와 열교환되도록 냉각유체가 흐르는 냉각관; 및 상기 제1층 냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이에 배치되어 상기 제1층 냉각관과 제2층 냉각관 사이의 간격을 유지시키는 제2 반경방향 간격유지부재;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 냉각관은, 외측면에 주름이 형성된 주름관이 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판이 처리되는 기판처리장치; 상기 기판처리장치의 배기구와 연결되어 상기 기판처리장치의 배기구를 통해 배출되는 배기에 포함된 미스트를 제거하기 위한 상기 제1항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 기재된 미스트 회수장치; 및 상기 미스트 회수장치와 연결되어, 상기 미스트 회수장치에서 상기 미스트와 열교환되어 고온 상태로 변경된 고온의 냉각유체를 저온의 냉각유체와 열교환시켜 열을 회수하기 위한 열회수장치;를 포함한다.
이때, 상기 기판처리시스템은 일측은 기판처리장치의 약액탱크와 연결되고 타측은 상기 열회수장치와 연결되어, 상기 열회수장치에서 상기 제1 냉각유체와 열교환되어 고온 상태로 변경된 제2 냉각유체를 저온의 제3 냉각유체와 열교환시켜 열을 회수하기 위한 추가 열회수장치;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 미스트 회수장치는, 기판처리장치의 배기구를 통해 배출되는 배기에 포함된 미스트를 제1 회수유닛과 제2 회수유닛에 의해 이차적으로 미세한 미스트까지 회수함에 따라 미스트 회수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 제1 상하방향 간격유지부재가 구비된 것에 의해 냉각관이 감기면서 형성되는 제1 냉각관층과 제2 냉각관층 사이의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있어 상기 열교환 공간에서의 압력손실을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 냉각관이 열교환 공간 내부에서 감기면서, 제1 상하방향 간격유지부재 상에 제1 냉각관층을 형성하고, 제1 냉각관층은 반경방향으로 적층되는 단위 냉각관들을 형성함에 따라, 냉각관과 제2 미스트 간의 열교환 면적이 증가하여 미스트 회수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 제1 반경방향 간격유지부재가 구비된 것에 의해, 각 냉각관층의 단위 냉각관들의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 제1 상하 간격유지부재 상에 설치되는 제1 냉각관층이 배기관을 중심으로 동심원을 이루지 않게 배치된 것에 의해, 냉각관과 제2 미스튼 간의 열교환 면적이 증가하여 미스트 회수율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 냉각관의 제1층 냉각관 및 제2층 냉각관 사이에 제2 반경방향 간격유지부재가 설치된 것에 의해 냉각관과 미스트 간의 열교환 면적이 증가하여 미스트 회수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 냉각관을 외측면이 주름지게 형성된 주름관이 사용된 것에 의해 냉각관과 미스트 간의 열교환 면적이 증가하여 미스트 회수율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 열회수장치는 미스트 회수장치에서 배출되는 고온의 냉각유체를 열교환시켜 저온의 냉각유체로 변경되도록 함에 따라 저온으로 변경된 냉각유체를 다시 미스트 회수장치의 냉각유체로 재사용할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 추가 열회수장치는 상기 기판처리장치의 약액탱크에 수용된 약액을 가열시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 회수유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 회수유닛의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 제2 회수유닛의 제1 상하방향 간격유지부재 및 제1 반경방향 간격유지부재가 결합되는 상태를 나타낸 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 반경방향 간격유지부재에 냉매관이 설치되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 본체하우징에 하단 플레이트가 결합된 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구성도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각관에 제2 반경방향 간격유지부재가 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리시스템의 구성도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리시스템의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 회수유닛의 구조를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 회수유닛의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 제2 회수유닛의 제1 상하방향 간격유지부재 및 제1 반경방향 간격유지부재가 결합되는 상태를 나타낸 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 반경방향 간격유지부재에 냉매관이 설치되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 본체하우징에 하단 플레이트가 결합된 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구성도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각관에 제2 반경방향 간격유지부재가 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리시스템의 구성도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리시스템의 구성도이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 미스트 회수장치는 회수챔버(100)와, 제1 회수유닛(200) 및 제2 회수유닛(300)을 포함한다.
상기 회수챔버(100)는 기판처리장치(도 10의 1000)의 배기구(1200)에 연결되어, 상기 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트가 유입되고, 후술하는 제1 회수유닛(200) 및 제2 회수유닛(300)에서 회수된 미스트를 포집한다.
이때, 상기 회수챔버(100)의 내부에는 상기 미스트를 회수하기 위한 공간이 형성되며, 상기 회수챔버(100)의 하부에는 상기 회수된 미스트를 배출시키기 위한 배출포트(110)가 마련될 수 있다.
또한, 상기 회수챔버(100)의 상부에는 상기 기판처리장치(도 10의 1000)의 배기구(1200)와 상기 회수챔버(100)의 내부와 연통되도록 연결되고, 후술하는 제1 회수유닛(200)이 설치되는 설치공(101)이 형성될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 회수유닛(200)의 구조를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 회수유닛(200)의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 제1 회수유닛(200)은 상기 배기구(1200)와 상기 회수챔버(100)가 연결된 부위 즉, 상기 설치공(101)에 설치된다.
이때, 상기 제1 회수유닛(200)은 메쉬부재(210)와, 플랜지(230) 및 고정플레이트(250)를 포함할 수 있다.
