CN104849968B - 一种显影机及显影方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种显影机及显影方法，采用不同浓度显影液同时供液的方案，即采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，可随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显影机及显影方法。
背景技术
众所周知，液晶显示器具有功耗低、体积小、重量轻、超薄屏等许多其他显示器无法比拟的优点，近年来被广泛应用于单片机控制的智能仪器、仪表和低功耗电子产品中。
目前，液晶显示器行业的彩色滤波片工厂进行彩色滤波片制作时，对玻璃基板进行显影的工艺主要包括：将待显影玻璃基板倾斜5°放置于显影腔，进而采用显影机(Developer)的带有喷头的摇杆上下移动的方式对待显影玻璃基板喷洒显影液，实现对待显影玻璃基板的显影；然而该显影方式存在以下问题：一、在显影过程中，显影液喷头分布在整个玻璃基板面上方，同时向玻璃基板喷洒显影液，所有显影液喷头共用一个供液系统，由于玻璃基板是成倾斜状态的，玻璃基板上侧喷洒下的显影液到达玻璃基板后，向玻璃基板下侧部分流动，这样的方式会导致倾斜的玻璃基板下部显影液偏多，浓度较大，从而玻璃基板下部被显影掉的部分偏多，造成玻璃基板表面整体显影不均匀的状况；二、显影液喷头在摇摆喷液的过程中，出现局部两端喷洒的显影液少于中间部分，这样在一定程度上导致玻璃基板的局部显影不均匀；三、采用两个以上的循环供液槽，槽内的显影液随着显影的进行，循环一段时间后浓度降低，此时需切换到另一显影槽，同时对浓度降低的显影槽补充原液达到显影所需浓度以备用，这样需要定期更换显影供液槽，工作繁琐耗费人力。
因此，如何提高玻璃基板显影的均匀性，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供了一种显影机及显影方法，用以解决现有技术中存在的对待显影玻璃基板进行显影时，整个玻璃基板显影不均匀的问题。
本发明实施例提供了一种显影机，包括：至少一行显影液喷嘴、至少一行显影原液喷嘴、显影腔和显影供液系统；其中，
所述显影腔设置有倾斜的滑动轨道，待显影玻璃基板放置于所述倾斜的滑动轨道上；
至少一行所述显影液喷嘴位于所述待显影玻璃基板的倾斜面高的一端对应的区域的上方，且每行显影液喷嘴与所述待显影玻璃基板的倾斜面的边缘平行，所述显影液喷嘴用于向所述待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液；
至少一行所述显影原液喷嘴位于所述待显影玻璃基板的倾斜面的中部区的上方，且每行显影原液喷嘴与每行显影液喷嘴平行，所述显影原液喷嘴用于向所述待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；
其中，所述待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域为以倾斜面的中位线为基准，在中位线两侧具有预设规定量的区域，所述显影原液的浓度大于所述显影液的浓度；
所述显影供液系统用于循环提供对所述待显影玻璃基板进行显影所需的显影液。
在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述显影机中，所述显影机包括至少两行显影液喷嘴和至少两行显影原液喷嘴；
第一行显影液喷嘴位于所述待显影玻璃基板倾斜面高的一端的上方，其余行显影液喷嘴位于第一行显影液喷嘴与待显影玻璃基板中部区域对应的上方区域之间的区域；
第一行显影原液喷嘴位于所述待显影玻璃基板倾斜面的中部区域的上方，其余行显影原液喷嘴位于第一行显影原液喷嘴与待显影玻璃基板倾斜面低的一端对应的上方区域之间的区域。
在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述显影机中，所述显影液喷嘴与显影原液喷嘴的帘式喷洒方式为均匀且连续的帘式喷洒。
在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述显影机中，所述显影供液系统，具体包括：显影液槽、显影原液槽和带控制阀门的原液补充管道；其中，
所述显影液槽的固定位置低于所述显影原液槽的固定位置，所述显影液槽与所述显影原液槽通过所述原液补充管道相连；