상기 메쉬부재(210)는 그물망 구조로 형성되어, 상기 배기구(1200)를 통해 배출되는 배기에 함유된 제1 미스트를 회수할 수 있다. 이때, 상기 제1 미스트는 후술하는 제2 미스트보다 크기가 큰 미스트를 의미한다.
상기 플랜지(230)는 중앙이 상기 배기구(1200)와 연통되도록 제1 연통공(231)이 형성되고, 상기 메쉬부재(210)가 상기 제1 연통공(231)에 밀착되도록 설치되며, 상기 제1 연통공(231) 주변에 후술하는 고정플레이트(250)가 결합될 수 있도록 하기 위한 결합홈(233)이 형성된다.
상기 고정플레이트(250)는 상기 플랜지(230)의 제1 연통공(231)과 연통되도록 제2 연통공(251)이 형성되고, 상기 플랜지(230)의 결합홈(233)에 결합되어 상기 메쉬부재(210)를 고정시킨다.
한편, 상기 제1 회수유닛(200)은 상기 고정플레이트(250)의 상기 제2 연통공(251)의 내측면을 가로지르도록 배치되어, 상기 메쉬부재(210)를 지지하는 지지부재(270)를 더 포함할 수 있다. 즉, 상기 지지부재(270)는 상기 배기구(1200)를 통해 배기되는 배기압력에 의해 상기 메쉬부재(210)가 처지게 되는 현상을 방지하게 된다.
즉, 상기 배기구(1200)를 통과한 배기에 함유된 미스트는 상기 제1 회수유닛(200)의 메쉬부재(210)와 부딪히면서 액체로 변하여 중력에 의하여 상기 회수챔버(100)의 하부로 흘러내리게 되고, 상기 회수챔버(100)의 하부에 포집된 액체는 배출포트(110)를 통하여 외부로 배출된다.
상기 제2 회수유닛(300)은 상기 회수챔버(100)의 내부에 설치되어, 상기 제1 미스트보다 작은 크기를 가지며 상기 제1 회수유닛(200)을 통과한 제2 미스트를 열교환에 의해 회수시킨다.
상기 제2 회수유닛(300)은 본체하우징(310)과, 배기관(320)과, 냉각관(330) 및 제1 상하방향 간격유지부재(340)를 포함할 수 있다.
상기 본체하우징(310)은 원통 형상으로 형성되되, 하부가 오픈된 상태로 형성되고, 내부에 상기 제2 미스트가 유입되어 열교환되도록 하기 위한 열교환 공간(311)이 마련될 수 있다.
상기 배기관(320)은 상기 본체하우징(310)의 내부에 배치되어, 상기 배기구를 통해 상기 회수챔버(100)로 이동된 배기를 외부로 배기시킨다.
이때, 상기 배기관(320)은 상기 본체하우징(310)과 동일하게 원통 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 본체하우징(310)의 직경보다 작은 직경을 가지도록 형성되어 상기 본체하우징(310)의 내부에 배치될 수 있다.
상기 본체하우징(310)의 내부에 상기 배기관(320)을 설치하게 되면, 상기 본체하우징(310)의 내측면과 상기 배기관(320)의 외측면 사이에 상기 제2 미스트가 열교환되는 공간인 열교환 공간(311)이 형성되는 것이다.
상기 냉각관(330)은 상기 본체하우징(310)의 내측면과 상기 배기관(320)의 외측면 사이에서 상기 배기관(320)의 둘레를 따라 설치될 수 있다.
상기 냉각관(330)은 상기 배기관(320)의 상하방향으로 적층되는 제1 냉각관층(331)과, 제2 냉각관층(332)을 포함하며, 상기 열교환 공간(311)으로 유입된 상기 제2 미스트와 열교환되도록 냉각유체가 흐를 수 있다.
이때, 상기 냉각관(330)은 상기 배기관(320)의 둘레를 따라 상하방향으로 배치되면서 상기 제1 냉각관층(331)과 상기 제2 냉각관층(332)을 형성시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 제2 회수유닛(300)의 제1 상하방향 간격유지부재(340) 및 제1 반경방향 간격유지부재(360)가 결합되는 상태를 나타낸 분해사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 반경방향 간격유지부재(360)에 냉각관(330)이 설치되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)는 상기 배기관(320)의 외측 둘레에 끼워지며, 상기 제1 냉각관층(331)과 상기 제2 냉각관층(332) 사이에 배치될 수 있다.
즉, 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)는 상기 배기관(320)에 관통 설치되어 상기 냉각관(330)이 상기 열교환 공간(311) 내에서 상기 배기관(320)의 둘레를 따라 감기면서 형성되는 제1 냉각관층(331)과 상기 제2 냉각관층(332) 사이의 간격을 일정하게 유지시킨다.
본 발명의 일 실시예에서는 상기 열교환 공간(311)에 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)가 5개가 설치된 것을 제시하였으나, 상기 미스트 회수장치(2000)의 크기 및 특성에 맞게 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)의 개수를 정하여 사용할 수 있다.
상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)는 외측 프레임(341)과, 내측 프레임(342)과, 복수개의 연결 프레임(343) 및 통과홀(344)을 포함할 수 있다.