所述显影液槽用于向所述显影液喷嘴提供显影液；
所述显影原液槽用于向所述显影原液喷嘴提供显影原液以及在所述显影液槽内的显影液浓度偏低时通过打开控制阀向所述显影液槽补充显影原液。
在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述显影机中，所述显影液槽，具体包括：显影液输入管道、显影液输出管道和浓度测试仪；其中，
所述显影液输出管道用于向所述显影液喷嘴提供显影液；
所述显影液输入管道用于将所述显影腔内的显影液返回所述显影液槽；
所述浓度测试仪用于实时检测所述显影液槽内显影液的浓度，在检测到所述显影液槽内的显影液浓度低于预设值时，控制所述原液补充管道通过打开控制阀向所述显影液槽补充相应量的显影原液。
在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述显影机中，所述显影原液槽，具体包括：显影原液输出管道和注入口；其中，
所述显影原液输出管道用于向所述显影原液喷嘴提供显影原液；
所述注入口用于在所述显影原液槽内的显影原液容量低于预设数值时，通过所述注入口向所述显影原液槽注入显影原液。
本发明实施例提供了一种本发明实施例提供的上述显影机的显影方法，包括：
通过显影液喷嘴向显影腔内放置于倾斜滑动轨道上的待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液；
通过显影原液喷嘴向所述待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；
通过显影供液系统循环提供对所述待显影玻璃基板进行显影所需的显影液。
在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述显影机的显影方法中，控制所述显影液喷嘴与所述显影原液喷嘴进行喷洒溶液的方式为均匀连续的帘式喷洒方式。
在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的上述显影机的显影方法中，还包括：在对待显影玻璃基板进行显影之前，预先确定相邻行显影液喷嘴之间、相邻行显影原液喷嘴之间，以及相邻行的显影液喷嘴与显影原液喷嘴之间的间距。
本发明实施例的有益效果包括：
本发明实施例提供了一种显影机及显影方法，该显影机包括：至少一行显影液喷嘴、至少一行显影原液喷嘴、显影腔和显影供液系统；其中，显影腔设置有倾斜的滑动轨道，待显影玻璃基板放置于倾斜的滑动轨道上；至少一行显影液喷嘴位于待显影玻璃基板的倾斜面高的一端对应的区域的上方，且每行显影液喷嘴与待显影玻璃基板的倾斜面的边缘平行，显影液喷嘴用于向待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液；至少一行显影原液喷嘴位于待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域的上方，且每行显影原液喷嘴与每行显影液喷嘴平行，显影原液喷嘴用于向待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；显影供液系统用于循环提供对待显影玻璃基板进行显影所需的显影液，这样通过采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，可随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
附图说明
图1为本发明实施例提供的显影机的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的显影机中显影供液系统的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的显影机的显影方法流程图；
图4为本发明实施例提供的对玻璃基板进行显影的过程示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明实施例提供的显影机及显影方法的具体实施方式进行详细说明。