상기 외측 프레임(341)은 원형틀 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 내측 프레임(342) 또한 외측 프레임(341)과 동일하게 원형틀 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 내측 프레임(342)은 상기 외측 프레임(341) 보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 상기 외측 프레임(341)의 내부에 배치되고, 중앙에는 상기 배기관(320)에 관통 설치될 수 있도록 관통홀(342a)이 마련될 수 있다.
상기 연결 프레임(343)은 일단이 외측 프레임(341)에 연결되고 타단이 내측프레임에 연결되어, 상기 외측 프레임(341)과 상기 내측 프레임(342)을 연결시킨다. 이때, 상기 연결 프레임(343) 상에서 상기 냉각관(330)이 감기면서 상기 제1 냉각관층(331)을 형성하게 된다.
상기 통과홀(344)은 상기 각 연결 프레임(343)의 사이에 형성되어, 상기 제2 미스트가 통과될 수 있다. 즉, 상기 제1 회수유닛(200)을 통과한 상기 제2 미스트가 상기 통과홀(344)을 통과하면서 상기 제1 냉각관층(331)과 열교환이 이루어지게 된다.
따라서, 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)는 상기 냉각관(330)이 상기 열교환 공간(311) 내에서 상기 배기관(320)의 둘레를 따라 감기면서 형성되는 상기 제1 냉각관층(331) 및 상기 제2 냉각관층(332) 사이의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있어 상기 열교환 공간(311) 내에서의 압력손실을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제2 회수유닛(300)은 상기 배기관(320)의 상하방향으로 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)와 일정간격 떨어져 배치되는 제2 상하방향 간격유지부재(350)를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 상하방향 간격유지부재(350) 상에 상술한 제2 냉각관층(332)을 형성시킬 수 있다.
상기 제2 상하방향 간격유지부재(350)는 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)의 구성과 작용이 동일하여 상세한 설명은 상략한다.
한편, 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)는 이웃하는 상기 연결 프레임(343) 사이에 형성되어, 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)에서 상기 제1 냉각관층(331)을 형성한 상기 냉각관(330)이 상기 제2 상하방향 간격유지부재(350)에 상기 제2 냉각관층(332)을 형성하기 위해 이동될 수 있도록 하기 위한 이동홈부(345)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 냉각관(330)이 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)에 감기면서 상기 냉각관(330)상기 제1 냉각관층(331)을 형성하게 되면, 상기 제2 상하방향 간격유지부재(350)로 이동하여 상기 제2 냉각관층(332)을 형성하게 된다.
이때, 상기 제1 냉각관층(331)을 형성한 상기 냉각관(330)이 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)에 형성된 이동홈부(345)를 통과하면서 이동되어 상기 제2 상하방향 간격유지부재(350)에 상기 제2 냉각관층(332)을 형성시킬 수 있게 된다.
한편, 상기 제1 냉각관층(331)은 상기 배기관(320)의 반경방향으로 적층되는 복수개의 단위 냉각관(331a)들을 포함할 수 있다.
상기 제2 회수유닛(300)은 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340) 상에 설치되어, 상기 복수 단위 냉각관(331a)들이 일정 간격을 갖도록 하기 위한 제1 반경방향 간격유지부재(360)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1 반경방향 간격유지부재(360)는 고정 몸체부(361) 및 안착홈부(362)를 포함할 수 있다.
상기 고정 몸체부(361)는 상기 제1 반경방향 간격유지부재(360)를 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)의 상면에 설치될 수 있다.
더욱 구체적으로, 상기 고정 몸체부(361)를 이용하여 상기 제1 반경방향 간격유지부재(360)를 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)의 연결 프레임(343)에 고정시킬 수 있다. 이때, 상기 연결 프레임(343)에는 상기 고정 몸체부(361)를 결합되는 고정홈부(346)가 형성되는 것이 바람직하다.
물론, 상기 연결 프레임(343) 상에 본드와 같은 접착제 등으로 상기 고정 몸체부(361)를 고정시킬 수도 있지만, 상기 제1 반경방향 간격유지부재(360)를 정 위치에 고정시키기 위해서는 복수개의 고정홈부(346)를 형성하여 고정시키는 것이 바람직하다.
이때, 상기 고정홈부(346)는 상기 연결 프레임(343)의 상면에 상기 배기관(320)의 반경방향으로 길게 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 일 실시예에서는 상기 내측 프레임(342)의 외측면으로부터 상기 각각의 고정홈부(346)의 일측 단부까지의 이격된 간격(d)이 각각 다르게 형성된 것이 제시된다.
이는 상기 각 연결 프레임(343)에 설치되는 제1 반경방향 간격유지부재(360)의 설치위치를 다르게 하여 상기 제1 반경방향 간격유지부재(360)에 설치되는 제1 냉각관층(331)이 동심원을 이루지 않도록 하기 위함이다.
즉, 상기 제1 냉각관층(331)이 상기 배기관을 중심으로 동심원을 이루지 않게 배치됨에 따라 상기 미스트가 상기 제1 냉각관층(331)에 접촉되어 열교환되는 열교환 면적이 증대되어 미스트 회수 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
상기 안착홈부(362)는 상기 고정 몸체부(361)의 상면에 오목하게 형성되어 상기 단위 냉각관(331a)이 안착될 수 있다.
이때, 상기 안착홈부(362)는 대략 “”자 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 제1 냉각관층(331)이 3개의 단일 냉각관(331a)을 가지도록 형성하기 위해 안착홈부(362)가 3개 형성된 것을 제시하였으나, 상기 제1 냉각관층(331)이 가지는 단일 냉각관(331a)의 개수에 맞게 형성하여 사용될 수 있다.
즉, 제1 반경방향 간격유지부재(360)는 상기 단일 냉각관들 사이의 간격이 유지될 수 있도록 함에 따라, 상기 제2 미트스와 접촉되어 열교환되는 열교환 면적이 증가하여 미스트 회수 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 제1 반경방향 간경유지부재(360)의 안착홈부(362)에 상기 단일 냉각관들(331a)이 안착된 상태이기 때문에, 상기 제1 냉각관층(331)에서 상기 단일 냉각관들(331a)의 탄성에 의해 유동되는 것을 방지할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 본체하우징에 하단 플레이트가 결합된 상태를 나타낸 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제2 회수유닛(300)은 하단 플레이트(370)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 하단 플레이트(370)는 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)가 설치된 상기 본체하우징(310)의 하면에 결합되어 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)가 상기 본체하우징(310)의 하부로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 상기 하단 플레이트(370)는 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)와 유사하되, 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)에 형성된 이동홈부(345)가 없는 구조로 형성될 수 있다.
상기 하단 플레이트(370)에는 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340)에 형성된 통과홀(371)과 대응되는 위치에 제2 미스트가 유입되도록 상기 통과홀(371)이 형성되는 것이 바람직하다.
지금부터는 본 발명의 다른 실시예에 따른 미스트 회수장치의 대하여 설명한다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미스트 회수장치의 구성도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각관에 제2 반경방향 간격유지부재가 설치된 상태를 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 미스트 회수장치는 본 발명의 일 실시예에서 상술한 상기 회수챔버(100) 및 상기 제1 회수유닛(200)에 대한 구성 및 동작은 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 회수유닛(300)은 고정부재(410)와, 냉각관(420) 및 제2 반경방향 간격유지부재(430)를 포함한다.
상기 고정부재(410)는 상기 길이를 가진 봉 형상으로 형성되어 회수챔버(100)의 중앙에 배치될 수 있다.
이때, 상기 냉각관(420)은 상기 고정부재(410)의 외측면에 코일 형태로 감기도록 설치되되, 상기 고정부재(410)의 중심으로부터 외측방향으로 향해 적층되는 제1층 냉각관(421) 및 제2층 냉각관(422)을 가지며, 상기 제2 미스트와 열교환되도록 냉각유체가 흐를 수 있다.
즉, 상기 냉각관(420)은 상기 고정부재(410)에 외측면 둘레를 따라 상하방향 및 반경방향으로 감기게 되는데, 상기 냉각관(420)이 상기 고정부재(410)의 반경방향으로 적층되도록 감기면서 상기 제1층 냉각관(421) 및 상기 제2층 냉각관(422)을 형성되는 것이다.
상기 제2 반경방향 간격유지부재(430)는 상기 제1층 냉각관(421)과 상기 제2층 냉각관(422) 사이에 배치되어, 상기 제1층 냉각관(421)과 상기 제2층 냉각관(422) 사이의 간격을 유지시킨다.
즉, 상기 제1층 냉각관(421)과 제2층 냉각관(422) 사이에 상기 제2 반경방향 간격유지부재(430)를 설치함에 따라, 상기 제1층 냉각관(421)과 상기 제2층 냉각관(422) 사이에는 공간이 형성된다.
상기 제1층 냉각관(421)과 상기 제2층 냉각관(422) 사이에 형성된 공간으로 상기 제2 미스트가 흐르게 됨에 따라 상기 제2 미스트와 상기 냉각관(420) 간의 열교환 면적이 증대되어 미스트의 회수 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각관(420)은 외측면에 주름이 형성된 주름관이 사용된 것이 제시된다.
즉, 상기 냉각관(420)으로 외측면이 주름이 형성된 주름관을 사용한 것에 의해 제2 미스트와 상기 냉각관(420) 간의 열교환 면적이 증대되어 미스트의 회수 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 상기 고정부재(410)에 설치된 상기 냉각관(420)의 전단 및 후단에는 상기 고정부재(410)에 감긴 상태에서 상기 회수챔버(100)에 설치될 경우, 상기 고정부재(410)로부터 상기 냉각관(420)이 풀리는 것을 막아주기 위한 전단 플레이트(441) 및 후단 플레이트(442)가 더 설치될 수 있다.
상기 전단 플레이트(441) 및 후단 플레이트(442)는 앞서 상술한 하단 플레이트(370)와 유사한 구조로 형성될 수 있으며, 중앙부분에 관통홀(441a)이 형성되어 있어 상기 고정부재(410)에 관통된 상태로 상기 회수챔버(100)의 내부에 설치될 수 있다.
지금부터는 앞서 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 미스트 회수장치의 작동과정에 대해서 설명한다.
상기 기판처리장치(도 10의 1000)의 배기구(1200)를 통해 배출되는 상기 배기에 함유된 제1 미스트는 상기 회수챔버(100)의 상단에 설치된 상기 제1 회수유닛(200)에 의해 회수된다.
이때, 상기 제1 미스트는 상기 제1 회수유닛(200)의 메쉬부재(210)와 부딪히면서 액체 상태로 변화되어 중력에 의해 상기 회수챔버(100) 하부로 유동하게 되어 포집된다.