本发明实施例提供了一种显影机，如图1所示，可以包括：至少一行显影液喷嘴1、至少一行显影原液喷嘴2、显影腔和显影供液系统；其中，显影腔设置有倾斜的滑动轨道3，待显影玻璃基板4放置于倾斜滑动轨道3上；至少一行显影液喷嘴1位于待显影玻璃基板4的倾斜面高的一端对应的区域的上方，且每行显影液喷嘴1与待显影玻璃基板4的倾斜面的边缘平行，显影液喷嘴1用于向待显影玻璃基板4的一端帘式喷洒显影液；至少一行显影原液喷嘴2位于待显影玻璃基板4的倾斜面的中部区域的上方，且每行显影原液喷嘴2与每行显影液喷嘴1平行，显影原液喷嘴2用于向待显影玻璃基板4的中部帘式喷洒显影原液；其中，待显影玻璃基板4的倾斜面的中部区域为以倾斜面的中位线为基准，在中位线两侧具有预设规定量的区域，显影原液的浓度大于显影液的浓度；显影供液系统用于循环提供对待显影玻璃基板4进行显影所需的显影液。
本发明实施例提供的上述显影机包括：至少一行显影液喷嘴1、至少一行显影原液喷嘴2、显影腔和显影供液系统；其中，显影腔设置有倾斜的滑动轨道3，待显影玻璃基板4放置于倾斜的滑动轨道3上；至少一行显影液喷嘴1位于待显影玻璃基板4的倾斜面高的一端对应的区域的上方，且每行显影液喷嘴1与待显影玻璃基板4的倾斜面的边缘平行，显影液喷嘴1用于向待显影玻璃基板4的一端帘式喷洒显影液；至少一行显影原液喷嘴2位于待显影玻璃基板4的倾斜面的中部区域的上方，且每行显影原液喷嘴2与每行显影液喷嘴1平行，显影原液喷嘴2用于向待显影玻璃基板4的中部帘式喷洒显影原液；显影供液系统用于循环提供对待显影玻璃基板4进行显影所需的显影液，这样通过采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，可随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，显影机包括的显影液喷嘴数量与显影原液的喷嘴数量可以根据待显影玻璃基板的尺寸规格，以及进行显影所需要的显影液的浓度进行设置，因此显影机可以包括至少两行显影液喷嘴和至少两行显影原液喷嘴；其中第一行显影液喷嘴位于待显影玻璃基板倾斜面高的一端的上方，其余行显影液喷嘴位于第一行显影液喷嘴与待显影玻璃基板中部区域对应的上方区域之间的区域；第一行显影原液喷嘴位于待显影玻璃基板倾斜面的中部区域的上方，其余行显影原液喷嘴位于第一行显影原液喷嘴与待显影玻璃基板倾斜面低的一端对应的上方区域之间的区域；其中，待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域为以倾斜面的中位线为基准，在中位线两侧具有预设规定量的区域，其中各行显影液喷嘴与各行显影原液喷嘴之间的间距，相邻行显影液喷嘴与显影原液喷嘴之间的距离，可以根据待显影玻璃基板进行显影所需的显影液的浓度进行设定，因此，本发明实施例提供的上述显影机可以根据实际需要自由调节喷嘴的数量和排布，以提高玻璃基板整面的显影均匀性。
在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，为了提高对待显影玻璃基板整个表面的显影均匀性，因此将显影液喷嘴与显影原液喷嘴的帘式喷洒方式设置为均匀且连续的帘式喷洒，这样显影液喷嘴与显影原液喷嘴喷洒出的溶液可以形成均匀且连续的液帘，由于流出的液面连续均匀且无需摇摆，因此可以确保玻璃基板在滑动轨道匀速传输的情况下，保证了显影液在垂直倾斜方向的均匀性，进一步保证实现玻璃基板表面显影均匀性，同时，根据待显影玻璃基板的尺寸规格，可以调整显影液喷嘴和显影原液喷嘴的数量，喷洒溶液的速度，以及所需显影液的浓度，可以进一步提高玻璃基板整面显影的均匀性。
在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，如图2所示，显影供液系统可以具体包括：显影液槽10、显影原液槽11和带控制阀的原液补充管道12；其中，显影液槽10的固定位置低于显影原液槽11的固定位置，显影液槽10与显影原液槽11通过原液补充管道12相连；显影液槽10用于向显影液喷嘴1提供显影液；显影原液槽11用于向显影原液喷嘴2提供显影原液以及在显影液槽10内的显影液浓度偏低时通过打开控制阀向显影液槽10补充显影原液。