다음, 상기 제1 미스트가 회수되고 상기 제2 미스트를 함유하고 있는 배기는 계속해서 상기 회수챔버(100)의 하부로 이동된 다음, 상기 제2 회수유닛(300)의 본체하우징(310)에 형성된 열교환 공간(311)으로 이동된다.
상기 열교환 공간(311)으로 이동된 상기 배기에 함유된 제2 미스트는 상기 본체 하우징에 설치된 상기 냉각관(330)에 의해 열교환이 이루어진다. 이때, 상기 제1 상하방향 간격유지부재(340) 상에 설치된 상기 제1 냉각관층(331)의 단일 냉각관들(331a)과 각각 열교환이 이루어진다.
계속해서, 제2 미스트는 상부방향으로 이동되면서 상기 제2 상하방향 간격유지부재(250) 상에 설치된 상기 제2 냉각관층(332)의 단일 냉각관(330)들과 각각 열교환이 이루어진다.
이때, 상기 단위 냉각관(331a)들과 열교환된 제2 미스트들은 액체 상태로 변환되어 중력에 의해 상기 회수챔버(100)의 바닥으로 떨어져 포집된다.
다음, 상기 제2 미스트까지 회수된 배기는 상기 본체하우징(310)의 상부로 이동된 다음 상기 배기관(320)을 통해 외부로 배기된다.
한편, 상기 회수챔버(100)의 바닥에 포집된 액체 상태의 미스트는 상기 배출포트(110)를 통해 외부로 배출된다.
지금부터는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리시스템에 대하여 설명한다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리시스템의 구성도이다.
도 10을 참조하면, 상기 기판처리시스템은 기판처리장치(1000)와, 미스트 회수장치(2000) 및 열회수장치(3000)를 포함한다.
상기 기판처리장치(1000)는 상기 기판(미도시)이 유입되어 상기 기판을 처리하기 위한 처리 공간이 마련된 약액챔버(1100) 내에서 기판의 표면에 약액을 도포하여 기판을 처리하는 공정을 수행한다.
상기 미스트 회수장치(2000)는 상기 상술한 바와 같이, 상기 기판처리장치(1000)의 배기구(도 1의 1200)를 통해 배출되는 배기에 포함된 미스트를 상기 제1 회수유닛(200)과 상기 제2 회수유닛(300)에 의해 이차적으로 미세한 미스트까지 회수시킨다.
상기 열회수장치(3000)는 상기 미스트 회수장치(2000)에서 상기 미스트와 열교환되어 고온 상태로 변경된 고온의 제1 냉각유체를 저온의 제2 냉각유체와 열교환시켜 발생되는 열을 회수한다.
상기 열회수장치(3000)는 상기 미스트 회수장치(2000)의 냉각관(330)과 연결되어 상기 미스트와 열교환된 냉각유체를 수용할 수 있는 공간이 마련된 열회수챔버(3100)와, 상기 열회수챔버(3100)의 내부에 설치되어 상기 고온의 냉각유체와 열교환시키기 위해 저온의 냉각유체가 흐르는 열회수 냉각관(3200)을 포함할 수 있다.
즉, 상기 열회수장치(3000)는 상기 미스트 회수장치에서 배기에 함유된 미스트와 열교환 되면서 고온으로 변경된 고온의 제1 냉각유체를 상기 열회수챔버(3100)로 유입되도록 한 다음, 상기 열회수챔버(3100)에 설치된 열회수 냉각관(3200)으로 흐르는 저온의 제2 냉각유체 간의 열교환이 이루어지게 된다.
이에 따라, 상기 열회수챔버(3100)에 수용되는 고온의 제1 냉각유체는 저온의 제2 냉각유체로 변경되어 상기 열회수챔버(3100)의 외부로 배출된다. 이때, 상기 외부로 배출되는 저온의 냉각유체는 상기 미스트 회수장치(2000)의 냉각관으로 다시 공급되어 재사용될 수 있다.
상기 열회수장치는 히트펌프시스템(HPS : Heat Pump System)으로 사용될 수 있다.
또한, 상기 고온의 제1 냉각유체와 저온의 제2 냉각유체가 열교환 되면서 발생되는 열은 외부의 다른 장치의 열원으로 사용될 수 있다.
한편, 각 냉각관으로 공급되는 상기 냉각유체로는 냉각수 또는 냉매가 사용될 수 있다.
지금부터는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리시스템에 대하여 설명한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리시스템의 구성도이다.
도 11을 참조하면, 상기 기판처리시스템은 기판처리장치(1000)와, 미스트 회수장치(2000)와 열회수장치(3000) 및 추가 열회수장치(4000)를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리시스템의 구성 중 기판처리장치(1000)와, 미스트 회수장치(2000)와 열회수장치(3000)는 상술한 기판처리시스템의 구성 및 작용이 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
다만, 상기 미스트 회수장치(2000)의 냉각관(330)과 상기 열회수장치(3000)의 열회수 냉각관(3200)과 후술하는 추가 열회수장치(4000)의 추가 열회수 냉각관(4100)은 순환 구조를 가지도록 형성된 것이 제시된다. 이때, 순환 구조를 가진 각 냉각관에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
상기 추가 열회수장치(4000)는 일측단부가 열회수 냉각관(3200)의 타측단부와 열교환되고 타측단부가 기판처리장치(1000)의 액액탱크(1300)의 약액과 열교환되도록 하기 위해 제3 냉각유체가 흐르는 추가 열회수 냉각관(4100)과, 상기 열회수 냉각관(3200)의 타측단부가 설치되고 추가 열회수 냉각관(4100)의 일측단부가 설치되는 추가 열회수챔버(4200)를 포함할 수 있다.
상술한 각 순환 구조를 가진 각 냉각관에 대한 설명하면 다음과 같다.
즉, 상기 미스트 회수장치(2000)의 냉각관(330)의 일측단부는 상기 미스트 회수장치(2000)의 회수챔버(100)에 설치되고, 타측단부는 상기 열회수장치(3000)의 열회수챔버(3100)에 설치되어 상기 냉각관(330)의 내부에서 제1 냉각유체가 순환되면서 흐를 수 있다.
또한, 상기 열회수장치(3000)의 열회수 냉각관(3200)의 일측단부는 상기 열회수장치(3000)의 열회수챔버(3100)에 설치되고, 타측단부는 상기 추가 열회수장치(4000)의 추가 열회수챔버(4200)에 설치되어 상기 열회수 냉각관(3200)의 내부에서 상기 제2 냉각유체가 순환되면서 흐를 수 있다.
또한, 상기 추가 열회수장치(4000)의 추가 열회수 냉각관(4100)의 일측단부는 상기 추가 열회수장치(4000)의 추가 열회수챔버(4200)에 설치되고, 타측단부는 상기 약액챔버(1300)에 설치되어 상기 추가 열회수 냉각관(4100)의 내부에서 제3 냉각유체가 순환되면서 흐를 수 있다.
지금부터는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리시스템의 작동과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 미스트 회수장치(2000)의 회수챔버(100)에 설치된 상기 냉각관(330)의 일측단부로 저온의 제1 냉각유체가 유동되면, 상기 저온의 제1 냉각유체와 상기 회수챔버(100)의 고온의 미스트가 연교환되어 상기 저온의 제1 냉각유체는 고온의 제1 냉각유체로 변환된 상태로 상기 열회수챔버(3100)에 설치된 상기 냉각관(330)의 타측단부로 흐르게 된다.
다음, 상기 열회수장치(3000)의 열회수챔버(3100)에 설치된 상기 열회수 냉각관(3200)의 일측단부로 저온의 제2 냉각유체가 유동되면, 상기 저온의 제2 냉각유체와 상기 냉각관(330)의 타측단부로 흐르는 고온의 제1 냉각유체가 열교환되어 상기 저온의 제2 냉각유체는 고온의 제2 냉각유체로 변환된 상태로 추가 열회수챔버(4200)에 설치된 상기 열회수 냉각관(3200)의 타측단부로 흐르게 된다.
다음, 상기 추가 열회수장치(4000)의 추가 열회수챔버(4200)에 설치된 상기 추가 열회수 냉각관(4100)의 일측단부로 저온의 제3 냉각유체가 유동되면, 상기 저온의 제3 냉각유체와 상기 열회수 냉각관(3200)의 타측단부로 흐르는 고온의 제2 냉각유체가 열교환되어 상기 저온의 제3 냉각유체는 고온의 제3 냉각유체로 변환된 상태로 상기 약액탱크(1300)에 설치된 추가 열회수 냉각관(4100)의 타측단부로 흐르게 된다.
다음, 추가 열회수 냉각관(4100)의 타측단부로 흐르는 고온의 제3 냉각유체는 상기 약액탱크(1300)의 약액과 열교환되면서 상기 약액탱크(1300)의 약액을 가열시킬 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리시스템은 상기한 바와 같은 과정이 반복되면서, 상기 미스트 회수장치(2000)에서는 미스트를 회수할 수 있고, 상기 열회수장치(3000) 및 상기 추가 열회수장치(4000)에서는 열을 회수하여 외부의 다른 장치의 열원으로 사용될 수 있다.
또한, 상기 추가 열회수장치(4000)는 상기 약액탱크(1300)의 약액을 가열할 수 있다.
한편, 상기 추가 열회수장치(4000) 상기 열회수장치(3000)와 동일하게 상기 히트펌프시스템(HPS : Heat Pump System)으로 사용될 수 있다.
이상 상술한 바와 같은, 본 발명의 따른 상기 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템은 기판처리장치의 배기구를 통해 배출되는 배기에 포함된 미스트를 상기 제1 회수유닛과 상기 제2 회수유닛에 의해 이차적으로 미세한 미스트까지 회수함에 따라 미스트 회수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 제1 상하방향 간격유지부재가 구비된 것에 의해 상기 냉각관이 감기면서 형성되는 상기 제1 냉각관층과 상기 제2 냉각관층 사이의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있어 상기 열교환 공간에서의 압력손실을 방지할 수 있다.