具体地，本发明实施例提供的上述显影机中，显影液槽10与显影原液槽11分别提供不用浓度的显影液，显影液槽10向显影液喷嘴提供显影液，显影原液槽11向显影原液喷嘴2提供显影原液以及在显影液槽10内的显影液浓度偏低时向显影液槽10补充显影原液，这样在对玻璃基板进行显影时，通过采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，将显影液槽与显影原液槽通过原液补充管道连接，随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，如图2所示，显影液槽可以具体包括：显影液输入管道101、显影液输出管道102和浓度测试仪103；其中，显影液输出管道102用于向显影液喷嘴提供显影液；显影液输入管道101用于将显影腔内的显影液返回显影液槽10；浓度测试仪103用于实时检测显影液槽10内显影液的浓度，在检测到显影液槽10内的显影液浓度低于预设值时，控制原液补充管道12通过打开控制阀向显影液槽10补充相应量的显影原液。
具体地，本发明实施例提供的上述显影机中，采用单个显影液循环供液系统提供显影液，即显影液槽10通过显影液输入管道101和显影液输出管道102形成循环系统，通过显影液输出管道102向显影液喷嘴提供显影液，通过显影液输入管道101将显影腔内的显影液返回显影液槽10，进行形成显影液循环提供系统，且通过浓度测试仪103可以实时检测显影液槽10内的显影液浓度，当显影液槽10内显影液浓度低于预设值时，浓度测试仪103发送控制信号，进而控制原液补充管道12向显影液槽10补充相应量的显影原液，保证显影液浓度，提高显影均匀性。
在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机中，如图2所示，显影原液槽可以具体包括：显影原液输出管道111和注入口112；其中，显影原液输出管道111用于向显影原液喷嘴提供显影原液；注入口112用于在显影原液槽11内的显影原液容量低于预设数值时，通过注入口112向显影原液槽11注入显影原液。
具体地，本发明实施例提供的上述显影机中，在对玻璃基板进行显影时，显影液与玻璃基板接触即开始与光刻胶反应，流到玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，因此在玻璃基板中部上方设置显影原液喷嘴喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，进而提高基板表面显影均匀性，因此显影供液系统中设置有为显影原液喷嘴提供显影原液的显影原液槽11，显影原液槽11中的显影原液输出管道111用于向显影原液喷嘴提供显影原液，而当显影原液槽11中的显影原液的容量低于预设值时，则通过注入口112向显影原液槽11注入显影原液，保证显影原液的供给，提高玻璃基板显影的均匀性。
基于同一发明构思，本发明实施例提供了一种本发明实施例提供的上述显影机的显影方法，如图3所示，可以包括以下步骤：
S101、通过显影液喷嘴向显影腔内放置于倾斜滑动轨道上的待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液；
S102、通过显影原液喷嘴向待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；
S103、通过显影供液系统循环提供对待显影玻璃基板进行显影所需的显影液。
具体地，本发明实施例提供的上述显影机的显影方法中，通过显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，通过显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，可随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机的显影方法中，在对玻璃基板进行显影时，控制显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，控制显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液，其中控制显影液喷嘴与显影原液喷嘴进行喷洒溶液的方式为均匀连续的帘式喷洒方式，这样显影液喷嘴与显影原液喷嘴喷洒出的溶液可以形成均匀且连续的液帘，由于流出的液面连续均匀且无需摇摆，因此可以确保玻璃基板在滑动轨道匀速传输的情况下，保证了显影液在垂直倾斜方向的均匀性，进一步保证实现玻璃基板表面显影均匀性，同时，根据待显影玻璃基板的尺寸规格，可以调整显影液喷嘴和显影原液喷嘴的数量，喷洒溶液的速度，以及所需显影液的浓度，可以进一步提高玻璃基板整面显影的均匀性。
在具体实施时，本发明实施例提供的上述显影机的显影方法中，还包括：在对待显影玻璃基板进行显影之前，预先确定相邻行显影液喷嘴之间、相邻行显影原液喷嘴之间，以及相邻行的显影液喷嘴与显影原液喷嘴之间的间距，具体地，本发明实施例提供的显影机包括至少一行显影液喷嘴和至少一行显影原液喷嘴，根据待显影玻璃基板的规格尺寸和所需显影液的浓度，在对玻璃基板进行显影之前，需要确定所需显影液喷嘴和显影原液喷嘴的数量，即确定所需的显影液喷嘴和显影原液喷嘴的行数，进而根据滑动轨道的倾斜角度、显影液在玻璃基板表面流动的速度、显影液的浓度等实际操作参数，确定各行喷嘴之间的间距，最终达到保证玻璃基板整个表面显影的均匀性。
下面以一个具体的实施例，说明本发明实施例提供的显影机对玻璃基板进行显影的过程，其中，以显影机包括一行显影液喷嘴和一行显影原液喷嘴为例进行说明：
如图4所示，待显影玻璃基板a放置于倾斜的滑动轨道b，显影液喷嘴P1固定于待显影玻璃基板a倾斜较高的一端，显影液从显影液喷嘴P1中均匀的洒出，形成流量及流速一致的显影液帘Y1，在玻璃基板非涂布区m1形成一条平行于玻璃基板边缘的直线，然后匀速流过玻璃基板涂布区m2，显影液一边向倾斜的下方流动一边与玻璃基板上的光刻胶反应，因此显影液的浓度随着流动方向逐渐变小，因此，根据实际需要在玻璃基板中部的上方设置了喷洒显影原液的显影原液喷嘴P2，其可以喷嘴洒出显影原液帘Y2，其中显影原液帘Y2的大小根据流经此处的显影液的浓度而定，采用显影供液系统为显影液喷嘴P1和显影原液喷嘴P2提供相应的显影液，保证玻璃基板在整个表面显影的均匀性。
由于一定范围内的显影液浓度可保证显影效果在规定范围内的均匀性，因此每两行喷嘴设计的距离同样可根据玻璃基板上流经此处的显影液浓度确定，所有同一时间从喷嘴喷出的显影液到达下一行喷嘴，所流经的距离、玻璃基板角度、玻璃基板的摩擦等外力都相等，从而在同一时间流出的显影液到达下一行喷嘴的时间是一致的，同时玻璃基板上各处流经的显影液浓度，可以通过采样测试获得，而显影原液帘处显影液的流量可通过显影液喷嘴喷出显影液的速度和质量来确定，同时已得知此处流经的显影液浓度，则可以使此处与玻璃基板反应的显影液浓度达到与显影液喷嘴喷出的显影液浓度一致，所需要在显影原液喷出的量同样可以通过计算得知，且可以通过测试来进一步验证。
本发明实施例提供的显影剂中显影液喷嘴及显影原液喷嘴为固定喷嘴，且喷洒的所有液帘都是连续均匀的，而现有技术中采用摇摆试的喷嘴，且都是独立存在的，每个喷嘴喷洒出来的显影液整体呈圆锥体状，每两个喷嘴之间的显影液有部分重叠，从而即使是玻璃基板传送方向同一直线上的液面也是处于不均匀的状态，而本发明实施例提供的显影机的喷嘴喷洒的液帘在玻璃基板传送方向上是连续均匀的，避免了摇摆式喷嘴在玻璃基板传送方向上带来的显影液不均匀现象，可进一步实现玻璃基板表面显影的均匀性。
本发明实施例提供了一种显影机及显影方法，该显影机包括：至少一行显影液喷嘴、至少一行显影原液喷嘴、显影腔和显影供液系统；其中，显影腔设置有倾斜的滑动轨道，待显影玻璃基板放置于倾斜的滑动轨道上；至少一行显影液喷嘴位于待显影玻璃基板的倾斜面高的一端对应的区域的上方，且每行显影液喷嘴与待显影玻璃基板的倾斜面的边缘平行，显影液喷嘴用于向待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液；至少一行显影原液喷嘴位于待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域的上方，且每行显影原液喷嘴与每行显影液喷嘴平行，显影原液喷嘴用于向待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；显影供液系统用于循环提供对待显影玻璃基板进行显影所需的显影液，这样通过采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液，采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式，显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应，流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低，根据实际需求，在玻璃基板中部补充喷洒显影原液，使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致，相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液，本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性，且采用单个显影液循环供液系统，可随时补充显影原液以保持显影液浓度，无需切换供液槽，可以节省人力，简化显影工艺的步骤。