또한, 상기 냉각관이 상기 열교환 공간 내부에서 감기면서, 상기 제1 상하방향 간격유지부재 상에 상기 제1 냉각관층을 형성하고, 상기 제1 냉각관층은 단위 냉각관들을 형성함에 따라, 냉각관과 제2 미스트 간의 열교환 면적이 증가하여 미스트 회수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 제1 반경방향 간격유지부재가 구비된 것에 의해, 상기 각 냉각관층의 상기 단위 냉각관들의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 제1 상하 간격유지부재 상에 설치되는 상기 제1 냉각관층이 배기관을 중심으로 동심원을 이루지 않게 배치된 것에 의해 상기 냉각관과 상기 제2 미스튼 간의 열교환 면적이 증가하여 미스트 회수율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 기판처리시스템의 열회수장치는 상기 미스트 회수장치에서 배출되는 고온의 냉각유체를 열교환시켜 저온의 냉각유체로 변경되도록 함에 따라 상기 저온으로 변경된 냉각유체를 다시 미스트 회수장치의 냉각유체로 재사용할 효과가 있다.
또한, 상기 기판처리시스템의 추가 열회수장치는 상기 기판처리장치의 약액탱크에 수용된 약액을 가열시킬 수 있는 효과가 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 회수챔버 110: 배출포트
200: 제1 회수유닛 210: 메쉬부재
230: 플랜지 231: 제1 연통공
233: 결합홈 250: 고정플레이트
251: 제2 연통공 270: 지지부재
300: 제2 회수유닛 310: 본체하우징
311: 열교환 공간 320: 배기관
330: 냉각관 331: 제1 냉각관층
331a: 단위 냉각관 332: 제2 냉각관층
340: 제1 상하방향 간격유지부재 341: 외측 프레임
342: 내측 프레임 342a: 관통홀
343: 연결 프레임 344: 통과홀
345: 이동홈부 346: 고정홈부
350: 제2 상하방향 간격유지부재 360: 제1 반경방향 간격유지부재
361: 고정 몸체부 362: 안착홈부
370: 하단 플레이트 371: 통과홀
400: 제2 회수유닛 410: 고정부재
420; 냉각관 421: 제1층 냉각관
422: 제2층 냉각관 430: 제2 반경방향 간격유지부재
441: 전단 플레이트 442: 후단 플레이트
1000: 기판처리장치 1100: 약액챔버
2000: 미스트 회수장치 3000: 열회수장치
3100: 열회수챔버 3200: 열회수 냉각관
4000: 추가 열회수장치 4100: 추가 열회수 냉각관
4200: 추가 열회수챔버
200: 제1 회수유닛 210: 메쉬부재
230: 플랜지 231: 제1 연통공
233: 결합홈 250: 고정플레이트
251: 제2 연통공 270: 지지부재
300: 제2 회수유닛 310: 본체하우징
311: 열교환 공간 320: 배기관
330: 냉각관 331: 제1 냉각관층
331a: 단위 냉각관 332: 제2 냉각관층
340: 제1 상하방향 간격유지부재 341: 외측 프레임
342: 내측 프레임 342a: 관통홀
343: 연결 프레임 344: 통과홀
345: 이동홈부 346: 고정홈부
350: 제2 상하방향 간격유지부재 360: 제1 반경방향 간격유지부재
361: 고정 몸체부 362: 안착홈부
370: 하단 플레이트 371: 통과홀
400: 제2 회수유닛 410: 고정부재
420; 냉각관 421: 제1층 냉각관
422: 제2층 냉각관 430: 제2 반경방향 간격유지부재
441: 전단 플레이트 442: 후단 플레이트
1000: 기판처리장치 1100: 약액챔버
2000: 미스트 회수장치 3000: 열회수장치
3100: 열회수챔버 3200: 열회수 냉각관
4000: 추가 열회수장치 4100: 추가 열회수 냉각관
4200: 추가 열회수챔버
Claims (14)
- 기판처리장치의 배기구에 연결되고, 상기 배기구로 배출되는 배기에 함유된 미스트를 회수하기 위한 공간을 형성하며, 회수된 미스트를 배출시키기 위한 배출포트가 마련된 회수챔버;
상기 배기구와 상기 회수챔버가 연결된 부위에 설치되어, 상기 배기구를 통해 배출되는 제1 미스트를 회수하기 위한 메쉬부재를 갖는 제1 회수유닛; 및
상기 회수챔버의 내부에 설치되어, 상기 제1 미스트보다 작은 크기를 가지며 상기 제1 회수유닛을 통과한 제2 미스트를 열교환에 의해 회수되도록 하기 위한 제2 회수유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 회수유닛은,
중앙이 상기 배기구와 연통되도록 제1 연통공이 형성되고, 상기 메쉬부재가 제1 연통공에 밀착되도록 설치되며, 상기 제1 연통공 주변에 결합홈이 마련된 플랜지; 및
상기 플랜지의 제1 연통공과 연통되도록 제2 연통공이 형성되고, 상기 결합홈에 결합되어 상기 메쉬부재를 고정시키기 위한 고정플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제2항에 있어서,
상기 제1 회수유닛은,
상기 고정플레이트의 상기 제2 연통공의 내측면을 가로지르도록 배치되어, 상기 메쉬부재를 지지하는 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제1항에 있어서,
상기 제2 회수유닛은,
하부가 오픈된 상태로 형성되고, 내부에 상기 제2 미스트가 유입되어 열교환되도록 하기 위한 열교환 공간을 형성하는 본체하우징;
상기 본체하우징의 내부에 배치되어, 상기 배기구를 통해 상기 회수챔버로 이동된 배기를 외부로 배기시키기 위한 배기관;
상기 본체하우징의 내측면과 상기 배기관의 외측면 사이에서 상기 배기관의 둘레를 따라 설치되되, 상기 배기관의 상하방향으로 적층되는 제1 냉각관층과, 제2 냉각관층을 포함하며, 상기 열교환 공간으로 유입된 상기 제2 미스트와 열교환되도록 냉각유체가 흐르는 냉각관; 및
상기 배기관의 외측 둘레에 끼워지며, 상기 제1 냉각관층과 상기 제2 냉각관층 사이에 배치되는 제1 상하방향 간격유지부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제4항에 있어서,