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (7)
1.一种显影机，其特征在于，包括：至少两行显影液喷嘴、至少两行显影原液喷嘴、显影腔和显影供液系统；其中，
所述显影腔设置有倾斜的滑动轨道，待显影玻璃基板放置于所述倾斜的滑动轨道上；
第一行显影液喷嘴位于所述待显影玻璃基板倾斜面高的一端的上方，其余行显影液喷嘴位于第一行显影液喷嘴与待显影玻璃基板中部区域对应的上方区域之间的区域，且每行显影液喷嘴与所述待显影玻璃基板的倾斜面的边缘平行，所述显影液喷嘴用于向所述待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液；
第一行显影原液喷嘴位于所述待显影玻璃基板倾斜面的中部区域的上方，其余行显影原液喷嘴位于第一行显影原液喷嘴与待显影玻璃基板倾斜面低的一端对应的上方区域之间的区域，且每行显影原液喷嘴与每行显影液喷嘴平行，所述显影原液喷嘴用于向所述待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；
其中，所述待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域为以倾斜面的中位线为基准，在中位线两侧具有预设规定量的区域，所述显影原液的浓度大于所述显影液的浓度；
所述显影供液系统用于循环提供对所述待显影玻璃基板进行显影所需的显影液；所述显影供液系统，具体包括：显影液槽、显影原液槽和带控制阀的原液补充管道；其中，
所述显影液槽的固定位置低于所述显影原液槽的固定位置，所述显影液槽与所述显影原液槽通过所述原液补充管道相连；
所述显影液槽用于向所述显影液喷嘴提供显影液；
所述显影原液槽用于向所述显影原液喷嘴提供显影原液以及在所述显影液槽内的显影液浓度偏低时通过打开控制阀向所述显影液槽补充显影原液。
2.如权利要求1所述的显影机，其特征在于，所述显影液喷嘴与显影原液喷嘴的帘式喷洒方式为均匀且连续的帘式喷洒。
3.如权利要求1所述的显影机，其特征在于，所述显影液槽，具体包括：显影液输入管道、显影液输出管道和浓度测试仪；其中，
所述显影液输出管道用于向所述显影液喷嘴提供显影液；
所述显影液输入管道用于将所述显影腔内的显影液返回所述显影液槽；
所述浓度测试仪用于实时检测所述显影液槽内显影液的浓度，在检测到所述显影液槽内的显影液浓度低于预设值时，控制所述原液补充管道通过打开控制阀向所述显影液槽补充相应量的显影原液。
4.如权利要求1所述的显影机，其特征在于，所述显影原液槽，具体包括：显影原液输出管道和注入口；其中，
所述显影原液输出管道用于向所述显影原液喷嘴提供显影原液；
所述注入口用于在所述显影原液槽内的显影原液容量低于预设数值时，通过所述注入口向所述显影原液槽注入显影原液。
5.一种如权利要求1-4任一项所述的显影机的显影方法，其特征在于，包括：
通过显影液喷嘴向显影腔内放置于倾斜滑动轨道上的待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液；
通过显影原液喷嘴向所述待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液；
通过显影供液系统循环提供对所述待显影玻璃基板进行显影所需的显影液。
6.如权利要求5所述的显影机的显影方法，其特征在于，所述显影液喷嘴与所述显影原液喷嘴进行喷洒溶液的方式为均匀连续的帘式喷洒方式。
7.如权利要求5或6所述的显影机的显影方法，其特征在于，还包括：在对待显影玻璃基板进行显影之前，预先确定相邻行显影液喷嘴之间、相邻行显影原液喷嘴之间，以及相邻行的显影液喷嘴与显影原液喷嘴之间的间距。
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