상기 제1 상하방향 간격유지부재는,
외측 프레임;
상기 외측 프레임 보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 상기 외측 프레임의 내부에 배치되고, 중앙에는 상기 배기관이 관통되도록 관통홀이 마련된 내측 프레임;
일단은 외측 프레임에 연결되고 타단은 내측프레임에 연결되어, 상기 외측 프레임과 상기 내측 프레임을 연결시키기 위한 복수개의 연결 프레임; 및
상기 각 연결 프레임의 사이에 형성되어, 상기 제2 미스트가 통과되는 통과홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제5항에 있어서,
상기 제2 회수유닛은, 상기 배기관의 상하방향으로 상기 제1 상하방향 간격유지부재와 일정간격 떨어져 배치되는 제2 상하방향 간격유지부재를 더 포함하고,
상기 제1 상하방향 간격유지부재는,
이웃하는 상기 연결 프레임 사이에 형성되어, 상기 제1 상하방향 간격유지부재에서 상기 제1 냉각관층을 형성한 상기 냉각관이 상기 제2 상하방향 간격유지부재에 상기 제2 냉각관층을 형성하기 위해 이동될 수 있도록 하기 위한 이동홈부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제4항에 있어서,
상기 제1 냉각관층은, 상기 배기관의 반경방향으로 적층되는 복수개의 단위 냉각관들을 포함하고,
상기 제2 회수유닛은,
상기 제1 상하방향 간격유지부재 상에 설치되어, 상기 복수 단위 냉각관들이 일정간격을 갖도록 하기 위한 제1 반경방향 간격유지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제7항에 있어서,
상기 제1 반경방향 간격유지부재는,
상기 제1 상하방향 간격유지부재의 상면에 설치되는 고정 몸체부; 및
상기 고정 몸체부의 상면에 오목하게 형성되어 상기 단위 냉각관이 안착되는 적어도 하나의 안착홈부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제8항에 있어서,
상기 제1 상하방향 간격유지부재는
상기 각 연결 프레임의 상면에 오목하게 형성되어 상기 고정 몸체부를 고정시키기 위한 복수개의 고정홈부를 더 포함하고,
상기 내측 프레임의 외측면으로부터 상기 각 고정홈부의 일측 단부까지의 이격된 간격이 각각 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제4항에 있어서,
상기 제2 회수유닛은,
상기 제1 상하방향 간격유지부재가 설치된 상기 본체하우징의 하면에 결합되어 상기 제1 간격유지부재가 상기 본체하우징의 하부로 이탈되는 것을 방지하기 위한 하단 플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제1항에 있어서,
상기 제2 회수유닛은,
상기 회수챔버의 중앙에 배치되는 고정부재;
상기 고정부재의 외측면에 코일 형태로 감기도록 설치되되, 상기 고정부재의 중심으로부터 외측방향으로 향해 적층되는 제1층 냉각관 및 제2층 냉각관을 가지며 상기 제2 미스트와 열교환되도록 냉각유체가 흐르는 냉각관; 및
상기 제1층 냉각관과 상기 제2층 냉각관 사이에 배치되어 상기 제1층 냉각관과 제2층 냉각관 사이의 간격을 유지시키는 제2 반경방향 간격유지부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 제11항에 있어서,
상기 냉각관은, 외측면에 주름이 형성된 주름관이 사용된 것을 특징으로 하는 미스트 회수장치. - 기판이 처리되는 기판처리장치;
상기 기판처리장치의 배기구와 연결되어 상기 기판처리장치의 배기구를 통해 배출되는 배기에 포함된 미스트를 제거하기 위한 상기 제1항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 기재된 미스트 회수장치; 및
상기 미스트 회수장치와 연결되어, 상기 미스트 회수장치에서 상기 미스트와 열교환되어 고온 상태로 변경된 고온의 제1 냉각유체를 저온의 제2 냉각유체와 열교환시켜 열을 회수하기 위한 열회수장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템. - 제13항에 있어서,
일측은 기판처리장치의 약액탱크와 연결되고 타측은 상기 열회수장치와 연결되어, 상기 열회수장치에서 상기 제1 냉각유체와 열교환되어 고온 상태로 변경된 제2 냉각유체를 저온의 제3 냉각유체와 열교환시켜 열을 회수한 후 상기 약액탱크의 약액을 가열하기 위한 추가 열회수장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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|---|---|---|---|
| KR1020170104096A KR101980640B1 (ko) | 2017-08-17 | 2017-08-17 | 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템 |
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Applications Claiming Priority (1)
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| KR1020170104096A KR101980640B1 (ko) | 2017-08-17 | 2017-08-17 | 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템 |
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| KR20190020221A true KR20190020221A (ko) | 2019-02-28 |
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| KR1020170104096A KR101980640B1 (ko) | 2017-08-17 | 2017-08-17 | 미스트 회수장치 및 이를 이용한 기판처리시스템 |
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